JP2004247111A

JP2004247111A - Elongated body arrangement structure, droplet discharge device, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus

Info

Publication number: JP2004247111A
Application number: JP2003034410A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-02-12
Filing date: 2003-02-12
Publication date: 2004-09-02

Abstract

【課題】極めて簡単な構造で、移動部に対して配設される長尺体が移動部の移動に円滑かつ確実に追従するように案内することができ、かつ発塵の少ない長尺体配設構造を提供すること、また、前述したような長尺体配設構造を備えた液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】長尺体配設構造７は、帯体７１と、基部側に設けられ、帯体７１の一端部を固定する第１固定部７２と、移動部側に設けられ、帯体７１の他端部を固定する第２固定部７３と、帯体７１の長手方向に沿って配設された給液配管４１１とを備える。帯体７１および給液配管４１１は、帯体７１の表裏がほぼ反転するように一体となって湾曲する湾曲部７４を有するように配設されており、移動部の移動に伴って湾曲部７４の位置が移動する。
【選択図】図１０An elongated body that has a very simple structure and that can guide a long body disposed to a moving unit so as to smoothly and surely follow the movement of the moving unit and generates less dust. The present invention also provides a liquid ejecting apparatus having the above-described elongated body disposing structure, an electro-optical device manufactured using the liquid ejecting apparatus, and an electric apparatus using the liquid ejecting apparatus. Provided are a method for manufacturing an optical device, and an electronic apparatus including the electro-optical device.
A long body disposing structure (7) is provided on a band (71), a first fixing portion (72) provided on a base side and fixing one end of the band (71), and a band (71) provided on a moving portion side. And a liquid supply pipe 411 disposed along the longitudinal direction of the band 71. The band 71 and the liquid supply pipe 411 are disposed so as to have a curved portion 74 integrally curved so that the front and back of the band 71 are almost reversed. Moves.
[Selection diagram] FIG.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、長尺体配設構造、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を有するヘッドユニットが装置本体に対し移動可能に設置されている（例えば、特許文献１参照）。よって、ヘッドユニットにインク（吐出対象液）を供給するためのインク配管を、装置本体側からヘッドユニット側に配設する必要がある。この場合、これらのインク配管をヘッドユニットの移動に追従するように案内するため、一般にケーブルベアが用いられている。ケーブルベアは、通常、樹脂材料（プラスチック）で構成されている。
【０００４】
しかしながら、ケーブルベアは、多数の単位ユニットが隣接するもの同士で互いに回動可能に連結された細長いケーシングであるので、多数の連結部（回動部）を有しており、それらの連結部において単位ユニット同士が摺動するので、摩擦によって削れて多量の粉塵を生じる。そのため、液滴吐出装置の周囲のクリーン環境を維持するには、ケーブルベアをケースに収納して内部の空気を吸引して粉塵を外部に排出するなどする必要がある。その結果、液滴吐出装置の構造の複雑化、大型化を招来するという問題がある。
また、ケーブルベアを用いてインク配管を配設した場合、また、インク配管の経年劣化等により亀裂を生じて万一液漏れを生じた場合、漏れたインクによってケーブルベアが侵されて腐食するという問題もある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２６０３６７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、極めて簡単な構造で、移動部に対して配設される長尺体が移動部の移動に円滑かつ確実に追従するように案内することができ、かつ発塵の少ない長尺体配設構造を提供することにある。また、本発明の他の目的は、前述したような長尺体配設構造を備えた液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の長尺体配設構造は、基部と、前記基部に対し一方向に移動可能に設置された移動部との間に、可撓性を有する長尺体を配設する長尺体配設構造であって、
可撓性を有する帯体と、
前記基部側に設けられ、前記帯体の一端部を固定する第１固定部と、
前記移動部側に設けられ、前記帯体の他端部を固定する第２固定部と、
前記帯体の片面側に、前記帯体の長手方向に沿って配設された部分を有する前記長尺体とを備え、
前記帯体および前記長尺体は、前記帯体の表裏がほぼ反転するように一体となって湾曲する湾曲部を有するように配設されており、
前記移動部の移動に伴って前記湾曲部の位置が移動するように構成されていることを特徴とする。
これにより、極めて簡単な構造で、移動部に対して配設される長尺体が移動部の移動に円滑かつ確実に追従するように案内することができ、かつ発塵の少ない長尺体配設構造を提供することができる。
【０００８】
本発明の長尺体配設構造では、前記帯体は、主として金属材料で構成されていることが好ましい。
これにより、帯体に適度な剛性が得られ、長尺体をより円滑に案内することができる。また、長尺体として通液配管を配設する場合、液体が漏れ出した場合であっても、帯体が腐食するのを防止することができる。
【０００９】
本発明の長尺体配設構造では、前記帯体の長手方向に沿って間隔をおいて複数設置され、前記長尺体を前記帯体に対し保持する保持部材をさらに備えることが好ましい。
これにより、長尺体が帯体の全長に渡って帯体から離間することなく配設されるので、移動部の移動時に長尺体と帯体とが擦れるのがより確実に防止され、擦れによる発塵をより確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の長尺体配設構造では、複数本並設された前記長尺体が前記帯体に沿わせて配設されていることが好ましい。
これにより、複数本の長尺体をまとめて配設することができ、構造の合理化・省スペース化が図れる。
本発明の長尺体配設構造では、前記長尺体は、可撓性を有する管体であることが好ましい。
これにより、極めて簡単な構造で、移動部に対して配設される管体が移動部の移動に円滑かつ確実に追従するように案内することができ、かつ発塵の少ない長尺体配設構造を提供することができる。
本発明の長尺体配設構造では、前記長尺体は、前記帯体の、前記湾曲部において内側に位置する側の面に沿って配設されていることが好ましい。
これにより、移動部の移動に際し長尺体が他の部分に接触しないので、長尺体を保護し、その劣化を防止することができる。
【００１１】
本発明の長尺体配設構造では、前記基部側に、前記帯体および前記長尺体の前記湾曲部より前記第１固定部側の部分を支持する当接面を有する支持部をさらに備えることが好ましい。
これにより、移動部の移動に伴って長尺体をより円滑・確実に案内することができる。
本発明の長尺体配設構造では、前記支持部の当接面は、樹脂により被覆されていることが好ましい。
これにより、移動部の移動に伴って当接面と帯体とが繰り返し接触・離間しても、発塵をより少なくすることができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも１個の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを支持するヘッドユニット支持体と、
前記ヘッドユニット支持体を前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向に移動させるＸ軸方向移動機構と、
前記装置本体と前記ヘッドユニット支持体との間に配設され、吐出対象液を供給する可撓性を有する通液配管とを備え、
前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する液滴吐出装置であって、
前記通液配管は、本発明の長尺体配設構造により配設されていることを特徴とする。
これにより、極めて簡単かつ省スペースの構造で、ヘッドユニット支持体に対して配設される吐出対象液の通液配管がヘッドユニット支持体の移動に円滑かつ確実に追従するように案内することができ、また、通液配管の配設部分からの発塵が少ない液滴吐出装置を提供することができる。
【００１３】
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の長尺体配設構造および液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の長尺体配設構造を備えた液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１５】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、本発明の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出し、吐出した液滴を基板Ｗに着弾させて所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００１６】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００１７】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、基板搬送テーブル３を装置本体２に対しＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５と、基板搬送テーブル３を回転させるθ軸回転機構１０５と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、アライメントカメラ１７と、描画確認カメラ１８と、ヘッドユニット１１、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８を装置本体２に対しＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６とを備えている。
【００１８】
また、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する制御装置（制御手段）１６をさらに備えている。制御装置１６は、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有している。制御装置１６には、Ｙ軸方向移動機構５、Ｘ軸方向移動機構６、θ軸回転機構１０５、ヘッド駆動制御部１３０等を初めとする液滴吐出装置１の各部が接続されている。この制御装置１６は、好ましくは、チャンバ９１の外部に設置される（図１参照）。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（ＰｌａｓｍａＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２０】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２１】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２２】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（予備吐出、フラッシング、または捨て打ちとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００２３】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２４】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するヘッドユニット支持体６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータ５１とガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、ヘッドユニット支持体６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２５】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００２６】
石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所には、ドット抜け検出ユニット１９が固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１のノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けを検出するものであり、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部を備えている。
【００２７】
ドット抜け検出を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各ノズルから液滴を捨て吐出し、ドット抜け検出ユニット１９は、この捨て吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしているノズルの有無および個所を光学的に検出する。この際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液は、ドット抜け検出ユニット１９が備える受け皿に溜まり、この受け皿の底部に接続された吸引チューブ（図示せず）を通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００２８】
タンク収納部１３には、液滴吐出ヘッド１１１へ供給される吐出対象液を貯留する吐出対象液タンク（一次タンク）、洗浄液タンク、再利用タンクおよび排液タンク（いずれも図示せず）がそれぞれ設置されている。前記洗浄液タンクには、後述するクリーニングユニット８１へ供給される洗浄液が貯留される。前記再利用タンクには、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液が貯留される。前記排液タンクには、描画前フラッシングユニット１０４、ドット抜け検出ユニット１９および後述する定期フラッシングユニット８２からそれぞれ回収された吐出対象液が貯留される。
【００２９】
また、前記吐出対象液タンクおよび洗浄液タンク内は、それぞれ、液滴吐出装置１の近傍（好ましくは後述するチャンバ９１の外）に設置された図示しない加圧気体供給源から供給された例えば窒素ガス等の加圧気体により加圧され、この圧力によって、吐出対象液および洗浄液が送出される。
また、図１に示すように、基板搬送テーブル３の移動領域をまたぐようにして、イオナイザーユニット１０９が設置されている。イオナイザーユニット１０９は、基板Ｗの帯電を除電する。
【００３０】
このような液滴吐出装置１は、好ましくは、チャンバ装置９により雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００３１】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納部１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００３２】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、パターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止してクリーン環境を保持することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００３３】
また、このような液滴吐出システム１０では、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納部１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納部１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００３４】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００３５】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００３６】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。
θ軸回転機構１０５は、基板搬送テーブル３を、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直方向の軸（θ軸）を回転中心として所定範囲で回転可能に支持するベアリングと、基板搬送テーブル３を回転させるアクチュエータとを有しており、制御装置１６の制御に基づいて作動する。
【００３７】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００３８】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によってＹ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、パターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００３９】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、パターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００４０】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００４１】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００４２】
図５および図７は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置における長尺体配設構造、ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構等を示す平面図および斜視図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００４３】
Ｘ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するヘッドユニット支持体（メインキャリッジ）６１と、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８を支持するカメラキャリッジ（カメラ支持体）６４と、桁２４上に設置されたリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、ヘッドユニット支持体６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。ヘッドユニット支持体６１およびカメラキャリッジ６４は、それぞれ、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
【００４４】
リニアモータアクチュエータ６２は、ヘッドユニット支持体６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に案内するガイドと、ヘッドユニット支持体６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に駆動するリニアモータとを備えた構成になっている。リニアモータアクチュエータ６２のリニアモータは、同軸上に２個の可動部（図示せず）を有しており、これらの可動部をそれぞれ独立して移動可能になっている。そして、これらの可動部のうちの図５中下側に位置する可動部には、ヘッドユニット支持体６１が連結され、図５中上側に位置する可動部には、カメラキャリッジ６４が連結されている。このような構成により、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット支持体６１と、カメラキャリッジ６４とを同軸で支持するとともに、これらをＸ軸方向に互いに独立して移動させることができる。
【００４５】
なお、図示の構成に限らず、ヘッドユニット１１用の移動機構と、アライメントカメラ１７用の移動機構とは、別々の軸で構成されていてもよい。また、駆動源としては、リニアモータに限らず、例えば、２本のボールねじを利用した構成や、ボールねじのシャフトを固定し、このシャフトに同軸で２つの可動部を設けるような構成などであってもよい。
【００４６】
ヘッドユニット１１は、ヘッドユニット支持体６１に対し着脱可能に支持されている。また、ヘッドユニット１１は、ヘッドユニット高さ調整機構２０を介してヘッドユニット支持体６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と、基板Ｗとの距離を調整することができる。また、本実施形態では、ヘッドユニット支持体６１には、ヘッド駆動制御部１３０が搭載されている。
図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側（付帯装置１２側）に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
【００４７】
また、図７に示すように、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８は、カメラ高さ調整機構１０３を介してカメラキャリッジ６４に支持されている。アライメントカメラ１７は、基板搬送テーブル３に位置決め（プリアライメント）して載置された基板Ｗの所定位置に付された１箇所または複数箇所のアライメントマーク（指標）の位置を画像認識して検出する位置検出手段として機能するものである。描画確認カメラ１８は、基板Ｗに形成（描画）したパターンの描画状態（液滴の着弾状態）を確認するためのものである。カメラ高さ調整機構１０３は、ボールねじとサーボモータ（パルスモータ）とにより、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８の高さを調整可能になっている。
【００４８】
ここで、液滴吐出装置１における基板Ｗのアライメントについて説明する。作業者により、基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材（搬入）されると、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）が作動して、基板搬送テーブル３上で基板Ｗが所定の位置に位置決め（プリアライメント）される。なお、プリアライメントは、産業用ロボットにより、必要な精度で基板Ｗを位置決めして給材することとしてもよい。
基板Ｗをプリアライメントしたら、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からエアー吸引することにより、基板Ｗを基板搬送テーブル３に吸着・固定する。その後、本アライメントが行われる。
【００４９】
本アライメントでは、Ｙ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６を作動することによりアライメントカメラ１７を基板Ｗの１箇所または複数箇所のアライメントマークの付近に相対的に移動させて、アライメントカメラ１７に各アライメントマークの位置を検出させる。制御装置１６は、アライメントカメラ１７によって撮影した画像を画像処理することにより、アライメントマークの位置を認識し、この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５を作動して基板Ｗの姿勢を修正するとともに、基板Ｗの位置補正をデータ上で行う。そして、制御装置１６は、このような本アライメント結果に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１、Ｙ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６の作動を制御して、基板Ｗに所定のパターンを形成（描画）する。これにより、液滴吐出装置１では、基板Ｗ上の正確な位置にパターンを形成（描画）することができる。
【００５０】
図５ないし図７に示すように、装置本体２には、箱状のケーブルベア収納部８７、８８が桁２４側と桁２５側とにそれぞれ設置されている。ケーブルベア収納部８７、８８内には、それぞれ、複数のケーブルベア（図示せず）が設置されており、それらのケーブルベアには、ヘッドユニット支持体６１またはカメラキャリッジ６４側に接続される各種電気配線、通気配管等が収納されている。
【００５１】
ケーブルベア収納部８７、８８には、吸引口８７１、８８１が設けられ、この吸引口８７１、８８１には、チャンバ９１の外部に設置された吸引ポンプへの吸引チューブ（図示せず）が接続されている。これにより、ケーブルベアから発生した粉塵を吸引して外部に排出し、チャンバ９１内のクリーン環境を維持するように構成されている。
【００５２】
図６に示すように、ヘッドユニット支持体６１上には、二次タンク４１２が設置されており、この二次タンク４１２には、タンク収納部１３に設置された吐出対象液タンク（一次タンク）から延びる給液配管（通液配管）４１１が接続されている。給液配管４１１は、可撓性を有するチューブで構成されている。この給液配管４１１の、装置本体２（基部）とヘッドユニット支持体６１（移動部）との間に位置する部分は、後述する本発明の長尺体配設構造７によって配設されている。
【００５３】
二次タンク４１２には、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の給液配管４１４の一端がそれぞれ接続されており、これらの給液配管４１４の他端は、ヘッドユニット１１に設けられた、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口１１２にそれぞれ接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の給液配管４１４のうちの２本のみを図示する。
