JP2004303385A - 光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット方法及び装置 - Google Patents

光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット方法及び装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ディスク10をスタンパー11に圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において、ディスク10とスタンパー11の間に気泡が入ることを回避でき、正確なピットの転写を可能とするディスクとスタンパーのセット方法を提供する。
【解決手段】先ずスタンパー11の中心部をセット台1に載せて支持した状態でこのスタンパー11の外周部を第1の押圧手段6によって押し下げて反らせ、その状態でスタンパー11の上方からディスク10の中心部を第2の押圧手段7によってスタンパー11に押し付けて両者の位置を固定した後、第1の押圧手段6によるスタンパー11の外周部の押し下げを解除し、スタンパー11の反りを戻してディスク10に接触させるようにする。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大容量光ディスクの製造時に、ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
次世代型大容量光ディスクにおいて積層方式による2層ディスクは、1層目の記録層が形成された厚さ1.1mmの樹脂製ディスクに転写層として紫外線硬化性樹脂によりなる極薄のシート(以下UVシートという)を貼り付けて、これをニッケル製のスタンパーに圧着させてスタンパーから記録信号のピットを転写し、それを紫外線照射によって硬化させてからスタンパーより剥離して2層目の記録層を形成するという工程で製造される。
【0003】
この光ディスクの製造工程において、ディスクをスタンパーに圧着させてピットを転写する装置の概要を図3に示す。
即ちこの構成では、ステージ上にニッケル製のスタンパー11がピット形成面を上に向けた状態で載置され、その上にUVシートが貼り付けられた樹脂製のディスク10をそのUVシートの貼り付け面をスタンパー11側に向けた状態で配置し、その状態で上方から加圧パッド8によってディスク10を押圧してスタンパー11に圧着させる。
【0004】
ここで加圧パッド8はウレタンゴム等の硬質の弾性体によりなり、この加圧パッド8をエアーシリンダー等の駆動手段によって下降させてディスク10を押圧し、スタンパー11に圧着させることにより、スタンパー11からディスク10のUVシートにピットが転写される。
【0005】
尚、このようにディスクをスタンパーに圧着させてピットを転写する光ディスクの製造方法は、従来例えば下記の特許文献1等において公知である。
【特許文献1】
特開平9−167385号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のピット転写工程において従来は、ディスクとスタンパーを単純に加圧して圧着させていたため、ディスク面の様々な箇所がランダムにスタンパーに接着し、その結果スタンパーとディスクの間に気泡が袋状に閉じ込められた状態となってしまう。このような気泡は大きな圧力で加圧しても除去することができず、この気泡の残留によってピットをスタンパーからディスクに正確に転写できなくなるという重大な欠陥が生じることになる。
【0007】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、光ディスクのピット転写工程においてスタンパーとディスクの間に気泡が入ることを回避でき、正確なピットの転写を可能とするディスクとスタンパーのセット方法及び装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、
ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法であって、
先ずスタンパーの中心部をセット台に載せて支持した状態でこのスタンパーの外周部を押し下げて反らせ、
その状態でスタンパーの上方からディスクの中心部をスタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
スタンパーの外周部の押し下げを解除しスタンパーの反りを戻してディスクに接触させるようにする。
【0009】
また本発明は、
ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット装置であって、
スタンパーの中心部を載せて支持するセット台と、
このセット台に支持されたスタンパーの外周部を押し下げて反らせる第1の押圧手段と、
この第1の押圧手段によってスタンパーの外周部が反った状態でスタンパーの上方からディスクの中心部をスタンパーに押し付ける第2の押圧手段と、
を備え、
第2の押圧手段によってディスクの中心部をスタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
