JP2005010656A

JP2005010656A - 光可変減衰機構を備えた光導波回路

Info

Publication number: JP2005010656A
Application number: JP2003177022A
Authority: JP
Inventors: Koji Ishikawa; 浩嗣石川; Shigeru Kawaguchi; 茂川口
Original assignee: NHK Spring Co Ltd
Current assignee: NHK Spring Co Ltd
Priority date: 2003-06-20
Filing date: 2003-06-20
Publication date: 2005-01-13

Abstract

【課題】単一の機構により連続的に、かつ複数のチャンネルからの出力を任意に識別可能に減衰できる導波路型光可変減衰機構を備えた光導波回路を提供する。
【解決手段】この発明の光可変減衰器２０は、導波路型光合分岐器１０の基板１１に設けられた溝１６または基板の端部に設けられ、溝または基板の端部のコア１４ａから出力される光を遮蔽または反射するシャッタ２２を有する。シャッタは、マイクロアクチュエータ２３により、開口度が連続的に変更可能である。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、波長分割多重（ＷＤＭ）光通信等において光信号の合成（合波）あるいは分波もしくは合分波モジュール等に用いられ、光減衰量を任意に変えることのできる導波路型の光可変減衰機構を備えた光導波回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバを用いる光ファイバ通信システムにおいては、光情報の分配および合成のため、複数の光合分岐回路が用いられている。また、合分波あるいは伝送により減衰した光を増幅する目的から、光ファイバアンプ等に代表される複数の光増幅器が利用されている。
【０００３】
しかしながら、複数の光合分岐回路およびまたは光増幅器を用いることにより、任意の光ファイバを介して伝送される光の強度が不均一になることが知られている。
【０００４】
このため、任意の光ファイバの出射側または入射側に、例えば任意の光増幅器に入射した光の入力レベルの変動がそのまま出力段へ出力されることを抑止するための光減衰器が用いられる。
【０００５】
例えば、光導波路からなるマッハツェンダ型干渉計において、アーム導波路の少なくとも一方をヒータ等で加熱して干渉計に光路の位相差を生じさせ、その位相差を調整することにより、光の減衰量を制御する導波路型光可変減衰器が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
また、波長多重通信において、複数の光の合波または分波に利用可能で、波長監視用の入力導波路から入射した所定の波長の光に対する２つの回折光が生じる位置より若干内側または外側にずらした位置に、波長監視用の出力導波路が設けられているアレイ導波路回折格子光合分波器が提案されている（例えば特許文献２参照）。
【０００７】
さらに、光素子とそれを機械的に駆動するアクチュエート機構部からなり、光導波路を横切るように埋設されることで、導波路の開口度を制御するアレー導波路型光合分波器が提案されている（例えば特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特許３３３７６２９号公報（請求項１、図１、段落［００１１］）。
【０００９】
【特許文献２】
特許３１７８７８１号公報（請求項１、図１及び図２、段落［０００９］〜［００１２］要約）。
【００１０】
【特許文献３】
特開２００２−１６９１０４号公報（請求項１、図１、要約）。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載された光可変減衰器では、減衰器一個当たりの可変領域（可変能力）は、１０ｄＢ程度であり、光伝送システムにおいて要求される３０〜４０ｄＢの可変能力を得るためには、複数の減衰器を用いる必要がある。従って、デバイスの大きさが大型化されるとともに、コストが増加される問題がある。なお、複数の減衰器を接続することは、伝送損失が増大するという新たな問題を引き起こす。
【００１２】
また、特許文献２に記載された光合分波器は、光減衰機能が与えられていないため、伝送システムにおける入力信号のばらつきや個々の伝送路内に介在される増幅段の差異等に起因して信号強度のばらつきが生じた場合に、光減衰器を別体で用意しなければならない。このため、光強度を制御する必要が生じて光減衰器を用いる場合には、デバイスの大きさが大型化されるのみならず、コストが増加される問題がある。
