JP2003302585A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 固定部にトーションバーで揺動可能に軸支した可動板と、該可動板を駆動するための駆動コイルと、該駆動コイルに静磁界を作用させる静磁界発生手段とを備え、前記駆動コイルに電流を流して前記トーションバーの軸方向と平行な可動板対辺部に互いに反対方向の電磁力を作用させて前記可動板を駆動する構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、可動板の回動に伴って発生する前記トーションバーの弾性復元力と反対方向の抗力を前記可動板対辺部に作用させる抗力手段を備えたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
2. 前記駆動コイルを可動板側に設けると共に、前記静磁界発生手段を、前記固定部側の前記トーションバー軸方向と平行な部位に前記可動板を挟んで互いに対向して配置される一対の磁石で構成した請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
3. 前記抗力手段は、前記一対の磁石と互いに反発するように前記可動板に配置した反発用磁石を備える構成である請求項２に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
4. 前記反発用磁石は、前記可動板の略全面に形成した薄膜磁石である請求項３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
5. 前記反発磁石は、前記可動板のトーションバー軸方向と平行な対辺部にそれぞれ形成した一対の薄膜磁石である請求項３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
6. 前記駆動コイル部を前記固定部側に設けると共に、前記静磁界発生手段を前記可動板の略全面に薄膜磁石を形成して構成し、前記抗力手段が、前記固定部のトーションバー軸方向と平行な部位に前記薄膜磁石と互いに反発し合うように配置される一対の反発用磁石を備える構成である請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
7. 前記可動板の回動に伴って発生する前記トーションバーの弾性復元力と、前記抗力手段の抗力による前記可動板の回動力との釣り合いにより可動板が静止する安定位置、又は、当該安定位置より手前の回動位置で前記可動板対辺部が当接する当接部を、前記固定部側に設ける構成とした請求項１〜６のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
8. 請求項１〜７のいずれか一つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータの制御方法であって、前記抗力手段の抗力による前記可動板の回動力と、前記トーションバーの弾性復元力との釣り合いにより可動板が停止する二つの安定状態の一方から他方に可動板を移行させるときにのみ前記駆動コイルに電流を流し、前記抗力に抗した駆動力を前記可動板に与えるようにしたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータの制御方法。
9. 前記可動板の前記抗力に抗した回動力は、該可動板に設けた駆動コイルを流れる電流に対して、前記静磁界発生手段の静磁界が作用するローレンツ力であることを特徴とする請求項８に記載のプレーナ型電磁アクチュエータの制御方法。
10. 前記可動板の前記抗力に抗した回動力は、前記固定部側に設けた駆動コイルによる電磁界と、前記可動板に設けた静磁界発生手段による静磁界とが互いに作用して、前記可動板の前記トーションバー軸方向と平行な対辺部に発生させる吸引及び反発力であることを特徴とする請求項８に記載のプレーナ型電磁アクチュエータの制御方法。