JP2006074367A - 固体撮像素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】 固体撮像素子において、間引き読み出し時の読み出し走査を容易にし、SN比を向上する。
【解決手段】 本発明の固体撮像素子は、各々の垂直転送部と1つの水平信号線との間において並列接続された一対の容量と、スイッチング回路とを有する。スイッチング回路は、間引き読み出しが行われる場合に、一対の容量の一方にはある行の画素信号を充電させ、他方には別の行の画素信号を充電させる。さらに、スイッチング回路は、一対の容量にそれぞれ充電させた異なる行の画素信号を、合算平均されるように水平信号線に転送する。従って、容易な走査により間引き読み出しができる。また、容量を介した転送であるので、各画素の画素信号を電圧として読み出して、その電圧に容量を充電し、容量の充電電圧を水平信号線に出力できる。即ち、電圧出力により読み出せるので、SN比は良好になる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、固体撮像素子に関し、特に間引き読み出しに関する。
ビデオカメラや電子カメラは、スルー画表示を行ったり、撮像画像をその場で再生して確認するための液晶表示装置を搭載している。このような目的の液晶表示装置は、一般に小型であり、その画素数は固体撮像素子の画素数より少ない。そこで、スルー画表示等を行う場合、従来の電子カメラでは以下のように処理していた。まず、全画素の画素信号を固体撮像素子から読み出して画像メモリに一旦記憶させた後、表示素子の画素数に応じて必要な画素数分の画素信号のみを画像メモリから読み出し、表示に用いている。
この場合、全画素の画素信号を固体撮像素子から一旦読み出すので、必要な画素のみを読み出す場合よりも読み出し走査に時間がかかり、消費電力を低減できない。これを避けるために、固体撮像素子において規則的に間引いて一部の画素の画素信号のみを読み出すと、全ての色の画素信号が得られないことがある。例えばベイヤー配列において単に奇数行の画素のみ、或いは奇数列の画素のみの画素信号を読み出すと、赤、青のいずれかの色成分は全く読み出されない。
そこで、特許文献1では、段落[0052]に記載のように、GストライプRB線順次の配列において間引き読み出しを行う場合、偶数行の画素は読み出さず、奇数行は一部の画素のみを読み出している。ここで、Gは緑色光を選択的に受光する画素(以下、緑画素ともいう)であり、Rは赤色光を選択的に受光する画素(以下、赤画素ともいう)であり、Bは青色光を選択的に受光する画素(以下、青画素ともいう)である。
具体的には、(4n−3)行目については1、2、5、8、9・・・列目の画素のみを読み出し、(4n−1)行目については1、4、5、6、9・・・列目の画素のみを読み出している。なお、本明細書では、nは自然数とする。
この場合、特許文献1の表5に記載のように、水平方向8×垂直方向4の32個の画素ブロック単位で見れば、読み出される画素の配置は同じになり、その画素ブロックにおいては、4つの緑画素と、2つの赤画素と、2つの青画素とが読み出される。従って、このような間引き読み出しを行った後に適切に色補間処理を施せば、全画素の画素信号を読み出すことなく、カラーの画像データが得られる。
また、特許文献2では、各画素からの出力信号を電流値として同時に読み出し、複数の電流値を合算後、電圧に変換して出力することにより、最終的に読み出される画素信号の数を全画素数から間引いている。
特開2000−4406号公報 特開平10−285472号公報
特許文献1の発明は、上述のように優れた作用効果を有するものの、奇数行において読み出される画素は、列間隔が等しくならない。従って、間引き読み出しの際の読み出し走査と、間引き読み出し後の色補間処理とが若干複雑になるおそれがある。
特許文献2の固体撮像素子は、使用上は十分に機能するが、各画素からの出力信号が電流値と読み出されるので、特許文献1のように画素信号が電圧として読み出される場合よりもSN比が劣る。
本発明の目的は、間引き読み出しが可能な固体撮像素子において、間引き読み出し時の読み出し走査、及び読み出し後の色補間処理を容易にする技術を提供することである。
本発明の別の目的は、上記の目的に適った固体撮像素子において、SN比が良好なものを提供することである。
請求項1の発明は、垂直方向の列及び水平方向の行に沿って二次元配列された複数の画素と、複数の垂直転送部と、少なくとも1つの水平信号線とを備えた固体撮像素子である。複数の垂直転送部は、画素の列に対応してそれぞれ配置されていると共に複数の画素に接続されており、画素により生成される画素信号を垂直方向に転送する。水平信号線には、複数の垂直転送部からの画素信号が転送される。
請求項1の発明は、以下の点を特徴とする。第1に、水平信号線と、複数の垂直転送部との間において、複数の垂直転送部にそれぞれ対応して、各々の垂直転送部当たりに複数配置された容量を有する。第2に、複数の容量は、対応する垂直転送部と1つの水平信号線との間で互いに並列接続されており、垂直転送部からの画素信号を受けて充電される。第3に、複数の容量を水平信号線に接続することで、水平信号線に画素信号を転送するスイッチング回路を有する。
請求項2の発明は、垂直方向の列及び水平方向の行に沿って二次元配列された複数の画素と、複数の垂直転送部と、水平転送部とを備えた固体撮像素子である。複数の垂直転送部は、画素の列に対応してそれぞれ配置されていると共に複数の画素に接続されており、画素により生成される画素信号を垂直方向に転送する。水平転送部には、複数の垂直転送部からの画素信号が転送される。
請求項2の発明は、以下の点を特徴とする。第1に、複数の垂直転送部に対してそれぞれ配置された一対の容量と、一対の容量を水平転送部に接続することによって水平転送部に画素信号を転送するスイッチング回路とを有する。第2に、一対の容量は、対応する垂直転送部に対して並列接続されており、垂直転送部からの画素信号を受けて充電される。第3に、間引き読み出しが行われる場合、スイッチング回路は、一対の容量の一方にはある行の画素信号を充電させ、他方には別の行の画素信号を充電させ、一対の容量にそれぞれ充電させた画素信号を、合算平均されるように水平転送部に転送する。
請求項3の発明は、請求項2の固体撮像素子において、以下の点を特徴とする。第1に、複数の画素は、一松状またはストライプ状に配置された第1色成分画素と、第1色成分画素間に線順次に配置された第2色成分画素及び第3色成分画素を含む。第2に、一対の容量は、第1色成分画素の画素信号が充電される第1容量対と、第2及び第3色成分画素の画素信号が充電される第2容量対のいずれかである。第3に、各々の垂直転送部は、1種類または2種類の色成分の画素信号を転送する第1垂直信号線及び第2垂直信号線を有する。第4に、水平転送部は、第1水平信号線と、第2水平信号線とを有する。第5に、スイッチング回路は、第1及び第2垂直信号線から、第1色成分画素の画素信号が転送されているものを選択して第1容量対に接続すると共に、第2または第3色成分画素の画素信号が転送されているものを選択して第2容量対に接続後、第1容量対を第1水平信号線に接続し、第2容量対を第2水平信号線に接続する。
請求項4の発明は、請求項3の固体撮像素子において、以下の点を特徴とする。第1に、第1垂直信号線は、(4n−3)行目及び(4n−2)行目の画素に接続されている。第2に、第2垂直信号線は、(4n−1)行目及び4n行目の画素に接続されている。第3に、間引き読み出しが行われる場合、スイッチング回路は、一対の容量の一方には第1垂直信号線を接続すると共に他方には第2垂直信号線を接続して、(4n−3)行目及び(4n−1)行目の画素信号を合算平均して読み出す動作と、第2垂直信号線を一対の容量に接続して、4n行目の画素信号を読み出す動作とを繰り返す。
請求項5の発明は、請求項3の固体撮像素子において、以下の点を特徴とする。第1に、第1垂直信号線は、(4n−3)行目及び(4n−2)行目の画素に接続されている。第2に、第2垂直信号線は、(4n−1)行目及び4n行目の画素に接続されている。第3に、間引き読み出しが行われる場合、スイッチング回路は、第1垂直信号線を一対の容量に接続して、(4n−3)行目の画素信号を読み出す動作と、一対の容量の一方には第1垂直信号線を接続すると共に他方には第2垂直信号線を接続して、(4n−2)行目及び4n行目の画素信号を合算平均して読み出す動作とを繰り返す。
請求項6の発明は、請求項2の固体撮像素子において、以下の点を特徴とする。第1に、複数の画素は、一松状またはストライプ状に配置された第1色成分画素と、第1色成分画素間に線順次に配置された第2色成分画素及び第3色成分画素を含む。第2に、垂直転送部は、第1色成分画素に接続された垂直信号線Aと、第2及び第3色成分画素に接続された垂直信号線Bのいずれかである。第3に、複数の垂直信号線A及び複数の垂直信号線Bは、列順次に交互に配置されている。第4に、一対の容量には、いずれかの垂直信号線Aからの画素信号、または、いずれかの垂直信号線Bからの画素信号のみが充電される。第5に、水平転送部は、第1水平信号線と、第2水平信号線とを有する。第6に、スイッチング回路は、垂直信号線Aからの画素信号が充電される一対の容量を第1水平信号線に接続し、垂直信号線Bからの画素信号が充電される一対の容量を第2水平信号線に接続する。
