JP2003296901A - 磁気記録装置及び磁気記録方法 - Google Patents
磁気記録装置及び磁気記録方法Info
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Abstract
る新規な磁気記録装置及び磁気記録方法を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 磁界印加手段(16)と、電流供給手段
(15)と、を備え、第1の磁性体層(14)と第2の
磁性体層(12)とを有する記録媒体(10)に対して
情報を磁気的に記録する磁気記録装置であって、磁界印
加手段により前記第1の磁性体層に磁界を印加しそのス
ピンを偏極させた状態で、電流供給手段から記録媒体に
電流を供給することにより、供給された電流を第1の磁
性体層においてスピン偏極させた後に第2の磁性体層に
供給してその磁化をスピン偏極に応じた方向とすること
により情報を記録することを特徴とする磁気記録装置を
提供する。
Description
気記録方法に関し、特に、記録媒体の熱揺らぎ限界を超
える超高密度磁気記録が可能な磁気記録装置及び磁気記
録方法に関する。
伴って、情報・データの記憶・再生機能を担うHDD
(Hard Disk Drive)などの磁気記憶装置には、高速・
高密度化が常に要求されている。しかし、高密度化には
物理的な限界があると言われており、この要求を満たし
続けて行けるかどうか問題視されている。
記録媒体は、微細な磁性粒子の集合体を含む磁性層を有
する。高密度記録を行うには、磁性層に記録される磁区
を小さくする必要がある。小さな記録磁区を分別できる
ためには磁区の境界が滑らかであることが必要であり、
そのためには磁性層に含まれる磁性粒子を微小化する必
要がある。また、隣接する磁性粒子にまで磁化反転が連
鎖すると、磁区の境界の「乱れ」となるので、磁性粒子
間に交換結合相互作用が働かないように、磁性粒子間は
非磁性体によって磁気的に分断されている必要がある。
また、ヘッドと媒体との間の磁気的相互作用の観点か
ら、高密度の記録を行うには、磁性層の膜厚も小さくす
る必要がある。
ユニット(上述の要求を満たしていくと磁性粒子とほぼ
等しくなる)の体積をさらに小さくする必要がある。と
ころが、磁化反転ユニットを微小化すると、そのユニッ
トが持つ磁気異方性エネルギー(磁気異方性エネルギー
密度Ku×磁化反転ユニットの体積Va)が熱揺らぎエネ
ルギーよりも小さくなり、もはや磁区を保持することが
できなくなる。これが熱揺らぎ現象であり、記録密度の
物理的限界(「熱揺らぎ限界」と呼ばれる)の主因とな
っている。
気異方性エネルギー密度Kuを大きくすることが考えら
れる。しかし、上記のようなHDD媒体の場合、記録
時、すなわち高速で磁化反転動作を行うときの保磁力H
cwは、Kuにほぼ比例するので、Kuを大きくすると、現
状の記録ヘッドが発生しうる磁界では、記録ができなく
なってしまう。
磁化反転ユニットの体積Vaを大きくすることも考えら
れる。しかし、媒体面内での磁性粒子のサイズを大きく
することによりVaを大きくすると、高密度記録を達成
できない。また、記録層の膜厚を厚くすることによりV
aを大きくすると、ヘッド磁界が記録層の下部にまで十
分に到達しないために磁化反転が起こらなくなり、やは
り高密度記録を達成できない。
作製することが困難のために、高密度記録を達成するこ
とが困難となってきている。
達成するためには、磁気記録ヘッドからの記録磁界によ
る記録や、記録パターンからの漏洩磁界を再生ヘッドで
検出する方式では問題点が多く、電流などによる記録、
再生方式を新たに開発することが必要となってきてい
る。
の認識に基づいてなされたものであり、その目的は、熱
揺らぎ限界を超える高密度記録を実現できる新規な磁気
記録装置及び磁気記録方法を提供することにある。
め、本発明の第1の磁気記録装置は、磁気記録媒体の第
1の磁性体層に磁界を印加し、その磁化方向を方向付け
る磁界印加部と、前記磁気記録媒体の第2の磁性体層へ
の通電電流を前記第1の磁性体層を介して供給する電流
供給手段とを備え、前記電流供給手段による前記第2の
磁性体層への通電により、前記第2の磁性体層の磁化方
向を前記第1の磁性体層の磁化方向に対応した方向とす
ることにより磁気的に情報記録を行うことを特徴とす
る。
1の磁性体層と第2の磁性体層を有する磁気記録媒体
と、前記第1の磁性体層に磁界を印加し、その磁化方向
を方向付ける磁界印加部と、前記第2の磁性体層への通
電電流を前記第1の磁性体層を介して供給する電流供給
手段とを備え、前記電流供給手段による前記第2の磁性
体層への通電により、前記第2の磁性体層の磁化方向を
前記第1の磁性体層の磁化方向に対応した方向とするこ
とにより磁気的に情報記録を行うことを特徴とする。
び第2の磁性体層の間に挿入された非磁性体層をさらに
有するものとすることができる。また、前記磁気記録媒
体の前記非磁性体層はCuであり、2nm 〜 10nm
の厚さを有するものとすることができる。
第2の磁性体層を有する複数の記録単位領域が、分離領
域を挟んで2次元的に配列されてなるものとするこがで
きる。
記第2の磁性体層の保磁力よりも小さいものとすること
ができる。
部に隣接させた導体または半導体のプローブ針であるも
のすることができる。
り前記第1の磁性体層の磁化方向が方向付けられる範囲
は、前記電流供給手段による前記第2の磁性体層への通
