JP2003295000A - 光デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】モニタリング機能を有する光デバイスと別の光
学部品と結合した場合において、長期にわたって、別の
光学部品との安定した結合状態の維持並びに高いモニタ
効率の維持を図る。 【解決手段】１以上の光ファイバ１６の少なくともコア
端面１６ａに、空気層１３０を介して他の光学部品１３
４の導波路１３６を配置する。具体的には、光ファイバ
１６が載置されるＶ溝が形成された基体１４の端面１４
ａのうち、１以上の光ファイバ１６の少なくともコア端
面１６ａ以外の部分と、他の光学部品１３４とを接着剤
１３２を介して固定する。また、１以上の光ファイバ１
６の少なくともコア端面１６ａから空気層１３０との屈
折率差を利用した反射光５２を、光ファイバ１６のクラ
ッド５４外に屈折率整合層５６を通じて取り出す構造と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、１本の光ファイバ
あるいは複数本の光ファイバ（光ファイバアレイ）を有
する光デバイスに関し、特に、光ファイバを伝搬する信
号光をモニタする場合に好適な光デバイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、ファイバアンプを用いた波長多重
通信の発達に伴い、アンプ特性確保のため、各波長の光
量をモニタし、光量を調整した上でアンプにて増幅させ
るという方式がとられるようになってきている。

【０００３】このモニタには各種方法が知られている
が、各ファイバにモニタデバイスを搭載するため、モニ
タデバイスだけでかなりの大きさを必要としている。

【０００４】そのため、モニタデバイスの小型化、高密
度化が望まれている。また、モニタする際に、信号光の
一部を取り出すことで行うようにしているが、信号光を
大きく減衰させることなくモニタリングできるものが望
まれている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のモニタデバイスにおいて、該モニタデバイスの光フ
ァイバの端面に他の光学部品（光導波路）を結合する場
合、例えば接着剤を介して結合することが考えられる。

【０００６】しかし、接着剤を用いた場合においては、
長期的に考えた場合、その経時変化によって剥がれや接
着剤自身の劣化等の懸念がある。例えば光ファイバの端
面に接着剤の剥がれが生じた場合、例えば光ファイバの
端面の傾斜角として、反射光がコアに戻らない角度を採
用した場合であっても、接着剤の剥がれ面の状態（接着
剤の表面の角度や形状等）によってコアに戻ってしまう
場合が考えられる。

【０００７】このような場合、反射光が光ファイバのコ
アに戻ってしまうと、光源等に悪影響を与えることとな
る。

【０００８】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、モニタリング機能を有する光デバイスと
別の光学部品とを結合した場合において、長期にわたっ
て、別の光学部品との安定した結合状態を維持できると
共に、高いモニタ効率を維持させることができる光デバ
イスを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光デバイス
は、１以上の光ファイバの少なくともコア端面に、空気
層を介して他の光学部品の導波路が配置されていること
を特徴とする。

【００１０】これにより、１以上の光ファイバの少なく
ともコア端面と他の光学部品との間には、接着剤ではな
く、空気層が介在することから、接着剤の経時変化によ
る剥がれや接着剤自身の劣化等の懸念を考慮する必要が
ない。従って、長期にわたって、別の光学部品との安定
した結合状態を維持することができる。

【００１１】また、前記構成において、前記光ファイバ
が載置されるＶ溝が形成された基体を有し、前記基体と
前記他の光学部品とが共に固定される基台を有するよう
にしてもよい。即ち、Ｖ溝に載置された光ファイバを有
する基体と、他の光学部品とを共に基台に固定すること
で、１以上の光ファイバの少なくともコア端面と他の光
学部品との間に空気層を介在させることができる。

【００１２】また、前記構成において、前記光ファイバ
が載置されるＶ溝が形成された基体を有し、前記基体の
端面のうち、前記１以上の光ファイバの少なくともコア
端面以外の部分と、前記他の光学部品とを固着部材を介
して固定するようにしてもよい。この場合も、１以上の
光ファイバの少なくともコア端面と他の光学部品との間
に空気層を介在させることができる。前記固着部材は、
接着剤であってもよいし、溶接部材であってもよい。

【００１３】また、前記構成において、前記１以上の光
ファイバの少なくともコア端面から前記空気層との屈折
率差を利用した反射光を、該光ファイバのクラッド外に
屈折率整合層を通じて取り出す構造を有するようにして
もよい。

【００１４】この場合、１以上の光ファイバの少なくと
もコア端面において、接着剤の経時変化による剥がれや
接着剤自身の劣化等の懸念を考慮する必要がないことか
ら、長期にわたって、高いモニタ効率を維持させること
ができる。

【００１５】また、前記構成において、前記反射光の光
路上であって、かつ、前記光ファイバのクラッド外の位
置に設置された光素子と、前記反射光を、前記光素子に
対して、適正な角度で入射させる手段とを有するように
してもよい。

【００１６】ここで、光ファイバのコアを伝搬する信号
光のうち、光ファイバの少なくともコア端面での反射光
成分を除いた光成分は、該コア端面に空気層を介して結
合される他の光学部品に入射されることになる。

【００１７】この発明では、光ファイバの少なくともコ
ア端面からの反射光が、前記光素子に対して、適正な角
度で入射されることから、反射光のスポットの一部が光
素子からはみ出るなどの不都合は生じなくなる。

【００１８】特に、光素子の設置位置を光ファイバの端
面から遠ざけても、前記手段によって、光素子に対し
て、適正な角度で入射させることができるため、光素子
を光ファイバの端面から遠ざけた位置に設置することが
できる。その結果、基体の端面のうち、１以上の光ファ
イバの少なくともコア端面以外の部分と、他の光学部品
とを例えばＵＶ接着剤で固定する場合を想定したとき、
該ＵＶ接着剤の塗布部分に対してその上方から紫外線を
照射した際に、前記ＵＶ接着剤に対して紫外線が十分に
照射されることから、ＵＶ接着剤による固定を実現させ
ることができる。

【００１９】また、前記基体のうち、前記光ファイバの
少なくともコア端面と対応する端面を、前記コア端面と
ほぼ同一の角度で傾斜させるようにしてもよい。

【００２０】また、前記構成において、前記光素子が、
配線基板上に実装され、前記基体は、前記Ｖ溝の形成部
分の両側において立ち上がる側壁が一体に形成され、前
記側壁の上端面に前記配線基板を、前記光素子を前記光
ファイバに向けて載置するようにしてもよい。

【００２１】通常、光ファイバ外に光素子を設置する場
合、電気配線を考慮すると、配線基板上に実装された光
素子を光ファイバ上に設置することが考えられる。単純
に、光素子を上に向けた状態で基台上に配線基板を設置
しても、クラッドの表面から光素子までの距離が長くな
り、具体的には、光ファイバと配線基板間の距離、配線
基板の厚み、配線基板から光素子までの距離の合計とな
る。そのため、上述したように、反射光の損失並びにク
ロストークが発生するおそれがある。

