JP2005012008A - 光ファイバレーザ - Google Patents

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Takeshi Seki
武 瀬木
Tetsuya Sakai
哲弥 酒井
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Abstract

【課題】発振波長の制御性が良好な光ファイバレーザを提供する。
【解決手段】励起光源1と、集光レンズ2と、第一のフィルタ3と、希土類元素添加ファイバ4と、コリメータレンズ5と、波長制御素子6と、第二のフィルタ7とから概略構成される光ファイバレーザにおいて、波長制御素子6は、希土類元素添加ファイバ4から出射される発振光の光軸と、波長制御素子6の表面に垂直な方向とのなす角θを可変とし、発振光の発振波長を2.9μm帯の任意波長に制御する。波長制御素子6を誘電体多層膜フィルタとする。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバを用いた光ファイバレーザに関し、特に、医療の分野で必要とされる波長2.9μm付近のレーザ光の発振波長を変化させることが可能な光ファイバレーザに関する。
【0002】
【従来の技術】
水は波長2.9μm付近に光に対して大きな吸収を示すため、この波長付近の光を生体組織や歯などに照射することで切開・切削などの治療を行なうことができる。
【0003】
図4に示すように、波長2.9μm付近における水の吸収係数は波長に依存して大きくなるため、生体組織や歯などに照射するレーザ光の発振波長を変化させることで、治療の自由度が高くなる。
しかしながら、発振波長を外部から制御した場合、レーザ光の発振波長の変化量は、現在、歯科治療で用いられている発振波長の中心が2.94μmのエルビウムをドープしたイットリウム・アルミニウム・ガーネット(Er:YAG)レーザにエタロンを適用した場合で、6nm程度であることが報告されている(例えば、非特許文献1参照。)。この方法では、発振波長の制御性が悪いという問題がある。
【0004】
【非特許文献1】
C.E.Hamilton、R.J.Beach、S.B.Sutton、L.H.Furu、and W.F.Krupke、1−W average power levels and tunability from a diode−pumped 2.94−μm Er:YAG oscillator、Optical Society of America、October 15、1994、Vol.19、No.20、p1627−1629
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、発振波長の制御性が良好な光ファイバレーザを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、励起光源と、希土類元素添加ファイバと、波長制御素子とを少なくとも備えた光ファイバレーザにおいて、前記波長制御素子は、前記希土類元素添加ファイバから出射される発振光の光軸と、該波長制御素子の表面に垂直な方向とのなす角が可変となっており、前記発振光の発振波長が波長2.9μm帯である光ファイバレーザを提供する。
【0007】
上記構成の光ファイバレーザにおいて、前記波長制御素子は誘電体多層膜フィルタであることが好ましい。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明の光ファイバレーザの一例を示す模式図である。
この例の光ファイバレーザは、励起光源1と、集光レンズ2と、第一のフィルタ3と、希土類元素添加ファイバ4と、コリメートレンズ5と、波長制御素子6と、第二のフィルタ7とから概略構成されており、これらがこの順に配置されている。また、第一のフィルタ3、希土類元素添加ファイバ4および第二のフィルタ7から共振器が構成されている。
【0009】
励起光源1としては、波長960nm〜990nm、出力10W〜40W程度の励起光を出射可能な半導体レーザ(LD)、ファイバレーザなどが用いられる。
【0010】
集光レンズ2は、励起光源1から出射された励起光を集光するものであり、例えば、ソーダ石灰ガラス、溶融石英、サファイアなどを材質とする非球面レンズや平凸レンズなどが用いられる。
【0011】
第一のフィルタ3は、励起光源1から出射された励起光を透過し、希土類元素添加ファイバ4で発振したレーザ光を反射するものであり、例えば、誘電体多層膜が用いられる。
また、第一のフィルタ3は、励起光源1から出射される励起光の透過率が95%、レーザ光の反射率が99%以上であることが望ましい。
【0012】
希土類元素添加ファイバ4は、励起光源1から出射された励起光によって励起される利得媒体であり、例えば、希土類元素が2000ppm〜100000ppm程度添加されたフッ化物ガラスからなるコアと、その外周にフッ化物ガラスからなり、励起光を伝搬する内側クラッドが設けられ、さらに内側クラッドの外周に紫外線硬化型樹脂からなる外側クラッドが設けられたダブルクラッドファイバである。
希土類元素添加ファイバ4の外径は300μm〜600μm程度、そのコアの外径は10μm〜100μm程度である。
【0013】
希土類元素としては、波長2.9μm付近のレーザ光を発振するには、エルビウム(Er)、ホルミウム(Ho)などが用いられる。
フッ化物ガラスとしては、例えば、フッ化ジルコニウム(ZrF)、フッ化バリウム(BaF)、フッ化ランタン(LaF)、フッ化アルミニウム(AlF)、フッ化ナトリウム(NaF)、フッ化リチウム(LiF)、フッ化イットリウム(YF)、フッ化ハフニウム(HfF)などからなるガラスが用いられる。
