JP2004200341A

JP2004200341A - 半導体素子の生産管理方法

Info

Publication number: JP2004200341A
Application number: JP2002366128A
Authority: JP
Inventors: Kotaro Mitsui; 興太郎三井
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2002-12-18
Filing date: 2002-12-18
Publication date: 2004-07-15

Abstract

【課題】余剰の仕掛りを発生させることなく、真に必要なウエハロット投入数を決定することができる半導体素子の生産管理方法を提供する。
【解決手段】ウエハプロセス工程ＷＰと、ウエハテスト工程ＷＴと、組み立て工程Ａと、検査工程Ｔとからなる半導体素子の生産ラインでは、素子構造が同一でありかつ歩留まりが互いに異なる製品１及び製品２が、１つのウエハロットから生産される。この生産ラインにおいては、まず、歩留まりが小さい製品１の必要ウエハ投入数を決定し、次に歩留まりが大きい製品２の必要ウエハ投入数を決定し、これらの必要ウエハ投入数を合算して上記ウエハロットに投入すべきウエハの数を決定するといった生産管理を行い、余剰の仕掛りの発生を防止する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、素子構造ないしチップ構造が同一であり、かつ歩留まりが互いに異なる複数の種類の半導体素子（製品）を１つのウエハロットから生産するようになっている生産ラインにおける半導体素子の生産管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ウエハから半導体素子を生産する場合、ウエハロット中には正常な半導体素子には加工することができないものが存在する。このため、生産ラインに投入されたウエハからは、一定の割合でしか半導体素子は得られない。そこで、かかる半導体素子の生産ラインにおいては、この一定の割合すなわち歩留まりに基づいて、生産ラインに投入すべきウエハの数を決定するようにしている（例えば、特許文献１参照）。なお、歩留まりは、半導体素子の種類毎に異なる。
【０００３】
ところで、かかる半導体素子の生産形態は多品種少量生産であることが多いので、１つの生産ラインで複数の種類の半導体素子を生産するのが普通であり、素子構造（ないしはチップ構造）が同一である場合は、複数の種類の半導体素子を１つのウエハロットから生産することが多い。そして、このような場合、従来の半導体素子の生産手法では、半導体素子（種類としての半導体素子であり、以下「製品」という。）毎に、必要ウエハ投入数をその歩留まりに基づいて決定し、上記各必要ウエハ投入数を合算して上記ウエハロットに投入すべきウエハの数（以下、「ウエハロット投入数」という。）を決定している。すなわち、素子構造が同一であり総合歩留まりがそれぞれＹ１、Ｙ２（但し、Ｙ１＜Ｙ２）である製品１、２（半導体素子１、２）を、それぞれ数量Ｐ１、Ｐ２だけ生産する場合、ウエハロット投入数Ｎを、次の式１により決定している。
【数１】
N＝P1／Y1＋P2／Y2……………………………………………………式１
【０００４】
具体例（数値例）として、例えば、製品１、２の歩留まり及び生産数量が次の数値であるとする。
Ｙ１：０.４６（４６％）
Ｙ２：０.６６（６６％）
Ｐ１：２０００
Ｐ２：１０００
この場合、次に示すように、ウエハロット投入数Ｎは５８６３となる。
Ｎ＝2000／0.46＋1000／0.66＝4348＋1515＝5863
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−５６０４８号公報（［0025]〜[0026］、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、製品１、２の歩留まりが互いに異なる場合、一方の製品の生産には用いることができなくても、他方の製品の生産には用いることができるウエハが存在することになる。しかし、上記従来の半導体素子の生産手法では、このような事情は全く考慮されず、単純に前記の式１によりウエハロット投入数Ｎを決定することになる。例えば、前記の具体例（数値例）の場合、次に示すように、製品１用として投入した４３４８のウエハのうち、８７０のウエハは製品２の生産に使用することができる。