【００２２】しかし、本発明では、基台における側壁の
上端面に配線基板を載置する際に、前記光素子を光ファ
イバに向けて載置するようにしたので、光ファイバのク
ラッド面に光素子を近接させることが可能となり、光素
子が受光素子であれば、受光感度の向上を図ることがで
き、しかも、クロストークの低減を有効に図ることがで
きる。

【００２３】また、光ファイバ上に光素子を設置する場
合、反射光が取り出される部分に光素子を位置決めする
必要がある。このとき、光ファイバが１本で光素子が１
つの場合は、それほど問題はないが、例えば８本以上の
光ファイバが配列された光ファイバアレイの各光ファイ
バに対してそれぞれ光素子を設置する場合、各光素子の
位置決めは困難を伴う。しかし、配線基板上に光ファイ
バの配列に対応して光素子をアレイ状に配列実装し、該
配線基板を基台の側壁の上端面に載置することで、光フ
ァイバアレイの各光ファイバに対して光素子を簡単に位
置決めすることができ、位置決め精度の向上、並びに位
置決め作業の時間短縮を図ることができる。

【００２４】なお、反射光を、前記光素子に対して、適
正な角度で入射させる手段としては、前記光ファイバの
クラッド内に形成され、かつ、前記反射光の光路を変更
する全反射面を有するようにしてもよい。この場合、例
えば光ファイバの端面における反射位置からクラッド内
の任意の位置に斜めスリットを入れることで、反射光
は、このスリットの部分でさらに反射されることにな
る。斜めスリットの角度を例えば対空気において全反射
するよう設定すれば、光量を減衰させることなく、か
つ、光素子に対して垂直に入射させることも可能にな
る。その結果、光ファイバアレイにおけるクロストーク
の低減を図ることができ、光ファイバアレイの高密度化
を実現させることができると共に、光素子として受光素
子を設置した場合における受光感度を向上させることが
できる。

【００２５】また、前記構成において、前記光ファイバ
の表面のうち、少なくとも前記反射光が取り出される部
分に屈折率整合層が形成され、前記手段は、前記光ファ
イバの外部に設置され、かつ、前記屈折率整合層を通じ
て取り出された前記反射光の光路を変更する全反射面を
有するようにしてもよい。

【００２６】この場合も、光ファイバアレイにおけるク
ロストークの低減を図ることができ、光ファイバアレイ
の高密度化を実現させることができると共に、光素子と
して受光素子を設置した場合における受光感度を向上さ
せることができる。

【００２７】光ファイバの外部に設置された全反射面を
構成する場合は、光ファイバ上に、前記屈折率整合層を
介して内部に前記反射光が入射され、かつ、空気層より
も高い屈折率を有する部材を設置する。これにより、前
記部材と前記空気層との境界面で前記全反射面を構成す
ることができる。しかも、光素子の設置位置を光ファイ
バの端面から遠ざけることができ、基体と他の光学部品
とをＵＶ接着剤にて固定する場合に有利になる。

【００２８】なお、光ファイバ上にミラー部材を設置
し、該ミラー部材の表面にて反射面を構成するようにし
てもよい。

【００２９】また、前記手段として、前記光ファイバの
外部に設置され、かつ、前記屈折率整合層を介して入射
された前記反射光を前記光素子まで導波させる導波部材
を有するようにしてもよい。この場合も、光素子の設置
位置を光ファイバの端面から遠ざけることができ、基体
と他の光学部品とをＵＶ接着剤にて固定する場合に有利
になる。

【００３０】また、前記構成において、前記光ファイバ
のクラッドに凹部を形成し、前記凹部上に前記光素子を
設置するようにしてもよい。これにより、光ファイバの
少なくともコア端面から光素子までの距離を短くするこ
とができ、光ファイバアレイとした場合のクロストーク
を有効に低減させることができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光デバイスの
実施の形態例を図１〜図２０を参照しながら説明する。

【００３２】まず、第１の実施の形態に係る光デバイス
１０Ａは、図１及び図２に示すように、上面に複数（図
示の例では、８つ）のＶ溝１２がそれぞれ平行に配列さ
れた基体１４を有する。各Ｖ溝１２には、それぞれ光フ
ァイバ１６が載置固定されている。つまり、この基体１
４には、複数の光ファイバ１６が配列されてなる光ファ
イバアレイ１８が載置固定されている。

【００３３】また、基体１４上には、光ファイバアレイ
１８をＶ溝１２側に押さえ付ける押さえ基板２０が固着
されている。

【００３４】基体１４の上面には、前記Ｖ溝１２のほ
か、光ファイバアレイ１８の被覆部２２が載置される載
置面２４が形成されている。この載置面２４には、光フ
ァイバアレイ１８の被覆部２２を固定するためのホルダ
ー２６が取り付けられるようになっている。このホルダ
ー２６で前記被覆部２２を保持することで、光ファイバ
アレイ１８がＶ溝１２から容易に抜け出たり、裸部分と
被覆部２２との間で屈曲するなどの不都合を回避するこ
とができる。なお、押さえ基板２０と載置面２４とで挟
まれた部分２８は、光ファイバアレイ１８が外部に露出
するオープン部２８である。

【００３５】そして、基体１４のうち、その端面１４ａ
から押さえ基板２０までの部分がモニタ部３０を構成
し、このモニタ部３０において、光ファイバアレイ１８
を伝搬する各信号光の一部がそれぞれ取り出されて例え
ば受光素子アレイ３２にて検知されることになる。受光
素子アレイ３２は、複数の受光素子が、光ファイバアレ
イ１８における光ファイバ１６の配列ピッチとほぼ同一
の配列ピッチで配列された構造を有し、図３に示すよう
に、表面に配線パターン３４が形成された配線基板３６
上に実装されている。

【００３６】また、前記基体１４は、Ｖ溝１２の形成部
分の両側において立ち上がる側壁４０が一体に形成さ
れ、これら側壁４０の上端面４２に、前記配線基板３６
が受光素子アレイ３２を光ファイバアレイ１８側に向け
て載置固定されている。

【００３７】そして、この第１の実施の形態に係る光デ
バイス１０Ａは、図４の拡大図に示すように、基体１４
の端面１４ａと各光ファイバ１６のコア端面１６ａが共
に、所定の角度ψをもった傾斜端面１４ａ及び１６ａと
されている。前記所定の角度ψとは、光ファイバ１６に
おける信号光の伝搬方向と直交する面を基準面（鉛直
面）としたとき、端面１４ａ及びコア端面１６ａの前記
基準面に対する角度ψをいう。

【００３８】また、この第１の実施の形態に係る光デバ
イスは、各光ファイバ１６のコア端面１６ａには空気層
１３０が接しており、このコア端面１６ａでの屈折率差
を利用した反射光５２を、該光ファイバ１６のクラッド
５４の外部に屈折率整合層を通じて取り出す構造を有す
る。前記コア端面１６ａに接する空気層１３０は屈折率
が１であることから、モニタリングに必要なだけの反射
光５２を得ることができる。