第1の押圧手段によるスタンパーの外周部の押し下げを解除しスタンパーの反りを戻してディスクに接触させるようにしたものである。
【0010】
このような本発明のセット方法及び装置によれば、ディスクとスタンパーは中心部から徐々に外周部に向かって接触してゆくため、その間に気泡が残留することはなく良好な状態にセットされ、その後の加圧による圧着時に確実なピットの転写が行なわれる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳細に説明する。
ここで用いられるディスク10は外径120mm、厚さ1.1mmのポリカーボネート製の円盤で、その一面には転写層として極薄のUVシート(図には表われていない)が貼り付けられている。一方スタンパー11はディスクより一回り以上大きな径を有する厚さ0.3mmのニッケル製の版である。
またこのディスク10とスタンパー11には夫々中心部にセンターホールが形成されており、このセンターホールの内径はディスクの場合15mm、スタンパーでは20mmである。
【0012】
図1はスタンパーがセットされるセット台を示している。
このセット台1は二段構造を有する円柱状のセンターボス2によりなり、即ちこのセンターボス2はスタンパー11の中心部を支持する大径のスタンパー支持部3と、ディスク10の中心部を支持する小径のディスク支持部4とを同軸上に有して構成され、このディスク支持部4は固定のスタンパー支持部3に対し上下方向に移動可能に組み込まれている。
【0013】
ここでディスク支持部4はスタンパー11のセンターホールがほぼ隙間なく嵌合される外径を有し、その上面にはディスク10のセンターホールが嵌合するテーパー状の凸部4bが形成されている。
【0014】
このディスク支持部4はセンターボス内部に組み込まれたスプリング5の力によってスタンパー支持部3の上面から弾性的に突出されており、後述するようにディスクが上方から押し付けられたときにはスプリング5の力に抗して引込む構造となされている。
【0015】
そしてこのセット台1上でディスク10とスタンパー11をセットするには、先ず図2(A)に示す如く、セット台1のスタンパー支持部3にスタンパー11を載せる。この場合スタンパー11はそのピット形成面を上に向けた状態でセットする。
【0016】
このときスタンパー11はその中心部のセンターホールがディスク支持部4に嵌合することによって正確にセンタリングされた状態で中心部がスタンパー支持部3の受け面3aに支持される。
【0017】
このようにセット台1にスタンパー11の中心部が支持された状態で、次に同図(B)に示す如くスタンパー11の外周部を第1の押圧手段6によって押し下げる。
この第1の押圧手段6は例えばエアーシリンダーの駆動力によって昇降動作するもので、スタンパー11の外周部の数点を押圧する複数のピンあるいはスタンパー11の外周部を全周にわたって押圧するリング状の部材で構成され、この第1の押圧手段6を下降させてスタンパー11の外周部を押し下げることにより、そのスタンパー11は図示のように外周部が下方に反った状態となる。尚、このスタンパー11の外周部の反り量は3〜5mm程度とする。
【0018】
こうしてスタンパー11の外周部を反らせた後、同図(C)に示す如くセット台1のディスク支持部4にディスク10を載せる。この場合ディスク10はそのUVシートの貼り付け面をスタンパー11に向けた状態でセットする。
【0019】
このときディスク10はその中心部のセンターホールが凸部4bに嵌合することによって正確にセンタリングされた状態で中心部がディスク支持部4の受け面4aに支持される。
尚、この状態ではディスク10とスタンパー11はまだ接触していない。
【0020】
そしてこのようにスタンパー11の上方にディスク10が配置された状態で、同図(D)に示す如くディスク10の中心部を第2の押圧手段7によってスタンパー11に押し付ける。
この第2の押圧手段7もまたエアーシリンダー等の駆動力によって昇降動作するもので、ディスク10のセンターホールの周囲の数点を押圧する複数のピンあるいはディスク10のセンターホールの周囲を全周にわたって押圧するリング状の部材で構成され、この第2の押圧手段7を下降させてディスク10の中心部を押圧することにより、そのディスク10はディスク支持部4と共に押し下げられて中心部がスタンパー11に圧着される。
【0021】
このとき第2の押圧手段7をディスク10とスタンパー11が接触する高さ位置より僅かに下の位置まで下降させることにより、ディスク10の中心部はスタンパー11に強く押し付けられて確実に圧着される。
この状態ではディスク10とスタンパー11は中心部のみが圧着固定され、それ以外の部分は接触もしていない。
【0022】
こうしてディスク10とスタンパー11の中心部を圧着して両者の位置を固定した後、第1の押圧手段6を緩やかに上昇させてこの第1の押圧手段6によるスタンパー11の外周部の押し下げを解除する。これによってスタンパー11は自らの復元力によって緩やかに反りが元の姿勢に戻り、同図(E)に示す如く全面的にディスク10と接触する状態にセットされる。