電により前記第2の磁性体層の磁化方向が前記第1の磁
性体層の磁化方向に対応した方向とされる範囲よりも広
いものとすることができる。
性体層に磁界を印加し、その磁化方向を方向付け、前記
第1及び第2の磁性体層間の磁気抵抗効果を、前記第1
及び第2の磁性体層に供給される検出電流変化により検
出することで前記第2の磁性体層に磁気的に記録された
情報を読み取り可能とすることができる。また、前記磁
界印加部の前記磁気記録媒体に対する印加磁界は、前記
第2の磁性体層の磁化方向を実質的に変化させない強さ
であるものとすることができる。また、前記磁界印加部
は、前記電流供給手段による前記第2の磁性体層への通
電と同時または通電前に印加磁界を発生するものするこ
とができる。また、前記磁気記録媒体に供給される情報
記録時の通電電流は、情報再生時の通電電流よりも大き
いものとすることができる。
媒体の第1の磁性体層に磁界を印加して、その磁化方向
を方向付け、前記磁気記録媒体の第2の磁性体層へ前記
第1の磁性体層を介して通電し、前記第2の磁性体層の
磁化方向を前記第1の磁性体層の磁化方向に対応した方
向とすることにより磁気的に情報記録を行うことを特徴
とする。
段から供給された電流を、プローブを通して高偏極スピ
ンコントロール層を通過させることでスピン偏極電流に
変え、そのスピン偏極電流を用いて記録層の磁化を反転
させることにより記録する。記録する磁化の方向は、高
偏極スピンコントロール層を磁気ヘッドからの磁界でコ
ントロールする。再生時には、高偏極スピンコントロー
ル層の磁化と記録層の磁化の相対角度による巨大磁気抵
抗効果(Giant Magnetoresistence Effect)を利用して
再生する。
態について説明する。
る磁気記録方法の原理を表す概念図である。すなわち、
同図は、磁気記録媒体10と、磁界印加手段16と、プ
ローブ15による電子照射手段と、を模式的に表した断
面図である。
は、電極層11の上に、磁気記録層12、中間層13及
び高偏極スピンコントロール層14を積層した構造を有
する。この磁気記録媒体の高偏極スピンコントロール層
14側に、電子照射手段としてのプローブ15が設けら
れている。プローブ15と磁気記録媒体10とは接触し
ていても、していなくてもよい。
加手段としての記録ヘッド16が設けられる。プローブ
15による局所的な電子照射と、記録ヘッド16による
磁界印加により、記録層12に微細な磁化反転部分を形
成することができる。なお、プローブ15は記録ヘッド
16と一体化してもよい。
録すなわち「書き込み」を行う場合は、図1(a)から図
2(c)に沿って行われる。図1(a)は初期状態であ
り、磁気記録層12の磁化はすべて上向き方向を向いて
いる。このときスピン偏極コントロール層14の磁化方
向は特に定められていない。
きの磁界を放出し、高偏極スピンコントロール層14の
磁化を下向きに磁化させている。磁界の照射されている
領域は図1上では点線の範囲内で、記録ビット、4ビッ
ト分である。記録ヘッド16からの磁界では磁気記録層
12の磁化には影響を及ぼさない。
5から記録媒体10に向けて電子を供給する。供給され
た電子のスピンは、高偏極スピンコントロール層14に
より特定の方向(図では下向き)に偏極される。そし
て、このようにスピン偏極した電子が磁気記録層12を
通過する際に、磁気記録層12の磁化Mの方向を、その
スピンの向きに応じた所定の方向に向ける。
込むために記録ヘッド16とプローブ15を移動させて
いる。図上では記録ヘッド16とプローブ15を移動さ
せているが、磁気記録媒体10を移動させても構わな
い。
めに、上向きの磁界を記録ヘッド16から照射し、高偏
極スピンコントロール層14の磁化を上向きにしてい
る。図2(c)において、プローブ15から記録媒体1
0に向けて電子を供給し、磁気記録層12の磁化を上向
きに記録する。
偏極スピンコントロール層14は、プローブ15から供
給される電流を、スピン偏極した電流に変換する作用を
有する。そして、このスピン偏極電流がある閾値より大
きくなったとき、磁気記録層12の磁化を反転させるこ
とができる。この閾値は、異方性磁界Hkに依存し、外
部磁界Hと飽和磁化Msにも依存する。
曲線を表すグラフ図である。すなわち、同図の横軸は、
記録層12に供給されるスピン偏極電流を表し、縦軸
は、記録層の磁化Mを表す。同図から分かるように、V
SMなどで測定した通常の強磁性体のMHカーブと同様
の振舞いを示す。つまり、スピン偏極電流Iがある閾値
を超えると、磁化Mが生ずる。
る。つまり、図3に例示した電流−磁化曲線は、外部磁
界により横軸方向にシフトする。
録層12の電流−磁化曲線を例示するグラフ図である。
すなわち、同図の横軸は、記録層12に供給されるスピ
ン偏極電流を表し、縦軸は、記録層の磁化Mを表す。
Mを生ずるためのスピン偏極電流の閾値は、外部磁界H
によってコントロールすることも可能である。
記録ヘッド16からの磁界により、スピンコントロール
層14におけるスピン偏極の方向が制御される。そし
て、プローブ15から供給された電子のスピンは、スピ
ンコントロール層14を通過する際に、そのスピン偏極
の方向に偏極され、磁気記録層12に供給されて、その
スピンの向きに応じた磁化Mを書き込む。この書き込み
電流は、その後、電極層11に流出する。
に、記録ヘッド16からの外部磁界によって、記録層1
2のスピン偏極電流の書き込み閾値を制御することも可
能である。
する磁界は、特に微小範囲に制限する必要はなく、微小