請求項7の発明は、請求項6の固体撮像素子において、以下の点を特徴とする。間引き読み出しが行われる場合、スイッチング回路は、(4n−3)行目及び(4n−1)行目の画素信号が合算平均されるように読み出す動作と、4n行目の画素信号を読み出す動作とを繰り返すか、或いは、(4n−3)行目の画素信号を読み出す動作と、(4n−2)行目及び4n行目の画素信号が合算平均されるように読み出す動作とを繰り返す。
本発明の固体撮像素子は、各々の垂直転送部当たりに複数配置された容量を有し、これら容量は、対応する垂直転送部毎に互いに並列接続されている。このため、間引き読み出しに際しては、並列接続された容量の内の1つにはある行の画素信号を充電させ、別の容量には別の行の画素信号を充電させることができる。従って、並列接続された複数の容量にそれぞれ充電させた別の行の画素信号を、合算平均されるように水平信号線に転送すれば、容易な走査により間引き読み出しができる。また、容量を介した転送であるので、各画素の画素信号を電圧として読み出して、その電圧に容量を充電し、容量の充電電圧を水平信号線に出力できる。即ち、電圧出力により読み出せるので、SN比は良好になる。
本発明の一形態では、各々の垂直転送部は第1及び第2垂直信号線を有し、互いに並列接続された容量は、第1容量対と第2容量対のいずれかである。そして、第1及び第2垂直信号線から、第1色成分の画素信号が転送されているものが選択されて第1容量対に接続されると共に、第2または第3色成分の画素信号が転送されているものが選択されて第2容量対に接続される。この後、第1容量対は第1水平信号線に接続され、第2容量対は第2水平信号線に接続される。即ち、第1水平信号線には第1色成分の画素信号のみが転送され、第2水平信号線には第2及び第3色成分の画素信号のみが転送されるので、読み出し後の色補間処理は容易になる。
本発明の別の一形態では、垂直転送部は、第1色成分画素に接続された垂直信号線Aと、第2及び第3色成分画素に接続された垂直信号線Bのいずれかである。そして、垂直信号線Aからの画素信号が充電される容量は第1水平信号線に接続され、垂直信号線Bからの画素信号が充電される容量は第2水平信号線に接続される。従って、第1水平信号線には第1色成分、第2水平信号線には第2及び第3色成分の画素信号のみが転送され、読み出し後の色補間処理は容易になる。
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。なお、各図において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本発明の第1の実施形態における固体撮像素子2の等価回路図である。本実施形態は、請求項1〜請求項4に対応する。
図に示すように、固体撮像素子2は、ベイヤー配列された赤画素R、緑画素G、青画素Bと、垂直走査回路8と、行毎に各画素と垂直走査回路8とを接続するナンドゲート(NAND GATE)Na1〜Na5及びアンドゲート(AND GATE)An1〜An5と、各画素列毎に配置された垂直信号線VL及び垂直信号線VRと、垂直信号線VLの一端側に接続された定電流源CSLと、垂直信号線VRの一端側に接続された定電流源CSRと、垂直信号線VL、VRの他端側に配置された緑水平信号線20と、赤青水平信号線24と、水平走査回路30とを有している。
なお、以下の説明では、単に『画素』といった場合、赤画素R、緑画素G、青画素Bの全てを含むものとする。また、図中の符号において先頭がφで始まっているものは駆動電圧を示し、図中のGNDは接地線を示す。図では煩雑となるので画素数を5×4として記載したが、実際にはもっと多くの画素が配列される。
また、図中の一部の要素の符号の最後には、配置行を示すために1、2、3、4、5を付し、配置列との対応関係を示すためにa、b、c、dを付した。ここでの『配置列との対応関係』とは、図の下に数字で示した画素列と、図の上側に示した列選択トランジスタTha〜Thd(機能は後述)等とを比較すれば分かるように、画素の1列目と2列目の間をa列、2列目と3列目の間をb列、3列目と4列目の間をc列、4列目と5列目の間をd列としたものである。なお、奇数行の1列目には、画素は配置されていない。これらa、b、c、dは、後述の回路動作の説明時に各要素を区別し易くするために付したものである。行や列の区別が不要な場合、符号の最後の1、2、a、b等は適宜省略する。
ここまでの構成において従来と大きく異なるのは、以下の2点である。第1に、各画素列の間には、2本の垂直信号線(VL、VR)が配置されている。なお、図では、1つの画素列に対し垂直走査回路8側(左側)とその反対側に1本ずつ垂直信号線が延在すると見て、垂直走査回路8側のものを垂直信号線VL、反対側のものを垂直信号線VRと定義した。第2に、各画素と垂直走査回路8と間には、ナンドゲートNa及びアンドゲートAnが行毎に配置されている。この第2の特徴については、後述の図2を用いて説明する。
また、垂直信号線VL及び垂直信号線VRの他端には、本実施形態のもう1つの特徴である緑用選択回路MXG及び赤青用選択回路MXR/Bが、列順次に交互に配置されている。最も端の画素列に対して配置されているものを除き、垂直信号線VLの他端は、入力信号線Iα、Iγの2つに分岐しており、垂直信号線VRの他端は、入力信号線Iβ、Iδの2つに分岐している。入力信号線Iα、Iβ、Iγ、Iδは、どれも、緑用選択回路MXGまたは赤青用選択回路MXR/Bのいずれかに対してのみ接続されている。
そして、a列の緑用選択回路MXGaには、a列に対応する列である1、2列目の緑画素Gの画素信号が入力される。この例では、奇数行の2列目の緑画素G、偶数行の1列目の緑画素Gの画素信号が入力される。また、b列の赤青用選択回路MXR/Bbには、b列に対応する列である2、3列目の赤画素R及び青画素Bの画素信号が入力される。この例では、奇数行の3列目の赤画素Rと、偶数行の2列目の青画素Bの画素信号が入力される。他の列の緑用選択回路MXG、赤青用選択回路MXR/Bdについても同様である。
各緑用選択回路MXGには、相関二重サンプリング処理により各画素の画素信号を受けるCDSコンデンサCcL、CcRが並列接続されている。また、各赤青用選択回路MXR/Bにも、CDSコンデンサCcL、CcRが並列接続されている。このように、1つの画素列当たりに2つのCDSコンデンサCcL、CcRが配置されていることも、本実施形態の特徴の1つである。
また、各緑用選択回路MXG、各赤青用選択回路MXR/Bに対しては、相関二重サンプリング処理を行うための1つのCDSトランジスタTcが配置されている。全てのCDSトランジスタTcは、共通のFPN蓄積パルスφcをゲートに受けて、導通または非導通状態に切り替わる。
さらに、各緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRを緑水平信号線20に接続し、各赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRを赤青水平信号線24に接続する複数の列選択トランジスタThが配置されている。列選択トランジスタThは、そのゲートに、2列毎に共通の駆動電圧φGHを水平走査回路30から受けて、導通または非導通状態に切り替わる。
また、緑水平信号線20、赤青水平信号線24における出力端には、出力バッファアンプ32、34と、出力端子Gout、R/Boutと、水平リセットトランジスタTRg、TRrbとがそれぞれ接続されている。水平リセットトランジスタTRg、TRrbは、どちらも、水平リセットパルス電圧φRSTHをゲートに受けて、導通または非導通状態になる。
図の5行2列目の緑画素Gに符号を示すように、各画素は、フォトダイオードPDと、転送ゲートFWと、リセットゲートRGと、画素アンプである接合型電界効果トランジスタJFET(以下、JFETと略記)とを有している。
転送ゲートFWは、Pチャネル型のMOSトランジスタとして形成されており、ゲート電圧に応じてフォトダイオードPDの蓄積電荷をJFETのゲートに転送する。リセットゲートRGは、Pチャネル型のMOSトランジスタとして形成されている。リセットゲートRGは、オン(導通)状態になることでJFETのゲートを全画素共通の電源(電圧VRD)に接続し、JFETを非動作状態にする。リセットゲートRGがオフ(非導通)のとき、JFETは動作状態となる。JFETのドレインは、全画素共通に基板電位Vsubを受ける。
図2は、図1における垂直走査回路8と各画素との接続部分に着目した回路図である。垂直走査回路8は、画素の各行当たりに1本の出力信号線を有し、これら出力信号線は、垂直走査回路8からの行選択信号OPT1〜OPTnをそれぞれ出力する。行選択信号OPTは、画素の各行当たりに1つずつ配置されたナンドゲートNa及びアンドゲートAnの一方の入力端子に入力される。
図に示すように、奇数行においては、ナンドゲートNaの他方の入力端子は駆動電圧φTG1を受け、アンドゲートAnの他方の入力端子は駆動電圧φRSG1を受ける。また、偶数行においては、ナンドゲートNaの他方の入力端子は駆動電圧φTG2を受け、アンドゲートAnの他方の入力端子は駆動電圧φRSG2を受ける。ある行のナンドゲートNaの出力電圧は、その行の全画素の転送ゲートFWに共通に供給され、ある行のアンドゲートAnの出力電圧は、その行の全画素のリセットゲートRGに共通に供給される。そして、垂直走査回路8により選択される行では、行選択信号OPTは高レベルにされ、選択されない行においては、行選択信号OPTは低レベルにされる。