【００５４】
各給液配管４１４の途中には、遮断弁４１５が設けられている。給液配管４１１を通った吐出対象液は、二次タンク４１２に流入し、二次タンク４１２内で圧力調整された後、各給液配管４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。遮断弁４１５は、二次タンク４１２内の圧力を調整する負圧制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、給液配管４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００５５】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００５６】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。制御装置１６は、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１に対し、ヘッド駆動制御部１３０を介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。
【００５７】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
【００５８】
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００５９】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、ヘッドユニット支持体６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００６０】
前述したような基板Ｗのアライメントが完了した後、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し相対的に主走査および副走査することにより行われる。
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００６１】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００６２】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、ヘッドユニット支持体６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００６３】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００６４】
図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図である。
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図９に示すように、この付帯装置１２は、クリーニングユニット（ワイピングユニット）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００６５】
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）やキャッピングを行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。以下、付帯装置１２が備える各ユニットについて順次説明する。
【００６６】
クリーニングユニット８１は、洗浄液を含ませたワイピングシートをローラーにより走行させ、このワイピングシートにより各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取るよう作動する。このクリーニングユニット８１によって液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００６７】
定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部を有しており、ヘッドユニット１１の待機時のフラッシングに使用される。定期フラッシングユニット８２には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００６８】
キャッピングユニット８３は、各液滴吐出ヘッド１１１に対応するように配置された複数のキャップとこれらキャップを昇降させる昇降機構とを有している。各キャップには、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピングユニット８３は、各キャップで各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を覆うとともに、各吐出ノズルから吐出対象液を吸引することができるようになっている。このようなキャッピングユニット８３によるキャッピングを行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止したり、ノズル詰まりを回復（解消）したりすることができる。
【００６９】
このキャッピングは、ヘッドユニット１１の待機時のほか、ヘッドユニット１１に吐出対象液を初期充填する際、吐出対象液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１１から吐出対象液を排出する際、洗浄液によって流路を洗浄する際などにも行われる。
キャッピングユニット８３によるキャッピング中に液滴吐出ヘッド１１１から排出された吐出対象液は、前記吸引チューブを通ってタンク収納部１３に設置された再利用タンク内に流入し貯留される。この貯留された液体は、回収され、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
【００７０】
吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、吐出量測定用ユニット８４の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を吐出量測定用ユニット８４に対し吐出する。吐出量測定用ユニット８４は、吐出された液滴を受ける着脱可能な液受け部を備えており、この液受け部で受けた液体の重量を液滴吐出システム１０の外部に設置された電子天秤等の重量計で計測する。または、吐出量測定用ユニット８４に重量計を設け、ここで重量を計測してもよい。制御装置１６は、この重量計測結果に基づいて、吐出ノズルから吐出される１滴の液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００７１】
付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６とをさらに備えている。付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部には、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１が設けられている。また、付属台８５の上部には、ボールねじ８５２を有する駆動機構が設置されており、移動台８６は、この駆動機構に駆動され、ガイド８５１に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００７２】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４は、上述した移動台８６上にＹ軸方向に並んで設置されている。そして、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置した状態で移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４のいずれかをヘッドユニット１１の下方に位置決めできるようになっている。これにより、ヘッドユニット１１は、上述したノズル形成面の清掃、定期フラッシング、キャッピング、および、後述する吐出量測定用ユニット８４への液滴の吐出のいずれかを、選択的に行うことができる。
【００７３】
次に、液滴吐出装置１が備える本発明の長尺体配設構造７について説明する。図１０は、本発明の長尺体配設構造の実施形態を示す図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図である。図１１は、図１０に示す長尺体配設構造における湾曲部付近を拡大して示す側面図、図１２は、図１０に示す長尺体配設構造を図１０中の左側から見た正面図である。
【００７４】
図５ないし図７に示すように、液滴吐出装置１は、リニアモータアクチュエータ６２の近傍（外側）に、長尺体配設構造７を有している。この長尺体配設構造７は、装置本体２側から伸びる給液配管４１１（長尺体）がヘッドユニット支持体６１の移動に円滑に追従するように案内するものである。
図１０（ｂ）および図１１に示すように、長尺体配設構造７は、可撓性（湾曲変形に対する弾力性）を有する細長い薄板状の帯体７１を有しており、給液配管４１１の中間部分（長尺体配設構造７に案内される部分）は、この帯体７１の片面側に接触しつつ、帯体７１の長手方向に沿って配設されている。
【００７５】
図１０（ａ）に示すように、本実施形態では、給液配管４１１は、液滴吐出ヘッド１１１の個数と同数の１２本が並設されており、この１２本の給液配管４１１が帯体７１に沿わせて配設されている。これらの給液配管４１１は、一体的に形成されて互いに連結されていても、１本１本バラバラになっていてもよい。なお、図６中では、見易くするため、１２本の給液配管４１１のうちの１本のみを図示する。また、液滴吐出装置１では、本実施形態と異なり、タンク収納部１３の一次タンクと二次タンク４１２とが１本の給液配管４１１で接続されていてもよい。
【００７６】
図１０に示すように、帯体７１の一端部は、第１固定部７２において装置本体２側（基部側）に固定されている。給液配管４１１の第１固定部７２より先の部分は、図１０中では図示を省略するが、タンク収納部１３へと伸びて一次タンクに接続されている（図６参照）。
帯体７１の他端部は、第２固定部７３において、ヘッドユニット支持体６１側（移動部側）に固定されている。図５ないし図７に示すように、第２固定部７３とヘッドユニット支持体６１とは、連結部材６５により、連結・固定されている。これにより、第２固定部７３は、ヘッドユニット支持体６１に伴ってＸ軸方向に移動する。給液配管４１１の第２固定部７３より先の部分は、図１０中では図示を省略するが、二次タンク４１２に接続されている（図６参照）。
【００７７】
図１０（ｂ）および図１１に示すように、帯体７１および給液配管４１１の第１固定部７２と第２固定部７３との間の部分には、帯体７１の表裏がほぼ反転するように両者が一体となって湾曲する湾曲部７４が形成されている。すなわち、帯体７１および給液配管４１１は、湾曲部７４においてほぼ１８０°湾曲して反対方向に折り返すように配設されている。そして、帯体７１および給液配管４１１の湾曲部７４の両側の部分は、それぞれ、ヘッドユニット支持体６１の移動方向（Ｘ軸方向）に沿ってほぼ真っ直ぐに（平らに）伸びている。
【００７８】
このような長尺体配設構造７では、ヘッドユニット支持体６１の移動に伴って湾曲部７４の位置がＸ軸方向に移動するように構成されている。これにより、ヘッドユニット支持体６１の移動に伴って給液配管４１１の第２固定部７３側（移動部側）の部分を円滑に案内することができ、給液配管４１１が折れ曲がったり他の部位にからまったりするのを確実に防止することができる。
【００７９】
また、長尺体配設構造７では、帯体７１を用いた極めて簡単な構造で上記効果を達成することができる。よって、ケーブルベアを用いる場合と比べ、構造の簡素化および小型化（省スペース化）が図れる。
また、長尺体配設構造７は、ケーブルベアと異なり、部材同士の回転部分（摺動部分）がないので、発塵を防止することができる。よって、前記ケーブルベア収納部８７、８８のようなケースを設けて内部を吸引排気しなくても、チャンバ９１内のクリーン環境を高いレベルで維持することができ、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を良好に行うことができる。また、前記ケーブルベア収納部８７、８８のようなケースが不要なので、さらなる省スペース化が図れる。
【００８０】
また、本実施形態の液滴吐出装置１では、吐出対象液の給液配管４１１を、ヘッドユニット支持体６１側に接続される他の電気配線・通気配管等と別個に独立して長尺体配設構造７によって配設したことにより、経年劣化によって給液配管４１１に生じた亀裂等から吐出対象液が万一漏れ出した場合であっても、電気配線・通気配管等にダメージ（腐食等）を与えるのを防止することができる。
【００８１】
帯体７１の構成材料としては、特に限定されず、例えばステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金、チタンまたはチタン合金、銅または銅系合金等の各種金属材料、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリアセタール、ポリアリレート、ポリアクリロニトリル、ポリフッ化ビニリデン、アイオノマー、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）のようなポリエステル、ブタジエン−スチレン共重合体、芳香族または脂肪族ポリアミド、ポリテトラフルオロエチレン（テフロン（「テフロン」は登録商標です））等のフッ素系樹脂等の各種樹脂材料（プラスチック）、またはこれらを任意に組み合わせたものを用いることができるが、帯体７１の構成材料としては、金属材料が好ましく、特にステンレス鋼であるのがより好ましい。ステンレス鋼は、吐出対象液に対する耐食性に優れるので、給液配管４１１の経年劣化等により生じた亀裂等から吐出対象液が万一漏れ出した場合であっても、帯体７１が損傷するのを防止することができる。
【００８２】
湾曲部７４の曲率半径は、特に限定されないが、２５〜２００ｍｍ程度であるのが好ましく、５０〜１５０ｍｍ程度であるのがより好ましい。この湾曲部７４の曲率半径は、給液配管４１１の曲がりが小さすぎて流れにくくなったり、曲がりが大きすぎてスペースを取り過ぎたりしないような大きさになるように適宜設定される。
また、帯体７１の厚さは、湾曲部７４の曲率半径が適度な大きさになるように適宜設定され、構成材料によってもその好ましい値は異なるが、通常は、帯体７１の厚さは、０．０５〜０．５ｍｍ程度であるのが好ましく、０．１〜０．３ｍｍ程度であるのがより好ましい。
【００８３】
図１０に示すように、本実施形態の長尺体配設構造７は、装置本体２側に設置された支持部（支持台）７５を有している。支持部７５は、細長い平板状の部材で構成され、その上面（当接面７５１）で帯体７１および給液配管４１１の湾曲部７４より第１固定部７２側の部分を支持する。これにより、帯体７１および給液配管４１１の湾曲部７４より第１固定部７２側の部分を確実に真っ直ぐに保つことができ、ヘッドユニット支持体６１の移動に伴って給液配管４１１をより円滑・確実に案内することができる。
【００８４】
図１１に示すように、支持部７５の当接面７５１は、樹脂により被覆されており、これにより、当接面７５１と帯体７１とが繰り返し接触・離間しても、発塵をより少なくすることができる。当接面７５１を被覆する樹脂は、特に限定されないが、摩擦係数が小さい点で、ポリテトラフルオロエチレン（テフロン（「テフロン」は登録商標です））等のフッ素系樹脂であるのが好ましい。また、当接面７５１を樹脂で被覆する方法は特に限定されないが、例えば樹脂製粘着シートを貼り付けることにより被覆することができる。
また、本実施形態では、給液配管４１１は、帯体７１の、湾曲部７４において内側に位置する側の面に沿って配設されている。これにより、給液配管４１１は、当接面７５１に接触しないので、給液配管４１１を保護し、劣化を防止することができる。
【００８５】
図１２に示すように、長尺体配設構造７は、給液配管４１１を帯体７１に対し保持する保持部材７６を備えている。保持部材７６は、帯体７１の長手方向に垂直な姿勢で設置されたほぼ棒状の部材であり、帯体７１との間に給液配管４１１を挟んで保持している。図１０に示すように、この保持部材７６は、帯体７１の長手方向に沿って間隔をおいて複数設置されている。この保持部材７６が設けられていることにより、給液配管４１１が帯体７１の全長に渡って帯体７１から離間することなく配設されるので、移動時に給液配管４１１と帯体７１とが擦れるのがより確実に防止され、擦れによる発塵をより確実に防止することができる。
【００８６】
なお、長尺体配設構造７は、図示の例と異なり、箱状の収納部に収納されていてもよい。このようにした場合には、給液配管４１１から万一液漏れしても、漏れ出した液体が収納部内にとどまるので、液体が他のユニットに付着するのを防止することができる。また、そのような収納部の底部に漏液センサを設けてもよい。これにより、液漏れした場合にそのことを漏液センサで検知することができ、迅速に液漏れに対応することができるので、被害を最小限にすることができる。さらに、収納部内から吸引排気することとしてもよい。
【００８７】
以上、本発明の長尺体配設構造および液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、長尺体配設構造および液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の長尺体配設構造は、液滴吐出装置に限らず、他の種類のあらゆる装置（例えば、各種製造装置、各種測定・計測装置、各種検査装置、各種医療用装置等）に対しても適用することができる。
【００８８】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の長尺体配設構造を備えた液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の長尺体配設構造を備えた液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】長尺体配設構造、ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構等を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】長尺体配設構造、ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構等を示す斜視図。
【図８】パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１０】本発明の長尺体配設構造の実施形態を示す図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図。
【図１１】図１０に示す長尺体配設構造における湾曲部付近を拡大して示す側面図。
【図１２】図１０に示す長尺体配設構造を図１０中の左側から見た正面図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置、１０……液滴吐出システム、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１２……付帯装置、１３……タンク収納部、１４……ブロー装置、１５……レーザー測長器、１５１……レーザー測長器センサヘッド、１５２……ミラー、１５３……レーザー測長器本体、１５４……コーナーキューブ、１６……制御装置、１７……アライメントカメラ、１８……描画確認カメラ、１９……ドット抜け検出ユニット、２０……ヘッドユニット高さ調整機構、２……装置本体、２１……架台、２１１……枠体、２１２……支持脚、２２……石定盤、２２１……Ｙ軸方向移動機構支持部、２２２……支柱支持部、２２３……支柱支持部、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、３……基板搬送テーブル、３３２……吸引口、５……Ｙ軸方向移動機構、５１……リニアモータ、５２……エアスライダ、５２１……スライドガイド、５２２……スライドブロック、６……Ｘ軸方向移動機構、６１……ヘッドユニット支持体、６２……リニアモータアクチュエータ、６３……ガイド、６４……カメラキャリッジ、６５……連結部材、７……長尺体配設構造、７１……帯体、７２……第１固定部、７３……第２固定部、７４……湾曲部、７５……支持部、７５１……当接面、７６……保持部材、８１……クリーニングユニット、８２……定期フラッシングユニット、８３……キャッピングユニット、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８６……移動台、８７……ケーブルベア収納部、８７１……吸引口、８８……ケーブルベア収納部、８８１……吸引口、９……チャンバ装置、９１……チャンバ、９１１……天井裏、９１２……フィルタ、９１３……主室、９１４……隔壁、９１５……隔壁、９１６……副室、９１７……連通部、９１８……扉、９２……空調装置、９３……導入ダクト、９４……排気ダクト、１０１……薄板、１０３……カメラ高さ調整機構、１０４……描画前フラッシングユニット、１０５……θ軸回転機構、１０８……ベース、１０９……イオナイザーユニット、１３０……ヘッド駆動制御部、４１１……給液配管、４１２……二次タンク、４１４……給液配管、４１５……遮断弁、Ｗ……基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a long body arrangement structure, a droplet discharge device, an electro-optical device, a method of manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
An industrial application used to manufacture, for example, a color filter or an organic EL display device in a liquid crystal display device or to form a metal wiring on a substrate by applying an ink jet method (droplet discharging method) of an ink jet printer. A droplet discharge device (inkjet drawing device) has been proposed.
[0003]
In such a droplet discharge device, a head unit having a droplet discharge head (inkjet head) is provided so as to be movable with respect to the device main body (for example, see Patent Document 1). Therefore, it is necessary to provide an ink pipe for supplying ink (liquid to be ejected) to the head unit from the apparatus main body side to the head unit side. In this case, a cable carrier is generally used to guide these ink pipes so as to follow the movement of the head unit. The cable carrier is usually made of a resin material (plastic).
[0004]
However, since the cable carrier is an elongated casing in which a number of unit units are rotatably connected to each other adjacent to each other, it has a number of connecting portions (rotating portions). Since the unit units slide with each other, they are scraped off by friction and generate a large amount of dust. Therefore, in order to maintain a clean environment around the droplet discharge device, it is necessary to house the cable carrier in a case, suction air inside, and discharge dust to the outside. As a result, there is a problem that the structure of the droplet discharge device becomes complicated and large.
In addition, if the ink pipe is arranged using a cable carrier, or if the ink pipe is cracked due to aging or the like and a liquid leak occurs, the leaked ink corrodes and corrodes the cable bear. There are also problems.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 10-260367 A
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a very simple structure that can guide a long body disposed to a moving part to smoothly and surely follow the movement of the moving part, and has a small particle generation. An object of the present invention is to provide a structure for arranging a body. Another object of the present invention is to provide a droplet discharge device having the above-described long body arrangement structure, an electro-optical device manufactured using the droplet discharge device, and to use the droplet discharge device. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electro-optical device and an electronic apparatus including the electro-optical device.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
According to the present invention, there is provided an elongated body disposing structure in which a flexible elongated body is arranged between a base and a moving part which is installed so as to be movable in one direction with respect to the base. Construction structure,