なプローブ15の先端から供給される局所的な電流によ
り、磁気記録層12の極めて微小な範囲のみに書き込み
を行うことができる。つまり、従来と比較して、飛躍的
に記録密度を高めた超高密度磁気記録が可能となる。
出しは、磁気抵抗効果を利用して行うことができる。す
なわち、記録層12とスピンコントロール層14との間
の抵抗を測定する。記録層12の磁化方向とスピンコン
トロール層14の磁化方向が平行の場合には抵抗が低
く、両者の磁化が反平行の場合には抵抗が高い。
記録ヘッド16により所定の方向に制御することができ
るので、抵抗変化を検出することにより記録層12の磁
化方向が分かる。
電流より小さくなければならない。もし、読み出し時の
電流が書き込み時より大きいと記録層の磁化が反転し、
情報を失ってしまうからである。
装置のシステム構成について説明する。図の様に3つの
IC、あるいは同等の機能が有る複合ICでこの記録再
生システムを駆動することができる。まず記録時には、
記録用ICで記録回路1に駆動電流(Iw1)を発生さ
せ、記録用コイルを励磁する。同時にタイミングパルス
を発生させ記録用IC2を同期させる。記録用IC2で
はタイミングパルスを基準にして、記録回路2にディレ
イタイム(t2)のタイミングで駆動電流Iw2を発生
させる(図5(b))。こうすれば磁気記録媒体の高偏
極スピンコントロール層14の磁化を所定の方向に磁化
させた後に駆動電流Iw2で磁気記録層12の磁化を同
方向に磁化することができる。この場合t2+t3とt
1の両方の時間が最短ビット長をヘッドが横切る時間よ
り小さいことが要求される。
で一定のバイアス電流(Ib)を流し、媒体中の磁気抵
抗効果で媒体に記録された磁化による抵抗変化、すなわ
ち電圧変化を同じく再生用ICで読み取る。上述してい
るように、IbとIw2の関係は Ib < Iw2 (1) を満たす必要がある。以上は電流駆動による再生原理で
あるが、この磁気記録媒体10とプローブ15と記録ヘ
ッド16を含む再生回路において、定電圧に保ったほう
が良い場合もある。例えばプローブとヘッド境界の接触
抵抗等は信頼性等により一定電圧に保つ方が有利である
可能性がある。この場合は再生用ICで定電圧駆動でバ
イアス電流(Ib)を流し、同じく再生用ICで電流変
化を読み取る方法が適している。以上のIw2、Ibの大き
さ等は前述のような規定を用いるのが良い。
磁気記録媒体10、プローブ15、磁気ヘッド16のそ
れぞれについて詳述する。
る。磁気記録媒体10は、図1に例示した基本的な構成
要素の他にも、必要に応じて、磁気記録層12などの性
能(結晶構造や配向特性など)を制御するための下地層
(図示せず)を設けてもよい。また、必要に応じて、磁
気記録層12やスピンコントロール層14の上に、カー
ボンやSiO2などからなる保護層(図示せず)を設け
てもよい。
複数の領域に分離された構造としてもよい。
表す模式図である。すなわち、同図に例示した記録媒体
10Aは、電極層11の上に設けられた磁気記録層1
2、中間層13、スピンコントロール層14が、それぞ
れ分離領域18により複数の独立した部分に分割されて
いる。分離領域18は、非磁性あるいは電気的絶縁性を
有する材料により形成することができる。
複数の部分に分割すると、記録ビットサイズを確実に規
定することが可能となり、記録エリアの「はみ出し」、
あるいはクロストーク(cross-talk)、クロスイレーズ
(cross-erase)などの発生を抑制できる。
も記録層12、中間層13、スピンコントロール層14
の全体を分割する必要はない。例えば、図7に例示した
磁気記録媒体10Bの場合、磁気記録層12のみが分離
領域18によって複数の独立した部分に分割されてい
る。この場合にも、分離領域18は、非磁性あるいは電
気的絶縁性を有する材料により形成することができ、記
録ビットサイズを正確に規定できるという効果が得られ
る。同様に、分離領域18を中間層13のみ、あるいは
スピンコントロール層14のみに設けても、電流狭窄作
用などを利用した記録ビットサイズの規定が可能とな
る。
においても、記録層12に用いられる磁性粒子の材料
は、磁気異方性が大きいものが適している。この観点か
ら、磁性金属材料として、コバルト(Co)、鉄(F
e)およびニッケル(Ni)からなる群より選択される
磁性元素と、白金(Pt)、サマリウム(Sm)、クロ
ム(Cr)、マンガン(Mn)、ビスマス(Bi)およ
びアルミニウム(Al)からなる群より選択される金属
との合金を用いることが好ましい。
(Co)基合金、特にCoPt、SmCo、CoCrを
ベースとしたものや、FePt、CoPtなどの規則合
金がより好ましい。具体的には、Co−Cr、Co−P
t、Co−Cr−Ta、Co−Cr−Pt、Co−Cr
−Ta−Pt、Fe50Pt50、Fe50Pd50、
Co3Pt1などが挙げられる。
−Fe−Co、Tb−Co、Gd−Tb−Fe−Co、
Gd−Dy−Fe−Co、Nd−Fe−Co、Nd−T
b−Fe−Coなどの希土類(RE)−遷移金属(T
M)合金、磁性層と貴金属層との多層膜(Co/Pt、
Co/Pdなど)、PtMnSbなどの半金属、Coフ
ェライト、Baフェライトなどの磁性酸化物などを用い
ることもできる。
上させるために、例えば銅(Cu)、クロム(Cr)、
ニオブ(Nb)、バナジウム(V)、タンタル(T
a)、チタン(Ti)、タングステン(W)、ハフニウ
ム(Hf)、インジウム(In)、シリコン(Si)、