図3は、緑用選択回路MXG、赤青用選択回路MXR/Bの詳細を示す回路図である。緑用選択回路MXG及び赤青用選択回路MXR/Bは、どちらも同じ回路構成のマルチプレクサであり、定電流源CSML、CSMRと、バイポーラトランジスタBiL、BiRと、nチャネル型のMOSトランジスタであるスイッチQαL、QαR、QβL、QβR、QγL、QγR、QδL、QδRとを有する。なお、図中のVCCは電源線である。
全ての緑用選択回路MXG、及び赤青用選択回路MXR/Bは、共通の8本の信号線を介して、8つの選択用駆動電圧φPαL、φPαR、φPβL、φPβR、φPγL、φPγR、φPδL、φPδRをそれぞれ受ける。
これら8つの選択用駆動電圧φPαL〜φPδRはそれぞれ、高レベルの電圧を受けたとき、対応するスイッチ(QαL〜QδRのいずれか)をオン状態にすることで、対応する入力信号線(Iα〜Iδのいずれか)を対応するCDSコンデンサ(CcL、CcRのいずれか)に接続する。ここでの『対応する』とは、符合に含まれるα、β、γ、δ、L、Rの文字が一致するものである。例えば、選択用駆動電圧φPαRが高レベルのとき、スイッチQαRがオンして、入力信号線IαはCDSトランジスタCcRに接続される。
以上の回路構成において、請求項との対応関係は、例えば以下の通りである。
請求項記載の垂直方向は、画素の列方向、即ち、垂直信号線VL、VRの延在方向に対応し、水平方向は、垂直方向に直交する方向(画素の行方向)に対応する。請求項記載の第1、第2、第3色成分画素はそれぞれ、緑画素G、青画素R、赤画素Rに対応する。請求項記載の第1容量対は、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRに対応し、第2容量対は、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRに対応する。
請求項記載の第1垂直信号線は垂直信号線VRに対応し、第2垂直信号線は垂直信号線VLに対応する。請求項記載の第1水平信号線、第2水平信号線は、それぞれ、緑水平信号線20、赤青水平信号線24に対応する。請求項記載のスイッチング回路は、緑用選択回路MXG、赤青用選択回路MXR/B、列選択トランジスタTh、CDSトランジスタTc、水平リセットトランジスタTRg、TRrb、水平走査回路30に対応する。
図4は、上述の固体撮像素子2において通常読み出しを行う場合、即ち、全画素の画素信号を読み出す場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。以下、図1、図3及び図4を参照しながら固体撮像素子2の回路動作を説明する。
まず、垂直走査回路8における不図示の垂直シフトレジスタを駆動するために、高レベルのスタートパルスSTVを垂直走査回路8に入力する。これにほぼ同期して、低レベルのクロック信号CLKV1と、高レベルのクロック信号CLKV2とを垂直走査回路8に入力する。これにより、垂直走査回路8が出力する行選択信号OPT1は高レベルに切り替わり、他の行選択信号OPT2〜OPTnは低レベルにされ、固体撮像素子2の1行目が選択される。
なお、クロック信号CLKV1、CLKV2の入力直後において、駆動電圧φRSG1、φRSG2、φTG1、φTG2は全て低レベルである。従って、全行において、ナンドゲートNaの出力電圧は高レベルであるので転送ゲートFWはオフ状態であり、また、アンドゲートの出力電圧は低レベルであるので、リセットゲートRGはオン状態であり、JFETのゲート電圧はリセットされている。他の行の選択直後においても同様である。
次に、8つの選択用駆動電圧の内、φPδL、φPδRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iδ、垂直信号線VRを介して1行目の緑画素GのJFETのソースに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iδ、垂直信号線VRを介して1行目の赤画素RのJFETのソースに接続される。
次に、駆動電圧φRSG1を高レベルに切り替える。これにより、垂直走査回路8により選択されている1行目のアンドゲートAn1の出力電圧は高レベルに切り替わり、1行目のリセットゲートRGはオフする。駆動電圧φRSG1が高レベルに切り替わる過程において、JFETのゲートは、電気的にフローティング状態になると共に、容量結合によって電圧が上昇する。この容量結合は、JFETのゲートが隣接する領域(ソース、ドレイン、転送ゲートFW等)との間に形成する容量により生じる。
次に、FPN蓄積パルスφcを高レベルに切り替え、全てのCDSトランジスタTcをオンする。このときはまだ、JFETのゲートにはフォトダイオードPDの信号電荷が転送されていないので、JFETのソース電圧は、固定パターンノイズ成分に相当する電圧である。従って、CDSコンデンサCcL、CcRにおける画素側の電極の充電電圧は、どちらも、(固定パターンノイズ成分−Vref)となる。この後、FPN蓄積パルスφcを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG1を高レベルに切り替える。これにより、1行目では、ナンドゲートNa1の出力電圧が低レベルに切り替わり、各転送ゲートFWがオンし、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送される。JFETは、ゲート内の蓄積電荷量に応じた信号電圧(画素信号)をソースから出力する。これにより、CDSコンデンサCcL、CcRにおけるCDSトランジスタTc側の電極の電圧は、どちらも、次式で示される同じ電圧に充電される。
[信号電圧−(固定パターンノイズ成分−Vref)]・・・(1)
即ち、信号電圧には固定パターンノイズ成分が含まれているが、先にFPN蓄積パルスφcにより充電した電圧により、固定パターンノイズ成分は相殺される(相関二重サンプリング処理)。この後、駆動電圧φTG1を低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φRSG1が高レベルである残りの期間内において、1行目の画素信号の水平方向の読み出しが行われる。水平方向の読み出しは、緑水平信号線20及び赤青水平信号線24の電圧をリセットする動作と、水平走査回路30内の不図示の水平シフトレジスタを1つずつ順送りにオンしていく動作とを繰り返すことで行われる。具体的にはまず、水平リセットパルス電圧φRSTHを高レベルに切り替える。これにより、水平リセットトランジスタTRg、TRrbはオンして、緑水平信号線20及び赤青水平信号線24の電圧はVrefにリセットされる。この後、水平リセットパルス電圧φRSTHを低レベルに切り替える。
次に、水平走査回路30における最も出力バッファアンプ32側の水平シフトレジスタをオンさせ、a、b列に対応する駆動電圧φGHabを高レベルに切り替える。これにより、列選択トランジスタTha、Thbをオン状態に切り替える。これにより、a列の緑用選択回路MXGaに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRの充電電圧(画素信号に相当)は、緑水平信号線20、出力バッファアンプ32を介して出力される。また、b列の赤青用選択回路MXR/Bbに接続されたCCDSコンデンサCcL、CcRに充電した画素信号は、赤青水平信号線24、出力バッファアンプ34を介して出力される。
ここで、緑水平信号線20に出力される信号電圧について補足説明をする。JFETのソースの出力電圧値をJS、CDSコンデンサCcL、CcRの容量値(ファラド)をそれぞれCF1、CF2とすれば、並列接続された一対のCDSコンデンサCcL、CcRの合計の蓄積電荷量(クーロン)は、JS×(CF1+CF2)である。ここで、緑水平信号線20には寄生容量が存在するので、この容量値をCFHとすれば、CFHにも蓄積電荷が分配される分だけ信号電圧が低くなるのと等価になる。即ち、緑水平信号線20の出力電圧Vsgは、次式のようになる。
Vsg=JS×(CF1+CF2)/(CF1+CF2+CFH)・・・(2)
赤青水平信号線24も同様に寄生容量を有し、赤青水平信号線24の出力電圧も(2)式と同様になる。なお、本実施形態では一例として、CF1=CF2である。
上記のようにして1行目における2列目、3列目の画素信号を緑水平信号線20、赤青水平信号線24にそれぞれ読み出した後、水平リセットパルス電圧φRSTHを高レベルに切り替える(前述したように奇数行1列目には画素はなく、読み出されない)。これにより、緑水平信号線20及び赤青水平信号線24の電圧をリセットした後、水平リセットパルス電圧φRSTHを低レベルに切り替える。
そして、水平シフトレジスタが1つシフトし、c、d列に対応する駆動電圧φGHcdが高レベルに切り替わり、列選択トランジスタThc、Thdがオンする。これにより、c列の緑用選択回路MXGcに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRに充電した画素信号は、緑水平信号線20に出力され、d列の赤青用選択回路MXR/Bdに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRに充電した画素信号は、青水平信号線に出力される。即ち、1行目における4列目、5列目の画素信号が読み出される。
