JP2006072012A - コリメート装置、コリメート装置調整治具、コリメート装置調整方法及び光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光の焦点及び照射角度を簡易且つ確実に調整可能なコリメート装置、コリメート装置調整治具、コリメート装置調整方法ならびに光学的精度の高い光学装置を提供する。
【解決手段】レーザダイオードを固定するスリーブ２をレーザダイオードから発せられる光の光軸方向に移動させることにより、レーザダイオードとレンズホルダ５に固定されたコリメートレンズとの距離を調整可能に構成されたスリーブホルダ４と、スリーブホルダ４を前記の光軸と直交する方向に移動させることによりレーザダイオードとコリメートレンズの相対位置を調整可能に構成されたレンズホルダ５とを設ける。
【選択図】図２

Description

本発明は、光源から発せられる光の焦点ならびに照射角度の調整を行うためのコリメート装置、このコリメート装置用の調整治具及び調整方法に関する。

光源とコリメート装置との組み合わせを複数有する光学装置には、複数の種類が存在し、この光学装置の一例としてはバイオセンサ等が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。

図１０は、上記のような光学装置（インスリンチップセンサ等のバイオセンサを含む）の一例を示す図である。

光学装置１００は、筐体１０１と、光源としてのレーザダイオードとコリメートレンズとを備えるコリメート装置１０２と、アパーチャ１０３と試料載置部１０５と、この内部に載置された試料１０６と、裏面が鏡面処理されたカバー１０７と、受光部１０８とからなる。

上記のコリメート装置１０２から発せられたレーザ光１０４はアパーチャ１０３により集光径が調整され、試料１０６に到達し、一部は反射され（図中の１０４ａ）、その他の一部（図中の１０６ｂ）は試料１０６を通過し、カバー１０７の裏面で全反射されながら再び試料１０６を通過し、受光部１０８により受光される。
特開平９−６１３４６号公報

上記のような光学装置においては、これを組み立てた後に、複数個のコリメート装置からターゲットに向けて光を照射し、ターゲット上に投影された光のスポットが一直線状になるようにそれぞれのコリメータ装置の焦点及び照射角度を調整する必要がある。

しかしながら、この調整作業には困難が伴い、製造リードタイム、つまりコリメータ装置あるいは光学装置が完成するまでの時間が増大してしまう。

また、複数個のコリメータ装置は製造互換性（調整時における互換性）を有しておらず、このため上記の製造リードタイムの増大化がさらに顕著になっていた。

このような事情に鑑み本発明は、光の焦点及び照射角度を簡易且つ確実に調整可能なコリメート装置、コリメート装置調整治具、コリメート装置調整方法ならびに光学的精度の高い光学装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の本発明は、光源を固定する光源固定部材と、光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材とを有し、収容部材は、光源固定部材を光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより光軸方向における光源とコリメートレンズとの距離を調整可能に構成されており、距離の調整後に光源固定部材が接着されており、コリメートレンズ固定部材は、収容部材を光軸と直交する方向に移動させることにより光軸と直交する方向における光源とコリメートレンズの相対位置を調整可能に構成されており、相対位置の調整後に収容部材が接着されていることを要旨とする。

請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の発明において、収容部材と光源固定部材は、接着剤を複数箇所に点状に塗布することにより接着されていることを要旨とする。

請求項３に記載の本発明は、請求項１又は２に記載の発明において、コリメートレンズ固定部材と収容部材は、接着剤を複数箇所に点状に塗布することにより接着されていることを要旨とする。

請求項４に記載の本発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の発明において、収容部材は、コリメートレンズ固定部材へ向けて貫通し、接着剤を注入可能に構成された孔部を有することを要旨とする。

請求項５に記載の本発明は、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の発明において、接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを要旨とする。

請求項６に記載の本発明は、光源を固定する光源固定部材と、光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材とを備えるコリメート装置の調整治具であって、光源固定部材を収容部材に対して光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより光軸方向における光源とコリメートレンズとの距離を調整する距離調整部と、収容部材をコリメートレンズ固定部材に対して光軸と直交する方向に移動させることにより光軸と直交する方向における光源とコリメートレンズの相対位置を調整する位置調整部とを有することを要旨とする。

