JP2005149165A

JP2005149165A - 画像合成方法、プログラム、記録媒体、画像合成装置およびシステム

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Publication number: JP2005149165A
Application number: JP2003386099A
Authority: JP
Inventors: Kyosei En; 袁竟成
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2003-11-17
Filing date: 2003-11-17
Publication date: 2005-06-09

Abstract

【課題】画像を合成する際の精度の向上と効率化を実現できる画像合成方法を提供する。
【解決手段】被測定基板２０に２つの基準点をマーキングした状態で、ＥＭＩテスタ１により測定し、その測定データにより基準点の位置が点Ｄ１，Ｄ２として表示された輻射分布画像３０をモニタ１０に表示させ、また基板２０をディジタルカメラにより撮影し、点の位置が基準点Ｐ１，Ｐ２として表示された写真画像をモニタ１０に表示させる。モニタ１０の画面上に表示された輻射分布画像３０の点Ｄ１、Ｄ２と、基板２０の写真画像の点Ｐ１、Ｐ２の座標値を、モニタ１０の画面上で各基準点をクリックすることにより入力し、画像合成プログラム１００を実行させ、点Ｄ１、Ｄ２と点Ｐ１、Ｐ２の座標値からスケール値とオフセット量を演算する。演算して求めた前記スケール値とオフセット量をもとに基板２０の写真画像４０を輻射分布画像３０に一致させ合成画像として表示する。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁界強度、温度分布を含む被測定物の分布データ画像を、その被測定物の写真画像と合成する画像合成方法、プログラム、記録媒体、画像合成装置およびシステムに関する。

従来、各種電子回路を動作させたときの電磁輻射を測定するにはEMＩテスタが用いられている。このような電子回路が実装されている基板、半導体装置などの測定対象の電磁輻射をＥＭＩテスタにより測定したときのノイズ分布データの表示は、その電磁輻射強度が同レベルとなる領域を同一色、たとえば黄緑色で表し、電磁輻射強度が強くなるにつれて前記黄緑色から赤色へ徐々に表示色を変化させるなどの二次元的なカラー画像による表示方式が用いられている。この二次元的なカラー画像によるノイズ分布データ画像は、モニタ画面上においてＸ軸とＹ軸の単位が距離（ｍｍ）を示すＸＹ平面上で表示されるため、測定された電磁輻射レベルに対応する表示色により前記ＸＹ平面上でのノイズ分布パターンの把握は容易である。しかしながら、電子回路が実装された基板や半導体装置を対象とする電磁輻射の測定では、その電子回路や半導体装置を動作させた場合に、その電子回路や半導体装置の各部分とそれぞれの電磁輻射レベルとの関係を把握することで、ノイズ分布パターンやノイズの発生経路をその電子回路や半導体装置を構成する回路素子や回路構成と対応させ、測定対象の電磁輻射について解析する必要がある。このため、前記ノイズ分布データ画像とその電子回路や半導体装置の回路素子や回路構成との対応関係を容易に把握できることが求められている。
ノイズ分布データ画像とその電子回路や半導体装置の回路素子や回路構成との対応関係の把握は、現在、専用画像処理ソフトウェアを用いて、ＥＭＩテスタを用いたノイズ分布データ画像と、電子回路が実装された基板や半導体装置の写真画像とを合成することで可能になる。
また、同一の対象から得られる異なった情報を基準に生成したそれぞれの画像を合成するものとしては、例えば所定領域内の地図情報をもとに生成した地図画像と、前記所定領域内の公共施設の詳細情報をもとに生成した付加画像とを合成して表示するものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−３９７６９号公報

かかる従来の同一の対象から得られる異なった情報をもとに生成した複数の画像を合成する画像合成には、以下の短所が付随している。前者の専用画像処理ソフトウェアを用いる画像合成においては、合成する画像間の座標を合致させる処理が煩雑であり、時間を要し、また、座標の合致精度が低く、データの分析に手間を要するという課題があった。
また、後者の画像合成においては、地図画像と付加画像とを重ねて合成し表示する画像合成方式であるが、付加画像の表示領域が限定されており、ノイズ分布データ画像とその電子回路画像との合成にはこの画像合成方式は適用できないという課題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、画像を合成する際の精度の向上と効率化を実現できる画像合成方法、プログラム、記録媒体、画像合成装置およびシステムを提供することを目的とする。

上述の目的を達成するため、本発明にかかる画像合成方法は、被測定物の２つの基準点を含む、前記被測定物の物理量分布データをもとに得られた輻射分布画像と、前記基準点を含む前記被測定物の写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定する入力設定ステップと、前記入力設定ステップにより入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップとを備えたことを特徴とする。