このような動作を繰り返すことにより、1行目の画素信号の読み出しを2列毎に行った後、駆動電圧φRSG1を低レベルに切り替える。これにより、1行目においては、アンドゲートAn1の出力電圧が低レベルに切り替わり、リセットゲートRGはオフ状態に切り替わり、JFETのゲート電圧はリセットされる。ここまでが図4における『1行目水平読み出し』の期間である。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路8に入力して垂直シフトレジスタを1つシフトさせ、2行目を選択する。次に、8つの選択用駆動電圧の内、φPβL、φPβRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iβ、垂直信号線VRを介して2行目の緑画素Gに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iβ、垂直信号線VRを介して2行目の青画素Bに接続される。
次に、駆動電圧φRSG2を高レベルに切り替える。この後、駆動電圧φTG1の代わりにφTG2を高レベルにすることを除き、1行目の場合と同様に2行目の画素信号を読み出す。即ち、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、どちらも2行目の緑画素Gの画素信号により充電され、この画素信号は、緑水平信号線20から読み出される。同時に、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、どちらも2行目の青画素Bの画素信号により充電され、この画素信号は、赤青平信号線24から読み出される。これにより、2行目の読み出しを終了する。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路8に入力し、3行目を選択する。次に、8つの制御用駆動電圧の内、φPγL、φPγRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iγ、垂直信号線VLを介して3行目の緑画素Gに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iγ、垂直信号線VLを介して3行目の赤画素Rに接続される。この後、駆動電圧φRSG1を高レベルに切り替え、1行目の場合と同様に3行目の画素信号を読み出す。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路8に入力し、4行目を選択する。次に、8つの制御用駆動電圧の内、φPαL、φPαRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iα、垂直信号線VLを介して4行目の緑画素Gに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iα、垂直信号線VLを介して4行目の青画素Bに接続される。次に、駆動電圧φRSG2を高レベルに切り替え、2行目の場合と同様に4行目の画素信号を読み出す。
以上の動作を繰り返して、全行の画素信号を読み出す。読み出し走査は、4行単位で同じになり、その4行における主な違いは、以下の2点である。第1に、奇数行では駆動電圧φRSG1、φTG1を用い、偶数行では駆動電圧φRSG2、φTG2を用いる。第2に、8つの制御用駆動電圧のどれを高レベルにするかが異なる。即ち、(4n−3)行目が選択されていればφPδL、φPδRを高レベルにし、(4n−2)行目が選択されていればφPβL、φPβRを高レベルにし、(4n−1)行目が選択されていればφPγL、φPγRを高レベルにし、4n行目が選択されていればφPαL、φPαRを高レベルにする。以上が通常読み出しの動作説明である。
図5は、上述の固体撮像素子2において間引き読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。以下、図1、図3及び図5を参照しながら、間引き読み出しの回路動作を説明する。
まず、通常読み出しの場合と同様に高レベルのスタートパルスSTV、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路8に入力し、1行目のみを選択する。この後、クロック信号CLKV1、CLKV2を入力し、2行目のみを選択する。この後、スタートパルスSTV、クロック信号CLKV1、CLKV2をほぼ同時に垂直走査回路8に入力する。これにより、1行目と3行目が同時に選択される。なお、通常読み出しの場合と同様に、クロック信号CLKV1、CLKV2の入力直後では、全行において、転送ゲートFWはオフしており、JFETのゲート電圧はリセットされている。
次に、8つの選択用駆動電圧の内、φPδL、φPγRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサの内、CcLは、入力信号線Iδ、垂直信号線VRを介して1行目の緑画素Gに接続され、CcRは、入力信号線Iγ、垂直信号線VLを介して3行目の緑画素Gに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサの内、CcLは、入力信号線Iδ、垂直信号線VRを介して1行目の赤画素Rに接続され、CcRは、入力信号線Iγ、垂直信号線VLを介して3行目の赤画素Rに接続される。
次に、駆動電圧φRSG1を高レベルに切り替えて、選択されている1、3行目のJFETを動作状態にする。次に、FPN蓄積パルスφcを高レベルに切り替えて、CDSトランジスタTcをオンする。これにより、CDSコンデンサCcL、CcRには、それぞれ、上記のように接続された1つの画素の固定パターンノイズ成分に相当する電圧が充電される。この後、FPN蓄積パルスφcを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG1を高レベルに切り替える。これにより、1、3行目の画素の転送ゲートFWがオンし、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送され、JFETは、信号電圧(画素信号)をソースから出力する。これにより、CDSコンデンサCcL、CcRには、それぞれ、1つの画素の画素信号が充電される。このとき、先に充電した固定パターンノイズ成分が相殺される。この後、駆動電圧φTG1を低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φRSG1が高レベルである残りの期間内において、通常読み出しの場合と同様の走査により、1、3行目における全列の画素信号を水平方向に読み出す。なお、CDSコンデンサCcL、CcRにはそれぞれ、1行目と3行目の画素信号を充電したので、緑水平信号線20及び赤青水平信号線24に出力される信号電圧は、通常読み出しの場合とは異なり、1行目と3行目の画素信号が合算平均されたものとなる。
具体的には、1行目のJFETのソースの出力電圧値をJS1、3行目のJFETのソースの出力電圧値をJS3とすれば、並列接続された一対のCDSコンデンサCcL、CcRの合計の蓄積電荷量は、(JS1×CF1+JS3×CF2)である。ここで、緑水平信号線20の寄生容量CFHを考慮すれば、緑水平信号線20の出力電圧Vsgは、次式のようになる。
Vsg=(JS1×CF1+JS3×CF2)/(CF1+CF2+CFH)
・・・(3)
即ち、本実施形態ではCF1とCF2は等しいので、寄生容量CFHの影響を除けば、2つのCDSコンデンサCcL、CcRの充電電圧が合算平均されて出力されることと等価になる。赤青水平信号線24の出力電圧も(3)式と同様になる。1、3行目の画素信号の水平方向の読み出しが終了すると、駆動電圧φRSG1を低レベルに切り替える。ここまでが図5における『1、3行目水平読み出し』の期間である。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を1パルスずつ垂直走査回路8に入力し、垂直シフトレジスタを1つシフトさせ、2行目と4行目を同時に選択する。
次に、8つの選択用駆動電圧の内、φPαL、φPαRのみを高レベルにする。これにより、緑用選択回路MXGに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iα、垂直信号線VLを介して4行目の緑画素Gに接続される。また、赤青用選択回路MXR/Bに接続されたCDSコンデンサCcL、CcRは、入力信号線Iα、垂直信号線VLを介して4行目の青画素Bに接続される。即ち、2行目と4行目が選択されているが、2行目は読み出されず、4行目の画素信号のみが単独で読み出される。この後、駆動電圧φRSG2を高レベルに切り替え、通常読み出しにおける4行目の場合と同様に4行目の画素信号を読み出した後、駆動電圧φRSG2を低レベルに切り替える。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を3パルスずつ垂直走査回路8に入力し、垂直シフトレジスタを3つシフトさせ、5行目と7行目を同時に選択する。この後、8つの選択用駆動電圧の内、φPδL、φPγRのみを高レベルにし、1、3行目の場合と同様に、5、7行目の画素信号を混合読み出しする。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を1パルスずつ垂直走査回路8に入力し、垂直シフトレジスタを1つシフトさせ、6行目と8行目を同時に選択する。この後、8つの選択用駆動電圧の内、φPαL、φPαRのみを高レベルにし、4行目の場合と同様に、8行目の画素信号を単独で読み出す。