請求項７に記載の本発明は、光源を固定する光源固定部材と、光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材とを備えるコリメート装置の調整方法であって、光源固定部材を収容部材に対して光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより光軸方向における光源とコリメートレンズとの距離を調整する距離調整工程と、収容部材をコリメートレンズ固定部材に対して光軸と直交する方向に移動させることにより光軸と直交する方向における光源とコリメートレンズの相対位置を調整する位置調整工程と、距離の調整後に光源固定部材と収容部材を接着する第１の接着工程と、位置の調整後に収容部材とコリメートレンズ固定部材を接着する第２の接着工程とを有することを要旨とする。

請求項８に記載の本発明は、請求項７に記載の発明において、第１の接着工程と第２の接着工程の少なくとも一方では紫外線硬化型接着剤を用いることを要旨とする。

請求項９に記載の本発明は、光源である発光部と、発光部から発せられた光の照射方向を調整するレンズを有するコリメート部と、コリメート部からの光が入射する被測定試料を載置する試料載置部と、試料載置部からの光を反射する反射部と、反射部からの光を受光する受光部とを備え、コリメート部は、試料載置部に対向するようにして傾斜した面上に、発光部からの光の光軸と被測定試料が交わるように設けられていることを要旨とする。

請求項１０に記載の本発明は、請求項９に記載の発明において、反射部は、試料載置部の上方に設けられており、被測定試料に入射する光は、反射部において全反射されることを要旨とする。

請求項１１に記載の本発明は、請求項９又は１０に記載の発明において、試料載置部は、主面上に設けられており、コリメート装置は、主面と所定の角度を成す側面側に設けられていることを要旨とする。

本発明によれば、光の焦点及び照射角度を簡易且つ確実に調整可能なコリメート装置、コリメート装置調整治具、コリメート装置調整方法ならびに光学的精度の高い光学装置を提供することが可能となる。

以下、図面を提示しつつ本発明のコリメート装置、コリメート装置調整治具、コリメート装置及び光学装置について説明する。

なお、以下の実施例は、あくまでも本発明の説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であれば、これらの各要素又は全要素を含んだ各種の実施例を採用することが可能であるが、これらの実施例も本発明の範囲に含まれる。

また、以下の実施例を説明するための全図において、同一の要素には同一の符号を付与し、これに関する反復説明は省略する。

図１は、本発明の第１の実施例（実施例１）に係るコリメート装置１の構成を示す分解斜視図であり、図２は、図１のコリメート装置１が組み立てられた状態を示す斜視図である。

図１に示すように、コリメート装置１は、スリーブ（光源固定部材）２と、レーザダイオード（光源）３と、スリーブホルダ（収容部材）４と、レンズホルダ（コリメートレンズ固定部材）５と、コリメートレンズ６とからなる。

スリーブ２は、円筒形であり、内部にレーザダイオード３を固定する。また、側面には、このスリーブ２を把持するための２本の溝部２１が設けられている。

スリーブホルダ４には、スリーブ２の一部が挿入される貫通孔（以下、“スリーブ挿入孔４１”と呼称する）と、接着剤が注入される貫通孔（以下、“接着剤注入孔４２”と呼称する）とが設けられている。

レンズホルダ５には、開口部５１と、この開口部５１を包周する筒状突起部５２とが設けられ、コリメートレンズ６は、上記の筒状突起部５２内に収容される。

また、図２に示すように、スリーブ２が挿入されたスリーブホルダ４は、レンズホルダ５と接触している。

スリーブホルダ４は、レーザダイオード３（図１）から発せられたレーザ光の光軸方向（図中のＡの方向）に移動させることにより、レーザダイオード３とコリメートレンズ６（図１）との距離を調整可能に構成されている。

上記のように、レーザダイオード３とコリメートレンズ６との距離を調整することによりレーザ光の焦点が調整される。

また、スリーブ２とスリーブホルダ４は、上記の距離（レーザ光の焦点）の調整後に接着される。これにあたっては、紫外線硬化型の接着剤４３をこれの硬化時における収縮により部材が移動しないように、例えば、図２に示すように、スリーブ２とスリーブホルダ４が互いに接触する面の周縁部分上において、適量、等間隔で複数箇所に点状に塗布する。これにより、接着時において調整済みの焦点に誤差が生じることを防止できる。

