JP2006194657A - 擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 - Google Patents

擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置を実現する。
【解決手段】 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置において、特に輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置に関する。
画像デバイス、例えば、液晶表示器等の表示手段やCCD(Charge-Coupled Devices)イメージセンサやCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の撮像手段においては、その製造工程で生じる材料の不均一性、キズ、汚れ等に起因して局所的な輝度ムラ欠陥が発生し、当該輝度ムラ欠陥が或る限度以上の画像デバイスは不良品として排除される。
このため、画像デバイスの画像データを演算処理することにより、輝度ムラ欠陥を抽出して当該画像デバイスの要否を判定する検査装置が稼動している。そして、従来の画像デバイスの検査装置等に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開平06−201516号公報 特開平07−098574号公報 特開平10−148619号公報 特開平11−183321号公報 特開2000−215310号公報 特開2001−305075号公報
図11はこのような従来の画像デバイスの検査装置の一例を示す構成ブロック図である。図11において1はカメラ等の画像撮影手段、2は画像撮影手段1から画像データを取得して蓄積する画像取得手段、3はCPU(Central Processing Unit)等の演算制御手段、4はCRT(Cathode Ray Tube)やLCD(Liquid Crystal Display)等の表示手段、5は検査パターンを発生させるパターン発生手段、6は被検査対象である液晶表示器等の画像デバイスである。
画像撮影手段1の出力である画像データは画像取得手段2に接続され、画像取得手段2の出力は演算制御手段3に接続される。演算制御手段4からの表示信号及び制御信号は表示手段4及びパターン発生手段5にそれぞれ接続され、パターン発生手段5の出力は画像デバイス6に接続される。
ここで、図11に示す従来例の動作を簡単に説明する。演算制御手段3はパターン発生手段5を制御して検査パターンを発生させると共に画像デバイス6に発生させた検査パターンを表示させる。
一方、画像撮影手段1は画像デバイス6に表示された検査パターンを撮影し撮影した画像データを画像取得手段2に出力する。画像取得手段2は入力された画像データを蓄積すると共に演算制御手段3に出力する。
演算制御手段3は取得した画像データをフィルタリング処理やラベリング処理等の処理を行った後、輝度ムラ欠陥の限度サンプル(良品レベルか不良品レベルであるかの境界のもの)との間で対比して被検査対象である画像デバイス6の良否を判断する共に判定結果を表示手段4に適宜表示させる。
但し、画像デバイス6で生じる輝度ムラ欠陥は、その大きさや形状、位置、背景等の諸条件が様々であり、このような多様な輝度ムラ欠陥を図11に示すような検査装置で的確に検出するためには、数多くの輝度ムラ欠陥の限度サンプルを収集して検査装置に設定する必要性があるものの、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集は非常に煩雑であり、実際に発生した輝度ムラ欠陥の限度サンプルを収集するだけでは不十分である場合が多い。
このため、実際に収集した輝度ムラ欠陥の画像データに基づき、演算制御手段3等が大きさや形状、位置、背景等の諸条件を適宜変更した擬似欠陥画像を計算により求めて、当該擬似欠陥画像を輝度ムラ欠陥の限度サンプルとして用いることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことがある。
図12はこのような擬似欠陥画像の生成方法を説明ずるフロー図である。図12中”S001”において演算制御手段3は、擬似欠陥画像を作成するか否かを判断し、もし、擬似欠陥画像を生成すると判断した場合には、図12中”S002”において演算制御手段3は,画像取得手段2等の蓄積されている既存の画像データ(必ずしも、限度サンプルに限るものではなく、良品サンプルであっても不良品サンプルであっても構わない)の輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段4上に表示させる。
ユーザの操作によって輝度ムラ欠陥部分が指定されると、図12中”S003”において演算制御手段3は、輝度ムラ欠陥部分を切り取ると共に図12中”S004”において演算制御手段3は、切り取った輝度ムラ欠陥部分を任意の画像に貼り付けて擬似欠陥画像を生成する。
しかし、図12に示すような従来の擬似欠陥画像の生成方法では既存の画像データから単純に輝度ムラ欠陥部分を切り取った場合には、輝度差ではなく輝度の絶対値となり、背景部分を含んだ値となってしまうため、このまま任意の画像に貼り付けると境界が不連続になってしまう言った問題点があった。
例えば、図13はこのような不具合の状況を説明するための画像データと画素情報との関係を示す説明図であり、図13中”PD01”に示すような既存の画像データに基づき擬似欠陥画像を生成する場合、図13中”LN01”に示す線上の一列の画素情報をグラフにすると図13中”CH01”に示すような特性曲線になる。
そして、図13中”RG01”に示す領域を輝度ムラ欠陥部分として指定した場合には、図13中”CH02”に示すように切り取られ、言い換えれば、図13中”BG01”に示す背景部分も併せて切り取られてしまうので、図13中”CH02”に示す切り取られた輝度ムラ欠陥部分には図13中”BG02”に示すような背景部分が含まれてしまう。このため、輝度の絶対値をこのまま任意の画像に貼り付けると境界が不連続になってしまうことになる。
一方、このように輝度の絶対値ではなく輝度差の部分のみを切り取る方法としては、平滑化フィルタ処理により輝度ムラ欠陥を消した画像を生成し、元の画像データから当該フィルタ処理をした画像を減算することが考えられるものの、一般的に輝度ムラ欠陥を消すような平滑化フィルタの設計は容易ではないと言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項2記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項3記載の発明は、
請求項1若しくは請求項2記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βZr+αZl)/(α+β)+(γZt+δZb)/(δ+γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zr
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zl
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zt
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zb