また、本発明は、被測定物の輻射分布画像と写真画像との合成処理をコンピュータに実行させるための画像合成プログラムであって、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。

また、本発明にかかる記録媒体は、被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップとをコンピュータに実行させるための画像合成プログラムを記録したことを特徴とする。

また、本発明にかかる画像合成装置は、被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力手段と、前記被測定物の２つの基準点を含む写真画像情報を読み込む写真画像情報入力手段と、前記輻射分布画像情報入力手段および前記写真画像情報入力手段により読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示手段と、前記表示手段により前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得手段と、前記表示位置座標取得手段により取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算手段と、前記演算手段により演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整手段とを備えたことを特徴とする。

また、本発明にかかる画像合成システムは、被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像を得るための、前記基準点の位置座標および前記被測定物の物理量分布データを測定する測定装置と、前記被測定物の前記基準点を含む写真画像を得るための撮影装置と、前記測定装置により測定した物理量分布データをもとに得られた前記輻射分布画像と、前記撮影装置により得られた写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示手段と、前記表示手段により前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定する入力設定手段と、前記入力設定手段により入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得るためのスケール値とオフセット量を演算する演算手段と、前記演算手段により演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、被測定物の輻射分布画像と写真画像との合成に要する工程数を簡略化でき、短時間で合成画像が得られるため、画像合成の効率化を実現でき、また、合成画像を容易に保存でき、さらに２つの基準点の座標をもとに輻射分布画像と写真画像を合成することから画像合成の精度を高められる画像合成方法、プログラム、記録媒体、画像合成装置およびシステムを提供できる効果がある。

画像合成について精度向上と効率化を実現するという目的を、被測定物の２つの基準点を含む、前記被測定物の物理量分布データをもとに得られた輻射分布画像と、前記基準点を含む前記被測定物の写真画像とを同一モニタ画面上に表示し、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定し、前記入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算し、前記演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得ることで実現した。

また、画像合成について精度向上と効率化を実現するという目的を、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップとを画像合成プログラムによりコンピュータに実行させることで実現した。

また、画像合成について精度向上と効率化を実現するという目的を、被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、前記被測定物の２つの基準点を含む前記被測定物の写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像情報と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップとをコンピュータに実行させるための画像合成プログラムをコンピュータが読み取り可能に記録媒体に記録したことで実現した。

また、画像合成について精度向上と効率化を実現するという目的を、被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像情報を輻射分布画像情報入力手段により読み込み、前記被測定物の２つの基準点を含む写真画像情報を写真画像情報入力手段により読み込み、前記輻射分布画像情報入力手段および前記写真画像情報入力手段により読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像と写真画像とを表示手段により同一モニタ画面上に表示し、前記表示手段により前記同一モニタ画面上に表示した前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を表示位置座標取得手段により取得し、前記表示位置座標取得手段により取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算手段により演算し、前記演算手段により演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を調整手段により重ね合わせ合成画像を得ることで実現した。

また、画像合成について精度向上と効率化を実現するという目的を、被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像を得るための、前記基準点の位置座標および前記被測定物の物理量分布データを測定装置により測定し、前記被測定物の前記基準点を含む写真画像を撮影装置により取得し、前記測定した物理量分布データをもとに得られた前記輻射分布画像と、前記取得した写真画像とを表示手段により同一モニタ画面上に表示し、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定手段により入力設定し、前記入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得るためのスケール値とオフセット量を演算手段により演算し、前記演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を調整手段により重ね合わせ合成画像を得ることで実現した。

この実施例１の画像合成システムでは、一例としてＥＭＩテスタを用いて電子回路が実装された基板を測定したときのノイズ分布データ画像と、前記基板をディジタルカメラにより撮影したときのカメラ画像とを合成する。
図１は、この実施例１の画像合成方法が適用される画像合成システムの構成を示すブロック図である。この画像合成システムは、ＥＭＩ（ＥｌｅｃｔｒｏＭａｇｎｅｔｉｃＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）テスタ（測定装置）１と、ディジタルカメラなどの撮像装置（撮影装置）４と、画像処理手段２，５と、メモリ３，６と、コンピュータ（表示手段、入力設定手段、基準ポイント設定手段、演算手段、調整手段、透明度調整手段）７と、マウス（入力設定手段、基準ポイント設定手段）８やキーボード９などの入力装置と、モニタ（表示手段）１０を備えたシステム構成となっている。コンピュータ７には、後述する演算手段３００を有した画像合成プログラム（表示手段、入力設定手段、基準ポイント設定手段、調整手段、透明度調整手段）１００が格納されている。