4348×(Ｙ２−Ｙ１)＝4348×（0.66−0.46）＝870
【０００７】
この場合、これらの８７０のウエハは、本来投入不要のものである。このように、従来の半導体素子の生産手法ないし生産管理手法においては、製品毎に個々に独立して必要ウエハ投入数を求め、上記各必要ウエハ投入数を合算してこの１つのウエハロット投入数を決定しているので、余剰の仕掛りが発生し、生産効率が低下するといった問題がある。
【０００８】
本発明は上記従来の問題を解決するためになされたものであって、余剰の仕掛りを発生させることなく、真に必要なウエハロット投入数を決定することができ、生産性を向上させることができる半導体素子の生産管理方法を提供することを目的ないし課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明にかかる半導体素子の生産管理方法は、素子構造（チップ構造）が同一でありかつ歩留まりが互いに異なる複数の種類の半導体素子を１つのウエハロットから生産するようになっている生産ラインにおける半導体素子の生産管理方法であって、歩留まりが最も小さい半導体素子（種類としての半導体素子）から歩留まりが最も大きい半導体素子（種類としての半導体素子）へ、順に、上記各半導体素子（種類としての半導体素子）の必要ウエハ投入数を決定して行き、上記各必要ウエハ投入数を合算して上記ウエハロットに投入すべきウエハの数（ウエハロット投入数）を決定することを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を具体的に説明する。本発明の実施の形態にかかる半導体素子の生産管理方法は、いずれも、素子構造ないしはチップ構造が同一でありかつ歩留まりが互いに異なる複数の種類の半導体素子（製品）を１つのウエハロットから生産する際に、歩留まりが最も小さい半導体素子（製品）から歩留まりが最も大きい半導体素子（製品）へ、順に、必要ウエハ投入数を決定して行き、上記必要ウエハ投入数を合算してウエハロット投入数を決定することを基本的な特徴とする。なお、この生産管理方法は、具体的には、各種演算を行うコンピュータを備えた生産管理システムによって実行される。
【００１１】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１にかかる、２種類の半導体素子１（以下、「製品１」という。）及び半導体素子２（以下、「製品２」という。）を生産する生産ラインにおける生産管理方法を示している。図１に示すように、実施の形態１にかかる生産ラインでは、製品１及び製品２は順に、ウエハプロセス工程ＷＰ、ウエハテスト工程ＷＴ、組み立て工程Ａ及び検査工程Ｔの一連の工程を経て生産される。
ここで、各工程における仕掛数を、順に、ＳＷＰ、ＳＷＴ、ＳＡ、ＳＴとする。
そして、製品１についての、各工程における歩留まりを、順に、ＹＷＰ、ＹＷＴ１、ＹＡ１、ＹＴ１とする。また、製品２についての、各工程における歩留まりを、順に、ＹＷＰ、ＹＷＴ２、ＹＡ２、ＹＴ２とする。
【００１２】
この場合、製品１及び製品２の総合歩留まりＹ１、Ｙ２は、それぞれ、次の式２及び式３であらわされる。
【数２】
Y1＝YWP×YWT1×YA1×YT１……………………………………………式２
【数３】
Y2＝YWP×YWT2×YA2×YT2……………………………………………式３
【００１３】
ここで、Ｙ１はＹ２より小さい値である（０＜Ｙ１＜Ｙ２＜１）。そして、製品１換算仕掛数Ｓ１（仕掛り中のウエハから生産可能な製品１の数量）を、次の式４で定義する。
【数４】
S1＝ST×YT1＋SA×YA1×YT1＋SWT×YWT1×YA1×YT1＋SWP×Y1……式４
【００１４】
以下、図１中のフローチャートを参照しつつ、上記条件に従って製品１、２を、それぞれ、数量Ｐ１、Ｐ２（生産予定数量）だけ生産する場合における、必要ウエハ投入数ないしウエハロット投入数の決定方法、すなわち半導体素子の生産管理方法を説明する。