また、この場合、スリーブ２とスリーブホルダ４が互いに接触する面の周縁部分上全体に、適量、紫外線効果型の接着剤を塗布することで、接着時において調整済みの焦点に誤差が生じることを防止することができる。

レンズホルダ５は、スリーブホルダ４を前記の光軸と直交する方向（図中のＢの方向）に移動させることによりレーザダイオード３とコリメートレンズ６の相対位置を調整可能に構成されている。

上記のように、レーザダイオード３とコリメートレンズ６の相対位置、つまりはコリメートレンズ６におけるレーザ光の入射位置を調整することによりレーザ光の照射角度が調整される。

また、レンズホルダ５とスリーブホルダ４は、上記の相対位置（レーザ光の照射角度）の調整後に接着される。これにあたっては、紫外線硬化型の接着剤５４をこれの硬化時における収縮により部材が移動しないように、例えば、図２に示すように、レンズホルダ５とスリーブホルダ４が互いに接触する面の周縁部分上において、適量、等間隔で複数箇所に点状に塗布する。これにより、接着時において調整済みの相対位置に誤差が生じることを防止できる。

また、この場合、レンズホルダ５とスリーブホルダ４が互いに接触する面の周縁部分上全体に、適量、紫外線効果型の接着剤を塗布することで、接着時において調整済みの相対位置の誤差が生じることを防止することができる。

また、これに先立って接着剤注入孔４２に紫外線硬化型接着剤を注入することによりレンズホルダ５とスリーブホルダ４が仮接着される。これにより接着をより確実にするとともに接着時において調整済みの相対位置に誤差が生じることを防止できる。

コリメート装置１は、上記の構成を有するため、光源から発せられた光の焦点及び出射方向を個別に調整できる。このため、容易且つ確実に調整作業を行うことができる。

また、コリメート装置１の焦点及び照射角度を調整するにあたっては、以下に示すような調整用治具を用いることができる。

図３は、本発明の第２の実施例（実施例２）に係るコリメート装置調整治具７の斜視図である。

コリメート装置調整治具７は、平面度が厳密に調整された作業板７１と、レンズホルダ取り付け部７２と、水平方向駆動部７６と、スリーブホルダ固定板７７と、鉛直方向駆動部７９と、スリーブ把持部８０とからなる。

作業板７１は、平面度が厳密に調整され、この面上にその他の部材が配置されている。

レンズホルダ取り付け部は、上面にレンズホルダ５（図１及び図２）を取り付けるためのレンズホルダ取り付け孔７３が設けられ、その内部に反射部７４が設けられ、側面にはレーザ光の光路を確保するための開口部７５が設けられている。

また、レンズホルダ取り付け孔が設けられた面と反射部７４が設けられた面は、平面度が厳密に調整されており、また作業板７１と平行となるように位置関係が調整されている。

スリーブホルダ固定板７７は、水平方向駆動部７６により水平方向（図中のＤの方向）に移動可能であり、その端部にスリーブホルダ４（図１及び図２）を固定するためのスリーブホルダ固定部７８が設けられ、このスリーブホルダ固定部７８が前記のレンズホルダ取り付け孔７３の上側に位置するように配置されている。

また、このスリーブホルダ固定板７７は、平面度が厳密に調整されており、また作業板７１と平行となるように位置関係が調整されている。

なお、上記の水平方向駆動部７６及びスリーブホルダ固定板７７は、図１及び図２に示したレーザダイオード３とコリメートレンズ６の相対位置を調整するためのものあり、以降の説明においては、これらを適宜“位置（照射角度）調整部”と総称する。また、この詳細については後述する。

スリーブ把持部８０は、鉛直方向駆動部７９により鉛直方向（図中のＣの方向）に移動可能であり、その先端部にスリーブ２（図１及び図２）を固定する。この先端部が前記のレンズホルダ取り付け孔７３及びスリーブホルダ固定部７８の上側に位置するように配置されている。

また、鉛直方向駆動部７９は、スリーブホルダ固定板７７の上面に対して垂直となるようにこれに対する取り付け角度等が調整されており、スリーブ把持部８０は、スリーブホルダ固定板７７の上面と平行となるように鉛直方向駆動部７９に対する取り付け角度等が調整されている。