【００３９】また、第１の実施の形態においては、光フ
ァイバ１６上に、内部を反射光５２が透過する全反射部
材９２が設置され、更に、光ファイバ１６のクラッド５
４と全反射部材９２との間に第１の屈折率整合層５６が
形成され、全反射部材９２の上面と受光素子７０との間
に第２の屈折率整合層９４が形成されている。

【００４０】前記全反射部材９２は、空気層よりも高い
屈折率を有し、第１の屈折率整合層５６を介して内部に
反射光５２が入射されるように位置決めされている。全
反射面は、該全反射部材９２と空気層との境界面（端面
９２ａ）にて構成される。

【００４１】つまり、反射光５２は、全反射部材９２の
底面からその内部に入射され、該全反射部材９２の端面
９２ａで全反射される。全反射部材９２は空気層より屈
折率が高いため、前記端面９２ａでの全反射が可能であ
る。当然、端面９２ａの角度は全反射するだけの角度で
なくてはならない。そして、反射光５２は、第２の屈折
率整合層９４を介して受光素子７０の受光面に到達され
る。このとき、反射光５２を受光素子７０の受光面に対
して直角に入射させることも可能となる。

【００４２】好ましい条件として、前記第１の屈折率整
合層５６としては、クラッド５４で全反射しないだけの
屈折率を有すること、つまり、光ファイバ１６の屈折率
と全反射部材の屈折率の間の屈折率を有することが好ま
しい。第２の屈折率整合層９４についても同様であり、
全反射部材９２の屈折率と受光素子７０における受光面
の屈折率の間の屈折率を有することが好ましい。ちなみ
に、屈折率は、石英ファイバで１．４４、受光素子（Ｇ
ａＡｓ−フォトダイオード）の場合、３．５である。

【００４３】従って、各部材の屈折率の関係は、受光素
子７０の受光面＞第２の屈折率整合層９４＞全反射部材
９２＞第１の屈折率整合層５６＞光ファイバ１６のクラ
ッド５４となる。

【００４４】厳密には、各屈折率界面での反射が全て同
じ反射率になるように設定すると最小の反射率となる。
上記の場合、順に３．５、２．８、２．２４、１．８、
１．４４とすることで、各界面での反射は１．２％とな
り、トータルで４．９％の反射となる。反射損失にする
と、０．２２ｄＢ程度である。

【００４５】また、図４に示すように、基体１４の端面
のうち、光ファイバ１６のコア端面１６ａを除く部分に
は、例えばＵＶ接着剤１３２を介してＰＬＣなどの光学
部品１３４が固定され、このとき、光ファイバ１６の少
なくともコア端面１６ａと光学部品１３４の光導波路１
３６の端面１３６ａとが空気層１３０を介して結合され
る。

【００４６】光ファイバ１６のコア端面１６ａに接着剤
を存在させないようにする方法としては、例えば基体１
４と光学部品１３４との間に接着剤１３２を塗布し、該
接着剤１３２がコア端面１６ａに到達する前に硬化させ
ればよい。

【００４７】そして、光ファイバのコア５０を伝搬する
信号光のうち、光ファイバ１６のコア端面１６ａ及び光
導波路１３６の端面１３６ａでの反射光成分を除いた信
号光成分が光学部品１３４の導波路１３６に再入射さ
れ、該導波路１３６を伝搬することとなる。

【００４８】ここで、前記反射光５２における光ファイ
バ１６の光軸とのなす角（以下、反射角度θと記す）
は、反射光５２がクラッド５４の界面で全反射される程
度の角度であることが好ましい。反射光５２がクラッド
５４の界面で全反射される程度の角度とは、前記第１の
屈折率整合層５６がなければクラッド５４の界面で全反
射される程度の角度をいう。これにより、前記反射光５
２の大部分が光ファイバ１６のコア５０には戻らずに、
光ファイバ１６におけるクラッド５４の界面に向けて進
むことになる。これは、反射戻り光防止と、モニタ効率
の向上につながる。

【００４９】また、光ファイバ１６におけるコア端面１
６ａの基準面に対する角度（端面角度）ψの範囲は６°
〜４５°である。端面角度ψが小さいとコア５０への反
射戻り光が発生するため、少なくとも６°以上が好まし
い。また、端面角度ψを極端に大きくすると、光デバイ
ス１０Ａが大きくなるという懸念から適正ではない。し
かし、端面角度ψを調整することで、受光素子７０の配
置位置を任意に設定することができるというメリットが
ある。これらのことから、端面角度ψの範囲は６°〜４
５°が好ましい。特に、光デバイス１０Ａの小型化を図
る場合は、６°〜２０°が好ましい。なお、端面角度ψ
が大きいことによる反射光の減衰は小さい。この端面角
度ψが適正な範囲にあれば、光ファイバ１６のコア端面
１６ａが空気層１３０に接していても、コア５０に戻る
反射光成分としては、６０ｄＢ以上と非常に小さい値と
なる。

【００５０】このように、第１の実施の形態に係る光デ
バイス１０Ａにおいては、各光ファイバ１６のコア端面
１６ａに、空気層１３０を介して他の光学部品１３４の
導波路１３６を配置するようにしている。これにより、
各光ファイバ１６のコア端面１６ａと他の光学部品１３
４との間には、接着剤ではなく、空気層１３０が介在す
ることから、接着剤の経時変化による剥がれや接着剤自
身の劣化等の懸念を考慮する必要がない。従って、長期
にわたって、他の光学部品１３４との安定した結合状態
を維持することができると共に、高いモニタ効率を維持
させることができる。

【００５１】また、この第１の実施の形態に係る光デバ
イス１０Ａにおいては、光ファイバ１６のコア端面１６
ａからの反射光５２が、受光素子７０の受光面に対し
て、受光上、適正な角度、この実施の形態では、受光面
に対して直角に入射されることから、反射光５２のスポ
ットの一部が受光面からはみ出るなどの不都合は生じな
くなり、受光素子７０の感度を向上させることができ
る。

【００５２】特に、受光素子７０の設置位置を光ファイ
バ１６の端面１６ｂから遠ざけても、全反射部材９２に
よって、受光素子７０に対して、受光上、適正な角度で
入射させることができるため、受光素子７０を光ファイ
バ１６の端面１６ｂから遠ざけた位置に設置することが
できる。

【００５３】その結果、基体１４の端面１４ａ（光ファ
イバ１６のコア端面１６ａを除く）と該端面１４ａに固
定される他の光学部品１３４との間に例えばＵＶ接着剤
１３２を介在させた場合を想定したとき、基体の端面１
４ａに対してその上方から紫外線を照射した際に、前記
ＵＶ接着剤１３２に対して紫外線が十分に照射されるこ
とから、ＵＶ接着剤１３２による結合を実現させること
ができる。