ボロン(B)など、またはこれらの元素と、酸素
(O)、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)の中から
選ばれる少なくとも1種の元素との化合物を添加しても
よい。
いられてきた面内磁気異方性でも、光磁気記録で用いら
れてきた垂直磁気異方性でも、両者が混合されたもので
も構わない。磁気異方性定数に関しては、熱揺らぎ限界
を打破するために大きな磁気異方性定数を有する記録層
を用いる。さらに、磁気ヘッドからの磁界に影響されな
い程度のHcを有する必要もある。
性粒子と、これら磁性粒子の間を埋める非磁性体とを有
し、磁性粒子が非磁性体中に分散された構造を用いても
構わない。
は、特に限定されない。例えば、磁性材料に非磁性元素
を添加して成膜し、磁性粒子の粒間にクロム(Cr)、
タンタル(Ta)、ボロン(B)、酸化物(SiO2な
ど)、窒化物などの非磁性体を析出させる方法を用いて
もよい。
性体に微細な孔を形成し、その孔に磁性粒子を埋め込む
方法を用いてもよい。あるいは、PS−PMMAなどの
ジブロックコポリマーを自己組織化させて一方のポリマ
ーを除去し、他方のポリマーをマスクとして非磁性体に
微細な孔を形成し、孔に磁性粒子を埋め込む方法を用い
てもよい。また、粒子線照射によって加工する方法を用
いてもよい。
高密度記録を可能とし、電流を流すことを考慮すると、
100nm以上の厚い膜は好ましくない。ただし、記録
層12の厚さを0.1nm以下にしようとすると、膜を
形成するのが困難になる場合が多いので、用いる成膜技
術にも応じて適宜決定する必要がある。
ず)は、磁性体でも非磁性体でもよい。下地層の厚さは
特に限定されないが、500nmよりも厚いと製造コス
トが増加するので好ましくない。
たは非磁性体の結晶構造を制御する目的、または基板か
らの不純物の混入を防ぐ目的で設けられる。例えば、磁
性体に対して要求される結晶配向の格子間隔に近い格子
間隔を有する下地層を用いれば、磁性体の結晶配向を制
御することができる。また、適切な表面エネルギーを有
するアモルファス下地層を用いることにより、記録層1
2の磁性体または非磁性体の結晶性またはアモルファス
性を制御することもできる。
層を設けてもよい。この場合、2つの下地層で機能を分
担できるので、所望の効果の制御が容易になる。たとえ
ば、記録層の結晶粒を小さくする目的で、基板上に粒径
の小さいシード層を設け、その上に記録層の結晶性を制
御する下地層を設ける手法が知られている。基板からの
不純物の混入を防ぐためには、下地層として格子間隔が
小さいかまたは緻密な薄膜を用いることが好ましい。
ーブ15から供給される電流を、記録層12に記録すべ
き磁化Mの方向のスピン偏極電流に変換する役割を有す
る。磁化Mの方向、すなわちスピンコントロール層14
のスピン偏極の方向は、磁気ヘッド16からの磁界によ
って制御することができる。したがって、スピンコント
ロール層14は、磁気ヘッド16からの磁界に素早く応
答することができる軟磁性で構成されていることが望ま
しい。また、スピン偏極を確実に行うため、高偏極スピ
ンコントロール層14は、スピン偏極度の高い材料によ
り形成されることが望ましい。ここで、スピン偏極度P
は、フェルミエネルギーにおけるアップスピン電子とダ
ウンスピン電子の状態密度の差であり、次式により表さ
れる。 P=(D(↓)−D(↑))/(D(↓)+D(↑)) (2) ここで、D(↑)とD(↓)は、アップスピン電子とダ
ウンスピン電子の状態密度をそれぞれ表す。
ては、「ハーフメタル」と呼ばれる物質が知られてお
り、そのスピン偏極度は1.0である。すなわち、図8
のようにダウンスピン電子のみが、フェルミエネルギー
付近で状態密度を有する。
いるのは、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケ
ル(Ni)の少なくともいずれからなるペロブスカイト
型構造強磁性酸化物、ルチル型構造強磁性酸化物、スピ
ネル型強磁性酸化物、パイロクロア型強磁性酸化物、少
なくともチタン(Ti)、バナジウム(V)、クロム
(Cr)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト
(Co)、ニッケル(Ni)から選ばれる材料を含む磁
性半導体薄膜などで、これらの材料を高偏極スピンコン
トロール層14に用いることができる。その他に、鉄
(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)の単体
や、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)
を少なくとも一つ含む合金も、有限のスピン偏極度Pを
示すことから高偏極スピンコントロール層14に用いる
ことができる。
特に制限されないが、高密度記録を達成し、且つ電流を
垂直方向に流すことを考慮すると、100nm以上の厚
い膜は好ましくない。ただし、記録層の厚さを0.1n
m以下にしようとすると膜を形成するのが容易でないの
で、成膜技術も勘案して適宜決定する必要がある。
関しては、例えば、複数の磁性粒子と磁性粒子の間を埋
める絶縁体とを有し、磁性粒子が絶縁体中に分散された
構造を用いても構わない。このような構造にすると、膜
面に対して垂直方向の電流が面内方向に拡散することを
防ぐことができる。
層14の磁化と記録層12の磁化とが交換結合すること
を防ぐ目的で設けられる。交換結合の大きさは、その間