実施の形態１にかかる半導体素子の生産管理方法では、まず、歩留まりの低い製品１に着目し、その生産予定数量Ｐ１が製品１換算仕掛数Ｓ１より大きいか否かを比較する（ステップＳ１）。
【００１５】
ステップＳ１で、Ｐ１≦Ｓ１であれば（ＮＯ）、予定された数量の製品１を仕掛り中のウエハで生産することができるので、製品１のためのウエハの投入は不要である。この場合、製品１を確保した後における、製品２換算仕掛数Ｓ２ａ（仕掛り中のウエハから生産可能な製品２の数量）は、次の式５であらわされる。
【数５】
S2a＝(S1−P1)×Y2／Y1…………………………………………………式５
【００１６】
つまり、製品２は歩留まりＹ２が大きいので、製品１との歩留まり差により、数量Ｓ２ａの製品２が生産可能となる。
【００１７】
そこで、製品２の生産予定数量Ｐ２と製品２換算仕掛数Ｓ２ａ（生産可能数量）とを比較する（ステップＳ２）。ここで、Ｐ２≦Ｓ２ａ（＝(Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１）であれば（ＮＯ）、すでに投入されている仕掛り中のウエハだけで、予定された数量の製品２を生産することができるので、製品２用のウエハの投入は不要である。つまり、製品１のためのウエハの投入が不要であるだけでなく、製品２のためのウエハの投入も不要であるので、このウエハロットに対するウエハの投入は全く不要である（ステップＳ３）。よって、このケース（ケース１）におけるウエハロット投入数Ｎは０である。
【００１８】
他方、ステップＳ２で、Ｐ２＞Ｓ２ａ（＝(Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１）であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品２を生産するにはウエハが不足しているので、製品２用のウエハを投入する（ステップＳ４）。この場合の製品２の必要ウエハ投入数Ｎ２’は、次の式６であらわされる。
【数６】
N2'＝(P2−S2a)／Y2＝（P2−(S1−P1)×Y2／Y1）／Y2………………式６
よって、このケース（ケース２）におけるウエハロット投入数ＮはＮ２’である。
【００１９】
次に、ステップＳ１で、Ｐ１＞Ｓ１である場合を説明する。Ｐ１＞Ｓ１であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品１を生産するにはウエハが不足しているので、製品１用のウエハを投入する（ステップＳ５）。この場合の必要ウエハ投入数Ｎ１は、次の式７であらわされる。
【数７】
N1＝(P1−S1)／Y1…………………………………………………………式７
【００２０】
このようにＮ１のウエハを投入した場合、これらのウエハのうちのＮ１×Ｙ１（＝（Ｐ１−Ｓ１））のウエハが、製品１の生産のために実際に費やされる。さらに、このようにＮ１のウエハを投入することにより、歩留まりの高い製品２が、製品１との歩留まり差により、製品２換算仕掛数Ｓ２ｂだけ生産可能となる。
この製品２換算仕掛数Ｓ２ｂは、次の式８であらわされる。
【数８】
S2b＝N1×（Y2−Y1）…………………………………………………式８
【００２１】
そこで、製品２の生産予定数量Ｐ２と製品２換算仕掛数Ｓ２ｂ（＝Ｎ１×(Ｙ２−Ｙ１)）とを比較する（ステップＳ６）。ここで、Ｐ２≦Ｓ２ｂであれば（ＮＯ）、製品１用に投入されたウエハにより予定された数量の製品２を生産することができるので、製品２用のウエハの投入は不要となり、このウエハロットに対するウエハの投入は終了する（ステップＳ７）。よって、このケース（ケース３）におけるウエハロット投入数ＮはＮ１である。
【００２２】
他方、ステップＳ６で、Ｐ２＞Ｓ２ｂ（＝Ｎ１×(Ｙ２−Ｙ１)）であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品２を生産するにはウエハが不足しているので、製品２用のウエハを投入する（ステップＳ８）。この場合の製品２の必要ウエハ投入数Ｎ２は、次の式９であらわされる。
【数９】
N2＝（P2−N1×(Y2−Y1)）／Y2………………………………………式９
よって、このケース（ケース４）におけるウエハロット投入数Ｎは（Ｎ１＋Ｎ２）である。
【００２３】