で計算して置換することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項4記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段とを備えたことにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項5記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段とを備えたことにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項6記載の発明は、
請求項4若しくは請求項5記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記演算制御手段が、
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βZr+αZl)/(α+β)+(γZt+δZb)/(δ+γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zr
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zl
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zt
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zb
で計算して置換することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項7記載の発明は、
請求項4若しくは請求項5記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記記憶手段が、
ハードディスク、RAM、若しくは、フラッシュメモリであることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項8記載の発明は、
請求項4若しくは請求項5記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記記憶手段が、
フレキシブルディスク、USBメモリ、若しくは、メモリカードであることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
請求項9記載の発明は、
請求項4若しくは請求項5記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
画像デバイスの検査装置に適用したことにより、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
本発明によれば次のような効果がある。
請求項1,2,3,4,5,6,7及び請求項8の発明によれば、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、更に、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の8個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから減算して輝度差(背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分:以下、単に輝度ムラ欠陥部分(輝度差))を求めることにより、輝度差の部分を容易に抽出することが可能になる。
また、輝度ムラ欠陥部分(輝度差)に対して加工処理を適宜行い、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等を変えて輝度ムラ欠陥部分(輝度差)を生成し擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
また、請求項9の発明によれば、画像デバイスの検査装置に適用、具体的には、画像デバイスの検査装置を構成する演算制御手段に擬似欠陥画像作成装置の機能を持たせることにより、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る擬似欠陥画像作成装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
図1において7は既存の画像データが記憶されているハードディスク、RAM(Random Access Memory)やフラッシュメモリ等の記憶手段、8はCPU等の演算制御手段、9はCRTやLCD等の表示手段、10はキーボードやポインティングデバイス等の入力手段である。また、7,8,9及び10は擬似欠陥画像作成装置50を構成している。
記憶手段7の出力は演算制御手段8に接続され、演算制御手段8からの表示信号は表示手段9に接続される。また、入力手段10の出力が演算制御手段8に接続される。
ここで、図1に示す実施例の動作を図2、図3、図4、図5、図6、図7、図8、図9及び図10を用いて説明する。図2は擬似欠陥画像作成装置50の動作を説明するフロー図、図3は輝度ムラ欠陥部分を指定するために表示手段9に表示される表示画面の一例を示す説明図、図4、図5、図6及び図7は画像処理の過程の画像データを示す説明図、図8及び図9は輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図、図10は画像データと画素情報との関係を示す説明図である。
図2中”S101”において擬似欠陥画像作成装置50、具体的には演算制御手段8は、擬似欠陥画像を作成するか否かを判断し、もし、擬似欠陥画像を生成すると判断した場合には、図2中”S102”において演算制御手段8は,記憶手段7に記憶されている既存の画像データ(必ずしも、限度サンプルに限るものではなく、良品サンプルであっても不良品サンプルであっても構わない)を読み出して輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段9上に表示させる。
例えば、演算制御手段8は、図3中”DS11”に示すような輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段9上に表示させる。
より具体的には、第1に、演算制御手段8は、記憶手段9に記憶されている既存の画像データを読み込み、そのまま、或いは、画像データに輝度ムラ欠陥を強調する画像処理を施して、図4中”PD21”、或いは、図5中”PD31”に示すような画像データを生成して表示手段9上に表示させる。
第2に、演算制御手段8は、図4中”PD21”、或いは、図5中”PD31”に示すような画像データに対して、2値化処理を行い図6中”PD41”に示すような画像データを生成して表示手段9上に表示させる。ここで、2値化処理とは、輝度値がある閾値以上である画素を”1”、閾値未満である画素を”0”とする処理である。
第3に、演算制御手段8は、図6中PD41”に示すような画像データに対してノイズ除去処理を行い図7中”PD51”に示すような画像データを生成して表示手段9上に表示させる。
ここで、当該ノイズ除去処理とは、値が”1”の画素が多く存在する領域内に値が”0”の画素があった場合には当該画素の値を”1”とし、一方、値が”0”の画素が多く存在する領域内に値が”1”の画素があった場合には当該画素の値を”0”とする処理である。
そして、図7中”DP51”に示す値が”1”である画素の領域が輝度ムラ欠陥部分に相当することになる。