の距離が離れると減衰することが知られている。この観
点からすると、厚い方が好ましいが、スピン偏極電流に
より記録層12に記録を行うことを考えると、スピン偏
極電流の偏極方向が保存されなければならないので、そ
の材料の平均自由行程より短くならなければならない。
た場合、銅(Cu)の平均自由行程は10nm程度であ
り、交換結合は3nm以上にすれば無視できる範囲にな
るので、銅(Cu)を利用した中間層13の厚さとし
て、3nmから10nmの範囲内にあることが好まし
い、ということになる。
は、導体あるいは半導体からなるプローブ15から、例
えば、電界放出により電子を照射してもよいし、プロー
ブ15と磁気記録媒体10とを接触させて電流を流して
もよい。この場合のプローブとしては、金属や半導体な
どからなる針状あるいは先端に突起を有するものを用い
ることができる。また例えば、「カーボンナノチュー
ブ」などの微細な構造体を利用することもできる。
ない電極を設け、その電極から磁気記録媒体10に電流
を流してもよい。すなわち、磁気記録媒体10に電流を
流せさえすれば、電流を流す手段としては、当業者が適
宜選択したものを採用できる。
手段は、通常のHDDで用いられているような浮上スラ
イダーの端面に誘導コイルと磁極を含む磁気回路を有す
るものでもよいし、永久磁石を設置してもよいし、媒体
に磁性層を追加して温度分布または光照射によって磁化
分布を生じさせ瞬間的・局所的な磁界を発生させてもよ
いし、情報の記録を行う磁性層自身から発生する漏洩磁
界を利用してもよい。
の距離を可変にするか、磁石を微細化するなどの工夫に
よって、高速・高密度の磁界印加ができるようになる。
体10の上部に電極層19を設けた具体例を表す模式図
である。すなわち、同図に例示した磁気記録媒体10C
は、下部電極層11の上に、記録層12、中間層13、
高偏極スピンコントロール層14が積層され、さらにそ
の上に、上部電極層19が設けられた構造を有する。そ
して、この積層構造は、分離領域18により複数の領域
に分割されている。この分割された領域のそれぞれが、
記録ビットとして作用する。
極19から下部電極11へ電流を膜面に対して垂直に流
す。従って、分割された上部電極19のそれぞれに任意
に電流を与えることができれば、図1に例示したプロー
ブ15は必ずしも必要ない。
の形態についてさらに詳細に説明する。
いて用いた構成を表す概念図である。
4としてルチル型構造を示す酸化クロム(CrO2)
を、記録層12としてコバルト白金(CoPt)を、中
間層13として銅(Cu)を、電極層11として金(A
u)をそれぞれ用いて記録媒体を作製した。
(Au)電極層11を形成した。次に、シリコン基板S
の上にコバルト白金(CoPt)層12を形成し、その
上に銅(Cu)を成長させた。さらに、その上に酸化ク
ロム(CrO2)を形成した。コバルト白金(CoP
t)の厚さは約20ナノメートル、銅(Cu)は5ナノ
メートル、酸化クロム(CrO2)は10ナノメートル
とした。
(Au)でコートしたものをプローブ15として用い
た。プローブ15はコーン状で、先端の直径は約10ナ
ノメートルであった。さらに、磁気ヘッド16として、
外部から2kOeの磁界を印加できるようにした。
媒体に対して、VSMによる磁化測定を行った結果を表
すグラフ図である。すなわち、同図の横軸は磁界H、縦
軸は磁化Mをそれぞれ表す。なお、これとは別に測定し
たMH特性曲線から、本実施例に用いたものと同様の酸
化クロム(CrO2)、コバルト白金(CoPt)の単
層のHcは、それぞれ500Oe、2500Oeであっ
た。
記録媒体は、明らに2段のループを示しており、500
Oe、2500Oe付近で磁化Mの変化が見られる。つ
まり、酸化クロム(CrO2)とコバルト白金(CoP
t)の層が磁気的に交換結合していないために、それぞ
れのHcがお互いに影響を及ぼさない特性曲線が得られ
ていることが分かった。
ートルの銅(Cu)の層を挿入することにより、酸化ク
ロム(CrO2)からなるスピンコントロール層14
と、コバルト白金(CoPt)からなる記録層12の間
の交換結合が作用していないことが確認できた。またさ
らに、磁界Hの方向が媒体面に対して垂直方向(面直方
向)であったことから、コバルト白金(CoPt)層1
2の容易軸方向が面直方向になっていることが同時に確
認できた。
った。
バルト白金(CoPt)層12の磁化を上向きの方向に
揃えておく。この記録媒体に対して、下向きの磁界を加
えて酸化クロム(CrO2)層14のみの磁化を反転さ
せる。この状態でプローブ15から電子線照射を行い、
同時に記録媒体の抵抗を測定した。電子線照射を行う前
は、酸化クロム(CrO2)層14とコバルト白金(C
oPt)層の磁化は反平行に配置されているため、高抵
抗の状態である。プローブ15に対して約10Vの印加
電圧で1mAの放出電流を確認し、記録媒体の抵抗値は
約60mΩ低下した。このことから、プローブ15から
の電子線放出により、コバルト白金(CoPt)記録層
12の磁化が反転し、酸化クロム(CrO2)スピンコ
ントロール層14の磁化と平行になったため、その抵抗
は低下したと考えられる。つまり、プローブ15からの
電子線照射により、記録層12に対する記録が行われる
ことが確認できた。
いて用いた構成を表す模式図である。
の裏側にオーミックコンタクトとなるように金(Au)
電極層11を形成した。そして、シリコン基板Sの上
に、記録層12として鉄白金(FePt)を5nm形成
