JP2004283714A - 液剤吐出ディスペンサ - Google Patents

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聡 村田
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Akihiro Makimoto
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Abstract

【課題】液剤吐出ディスペンサに関し、液剤を汚染することなく安定に吐出することのできる液剤吐出ディスペンサを提供することを目的とする。
【解決手段】液剤吐出ディスペンサは、一端部にノズルを有するシリンジ12と、該シリンジの他端部から該シリンジに嵌合されたプランジャ14と、該シリンジの該一端部と該他端部との間の部分に接続された管18と、該管の他端に接続された液剤タンク16とを備え、該液剤タンクは該液剤タンクの液面が該シリンジより上になるように配置される構成とする。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば液晶滴下注入方法で使用されるのに適した液剤吐出ディスペンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置は、一対の基板と、これらの基板の間に挿入された液晶とからなる。例えば、一方の基板はTFTを形成したTFT基板であり、他方の基板はカラーフィルタを形成したカラーフィルタ基板である。また、一方の基板には光硬化性シール剤からなる環状のシールが形成され、環状のシールは一対の基板を貼り合わせた後で紫外線を照射することにより硬化する。液晶は環状のシールによって取り囲まれた領域に挿入される。
【0003】
従来の液晶表示装置の製造方法においては、環状のシールに注入孔が設けられ、一対の基板を貼り合わせた後、液晶は真空チャンバ内で環状のシールに設けた注入孔から注入される。その後、環状のシールの注入孔は塞がれ、一対の基板からなる液晶パネルは真空チャンバの外部へ取り出される。
【0004】
最近、滴下注入法と呼ばれる液晶表示装置の製造方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。滴下注入法では、一方の基板に環状のシールを形成し、液滴状の液晶をその基板の環状のシール内に滴下する。それから、一対の基板は真空チャンバ内で貼り合わせられる。滴下注入法によれば、製造工程が短縮され、液晶表示装置の製造コストを低減することができる。
【0005】
滴下注入法では、液晶を基板に滴下するために液剤吐出ディスペンサが使用される。液剤吐出ディスペンサは、一端部にノズルを有するシリンジと、シリンジの他端部からシリンジに嵌合されたプランジャとからなる。プランジャをシリンジ内で前進させることによって、液滴状の液晶がノズルから吐出する。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−229044号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置を製造するための滴下注入法において、少量の液晶を液剤吐出ディスペンサから一様に安定性よく吐出することが必要である。吐出される液晶量が変動すると、液晶セルの厚さが変動し、表示品質が低下したり、また気泡(真空層)が混入したりする問題が発生する。また、シリンジ内の液晶に気泡や異物が混入すると、局所的なセル厚異常や液晶汚染が発生する。従って、液晶は一定量ずつ且つ気泡が入らないようにシリンジに供給され、そして一定量ずつ且つ気泡が入らないようにシリンジから吐出される必要がある。
【0008】
液晶表示装置を製造するための滴下注入法に使用される液剤吐出ディスペンサに限らず、その他の液剤を吐出する液剤吐出ディスペンサのシリンジにおいては、液剤供給量が不安定になれば、液剤吐出量も不安定になり、安定供給、安定吐出が行われない。液剤内の異物、液剤自身の汚染等が生じた場合は、用途によりさまざまな障害が発生する。
【0009】
本発明の目的は液剤を汚染することなく安定に吐出することのできる液剤吐出ディスペンサを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明による液剤吐出ディスペンサは、一端部にノズルを有するシリンジと、該シリンジの他端部から該シリンジに嵌合されたプランジャと、該シリンジの該一端部と該他端部との間の部分に接続された管と、該管の他端部に接続された液剤タンクとを備え、該液剤タンクは該液剤タンクの液面が該シリンジより上になるように配置されることを特徴とするものである。