一般的には、上記のように必要ウエハ投入数ないしウエハロット投入数が決定されるが、以下、具体的な数値を当てはめて、これらの投入数の決定方法をより具体的に説明する。ここで、各生産予定数量、各仕掛数及び各歩留まりは、次の値であるとする。
Ｐ１：２０００Ｐ２：１０００
ＳＷＰ：２００ＳＷＴ：１５０
ＳＡ：１００ＳＴ：５０
ＹＷＰ：０.９（９０％）ＹＷＴ１：０.８（８０％）
ＹＡ１：０.８（８０％）ＹＴ１：０.８（８０％）
ＹＷＴ２：０.９（９０％）ＹＡ２：０.９（９０％）
ＹＴ２：０.９（９０％）
【００２４】
この条件によれば、前記の式２〜式４により、総合歩留まりＹ１、Ｙ２及び製品１換算仕掛数Ｓ１は、次のような値となる。
Ｙ１：０.４６（４６％）
Ｙ２：０.６６（６６％）
Ｓ１：３６８
【００２５】
この場合、Ｐ１は２０００であり、Ｓ１は３６８であるので、Ｐ１＞Ｓ１となり、前記の式７により、製品１の必要ウエハ投入数Ｎ１は３５４８となる。
N1＝（2000−368）／0.46＝3548
したがって、この場合の製品２の生産可能数量、すなわち製品２換算仕掛数Ｓ２ｂ（＝Ｎ１×(Ｙ２−Ｙ１)）は７１０となる。
S2b＝N1×(Y2−Y1)＝3548×（0.66−0.46）＝710
【００２６】
このように、製品２の生産予定数量Ｐ２は１０００であり、製品２換算仕掛数Ｓ２ｂ（生産可能数量)は７１０であるので、Ｐ２＞Ｓ２ｂとなり、前記の式９により、製品２の必要ウエハ投入数Ｎ２は４３９個となる。
N2＝(1000−710)／0.66＝439
つまり、この具体例（数値例）は前記のケース４に該当し、ウエハロット投入数は１１４９（７１０＋４３９＝１１４９）となる。
【００２７】
以下、本発明の具体的な効果を説明するため、実施の形態１にかかる上記具体例を従来例と比較する。なお、問題を単純化するために、各仕掛数は０とする。
SWP＝SWT＝SA＝ST＝0
したがって、製品１換算仕掛数Ｓ１は、前記の式４により０となる。
【００２８】
この場合、実施の形態１にかかる半導体素子の生産管理方法によれば、製品１、２の必要ウエハ投入数Ｎ１、Ｎ２及びウエハロット投入数Ｎは、次のようになる。
N1＝（2000−0）／0.46＝4348
N2＝｛1000−4348×(0.66−0.46)｝／0.66＝197
N＝N1＋N2＝4348＋197＝4545
【００２９】
これに対して、従来の半導体素子の生産管理方法によれば、前記の式１から明らかなとおり、製品１、２毎に個別に必要ウエハ投入数Ｎ１、Ｎ２を求め、これらを合算してウエハロット投入数Ｎとするので、製品１、２用の必要ウエハ投入数Ｎ１、Ｎ２及びウエハロット投入数Ｎは、次のようになる。
N1＝2000／0.46＝4348
N2＝1000／0.66＝1515
N＝N1＋N2＝4348＋1515＝5863
【００３０】
このように、この具体例においては、実施の形態１にかかる生産管理方法によれば、従来の生産管理方法に比べて、ウエハロット投入数を１３１８低減することができる。
以上のとおり、実施の形態１にかかる半導体素子の生産管理方法によれば、歩留まりの低い順に投入必要数を決定して行くことにより、余剰の仕掛りを発生させることなく、効率的な生産管理が可能となり、生産効率を高めることができるる。
【００３１】
実施の形態２．
以下、本発明の実施の形態２を説明する。なお、実施の形態２にかかる半導体素子の生産管理方法は、１つのウエハロットから生産される半導体素子が３種類である点を除けば、実施の形態１にかかる半導体素子の生産管理方法（半導体素子が２種類）と同様である。したがって、実施の形態１における前記の説明は、半導体素子に種類が３種類である点を考慮して修正すれば、実施の形態２にも当てはまるものである。
【００３２】
図２及び図３は、実施の形態２にかかる、半導体素子１（製品１）と半導体素子２（製品２）と半導体素子３（以下、「製品３」という。）とを生産する生産ラインにおける生産管理方法を示している。
図２及び図３に示すように、実施の形態２にかかる生産ラインでも、実施の形態１の場合と同様に、製品１、製品２及び製品３は、順に、ウエハプロセス工程ＷＰ、ウエハテスト工程ＷＴ、組み立て工程Ａ及び検査工程Ｔの一連の工程を経て生産される。各工程における仕掛数、製品１、２についての歩留まりは、実施の形態１の場合と同様である。そして、製品３についての、各工程における歩留まりを、順に、ＹＷＰ、ＹＷＴ３、ＹＡ３、ＹＴ３とする。