A flexible band,
A first fixing portion provided on the base portion side and fixing one end of the band body;
A second fixing unit provided on the moving unit side and fixing the other end of the band body;
On one side of the band, the elongate body having a portion disposed along the longitudinal direction of the band,
The band and the long body are arranged so as to have a curved portion integrally curved so that the front and back of the band are substantially inverted,
It is characterized in that the position of the bending portion is moved with the movement of the moving portion.
This makes it possible to guide the elongate body disposed on the moving part with an extremely simple structure so as to smoothly and surely follow the movement of the moving part, and to dispose the elongate body with little dust generation. An installation structure can be provided.
[0008]
In the long body arrangement structure of the present invention, it is preferable that the band is mainly made of a metal material.
Thereby, moderate rigidity is obtained in the band, and the long body can be guided more smoothly. Further, in the case where the liquid passage pipe is provided as a long body, even if the liquid leaks out, it is possible to prevent the strip from being corroded.
[0009]
In the elongated body disposing structure of the present invention, it is preferable that a plurality of holding members are provided at intervals along the longitudinal direction of the strip, and the holding member holds the elongated body to the strip.
Accordingly, the long body is disposed without being separated from the belt over the entire length of the belt, so that the long body and the belt are more reliably prevented from rubbing when the moving part moves, and the rubbing is prevented. Dust can be more reliably prevented.
[0010]
In the elongated body arrangement structure of the present invention, it is preferable that a plurality of the elongated bodies are arranged along the band.
Thereby, a plurality of long bodies can be arranged collectively, and the structure can be rationalized and space can be saved.
In the elongated body disposing structure of the present invention, the elongated body is preferably a flexible tubular body.
With this, it is possible to guide the pipe disposed with respect to the moving part with an extremely simple structure so as to smoothly and surely follow the movement of the moving part, and to provide a long body with little dust generation. Structure can be provided.
In the long body disposing structure of the present invention, it is preferable that the long body is disposed along a surface of the band that is located on the inner side in the curved portion.
Thus, the elongate body does not come into contact with other parts when the moving unit moves, so that the elongate body can be protected and its deterioration can be prevented.
[0011]
In the long body disposing structure of the present invention, the base further includes a support portion having a contact surface that supports a portion of the band body and the curved portion of the long body closer to the first fixed portion. Is preferred.
This makes it possible to more smoothly and reliably guide the elongated body as the moving part moves.
In the elongated body arrangement structure according to the aspect of the invention, it is preferable that a contact surface of the support portion be covered with a resin.
Thereby, even if the contact surface and the band body are repeatedly contacted and separated with the movement of the moving unit, dust generation can be further reduced.
[0012]
The droplet discharge device of the present invention, the device body,
A work placement part on which the work is placed,
A Y-axis direction moving mechanism for moving the work mounting section in one direction (hereinafter, referred to as “Y-axis direction”) horizontal to the apparatus body;
A head unit having at least one droplet discharge head that discharges droplets of a liquid to be discharged onto a work,
A head unit support for supporting the head unit,
An X-axis direction moving mechanism for moving the head unit support in a direction perpendicular and horizontal to the Y-axis direction with respect to the apparatus main body;
A flexible liquid supply pipe disposed between the apparatus main body and the head unit support, for supplying a liquid to be discharged,
A droplet discharge device that forms a predetermined pattern on the work by discharging droplets from the droplet discharge head to the work while relatively moving the work mounting portion and the head unit. So,
The above-mentioned liquid passage pipe is provided by the long body arrangement structure of the present invention.
This makes it possible to guide the liquid supply pipe for the liquid to be discharged, which is provided to the head unit support, smoothly and reliably to follow the movement of the head unit support with a very simple and space-saving structure. Further, it is possible to provide a droplet discharge device that generates less dust from a portion where the liquid passage pipe is provided.
[0013]
An electro-optical device according to the present invention is manufactured using the droplet discharge device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electro-optical device that includes a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy and has low manufacturing costs.
A method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention.
Accordingly, it is possible to provide a method of manufacturing an electro-optical device that can form (draw) a pattern on a work with high accuracy and reduce manufacturing costs.
An electronic apparatus according to the present invention includes the electro-optical device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electronic device having a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy and at a low manufacturing cost.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a long body arrangement structure and a droplet discharge device of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
FIG. 1 and FIG. 2 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of a droplet discharge device provided with a long body arrangement structure of the present invention. In the following, for convenience of explanation, one horizontal direction (a direction corresponding to the horizontal direction in FIGS. 1 and 2) is referred to as a “Y-axis direction”, and a direction perpendicular to the Y-axis direction and horizontal ( The direction corresponding to the up-down direction in FIG. 1) is referred to as “X-axis direction”. The movement in the Y-axis direction to the right in FIGS. 1 and 2 is “forward in the Y-axis direction”, and the movement in the Y-axis direction to the left in FIGS. 1 and 2 is “Y”. 1 is referred to as “retreat in the axial direction”, a downward movement in the X-axis direction in FIG. 1 is referred to as “forward in the X-axis direction”, and an upward movement in the X-axis direction in FIG. Retreat in the axial direction. "
[0015]
A droplet discharge system (droplet discharge system) 10 shown in FIGS. 1 and 2 includes a droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 of the present invention and a chamber (chamber room) 91 that accommodates the droplet discharge device 1. And
The droplet discharge device 1 applies a liquid (discharge target liquid) such as ink or a functional liquid containing a target material to a substrate W as a work by using an inkjet method (droplet discharge method). This is a device that discharges in a state and forms (draws) a predetermined pattern by landing the discharged droplets on the substrate W. For example, a color filter or an organic EL display device in a liquid crystal display device is manufactured, or a device is formed on the substrate. It can be used to form metal wiring. The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and any material may be used as long as it is a plate-like member. For example, a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, and the like may be targeted. it can.
[0016]
Further, the work to be targeted in the present invention is not limited to a plate-shaped member, and may be any member as long as the member has a flat bottom surface. For example, the present invention can also be applied to a droplet discharge device that forms a coating such as an optical thin film by discharging a droplet to the lens using a lens as a work. In addition, the present invention is particularly preferably applied to a relatively large droplet discharge device 1 that can cope with a relatively large work (for example, each having a length and a width of about several tens cm to several meters). can do.
[0017]
The droplet discharge device 1 includes an apparatus main body 2, a substrate transfer table (substrate transfer stage) 3 as a work placement section, and a Y-axis direction movement that moves the substrate transfer table 3 relative to the apparatus main body 2 in the Y-axis direction. Mechanism 5, a θ-axis rotation mechanism 105 for rotating the substrate transfer table 3, a head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads (ink-jet heads) 111, an alignment camera 17, a drawing confirmation camera 18, a head unit 11, And an X-axis direction moving mechanism 6 for moving the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 in the X-axis direction with respect to the apparatus main body 2.
[0018]
Further, the droplet discharge device 1 further includes a control device (control means) 16 for controlling the operation of each part of the droplet discharge device 1. The control device 16 has a CPU (Central Processing Unit) and a storage unit that stores (stores) various programs such as a program for executing a control operation of the droplet discharge device 1 and various data. The control device 16 is connected to the Y-axis direction moving mechanism 5, the X-axis direction moving mechanism 6, the θ-axis rotating mechanism 105, the head drive control section 130, and other components of the droplet discharge device 1 and the like. The control device 16 is preferably installed outside the chamber 91 (see FIG. 1).
[0019]
In the droplet discharge device 1 of the present invention, the liquid discharged from the droplet discharge head 111 is not particularly limited, and in addition to the ink containing the filter material of the color filter, for example, the liquid containing the following various materials ( (Including dispersions such as suspensions and emulsions). A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device; -A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -An electrophoretic material forming an electrophoretic body in an electrophoretic display device. A bank material for forming a bank on the surface of the substrate W;・ Various coating materials. A liquid electrode material for forming an electrode; A particle material forming a spacer for forming a minute cell gap between two substrates; A liquid metal material for forming metal wiring; A lens material for forming a microlens;・ Resist material. A light diffusion material for forming a light diffuser;
[0020]
As shown in FIG. 2, the apparatus main body 2 has a gantry 21 installed on the floor, and a stone surface plate (surface plate) 22 installed on the gantry 21. On the stone platen 22, the substrate transfer table 3 is installed movably in the Y-axis direction with respect to the apparatus main body 2. The substrate transport table 3 moves forward and backward in the Y-axis direction by driving of the linear motor 51. The substrate W is placed on the substrate transfer table 3.
[0021]
In the droplet discharge device 1, substrates W of various sizes and shapes from a relatively large substrate W having the same size as the substrate transfer table 3 to a relatively small substrate W smaller than the substrate transfer table 3 can be used. Can be targeted. In principle, it is preferable that the substrate W performs the droplet discharging operation in a state where the substrate W is positioned so as to be aligned with the center of the substrate transport table 3. The droplet discharging operation may be performed by positioning at a position close to the position.
[0022]
As shown in FIG. 1, in the vicinity of two sides along the X-axis direction of the substrate transfer table 3, before the droplet discharge (drawing) on the substrate W, the droplet discharge head 111 discards the discharge (preliminary discharge). , Flushing, or thrown away) is provided. A suction tube (not shown) is connected to the pre-drawing flushing unit 104, and the discharge target liquid discarded and discharged is collected through the suction tube, and the drainage tank set in the tank storage unit 13. Is stored within.
