JP2005294310A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. エネルギー線を発生するエネルギー線発生部、被照射体にエネルギー線を照射する照射部、前記エネルギー線発生部と前記照射部との間に配置された差動排気部、を備えることを特徴とするエネルギー線照射装置。
2. 差動排気部が、エネルギー線の進行方向に対して斜めに横切る遮蔽板により、第１のチャンバーと第２のチャンバーを形成するように仕切られており、第１のチャンバーおよび第２のチャンバーがそれぞれ排気口を備えていることを特徴とする、請求項１に記載のエネルギー線照射装置。
3. 複数の差動排気部を有することを特徴とする、請求項１または２に記載のエネルギー線照射装置。
4. ０．１Ｐａ以上の圧力下でエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項３に記載のエネルギー線照射装置。
5. 不活性ガスの存在下でエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項４に記載のエネルギー線照射装置。
6. エネルギー線の断面形状の短軸方向に被照射体を移動させることによりエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項５に記載のエネルギー線照射装置。
7. 被照射体の移動速度を変化させることにより、被照射体に照射されるエネルギー線量を変化させることを特徴とする、請求項６に記載のエネルギー線照射装置。
8. エネルギー線の照射に用いる差動排気装置であって、エネルギー線の進行方向に対して斜めに横切る遮蔽板により、前記差動排気装置が第１のチャンバーと第２のチャンバーを形成するように仕切られており、第１のチャンバーおよび第２のチャンバーがそれぞれ排気口を備えていることを特徴とする、差動排気装置。