【００３３】
ここで、製品１、２の総合歩留まりＹ１、Ｙ２は、実施の形態１の場合と同様に、それぞれ、前記の式２及び式３であらわされる。また、製品３の総合歩留まりＹ３は、次の式１０であらわされる。
【数１０】
Y3＝YWP×YWT3×YA3×YT3……………………………………………式１０
ただし、Ｙ１はＹ２より小さい値であり、Ｙ２はＹ３より小さい値である（０＜Ｙ１＜Ｙ２＜Ｙ３＜１）。製品１換算仕掛数Ｓ１は、実施の形態１の場合と同様に、前記の式４で定義する。
【００３４】
以下、図２及び図３に示すフローチャートを参照しつつ、上記条件に従って製品１、２、３を、それぞれ、数量Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３（生産予定数量）だけ生産する場合における、必要ウエハ投入数ないしウエハロット投入数の決定方法、すなわち半導体素子の生産管理方法を説明する。
この半導体素子の生産管理方法では、まず、実施の形態１の場合と同様に、製品１の生産予定数量Ｐ１が製品１換算仕掛数Ｓ１より大きいか否かを比較する（ステップＳ１１）。
【００３５】
ステップＳ１１で、Ｐ１≦Ｓ１であれば（ＮＯ）、仕掛り中のウエハで予定された数量の製品１を生産することができるので、製品１用のウエハの投入は不要である。この場合、Ｐ１の製品１を確保した後における、製品２換算仕掛数Ｓ２ａは、実施の形態１の場合と同様に、前記の式５であらわされる。つまり、歩留まりの高い製品２が、製品１との歩留まり差により、製品２換算仕掛数Ｓ２ａ（＝(Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１）だけ生産可能となる。
【００３６】
そこで、製品２の生産予定数量Ｐ２と製品２換算仕掛数Ｓ２ａ（＝（Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１）とを比較する（ステップＳ１２）。ここで、Ｐ２≦Ｓ２ａであれば（ＮＯ）、すでに投入されている仕掛り中のウエハだけで、予定された数量の製品２を生産することができるので、製品２用のウエハの投入は不要である。この場合、製品２を確保した後における、製品３換算仕掛数Ｓ３ａ（仕掛り中のウエハから生産可能な製品３の数量）は、次の式１１であらわされる。
【数１１】
S3a＝（(S1−P1)×Y2／Y1−P2）×Y3／Y2………………………式１１
つまり、最も高い歩留まりの高い製品３が、製品２との歩留まり差により、製品３換算仕掛数Ｓ３ａだけ生産可能となる。
【００３７】
そこで、製品３の生産予定数量Ｐ３と製品３換算仕掛数Ｓ３ａとを比較する（ステップＳ１３）。ここで、Ｐ３≦Ｓ３ａであれば（ＮＯ）、すでに投入されている仕掛り中のウエハだけで、予定された数量の製品３を生産することができるので、製品３用のウエハの投入は不要である。つまり、製品１、２用のウエハの投入が不要であるだけでなく、製品３用のウエハの投入も不要であるので、このウエハロットに対するウエハの投入は全く不要である（ステップＳ１４）。よって、このケース（ケース１）におけるウエハロット投入数Ｎは０である。
【００３８】
他方、ステップＳ１３で、Ｐ３＞Ｓ３ａ（＝（(Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１−Ｐ２）×Ｙ３／Ｙ２）であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品３を生産するにはウエハが不足しているので、製品３用のウエハを投入する（ステップＳ１５）。この場合の製品３の必要ウエハ投入数Ｎ３'''は次の式１２であらわされる。
【数１２】

よって、このケース（ケース２）におけるウエハロット投入数ＮはＮ３'''である。
【００３９】
次に、ステップＳ１２で、Ｐ２＞Ｓ２ａ（＝(Ｓ１−Ｐ１)×Ｙ２／Ｙ１）である場合を説明する。Ｐ２＞Ｓ２ａであれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品２を生産するにはウエハが不足しているので、製品２用のウエハを投入する（ステップＳ１６）。この場合の必要ウエハ投入数Ｎ２’は、前記の式６であらわされる。