ちなみに、”画像処理”、”2値化処理”及び”ノイズ除去処理”の各種パラメータ等を変更された場合、演算制御手段8は、画像データに対して各種処理を再度行い図4〜図7に示すような画像データ(未処理、処理途中、或いは、最終処理結果の画像データ)の再表示を行う。
このように、ユーザは、図3中”DS11”に示す表示画面を入力手段10を用いて操作して”画像処理”、”2値化処理”及び”ノイズ除去処理”の各種パラメータ等を変更調整しながら、図4〜図7に示すような画像データ(未処理、処理途中、或いは、最終処理結果の画像データ)の再表示を確認することにより、輝度ムラ欠陥部分がうまく指定されているかをインタラクティブに確認しながら領域指定を行うことが可能になる。
図3中”DS11”に示すような画面において入力手段10を用いたユーザの操作によって輝度ムラ欠陥部分が指定されると、図2中”S103”において演算制御手段8は、輝度ムラ欠陥部分を切り取り、背景部分を除去した輝度差を求める。
例えば、演算制御手段8は、切り取った輝度ムラ欠陥部分から以下に示す手順で輝度ムラ除去画像を作成し、切り取った輝度ムラ欠陥部分から輝度ムラ除去画像を減算することにより、輝度差を求める。
先ず第1に、演算制御手段8は、輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算する。
例えば、図8において図面右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”α”、図面左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”β”、図面下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”γ”、図面上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”δ”、図面右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Zr”、図面左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Zl”、図面下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Zt”、図面上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Zb”した場合、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を”Z”は、
Z=((βZr+αZl)/(α+β)+(γZt+δZb)/(δ+γ)) (1)
となり、輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を式(1)を用いて順次置換して行く。
第2に、演算制御手段8は、式(1)を用いて順次置換された輝度ムラ欠陥部分に対して、更に、各画素の輝度値を周辺の8個の画素の輝度値の平均値で置換してより滑らかにする。
例えば、図9中”Z”に示す輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、図9中”1”、”2”、”3”、”4”、”5”、”6”、”7”及び”8”に示すようなその周辺の画素の輝度値の平均値で置き換える。
ちなみに、このような第2の処理は輝度ムラ欠陥部分の全ての画素に対して行われるので、周辺の8個の画素の輝度値も順次変化して行くことになるので、当該第2の処理を繰り返すことにより、より平衡に近い状態になる。
最後に、演算制御手段8は、切り取った輝度ムラ欠陥部分から上述ように求められた輝度ムラ除去画像を減算することにより、輝度差(背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分:以下、単に輝度ムラ欠陥部分(輝度差)と表現する。)を求める。
例えば、図10中”PD61”に示すような既存の画像データに基づき擬似欠陥画像を生成する場合、図10中”LN61”に示す線上の一列の画素情報をグラフにすると図10中”CH61”に示すような特性曲線になる。
そして、図10中”RG61”に示す領域を輝度ムラ欠陥部分として指定した場合には、図10中”CH62”に示すように切り取られ、図10中”RG62”及び”RG63”に示す領域から明らかなように、図10中”BG61”に示す背景部分は除去されるので、図10中”CH62”に示す切り取られた輝度ムラ欠陥部分(輝度差)には背景部分が含まれず、輝度ムラ欠陥部分(輝度差)をこのまま任意の画像に貼り付けても境界が不連続になることを防止できることになる。
図2中”S104”において演算制御手段8は、輝度ムラ欠陥部分(輝度差)に対して、サイズ変換、コントラスト変換、色変換、ラジアン変換、位置変換、或いは、回転変換等の加工処理を適宜行い、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等を変えて複数の輝度ムラ欠陥部分(輝度差)を生成する。
最後に、図2中”S105”において演算制御手段8は、生成された各種条件の異なる複数の輝度ムラ欠陥部分(輝度差)を任意の画像に順次貼り付けて複数の擬似欠陥画像を生成する。
この結果、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、更に、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の8個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから減算して輝度差(背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分:以下、単に輝度ムラ欠陥部分(輝度差))を求めることにより、輝度差の部分を容易に抽出することが可能になる。
また、輝度ムラ欠陥部分(輝度差)に対して、サイズ変換、コントラスト変換、色変換、ラジアン変換、位置変換、或いは、回転変換等の加工処理を適宜行い、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等を変えて輝度ムラ欠陥部分(輝度差)を生成し擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
なお、図1に示す実施例においては記憶手段7としてハードディスク、RAMやフラッシュメモリ等を例示しているが、フレキシブルディスク、USB(Universal Serial Bus)メモリ、メモリカード等の脱着可能な外部の記憶手段であっても勿論構わない。
また、図1に示す実施例では、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の8個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求めているが、周辺の画素の個数については何ら”8個”に限定されるわけではなく、より平衡に近い状態になるように周辺の画素の個数を適宜選択すれば良い。
また、図1に示す実施例では擬似欠陥画像作成装置50単体として動作しているが、画像デバイスの検査装置に適用、具体的には、画像デバイスの検査装置を構成する演算制御手段に擬似欠陥画像作成装置50の機能を持たせることにより、大きさ,形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
また、擬似欠陥画像作成装置50によって作成して擬似欠陥画像をデータベース化して画像デバイスの検査装置に導入しても勿論構わない。