[0023]
The moving distance of the substrate transfer table 3 in the Y-axis direction is measured by a laser length measuring device 15 as a moving distance detecting means. The laser length measuring device 15 has a laser length measuring device sensor head 151, a mirror 152 and a laser length measuring device main body 153 installed on the apparatus main body 2 side, and a corner cube 154 installed on the substrate transfer table 3 side. ing. The laser light emitted from the laser length measuring device sensor head 151 along the X-axis direction is bent by the mirror 152, travels in the Y-axis direction, and is irradiated on the corner cube 154. The reflected light from the corner cube 154 returns to the laser length measuring device sensor head 151 via the mirror 152. In the droplet discharge device 1, discharge timing from the droplet discharge head 111 is generated based on the moving distance (current position) of the substrate transfer table 3 detected by the laser length measuring device 15 as described above.
[0024]
In the apparatus main body 2, a head unit support 61 that supports the head unit 11 is installed movably in the X-axis direction in a space above the substrate transfer table 3. The head unit 11 having the plurality of droplet discharge heads 111 advances and retreats in the X-axis direction together with the head unit support 61 by driving a linear motor actuator 62 including a linear motor 51 and a guide.
[0025]
Further, the apparatus main body 2 is provided with a blow device 14 for semi-drying the droplets discharged on the substrate W. The blow device 14 has a nozzle that opens in a slit shape along the X-axis direction, and blows gas toward the substrate W from this nozzle while transporting the substrate W in the Y-axis direction by the substrate transport table 3. . In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, two blow devices 14 are provided at positions separated from each other in the Y-axis direction.
[0026]
A dot missing detection unit 19 is fixedly installed in a place on the stone platen 22 that does not overlap with the moving area of the substrate transfer table 3 and that is located below the moving area of the head unit 11. The dot missing detection unit 19 detects a missing dot caused by clogging of a nozzle of the droplet discharge head 111, and includes, for example, a light emitting unit and a light receiving unit that emit and receive laser light. I have.
[0027]
When performing missing dot detection, the head unit 11 discards and discharges droplets from each nozzle while moving in the X-axis direction above the dot missing detection unit 19. By projecting and receiving the droplets, the presence or absence and location of a clogged nozzle are optically detected. At this time, the discharge target liquid discharged from the droplet discharge head 111 accumulates in a tray provided in the dot missing detection unit 19, is collected through a suction tube (not shown) connected to the bottom of the tray, and is collected in a tank. It is stored in a drainage tank installed in the storage unit 13.
[0028]
The tank storage unit 13 includes a discharge target liquid tank (primary tank) for storing the discharge target liquid supplied to the droplet discharge head 111, a cleaning liquid tank, a reuse tank, and a drainage tank (all not shown). is set up. The cleaning liquid tank stores a cleaning liquid supplied to a cleaning unit 81 described later. The target liquid collected from the capping unit 83 described below is stored in the reuse tank. In the drainage tank, the discharge target liquid collected from the pre-drawing flushing unit 104, the missing dot detection unit 19, and the periodic flushing unit 82 described later is stored.
[0029]
In addition, the discharge target liquid tank and the cleaning liquid tank are each provided with, for example, nitrogen gas supplied from a pressurized gas supply source (not shown) installed near the droplet discharge device 1 (preferably outside a chamber 91 described later). The discharge target liquid and the cleaning liquid are delivered by this pressure.
Further, as shown in FIG. 1, an ionizer unit 109 is provided so as to straddle the moving area of the substrate transfer table 3. The ionizer unit 109 eliminates the charge on the substrate W.
[0030]
Such a droplet discharge device 1 preferably discharges (draws) droplets onto the substrate W in an environment where the temperature and humidity of the atmosphere are controlled by the chamber device 9. The chamber device 9 includes a chamber 91 that houses (stores) the droplet discharge device 1, and an air conditioner 92 that is installed outside the chamber 91. The air conditioner 92 has a built-in known air conditioner device, adjusts (adjusts) the temperature and humidity of the air, and sends the air to the ceiling 911 of the chamber 91 via the introduction duct 93. The air sent from the air conditioner 92 to the ceiling 911 passes through a filter 912 installed on the ceiling, and is introduced into the main chamber 913 of the chamber 91.
[0031]
In the chamber 91, in addition to the main chamber 913, a sub chamber 916 is provided by partition walls 914 and 915, and the tank storage unit 13 is installed in the sub chamber 916. A communication portion (opening) 917 that connects the main chamber 913 and the sub chamber 916 is formed in the partition 914.
The sub chamber 916 is provided with an opening / closing door (opening / closing unit) 918 to the outside of the chamber 91 (see FIG. 1). Note that the opening / closing section of the sub chamber 916 is not limited to the opening door such as the opening / closing door 918, but may be a sliding door, a shutter, or the like.
The sub chamber 916 is provided with an exhaust port for discharging gas in the sub chamber 916, and the exhaust port is connected to an exhaust duct 94 extending to the outside. The air in the main chamber 913 flows into the sub-chamber 916 after passing through the communication portion 917, and then is discharged to the outside of the chamber device 9 through the exhaust duct 94.
[0032]
By controlling the temperature and humidity around the droplet discharge device 1 by such a chamber device 9, it is possible to prevent an error from occurring due to expansion and contraction of the substrate W and various parts of the device due to a temperature change. Thus, the accuracy of the pattern drawn (formed) on the substrate W can be further increased. In addition, since the tank storage unit 13 is also placed in an environment where the temperature and humidity are controlled, characteristics such as the viscosity of the liquid to be discharged are stabilized, and pattern formation (drawing) can be performed with higher accuracy. In addition, it is possible to prevent dust and the like from entering the chamber 91, to maintain a clean environment, and to keep the substrate W clean.
A gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, and radon) is supplied and filled into the chamber 91 by air conditioning. The droplet discharge device 1 may be operated inside.
[0033]
Further, in such a droplet discharge system 10, by opening the opening / closing door 918, it is possible to access the tank storage section 13 without opening the main chamber 913 to the outside. Thereby, the temperature and humidity controlled around the droplet discharge device 1 (environment) are not disturbed at the time of accessing the tank storage unit 13, and therefore, even immediately after replacing the tank, replenishing or recovering the liquid, A pattern can be formed (drawn) with high accuracy. Further, even after replacing the tank, replenishing or recovering the liquid, it is not necessary to wait for the temperature in the main chamber 913 or the temperature of each part of the droplet discharge device 1 to return to a controlled value. (Production efficiency) can be improved. For this reason, it is extremely advantageous to mass-produce the work such as the substrate W with high accuracy, and the manufacturing cost can be reduced.
[0034]
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone platen, and a substrate transfer table in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a gantry, a stone plate in the droplet discharge device shown in FIGS. It is a side view which shows a board and a board | substrate conveyance table.
As shown in FIGS. 3 and 4, a substrate transfer table 3 and a Y-axis direction moving mechanism 5 for moving the substrate transfer table 3 in the Y-axis direction are provided on the stone platen 22. As shown in FIG. 3, a plurality of suction ports (suction units) 332 for sucking and fixing the placed substrate W are formed in the substrate transfer table 3.
[0035]
As shown in FIG. 4, the Y-axis direction moving mechanism 5 has a linear motor 51 and an air slider 52. The air slider 52 has a slide guide 521 that extends along the Y-axis direction on the stone platen 22 and a slide block 522 that moves along the slide guide 521. The slide block 522 has an outlet for blowing air between the slide block 521 and the slide guide 521, and the air blown out from the outlet is interposed between the slide block 522 and the slide guide 521 so that the slide block 522 can move smoothly. .
[0036]
The base 108 is fixed on the slide block 522, and the substrate transfer table 3 is fixed on the base 108 via the θ-axis rotation mechanism 105. Thus, the substrate transport table 3 is supported by the air slider 52 so as to be able to move smoothly in the Y-axis direction, and is moved in the Y-axis direction by driving the linear motor 51.
The θ-axis rotation mechanism 105 supports the substrate transport table 3 so as to be rotatable within a predetermined range around a vertical axis (θ-axis) passing through the center of the substrate transport table 3, and rotates the substrate transport table 3. And operates based on the control of the control device 16.
[0037]
Above the Y-axis direction moving mechanism 5, a pair of band-shaped thin plates 101 made of a metal material such as stainless steel is stretched so as to cover the Y-axis direction moving mechanism 5 from above. The thin plate 101 is inserted between the base 108 and the θ-axis rotation mechanism 105 through a recess (groove) formed on the upper surface of the base 108. The provision of the thin plate 101 can prevent the target liquid discharged from the droplet discharge head 111 from adhering to the Y-axis direction moving mechanism 5 and protect the Y-axis direction moving mechanism 5. be able to.
[0038]
The stone platen 22 is made of solid stone, and the upper surface thereof has a high flatness. The stone surface plate 22 is excellent in various characteristics such as stability against environmental temperature change, damping against vibration, stability against aging (deterioration), and corrosion resistance against the liquid to be discharged. In the present embodiment, since the Y-axis direction moving mechanism 5 and the later-described X-axis direction moving mechanism 6 are supported by such a stone platen 22, errors due to environmental temperature changes, vibrations, aging (deterioration), and the like are caused. High precision is obtained in the relative movement between the substrate transport table 3 and the head unit 11 (the droplet discharge head 111), and the high precision can be always maintained stably. As a result, pattern formation (drawing) can be performed with higher accuracy and always stably.
The stone material constituting the stone surface plate 22 is not particularly limited, but is preferably any of Belfast Black, Rustenburg, Kurnool, and Indian Black. Thereby, each of the above characteristics of the stone surface plate 22 can be made more excellent.
[0039]
Such a stone surface plate 22 is supported by the gantry 21. The gantry 21 has a frame body 211 formed by assembling an angle material or the like in a rectangular shape, and a plurality of support legs 212 distributed below the frame body 211. The gantry 21 preferably has an anti-vibration structure using an air spring, a rubber bush, or the like, and is configured to transmit vibration from the floor to the stone surface plate 22 as little as possible.