【００５４】つまり、光ファイバ１６のコア端面１６ａ
での反射光５２を取り出してモニタに利用するため、受
光素子７０が光ファイバ１６の端面１６ｂ近傍に存在す
る場合がある。光ファイバ１６の端面１６ｂの近傍に受
光素子７０が存在すると、この部分は紫外線が通らない
ため、光ファイバ１６の端面１６ｂと別の光学部品１３
４との結合にＵＶ接着剤１３６が使えない等の問題を生
じさせてしまう場合がある。このため、少しでも受光素
子７０は光ファイバ１６の端面１６ｂから遠ざかった位
置に設置した方が好ましい場合がある。

【００５５】この第１の実施の形態では、全反射部材９
２を利用していることから、受光素子７０を光ファイバ
１６の端面１６ｂからある程度距離を置いて設置するこ
とが可能となる。この場合、数百μｍの距離を確保する
ことが可能である。

【００５６】ＵＶ硬化時の紫外線の透過を考慮すると、
紫外線の透過のための間隔として、光ファイバ１６の端
面１６ｂから１００μｍ以上の間隔が必要となる。この
間隔の確保は、全反射部材９２の厚みと長さで調整する
ことができる。

【００５７】なお、例えば設置スペース上等の問題で、
全反射部材９２の厚みに制約がある場合は、図５に示す
ように、全反射部材９２の中で、反射光５２の全反射を
繰り返させ、その上で受光素子７０に入射させてやれ
ば、薄い全反射部材９２でも、光ファイバ１６の端面１
６ｂから受光素子７０の設置位置までの距離（間隔）を
確保することが可能となる。

【００５８】また、光ファイバ１６のコア端面１６ａか
ら発生した反射光５２の光路上には、光導波路のような
光の閉じこめを行う手段が存在しないため、ある広がり
をもってクラッド５４等を通じて受光素子７０までの間
を伝搬する。このため、モニタリングを考えた場合、上
述したように、光ファイバ１６のクラッド５４から受光
素子７０までの距離が長いと、反射光５２の広がりが大
きくなり、そのスポット径が受光素子７０の受光面の径
を超えれば損失になるだけでなく、光ファイバアレイ１
８を構成する光ファイバ１６が例えば２５０μｍピッチ
や、更には１２７μｍピッチといった狭ピッチ間隔で並
んでいると、クロストークという問題も発生する。

【００５９】このため、光ファイバ１６から受光素子７
０までの距離は極力短いことが必要となる。この１つの
手段として、受光素子７０を極力光ファイバ１６まで近
接させることが好ましい。この場合、受光素子７０を駆
動する電気回路が配線され、かつ、受光素子７０が実装
された配線基板３６をセットする際に、受光素子７０を
いかに光ファイバ１６に近接させるかという問題が発生
する。

【００６０】この問題を解決するために、この第１の実
施の形態では、図１に示すように、配線基板３６の裏面
３６ａを上方に向け、受光素子アレイ３２が実装された
面３６ｂを下方に向けて、この配線基板３６を基体１４
上に設置するようにしている。これは、いわゆるフリッ
プチップ実装により実現されることとなる。

【００６１】また、例えば４０チャネルといったチャネ
ル数の多い光ファイバアレイ１８を考えた場合、受光素
子アレイ３２もそれに対応して長くなることは必須であ
る。この長い受光素子アレイ３２を正確に光ファイバア
レイ１８の近傍にどのように設置するかという問題も生
じる。

【００６２】この問題を解決するために、この第１の実
施の形態では、光ファイバアレイ１８に用いる基体１４
の両側に、配線基板３６を設置するための設置面４２を
有する側壁４０を設けるようにしている。この側壁４０
の上端面（設置面４２）を基準に受光素子アレイ３２を
設置することで、受光素子７０と光ファイバ１６との位
置合わせ（高さ方向）が容易になる。

【００６３】前記側壁４０の上端面（設置面４２）は、
Ｖ溝１２の存在する面（Ｖ溝上面）と、ある角度をもっ
て連続してつながるようにしておけば、特開平２−９６
６０９号公報に開示された高精度な接触式測定方法を用
いて、光ファイバ１６の中心位置（Ｖ溝１２の仮想円中
心）と設置面４２の位置関係を正確に把握することがで
き、高精度な位置合わせが容易となる。

【００６４】このような設置面４２を使用しないで、例
えばアクティブに位置を合わせをしようとすると、１２
７μｍピッチの４０チャネル受光素子アレイの場合、受
光素子アレイそのものの長さが０．３ｍｍ程度なのに対
して、幅が５ｍｍ程度にもなるため、このような長細い
形状のものを光ファイバアレイ１８と平行に設置するこ
とは非常に困難となる。

【００６５】従って、第１の実施の形態のように、基体
１４に設けられた側壁４０の上端面（設置面４２）を基
準として受光素子アレイ３２を設置することが好まし
い。また、この設置面４２に挟まれた部位に押さえ基板
２０や受光素子アレイ３２を設置することになるため、
特開平９−１２００１４号公報に記載のように、高い信
頼性をもって押さえ基板２０や受光素子アレイ３２を設
置することができる。

【００６６】上述の例では、基体１４と光学部品１３４
間に接着剤１３２を供給する際に、光ファイバ１６のコ
ア端面１６ａに接着剤１３２を存在させない方法につい
て示したが、その他、図示しないが、基体１４と光学部
品１３４とをほぼ接する距離に近接させた上でＹＡＧレ
ーザ等によって溶接を行うようにしてもよい。

【００６７】あるいは、図６に示すように、少なくとも
基体１４並びに光学部品１３４が載置される基台１５０
を用意し、この基台１５０に接着剤１３２を塗布し、そ
の後、基体１４と光学部品１３４とをほぼ接する距離に
近接させた状態で基体１４と光学部品１３４を基台１５
０上に固定するようにしてもよい。この場合、接着剤１
３２の表面張力によって基体１４と光学部品１３４との
隙間に接着剤１３２が浸入する場合があるが、この場合
においても、接着剤１３２がコア端面１６ａに到達する
前に硬化させればよい。

【００６８】次に、第２の実施の形態に係る光デバイス
１０Ｂについて図７を参照しながら説明する。

【００６９】この第２の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｂは、上述した第１の実施の形態に係る光デバイス１
０Ａとほぼ同様の構成を有するが、光ファイバ１６の外
部に、ミラー部材９０が設置されている点で異なる。こ
のミラー部材９０のミラー表面９０ａは、屈折率整合層
５６を通じて取り出された反射光５２の光路を変更する
反射面を構成している。

【００７０】反射光５２はミラー部材９０の内部を伝搬
せず、ミラー表面９０ａにて全反射して受光素子７０の
受光面まで到達する。この場合も、クラッド５４の界面
での全反射防止のために、屈折率整合層５６を設ける必
要がある。反射光５２はこの屈折率整合層５６内を伝搬
し、かつ、ミラー面９０ａで反射するため、この屈折率
整合層５６の屈折率は２．４４が最適である。

【００７１】なお、ミラー部材９０としては、例えばガ
ラス基板の表面に反射膜を形成した一般的なミラー部材
を使用することができる。

【００７２】この第２の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｂにおいても、光ファイバのコア端面と他の光学部品
との間に空気層１３０が介在することから、長期にわた
って、他の光学部品１３４との安定した結合状態を維持
することができると共に、高いモニタ効率を維持させる
ことができる。