ＥＭＩテスタ１は、電子回路が実装された測定対象である基板から発生する電磁輻射を測定する装置である。
撮像装置４はディジタルカメラであり、電子回路が実装された前記基板の写真画像を得るためのものである。
画像処理手段２は、ＥＭＩテスタ１により測定された電磁輻射量から前記基板についての電磁輻射の分布データに対し画像処理を行う。この電磁輻射の分布データによる輻射分布画像３０の生成では、電磁輻射強度が同レベルとなる領域を同一色、たとえば黄緑色で表し、電磁輻射強度が強くなるにつれて前記黄緑色から赤色へ徐々に表示色を変化させるなどの二次元的なカラー画像による表示方法が用いられる。
画像処理手段５は、撮像装置４により得られた前記写真データに対する画像処理を行う。
メモリ３は、画像処理手段２により画像処理された前記分布データを記憶する。
メモリ６は、画像処理手段５により画像処理された前記写真データを記憶する。

コンピュータ７は、メモリ３に記憶された分布データによる輻射分布画像３０と、メモリ６に記憶された写真データによる写真画像とを合成するための画像合成プログラム１００を備えている。この画像合成プログラム１００は、後述する写真データによる写真画像のスケール量の計算、オフセット量の計算などを実行するための演算手段３００を備えている。
マウス８は、モニタ１０の画面上でカーソルを移動させ、モニタ１０の画面上の基準点の座標位置を指定する位置指定操作や各種入力を行うための入力装置である。
キーボード９は、キー入力操作を行うための入力装置である。
モニタ１０は、前記輻射分布画像３０や前記写真画像の表示、前記輻射分布画像３０と前記写真画像とを合成した合成画像の表示、前記輻射分布画像３０と前記写真画像とを合成するためのコントロールパネルなどの操作画面の表示を含む各種表示を行う。

図２は、輻射分布画像３０と写真画像とを合成するこの画像合成システムの中核をなすコンピュータ７の構成を示すブロック図である。このコンピュータ７は、ＣＰＵ７０１、ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０３、入力装置７０４、ハードディスクへ分布データや写真データを書き込むハードディスクドライブ装置７０５、ハードディスクへ分布データや写真データを書き込み、あるいはハードディスクに格納されている分布データや写真データを読み出すためのインタフェース７０６、ＣＤドライブ装置７０７、ＣＤドライブ装置７０７を駆動しＣＤ−ＲＯＭへアクセスするためのインタフェース７０８、モニタ１０へ前記輻射分布画像３０や写真画像を表示するためのインタフェース７０９、ＦＤドライブ装置７１１、ＦＤドライブ装置７１１を駆動しＦＤへアクセスするためのインタフェース７１２、前記ＦＤまたは前記ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体１３、ＥＭＩテスタ１や撮像装置４などの外部装置との通信を行い、前記輻射分布画像３０や写真画像を表示するための分布データ、写真データの送受信を行う通信インタフェース７１４、システムバス７１５を備えている。

ＣＰＵ７０１は、この画像合成システムにおいて前記電子回路が実装された基板の輻射分布画像３０と写真画像との画像合成を行うための画像合成プログラム１００の実行や各部の制御を行う。ＲＯＭ７０２には各種データが格納されており、ＲＡＭ７０３はワーキングエリアを提供するものである。入力装置７０４は、図１に示すマウス８、キーボード９を含む。ハードディスクドライブ装置７０５は、ハードディスクへ分布データや写真データを記憶したり、ハードディスクへ記憶されている前記分布データや写真データを読み出す装置であり、ＣＰＵ７０１から前記インタフェース７０６を介して制御される。ＣＤドライブ装置７０７は、ＣＤ−ＲＯＭへ記憶されているデータを読み出す装置であり、ＣＰＵ７０１からインタフェース７０８を介して制御される。インタフェース７０９は、モニタ１０へ前記輻射分布画像３０や写真画像を表示するためのものである。ＦＤドライブ装置７１１は、ＦＤへ分布データや写真データを記憶したり、ＦＤへ記憶されている前記分布データや写真データを読み出す装置であり、ＣＰＵ７０１からインタフェース７１２を介して制御される。記録媒体７１３には、前記分布データや前記写真データが格納されていてもよいし、あるいは画像合成プログラム１００が格納されていてもよい。記録媒体７１３に記憶された前記分布データ、前記写真データ、画像合成プログラム１００はＣＤドライブ装置７０７またはＦＤドライブ装置７１１を介して読み出され、ハードディスクドライブ装置７０５のハードディスクへインストールされる。

なお、記録媒体７１３は、ＣＤ−ＲＯＭの他、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、メモリカード、磁気テープなどであってもよく、これらの記録媒体を用いる場合にはこれら記録媒体の読み取りを行うドライブ装置をコンピュータ７が備えていればよい。