【００１３】
一方、特許文献３に記載されたアレー導波路型光合分波器においては、導波路の開口度を制御するために用いられる減衰板すなわちミラーは、非連続で複数段の光の減衰が可能であるが、連続して光の強度を変化させることは困難である。
【００１４】
また、特許文献１〜３のいずれか２つ、またはそれぞれを相互に組み合わせることが可能であったとしても、任意の伝送路（チャンネル）を伝送される特定の光の強度を変化させることは、困難である。しかも、いずれの文献に記載された合分波器あるいは光減衰器において許容される製造誤差は、非常に小さく、高度な実装技術が必要であるとともに、歩留まりが低下する問題がある。
【００１５】
この発明の目的は、伝送される光の強度を、単一の機構により連続的に、かつ複数のチャンネルからの出力を任意に識別可能に、しかも光減衰量を任意に変えることのできる導波路型の光可変減衰機構を備えた光導波回路を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、基板上に積層されたコアと前記コアを覆うクラッドからなる導波路と、前記コアの領域を含んで前記導波路に形成された溝状部または切断面と、前記溝状部または切断面に、前記コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で配置され、前記コアを伝送される光の強度を任意の強度に設定するシャッタと、前記シャッタを、前記溝状部または切断面に沿って移動させるアクチュエータと、を有する光透過量を可変する光可変減衰機構を備えたことを特徴とする光導波回路を提供するものである。
【００１７】
すなわち、上述した光導波回路によれば、コアとコアを覆うクラッドからなる導波路に形成された溝状部または切断面に、コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で、コアを伝送される光の強度を任意の強度に設定するシャッタを設け、そのシャッタを溝状部または切断面に沿って移動させるアクチュエータにより任意に移動させることで、導波路を伝搬される光の強度を、任意に設定できる。しかも、シャッタおよびアクチュエータにより、導波路を伝搬される光の減衰量を連続的に変化できるので、単一の光合分岐器に実装可能な範囲で、合波あるいは分岐できるチャンネル数を増加できる。
【００１８】
またこの発明は、少なくともコアが延びる方向と直交する方向またはコアが延びる方向と直交する方向から所定の角度に、コアの断面の全域を含んで形成されたシャッタ案内部と、このシャッタ案内部に任意の量だけ挿入されるシャッタと、このシャッタを前記シャッタ案内部の所定の位置に、移動量を連続的に変化させながら移動させるシャッタ移動機構と、を有することを特徴とする光減衰器を提供するものである。
【００１９】
すなわち、上述した光減衰器においては、少なくともコアが延びる方向と直交する方向またはコアが延びる方向と直交する方向から所定の角度に、コアの断面の全域を含んで形成されたシャッタ案内部に任意の量だけ挿入されるシャッタを、シャッタ移動機構により、移動量を連続的に変化させながら移動させることにより、デバイスの大きさを増大させることなく、光の減衰量を連続的に変化することができる。
【００２０】
さらにこの発明は、基板上に積層されたコアと前記コアを覆うクラッドからなる導波路と、前記コアの領域を含んで前記導波路に形成された溝状部または切断面と、前記溝状部または切断面に、前記コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で配置され、前記コアを伝送される光の強度を任意の強度に設定するシャッタと、前記シャッタを、前記溝状部または切断面に沿って移動させるアクチュエータと、を有する光可変減衰機構と、前記シャッタが設けられた導波路のシャッタの後流側で、前記導波路から分岐された第２の導波路と、前記第２の導波路により分岐された光を受光して、前記シャッタにより減衰された光の強度を検出する光検出器と、前記光検出器により検出された光の強度に基づいて前記シャッタを移動させる量を設定し、前記シャッタを、設定された移動量だけ移動させるために前記アクチュエータの動作量を規定する制御手段と、を備えることを特徴とする光伝送量可変システムを提供するものである。
【００２１】