【００７３】また、光ファイバ１６のコア端面１６ａか
らの反射光５２が、受光素子７０の受光面に対して、受
光上、適正な角度で入射することから、受光素子７０を
設置した場合における受光感度を向上させることができ
る。また、基体１４と他の光学部品１３４との固定にお
いてＵＶ接着剤１３２を用いる場合に、光ファイバ１６
の端面１６ｂから受光素子７０までの間隔として、紫外
線を透過させるのに十分な距離を確保することができ
る。

【００７４】次に、第３の実施の形態に係る光デバイス
１０Ｃについて図８を参照しながら説明する。

【００７５】この第３の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｃは、光ファイバ１６のクラッド５４内に、反射光５
２の光路を変更する全反射面８０が形成されている点で
特徴を有する。

【００７６】つまり、光ファイバ１６に、前記反射膜１
３０とは別に、反射光５２が全反射するための低屈折率
層（全反射層８２）を設ける。図８の例では、光ファイ
バ１６のクラッド５４内における反射光５２の光路上に
反射光５２が全反射するに必要な角度のスリット８２を
設けるようにしている。この全反射層８２は、空気層と
なるので、屈折率１．４４のクラッド５４から入射した
反射光５２は屈折率１の空気層で全反射が可能となる。
反射光５２の反射角度θが１６°の場合、このスリット
８２に必要な角度（基準面（鉛直面）とのなす角）は２
８°である。

【００７７】但し、反射光５２の受光素子７０への入射
角は０°であることが最良であるため、これを実現する
スリット角がより好ましい。図７の例では、３７°であ
る。

【００７８】なお、光ファイバ１６に直接スリット８２
を設けると、加工状態によってはマイクロクラック等が
発生するおそれがあるため、長期信頼性に問題を生じる
おそれもある。このため、スリット８２に低屈折率の接
着剤を充填するなどの工夫を施せば、上述のような問題
の発生を低減することができる。

【００７９】この場合も、反射光５２が取り出される部
分と受光素子７０との間に屈折率整合層５６を設けた方
が屈折率界面での反射を考慮すると好ましい。屈折率整
合層５６を設けずに空気層とした場合、光ファイバ１６
から空気、空気から受光素子７０となるため、約３０％
は反射で損失することとなる（損失１．５５ｄＢ）。こ
の反射損失の観点からすると、各屈折率界面での反射が
全て同じ反射率になるように設定すれば、最小の反射率
となり、最適といえる。この場合、屈折率２．４４の屈
折率整合層５６を設けることでトータル約９．５％の反
射となり、反射損失は０．４４ｄＢである。

【００８０】このように、第３の実施の形態に係る光デ
バイス１０Ｃにおいても、光ファイバ１６のコア端面１
６ａと他の光学部品１３４との間に空気層１３０が介在
することから、長期にわたって、他の光学部品１３４と
の安定した結合状態を維持することができると共に、高
いモニタ効率を維持させることができる。

【００８１】特に、この第３の実施の形態では、光ファ
イバ１６のクラッド５４内に、反射光５２の光路を変更
する全反射面８０を形成するようにしているため、反射
光５２の光路、例えば光ファイバ１６のコア端面１６ａ
から屈折率整合層５６までの光路を短くすることが可能
となり、しかも、反射光５２を受光素子７０の受光面に
対して直角に入射させることも可能となる。これによ
り、光ファイバアレイ１８におけるクロストークの低減
を図ることができ、光ファイバアレイ１８の高密度化を
実現させることができると共に、受光素子７０を設置し
た場合における受光感度を向上させることができる。

【００８２】この第３の実施の形態では、光ファイバ１
６の端面１６ｂから受光素子７０までの距離として１０
０μｍ程度しか確保できない。この場合、図８に示すよ
うに、例えば基体１４に固定される光学部品１４０が、
導波路１４２を有するシリコン基板だとすると、シリコ
ン基板も紫外線を通すことができないため、ＵＶ接着剤
１３２に十分に紫外線を照射させることができなくなる
場合がある。

【００８３】しかし、以下のように、例えばピグテール
の形態によって問題を回避することができる。

【００８４】即ち、図８に示すように、光学部品１４０
の上部に透明のヤトイ（図示せず）を使用するか、ヤト
イなどのような治具もない状態にすれば、光ファイバ１
６のコア５０より上部については光学部品１４０の上方
から光ファイバ１６の端面１６ｂに向けて紫外線を照射
し（矢印Ａ参照）、光ファイバ１６のコア５０より下部
については基体１４の裏面側から光ファイバ１６の端面
１６ｂに向けて紫外線を照射することで（矢印Ｂ参
照）、基体１４と光学部品１４０との間のＵＶ接着剤１
３２を硬化させることができる。この場合、当然、基体
１４自体は透明であることが必要となる。

【００８５】次に、第１の実施の形態に係る光デバイス
１０Ａを作製する方法の実施例について図１〜図４並び
に図９を参照しながら説明する。

【００８６】まず、図９のステップＳ１において、基体
１４、配線基板３６及び全反射部材９２を準備する（図
１〜図４参照）。

【００８７】この場合、基体１４は、複数のＶ溝１２と
側壁４０が一体に形成されたものを準備した。配線基板
３６にはアルミナを採用し、厚み１ｍｍとした。受光素
子７０（図４参照）としては、厚み２００μｍのフォト
ダイオードを用いた。全反射部材９２には、厚み３００
μｍ、屈折率２．２のガラスを用いた。

【００８８】加工精度等を考慮し、光ファイバアレイ１
８と受光素子アレイ３２の間隔が３２０μｍになるよう
に基体１４の側壁４０の設置面４２の高さを設定した。
また、光ファイバ１６の頂部がＶ溝１２の上面から５０
μｍ程度はみ出るようなＶ溝深さに設定した。

【００８９】その後、図９のステップＳ２において、Ｖ
溝１２に光ファイバ１６を載置した。その後、ステップ
Ｓ３において、図２に示すように、基体１４上に押さえ
基板２０を載置した後、光ファイバアレイ１８をＶ溝１
２に対して押さえ付けるように加重をかけ、光ファイバ
アレイ１８の先端部分に対して第１の屈折率整合層５６
として用いられる接着剤を供給した。このときの接着剤
には屈折率１．８のものを用いた。

【００９０】続いて、ステップＳ４において、押さえ基
板２０と基体１４の隙間を通じて、あるいは押さえ基板
４０に形成された図示しない接着剤注入口を通じて接着
剤を供給し、硬化した。

【００９１】その後、ステップＳ５において、基体１４
の端面１４ａ並びに各光ファイバ１６の端面１６ａに対
して研磨を施した。研磨の角度によって反射光５２の光
路が変化するため、各光ファイバ１６の端面１６ａから
クラッド５４外に反射光５２が取り出される部分までの
距離が、設計上、必要な距離になるように研磨した。本
実施例では、前記距離が３８０μｍになるように、基体
１４の端面１４ａ並びに各光ファイバ１６の端面１６ａ
に対して研磨を施した。端面角度、即ち、各光ファイバ
１６における端面１６ａの基準面に対する角度ψを８°
とした。