通信インタフェース７１４は、ＥＭＩテスタ１や撮像装置４などの外部装置との間の通信を行い、前記輻射分布画像３０や写真画像を表示するための分布データ、写真データの送受信を行う。システムバス７１５は、各種データを送受するためのデータバス、アドレスバス、各種制御信号を送受するコントロールバスを含む。

図３は、この実施例１の画像合成システムを使用して画像を合成するときの測定データ、写真データの流れを示すブロック図である。最初、電磁輻射レベルの測定対象となる被測定基板２０に、２つの基準点をマーキングする。そして、ＥＭＩテスタ（輻射測定器）１により前記被測定基板２０の輻射データを測定する。また、このときＥＭＩテスタ１により前記被測定基板２０にマーキングされている前記２つの基準点の座標を検出する。さらに、前記測定した輻射データをもとに輻射分布画像３０を作成する。この輻射分布画像３０を図４に示す。この輻射データは画像処理手段２により画像処理されメモリ３に格納される。マイクロコンピュータ７はこの輻射データを取り込み、モニタ１０の画面上に輻射分布画像３０を表示する。この輻射分布画像３０には、前記マーキングされた２つの基準点が明確に表示されている。
なお、２つの基準点のマーキングは、ＥＭＩテスタ（輻射測定器）１により前記被測定基板２０の輻射データを測定した後であってもよい。

一方、前記２つの基準点がマーキングされた被測定基板２０をディジタルカメラにより撮影し写真データを得る。この写真データは画像処理手段５により画像処理されメモリ６に格納される。マイクロコンピュータ７はこの写真データを取り込み、モニタ１０の画面上に被測定基板２０の写真画像４０を表示する。この写真画像４０には、前記マーキングされた2つの基準点が明確に表示されている。

次に、モニタ１０の画面上で前記輻射分布画像３０と被測定基板２０の写真画像４０とを合成するための基準ポイント５０の設定を行い、画像合成プログラム１００により前記輻射分布画像３０と前記写真画像４０とを合成し、合成図面６０を生成する。
この基準ポイント５０の設定では、前記輻射分布画像３０と被測定基板２０の写真画像４０とを重ねて表示する場合の前記写真画像４０のオフセット調整とスケール調整の基準ポイントを設定する。例えば、モニタ１０の画面上に表示された被測定基板２０の写真画像４０の左上の隅を基準ポイント５０として指定し設定する。この結果、写真画像４０について演算されたスケール値により求められた拡大または縮小された新しい写真画像の幅と高さは、前記基準ポイント５０を基準にして拡大または縮小される。また、写真画像４０について演算されたオフセット量により求められた新しい写真画像の縦方向と横方向の位置は、前記基準ポイント５０を基準にして前記オフセット量だけ縦方向と横方向に移動する。

図４は、この画像合成システムのコンピュータ７による画像合成処理の動作を示すフローチャートである。この画像合成処理は、前記画像合成プログラム１００をコンピュータ７のＣＰＵ７０１が実行することで実現する。以下、図４に示すフローチャートに従い、図５、図６、図７、図８および図９を参照しながら動作について説明する。
図５は輻射分布画像３０の一例を示し、図６は被測定基板２０の一例を示している。図６に示す被測定基板２０には集積回路Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈがそれぞれ所定の位置に実装されている。図７は、被測定基板２０の輻射分布画像３０と写真画像４０とコントロールパネル２００がモニタ１０の画面上に表示された、合成前の状態を示す画面図である。このモニタ１０の画面に表示されたコントロールパネル２００には、画像合成処理の際の前記被測定基板２０にマーキングされた２つの基準点に対応する、モニタ１０の画面上の輻射分布画像３０の基準点Ｄ１，Ｄ２についての座標値（Ｘ軸上の座標値．Ｙ軸上の座標値）と、写真画像４０の基準点Ｐ１，Ｐ２についての座標値（Ｘ軸上の座標値．Ｙ軸上の座標値）が表示される基準点座標表示部２０１，２０２，２０３，２０４が設定されている。図８は、モニタ１０の画面上で輻射分布画像３０と前記被測定基板２０の写真画像４０との縮尺を一致させ、さらにオフセット調整を行なった後の合成画像と、コントロールパネル２００が表示されたモニタ10の画面図である。図９は、輻射分布画像３０と前記被測定基板２０の写真画像４０との前記合成画像が表示されたモニタ10の画面図である。

先ず、図６に示す被測定基板２０に２つの基準点をマーキングする。このマーキングの仕方は、例えばマーキングしやすい被測定基板上に明確に識別できるように基準点を印す。この実施例では、図６に示すように被測定基板２０に実装された集積回路Ａと集積回路Ｈの表面へ明確に識別できるように基準点Ｒ１，Ｒ２がマーキングされる。