The stone surface plate 22 is preferably supported (placed) on the gantry 21 in a non-fastened state (non-fixed state) with the gantry 21. Thus, it is possible to prevent the thermal expansion or the like occurring in the gantry 21 from affecting the stone surface plate 22, and as a result, it is possible to form (draw) the pattern with higher accuracy.
[0040]
Further, in the present embodiment, the stone surface plate 22 includes a Y-axis direction moving mechanism supporting portion 221 that forms a rectangle that is long in the Y-axis direction in plan view, and a halfway portion of the Y-axis direction moving mechanism supporting portion 221 in the longitudinal direction. The strut support portions 222 and 223 protrude from both sides in both directions in the X-axis direction, respectively. As a result, the shape of the stone platen 22 has a cross shape in plan view. In other words, the stone surface plate 22 has a shape in plan view, in which four corners are removed from a rectangle. On the support members 222 and 223, four support members 23 described later are provided. That is, the stone platen 22 has a shape as viewed from a plane, in which a portion where the Y-axis direction moving mechanism 5 and the column 23 are not installed is removed from a rectangle.
[0041]
Thus, the weight of the stone platen 22 can be reduced, and the area occupied by the stone platen 22 can be reduced, so that the droplet discharge device 1 can be easily transported to the installation location and the factory can be installed. The load capacity of the floor at the place can be small, and the area occupied by the droplet discharge system 10 in the factory can be reduced. In addition, the stone surface plate 22 in the present embodiment as described above may be configured by one stone material, or may be configured by combining a plurality of stone materials.
[0042]
FIGS. 5 and 7 are a plan view and a perspective view, respectively, showing a long body arrangement structure, a head unit, an X-axis direction moving mechanism, and the like in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIGS. It is the side view seen from the arrow A direction in 5.
As shown in FIGS. 6 and 7, a total of four pillars 23 facing each other with the Y-axis direction moving mechanism 5 interposed therebetween are provided on the stone surface plate 22 (the pillar support parts 222 and 223). And two parallel beams (beams) 24 and 25 extending along the X-axis direction supported by the support columns 23 are provided. The board transfer table 3 can pass below the girders 24 and 25.
[0043]
The X-axis direction moving mechanism 6 is supported by four columns 23 via beams 24 and 25. As shown in FIG. 5, the X-axis direction moving mechanism 6 includes a head unit support (main carriage) 61 that supports the head unit 11, and a camera carriage (camera support) that supports the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18. 64, a linear motor actuator 62 installed on the spar 24, and a guide 63 installed on the spar 25 and guiding the head unit support 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction. The head unit support 61 and the camera carriage 64 are installed so as to be bridged between the linear motor actuator 62 and the guide 63, respectively.
[0044]
The linear motor actuator 62 includes a guide for guiding the head unit support 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction, respectively, and a linear motor for driving the head unit support 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction. It has become. The linear motor of the linear motor actuator 62 has two movable parts (not shown) on the same axis, and these movable parts can be independently moved. A head unit support 61 is connected to the lower movable portion in FIG. 5 of these movable portions, and a camera carriage 64 is connected to the upper movable portion in FIG. I have. With such a configuration, the X-axis direction moving mechanism 6 supports the head unit support body 61 and the camera carriage 64 coaxially and can move them independently in the X-axis direction.
[0045]
In addition, the moving mechanism for the head unit 11 and the moving mechanism for the alignment camera 17 may be configured with different axes, without being limited to the illustrated configuration. The drive source is not limited to a linear motor. For example, a configuration using two ball screws, a configuration in which a shaft of a ball screw is fixed, and two movable portions are coaxially provided on the shaft, or the like is used. There may be.
[0046]
The head unit 11 is detachably supported by the head unit support 61. The head unit 11 is supported by a head unit support 61 via a head unit height adjustment mechanism 20. Accordingly, the distance between the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 and the substrate W can be adjusted according to the thickness of the substrate W. In the present embodiment, the head drive control unit 130 is mounted on the head unit support 61.
As shown in FIG. 7, the linear motor actuator 62 and the guide 63 are provided so as to extend further beyond the support column 23 (toward the auxiliary device 12). Thus, the head unit 11 can move to a position above the auxiliary device 12 described later.
[0047]
As shown in FIG. 7, the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 are supported by a camera carriage 64 via a camera height adjustment mechanism 103. The alignment camera 17 recognizes and detects the position of one or a plurality of alignment marks (indexes) attached to a predetermined position of the substrate W placed (pre-aligned) on the substrate transfer table 3 and placed thereon. It functions as a position detecting means. The drawing confirmation camera 18 is for checking the drawing state (droplet landing state) of the pattern formed (drawn) on the substrate W. The camera height adjustment mechanism 103 can adjust the height of the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 by using a ball screw and a servomotor (pulse motor).
[0048]
Here, the alignment of the substrate W in the droplet discharge device 1 will be described. When an operator feeds (loads) the substrate W onto the substrate transfer table 3, a substrate positioning device (not shown) provided in the droplet discharge device 1 operates to move the substrate W on the substrate transfer table 3. It is positioned (pre-aligned) at a predetermined position. In the pre-alignment, the substrate W may be positioned and supplied with necessary accuracy by an industrial robot.
After the substrate W is pre-aligned, the substrate W is sucked and fixed to the substrate transfer table 3 by sucking air from each suction port 332 of the substrate transfer table 3. Thereafter, the main alignment is performed.
[0049]
In this alignment, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 are operated to relatively move the alignment camera 17 near one or more alignment marks on the substrate W. To detect the position of each alignment mark. The control device 16 recognizes the position of the alignment mark by performing image processing on an image captured by the alignment camera 17, and operates the θ-axis rotation mechanism 105 to correct the posture of the substrate W based on the recognition result. At the same time, the position of the substrate W is corrected on the data. Then, the control device 16 controls the operations of the droplet discharge head 111, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 based on the result of the main alignment to form a predetermined pattern on the substrate W. Form (draw). Accordingly, in the droplet discharge device 1, a pattern can be formed (drawn) at an accurate position on the substrate W.
[0050]
As shown in FIGS. 5 to 7, in the apparatus main body 2, box-shaped cable carrier storage portions 87 and 88 are installed on the girder 24 side and the girder 25 side, respectively. A plurality of cable carriers (not shown) are installed in the cable carrier housings 87 and 88, respectively, and these cable carriers include various types connected to the head unit support 61 or the camera carriage 64 side. Electrical wiring, ventilation pipes, etc. are stored.
[0051]
The cable carrier storage portions 87 and 88 are provided with suction ports 871 and 881, and the suction ports 871 and 881 are connected to a suction tube (not shown) for a suction pump installed outside the chamber 91. ing. Thus, the dust generated from the cable carrier is sucked and discharged to the outside, and the clean environment in the chamber 91 is maintained.
[0052]
As shown in FIG. 6, a secondary tank 412 is installed on the head unit support 61, and the secondary tank 412 has a liquid tank to be discharged (primary tank) installed in the tank storage unit 13. A liquid supply pipe (liquid supply pipe) 411 extending from the connection is connected. The liquid supply pipe 411 is formed of a flexible tube. The portion of the liquid supply pipe 411 located between the apparatus main body 2 (base) and the head unit support 61 (moving portion) is provided by a long body mounting structure 7 of the present invention described later. .
[0053]
One end of each of twelve liquid supply pipes 414 corresponding to each of the twelve droplet discharge heads 111 provided in the head unit 11 is connected to the secondary tank 412, and the other ends of these liquid supply pipes 414 are connected to each other. Are connected to twelve inlets 112 provided in the head unit 11 and corresponding to the respective droplet discharge heads 111. In FIG. 6, only two of the twelve liquid supply pipes 414 are shown for easy viewing.
[0054]
A shutoff valve 415 is provided in the middle of each liquid supply pipe 414. The liquid to be discharged having passed through the liquid supply pipe 411 flows into the secondary tank 412, and after being adjusted in pressure in the secondary tank 412, is supplied to each droplet discharge head 111 through each liquid supply pipe 414. . When the negative pressure control unit that adjusts the pressure in the secondary tank 412 does not function for some reason, the shutoff valve 415 shuts off the flow path of the liquid supply pipe 414 and discharges droplets at a position lower than the secondary tank 412. The liquid to be discharged is prevented from continuing to flow from the secondary tank 412 to the head 111 and leaking from the droplet discharge head 111.
[0055]
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation) in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2. As shown in FIG. 8, the head unit 11 is provided with a plurality of (twelve in the present embodiment) droplet discharge heads 111. A large number of ejection nozzles (openings) for ejecting droplets are formed in one or more rows on the nozzle forming surface of each droplet ejection head 111. In the head unit 11, twelve droplet discharge heads 111 are arranged in two rows of six in the sub-scanning direction (X-axis direction). The posture is inclined with respect to the scanning direction.
[0056]
The droplet discharge head 111 is provided with a drive unit having a piezoelectric element (piezo element) (not shown) as a drive element for each discharge nozzle. The control device 16 controls the drive of each of the driving units for each of the droplet discharge heads 111 of the head unit 11 via the head drive control unit 130. Thus, each droplet discharge head 111 discharges a droplet from a predetermined discharge nozzle. In this case, for example, when a predetermined voltage is applied to the piezoelectric element, the piezoelectric element deforms (expands and contracts), whereby the inside of the corresponding pressure chamber (liquid chamber) is pressurized, and the corresponding discharge nozzle (the pressure A predetermined amount of droplets is discharged from a discharge nozzle communicating with the chamber).
[0057]
In the present invention, the droplet discharge head 111 is not limited to the above-described configuration. For example, the droplet to be discharged is discharged from the discharge nozzle by heating the liquid to be discharged by a heater as a driving element to boil the liquid. It may be configured such that
[0058]
The above-described arrangement pattern of the droplet discharge heads 111 in the head unit 11 is an example. For example, adjacent droplet discharge heads 111 in each head row are arranged at an angle of 90 ° (when the adjacent heads are The liquid ejection heads 111 may be arranged at an angle of 90 ° between the head rows (the heads between rows may be arranged in a “C” shape). In any case, the dots by all the ejection nozzles of the plurality of droplet ejection heads 111 need only be continuous in the sub-scanning direction.