以上の動作を繰り返すことで、全行の画素信号を読み出す。読み出し走査は4行単位で同じになる。即ち、選択用駆動電圧の内、φPδL、φPγRを高レベルにし、(4n−3)行目と(4n−1)行目の画素信号を混合読み出しした後、選択用駆動電圧の内、φPαL、φPαRを高レベルにし、4n行目の画素信号を単独で読み出す動作を繰り返す。以上が間引き読み出しの動作説明である。
このように第1の実施形態における間引き読み出しでは、(4n−3)行目と(4n−1)行目を同時に混合読み出しする動作と、4n行目を単独で読み出す動作とを繰り返す。従って、読み出し時間は、全行を1行ずつ読み出す通常読み出しの場合の半分になる。
また、各画素から出力される画素信号は、JFETのソース電圧であり、それをCDSコンデンサCcL、CcRに充電後、電圧として緑水平信号線20、赤青水平信合線24に出力する。従って、電流で読み出す場合よりも、ノイズが小さくなる。
(4n−3)行目及び(4n−1)行目の画素信号を合算平均した信号が緑水平信号線20、赤青水平信号線24から出力されるので、両者の内の一方を読み出して他方を読み出さない場合と比較して、2倍の入射光量が画像信号の生成に寄与する。従って、光利用率が高くなる。また、1行跨いで位置する2つの緑画素G(または赤画素R)の画素信号を平均するので、ノイズの大きさは、一方のみを読み出す場合の約1/√2になる。即ち、SN比を約3dB向上できる。
ここで、混合読み出しされる(4n−3)行目と(4n−1)行目は、緑画素Gと赤画素Rとが配置された行(以下、GR行という)であり、単独で読み出される4n行目は、緑画素Gと青画素Bとが配置された行(以下、GB行という)である。一般に、青色成分よりも赤色成分の方がモアレが視覚的に目立ちやすいので、GR行に対して混合読み出しする本実施形態では、間引き読み出しの際のモアレやノイズを効果的に低減できる。
(4n−3)行目と(4n−1)行目の画素信号を混合読み出しする場合、サンプリングの重心は、両者の中間である(4n−2)行目になる。そして、4n行目は単独で読み出されるため、サンプリングの重心は、(4n−2)行目、4n行目の繰り返しになるので、間引き読み出し時におけるサンプリング間隔を全行に亘って等しくできる。従って、本実施形態の固体撮像素子2をデジタルカメラに搭載すれば、連写速度を2倍にでき、良好な画像信号が得られる。
なお、第1の実施形態の間引き読み出しでは、GR行に対しては混合読み出しを行い、GB行は単独で読み出す例を述べた。本発明は、かかる実施形態に限定されるものではない。GR行である(4n−3)行目を単独で読み出す動作と、GB行である(4n−2)行目、4n行目を混合読み出しする動作とを順次繰り返してもよい(請求項5に対応)。この場合、(4n−3)行目を読み出すときには、選択用駆動電圧の内のφPδL、φPδRのみを高レベルにし、(4n−2)行目と4n行目を混合読み出しするときには、選択用駆動電圧の内のφPβLとφPαRのみ(或いは、φPβRとφPαLのみ)を高レベルにすればよい。この場合も、サンプリングの重心は等間隔になる。
(4n−3)行目及び(4n−1)行目の画素信号を混合読み出しする動作と、(4n−2)行目及び4n行目の画素信号を混合読み出しする動作を順次繰り返してもよい。この場合、(4n−3)行目と(4n−1)を混合読み出しするときには、選択用駆動電圧の内のφPδLとφPγRのみ(或いは、φPδRとφPγLのみ)を高レベルにし、(4n−2)行目と4n行目を混合読み出しするときには、選択用駆動電圧の内のφPβLとφPαRのみ(或いは、φPβRとφPαLのみ)を高レベルにすればよい。この場合、サンプリングの重心が等間隔にならない点を除き、上述と同様の効果が得られる。
各々の緑用選択回路MXG及び赤青用選択回路MXR/Bに対して2つのCDSコンデンサCcL、CcRが並列接続されている例を述べたが、並列接続されるCDSコンデンサの数は3つ以上でもよい。例えば、各々の緑用選択回路MXG、赤青用選択回路MXR/Bに対し、4つのCDSコンデンサを並列接続し、(8n−7)行目、(8n−5)行目、(8n−3)行目、(8n−1)行目を混合読み出しする動作と、8n行目を単独で読み出す動作とを繰り返してもよい。
図6は、本発明の第2の実施形態における固体撮像素子50の等価回路図である。本実施形態は、請求項1、請求項2、請求項6、請求項7に対応する。なお、図中の一部の要素の符号の最後には、配置行を示す1、2、3、4、5を付し、配置列との対応関係を示すa、b、c、dを付した。『配置列との対応関係』は、第1の実施形態と同様である。行や列の区別が不要な場合、符号の最後の1、2、a、b等は、適宜省略する。
図に示すように、固体撮像素子50は、ベイヤー配列された赤画素R、緑画素G、青画素Bと、垂直走査回路60と、行毎に各画素を垂直走査回路60に接続するナンドゲートNa及びアンドゲートAnと、各画素列毎に配置された垂直信号線VSLと、垂直信号線VSLの一端側に接続された定電流源CSと、垂直信号線VSLの他端側に配置された緑水平信号線70と、赤青水平信号線72と、水平走査回路78とを有している。
さらに、緑水平信号線70、赤青水平信号線72における出力端には、出力バッファアンプ32、34と、出力端子Gout、R/Boutと、水平リセットトランジスタTRg、TRrbとがそれぞれ接続されている。なお、奇数行の1列目には画素は配置されない。また、図では煩雑となるので画素数を5×4として記載したが、実際にはもっと多くの画素が配列される。
第2の実施形態と第1の実施形態との主な違いは、本実施形態では画素の列間の垂直信号線が1本であることと、各垂直信号線VSLの他端を緑水平信号線70または赤青水平信号線72に接続する回路構成である。
本実施形態では、各垂直信号線VSLの他端は2つに分岐しており、分岐した双方はどちらも、別々に配置された同様の回路により同じ水平信号線(緑水平信号線70、赤青水平信号線72のいずれか)に接続されている。そして、緑水平信号線70に接続される垂直信号線(VSLa、VSLc)と、赤青水平信号線72に接続される垂直信号線(VSLb、VSLd)とは、列順次に交互に配置される。
垂直信号線VSLの他端において、分岐した一方は、XY選択トランジスタQx、nチャネルデプレッション型MOSトランジスタである中継トランジスタDx、CDSコンデンサCx、列選択トランジスタThxを介して緑水平信号線70または赤青水平信号線72に接続されている。分岐した他方は、XY選択トランジスタQy、nチャネルデプレッション型MOSトランジスタである中継トランジスタDy、CDSコンデンサCy、列選択トランジスタThyを介して、分岐した一方と同じ水平信号線(緑水平信号線70または赤青水平信号線72)に接続されている。ここでは区別し易くする為に、分岐した一方(図では垂直走査回路60側)に対応する要素の符合には文字xを含め、他方には文字yを含めた。
XY選択トランジスタQxは、駆動電圧φSHVxを全列共通にゲートに受け、XY選択トランジスタQyは、駆動電圧φSHVyを全列共通にゲートに受ける。各中継トランジスタDx(Dy)は、ソースが別々の定電流源Zx(Zy)を介して接地線GNDに接続されており、ドレインが電源線VCCに接続されている。なお、図では煩雑となるので、定電流源Zx、Zyに対しては一部にのみ符合を示した。
また、各垂直信号線VSLの他端において、分岐した一方にはCDSコンデンサCxと共に相関二重サンプリング処理を行うCDSトランジスタTxが接続されており、他方にはCDSコンデンサCyと共に相関二重サンプリング処理を行うCDSトランジスタTyが接続されている。CDSトランジスタTxは、FPN蓄積パルスφcxを全列共通にゲートに受け、導通または非導通状態に切り替わる。CDSトランジスタTyは、FPN蓄積パルスφcyを全列共通にゲートに受け、導通または非導通状態に切り替わる。
各列選択トランジスタThx、Thyのゲートは、2つの画素列毎に共通となる駆動電圧φGHを水平走査回路78から受け、導通または非導通状態に切り替わる。従って、列選択トランジスタThx、ThyやXY選択トランジスタQx、Qyが全て導通状態であれば、請求項記載のように、複数の容量(CDSコンデンサCx、Cy)が並列接続されていることと等価である。
図7は、図6における垂直走査回路60と各画素との接続部分に着目した回路図である。垂直走査回路60は、第1の実施形態と同様に各画素行に対して1本の出力信号線を有し、これら出力信号線は、垂直走査回路60からの行選択信号OPT1〜OPTnをそれぞれ受ける。ナンドゲートNa及びアンドゲートAnは、一方の入力端子に行選択信号OPTを受ける点では第1の実施形態と同様であるが、他方の入力端子への入力電圧が異なる。
即ち、各行において、駆動電圧φTG1、φTG2のどちらがナンドゲートNaの他方の入力端子に入力され、駆動電圧φRSG1、φRSG2のどちらがアンドゲートAnの他方の入力端子に入力されるかが異なる。具体的には、(4n−3)行目、(4n−2)行目では、ナンドゲートNaの他方の入力端子は駆動電圧φTG1を受け、アンドゲートAnの他方の入力端子は駆動電圧φRSG1を受ける。反対に、(4n−1)行目、4n行目では、ナンドゲートNaの他方の入力端子は駆動電圧φTG2を受け、アンドゲートAnの他方の入力端子は駆動電圧φRSG2を受ける。
以上の回路構成において、請求項との対応関係は、例えば以下の通りである。