次に、前記２つの基準点がマーキングされた被測定基板２０をＥＭＩテスタ１の所定の位置にセットする。そして、被測定基板２０の輻射データの測定が可能になるように、被測定基板２０に実装されている電子回路を動作させた状態で、ＥＭＩテスタ１により輻射データの測定を行う。このＥＭＩテスタ１により測定した輻射データは、画像処理手段２においてファイリングを含む画像処理が行われ、メモリ３に格納される。このＥＭＩテスタ１の所定の位置にセットされた被測定基板２０に対しては、さらに、ＥＭＩテスタ１により前記２つの基準点の座標位置の検出を行う。この基準点の座標位置の検出は、ＥＭＩテスタ１のプローブを前記基準点Ｒ１，Ｒ２がマーキングされた位置へ移動させ、このときのプローブの座標位置を読み取ることで行われる。検出された２つの基準点Ｒ１，Ｒ２の座標位置は前記測定した輻射データとともにメモリ３に格納される。この基準点Ｒ１，Ｒ２の座標位置は、ＥＭＩテスタ１により測定した輻射データによる輻射分布画像３０をモニタ１０の画面上へ表示する際に、輻射分布画像３０に前記基準点を表示出力するために利用される。メモリ３に格納された前記測定した輻射データと前記基準点の座標位置はコンピュータ７に読み込まれ（ステップＳ１）、モニタ１０の画面上で座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）の基準点Ｄ１、座標位置（Ｘｄ２，Ｙｄ２）の基準点Ｄ２を有した輻射分布画像３０として表示される（ステップＳ３）。このモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）の基準点Ｄ１は前記基準点Ｒ１に対応し、また座標位置（Ｘｄ２，Ｙｄ２）の基準点Ｄ２は前記基準点Ｒ２に対応する。

次に、前記２つの基準点Ｒ１，Ｒ２がマーキングされた被測定基板２０をディジタルカメラなどの撮像装置４により撮影し、得られた被測定基板２０の写真データに対し画像処理手段５においてファイリングを含む画像処理を行い、メモリ６へ格納する。メモリ６へ格納された前記被測定基板２０の写真データはコンピュータ７に取り込まれ（ステップＳ２）、モニタ１０の画面上で座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）の基準点Ｐ１、座標位置（Ｘｐ２，Ｙｐ２）の基準点Ｐ２を有する写真画像として表示される（ステップＳ３）。このモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）の基準点Ｐ１は前記基準点Ｒ１に対応し、また、座標位置（Ｘｐ２，Ｙｐ２）の基準点Ｐ２は前記基準点Ｒ２に対応する。

図７は、ステップＳ１による基準点Ｄ１，Ｄ２を有する輻射分布画像３０と、ステップＳ２による基準点Ｐ１，Ｐ２を有する被測定基板２０の写真画像４０とがモニタ１０の画面上に同時に表示されている状態を示す。

続いて、モニタ１０の画面上に表示された基準点Ｄ１，Ｄ２を有する輻射分布画像３０
に対し、マウス８を操作してカーソルを基準点Ｄ１と基準点Ｄ２の表示位置へ移動させ、カーソルが基準点Ｄ１と基準点Ｄ２の表示位置と一致した状態でマウスをクリック操作する。この結果、輻射分布画像３０の基準点Ｄ１と基準点Ｄ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）と（Ｘｄ２，Ｙｄ２）が読み込まれる（ステップＳ４）。この読み込まれた基準点Ｄ１と基準点Ｄ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）と（Ｘｄ２，Ｙｄ２）は、コントロールパネル２００の基準点座標表示部２０１，２０２に表示される。

続いて、モニタ１０の画面上に表示された写真データによる被測定基板２０の写真画像４０に表示された基準点Ｐ１，Ｐ２に対し、マウス８を操作してカーソルを基準点Ｐ１と基準点Ｐ２の表示位置へ移動させ、カーソルが基準点Ｐ１と基準点Ｐ２の表示位置と一致した状態でマウスをクリック操作する。この結果、写真データによる被測定基板２０の写真画像４０の基準点Ｐ１と基準点Ｐ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）と（Ｘｐ２，Ｙｐ２）が読み込まれる（ステップＳ５）。この読み込まれた基準点Ｐ１と基準点Ｐ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）と（Ｘｐ２，Ｙｐ２）は、コントロールパネル２００の基準点座標表示部２０３，２０４に表示される。

ステップＳ３において読み込まれた輻射分布画像３０の基準点Ｄ１と基準点Ｄ２の座標位置、およびステップＳ４において読み込まれた写真データによる被測定基板２０の基準点Ｐ１と基準点Ｐ２の座標位置は演算手段３００により処理され、写真データによる被測定基板２０の写真画像４０と輻射分布画像３０とを重ねて表示したときに両者が一致するようにスケール調整とオフセット調整を行うための、写真画像４０または輻射分布画像３０のスケール値およびオフセット量の計算が行われる。