本発明に係る擬似欠陥画像作成装置の一実施例を示す構成ブロック図である。 擬似欠陥画像作成装置の動作を説明するフロー図である。 表示画面の一例を示す説明図である。 画像処理の過程の画像データを示す説明図である。 画像処理の過程の画像データを示す説明図である。 画像処理の過程の画像データを示す説明図である。 画像処理の過程の画像データを示す説明図である。 輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図である。 輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図である。 画像データと画素情報との関係を示す説明図である。 従来の画像デバイスの検査装置の一例を示す構成ブロック図である。 擬似欠陥画像の生成方法を説明ずるフロー図である。 画像データと画素情報との関係を示す説明図である。
符号の説明
1 画像撮影手段
2 画像取得手段
3,8 演算制御手段
4,9 表示手段
5 パターン発生手段
6 画像デバイス
7 記憶手段
10 入力手段
50 擬似欠陥画像作成装置

Claims (9)

  1. 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
    既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、
    輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、
    前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、
    前記輝度差に対して加工処理を行い、
    加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することを特徴とする擬似欠陥画像作成方法。
  2. 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
    既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、
    輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、
    前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、
    前記輝度差に対して加工処理を行い、
    加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することを特徴とする擬似欠陥画像作成方法。
  3. 前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
    ((βZr+αZl)/(α+β)+(γZt+δZb)/(δ+γ))
    右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:α
    左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:β
    下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:γ
    上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:δ
    右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zr
    左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zl
    下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zt
    上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zb
    で計算して置換することを特徴とする
    請求項1若しくは請求項2記載の擬似欠陥画像作成方法。
  4. 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
    既存の画像データが記憶される記憶手段と、
    輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、
    前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、
    前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段と
    を備えたことを特徴とする擬似欠陥画像作成装置。
  5. 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
    既存の画像データが記憶される記憶手段と、
    輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、
    前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、
    前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段と
    を備えたことを特徴とする擬似欠陥画像作成装置。
  6. 前記演算制御手段が、
    前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
    ((βZr+αZl)/(α+β)+(γZt+δZb)/(δ+γ))
    右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:α
    左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:β
    下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:γ
    上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離:δ
    右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zr
    左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zl
    下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zt
    上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値:Zb
    で計算して置換することを特徴とする
    請求項4若しくは請求項5記載の擬似欠陥画像作成装置。
  7. 前記記憶手段が、
    ハードディスク、RAM、若しくは、フラッシュメモリであることを特徴とする
    請求項4若しくは請求項5記載の擬似欠陥画像作成装置。
  8. 前記記憶手段が、
    フレキシブルディスク、USBメモリ、若しくは、メモリカードであることを特徴とする
    請求項4若しくは請求項5記載の擬似欠陥画像作成装置。
  9. 画像デバイスの検査装置に適用したことを特徴とする
    請求項4若しくは請求項5記載の擬似欠陥画像作成装置。
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