【0011】
この構成によれば、プランジャをシリンジ内で前進させることによって、液滴状の液晶がノズルから吐出する。プランジャをシリンジ内で後退させることによって、液剤タンク内の液剤がシリンジに供給される。液剤タンクは液剤タンク内の液面がシリンジより上になるように配置されているので、液剤タンクからシリンジへ液剤を供給するときに、気泡が入ることなく円滑に液剤を供給することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【0013】
図1は本発明の実施例による液剤吐出ディスペンサを示す図である。液剤吐出ディスペンサ10は、シリンジ12と、プランジャ14と、液剤タンク16と、シリンジ12と液剤タンク16とを接続する管18とを有する。シリンジ12の一端部にはノズル20が設けられ、プランジャ14はシリンジ12の他端部からシリンジ12に嵌合される。
【0014】
プランジャ14はパルスモータ22により駆動される。シリンジ12はプランジャ14とともにケーシング24に配置されており、パルスモータ22及び運動伝達機構もケーシング24に配置されている。また、シリンジ12内の液剤を加熱するために、ヒータがケーシング24に配置されている。さらに、シリンジ12のノズル20の近くには吐出バルブ26が配置される。
【0015】
液剤タンク16には液剤28(例えば液晶)が入れられている。液剤タンク16は液剤タンク内の液面28aがシリンジ12より上になるように配置される。好ましくは、液剤タンク16の底部がシリンジ12の頂部より上にある。従って、液剤タンク16からシリンジ12へ液剤28を供給するときに、気泡が入ることなく円滑に液剤28を供給することができる。
【0016】
液剤タンク16はキャップ30を含み、気体供給装置32に接続された管34がキャップ30に接続される。よって、気体供給装置32は液剤タンク16の液面28a上に気体(例えばN )を供給する。液剤タンク16の液面28a上に気体を供給する気体供給装置32が、液剤タンク16内の液剤28に圧力を加える手段を構成する。
【0017】
さらに、リーク穴36がキャップ30に設けられている。液剤タンク16内に供給された気体の一部はリーク穴36から逃がされる。よって、気体の供給量とリークされる気体量とによって液剤タンク16内の圧力が調整される。気体の供給及びリークは液剤タンク16の液面28aが直接空気に触れて水分等によって汚染されないようにする。
【0018】
管18の一端はシリンジ12の下端部と上端部との間の部分に接続され、管18の他端は液剤タンク16の下端に接続される。フィルタ38及び供給バルブ40が管18に配置される。フィルタ38は液剤タンク16に配置されることもできる。
【0019】
図2はフィルタ38を示す断面図である。フィルタ38はフィルタケース38aと、フィルタケース38a内に配置された逆カップ状のフィルタ部材38bとからなる。フィルタケース38aはほぼ直線状をなす上下通路38cを有する。フィルタ部材38bは多孔質の材料で作られる。フィルタ部材38bは孔径0.2μm〜5μmの孔を有するのが望ましい。フィルタ部材38bの孔径が大きいと濾過効果は低下し、フィルタ部材38bの孔径が小さいと液剤の流れに抵抗を与える。
【0020】
供給バルブ40は電磁的に作動されるバレルバルブ又はダイアフラムバルブからなる。吐出バルブ26は空気力によって作動されるシリンジバルブ又はプラグバルブからなる。
【0021】
図3は吐出バルブ26の一例を示す図である。吐出バルブ26はバルブケース26aと、バルブケース26a内に配置された円筒状のバルブ部材26bとからなる。バルブケース26aはほぼ直線状をなす上下通路26cを有し、バルブ部材26bは直径方向に貫通する通路26dを有する。バルブ部材26bは空気力作動部26eに接続され、バルブ部材26bは空気力作動部26eに導入された空気によって矢印に示されるように回転される。バルブ部材26bが一位置に駆動されると、通路26dが通路26cと一直線状に整列して、吐出バルブ26が開放される。バルブ部材26bが他の位置に駆動されると、通路26dが通路26cと整列しなくなり、バルブ部材26bが通路26cを遮断して吐出バルブ26が閉鎖される。