この実施例１では写真画像４０のスケール値およびオフセット量の計算と、スケール調整およびオフセット調整を、前記ステップＳ３で読み込んだ基準点Ｄ１のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）と、基準点Ｄ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ２，Ｙｄ２）、前記ステップＳ４で読み込んだ基準点Ｐ１のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）と、基準点Ｐ２のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ２，Ｙｐ２）を用いて次のようにして行う。

写真画像４０のスケール値、すなわち、輻射分布画像３０に対する写真画像４０の拡大または縮小の割合は、Ｘ軸方向のスケール値をＳｃａｌｅＸとすると、ＳｃａｌｅＸ＝（Ｘｄ２−Ｘｄ１）／（Ｘｐ２−Ｘｐ１）、また、Ｙ軸方向のスケール値をＳｃａｌｅＹとすると、ＳｃａｌｅＹ＝（Ｙｄ２−Ｙｄ１）／（Ｙｐ２−Ｙｐ１）で求められる。このようにして輻射分布画像３０に対する写真画像４０の拡大または縮小の割合、すなわちスケール値が演算される（ステップＳ６）。そして、前記求められたＳｃａｌｅＸとＳｃａｌｅＹを利用して、写真画像４０の拡大または縮小を行い、写真画像４０の大きさを輻射分布画像３０の大きさに一致させる（ステップＳ７）。

続いて写真画像４０のオフセット量の計算と、写真画像４０のオフセット調整を行う。
写真画像４０のオフセット量の計算は、前記ステップＳ５で求めたＳｃａｌｅＸおよびＳｃａｌｅＹと、前記ステップＳ３で読み込んだ基準点Ｄ１のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｄ１，Ｙｄ１）、前記ステップＳ４で読み込んだ基準点Ｐ１のモニタ１０の画面上の座標位置（Ｘｐ１，Ｙｐ１）を利用して次のようにして行う。写真画像４０のＸ軸方向のオフセット量をｄｘ、Ｙ軸方向のオフセット量をｄｙとすると、ｄｘ＝Ｘｐ１・ＳｃａｌｅＸ−Ｘｄ１、ｄｙ＝Ｙｐ１・ＳｃａｌｅＹ−Ｙｄ１で求められる。このように、写真画像４０に対し設定した前記基準ポイント５０を基準に、輻射分布画像３０に対する写真画像４０のＸ軸方向とＹ軸方向のずれ、すなわちオフセット量が演算される（ステップＳ８）。そして、前記求められたｄｘとｄｙを利用して、写真画像４０を前記オフセット量、前記基準ポイント５０を基準にＸ軸、Ｙ軸方向へ移動させ、図８に示すように写真画像４０の位置を輻射分布画像３０の位置に一致させ重ね合わせる（ステップＳ９）。

続いて、写真画像４０の透明度の設定と、写真を表示しているＷｉｎｄｏｗｓ（マイクロソフト社が開発したＯＳ、登録商標）更新を行う（ステップＳ１０）。この実施例１では、写真画像４０の透明度の設定を行うが、輻射分布画像３０の透明度を調整することも可能である。写真画像４０の透明度の設定は、例えば、ＷｉｎｄｏｗｓのＡＰＩ関数を使用し、写真を表示しているＷｉｎｄｏｗｓの透明度を調整することで行う。また、Ｗｉｎｄｏｗｓ更新は、写真を表示しているＷｉｎｄｏｗｓへＷＭ＿ＵＰＤＡＴＥというメッセージを転送することで行う。

なお、この実施例１によれば、図４のステップＳ１が特許請求の範囲の輻射分布画像情報入力ステップおよび輻射分布画像情報入力手段に対応している。
また、ステップＳ２が特許請求の範囲の写真画像情報入力ステップおよび写真画像情報入力手段に対応している。
また、ステップＳ３が特許請求の範囲の表示ステップおよび表示手段に対応している。
また、ステップＳ４とステップＳ５が特許請求の範囲の入力設定ステップ、表示位置座標取得ステップおよび表示位置座標取得手段に対応している。
また、ステップＳ６とステップＳ８が特許請求の範囲の演算ステップおよび演算手段に対応している。
また、ステップＳ７とステップＳ９が特許請求の範囲の調整ステップおよび調整手段に対応している。
また、ステップＳ１０が特許請求の範囲の透明度調整ステップおよび透明度調整手段に対応している。