尚、このスタンパー11の反りを戻す場合には、その補助手段としてスタンパー11の外周部を押し上げる機構を設けてもよい。
【0023】
以上の如きディスク10とスタンパー11のセット動作においては、同図(D)〜(E)に示すようにディスク10とスタンパー11は中心部から徐々に外周部に向かって接触してゆくため、その間に気泡が残留することはなく良好な状態にセットされる。
【0024】
このセット状態では、ディスク10とスタンパー11は中心部のみが圧着固定され、それ以外の部分は接触してはいるが圧着はされていない状態にセットされるので、その間に気泡が入り込むことはない。
【0025】
そして以上の如くしてディスク10とスタンパー11をセットした後、図3に示すように加圧パッド8でディスク10を全面的に押圧してスタンパー11に圧着させることにより、スタンパー11からディスク10のUVシートにピットが転写される。このときディスク10とスタンパー11の間には気泡が存在していないので、正確なピットの転写が行なわれる。
【0026】
こうしてディスク10のUVシートにピットが転写された後は、ディスク10に紫外線を照射してUVシートを硬化させ、それからディスク10をスタンパー11から剥離するようにする。
そしてこのディスク10には、その後の工程でピット転写面に厚さ約0.1mmのポリカーボネート製の保護シートが貼り合わされ、これが完成品の光ディスクとなる。
【0027】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明はこの実施例に限定されることなく他にも種々の実施形態を採りうるものであることは言うまでもない。
【0028】
【発明の効果】
以上の説明で明らかな如く本発明によれば、光ディスクのピット転写工程においてスタンパーとディスクの間に気泡が入ることを回避できるので、正確なピットの転写が行なわれ、光ディスクの生産性の向上に大きく貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明におけるセット台の構造を示す縦断側面図である。
【図2】同、ディスクとスタンパーのセット動作の説明図である。
【図3】加圧パッドによるディスクとスタンパーの圧着の説明図である。
【符号の説明】
1・・・・セット台、3・・・・スタンパー支持部、4・・・・ディスク支持部、6・・・・第1の押圧手段、7・・・・第2の押圧手段

Claims (3)

  1. ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法であって、
    先ずスタンパーの中心部をセット台に載せて支持した状態でこのスタンパーの外周部を押し下げて反らせ、
    その状態で上記スタンパーの上方からディスクの中心部を上記スタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
    上記スタンパーの外周部の押し下げを解除し上記スタンパーの反りを戻して上記ディスクに接触させるようにした、
    光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット方法。
  2. ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット装置であって、
    スタンパーの中心部を載せて支持するセット台と、
    このセット台に支持された上記スタンパーの外周部を押し下げて反らせる第1の押圧手段と、
    この第1の押圧手段によって上記スタンパーの外周部が反った状態で上記スタンパーの上方からディスクの中心部を上記スタンパーに押し付ける第2の押圧手段と、
    を備え、
    上記第2の押圧手段によって上記ディスクの中心部を上記スタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
    上記第1の押圧手段による上記スタンパーの外周部の押し下げを解除し上記スタンパーの反りを戻して上記ディスクに接触させるようにした、
    光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット装置。
  3. 請求項2において、
    上記セット台は、上記ディスクの中心部を支持するディスク支持部を有し、上記第2の押圧手段によって上記ディスクの中心部が上記スタンパーに押し付けられるときには上記ディスク支持部が引込む構造とした、
    光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013118233A (ja) * 2011-12-02 2013-06-13 Hitachi High-Technologies Corp 微細構造転写装置
US8764431B2 (en) 2010-03-08 2014-07-01 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for transcripting fine patterns

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