[0059]
Furthermore, the droplet discharge heads 111 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 111 may be arranged in a staggered or stepwise manner. . Further, as long as a nozzle row (dot row) having a predetermined length can be formed, this may be formed by a single droplet discharge head 111. Further, a plurality of head units 11 may be installed on the head unit support 61.
[0060]
After the above-described alignment of the substrate W is completed, the droplet discharge device 1 starts an operation of forming (drawing) a predetermined pattern on the substrate W. This operation is performed by main scanning and sub-scanning of the droplet discharge head 111 (head unit 11) relative to the substrate W.
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the main scanning is performed while moving the substrate W in the Y-axis direction by moving the substrate transfer table 3 in a state where the head unit 11 is stopped (not moved) with respect to the device main body 2. This is performed by discharging liquid droplets from each liquid droplet discharging head 111 to the substrate W. That is, in the present embodiment, the Y-axis direction is the main scanning direction.
[0061]
The main scanning may be performed during forward movement (forward movement) of the substrate transfer table 3, during backward movement (backward movement), or during both forward movement and backward movement (reciprocation). Further, the substrate transfer table 3 may be reciprocated a plurality of times, and may be repeatedly performed a plurality of times. By such a main scan, the discharge of the liquid droplets is completed in an area extending along the main scan direction with a predetermined width (a width that can be discharged by the head unit 11) on the substrate W.
[0062]
After such a main scan, a sub-scan is performed. The sub-scanning is performed by moving the head unit 11 in the X-axis direction by the predetermined width by moving the head unit support 61 when the droplet is not ejected. That is, in the present embodiment, the X-axis direction is the sub-scanning direction.
After such sub-scanning, the same main scanning as described above is performed. As a result, the droplet is ejected to a region adjacent to the region where the droplet was ejected in the previous main scan.
By alternately repeating the main scanning and the sub-scanning in this manner, droplets are ejected to the entire region of the substrate W, and a predetermined pattern of the ejected droplets (liquid) is formed on the substrate W. Can be formed (drawn).
[0063]
In the present invention, the main scanning direction and the sub-scanning direction may be opposite to those described above. That is, main scanning is performed by discharging droplets onto the substrate W while moving the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction with the substrate W (substrate transport table 3) stopped. Alternatively, the sub-scanning may be performed by moving the substrate W (substrate transport table 3) in the Y-axis direction when the droplet is not ejected.
[0064]
FIG. 9 is a perspective view showing an auxiliary device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2.
The auxiliary device 12 is installed on the side of the gantry 21 and the stone surface plate 22 of the device main body 2 (on the X axis direction front side with respect to the device main body 2). As shown in FIG. 9, the auxiliary device 12 includes a cleaning unit (wiping unit) 81, a regular flushing unit 82, a capping unit 83, and a discharge amount measurement unit (weight measurement unit) 84. I have.
[0065]
The head unit 11 waits at a position above the auxiliary device 12 when, for example, supplying or removing the substrate W. Then, during this standby, cleaning (cleaning) and capping of the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111, and periodic discard discharge (periodic flushing) are performed. Hereinafter, each unit included in the auxiliary device 12 will be sequentially described.
[0066]
The cleaning unit 81 operates so that the wiping sheet containing the cleaning liquid is run by a roller, and the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 is wiped by the wiping sheet. The cleaning unit 81 wipes off the liquid to be discharged adhered to the nozzle forming surface of the liquid droplet discharging head 111, thereby causing the liquid droplets to be distorted (disordered) in the discharging direction (flying direction) of each of the discharging nozzles. Is prevented and droplets can be ejected straight, so that pattern formation (drawing) on the substrate W can be performed with high accuracy.
[0067]
The periodic flushing unit 82 has a liquid receiving unit that receives the droplets discharged and discharged by the droplet discharge head 111, and is used for flushing the head unit 11 during standby. A suction tube (not shown) is connected to the regular flushing unit 82, and the liquid to be discharged, which has been discarded and discharged, is collected through the suction tube, and is discharged from the drainage tank installed in the tank storage unit 13. Is stored in
[0068]
The capping unit 83 has a plurality of caps arranged so as to correspond to the respective droplet discharge heads 111, and an elevating mechanism for elevating the caps. A suction tube (not shown) is connected to each cap, and the capping unit 83 covers the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 with each cap, and sucks the liquid to be discharged from each discharge nozzle. You can do it. By performing such capping by the capping unit 83, it is possible to prevent the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 from drying or to recover (eliminate) nozzle clogging.
[0069]
This capping is performed when the head unit 11 is discharged, and when the head unit 11 is initially filled with the liquid to be discharged, when the liquid to be discharged is replaced with a different liquid, the liquid to be discharged from the head unit 11 is discharged. It is also performed when the flow path is washed with a washing liquid.
The liquid to be discharged discharged from the droplet discharge head 111 during the capping by the capping unit 83 flows into the reuse tank provided in the tank storage unit 13 through the suction tube and is stored. The stored liquid is collected and provided for reuse. However, the washing liquid collected at the time of washing the channel is not reused.
[0070]
The discharge amount measuring unit 84 is used to measure a single droplet discharge amount (weight) from the droplet discharge head 111 as a preparation stage for the droplet discharge operation on the substrate W. That is, before the droplet discharge operation on the substrate W, the head unit 11 moves above the discharge amount measuring unit 84 and measures the discharge amount once or more than once from all the discharge nozzles of each droplet discharge head 111. To the application unit 84. The discharge amount measuring unit 84 includes a detachable liquid receiving portion that receives the discharged liquid droplets. The weight of the liquid received by the liquid receiving portion is measured by an electronic balance installed outside the liquid droplet discharging system 10. Measure with a weighing scale. Alternatively, a weight scale may be provided in the discharge amount measuring unit 84, and the weight may be measured here. The control device 16 calculates the amount (weight) of one droplet discharged from the discharge nozzle based on the result of the weight measurement, and controls the liquid so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The voltage applied to the head driver that drives the droplet ejection head 111 is corrected.
[0071]
The attachment device 12 further includes an attachment table 85 installed on the floor, and a movable table 86 movable on the attachment table 85 in the Y-axis direction. The attachment base 85 has a long shape in the Y-axis direction, and a pair of guides (rails) 851 for guiding the movable base 86 in the Y-axis direction is provided at an upper portion thereof. A driving mechanism having a ball screw 852 is installed on the upper part of the attachment base 85. The moving base 86 is driven by the driving mechanism and moves in the Y-axis direction along the guide 851.
[0072]
The cleaning unit 81, the periodic flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 are installed on the above-mentioned moving table 86 in the Y-axis direction. When the moving table 86 moves in the Y-axis direction while the head unit 11 is positioned above the auxiliary device 12, any one of the cleaning unit 81, the periodic flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 is provided. Can be positioned below the head unit 11. Thus, the head unit 11 can selectively perform any of the above-described cleaning of the nozzle forming surface, periodic flushing, capping, and discharge of the droplet to the discharge amount measurement unit 84 described below.
[0073]
Next, the elongated body arrangement structure 7 of the present invention included in the droplet discharge device 1 will be described. FIGS. 10A and 10B are diagrams showing an embodiment of the long body disposing structure of the present invention, wherein FIG. 10A is a plan view and FIG. 11 is an enlarged side view showing the vicinity of a curved portion in the elongated body arrangement structure shown in FIG. 10, and FIG. 12 is a front view of the elongated body arrangement structure shown in FIG. 10 viewed from the left side in FIG. FIG.
[0074]
As shown in FIGS. 5 to 7, the droplet discharge device 1 has a long body arrangement structure 7 near (outside) the linear motor actuator 62. The long body arrangement structure 7 guides the liquid supply pipe 411 (long body) extending from the apparatus main body 2 so as to smoothly follow the movement of the head unit support 61.
As shown in FIGS. 10B and 11, the elongated body disposing structure 7 has an elongated thin plate-shaped band 71 having flexibility (elasticity against bending deformation), and a liquid supply pipe. An intermediate portion 411 (a portion guided by the elongated body disposing structure 7) is arranged along the longitudinal direction of the band 71 while being in contact with one side of the band 71.
[0075]
As shown in FIG. 10A, in the present embodiment, twelve liquid supply pipes 411 are provided in parallel with the number of the droplet discharge heads 111, and the twelve liquid supply pipes 411 are arranged in a band. It is arranged along the body 71. These liquid supply pipes 411 may be formed integrally and connected to each other, or may be separated one by one. In FIG. 6, only one of the twelve liquid supply pipes 411 is shown for easy viewing. Further, in the droplet discharge device 1, unlike the present embodiment, the primary tank and the secondary tank 412 of the tank storage unit 13 may be connected by one liquid supply pipe 411.
[0076]
As shown in FIG. 10, one end of the band 71 is fixed to the apparatus main body 2 side (base side) at the first fixing portion 72. Although not shown in FIG. 10, the portion of the liquid supply pipe 411 beyond the first fixing portion 72 extends to the tank storage portion 13 and is connected to the primary tank (see FIG. 6).
The other end of the band 71 is fixed to the head unit support 61 side (moving section side) in the second fixing section 73. As shown in FIGS. 5 to 7, the second fixing portion 73 and the head unit support 61 are connected and fixed by a connecting member 65. Thereby, the second fixing portion 73 moves in the X-axis direction along with the head unit support 61. The portion of the liquid supply pipe 411 beyond the second fixing portion 73 is connected to the secondary tank 412, though not shown in FIG. 10 (see FIG. 6).
[0077]
As shown in FIG. 10B and FIG. 11, the front and back of the band 71 are almost reversed between the band 71 and the liquid supply pipe 411 between the first fixing portion 72 and the second fixing portion 73. As described above, the curved portion 74 is formed so that both are integrally curved. That is, the band 71 and the liquid supply pipe 411 are disposed so as to be bent substantially 180 ° at the bending portion 74 and to be folded in the opposite direction. Then, both sides of the band 71 and the curved portion 74 of the liquid supply pipe 411 extend substantially straight (flat) along the moving direction (X-axis direction) of the head unit support 61, respectively.