なお、上記の鉛直方向駆動部及びスリーブ把持部８０は、図１及び図２に示したレーザダイオード３とコリメートレンズ６の距離を調整するためのものあり、以降の説明においては、これらを適宜“距離（焦点）調整部”と総称する。また、この詳細については後述する。

以上のコリメート装置調整治具７は、本発明の一実施例に係る調整装置の一部をなすものである。以下、この調整装置の詳細を説明する。

図４に示すとおり、調整装置８１は、コリメート装置調整治具７に加えて、ピンホール８３が設けられた板状のターゲット８２と、角度が自由に変更可能であり、光を全反射する反射板８６とを有する。

なお、ターゲット８２とコリメート装置調整治具７を構成する各部の水平面は平行となるように調整されている
この調整装置８１及びコリメート装置調整治具７（図３）を用いてコリメート装置１
を調整するにあたっては、予めレーザ光の光軸を調整しておく必要がある。この場合、ターゲット８２の上部にレーザ光源８４を配置し、図５（ａ）に示すように、レンズホルダ取り付け部の上部に平面度が厳密に調整された反射板８７を載置する。

なお、図中の反射部７４は、レンズホルダ取り付け部７２の反射板８７が載置された面及びレンズホルダ取り付け部７２の底面に対して４５°の角度をなすように調整されている。

反射板８７が載置されると、図４に示すように、レーザ光源８４からピンホール８３に向けて垂直にレーザ光８５が照射される。レーザ光８５は、反射板８６により反射され、レンズホルダ取り付け部７２に入射され、図５（ａ）の反射部７４により反射されるとともに反射板８７により反射され、再度反射部７４及び８６により反射され、ターゲット８２に照射される。

なお、ここで光軸の調整が不適切であるとレーザ光８５がターゲット８２の下面に投影される。この場合、反射板８６の角度を調整し、レーザ光８５がターゲット８２の下面に投影されないようにする。これにより光軸の調整が完了する。

光軸の調整が完了すると、図５（ａ）の反射板８７が撤去され、図５（ｂ）に示すように、レンズホルダ５がレンズホルダ取り付け孔７３に取り付けられる。なお、この段階では、スリーブ２とスリーブホルダ４、スリーブホルダ４とレンズホルダ５は接着されていない。

レンズホルダ５が取り付けられると、図６に示すように、スリーブホルダ４がスリーブホルダ固定部７８に固定され、水平方向（図中のＤの方向）に移動可能な状態となる。

また、図７に示すように、スリーブ２がスリーブ把持部８０に固定され、鉛直方向（図中のＣの方向）に移動可能な状態となる。

上記のようにスリーブ２、スリーブホルダ４及びレンズホルダ５のそれぞれが固定されると、レーザダイオード３に電源等が接続され、このレーザダイオード３から実際にレーザ光８５が照射され、図４に示すようにターゲット８２に向けて照射される。

この際、ターゲット８２の下面の状態を観測しながら、図３等に示した“位置（照射角度）調整部”によりコリメート装置１の照射角度が調整され、ターゲット８２にレーザ光８５が投影されてない状態、つまりレーザ光８５の照射位置がピンホール８３の位置と同一となり、これを目視できない状態となると、スリーブホルダ４とレンズホルダ５が上記の方法により接着される。

また、ピンホール８３の直径は、所望の焦点が得られた際のビーム径に基づいて調整されており、焦点が適切でない場合、レーザ光８５の照射位置とピンホール８３の位置が同一であろうともレーザ光８５がピンホール８３の周辺部に円環状に投影されてしまう。

したがって、ターゲット８２の下面の状態を観測しながら、図３等に示した“距離（焦点）調整部”によりコリメート装置１の焦点が調整され、レーザ光８５が目視できない状態となると、スリーブ２とスリーブホルダ４が上記の方法により接着される。