し、その上に中間層13として銅(Cu)を5nm、高
偏極スピンコントロール層14としてコバルトを添加し
た酸化亜鉛(ZnO:Co)を20nm積層した。さら
に、その上にマスクを用いて金(Au)電極19を形成
し、膜面垂直方向に電流を流せるようにした。
のHcを示し、面直方向が磁化容易軸であることを確認
し、コバルト添加酸化亜鉛(ZnO:Co)では、軟磁
気特性を示すこともVSMで確認した。
/Cu/ZnO:Co)の磁気特性をVSMを用いて測
定したところ、図9に表したものと類似した2段ループ
を示し、記録層12と高偏極スピンコントロール層14
で磁気的に交換結合していないことが確認された。
じように外部から磁界を印加した。記録実験の開始前
に、記録層12と高偏極スピンコントロール層14の磁
化はいずれも上向きの状態とした。次に、下向きの外部
磁界を印加して、高偏極スピンコントロール層14の磁
化を下向きに反転させた。このとき、記録層12の磁化
と高偏極スピンコントロール層14の磁化は反平行状態
にあるため、高抵抗の状態にある。
ら膜面垂直方向に電流を流した。電流値を大きくしてい
くと、20mA付近で抵抗値の大幅なジャンプが見ら
れ、抵抗値は減少した。つまり、記録層12の磁化と高
偏極スピンコントロール層14の磁化が平行状態にな
り、巨大磁気抵抗効果により抵抗が減少した。このよう
にして、記録層12の磁化が電流により反転可能である
ことを確認できた。
いて用いた構成を表す模式図である。
厚さ約50nmの白金(Pt)下地層20、厚さ約5n
mの鉄白金(FePt)記録層12、厚さ約5nmの銅
(Cu)中間層13、厚さ約20nmの酸化ランタン・
ストロンチウム・マンガン(La0.7Sr0.3Mn
O3)高偏極スピンコントロール層14を、順次スパッ
タ法にて積層した。なお、スパッタ成膜時には、基板1
1を300℃に加熱した。
偏極スピンコントロール層14は、ハーフメタリックな
特性を示すことを予め確認した。
リフトオフにより、直径約50nmの円柱状のクラスタ
ーを作製した。クラスター間は絶縁体18で埋めた。そ
の後、厚さ約1nmのカーボン(C)保護層21を積層
した。鉄白金(FePt)記録層12は、約3.5kO
eの保磁力を持ち、垂直磁気異方性を示すことを、VS
Mを用いた測定より予め確認した。
それに隣接するようにシリコン(Si)を金(Au)で
コートしたプローブヘッド15を作製した。コーン状の
形状をし、先端の直径は約50nmであった。プローブ
15の先端と記録媒体との距離は約100nmとし、こ
のとき印加電圧約10Vで10mAの放出電流を確認し
た。磁気記録ヘッド16からは、約3kOeの磁界を印
加できる。つまり、鉄白金(FePt)記録層12の保
磁力(3.5kOe)は、磁気ヘッド16からの磁界
(3kOe)を超えているため、記録ヘッド16からの
磁界のみで磁気記録することは困難である。
及び再生評価を以下の手順で行った。
ローブ15から電子線を照射しないで従来法による磁気
記録を試みた。すなわち、記録ヘッド16から磁界を印
加したが、記録層12の磁化は反転しないことが確認で
きた。これは、記録層12の保磁力と記録ヘッド16の
記録能力から判断して当然の結果である。
子線を照射しながら記録を行った。このとき、磁気ヘッ
ド16から磁界を印加しなかった。初期状態として、記
録層12、高偏極スピンコントロール層14の磁化をい
ずれも上向きに向けておいた。そして、プローブ15に
対する印加電圧を10Vまで変化させて、印加電圧と媒
体の電気抵抗の値との関係を調べた。しかしながら、印
加電圧10Vまで、電気抵抗の変化は見られなかった。
つまり、電子線照射のみによる記録は行われなかった。
ら、電子線を照射し記録することを試みた。印加磁界
は、約3kOeで、下向きの磁界を与えた。そして、電
子線の印加電圧を約10Vまで変化させた。その結果、
約7V付近で、記録媒体の抵抗値の大幅な減少が見られ
た。すなわち、記録層12の磁化が反転して下向きにな
り、高偏極スピンコントロール層14の磁化と平行にな
ったために抵抗が減少した。
ゼロに戻した後、磁気ヘッド16からの印加磁界の向き
を逆向きにし、電気抵抗の値を測定したところ、媒体の
抵抗値は先ほどの値よりも上昇していた。つまり、ヘッ
ド16からの印加磁界により高偏極スピンコントロール
層14の磁化のみが上向きに反転し、記録層12の磁化
と反平行の状態になったために媒体の抵抗が増加した。
このことからも、前述した記録過程で記録層12のみの
磁化が反転したことが確認できた。
な大きな磁気異方性エネルギー(保磁力)を持つ記録層
12に対して、電子線照射によるスピン偏極電流で記録
が可能となることが確認できた。
施例として、本発明の磁気記録装置の具体例について説
明する。すなわち、図1乃至図13に関して説明した本
発明の磁気記録方法は、従来のHDDに類似した構成を
有する磁気記録再生装置として実現することができる。
概略構成を例示する要部斜視図である。すなわち、本発
明の磁気記録再生装置150は、ロータリーアクチュエ
ータを用いた形式の装置である。同図において、記録用
媒体ディスク200は、スピンドル152に装着され、
図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図
示しないモータにより矢印Aの方向に回転する。本発明
の磁気記録再生装置150は、複数の媒体ディスク20
0を備えたものとしてもよい。さらにまた、媒体ディス
ク200は、磁気記録再生装置に定常的に備えられた、