【0022】
各部材は汚染されにくい材料で作られる。例えば、シリンジ12はステンレス鋼で作られ、液剤タンク16はPE樹脂で作られる。管18はテフロン(登録商標)のチューブで作られ、フィルタ38はテフロン又はステンレス鋼で作られる。供給バルブ40の内部はテフロンで作られ、吐出バルブ26はステンレス鋼にテフロンコーティングした材料で作られる。
【0023】
例えば、液剤タンク16はPE製バレル(武蔵エンジニアリング製)で形成され、フィルタ38はパイプ差し込みフィルタ(日本ポール製)またはフロロライン−s(日本ミリポア製)、供給バルブ40はダイアフラムバルブ(武蔵エンジニアリング製)、吐出バルブ26はプラグバルブ(NUPRO製)により形成される。
【0024】
制御装置42がパルスモータ22と気体供給装置32を制御する。さらに、制御装置42は供給バルブ40と吐出バルブ26を制御する。なお、プランジャ14の移動の制御には、SMPII(武蔵エンジニアリング製)を用いることができる。
【0025】
図4は液剤タンク16の液剤28をシリンジ12へ供給する場合を示す図である。図5は液剤28をシリンジ12のノズル20から吐出する場合を示す図である。
【0026】
図4において、液剤28を液剤タンク16からシリンジ12へ供給する場合には、最初にシリンジ12に配置された液剤吐出バルブ26を閉じ、その後シリンジ12と液剤タンク16とを接続する管18に配置された液剤供給バルブ40を開き、プランジャ14をシリンジ12内で後退させる。プランジャ14を後退させることにより、液剤28はシリンジ12内へ吸い上げられる。このとき、液剤タンク16の液面28a上の加圧気体が液剤28に背圧を与えるので、液剤28はより安定的にシリンジ12内へ吸い上げられる。
【0027】
図5において、液剤28をシリンジ12のノズル20から吐出する場合には、最初にシリンジ12と液剤タンク16とを接続する管18に配置された液剤供給バルブ40を閉じ、その後シリンジ12に配置された液剤吐出バルブ26を開き、シリンジ12に配置されたプランジャ14を前進させる。
【0028】
図4及び図5において、プランジャ14の下端位置はシリンジ12と管18との接続部よりも少し上にある。プランジャ14の上端位置及び下端位置はほぼ一定であり、プランジャ14はほぼ一定のストロークの範囲内で液剤供給と液剤吐出を繰り返すことができる。従って、液剤供給と液剤吐出はより安定的に行われることができる。液剤供給時にノズル20からあるいは液剤タンク16側からシリンジ12に気泡等が吸い込まれない。また、液剤吐出時に、液剤タンク16側からシリンジ12に気泡等が入り込むことはない。
【0029】
このように、液剤タンク16内の液剤28の液面28aをシリンジ12より上に配置すること、および、液剤タンク16の内部に圧力を加え、液剤供給を行うことにより、液剤タンク16からシリンジ12への液剤28の移動をスムーズに行い、液剤安定供給を実現できる。
【0030】
また、液剤28の種類、液剤タンク16から管18を通ってシリンジ12に至るまでの流れの圧損による流量変動がある場合には、加圧力、プランジャ移動速度を可変とすることにより、常に最適な液送を実現できる。
【0031】
液剤供給時に液剤吐出バルブ26を閉じ、その後液剤供給バルブ40を開き、液剤タンク16内の液剤28をシリンジ12に供給すること、および、液剤吐出時に液剤供給バルブ40を閉じ、その後液剤吐出バルブ26を開き、シリンジ12内の液剤28を吐出することにより、供給吐出動作で液剤経路内に気泡が混入することがなく、安定した供給及び安定した吐出を実現できる。
【0032】
液剤タンク16と液剤供給バルブ40の間にフィルタ38を設けることで、吐出精度に影響を及ぼさず、液剤28の汚染を防止できる。
【0033】
液剤タンク16にリーク穴36を設けることで、液剤28の水分吸着により発生する汚染を防止できる。
【0034】
図6は液晶表示装置を示す図である。液晶表示装置50は一対の基板52,54と、一対の基板52,54の基板の間に挿入された液晶56とからなる。58は環状のシールである。
【0035】