【００４０】
このようにＮ２’のウエハを投入した場合、これらのうちの数量Ｎ２’×Ｙ２（＝（Ｐ２−（Ｓ１−Ｐ１）×Ｙ２／Ｙ１）／Ｙ２）のウエハが、製品２の生産のために実際に費やされる。さらに、このようにＮ２’のウエハを投入することにより、最も歩留まりの高い製品３が、製品２との歩留まり差により、製品３換算仕掛数Ｓ３ｂだけ生産可能となる。この製品３換算仕掛数Ｓ３ｂは、次の式１３であらわされる。
【数１３】
S3b＝N2'×（Y3−Y2）……………………………………………式１３
【００４１】
そこで、製品３の生産予定数量Ｐ３と製品３換算仕掛数Ｓ３ｂとを比較する（ステップＳ１７）。ここで、Ｐ３≦Ｓ３ｂであれば（ＮＯ）、製品２用に投入されたウエハにより、予定された数量の製品３（数量Ｐ３）を生産することができるので、製品３用のウエハの投入は不要となり、このウエハロットに対するウエハの投入は終了する（ステップＳ１８）。よって、このケース（ケース３）におけるウエハロット投入数ＮはＮ２’である。
【００４２】
他方、ステップＳ１７で、Ｐ３＞Ｓ３ｂ（＝Ｎ２’×（Ｙ３−Ｙ２））であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品３を生産するにはウエハが不足しているので、製品３用のウエハを投入する（ステップＳ１９）。この場合の製品３の必要ウエハ投入数Ｎ３”は、次の式１４であらわされる。
【数１４】
N3”＝（P3−N2'×（Y3−Y2））／Y3…………………………式１４
よって、このケース（ケース４）におけるウエハロット投入数Ｎは（Ｎ２’＋Ｎ３”）である。
【００４３】
以下、ステップＳ１１で、Ｐ１＞Ｓ１である場合を説明する。Ｐ１＞Ｓ１であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品１を生産するにはウエハが不足しているので、製品１用のウエハを投入する（ステップＳ２０）。この場合の必要ウエハ投入数Ｎ１は、前記の式７であらわされる。
【００４４】
このようにＮ１のウエハを投入した場合、これらのウエハのうちのＮ１×Ｙ１（＝（Ｐ１−Ｓ１））のウエハが、製品１の生産のために実際に費やされる。さらに、このようにＮ１のウエハを投入することにより、歩留まりの高い製品２が、製品１との歩留まり差により、製品２換算仕掛数Ｓ２ｂだけ生産可能となる。
この製品２換算仕掛数Ｓ２ｂは、前記の式８であらわされる。
【００４５】
そこで、製品２の生産予定数量Ｐ２と製品２換算仕掛数Ｓ２ｂ（＝Ｎ１×(Ｙ２−Ｙ１)）とを比較する（ステップＳ２１）。ここで、Ｐ２≦Ｓ２ｂであれば（ＮＯ）、すでに投入されている仕掛り中のウエハだけで、予定された数量の製品２を生産することができるので、製品２用のウエハの投入は不要である。この場合、製品２を確保した後における、製品３換算仕掛数Ｓ３ｃは、次の式１５であらわされる。
【数１５】
S3c＝（(N1×(Y2−Y1)−P2)×Y3／Y2＋N1×（Y3−Y2）………式１５
つまり、最も歩留まりの高い製品３が、製品２との歩留まり差により、製品３換算仕掛数Ｓ３ｃだけ生産可能となる。
【００４６】
そこで、製品３の生産予定数量Ｐ３と製品３換算仕掛数Ｓ３ｃとを比較する（ステップＳ２２）。ここで、Ｐ３≦Ｓ３ｃであれば（ＮＯ）、すでに投入されている仕掛り中のウエハだけで、予定された数量の製品３を生産することができるので、製品３用のウエハの投入は不要である。つまり、製品１用のウエハの投入は必要であるものの、製品２、３用のウエハの投入は不要である（ステップＳ２３）。よって、このケース（ケース５）におけるウエハロット投入数ＮはＮ１である。
【００４７】
他方、ステップＳ２２で、Ｐ３＞Ｓ３ｃ（＝(Ｎ１×(Ｙ２−Ｙ１)−Ｐ２)×Ｙ３／Ｙ２＋Ｎ１×（Ｙ３−Ｙ２））であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品３を生産するにはウエハが不足しているので、製品３用のウエハを投入する（ステップＳ２４）。この場合の製品３の必要ウエハ投入数Ｎ３'は、次の式１６であらわされる。
【数１６】

よって、このケース（ケース６）におけるウエハロット投入数Ｎは（Ｎ１＋Ｎ３'）である。
【００４８】