すなわち、上述した光伝送量可変システムにおいては、基板上に積層されたコアとコアを覆うクラッドからなる導波路に形成された溝状部または切断面に、コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で配置されたシャッタを、溝状部または切断面に沿って移動させる光可変減衰機構と、シャッタが設けられた導波路のシャッタの後流側で、導波路から分岐された第２の導波路により分岐された光を受光してシャッタにより減衰された光の強度を光検出器により検出して、光検出器により検出された光の強度に基づいてアクチュエータによりシャッタを移動させる量を設定してシャッタを動作させることにより、導波路を伝搬される光の減衰量を連続的に変化できる。
【００２２】
なお、シャッタおよびアクチュエータならびに制御装置は、基板上に一体に形成されるので、デバイスの大きさが増大されることもない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。
【００２４】
図１に示されるように、導波路型の光可変減衰機構を備えた光導波回路すなわち導波路型光合分岐器１０は、基板１１上の所定の位置に設けられた入力導波路１２、基板１１上の所定の位置に設けられたアレイ導波路１３、基板１１上の所定の位置に設けられた出力導波路１４、および入力導波路１２とアレイ導波路１３またはアレイ導波路１３と出力導波路１４を光学的に接続する連結（スラブ）導波路１５（２カ所）を有している。
【００２５】
出力導波路１４の所定の位置には、図２を用いて以下に説明する光可変減衰器２０が設けられている。また、図示しないが、光可変減衰器２０は、導波路型光合分岐器１０に固有のチャンネル数に応じて、複数配置される。
【００２６】
出力導波路１４の位置であって、光可変減衰器２０により光量が減衰された光が通過する位置には、光可変減衰器２０により減衰される光量すなわち光可変減衰器２０の減衰量を設定するための減衰量制御機構３０が、設けられている。なお、減衰量制御機構３０は、例えば導波路型光合分岐器１０の基板１１の所定の位置に導波路型光合分岐器１０と一体に設けられる。また、減衰量制御機構３０は、基板１１と独立に設けられてもよいことはいうまでもない。
【００２７】
図２は、図１を用いて説明した導波路型光合分岐器１０に組み込まれる光可変減衰器を、線Ｉ−Ｉに沿って切断した状態を示している。
【００２８】
図２に示されるように、光可変減衰器２０は、基板１１、出力導波路１４のコア１４ａおよびクラッド１４ｂのそれぞれを横切って設けられた溝１６に、コア１４ａおよびクラッド１４ｂすなわち出力導波路１４を横切るように設けられている。
【００２９】
溝１６は、基板１１が延びる方向すなわち基板１１の水平方向Ｈと直交する軸線Ｖから、例えば８°以上傾けられて設けられる。すなわち、光可変減衰器２０は、基板の水平方向Ｈから８２°以内の角度で、基板１１に傾斜した状態で配置される。なお、溝１６は、ダイシングやドライエッチングにより容易に形成可能である。
【００３０】
溝１６は、以下に説明するように、基板１１の水平方向Ｈと垂直に形成されてもよい。また、溝１６は、図９を用いて後段に説明するように、例えば基板１１の端部に設けられてもよい。この場合、溝１６は、基板１１を貫通することに他ならない。なお、溝１６が基板１１の水平方向Ｈと垂直に、または基板１１の端部に設けられる場合には、溝１６を形成する工程および加工方法の自由度が増大される。
【００３１】
光可変減衰器２０は、溝１６内に上述の角度で配置された基板２１を有する。なお、基板２１には、例えばＳｉ等の導電性あるいは半導体特性を示す材質や、ガラスまたはセラミックス等の絶縁性の材質が利用可能である。また、基板２１がコア１４ａを伝搬する光の波長に対して不透明である場合には、コア１４ａを伝搬される光が通過可能に、基板２１に開口または切り欠きが設けられる。
【００３２】
基板２１には、コア１４ａを伝搬する光を遮断するシャッタ２２と、シャッタ２２を溝１６に沿って連続的に、かつ任意の位置で停止可能に、移動させるマイクロアクチュエータ２３が設けられている。なお、溝１６と光可変減衰器２０との間に残る隙間には、図示しないが、屈折率整合材が満たされてもよい。
【００３３】
シャッタ２２は、表面に、例えば光を反射する（または光を透過しない）材質の薄層が形成された金属板である。なお、シャッタ２２には、厚さあるいは通過光量が段階的に変化されるような特別な特性は必要なく、単純な金属板を用いることができる。また、シャッタ２２の面積は、少なくともコア１４ａと同等か、それ以上であれば、実装時に許容される範囲で任意に設定できる。
【００３４】
また、シャッタ２２の表面、特に光入射側の面を、例えば粗面（光拡散面）に加工することで、もしくはシャッタ２２自身に、シャッタ２２の光入射側の面で反射された光が再びコア１４ａに戻ることを抑止可能にコア１４ａが延びる方向に対して所定の角度が与えることで、基板１１の水平方向Ｈと垂直に形成された溝１６が利用可能である。