【0014】
希土類元素添加ファイバ4としては、例えば、コアはエルビウムが添加されたフッ化物ガラスからなるエルビウム添加ファイバ(EDF)が用いられるが、ファイバ製造時の冷却速度を遅くしても結晶化を伴わずにガラスを生成することができるZBLAN(ZrF、BaF、LaF、AlF、NaFからなるガラス)ファイバ(ZBLAN−EDF)が好ましく用いられる。
【0015】
コリメートレンズ5は、サファイアガラスあるいはフッ化カルシウムからなる平凸レンズであり、波長2.8μm付近の光に対して吸収のないレンズである。このコリメートレンズ5は、希土類元素添加ファイバ4の出射端側にその平面が対向し、波長制御素子6側にその凸面が対向するように配されている。これにより、希土類元素添加ファイバ4から出射された光をコリメートし、波長制御素子6からの反射光を集光する。
【0016】
波長制御素子6は、希土類元素添加ファイバ4から出射される発振光の光軸と、波長制御素子6の表面に垂直な方向とのなす角度θが可変となっているバンドパスフィルタであり、この角度θを変えることで、波長制御素子6に対する発振光の入射角が変化するため、その透過スペクトル(発振波長)を変化させることができる。
【0017】
波長制御素子6としては、誘電体多層膜フィルタが用いられる。
誘電体多層膜フィルタとは、屈折率の異なる、例えばSiO、Taなどの薄膜をそれぞれの厚さ数10nm〜数100nm程度で、数層〜数100層程度積み重ねて作製されたフィルタである。
【0018】
第二のフィルタ7は、希土類元素添加ファイバ4から出射されたレーザ光の一部を反射し、その他を透過するものである。
また、第二のフィルタ7は、レーザ光の反射率が10〜90%であることが望ましい。
【0019】
この例の光ファイバレーザでは、励起光源1から出射された励起光を集光レンズ2によって集光し、希土類元素添加ファイバ4に入射する。第一のフィルタ3、希土類元素添加ファイバ4および第二のフィルタ7の間で発振した光は、希土類元素添加ファイバ4からレーザ光として出射されるが、波長制御素子6の角度θを変えることで、このレーザ光の発振波長を2.9μm帯の任意波長となるように制御することができる。
【0020】
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
(実施例)
図1に示すような光ファイバレーザを作製した。
励起光源1としては、波長979nm、出力20Wの半導体レーザを用いた。集光レンズ2としては、レンズの焦点距離と有効径の比を表すF値が0.88で、材質がソーダ石灰ガラスの非球面レンズを用いた。第一のフィルタ3としては、励起光の透過率95%、レーザ光の反射率99%の誘電体多層膜を用いた。希土類元素添加ファイバ4としては、コアがモル濃度20000ppmでエルビウムイオンが添加されたフッ化物ガラスからなるZBLANファイバを用いた。希土類元素添加ファイバ4の外径は125μm、長さは15m、コアの外径は10μmとした。コリメータレンズ5としては、サファイアガラスからなる平凸レンズを用いた。波長制御素子6としては、厚さ約300nmの誘電体多層膜フィルタを用いた。第二のフィルタ7としては、レーザ光の反射率10%の誘電体多層膜を用いた。
【0021】
図2に、実施例で用いた誘電体多層膜フィルタの透過スペクトルを示す。図2中、角度は、誘電体多層膜フィルタ(波長制御素子6)が希土類元素添加ファイバ4から出射される発振光の光軸と、波長制御素子6の表面に垂直な方向とのなす角度θを示している。
図2から、角度θによって、透過スペクトルが変化することが分かった。
【0022】
波長制御素子6の角度θを変化させながら、光ファイバレーザの発振波長を測定した。結果を図3に示す。
図3の結果から、角度θを変化させることにより、光ファイバレーザの発振波長が2.79μmから2.865μmまで変化することが確認された。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光ファイバレーザによれば、希土類元素添加ファイバから出射される発振光の光軸と、波長制御素子の表面に垂直な方向とのなす角を変えることで、レーザ光の発振波長を2.9μm帯の任意波長となるように制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバレーザの一例を示す模式図である。
【図2】実施例で用いた誘電体多層膜フィルタの透過スペクトルを示すグラフである。
【図3】波長制御素子の角度θと、光ファイバレーザの発振波長との関係を示すグラフである。
【図4】波長と光の吸収係数を示すグラフである。
【符号の説明】
1・・・励起光源、2・・・集光レンズ、3・・・第一のフィルタ、4・・・希土類元素添加ファイバ、5・・・コリメータレンズ、6・・・波長制御素子、7・・・第二のフィルタ。

Claims (2)

  1. 励起光源と、希土類元素添加ファイバと、波長制御素子とを少なくとも備えた光ファイバレーザにおいて、
    前記波長制御素子は、前記希土類元素添加ファイバから出射される発振光の光軸と、該波長制御素子の表面に垂直な方向とのなす角が可変となっており、前記発振光の発振波長が2.9μm帯であることを特徴とする光ファイバレーザ。
  2. 前記波長制御素子は誘電体多層膜フィルタであることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバレーザ。
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