【００９２】次に、図９のステップＳ６において、全反
射部材９２の設置を行った。第１の屈折率整合層５６と
して用いる接着剤に屈折率１．８のものを使用すること
を前提に、全反射部材９２の端面９２ａの角度（基準面
（鉛直面）とのなす角）は１９°とした。これにより、
その後に設置される受光素子７０の受光面への反射光５
２の入射角は０°となる。

【００９３】また、光ファイバ１６の端面１６ｂから約
１７０μｍのところにおいて、反射光５２がクラッド５
４から抜けるので、全反射部材９２の長さを２００μｍ
とし、反射光５２がクラッド５４から抜ける位置がこの
全反射部材９２の前面９２ｂ（図４参照）から１５０μ
ｍの位置となるように設定した。

【００９４】反射光５２がクラッド５４から抜ける位置
に確実に第１の屈折率整合層５６が形成されるように屈
折率１．８のＵＶ接着剤（第１の屈折率整合層５６とし
て用いる接着剤）にて全反射部材９２を固定した。各光
ファイバ１６の端面１６ａを観察しながら位置決めを行
ったので、各チャネルに対し、ばらつきのない状態で全
反射部材９２を設置することができた。

【００９５】その後、図９のステップＳ７において、受
光素子アレイ３２の設置を行った。この工程は、まず、
全反射部材９２の後端部（端面９２ａ側の部分）を画像
で認識し、配線基板３６に実装された受光素子アレイ３
２を位置決めした。このとき、光ファイバアレイ１８の
先端から波長１．５５μｍのレーザ光を入射しておき、
出射される反射光５２を受光素子アレイ３２で受け、該
受光素子アレイ３２の出力をモニタしながら、出力が最
大となるように設置位置を微調整した。このとき、受光
素子アレイ３２のうち、１チャネルと８チャネルの受光
素子７０の出力をモニタしながら調整を行った。受光素
子７０の出力のモニタは、配線基板３６上に形成された
配線パターン３４にプローブを当てて、検出した。

【００９６】受光素子アレイ３２の高さ方向は、配線基
板３６を基体１４の側壁４０の上端面（設置面４２）に
設置させるようにしたので、全反射部材９２から２０μ
ｍの位置に設置された。このとき、配線基板３６と設置
面４２の間に熱硬化型の接着剤を塗布しておいた。そし
て、全反射部材９２と受光素子アレイ３２間の２０μｍ
のギャップに第２の屈折率整合層９４となる屈折率２．
８のＵＶ接着剤を充填し、紫外線を照射して硬化させ
た。

【００９７】その後、ステップＳ８において、光ファイ
バアレイ１８を含む基体１４全体を８０℃に加熱し、Ｕ
Ｖ接着剤の熱養生と熱硬化型接着剤の硬化を同時に行っ
た。

【００９８】最後に、図９のステップＳ９において、検
査を行った。反射光５２（モニタリング光）としては、
１３ｄＢの光を確認した。チャネル間のクロストークは
４０ｄＢと良好であった。光ファイバ１６のコア５０を
伝搬する信号光の損失は反射光成分の減衰を含め１ｄＢ
の損失であり、問題ない結果を得た。

【００９９】そして、上述の工程を踏むことにより、８
心２５０μｍピッチのファイバアレイを有するモニタリ
ング機能付き光デバイス（第１の実施の形態に係る光デ
バイス１０Ａ）が完成した。

【０１００】この場合、光デバイス１０Ａは、押さえ基
板２０が設置された部分の長さが３ｍｍ、モニタ部３０
の長さが３ｍｍ、載置面２４の長さが３ｍｍ、オープン
部２８の長さが２ｍｍであって、全長１１ｍｍと小型に
作製することができた。厚みは、基体１４、押さえ基板
２０とも１．５ｍｍであり、幅は５ｍｍとした。

【０１０１】上述の第１〜第３の実施の形態に係る光デ
バイス１０Ａ〜１０Ｃにおいては、光ファイバ１６のク
ラッド５４上に屈折率整合層５６を介して受光素子７０
を設置するようにしたが、その他、クラッド５４の一部
を削り、その削った部分に受光素子７０を設置するよう
にしてもよい。

【０１０２】以下、その構成を採用した第４の実施の形
態に係る光デバイス１０Ｄについて図１０〜図２０を参
照しながら説明する。

【０１０３】この第４の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｄは、図１０に示すように、光ファイバ１６のクラッ
ド５４のうち、受光素子７０（図１１参照）が設置され
る部分に削り込み加工を施して、例えば底面１１０ａが
平坦な凹部１１０（削り部分）を設け、更に、図１１に
示すように、該凹部１１０に受光素子７０を屈折率整合
層５６（接着剤層）を介して設置している点で特徴を有
する。これにより、反射部６０から受光素子７０の受光
面までの距離を短くすることができる。

【０１０４】図１０及び図１１では、凹部１１０の底面
１１０ａを光ファイバ１６の端面１６ｂまで連続して形
成した例を示している。もちろん、図１２に示すよう
に、凹部１１０を光ファイバ１６の端面１６ｂから遠ざ
けた位置に形成するようにしてもよい。この場合、上述
したように、ＵＶ接着剤を硬化させる目的で紫外線を透
過させる際に有利になる。

【０１０５】この第４の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｄの効果としては、以下のものが挙げられる。

【０１０６】まず、第１に、１２７μｍピッチ等のよう
に狭い間隔の光ファイバアレイ１８の場合、受光素子７
０の受光面積を小さくする必要から、反射光５２のスポ
ット径が限られることと、配列ピッチが狭いため、他の
チャネルに光が入るというクロストークの発生が問題と
なるが、この第４の実施の形態では、クラッド５４に凹
部１１０を設け、該凹部１１０に受光素子７０を設置し
たことから、光ファイバ１６のコア端面１６ａから受光
素子７０の受光面までの距離を短くすることができ、反
射光５２における受光素子７０の受光面でのスポット径
を小さくすることができる。これは、クロストークの低
減に有効となる。

【０１０７】第２に、削り込みによって形成された前記
凹部１１０における内壁１１０ｂ（図９参照）を、受光
素子７０の設置上の基準とすることで、受光素子７０
（並びに受光素子アレイ３２）の光軸方向に対するパッ
シブアライメントが可能となる。通常、受光素子７０
（並びに受光素子アレイ３２）を設置する場合、受光素
子７０からの光をモニタしながら光ファイバ１６との光
軸合わせ（信号光の出力が最も強く観測される位置を見
つけること）を行って設置するようにしているが、前記
凹部１１０における内壁１１０ｂを設置上の基準とする
ことで、上述のような信号光出力のモニタの手間をなく
すことができ、受光素子７０（並びに受光素子アレイ３
２）の設置にかかる時間の短縮、工程の簡略化を図るこ
とができる。