【００３５】
図３は、図２に示した光可変減衰器２０のシャッタ２２がコア１４ａの断面を遮る面積（遮蔽面積）とコア１４ａを伝搬する光が減衰される量（光減衰量）との関係を説明している。なお、この図３から明らかなように、シャッタ２２による遮蔽面積と光減衰量とは、コア１４ａを伝搬する光の強度分布やシャッタ２２のエッジ部による回折等の影響により、非線形となる。このため、シャッタ２２の開口量（開度あるいは遮光の程度）すなわち変位量は、実際には、図４および図５を用いて以下に説明する制御機構を用い、図１に示した基板１１の所定の位置に設けられたシャッタ２２を通過した光の強度を検出し、その検出結果に基づいて制御されることが好ましい。
【００３６】
図４は、図１に示した導波路型光合分岐器に組み込まれる減衰量制御機構の一例を説明する概略図である。
【００３７】
図４に示されるように、減衰量制御機構３０は、光可変減衰器２０のシャッタ２２により光量が制限されて出力導波路１４を伝送される光の一部（参照光）を受光し、参照光の強度に対応する電流を出力する光検出器（光電変換器すなわち受信器）３１、および受信器３１から出力される出力電流を電圧に変換して増幅し、得られた電圧値に基づいてシャッタ２２を動作させるアクチュエータ２３の動作量を制御する制御回路３２を含む。また、受信器３１は、電流−電圧変換部（増幅器）が一体に組み込まれたものでもよいことはいうまでもない。なお、制御回路３２には、例えば外部から制御信号あるいは制御用数値データを入力可能な図示しない主制御装置、例えばパーソナルコンピュータあるいは操作パネル等が接続されてもよいことはいうまでもない。
【００３８】
受信器３１に入力すべき光量は、出力導波路１４を伝搬する光の１〜５％程度でよく、例えば出力導波路１４の一部を分岐した参照光用導波路１４−１により、受信器３１に案内される。なお、参照光用導波路１４−１に分岐される光の強度は、出力導波路（幹線と呼ばれることもある）１４を伝搬する光の強度を不所望に低下させるものではない。
【００３９】
図５は、図４に示した減衰量制御機構の制御回路の一例を説明する略ブロック図である。
【００４０】
図５に示されるように、制御回路３２は、受信器３１または図示しない増幅器から入力される電圧信号すなわちシャッタ減衰後信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ４１、Ａ／Ｄコンバータ４１によりデジタル信号に変換されたシャッタ減衰後信号と図示しない他のチャンネルから入力されるシャッタ減衰後信号あるいは図示しないメモリに保持されている基準値もしくは操作パネル等を介して外部から供給される制御目標値と比較する比較器４２、比較器４２による比較結果に基づいてシャッタ２２の開度（開口量あるいは遮光の程度）すなわち変位量を制御するためのアクチュエータ２３の動作量を設定する動作量設定部４３、動作量設定部４３で設定された動作量に対応するアナログ電圧、すなわちアクチュエータ２３を動作させるための駆動信号（電圧値）を出力するＤ／Ａコンバータ４４等を含む。
【００４１】
すなわち、図３を用いて前に説明したように、光可変減衰器２０のシャッタ２２の開度（開口量または遮光の程度）との関係は非線形であるから、図４により説明した受信器３１により出力導波路１４を伝搬する光の強度を実際に検出し、検出結果に基づいて、シャッタ２２の開度（開口量または遮光の程度）をフィードバック制御することにより、所定の減衰量を安定に提供可能な光可変減衰器が得られる。
【００４２】
マイクロアクチュエータ２３は、例えば図６（ａ）および（ｂ）に示されるように、ホットアーム２３ａとコールドアーム２３ｂとが一端で接続された固定端２３ｃとそれぞれのアームが開放されている開放端２３ｄからなり、開放端２３ｄに所定の電圧または電力が供給されることでホットアーム２３ａ側が延びて変形可能な２組の支持腕２３Ａと、支持腕２３Ａの間に配置され、シャッタ２２を保持するシャッタ保持腕２３Ｂを有する。
【００４３】
マイクロアクチュエータ２３は、図６（ｂ）に示すように、支持腕２３Ａの開放端２３ｄに所定の電圧または電力が供給されることによりホットアーム２３ａが延びて変形されるので、シャッタ保持腕２３Ｂが変形される。
【００４４】
従って、保持腕２３Ｂに接続されているシャッタ２２が、開放端２３ｄのコールドアーム２３ｂとホットアーム２３ａとの間に印加される電圧もしくは電力に応じて予め決められている所定量（距離）だけ移動される。
【００４５】