請求項記載の一対の容量は、CDSコンデンサCx、Cyに対応する。請求項記載の垂直信号線Aは、垂直信号線VSLa、VSLcに対応する。請求項記載の垂直信号線Bは、垂直信号線VSLb、VSLdに対応する。請求項記載のスイッチング回路は、XY選択トランジスタQx、Qy、中継トランジスタDx、Dy、定電流源Zx、Zy、CDSトランジスタTx、Ty、列選択トランジスタThx、Thy、水平リセットトランジスタTRg、TRrb、水平走査回路78に対応する。その他の要素の対応関係は、第1の実施形態と同様である。
図8は、上述の固体撮像素子50において通常読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。以下、図6及び図8を参照しながら回路動作を説明する。なお、読み出し走査は4行単位で同じになる。各行の読み出し走査の主な違いは、(4n−3)行目及び(4n−2)行目では駆動電圧φRSG1、φTG1を用い、(4n−1)行目及び4n行目では駆動電圧φRSG2、φTG2を用いることである。
まず、第1の実施形態と同様に、スタートパルスSTV、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路60に入力する。これにより、垂直走査回路60が出力する行選択信号はOPT1のみが高レベルとなり、1行目が選択される。なお、クロック信号CLKV1、CLKV2の入力直後では、第1の実施形態と同様に、全画素において、転送ゲートFWはオフ状態であり、JFETのゲート電圧はリセットされている(2行目以降の選択直後も同様)。
次に、駆動電圧φRSG1、φSHVx、φSHVyを同時に高レベルに切り替える。これにより、1行目では、アンドゲートAn1の出力電圧は高レベルに切り替わり、リセットゲートRGはオフし、JFETのゲートはフローティング状態になる。また、全列のXY選択トランジスタQx、Qyはオンする。
次に、FPN蓄積パルスφcx、φcyを同時に高レベルに切り替え、全てのCDSトランジスタTx、Tyをオンし、CDSコンデンサCx、Cyにおける一方の電極を定電圧源Vrefに接続する。このときはまだ、JFETのゲートにはフォトダイオードPDの信号電荷が転送されておらず、固定パターンノイズ成分に相当する電圧がJFETのソースから出力され、この電圧が中継トランジスタDx、Dyのゲートに印加される。これにより、中継トランジスタDx、Dyのソース電圧は、そのゲート電圧に応じたものとなり、CDSコンデンサCx、Cyは、固定パターンノイズ成分に相当する電圧に充電される。この後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを同時に低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG1を高レベルに切り替える。これにより、1行目では、ナンドゲートNa1の出力電圧が低レベルに切り替わって転送ゲートFWがオンし、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送される。JFETは、ゲート内の蓄積電荷量に応じた信号電圧(画素信号)をソースから出力する。これにより、CDSコンデンサCx、Cyには、中継トランジスタDx、Dyを介して、先に充電した固定パターンノイズ成分が相殺されるように画素信号が充電される。
なお、XY選択トランジスタQx、Qyはスレッショルド電圧等のパラメータが互いに同じ素子であり、中継トランジスタDx、Dyも互いに同じ素子である。従って、通常読み出しでは、CDSコンデンサCx、Cyはどちらも同じ電圧に充電される(2行目以降も同様)。即ち、1行目における2、4列目の緑画素Gの画素信号は、それぞれ、a、c列のCDSコンデンサCx、Cyに等しく充電され、1行目における3、5列目の赤画素Rの画素信号は、それぞれ、b、d列のCDSコンデンサCx、Cyに等しく充電される。この後、駆動電圧φTG1は低レベルに切り替わる。
次に、駆動電圧φRSG1、φSHVx、φSHVyを同時に低レベルに切り替える。これにより、1行目の転送ゲートFWはオフし、全列のXY選択トランジスタQx、Qyはオフする。さらに、全列の中継トランジスタDx、Dyは、ゲートがフローティング状態になるが、MOSトランジスタであるのでφTG1が高レベルの期間にゲートに蓄積した電荷を保持し、ソース電圧が変わらない。この状態で、緑水平信号線70及び赤青水平信号線72の電圧をVrefにリセットする動作と、水平走査回路78の水平シフトレジスタを順送りにオンする動作とを繰り返し、1行目の画素信号を水平方向に読み出す。
具体的にはまず、水平リセットパルス電圧φRSTHを高レベルに切り替える。これにより、水平リセットトランジスタTRg、TRrbはオンして、緑水平信号線70及び赤青水平信号線72の電圧はVrefにリセットされる。この後、水平リセットパルス電圧φRSTHを低レベルに切り替える。
次に、水平走査回路78は、a、b列に対応する駆動電圧φGHabを高レベルに切り替える。これにより、列選択トランジスタThxa、Thya、Thxb、Thybをオンして、a列のCDSコンデンサCxa、Cyaに充電した画素信号を緑水平信号線70に読み出し、b列のCDSコンデンサCxb、Cybに充電した画素信号を赤青水平信号線72に読み出す。
ここで、緑水平信号線70に出力される信号電圧は、その寄生容量を考慮すれば、第1の実施形態の通常読み出しの場合と同様になる。即ち、JFETのソースの出力電圧値をJS、CDSコンデンサCx、Cyの容量値をそれぞれCFx、CFy、緑水平信号線70の寄生容量値をCFG、緑水平信号線70の出力電圧をVgreenとすれば、次式のようになる。
Vgreen=JS×(CFx+CFy)/(CFx+CFy+CFG)・・・(4)
赤青水平信号線72の出力電圧も同様になる。なお、本実施形態では一例として、CFx=CFyである。
ここまでが1行目における2、3列目の画素信号の読み出しである。次に、水平リセットパルス電圧φRSTHを高レベルに切り替えて、緑水平信号線70及び赤青水平信号線72の電圧をリセット後、水平リセットパルス電圧φRSTHを低レベルに切り替える。そして、c、d列に対応する駆動電圧φGHcdを高レベルに切り替え、4、5列目の画素信号を同様に読み出す。このような動作を繰り返すことにより、1行目の画素信号の読み出しを2列毎に行う。ここまでが図8における『1行目選択期間』の期間である。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路60に入力して2行目を選択後、駆動電圧φRSG1、φSHVx、φSHVyを高レベルに切り替える。この後、1行目の場合と同様に、FPN蓄積パルスφcx、φcyを同時に高レベルに切り替えることでCDSコンデンサCx、Cyに固定パターンノイズ成分を充電後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを同時に低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG1を高レベルに切り替える。これにより、2行目では、ナンドゲートNa2の出力電圧が低レベルに切り替わって転送ゲートFWがオンし、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送される。これにより、2行目における1、3列目の緑画素Gの画素信号は、それぞれ、a、c列のCDSコンデンサCx、Cyに充電される。2行目における2、4列目の青画素Bの画素信号は、それぞれ、b、d列のCDSコンデンサCx、Cyに充電される。
次に、駆動電圧φRSG1、φSHVx、φSHVyを低レベルに切り替え、全列のXY選択トランジスタQx、Qyをオフする。そして、1行目の場合と同様に、2行目の画素信号の水平読み出しを2列毎に行う。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路60に入力し、3行目を選択後、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを同時に高レベルに切り替える。この後、1、2行目と同様に、FPN蓄積パルスφcx、φcyを高レベルに切り替えて、CDSコンデンサCx、Cyに固定パターンノイズ成分を充電後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG2を高レベルに切り替え、3行目における2〜5列目の画素信号を、それぞれ、a〜d列のCDSコンデンサCx、Cyに充電する。次に、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを低レベルに切り替え、全列のXY選択トランジスタQx、Qyをオフした後、前述と同様に3行目の画素信号を水平方向に読み出す。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路60に入力して4行目を選択後、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを高レベルに切り替える。この後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを高レベルに切り替え、CDSコンデンサCx、Cyに固定パターンノイズ成分を充電後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG2を高レベルに切り替え、4行目における1〜4列目の画素信号を、それぞれ、a〜d列のCDSコンデンサCx、Cyに充電する。次に、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを低レベルに切り替えた後、4行目の画素信号を前述と同様に水平方向に読み出す。以上の動作を繰り返して、5行目以降の画素信号も同様に読み出す。以上が通常読み出しの動作説明である。