[0078]
In such a long body disposing structure 7, the position of the bending portion 74 moves in the X-axis direction with the movement of the head unit support 61. Accordingly, the portion of the liquid supply pipe 411 on the second fixed part 73 side (moving part side) can be smoothly guided with the movement of the head unit support body 61, and the liquid supply pipe 411 is bent or other parts are displaced. It is possible to reliably prevent the user from getting entangled in the screen.
[0079]
Further, in the elongated body arrangement structure 7, the above-described effect can be achieved with a very simple structure using the band 71. Therefore, the structure can be simplified and downsized (space saving) as compared with the case where a cable carrier is used.
Further, unlike the cable carrier, the elongated body arrangement structure 7 has no rotating part (sliding part) between the members, so that dust generation can be prevented. Therefore, a clean environment in the chamber 91 can be maintained at a high level without providing a case such as the cable bear storage portions 87 and 88 and suctioning and exhausting the inside. ) Can be performed favorably. In addition, since a case like the cable bear storage portions 87 and 88 is not required, further space saving can be achieved.
[0080]
Further, in the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the supply pipe 411 of the liquid to be discharged is elongated independently of other electric wiring and ventilation pipes connected to the head unit support 61 side. Even if the liquid to be discharged leaks from a crack or the like generated in the liquid supply pipe 411 due to aging due to the arrangement by the arrangement structure 7, damage to the electric wiring, ventilation pipes, etc. (corrosion, etc.) ) Can be prevented.
[0081]
The constituent material of the band 71 is not particularly limited. For example, stainless steel, aluminum or an aluminum alloy, titanium or a titanium alloy, various metal materials such as copper or a copper-based alloy, polyethylene, polyolefin such as polypropylene, polystyrene, polycarbonate, ABS resin, acrylic resin, polymethyl methacrylate (PMMA), polyacetal, polyarylate, polyacrylonitrile, polyvinylidene fluoride, ionomer, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer, polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT) Polyester, butadiene-styrene copolymer, aromatic or aliphatic polyamide, polytetrafluoroethylene (Teflon ("Teflon" is a registered trademark)), etc. Various resin materials (plastics) such as a fluorine-based resin or any combination thereof can be used, but as a constituent material of the band 71, a metal material is preferable, and particularly, stainless steel is more preferable. . Since stainless steel has excellent corrosion resistance to the liquid to be discharged, even if the liquid to be discharged leaks from a crack or the like caused by aging of the liquid supply pipe 411 or the like, the band 71 is not damaged. Can be prevented.
[0082]
The radius of curvature of the curved portion 74 is not particularly limited, but is preferably about 25 to 200 mm, and more preferably about 50 to 150 mm. The radius of curvature of the curved portion 74 is appropriately set so that the liquid supply pipe 411 does not have too small a curve to make it difficult to flow, or has too large a curve to take up too much space.
The thickness of the band 71 is appropriately set so that the radius of curvature of the curved portion 74 is an appropriate size, and the preferable value varies depending on the constituent material. , And preferably about 0.05 to 0.5 mm, and more preferably about 0.1 to 0.3 mm.
[0083]
As shown in FIG. 10, the elongated body arrangement structure 7 of the present embodiment has a support portion (support base) 75 installed on the apparatus main body 2 side. The support portion 75 is formed of an elongated plate-shaped member, and supports a portion of the belt 71 and the curved portion 74 of the liquid supply pipe 411 closer to the first fixed portion 72 on the upper surface (contact surface 751). Thereby, the portion of the band 71 and the curved portion 74 of the liquid supply pipe 411 on the first fixed portion 72 side can be reliably kept straight, and the liquid supply pipe 411 is further moved with the movement of the head unit support 61. Guidance can be provided smoothly and reliably.
[0084]
As shown in FIG. 11, the contact surface 751 of the support portion 75 is covered with a resin, so that even if the contact surface 751 and the band 71 are repeatedly contacted or separated, dust generation is reduced. can do. The resin that covers the contact surface 751 is not particularly limited, but is preferably a fluororesin such as polytetrafluoroethylene (Teflon (“Teflon” is a registered trademark)) such as a low coefficient of friction. The method for coating the contact surface 751 with a resin is not particularly limited, but the contact surface 751 can be coated by, for example, attaching a resin adhesive sheet.
Further, in the present embodiment, the liquid supply pipe 411 is provided along the surface of the belt 71 on the side located inside the curved portion 74. Thereby, since the liquid supply pipe 411 does not contact the contact surface 751, the liquid supply pipe 411 can be protected, and deterioration can be prevented.
[0085]
As shown in FIG. 12, the elongated body arrangement structure 7 includes a holding member 76 that holds the liquid supply pipe 411 to the band 71. The holding member 76 is a substantially rod-shaped member installed in a posture perpendicular to the longitudinal direction of the band 71, and holds the liquid supply pipe 411 between the band 71 and the holding member 76. As shown in FIG. 10, a plurality of the holding members 76 are provided at intervals along the longitudinal direction of the band 71. Since the holding member 76 is provided, the liquid supply pipe 411 is disposed over the entire length of the band 71 without being separated from the band 71, so that the liquid supply pipe 411 and the band 71 Is more reliably prevented from rubbing, and dust generation due to rubbing can be more reliably prevented.
[0086]
Note that, unlike the illustrated example, the elongated body arrangement structure 7 may be housed in a box-shaped housing section. In such a case, even if the liquid leaks from the liquid supply pipe 411, the leaked liquid stays in the storage section, so that the liquid can be prevented from adhering to other units. Further, a liquid leakage sensor may be provided at the bottom of such a storage section. Thus, when a liquid leaks, it can be detected by the liquid leak sensor, and the liquid leak can be promptly dealt with, so that damage can be minimized. Further, the air may be sucked and exhausted from the storage section.
[0087]
As described above, the elongate body arrangement structure and the droplet discharge device of the present invention have been described with reference to the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited to this, but the elongate body arrangement structure and the droplet discharge device. Can be replaced with any component having the same function. Further, an arbitrary component may be added.
In addition, the elongated body arrangement structure of the present invention is not limited to the droplet discharge device, but may be any other type of device (eg, various manufacturing devices, various measurement / measurement devices, various inspection devices, various medical devices, etc.). Can also be applied to
[0088]
Further, an electro-optical device according to the present invention is characterized by being manufactured using the above-described droplet discharge device according to the present invention. Specific examples of the electro-optical device according to the invention are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
Further, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention. The method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing a liquid crystal display device. That is, by selectively discharging the liquid containing the filter material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate is manufactured. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition, the method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing an organic EL display device. That is, by selectively discharging a liquid containing a luminescent material of each color onto a substrate using the droplet discharge device of the present invention, an organic pixel having a large number of pixel pixels including an EL luminescent layer arranged on the substrate. An EL display device can be manufactured.
According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured as described above. Specific examples of the electronic apparatus of the present invention include, but are not particularly limited to, a personal computer and a mobile phone equipped with the liquid crystal display device and the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a droplet discharge device provided with a long body arrangement structure of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of a droplet discharge device provided with a long body arrangement structure of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 4 is a side view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 5 is a plan view showing a long body arrangement structure, a head unit, an X-axis direction moving mechanism, and the like.
FIG. 6 is a side view as seen from the direction of arrow A in FIG. 5;
FIG. 7 is a perspective view showing a long body arrangement structure, a head unit, an X-axis direction moving mechanism, and the like.
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation).
FIG. 9 is a perspective view showing an auxiliary device in the droplet discharge device.
10A and 10B are diagrams showing an embodiment of a long body disposing structure of the present invention, wherein FIG. 10A is a plan view and FIG. 10B is a side view.
11 is an enlarged side view showing the vicinity of a curved portion in the elongated body arrangement structure shown in FIG.
FIG. 12 is a front view of the long body arrangement structure shown in FIG. 10 as viewed from the left side in FIG. 10;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 10 ... Droplet discharge system, 11 ... Head unit, 111 ... Droplet discharge head, 112 ... Inlet, 12 ... Accessory device, 13 ... Tank storage part, 14 …… Blow device, 15… Laser length measuring device, 151 …… Laser length measuring device sensor head, 152 …… Mirror, 153 …… Laser length measuring device main body, 154 …… Corner cube, 16 …… Control device, 17 ... Alignment camera, 18 Drawing confirmation camera, 19 Missing dot detection unit, 20 Head unit height adjustment mechanism, 2 Device body, 21 Stand, 211 Frame, 212 Support legs, 22: Stone surface plate, 221: Y-axis direction moving mechanism support portion, 222: Support column support portion, 223: Support column support portion, 23: Support column, 24: Girder, 25: Girder, 3 ... board transfer table , 332, suction port, 5, Y-axis direction moving mechanism, 51, linear motor, 52, air slider, 521, slide guide, 522, slide block, 6, X-axis direction moving mechanism, 61 ... Head unit support, 62 Linear motor actuator, 63 Guide, 64 Camera carriage, 65 Connecting member, 7 Long body arrangement structure, 71 Strip, 72 First fixing portion 73 Second fixing portion 74 Curved portion 75 Support portion 751 Contact surface 76 Holding member 81 Cleaning unit 82 Periodical flushing unit 83, a capping unit, 84, a discharge amount measuring unit, 85, an accessory table, 86, a moving table, 87, a cable carrier storage section, 871, a suction port, 88, a cable carrier storage section 881 suction port, 9 chamber apparatus, 91 chamber, 911 ceiling, 912 filter, 913 ... main chamber, 914 ... partition wall, 915 ... partition wall, 916 ... sub chamber, 917: communication unit, 918: door, 92: air conditioner, 93: introduction duct, 94: exhaust duct, 101: thin plate, 103: camera height adjustment mechanism, 104: flushing unit before drawing , 105 .theta.-axis rotating mechanism, 108, base, 109, ionizer unit, 130, head drive control unit, 411, liquid supply pipe, 412, secondary tank, 414, liquid supply pipe, 415 …… Shutoff valve, W …… Substrate