なお、マイクロアクチュエータ２３の動作に利用される電圧あるいは電力は、例えば基板１１の任意の位置に設けられる電力供給部から、例えばフレキシブル基板（ＦＰＣ）２４または図示しない銅箔もしくは金ワイヤ等により、電力供給端（開放端）２３ｄに供給される。
【００４６】
また、図示しないが、マイクロアクチュエータ２３は、光可変減衰器２０のシャッタ２２を移動させるべき距離（シャッタ２２の移動量）およびシャッタ２２の厚さ（重量）に合わせて、複数、例えば５組あるいはそれ以上配置されてもよい。
【００４７】
なお、マイクロアクチュエータ２３は、ホットアーム２３ａとコールドアーム２３ｂを用いる周知の加熱方式以外であってもよく、例えば図７を用いて以下に説明するような櫛歯状の電極と電極相互間に作用する静電力を用いる静電型であってもよい。さらに、マイクロアクチュエータ２３は、加熱方式において、詳述しないが周知のヒータを用いる方式であってもよいことはいうまでもない。
【００４８】
図７は、図２を用いて説明した光可変減衰器２０と組み合わせられるマイクロアクチュエータの別の実施の形態を説明している。
【００４９】
図７（ａ）に示されるように、矩形または所定の形状に形成された複数の櫛歯状電極３１ａが設けられた固定電極３１と、櫛歯状電極３１ａの間に、櫛歯状電極３１ａに沿って移動可能に形成された矩形または所定の形状に形成された複数の櫛歯状電極３２ａが設けられた可動電極３２とを配置し、上述のシャッタ２２を取り付けることで、図６（ａ）および（ｂ）により前に説明したマイクロアクチュエータ２３と同様に機能するマイクロアクチュエータ３０が得られる。
【００５０】
可動電極３２の所定位置には、一端が、例えば詳述しない基板１１の所定位置に固定された固定端３３ａであるバネ３３が接続されている。
【００５１】
図７（ｂ）に示すように、バネ３３の固定端３３ａと固定電極３１との間に、所定の電圧または電力が供給されると、可動電極３２の個々の櫛歯状電極３２ａが、固定電極３１の櫛歯状電極３１ａ側に、両電極間に作用する静電力により、引き寄せられる。
【００５２】
従って、シャッタ２２が、固定端３３ａと固定電極３１との間に印加される電圧もしくは電力に応じて予め決められている所定量（距離）だけ移動される。
【００５３】
図８（ａ）および（ｂ）は、ｎチャンネルの光合分波器（光分波器）の各出力に、図２に示した光可変減衰器を用意して各チャンネルの出力を段階的に変化させた状態を説明している。
【００５４】
例えば図８（ａ）に示されるような、例えば８チャンネルで、０．８ｎｍ毎に波長が異なる光ａ〜ｈを分波して出力を得た場合、図８（ｂ）に示されるように、それぞれの波長の光が、チャンネルａ〜ｈ相互間で、概ね３０ｄＢの減衰量の範囲内で連続的に変化された減衰量で、出力されることが認められる。
【００５５】
図９（ａ）および（ｂ）は、図２に示した光可変減衰器を、導波路型光分岐器に適用した例を説明している。なお、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示された導波路型光分岐器を、線ＶＩＩ−ＶＩＩで切断した状態を示している。
【００５６】
図９（ａ）および（ｂ）に示されるように、光可変減衰器２０は、例えば光分岐器１１０の基板１１１の端部に、例えば接着剤（図示せず）により固定される。なお、光可変減衰器２０の機能および作用は、図２〜図４、図７および図８を用いて前に説明したと同様であるから詳細な説明は省略する。
【００５７】
なお、シャッタ２２が移動すべき範囲は、基板１１１上に順に積層されているコア１１４ａおよびクラッド１１４ｂからなる導波路１１４のうちの少なくともコア１１４ａの高さ（厚さ）方向の全域（全長）と等しいかそれ以上であることはいうまでもない。
【００５８】
以上説明したように、この発明によれば、光減衰量を、３０ｄＢ以上確保可能な光可変減衰器が得られる。しかも、光減衰量を連続的に変化できるので、単一の光合分岐器に実装可能な範囲で、合波あるいは分岐できるチャンネル数を増加できる。
【００５９】
また、上述したこの発明の光可変減衰器は、導波路型デバイスであるため、光減衰器を用いることによりデバイスの大きさが増大されることもない。
【００６０】
さらに、複数の光減衰器を接続しなければならない可能性が低減されるので、光（信号）の伝送効率が低下して、信号特性が劣化することが防止される。
【００６１】
なお、この発明は、前記各実施の形態に限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、各実施の形態は、可能な限り適宜組み合わせて実施されてもよく、その場合、組み合わせによる効果が得られる。