いわゆる「固定式」のものであってもよく、あるいはま
た、媒体ディスク200を必要に応じて磁気記録再生装
置から脱着可能な、いわゆる「リムーバブル式」のもの
としてもよい。
述したように、記録層12と高偏極スピンコントロール
層14とを有し、スピン偏極電流を記録層12に流すこ
とにより、磁化反転させて記録することができる。ま
た、図6乃至図7あるいは図9、図13などに例示した
ように、分離領域18により記録ビットが分割されてい
るパターンド媒体としてもよい。
の記録再生を行うヘッドスライダ153は、薄膜状のサ
スペンション154の先端に取り付けられている。ここ
で、ヘッドスライダ153は、前述したような本発明の
プローブ15及び磁気ヘッド16をその先端付近に搭載
している。
スライダ153の媒体対向面(ABS)は媒体ディスク
200の表面から所定の浮上量をもって保持される。あ
るいはスライダが媒体ディスク200と接触するいわゆ
る「接触走行型」であってもよい。
コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータ
アーム155の一端に接続されている。アクチュエータ
アーム155の他端には、リニアモータの一種であるボ
イスコイルモータ156が設けられている。ボイスコイ
ルモータ156は、アクチュエータアーム155のボビ
ン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、このコ
イルを挟み込むように対向して配置された永久磁石およ
び対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。
ル157の上下2箇所に設けられた図示しないボールベ
アリングによって保持され、ボイスコイルモータ156
により回転摺動が自在にできるようになっている。
ら先の磁気ヘッドアセンブリをディスク側から眺めた拡
大斜視図である。すなわち、磁気ヘッドアッセンブリ1
60は、例えば駆動コイルを保持するボビン部などを有
するアクチュエータアーム155を有し、アクチュエー
タアーム155の一端にはサスペンション154が接続
されている。サスペンション154の先端には、図1乃
至図13に関して前述したような本発明のプローブ15
及び磁気ヘッド16を具備するヘッドスライダ153が
取り付けられている。サスペンション154は信号の書
き込みおよび読み取り用のリード線164を有し、この
リード線164とヘッドスライダ153に組み込まれた
磁気ヘッドの各電極とが電気的に接続されている。図中
165は磁気ヘッドアッセンブリ160の電極パッドで
ある。
前述したような本発明の磁気記録媒体200に対して、
磁気ヘッド16と、プローブ15とを用いて書き込みを
行うことにより、従来よりも飛躍的に高い記録密度で媒
体ディスク200に磁気的に情報を記録することが可能
となる。
組み込まれたプローブ15をディスク200に接触させ
てその抵抗を測定してもよく、あるいは、巨大磁気抵抗
効果素子などの磁界検出素子をスライダ153に別途組
み込んで、記録層12の磁化方向を検出してもよい。
施例として、本発明の磁気記録装置のもうひとつの具体
例について説明する。
概略構成を例示する要部斜視図である。本具体例の磁気
記録再生装置は、パターニングされた記録媒体に対し
て、複数のプローブによりアクセスが可能とされてい
る。
によりパターニングされて記録ビットBがマトリクス状
に配列した構造を有する。それぞれの記録ビットBは、
挿入図に例示した如く、電極層11、記録層12、中間
層13、高偏極スピンコントロール層14を積層した構
造を有する。
気記録再生装置に定常的に備えられた、いわゆる「固定
式」のものであってもよく、あるいはまた、記録媒体1
0を必要に応じて磁気記録再生装置から脱着可能な、い
わゆる「リムーバブル式」のものとしてもよい。
複数のプローブ型ヘッドHを有するマルチヘッド部が配
置される。プローブ型ヘッドHは、媒体に電流を供給す
るプローブ15と、磁界を印加する磁気ヘッド16とが
一体化された構造を有する。このような構造を有する複
数のヘッドHは、媒体の記録ビットBの配列ピッチ、あ
るいはその整数倍のピッチで設けられている。また、図
16においては、プローブ型ヘッドHが、x方向に一列
に配列されたマルチヘッド部を例示したが、本発明はこ
れには限定されず、プローブ型ヘッドHが、x及びy方
向にマトリクス状に設けられたマルチヘッド部としても
よい。
0に対して相対的にx、y方向に平行移動し、所定の記
録ビットにアクセス可能とされている。この際に、マル
チヘッド部が移動してもよく、あるいは記録媒体10が
移動してもよい。また、書き込みに際して、プローブ1
5の先端が記録媒体10に接触してもよく、あるいは離
間した状態で電界放出あるいはトンネリングにより電流
を媒体10に供給してもよい。
グされた記録媒体に対してマルチヘッドによりアクセス
することにより、超高密度のパターニングされた記録媒
体10に対して、高速に記録再生動作をすることができ
る。
の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの
具体例に限定されるものではない。例えば、磁気記録媒
体、プローブ、磁気ヘッドなど、本発明の磁気記録装置
を構成する各要素については、当業者が公知の範囲から
適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の