Claims

A long body disposing structure for disposing a flexible long body between a base and a moving part installed so as to be movable in one direction with respect to the base,
A flexible band,
A first fixing portion provided on the base portion side and fixing one end of the band body;
A second fixing unit provided on the moving unit side and fixing the other end of the band body;
On one side of the band, the elongate body having a portion disposed along the longitudinal direction of the band,
The band and the long body are arranged so as to have a curved portion integrally curved so that the front and back of the band are substantially inverted,
A long body disposing structure, wherein the position of the bending portion is moved in accordance with the movement of the moving portion.

The elongated body arrangement structure according to claim 1, wherein the band body is mainly made of a metal material.

3. The elongated body disposing structure according to claim 1, further comprising a plurality of holding members that are provided at intervals along the longitudinal direction of the belt and hold the elongated body with respect to the belt.

4. The elongated body arrangement structure according to claim 1, wherein a plurality of the elongated bodies are arranged along the band. 5.

The elongated body disposing structure according to any one of claims 1 to 4, wherein the elongated body is a flexible tube.

The elongate body arrangement structure according to any one of claims 1 to 5, wherein the elongate body is arranged along a surface of the band body located on an inner side in the curved portion.

The support according to any one of claims 1 to 6, further comprising a support portion on the base side, the support having a contact surface for supporting a portion of the band and the elongated body closer to the first fixed portion than the curved portion. Long body arrangement structure.

The long body disposing structure according to claim 7, wherein a contact surface of the support portion is covered with a resin.

The device body,
A work placement part on which the work is placed,
A Y-axis direction moving mechanism for moving the work mounting section in one direction (hereinafter, referred to as “Y-axis direction”) horizontal to the apparatus body;
A head unit having at least one droplet discharge head that discharges droplets of a liquid to be discharged onto a work,
A head unit support for supporting the head unit,
An X-axis direction moving mechanism for moving the head unit support in a direction perpendicular and horizontal to the Y-axis direction with respect to the apparatus main body;
A flexible liquid supply pipe disposed between the apparatus main body and the head unit support, for supplying a liquid to be discharged,
A droplet discharge device that forms a predetermined pattern on the work by discharging droplets from the droplet discharge head to the work while relatively moving the work mounting portion and the head unit. So,
A droplet discharge device, wherein the liquid passage pipe is provided by the long body arrangement structure according to any one of claims 1 to 8.

An electro-optical device manufactured using the droplet discharge device according to claim 9.

A method for manufacturing an electro-optical device, comprising using the droplet discharge device according to claim 9.

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 10.