図9は、固体撮像素子50において間引き読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。以下、図6及び図9を参照しながら間引き読み出しの動作を説明する。この場合も、読み出し走査は4行単位で同じになる。
まず、第1の実施形態の間引き読み出しの場合と同様の手順で、スタートパルスSTV、クロック信号CLKV1、CLKV2を垂直走査回路60に入力し、1行目と3行目を同時に選択する。
次に、駆動電圧φRSG1、φSHVxを同時に高レベルに切り替える。これにより、1行目のJFETのゲートはフローティング状態になり、全列のXY選択トランジスタの内、一方であるQxのみがオンする。即ち、選択されている3行目のアンドゲートAn3は、駆動電圧φRSG1ではなく駆動電圧φRSG2を受けるものなので、3行目のJFETはリセットされたままである。
次に、FPN蓄積パルスφcxを高レベルに切り替える。これにより、全列のCDSトランジスタの内、一方であるTxのみがオンし、CDSコンデンサCxには、固定パターンノイズ成分が充電される。この後、FPN蓄積パルスφcxを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG1を高レベルに切り替える。これにより、1行目では、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送され、CDSコンデンサCxにはそれぞれ、1行目の各列の画素信号が充電される。次に、駆動電圧φTG1を低レベルに切り替えてから、駆動電圧φRSG1、φSHVxを同時に低レベルに切り替える。これにより、1行目の転送ゲートFWはオフし、1行目のJFETのゲートはリセットされ、XY選択トランジスタQxはオフする。
次に、駆動電圧φRSG2、φSHVyを同時に高レベルに切り替える。これにより、3行目のJFETのゲートはフローティング状態になり、全列のXY選択トランジスタの内、一方であるQyのみがオンする。なお、1行目のJFETはリセットされたままである。次に、FPN蓄積パルスφcyを高レベルに切り替える。これにより、全列のCDSトランジスタの内、一方であるTyのみがオンし、CDSコンデンサCyには、固定パターンノイズ成分が充電される。この後、FPN蓄積パルスφcyを低レベルに切り替える。
次に、駆動電圧φTG2を高レベルに切り替える。これにより、3行目では、フォトダイオードPDの信号電荷はJFETのゲートに転送され、CDSコンデンサCyにはそれぞれ、3行目の各列の画素信号が充電される。次に、駆動電圧φTG2を低レベルに切り替えてから、駆動電圧φRSG2、φSHVyを同時に低レベルに切り替える。これにより、3行目の転送ゲートFWはオフし、3行目のJFETのゲートはリセットされ、XY選択トランジスタQyはオフする。また、中継トランジスタDx、Dyは、MOSトランジスタであるので、XY選択トランジスタQx、Qyがオフする直前と同じ電圧(信号電圧)をソースから出力し続ける。この状態で、通常読み出しの場合と同様に、水平方向に画素信号を読み出す。
但し、CDSコンデンサCxには1行目の画素信号が充電されており、CDSコンデンサCyには3行目の画素信号が充電されているので、緑水平信号線70の出力電圧は、第1の実施形態の間引き読み出しと同様に、合算平均されたものとなる。従って、1行目のJFETのソースの出力電圧値をJS1、3行目のJFETのソースの出力電圧値をJS3とすれば、緑水平信号線70の出力電圧Vgreenは、次式のようになる。
Vgreen=(JS1×CFx+JS3×CFy)/(CFx+CFy+CFH)
・・・(5)
赤青水平信号線72の出力電圧も同様である。ここまでが図9における『1、3行目水平読み出し』の期間である。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を1パルスずつ垂直走査回路8に入力し、垂直シフトレジスタを1つシフトさせ、2行目と4行目を同時に選択する。次に、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを同時に高レベルに切り替える。これにより、4行目のJFETのゲートはフローティング状態になり、全列のXY選択トランジスタQx、Qyはオンする。なお、2行目も選択されているが、2行目のアンドゲートAn2は駆動電圧φRSG2ではなくφRSG1を受けるものなので、2行目のJFETはリセットされたままである。
次に、FPN蓄積パルスφcx、φcyを同時に高レベルに切り替える。これにより、CDSコンデンサCx、Cyには、4行目の各画素の固定パターンノイズ成分が充電される。即ち、第1の実施形態の間引き読み出しと同様に、2行目は選択されているが、その画素信号は読み出されず、CDSコンデンサCx、Cyの充電電圧は列毎に同じになる。この後、FPN蓄積パルスφcx、φcyを低レベルに切り替える。次に、駆動電圧φTG2を高レベルに切り替える。これにより、CDSコンデンサCx、Cyにはそれぞれ、4行目の各列の画素信号が充電される。次に、駆動電圧φTG2を低レベルに切り替えてから、駆動電圧φRSG2、φSHVx、φSHVyを低レベルに切り替えた後、通常読み出しの場合と同様に、4行目の画素信号を水平方向に読み出す。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を3パルスずつ垂直走査回路60に入力し、垂直シフトレジスタを3つシフトさせ、5行目と7行目を同時に選択する。この後、1、3行目の場合と同様の走査により、5行目と7行目の画素信号を合算平均して読み出す。
次に、クロック信号CLKV1、CLKV2を1パルスずつ垂直走査回路60に入力し、垂直シフトレジスタを1つシフトさせ、6行目と8行目を同時に選択する。この後、4行目の場合と同様の走査により、8行目の画素信号を単独で読み出す。以上の動作を繰り返して、9行目以降の画素信号も同様に読み出す。即ち、(4n−3)行目と(4n−1)行目の画素信号を混合読み出しした後、4n行目の画素信号を単独で読み出す動作を繰り返す。以上が間引き読み出しの動作説明である。
このように第2の実施形態においても、各画素の画素信号は、まずJFETのソース電圧として読み出され、緑水平信号線70、赤青水平信号線72には電圧として出力される。そして、本実施形態の間引き読み出しにおいても、奇数行がGR行であるベイヤー配列において、第1の実施形態の間引き読み出しと同様に、(4n−3)行目と(4n−1)行目を混合読み出しする動作と、4n行目を読み出す動作とを繰り返す。従って、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
さらに、本実施形態では、画素の列間の垂直信号線は1本のみでよく、配線は容易になる。また、本実施形態では、8つの選択用駆動電圧φPαL〜φPδR、及び1つのFPN蓄積パルスφcの代わりに、駆動電圧φSHVx、φSHVy、及び2つのFPN蓄積パルスφcx、φcyを用いる。即ち、第1の実施形態よりも駆動電圧の種類は少なくなる。
なお、本実施形態の間引き読み出しでは、GR行に対しては混合読み出しを行い、GB行は単独で読み出したが、その反対にしてもよい。即ち、GR行である(4n−3)行目を単独で読み出す動作と、GB行である(4n−2)行目、4n行目を混合読み出しする動作とを順次繰り返してもよい。この場合も、サンプリング重心は等間隔になる。或いは、(4n−3)行目と(4n−1)行目の画素信号を混合読み出しする動作と、(4n−2)行目と4n行目の画素信号を混合読み出しする動作とを繰り返してもよい。この場合、サンプリング重心が等間隔にならない点を除き、上述と同様の効果が得られる。
垂直信号線VSLと、緑水平信号線70(または赤青水平信号線72)との間には、2つの同様の回路が並列接続されている例を述べたが、3つ以上の同様の回路を並列接続してもよい。ここでの『同様の回路』とは、XY選択トランジスタQx、中継トランジスタDx、定電流源Zx、CDSコンデンサCx、CDSトランジスタTx、列選択トランジスタThxに相当する。その場合、駆動電圧φSHVxに相当するものを、並列接続の数だけ入力すればよい。『同様の回路』を例えば4つ並列接続すれば、第1の実施形態の補足事項で述べたものと同様に、(8n−7)行目、(8n−5)行目、(8n−3)行目、(8n−1)行目を混合読み出しする動作と、8n行目を単独で読み出す動作とを繰り返すことができる。
また、第1及び第2の実施形態では、画素配列がベイヤー正方配列である例を述べたが、GストライプRB線順次の正方配列の場合も、本発明は適用可能である。具体的には、第2の実施形態では、偶数行の画素は、その画素と接続されている垂直信号線VSLを基準とすれば、垂直走査回路60側に配置されている。従って、第2の実施形態では、偶数行の画素と垂直信号線VSLとの接続関係を同じにしたまま、偶数行の画素を垂直信号線VSLに対して図6の右側に配置させれば、画素配列をGストライプRB線順次に変えた上で本発明を適用できる。