次に、ステップＳ２１で、Ｐ２＞Ｓ２ｂ（＝Ｎ１×（Ｙ２−Ｙ１））である場合を説明する。Ｐ２＞Ｓ２ｂであれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品２を生産するにはウエハが不足しているので、製品２用のウエハを投入する（ステップＳ２５）。この場合の必要ウエハ投入数Ｎ２は、前記の式９であらわされる。
【００４９】
このようにＮ２のウエハを投入した場合、これらのうちの数量Ｎ２×Ｙ２（＝（Ｐ２−Ｎ１×（Ｙ２−Ｙ１）））のウエハが、製品２の生産のために実際に費やされる。さらに、このようにＮ２のウエハを投入することにより、最も歩留まりの高い製品３が、製品２との歩留まり差により、製品３換算仕掛数Ｓ３ｄだけ生産可能となる。この製品３換算仕掛数Ｓ３ｄは、次の式１７であらわされる。
【数１７】
S3d＝N2×（Y3−Y2）＋N1×（Y3−Y2）………………………式１７
【００５０】
そこで、製品３の生産予定数量Ｐ３と製品３換算仕掛数Ｓ３ｄとを比較する（ステップＳ２６）。ここで、Ｐ３≦Ｓ３ｄであれば（ＮＯ）、製品２用に投入されたウエハにより、予定された数量の製品３を生産することができるので、製品１、２用のウエハの投入は必要であるものの、製品３用のウエハの投入は不要である（ステップＳ２７）。よって、このケース（ケース７）におけるウエハロット投入数Ｎは（Ｎ１＋Ｎ２）である。
【００５１】
他方、ステップＳ２６で、Ｐ３＞Ｓ３ｄ（＝Ｎ２×（Ｙ３−Ｙ２）＋Ｎ１×（Ｙ３−Ｙ２））であれば（ＹＥＳ）、予定された数量の製品３を生産するにはウエハが不足しているので、製品３用のウエハを投入する（ステップＳ２８）。この場合の製品３の必要ウエハ投入数Ｎ３は次の式１８であらわされる。
【数１８】
N3＝（P3−N2×（Y3−Y2）＋N1×（Y3−Y2））／Y3……………式１８
よって、このケース（ケース８）におけるウエハロット投入数Ｎは（Ｎ１＋Ｎ２＋Ｎ３）である。
【００５２】
以上のとおり、実施の形態２にかかる半導体素子の生産管理方法によっても、基本的には実施の形態１の場合と同様に、歩留まりの低い順に投入必要数を決定して行くことにより、余剰の仕掛りを発生させることなく、効率的な生産管理が可能となり、生産効率を高めることができる。
【００５３】
なお、前記の実施の形態１、２では、１つのウェハロットから２種類又は３種類の半導体素子を生産する場合について説明しているが、同一の素子構造ないしはチップ構造を有する一方、互い異なる歩留まりを有する４種類以上の半導体素子を生産する場合についても本発明を適用できることは言うまでもない。
【００５４】
【発明の効果】
本発明にかかる半導体素子の生産管理方法によれば、歩留まりが最も小さい半導体素子から歩留まりが最も大きい半導体素子へ、順に、各半導体素子の必要ウエハ投入数を決定ないし演算して行き、各必要ウエハ投入数を合算してウエハロットに投入すべきウエハの数を決定ないし演算するようにしているので、余剰の仕掛りを発生させることなく、真に必要なウエハロット投入数を決定することができ、生産効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる半導体素子の生産管理方法ないしは生産管理システムの機能を示すフローチャートである。
【図２】本発明の実施の形態２にかかる半導体素子の生産管理方法ないしは生産管理システムの機能を示すフローチャートの一部である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかる半導体素子の生産管理方法ないしは生産管理システムの機能を示すフローチャートの一部である。
【符号の説明】
ＷＰウエハプロセス工程、ＷＴウエハテスト工程、Ａ組み立て工程、Ｔ検査工程。

Claims

素子構造が同一でありかつ歩留まりが互いに異なる複数の種類の半導体素子を１つのウエハロットから生産するようになっている生産ラインにおける半導体素子の生産管理方法であって、
歩留まりが最も小さい半導体素子から歩留まりが最も大きい半導体素子へ、順に、上記各半導体素子の必要ウエハ投入数を決定して行き、上記各必要ウエハ投入数を合算して上記ウエハロットに投入すべきウエハの数を決定することを特徴とする半導体素子の生産管理方法。