効果を得ることができる。
や磁気記録層12などの材料や膜厚などの関しては、当
業者が公知の範囲から適宜選択したものも本発明の範囲
に包含される。
た磁気記録装置及び磁気記録方法を基にして、当業者が
適宜設計変更して実施しうるすべての磁気記録装置及び
磁気記録方法も同様に本発明の範囲に属する。
ピンコントロール層によりスピン偏極させた電流によっ
て記録層の磁化を書き込むことにより、熱揺らぎ限界を
超える高密度記録が実現可能となる。
度の磁気記録再生が可能な磁気記録装置を提供すること
が可能となり産業上のメリットは多大である。
を表す概念図である。
を表す概念図である。
ラフ図である。
流−磁化曲線を例示するグラフ図である。
テム構成図を表す概念図である。
媒体を表す模式図である。
数の独立した部分に分割された媒体を表す模式図であ
る。
に電極層19を設けた具体例を表す模式図である。
表す概念図である。
媒体に対して、VSMによる磁化測定を行った結果を表
すグラフ図である。
表す模式図である。
表す模式図である。
する要部斜視図である。
ッドアセンブリをディスク側から眺めた拡大斜視図であ
る。
する要部斜視図である。
Claims (13)
- 【請求項1】磁気記録媒体の第1の磁性体層に磁界を印
加し、その磁化方向を方向付ける磁界印加部と、 前記磁気記録媒体の第2の磁性体層への通電電流を前記
第1の磁性体層を介して供給する電流供給手段と、 を備え、 前記電流供給手段による前記第2の磁性体層への通電に
より、前記第2の磁性体層の磁化方向を前記第1の磁性
体層の磁化方向に対応した方向とすることにより磁気的
に情報記録を行うことを特徴とする磁気記録装置。 - 【請求項2】第1の磁性体層と第2の磁性体層を有する
磁気記録媒体と、 前記第1の磁性体層に磁界を印加し、その磁化方向を方
向付ける磁界印加部と、 前記第2の磁性体層への通電電流を前記第1の磁性体層
を介して供給する電流供給手段と、 を備え、 前記電流供給手段による前記第2の磁性体層への通電に
より、前記第2の磁性体層の磁化方向を前記第1の磁性
体層の磁化方向に対応した方向とすることにより磁気的
に情報記録を行うことを特徴とする磁気記録装置。 - 【請求項3】前記磁気記録媒体は、前記第1及び第2の
磁性体層の間に挿入された非磁性体層をさらに有するこ
とを特徴とする請求項2記載の磁気記録装置。 - 【請求項4】前記磁気記録媒体の前記非磁性体層はCu
であり、2nm 〜 10nmの厚さを有することを特徴
とする請求項3記載の磁気記録装置。 - 【請求項5】前記磁気記録媒体は、前記第1及び第2の
磁性体層を有する複数の記録単位領域が、分離領域を挟
んで2次元的に配列されてなることを特徴とする請求項
2〜4のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 【請求項6】前記第1の磁性体層の保磁力は、前記第2
の磁性体層の保磁力よりも小さいことを特徴とする請求
項2〜5のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 【請求項7】前記電流供給手段は、前記磁界印加部に隣
接させた導体または半導体のプローブ針であることを特
徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の磁気記録
装置。 - 【請求項8】前記磁界印加部からの印加磁界により前記
第1の磁性体層の磁化方向が方向付けられる範囲は、 前記電流供給手段による前記第2の磁性体層への通電に
より前記第2の磁性体層の磁化方向が前記第1の磁性体
層の磁化方向に対応した方向とされる範囲よりも広いこ
とを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の磁
気記録装置。 - 【請求項9】前記磁界印加部により前記第1の磁性体層
に磁界を印加し、その磁化方向を方向付け、前記第1及
び第2の磁性体層間の磁気抵抗効果を、前記第1及び第
2の磁性体層に供給される検出電流変化により検出する
ことで前記第2の磁性体層に磁気的に記録された情報を
読み取り可能としたことを特徴とする請求項1〜8のい
ずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 【請求項10】前記磁界印加部の前記磁気記録媒体に対
する印加磁界は、前記第2の磁性体層の磁化方向を実質
的に変化させない強さであることを特徴とする請求項1
〜9のいずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 【請求項11】前記磁界印加部は、前記電流供給手段に
よる前記第2の磁性体層への通電と同時または通電前に
印加磁界を発生することを特徴とする請求項1〜10の
いずれか1つに記載の磁気記録装置。 - 【請求項12】前記磁気記録媒体に供給される情報記録
時の通電電流は、情報再生時の通電電流よりも大きいこ
とを特徴とする請求項9に記載の磁気記録装置。 - 【請求項13】磁気記録媒体の第1の磁性体層に磁界を
印加して、その磁化方向を方向付け、前記磁気記録媒体
の第2の磁性体層へ前記第1の磁性体層を介して通電
し、前記第2の磁性体層の磁化方向を前記第1の磁性体
層の磁化方向に対応した方向とすることにより磁気的に
情報記録を行うことを特徴とする磁気記録方法。
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