【０１０８】第３に、光ファイバ１６の上部における反
射光５２の損失要因の除去が可能となる。即ち、例えば
図１３Ａに示すように、Ｖ溝１２に屈折率整合層を構成
しない接着剤１１２を用いて光ファイバ１６を固定した
場合を想定する。この場合、光ファイバ１６のクラッド
５４上に接着剤１１２が残留すると、この残留した接着
剤（残留接着剤１１２ａ）の上部に屈折率整合層５６を
介して受光素子７０が設置されることになるが、クラッ
ド５４と残留接着剤１１２ａとの界面並びに残留接着剤
１１２ａと屈折率整合層５６との界面にて反射光５２の
出力が弱められることとなる。

【０１０９】一方、この第４の実施の形態では、クラッ
ド５４に対する削り込みによって、該クラッド５４に凹
部１１０を設けることから、図１３Ｂに示すように、凹
部１１０の底面１１０ａに接着剤１１２が残留するとい
うことがない。そのため、凹部１１０の底面１１０ａ上
に屈折率整合層５６を介して受光素子７０を設置して
も、前記接着剤１１２による反射光５２の損失は発生し
ない。

【０１１０】第４に、熱変動に対しても、受光素子７０
にて安定に受光を行うことができる。即ち、削り込みに
よって凹部１１０を形成すると、受光素子７０が設置さ
れる部分（凹部１１０の底面１１０ａ）が平坦面を有す
る構造となる。

【０１１１】従って、図１１に示すように、凹部１１０
の底面１１０ａ上に屈折率整合層５６を介して受光素子
７０を設置する場合や、後述する第２の具体例のように
（図１７及び図１８参照）、凹部１１０の底面に第１の
屈折率整合層５６を介して導波部材１２０を設置し、更
に、該導波部材１２０上に第２の屈折率整合層９４を介
して受光素子７０を設置する場合等において、凹部１１
０の底面１１０ａ上に設けられる屈折率整合層５６（第
１の屈折率整合層）の厚みを前記凹部１１０の底面１１
０ａ上において均一とすることができる。

【０１１２】通常、円柱状の光ファイバ１６上に屈折率
整合層５６を介して受光素子７０を設置する場合、図１
４Ａに示すように、受光素子７０の受光面をほぼ水平に
維持して設置する。ここで、受光素子７０の受光面の中
心線（光ファイバ１６の光軸に沿った線）を考えたと
き、その中心線から左右に向かうほど屈折率整合層５６
の厚みが大きくなる。屈折率整合層５６として使用され
る接着剤は、熱膨張係数が２００〜３００×１０^-7［１
／℃］と大きいために、屈折率整合層５６として用いら
れる接着剤の厚みが不均一な場合、熱変動による応力不
均一が無視できない場合がある。このような応力不均一
状態においては、その屈折率分布も不均一となる場合が
あると想定される。

【０１１３】この課題は、接着剤の硬化条件（方法）等
で回避することも可能であるが、有効な手段の１つとし
ては、この第４の実施の形態に係る光デバイス１０Ｄの
ように、削り込みによってクラッド５４に凹部１１０を
形成することによって、図１４Ｂに示すように、屈折率
整合層５６として用いる接着剤の厚みを均一にすること
が挙げられる。

【０１１４】ここで、その他の好ましい態様について説
明する。削り込みを行う位置については、特に限定され
るものではないが、光ファイバ１６のコア端面１６ａか
ら受光素子７０の受光中心までの距離が５ｍｍの範囲に
なる位置であることが望ましい。これは光ファイバ１６
のコア端面１６ａから受光位置までの距離が大きくなる
ほど反射モニタ光の受光パワーが減衰してしまうためで
ある。

【０１１５】削り込み量については、直径１２５μｍの
シングルモードファイバの場合、光ファイバ１６の上端
部から最小で２１μｍ、最大で５５μｍとすることが望
ましい。

【０１１６】削り込み量の最小値については、反射光５
２のスポット径が約１０μｍにおいて損失要因の影響を
受けないことを考慮すると、直径１２５μｍファイバの
場合、凹部１１０の底面１１０ａの幅が最低１０μｍに
なるように、最小で２１μｍの削り量とすることが好ま
しい。

【０１１７】また、光ファイバ１６におけるコア５０の
周囲には、コア５０の内部での全反射による漏れ光が周
囲２μｍ程度存在している。この範囲まで削り込みを行
ってしまうと、コア５０を伝搬する信号光まで取り出し
てしまうことになり、信号光の損失要因となる。従っ
て、削り込みの最大値はこの漏れ光の範囲に及ばないこ
とが好ましい。例えば直径１２５μｍシングルモードフ
ァイバの場合、５５μｍまで削り込みを行うことができ
る。

【０１１８】次に、第４の実施の形態に係る光デバイス
１０Ｄにおいて、凹部１１０に受光素子７０を設置する
いくつかの形態（具体例）について説明する。

【０１１９】まず、第１の具体例に係る光デバイス１０
Ｄａは、図１５及び図１６に示すように、凹部１１０の
底面１１０ａに屈折率整合層５６を介して受光素子７０
を設置することが挙げられる。この場合、コア５０から
凹部１１０の底面１１０ａまでの最短距離ｄは２μｍ以
上であり、屈折率整合層５６の厚みｔは３μｍ未満が好
ましい。

【０１２０】次に、第２の具体例に係る光デバイス１０
Ｄｂは、図１７及び図１８に示すように、凹部１１０の
底面１１０ａに第１の屈折率整合層５６を介して導波部
材１２０を設置し、更に、該導波部材１２０上に第２の
屈折率整合層９４を介して受光素子７０を設置する。導
波部材１２０としては、ガラスや高分子材料が挙げられ
る。

【０１２１】この第２の具体例に係る光デバイス１０Ｄ
ｂは、コア５０の近傍まで削り込みを行って凹部１１０
を形成する場合に好ましい。即ち、光ファイバ１６のよ
うな導波路は、その実効屈折率により、光の伝搬形態が
決定される。コア５０の近傍に受光素子７０のような屈
折率の大きな物質が配置されると、このコア５０におけ
る光の伝搬形態に影響を及ぼす場合がある。このような
影響が懸念される場合は、この第２の具体例に示すよう
に、凹部１１０の直上にガラスや高分子材料にて構成さ
れた導波部材１２０を屈折率整合層５６を介して配置す
ればよい。

【０１２２】次に、第３の具体例に係る光デバイス１０
Ｄｃは、図１９及び図２０に示すように、上述した第１
の具体例に係る光デバイス１０Ｄａとほぼ同様の構成を
有するが、屈折率整合層５６の厚みｔが３μｍ以上であ
る点で異なる。この第３の具体例においては、コア５０
の近傍に受光素子７０を設置する場合の影響の懸念を払
拭したい場合で、かつ、第２の具体例に示すような導波
部材１２０を設置することが困難な場合に有効である。