図7は滴下注入工程を示す図である。図7の基板60は多面取りのマザーガラスであり、図6の基板52(又は54)が4つ分一緒に形成される。液晶56は図1に示した液剤吐出ディスペンサ10から液滴状に基板52上で環状のシール58に囲まれた領域に滴下される。この場合、液晶56は図1の液剤28に相当する。液剤吐出ディスペンサ10はXY方向に移動しながら液晶56を環状のシール18で取り囲まれた領域に滴下する。環状のシール58を形成するシール剤はUV硬化性接着性樹脂またはUVと熱の併用によって硬化する接着性樹脂からなる。そのようなシール剤が基板60に塗布され、後で硬化される。もう一方の基板にはスペーサに接着剤をコーティングした接着性スペーサが塗布される。スペーサの代わりに支柱を設けてスペース散布工程を省くこともできる。
【0036】
1つの液晶表示装置50には例えば250mgの液晶56が含まれる。液晶56は1つの環状のシール58で囲まれた領域に例えば50点に滴下される。従って、1滴当たりの液晶の量は5mgである。液剤吐出ディスペンサ10はある点で5mgの液晶を吐出し、次の点に移動して5mgの液晶を吐出し、これを50回繰り返す。本発明の液剤吐出ディスペンサ10はそのような微小な量の液晶を安定的に吐出できるものである。
【0037】
シリンジ12は例えば1〜1.5gの液晶を含むことができる。液剤吐出ディスペンサ10は次のようにして使用される。1つの環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出が終了したら、次の環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出を行う。ただし、1つの環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出を行った後、続けて次の環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出を行うのではなく、1つの環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出を行った後、液剤供給を行う。すなわち、液剤吐出バルブ26を閉じ、その後液剤供給バルブ40を開き、プランジャ14を後退させ、液剤28に圧力をかけながら、液晶供給を行い、液剤タンク16内の液剤28をシリンジ12に供給する。それから、次の環状のシール58で囲まれた領域で50回の吐出を行う。供給と吐出において、プランジャ14はシリンジ12内のほぼ同じ範囲内で移動するので、それぞれの液晶表示装置毎の液晶の量のバラツキはかなり低下する。
【0038】
このようにして、液晶表示装置の製造における滴下注入法において、液晶の滴下を高精度に実施することができる。液晶の滴下注入法において、液晶量の増減により、セル厚異常、気泡(真空層)混入などの障害がなく、また、液晶内に混入している異物により、局所的なセル厚異常が発生することがなく、液晶の水分汚染がなく、優れた表示品質の液晶表示装置を得ることができる。
【0039】
図8は液剤タンク加圧力と液剤供給との関係を示す図である。線Aはプランジャ14を127秒間で所定量移動させた場合を示し、線Bはプランジャ14を42秒間で所定量移動させた場合を示し、線Cはプランジャ14を25秒間で所定量移動させた場合を示す。線Aに示されるように、プランジャ14の移動速度が遅いほど液剤の供給量は多くなる。また、気体の加圧力が大きいほど液剤の供給量は多くなる。
【0040】
図9は一定の気体の加圧力で所定量の液剤を移動させるのに要するプランジャの移動時間を示す図である。設定値はコントローラの設定値であり、プランジャの速度で関係する値である。この場合、フィルタ38は日本ミリポア製のフィルタ(孔径0.2μm)を使用している。プランジャ14の移動速度が遅いほど所定量の液剤を移動させるのに要するプランジャの移動時間は多くなる。
【0041】
図10は液剤吐出処理回数と吐出バラツキとの関係を示す図である。四角の点と菱形の点とはフィルタ種類、タンク加圧力、プランジャ上昇速度を変えた条件の下での測定結果である。四角の点は処理回数がある値になると吐出バラツキが大きくなることを示し、不安定な条件の下で得られたことを示す。菱形の点は処理回数が多くなっても吐出バラツキは小さく、不安定な条件の下で得られたことを示す。
【0042】
図8から図10に示されるように、液剤供給に際しては、プランジャの移動速度のみ、又は気体の加圧力のみでは、対象とする液剤に対して最適の液剤供給条件を設定するのは難しく、プランジャの移動速度と気体の加圧力とを変えながらそれらを組み合わせて制御するのが好ましい。また、液剤タンクの加圧力とプランジャの移動速度を可変とすることが好ましい。
【0043】
