JP2005291222A - 蛇腹装置 - Google Patents
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 14
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 6
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
【解決手段】左側垂直シート部28aと、右側垂直シート部28bと、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部28cとを有してなるとともに山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる蛇腹シート28と、この蛇腹シート28の内側であって上記左垂直シート部に形成された山部に対応した位置に左側部が固定されてなる左側垂直板部29aと、上記右側垂直シート部に形成された山部に対応した位置に右側部が固定された右側垂直板部29bと、上記水平シート部に形成された山部に対応した位置に固定された水平板部29cと、を有してなる支持板29とを備え、左側垂直板部29aの左側部には、左側切欠き部29eが形成され、右側垂直板部29bの右側部には、右側切欠き部29fが形成されてなる。
【選択図】図7
Description
21 第2の蛇腹装置
28 蛇腹シート
28a 左垂直シート部
28b 右垂直シート部
28c 水平シート部
28d 山部
28e 谷部
29 支持板
29a 左側垂直板部
29b 右側垂直板部
29c 水平板部
29e 左側切欠き部
29f 右側切欠き部
29g 左側鉤状切欠き部
29h 右側鉤状切欠き部
31 第1の内側蛇腹シート
32 第2の内側蛇腹シート
33 第3の内側蛇腹シート
Claims (5)
- 左側垂直シート部と、右側垂直シート部と、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部とを有してなるとともに山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる蛇腹シートと、
この蛇腹シートの内側であって上記左垂直シート部に形成された山部に対応した位置に左側部が固定されてなる左側垂直板部と、上記右側垂直シート部に形成された山部に対応した位置に右側部が固定されてなる右側垂直板部と、上記水平シート部に形成された山部に対応した位置に固定されてなる水平板部と、を有してなる支持板とを備えてなる蛇腹装置であって、
上記支持板を構成する上記左側垂直板部の左側部には、左側切欠き部が形成されてなるとともに、該支持板を構成する上記右側垂直板部の右側部には、右側切欠き部が形成されてなることを特徴とする蛇腹装置。 - 左側垂直シート部と、右側垂直シート部と、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部とを有してなるとともに山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる蛇腹シートと、
この蛇腹シートの内側であって上記左垂直シート部に形成された山部に対応した位置に左側部が固定されてなる左側垂直板部と、上記右側垂直シート部に形成された山部に対応した位置に右側部が固定されてなる右側垂直板部と、上記水平シート部に形成された山部に対応した位置に固定されてなる水平板部と、を有してなる支持板とを備えてなる蛇腹装置であって、
上記支持板を構成する左側垂直板部と水平板部とにより形成された左側角部には左鉤状切欠き部が鉤状に形成されてなるとともに、該支持板を構成する右側垂直板部と水平板部とにより形成された右側角部には右鉤切欠き部が鉤状に形成されてなり、上記左側切欠き部と蛇腹シートとの間、及び上記右側切欠き部と蛇腹シートとの間には、それぞれ空間が形成されてなることを特徴とする蛇腹装置。 - 前記蛇腹シートの内側には、
左側垂直シート部と、右側垂直シート部と、左側は上記左側垂直シート部と連続し右側は上記右側垂直シート部と連続してなる水平シート部とを有してなるとともに山部と谷部とが伸縮方向に交互に形成されてなる内側蛇腹シートが伸縮自在に固定されてなり、この内側蛇腹シートの下端は、前記蛇腹シートの下端よりも上方に位置してなることを特徴とする請求項1又は2記載の何れかの蛇腹装置。 - 前記内側蛇腹シートは、前記蛇腹シートに対して、前記水平シート部が傾斜した状態で固定されてなることを特徴とする請求項3記載の蛇腹装置。
- 前記内側蛇腹シートの正面側及び背面側には、それぞれ固定板が固定されてなり、該内側蛇腹シートは、これらの固定板と前記支持板との固定により、該支持板に支持されてなることを特徴とする請求項3又は4記載の何れかの蛇腹装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102485A JP4241469B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 蛇腹装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102485A JP4241469B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 蛇腹装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005291222A true JP2005291222A (ja) | 2005-10-20 |
| JP4241469B2 JP4241469B2 (ja) | 2009-03-18 |
Family
ID=35324401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004102485A Expired - Fee Related JP4241469B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 蛇腹装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4241469B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008264888A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Naberu:Kk | 廃液飛散防止用蛇腹装置 |
| JP2010249197A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Mitsutoyo Corp | 移動機構の防塵装置および測定機 |
| CN103796794A (zh) * | 2011-06-06 | 2014-05-14 | 通快激光与系统工程有限公司 | 伸缩波纹管 |
| DE102013014771A1 (de) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | Hema Maschinen- Und Apparateschutz Gmbh | Schutzbalg aus Schutzbalgsegmenten |
| JP2016159420A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | ブラザー工業株式会社 | 工作機械 |
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| JP2008264888A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Naberu:Kk | 廃液飛散防止用蛇腹装置 |
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| JP4241469B2 (ja) | 2009-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050930 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140109 Year of fee payment: 5 |
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