【０１２３】これらの具体例に係る光デバイス１０Ｄａ
〜１０Ｄｃにおいては、凹部１１０と受光素子７０間、
あるいは凹部１１０と導波部材１２０間に屈折率整合層
５６を介在させるようにしているが、これらの場合、屈
折率整合層５６として機能する接着剤を用いることが挙
げられる。一般に、接着剤の厚みを制御すること、特
に、薄く制御することは容易ではないが、厚くすること
は容易である。従って、第３の具体例に係る光デバイス
１０Ｄｃにおいては、製造の簡単化においても有利とな
る。

【０１２４】上述の第４の実施の形態に係る光デバイス
１０Ｄ並びに第１〜第３の具体例に係る光デバイス１０
Ｄａ〜１０Ｄｃにおいては、基体１４にＵＶ接着剤１３
２を介して他の光学部品１４０（図８参照）を結合させ
る場合、上述した第３の実施の形態に係る光デバイス１
０Ｃと同様に、光ファイバ１６のコア５０より上部につ
いては光学部品１４０の上方から光ファイバ１６の端面
１６ｂに向けて紫外線を照射し（矢印Ａ参照）、光ファ
イバ１６のコア５０より下部については基体１４の裏面
側から光ファイバ１６の端面１６ｂに向けて紫外線を照
射してやることで（矢印Ｂ参照）、基体１４と光学部品
１４０との間のＵＶ接着剤１３２を硬化させることがで
きる。

【０１２５】なお、この発明に係る光デバイスは、上述
の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱すること
なく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

【０１２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光デ
バイスによれば、モニタリング機能を有する光デバイス
と別の光学部品と結合した場合において、長期にわたっ
て、別の光学部品との安定した結合状態を維持できると
共に、高いモニタ効率を維持させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る光デバイスを正面から
見て示す断面図である。

【図２】第１の実施の形態に係る光デバイスを側面から
見て示す断面図である。

【図３】受光素子アレイが実装された配線基板を示す説
明図である。

【図４】第１の実施の形態に係る光デバイスにおけるモ
ニタ部の一例を示す拡大図である。

【図５】第１の実施の形態に係る光デバイスにおけるモ
ニタ部の他の例を示す拡大図である。

【図６】第１の実施の形態に係る光デバイスの固定方法
における他の例を示す拡大図である。

【図７】第２の実施の形態に係る光デバイスにおけるモ
ニタ部の一例を示す拡大図である。

【図８】第３の実施の形態に係る光デバイスにおけるモ
ニタ部の一例を示す拡大図である。

【図９】実施例に係る製造方法を示す工程ブロック図で
ある。

【図１０】第４の実施の形態に係る光デバイスにおい
て、クラッドに凹部を形成した状態を示す説明図であ
る。

【図１１】第４の実施の形態に係る光デバイスを側面か
ら見て示す断面図である。

【図１２】クラッドの他の部分に凹部を形成した状態を
示す説明図である。

【図１３】図１３Ａはクラッド上に残留する接着剤の影
響を示す説明図であり、図１３Ｂは凹部による効果を示
す説明図である。

【図１４】図１４Ａは円柱状の光ファイバ上に屈折率整
合層を形成した場合の影響を示す説明図であり、図１４
Ｂは凹部による効果を示す説明図である。

【図１５】第１の具体例に係る光デバイスを側面から見
て示す断面図である。

【図１６】図１５におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線上の断面図
である。

【図１７】第２の具体例に係る光デバイスを側面から見
て示す断面図である。

【図１８】図１７におけるＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線上
の断面図である。

【図１９】第３の具体例に係る光デバイスを側面から見
て示す断面図である。

【図２０】図１９におけるＸＸ−ＸＸ線上の断面図であ
る。

【符号の説明】

１０Ａ〜１０Ｄ、１０Ｄａ〜１０Ｄｃ…光デバイス １２…Ｖ溝 １４…基体 １４ａ…端面（傾斜端面） １６…光ファイバ １６ａ…端面（傾斜端面） １８…光ファイバアレ
イ ２０…押さえ基板 ３２…受光素子アレイ ３６…配線基板 ４０…側壁 ４２…設置面 ５０…コア ５２…反射光 ５４…クラッド ５６…屈折率整合層（第１の屈折率整合層） ７０…受光素子 ８０…全反射面 ９０…ミラー部材 ９２…全反射部材 ９４…第２の屈折率整合層 １１０…凹部 １２０…導波部材 １３０…空気層 １３２…接着剤 １３４、１４０…光学
部品 １５０…基台

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA11 BA14 BA24 BA31 BA35 CA10 CA34 DA03 DA04 DA12 DA16 DA17 5F088 AA01 AB07 BA03 BB01 EA02 JA11 JA14 JA20

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】１以上の光ファイバの少なくともコア端面
   に、空気層を介して他の光学部品の導波路が配置されて
   いることを特徴とする光デバイス。
2. 【請求項２】請求項１記載の光デバイスにおいて、 前記光ファイバが載置されるＶ溝が形成された基体を有
   し、 前記基体と前記他の光学部品とが共に固定される基台を
   有することを特徴とする光デバイス。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の光デバイスにおい
   て、 前記光ファイバが載置されるＶ溝が形成された基体を有
   し、 前記基体の端面のうち、前記１以上の光ファイバの少な
   くともコア端面以外の部分と、前記他の光学部品とが固
   着部材を介して固定されていることを特徴とする光デバ
   イス。
4. 【請求項４】請求項３記載の光デバイスにおいて、 前記固着部材は、接着剤であることを特徴とする光デバ
   イス。
5. 【請求項５】請求項３記載の光デバイスにおいて、 前記固着部材は、溶接部材であることを特徴とする光デ
   バイス。
6. 【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項に記載の光デ
   バイスにおいて、 前記１以上の光ファイバの少なくともコア端面から前記
   空気層との屈折率差を利用した反射光を、該光ファイバ
   のクラッド外に屈折率整合層を通じて取り出す構造を有
   することを特徴とする光デバイス。
7. 【請求項７】請求項６記載の光デバイスにおいて、 前記反射光の光路上であって、かつ、前記光ファイバの
   クラッド外の位置に設置された光素子と、 前記反射光を、前記光素子に対して、適正な角度で入射
   させる手段とを有することを特徴とする光デバイス。
8. 【請求項８】請求項２〜７のいずれか１項に記載の光デ
   バイスにおいて、 前記基体のうち、前記光ファイバの少なくともコア端面
   と対応する端面が、前記光ファイバの少なくともコア端
   面とほぼ同一の角度で傾斜していることを特徴とする光
   デバイス。
9. 【請求項９】請求項７又は８記載の光デバイスにおい
   て、 前記光素子は、配線基板上に実装され、 前記基体は、前記Ｖ溝の形成部分の両側において立ち上
   がる側壁が一体に形成され、 前記側壁の上端面に前記配線基板が前記光素子を前記光
   ファイバに向けて載置されていることを特徴とする光デ
   バイス。