なお、以上の調整装置及びコリメート装置調整治具を用いたコリメート装置調整方法も本発明の範囲に含まれる。

上記のコリメート装置１は、様々な種類の光学装置に適用可能であるが、以下にその一例を示す。

図８は、本発明の第３の実施例（実施例３）に係る光学装置（バイオセンサ）９の斜視図であり、図９は、光学装置９の断面図である。

光学装置９は、筐体９１と、調整が完了したコリメート装置１と、試料載置部９２と、試料９３と、カバー９４と、螺子９５と、アパーチャ９６と、受光部９７とからなる。

図８に示すとおり、筐体９１の上面には８個の試料載置部９２が設けられ、それぞれに試料９３が載置されている。

また、上記の試料載置部９２の上方には裏面が鏡面処理されたカバ−９４が配置されている。

また、筐体９１の側面には、試料載置部と同数のコリメート装置１が接続されている。

また、図９に示すとおり、コリメート装置１は、螺子９５により筐体９１の側面に設けられた傾斜面に固定されている。

このコリメート装置１から発せられたレーザ光８５は、アパーチャ９６により集光径が調整され、試料９３に到達し、一部は反射され（図中の８５ａ）、その他の一部は（図中の８５ｂ）は試料９３を通過し、カバー９４の裏面で全反射されながら再び試料９３を通過し、受光部９７により受光される。

また、コリメート装置１が取り付けられる面は、その平面度が厳密に調整されており、この面の傾斜角度及び筐体９１の寸法等は、先の実施例において述べた方法で焦点及び照射角度が調整されたコリメート装置１が取り付けられると、これから発せられたレーザ光８５が試料９３の適切な位置に適切な角度で入射されるように予め調整されている。

また、例えば、コリメート装置１が取り付けられる面においては、所定の方向に光が発せられるように、コリメート装置１を位置決めするガイド孔等が形成されていると良い。

これにより、コリメート装置１を光学装置９に装着する際に、再度、コリメート装置１の焦点及び照射角度を調整する必要がなく、簡易性に富み、この点は、光学装置９に装着される全てのコリメート装置１についても、互換性にも富んでいる。

以上のとおり、本発明の実施例に係るコリメート装置、コリメート装置調整治具及びコリメート装置調整方法においては、光の焦点及び照射角度を個別に調整できるため、調整の容易性及び確実性に富む。

また、上記の光の焦点及び照射角度をレーザ光の位置等を観測しながら調整するため、高い光学的精度を容易に確保することができる。

また、接着剤の硬化時において調整済みの焦点及び照射角度に誤差が生じることを防止できる。

また、コリメート装置を単独で調整・組み立てでき、これを光学装置に取り付ける際の調整作業が不要なことから、製造リードタイムを短縮できる。

また、コリメート装置が互換性も有するため、保守・サービス等が容易となる。

また、このようなコリメート装置を光学装置の一部に組み込むことで、光学的精度の高い同装置を容易に実現することが可能となる。

本発明の第１の実施例に係るコリメート装置の構成を示す分解斜視図である。 図１のコリメート装置が組み立てられた状態を示す斜視図である。 本発明の第２の実施例に係るコリメート装置調整治具の斜視図である。 図３のコリメート装置調整治具を含む調整装置の構成を示す図である。 （ａ）図３の調整治具における光軸の初期調整を説明するための図である。（ｂ）図１のコリメート装置の調整方法を説明するための図である。 図３の調整治具に図１のスリーブホルダ及びレンズホルダが固定された状態を示す図である。 図３の調整治具に図１のスリーブ、スリーブホルダ及びレンズホルダが固定された状態を示す図である。 本発明の第３の実施例に係る光学装置の斜視図である。 図８の光学装置の断面図である。 従来の光学装置の断面図である。

符号の説明

１…コリメート装置、２…スリーブ、３…レーザダイオード、４…スリーブホルダ、５…レンズホルダ、６…コリメートレンズ、７…コリメート装置調整治具、９…光学装置、２１…溝部、４１…スリーブ挿入孔、４２…接着剤注入孔、５１…開口部、５２…筒状突起部、５３…螺子孔、５４…接着剤、７１…作業板、７２…レンズホルダ取り付け部、７３…レンズホルダ取り付け孔、７４…反射部、７５…開口部、７６…水平方向駆動部、７７…スリーブホルダ固定板、７８…スリーブホルダ固定部、７９…鉛直方向駆動部、８０…スリーブ把持部、８１…調整装置、８２…ターゲット８２…ピンホール、８４…レーザ光源、８５…レーザ光、８６…反射板、８７…反射板、９１…筐体、９２…試料載置部、９３…試料、９４…カバー、９５…螺子、９６…アパーチャ、９７…受光部、１００…従来例における光学装置、１０１…従来例における筐体、１０２…従来例における発光部、１０３…従来例におけるアパーチャ、１０４…従来例におけるレーザ光、１０５…従来例における試料載置部、１０６…従来例における試料、１０７…従来例におけるカバー、１０８…従来例における受光部