【００６２】
【発明の効果】
以上詳述したようにこの発明の光可変減衰器によれば、単一の減衰器で、３０ｄＢ以上の光減衰量を確保できる。
【００６３】
従って、光（信号）の伝送効率が低下することが防止でき、伝送される光信号の特性（品位）が維持できる。
【００６４】
これにより、長距離であっても減衰量が少なく信号劣化の少ない光伝送が可能な光伝送システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の光可変減衰器が組み込まれる導波路型光合分岐器の一例を説明する概略図。
【図２】図１に示した導波路型光合分岐器に光可変減衰器を組み込んだ状態を説明する概略断面図。
【図３】図２に示した光可変減衰器のシャッタの移動量（開口度）と光減衰量との関係を説明する概略図。
【図４】図１に示した導波路型光合分岐器に組み込まれる減衰量制御機構の一例を説明する概略図。
【図５】図４に示した減衰量制御機構の制御回路の一例を説明する略ブロック図。
【図６】図２に示した光可変減衰器に利用可能なマイクロアクチュエータの一例を説明する概略図。
【図７】図２に示した光可変減衰器に利用可能なマイクロアクチュエータの一例を説明する概略図。
【図８】図２に示した光可変減衰器を、８チャンネル分岐器の個々の出力に適用した例を説明する概略図。
【図９】この発明の光可変減衰器を導波路型光分岐器に組み込んだ一例を説明する概略図。
【符号の説明】
１０…導波路型光合分岐器、１１…基板、１４…出力導波路、１４ａ…コア、１４−１・・・参照光用導波路（第２の導波路）、１６…溝、２０…光可変減衰器、２１…基板、２２…シャッタ、２３…マイクロアクチュエータ、３０…減衰量制御機構、３１…受信器（光検出器）、３２…制御回路（制御手段）、４１…Ａ／Ｄコンバータ、４２…比較器、４３…動作量設定部（制御手段）、４４…Ｄ／Ａコンバータ、１１０…導波路型光分岐器、１１１…基板、１１４…導波路、１１４ａ…コア。

Claims

基板上に積層されたコアと前記コアを覆うクラッドからなる導波路と、
前記コアの領域を含んで前記導波路に形成された溝状部または切断面と、
前記溝状部または切断面に、前記コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で配置され、前記コアを伝送される光の強度を任意の強度に設定するシャッタと、
前記シャッタを、前記溝状部または切断面に沿って移動させるアクチュエータと、
を有する光透過量を可変する光可変減衰機構を備えたことを特徴とする光導波回路。
前記マイクロアクチュエータは、発熱のための電力の供給あるいは加熱により動作されることを特徴とする請求項１記載の光導波回路。
前記マイクロアクチュエータは、静電力の発生のための電力の供給あるいは静電力により動作されることを特徴とする請求項１記載の光導波回路。
前記シャッタは、前記コアの断面から出射される光を遮ることにより、前記コアを伝送される光の強度を連続的に変化させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波回路。
前記シャッタは、前記コアを伝送される光を反射する反射面もしくは反射膜を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の光導波回路。
少なくともコアが延びる方向と直交する方向またはコアが延びる方向と直交する方向から所定の角度に、コアの断面の全域を含んで形成されたシャッタ案内部と、
このシャッタ案内部に任意の量だけ挿入されるシャッタと、
このシャッタを前記シャッタ案内部の所定の位置に、移動量を連続的に変化させながら移動させるシャッタ移動機構と、
を有することを特徴とする光減衰器。
基板上に積層されたコアと前記コアを覆うクラッドからなる導波路と、前記コアの領域を含んで前記導波路に形成された溝状部または切断面と、前記溝状部または切断面に、前記コアが延びる方向に対して垂直あるいは所定の角度で配置され、前記コアを伝送される光の強度を任意の強度に設定するシャッタと、前記シャッタを、前記溝状部または切断面に沿って移動させるアクチュエータと、を有する光可変減衰機構と、
前記シャッタが設けられた導波路のシャッタの後流側で、前記導波路から分岐された第２の導波路と、前記第２の導波路により分岐された光を受光して、前記シャッタにより減衰された光の強度を検出する光検出器と、前記光検出器により検出された光の強度に基づいて前記シャッタを移動させる量を設定し、前記シャッタを、設定された移動量だけ移動させるために前記アクチュエータの動作量を規定する制御手段と、
を備えることを特徴とする光伝送量可変システム。