また、本発明は、赤、緑、青の原色系には限定されず、例えば補色系でも適用可能である。さらに本発明は、正方配列には限定されず、ハニカム配列にも適用可能である。
以上詳述したように本発明は、固体撮像素子の分野において大いに利用可能である。
本発明の第1の実施形態における固体撮像素子の等価回路図である。 図1における垂直走査回路と各画素との接続部分に着目した回路図である。 図1における緑用選択回路MXG、赤青用選択回路MXR/Bの詳細を示す回路図である。 第1の実施形態の固体撮像素子において、通常読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。 第1の実施形態の固体撮像素子において、間引き読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。 本発明の第2の実施形態における固体撮像素子の等価回路図である。 図6における垂直走査回路と各画素との接続部分に着目した回路図である。 第2の実施形態の固体撮像素子において、通常読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。 第2の実施形態の固体撮像素子において、間引き読み出しを行う場合の各部の電圧波形を示すタイミング図である。
符号の説明
2 固体撮像素子
8 垂直走査回路
20 緑水平信号線
24 赤青水平信号線
30 水平走査回路
32、34 出力バッファアンプ
50 固体撮像素子
60 垂直走査回路
70 緑水平信号線
72 赤青水平信号線
78 水平走査回路
An1〜An5 アンドゲート
B 青画素
BiL、BiR バイポーラトランジスタ
CcL、CcR、Cxa〜Cxd、Cya〜Cyd CDSコンデンサ
CSL、CSR、CSML、CSMR、CSa〜CSd、Zx〜Zy 定電流源
Dxa〜Dxd、Dya〜Dyd 中継トランジスタ
FW 転送ゲート
G 緑画素
Gout 出力端子
Iα、Iβ、Iγ、Iδ 入力信号線
JFET 接合型電界効果トランジスタ
MXG 緑用選択回路
MXR/B 赤青用選択回路
Na1〜Na5 ナンドゲート
PD フォトダイオード
QαL、QαR、QβL、QβR、QγL、QγR、QδL、QδR スイッチ
Qxa〜Qxd、Qya〜Qyd XY選択トランジスタ
R 赤画素
R/Bout 出力端子
RG リセットゲート
Tca〜Tcd、Txa〜Txd、Tya〜Tyd CDSトランジスタ
Tha〜Thd、Thxa〜Thxd、Thya〜Thyd 列選択トランジスタ
TRg、TRrb 水平リセットトランジスタ
VL、VR、VSLa〜VSLd 垂直信号線

Claims (7)

  1. 垂直方向の列及び水平方向の行に沿って二次元配列された複数の画素と、
    前記画素の列に対応してそれぞれ配置されていると共に複数の前記画素に接続されており、前記画素により生成される画素信号を前記垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、
    複数の前記垂直転送部からの前記画素信号が転送される少なくとも1つの水平信号線と
    を備えた固体撮像素子であって、
    前記水平信号線と、複数の前記垂直転送部との間において、複数の前記垂直転送部にそれぞれ対応して、各々の前記垂直転送部当たりに複数配置された容量を有し、
    複数の前記容量は、対応する前記垂直転送部と1つの前記水平信号線との間で互いに並列接続されており、前記垂直転送部からの前記画素信号を受けて充電され、
    複数の前記容量を前記水平信号線に接続することで、前記水平信号線に前記画素信号を転送するスイッチング回路を有する
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  2. 垂直方向の列及び水平方向の行に沿って二次元配列された複数の画素と、
    前記画素の列に対応してそれぞれ配置されていると共に複数の前記画素に接続されており、前記画素により生成される画素信号を前記垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、
    複数の前記垂直転送部からの前記画素信号が転送される水平転送部と
    を備えた固体撮像素子であって、
    複数の前記垂直転送部に対してそれぞれ配置された一対の容量と、前記一対の容量を前記水平転送部に接続することによって前記水平転送部に前記画素信号を転送するスイッチング回路とを有し、
    前記一対の容量は、対応する前記垂直転送部に対して並列接続されており、前記垂直転送部からの前記画素信号を受けて充電され、
    間引き読み出しが行われる場合、前記スイッチング回路は、前記一対の容量の一方にはある行の前記画素信号を充電させ、他方には別の行の前記画素信号を充電させ、前記一対の容量にそれぞれ充電させた前記画素信号を、合算平均されるように前記水平転送部に転送する
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  3. 請求項2記載の固体撮像素子において、
    複数の前記画素は、一松状またはストライプ状に配置された第1色成分画素と、前記第1色成分画素間に線順次に配置された第2色成分画素及び第3色成分画素を含み、
    前記一対の容量は、前記第1色成分画素の前記画素信号が充電される第1容量対と、前記第2及び第3色成分画素の前記画素信号が充電される第2容量対のいずれかであり、
    各々の前記垂直転送部は、1種類または2種類の色成分の前記画素信号を転送する第1垂直信号線及び第2垂直信号線を有し、
    前記水平転送部は、第1水平信号線と、第2水平信号線とを有し、
    前記スイッチング回路は、前記第1及び第2垂直信号線から、前記第1色成分画素の前記画素信号が転送されているものを選択して前記第1容量対に接続すると共に、前記第2または第3色成分画素の前記画素信号が転送されているものを選択して前記第2容量対に接続後、前記第1容量対を前記第1水平信号線に接続し、前記第2容量対を前記第2水平信号線に接続する
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  4. 請求項3記載の固体撮像素子において、
    前記第1垂直信号線は、(4n−3)行目及び(4n−2)行目の前記画素に接続されており、
    前記第2垂直信号線は、(4n−1)行目及び4n行目の前記画素に接続されており、
    間引き読み出しが行われる場合、前記スイッチング回路は、前記一対の容量の一方には前記第1垂直信号線を接続すると共に他方には前記第2垂直信号線を接続して、(4n−3)行目及び(4n−1)行目の前記画素信号を合算平均して読み出す動作と、前記第2垂直信号線を前記一対の容量に接続して、4n行目の前記画素信号を読み出す動作とを繰り返す
    ことを特徴とする固体撮像素子(但し、nは自然数である)。
  5. 請求項3記載の固体撮像素子において、
    前記第1垂直信号線は、(4n−3)行目及び(4n−2)行目の前記画素に接続されており、
    前記第2垂直信号線は、(4n−1)行目及び4n行目の前記画素に接続されており、
    間引き読み出しが行われる場合、前記スイッチング回路は、前記第1垂直信号線を前記一対の容量に接続して、(4n−3)行目の前記画素信号を読み出す動作と、前記一対の容量の一方には前記第1垂直信号線を接続すると共に他方には前記第2垂直信号線を接続して、(4n−2)行目及び4n行目の前記画素信号を合算平均して読み出す動作とを繰り返す
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  6. 請求項2記載の固体撮像素子において、
    複数の前記画素は、一松状またはストライプ状に配置された第1色成分画素と、前記第1色成分画素間に線順次に配置された第2色成分画素及び第3色成分画素を含み、
    前記垂直転送部は、前記第1色成分画素に接続された垂直信号線Aと、前記第2及び第3色成分画素に接続された垂直信号線Bのいずれかであり、
    複数の前記垂直信号線A及び複数の前記垂直信号線Bは、列順次に交互に配置されており、
    前記一対の容量には、いずれかの前記垂直信号線Aからの前記画素信号、または、いずれかの前記垂直信号線Bからの前記画素信号のみが充電され、
    前記水平転送部は、第1水平信号線と、第2水平信号線とを有し、
    前記スイッチング回路は、前記垂直信号線Aからの前記画素信号が充電される前記一対の容量を前記第1水平信号線に接続し、前記垂直信号線Bからの前記画素信号が充電される前記一対の容量を前記第2水平信号線に接続する
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  7. 請求項6記載の固体撮像素子において、
    間引き読み出しが行われる場合、前記スイッチング回路は、(4n−3)行目及び(4n−1)行目の前記画素信号が合算平均されるように読み出す動作と、4n行目の前記画素信号を読み出す動作とを繰り返すか、或いは、(4n−3)行目の前記画素信号を読み出す動作と、(4n−2)行目及び4n行目の前記画素信号が合算平均されるように読み出す動作とを繰り返す
    ことを特徴とする固体撮像素子。
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