Claims (11)

1. 光源を固定する光源固定部材と、
   前記光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、
   前記光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに前記収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材と
   を有し、
   前記収容部材は、前記光源固定部材を前記光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより該光軸方向における前記光源と前記コリメートレンズとの距離を調整可能に構成されており、該距離の調整後に前記光源固定部材が接着されており、
   前記コリメートレンズ固定部材は、前記収容部材を前記光軸と直交する方向に移動させることにより該光軸と直交する方向における前記光源と前記コリメートレンズの相対位置を調整可能に構成されており、該相対位置の調整後に前記収容部材が接着されている
   ことを特徴とするコリメート装置。
2. 前記収容部材と前記光源固定部材は、接着剤を複数箇所に点状に塗布することにより接着されていることを特徴とする請求項１に記載のコリメート装置。
3. 前記コリメートレンズ固定部材と前記収容部材は、接着剤を複数箇所に点状に塗布することにより接着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のコリメート装置。
4. 前記収容部材は、前記コリメートレンズ固定部材へ向けて貫通し、接着剤を注入可能に構成された孔部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコリメート装置。
5. 前記接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のコリメート装置。
6. 光源を固定する光源固定部材と、前記光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、前記光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに前記収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材とを備えるコリメート装置の調整治具であって、
   前記光源固定部材を前記収容部材に対して前記光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより該光軸方向における前記光源と前記コリメートレンズとの距離を調整する距離調整部と、
   前記収容部材を前記コリメートレンズ固定部材に対して前記光軸と直交する方向に移動させることにより該光軸と直交する方向における前記光源と前記コリメートレンズの相対位置を調整する位置調整部と
   を有することを特徴とするコリメート装置調整治具。
7. 光源を固定する光源固定部材と、前記光源固定部材の少なくとも一部分を収容する収容部材と、前記光源から発せられた光を受光するコリメートレンズを固定するとともに前記収容部材と接触するコリメートレンズ固定部材とを備えるコリメート装置の調整方法であって、
   前記光源固定部材を前記収容部材に対して前記光源から発せられる光の光軸方向に移動させることにより該光軸方向における前記光源と前記コリメートレンズとの距離を調整する距離調整工程と、
   前記収容部材を前記コリメートレンズ固定部材に対して前記光軸と直交する方向に移動させることにより該光軸と直交する方向における前記光源と前記コリメートレンズの相対位置を調整する位置調整工程と、
   前記距離の調整後に前記光源固定部材と前記収容部材を接着する第１の接着工程と、
   前記位置の調整後に前記収容部材と前記コリメートレンズ固定部材を接着する第２の接着工程と
   を有することを特徴とするコリメート装置調整方法。
8. 前記第１の接着工程と前記第２の接着工程の少なくとも一方では紫外線硬化型接着剤を用いることを特徴とする請求項７に記載のコリメート装置調整方法。
9. 光源である発光部と、
   前記発光部から発せられた光の照射方向を調整するレンズを有するコリメート部と、
   前記コリメート部からの光が入射する被測定試料を載置する試料載置部と、
   前記試料載置部からの光を反射する反射部と、
   前記反射部からの光を受光する受光部と
   を備え、
   前記コリメート部は、前記試料載置部に対向するようにして傾斜した面上に、前記発光部からの光の光軸と前記被測定試料が交わるように設けられていることを特徴とする光学装置。
10. 前記反射部は、前記試料載置部の上方に設けられており、
    前記被測定試料に入射する光は、前記反射部において全反射される
    ことを特徴とする請求項９に記載の光学装置。
11. 前記試料載置部は、主面上に設けられており、
    前記コリメート装置は、前記主面と所定の角度を成す側面側に設けられている
    ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の光学装置。
    
    

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