以上のように、この実施例１によれば、被測定基板２０に２つの基準点をマーキングした状態で、ＥＭＩテスタ１により被測定基板２０を測定し、その測定データにより前記基準点の位置が基準点Ｄ１，Ｄ２として表示された輻射分布画像３０をモニタ１０に表示させ、また前記被測定基板２０をディジタルカメラにより撮影し、前記基準点の位置が基準点Ｐ１，Ｐ２として表示された写真画像をモニタ１０に表示させる。そして、モニタ１０の画面上に表示された輻射分布画像３０の基準点Ｄ１、Ｄ２と、被測定基板２０の写真画像の基準点Ｐ１、Ｐ２の座標値を、モニタ１０の画面上で前記各基準点をクリックすることにより入力し、画像合成プログラム１００を実行させ、これら基準点Ｄ１、Ｄ２と基準点Ｐ１、Ｐ２の座標値からスケール値とオフセット量を演算する。そして、演算して求めた前記スケール値とオフセット量をもとに被測定基板２０の写真画像４０を輻射分布画像３０に一致させ合成画像として表示させ、さらに被測定基板２０の写真画像４０の透明度を上げて、被測定基板２０の写真画像４０と輻射分布画像３０とが同時に視認できるように合成画像として表示する。

この実施例１の画像合成方法が適用される画像合成システムでは、ＥＭＩテスタ１により被測定基板２０を測定し、その測定データにより２つの基準点の位置が基準点Ｄ１，Ｄ２として表示された輻射分布画像３０をモニタ１０に表示させるステップと、前記被測定基板２０をディジタルカメラなどの撮像装置４により撮影し、前記基準点の位置が基準点Ｐ１，Ｐ２として表示された写真画像を前記モニタ１０の同一画面に表示させるステップと、モニタ１０の画面上で前記各基準点をクリックすることにより、基準点Ｄ１、Ｄ２と基準点Ｐ１、Ｐ２の座標値を入力するステップと、画像合成プログラム１００を実行させるステップの合計４ステップで実現することが可能である。このため、被測定基板２０の写真画像４０と輻射分布画像３０との合成に要する時間が数十秒で完了し、また、合成画像を容易に保存でき、画像合成の効率化を実現でき、さらに基準点Ｐ１、Ｐ２と基準点Ｄ１、Ｄ２の座標をもとに輻射分布画像３０と写真画像４０を合成することから画像合成の精度を高められる画像合成方法および装置を提供できる効果がある。

本発明の実施例１の画像合成方法が適用される画像合成システムの構成を示すブロック図である。本発明の実施例１の画像合成システムの中核をなすコンピュータの構成を示すブロック図である。本発明の実施例１の画像合成システムを使用して画像を合成するときの測定データ、写真データの流れを示すブロック図である。本発明の実施例１の画像合成システムのコンピュータによる画像合成処理の動作を示すフローチャートである。本発明の実施例１の画像合成システムにおける輻射分布画像の一例を示す輻射分布図である。本発明の実施例１の画像合成システムにおける被測定基板の一例を示す説明図である。本発明の実施例１の画像合成システムにおける被測定基板の輻射分布画像と写真画像とコントロールパネルがモニタの画面上に表示された、合成前の状態を示す画面図である。本発明の実施例１の画像合成システムにおける合成画像とコントロールパネルが表示されたモニタの画面図である。本発明の実施例１の画像合成システムにおける輻射分布画像と被測定基板の写真画像との合成画像が表示されたモニタの画面図である。

符号の説明

１……ＥＭＩテスタ（測定装置）、４……ディジタルカメラなどの撮像装置（撮影装置）、７……コンピュータ（表示手段、入力設定手段、基準ポイント設定手段、演算手段、調整手段、透明度調整手段）、８……マウス（入力設定手段、合成用基準ポイント設定手段）、１０……モニタ（表示手段）、１００……画像合成プログラム（表示手段、入力設定手段、基準ポイント設定手段、調整手段、透明度調整手段）、３００……演算手段、７１３……記録媒体。