本発明の液剤吐出ディスペンサは、液晶表示装置の製造のために滴下注入法で使用される液剤吐出ディスペンサばかりでなく、その他の用途で使用されることができる。
【0044】
以上説明した例は下記の特徴を含む。
【0045】
(付記1) 一端部にノズルを有するシリンジと、該シリンジの他端部から該シリンジに嵌合されたプランジャと、該シリンジの該一端部と該他端部との間の部分に接続された管と、該管の他端部に接続された液剤タンクとを備え、該液剤タンクは該液剤タンク内の液面が該シリンジより上になるように配置されることを特徴とする液剤吐出ディスペンサ。 (1)
(付記2) 該液剤タンク内の液剤に圧力を加える手段を有することを特徴とする付記1に記載の液剤吐出ディスペンサ。 (2)
(付記3) 該液剤タンク内の液剤に圧力を加える手段は該液剤タンクの液面上に気体を供給する手段からなることを特徴とする付記2に記載の液剤吐出ディスペンサ。
【0046】
(付記4) 該液剤タンクは液面より上にリーク穴を有することを特徴とする付記3に記載の液剤吐出ディスペンサ。 (3)
(付記5) 該プランジャを移動させる駆動手段を有することを特徴とする付記1に記載の液剤吐出ディスペンサ。
【0047】
(付記6) 該液剤タンク内の液剤に圧力を加える手段と、該プランジャを移動させる駆動手段と、該液剤タンク内の液剤に圧力を加える手段と該駆動手段を制御する制御手段とを備え、該シリンジから液剤を吐出するときには該プランジャを前進させ、該液剤タンク内の液剤を該シリンジに供給するときには該プランジャを後退させ且つ該液剤タンク内部に圧力を加えることを特徴とする付記1に記載の液剤吐出ディスペンサ。
【0048】
(付記7) 該シリンジと液剤タンクとを接続する管に配置された液剤供給バルブと、該シリンジに配置された液剤吐出バルブとを備えることを特徴とする付記1に記載の液剤吐出ディスペンサ。 (4)
(付記8) 該シリンジと液剤タンクとを接続する管に配置されたフィルタを備えることを特徴とする付記1に記載の液剤吐出ディスペンサ。 (5)
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液剤の安定供給、吐出を実現でき、液剤汚染による障害の発生を抑えて安定してプロセスを確立できることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例による液剤吐出ディスペンサを示す図である。
【図2】図2はフィルタを示す断面図である。
【図3】図3は吐出バルブを示す図である。
【図4】図4は液剤タンクの液剤をシリンジへ供給する場合を示す図である。
【図5】図5は液剤をシリンジのノズルから吐出する場合を示す図である。
【図6】図6は液晶表示装置を示す図である。
【図7】図7は滴下注入工程を示す図である。
【図8】図8は液剤タンク加圧力と液剤供給との関係を示す図である。
【図9】一定の気体の加圧力で所定量の液剤を移動させるのに要するプランジャの移動時間を示す図である。
【図10】図10は液剤吐出処理回数と吐出バラツキとの関係を示す図である。
【符号の説明】
10…液剤吐出ディスペンサ
12…シリンジ
14…プランジャ
16…液剤タンク
18…管
20…ノズル
22…パルスモータ
26…吐出バルブ
28…液剤
30…キャップ
32…気体供給装置
34…管
36…リーク穴
38…フィルタ
40…供給バルブ

Claims (5)

  1. 一端部にノズルを有するシリンジと、該シリンジの他端部から該シリンジに嵌合されたプランジャと、該シリンジの該一端部と該他端部との間の部分に接続された管と、該管の他端部に接続された液剤タンクとを備え、該液剤タンクは該液剤タンク内の液面が該シリンジより上になるように配置されることを特徴とする液剤吐出ディスペンサ。
  2. 該液剤タンク内の液剤に圧力を加える手段を有することを特徴とする請求項1に記載の液剤吐出ディスペンサ。
  3. 該液剤タンクは液面より上にリーク穴を有することを特徴とする請求項2に記載の液剤吐出ディスペンサ。
  4. 該シリンジと液剤タンクとを接続する管に配置された液剤供給バルブと、該シリンジに配置された液剤吐出バルブとを備えることを特徴とする請求項1に記載の液剤吐出ディスペンサ。
  5. 該シリンジと液剤タンクとを接続する管に配置されたフィルタを備えることを特徴とする請求項1に記載の液剤吐出ディスペンサ。
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