Claims

被測定物の２つの基準点を含む、前記被測定物の物理量分布データをもとに得られた輻射分布画像と、前記基準点を含む前記被測定物の写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、
前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定する入力設定ステップと、
前記入力設定ステップにより入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップと、
を備えたことを特徴とする画像合成方法。
前記輻射分布画像または前記写真画像の透明度を調整する透明度調整ステップを備えたことを特徴とする請求項１記載の画像合成方法。
前記同一モニタ画面上において前記輻射分布画像と前記写真画像とを合成するための合成用基準ポイントを設定する基準ポイント設定ステップを備え、前記入力設定ステップにより入力設定された前記各基準点の表示位置座標は、前記合成用基準ポイントを基準にした位置座標であることを特徴とする請求項１記載の画像合成方法。
前記輻射分布画像は、前記被測定物の電磁輻射分布データをもとに得られた電磁輻射分布画像であることを特徴とする請求項１乃至３記載の画像合成方法。
前記基準点を含む輻射分布画像を得るための前記基準点の位置座標と、前記被測定物の物理量分布データを測定する測定ステップを備えたことを特徴とする請求項１記載の画像合成方法。
被測定物の輻射分布画像と写真画像との合成処理をコンピュータに実行させるための画像合成プログラムであって、
前記被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、
前記被測定物の２つの基準点を含む写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、
前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、
前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、
前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップと、
をコンピュータに実行させるための画像合成プログラム。
前記輻射分布画像または前記写真画像の透明度を調整する透明度調整ステップを備えたことを特徴とする請求項６記載の画像合成プログラム。
前記同一モニタ画面上において前記輻射分布画像と前記写真画像とを合成するための合成用基準ポイントを設定する基準ポイント設定ステップを備え、前記表示位置座標取得ステップにより読み込んだ前記各基準点の表示位置座標は、前記合成用基準ポイントを基準にした位置座標であることを特徴とする請求項６記載の画像合成プログラム。
前記輻射分布画像は、前記被測定物の電磁輻射分布データをもとに得られた電磁輻射分布画像であることを特徴とする請求項６記載の画像合成プログラム。
被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力ステップと、
前記被測定物の２つの基準点を含む写真画像情報を読み込む写真画像情報入力ステップと、
前記輻射分布画像情報入力ステップおよび前記写真画像情報入力ステップにより読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示ステップと、
前記表示ステップにより前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得ステップと、
前記表示位置座標取得ステップにより取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにより演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整ステップと、
を実行させるための画像合成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
前記輻射分布画像または前記写真画像の透明度を調整する透明度調整ステップを含むことを特徴とする請求項１０記載の画像合成プログラムを記録した記録媒体。
前記同一モニタ画面上において前記輻射分布画像と前記写真画像とを合成するための合成用基準ポイントを設定する基準ポイント設定ステップを備え、前記表示位置座標取得ステップにより読み込んだ前記各基準点の表示位置座標は、前記合成用基準ポイントを基準にした位置座標であることを特徴とする請求項１０記載の画像合成プログラムを記録した記録媒体。
前記輻射分布画像は、前記被測定物の電磁輻射分布データをもとに得られた電磁輻射分布画像であることを特徴とする請求項１０記載の画像合成プログラムを記録した記録媒体。
被測定物の輻射分布画像と写真画像とを画像合成する画像合成装置であって、
前記被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像情報を読み込む輻射分布画像情報入力手段と、
前記被測定物の２つの基準点を含む写真画像情報を読み込む写真画像情報入力手段と、
前記輻射分布画像情報入力手段および前記写真画像情報入力手段により読み込んだ前記被測定物の輻射分布画像情報と前記写真画像情報をもとに、前記基準点を含む前記被測定物の輻射分布画像と写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示手段と、
前記表示手段により前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を読み込む表示位置座標取得手段と、
前記表示位置座標取得手段により取得した前記各基準点の表示位置座標をもとに、前記同一モニタ画面に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成するためのスケール値とオフセット量を演算する演算手段と、
前記演算手段により演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整手段と、
を備えたことを特徴とする画像合成装置。
前記輻射分布画像または前記写真画像の透明度を調整する透明度調整手段を備えたことを特徴とする請求項１４記載の画像合成装置。
前記同一モニタ画面上において前記輻射分布画像と前記写真画像とを合成するための合成用基準ポイントを設定する基準ポイント設定手段を備え、前記表示位置座標取得手段により読み込んだ前記各基準点の表示位置座標は、前記合成用基準ポイントを基準にした位置座標であることを特徴とする請求項１４記載の画像合成装置。
前記輻射分布画像は、前記被測定物の電磁輻射分布データをもとに得られた電磁輻射分布画像であることを特徴とする請求項１４記載の画像合成装置。
被測定物の２つの基準点を含む輻射分布画像を得るための、前記基準点の位置座標および前記被測定物の物理量分布データを測定する測定装置と、
前記被測定物の前記基準点を含む写真画像を得るための撮影装置と、
前記測定装置により測定した物理量分布データをもとに得られた前記輻射分布画像と、前記撮影装置により得られた写真画像とを同一モニタ画面上に表示する表示手段と、
前記表示手段により前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像および前記写真画像にそれぞれ含まれる前記各基準点の表示位置座標を入力設定する入力設定手段と、
前記入力設定手段により入力設定した前記基準点の表示位置座標をもとに、前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得るためのスケール値とオフセット量を演算する演算手段と、
前記演算手段により演算した前記スケール値とオフセット量をもとに、前記同一モニタ画面上に表示された前記輻射分布画像と前記写真画像を重ね合わせ合成画像を得る調整手段と、
を備えたことを特徴とする画像合成システム。