JP2006240109A - 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル面に絶縁性被覆がなされたノズルプレートから静電気や帯電を有効に逃がし得るようにした液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズルプレート１０を備えた流路ユニット２６が固着されるヘッドケース１６と、上記ノズル開口１５を露出させるヘッドカバー２７とを備え、上記ノズルプレート１０は導電性母材３６のノズル面３０側に絶縁性被膜３７が形成され、上記ノズル面３０と反対側の裏面に凹部３９を形成することによりノズル面３０に導電性母材３６が突出した突出部４０が形成され、上記突出部４０の頂部近傍領域が、絶縁性被膜３７が除去されて導電性母材３６が露出した母材露出部３８に形成され、上記母材露出部３８を介してヘッドカバー２７とノズルプレート１０の導電性母材３６とを導通させたことにより、ノズル面３０に絶縁性被覆がなされたノズルプレート１０から静電気や帯電を有効に逃がし得るようにした。
【選択図】図４

Description

本発明は、液体カートリッジ等から供給された液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドに係るものであり、詳しくはノズル面に絶縁性被覆がなされたノズルプレートから静電気や帯電の除去を有効に行い得るようにした液体噴射ヘッドおよびその製造方法に関するものである。

液体噴射装置の代表例であるインクジェット式記録装置においては、圧力発生室を加圧する圧力発生手段と、加圧されたインクをインク滴として噴射するノズル開口とを有するインクジェット式の記録ヘッド（液体噴射ヘッド）がキャリッジに搭載されて構成されている。

そして、マルチノズル型のインクジェット式記録ヘッドは、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生室やインク供給流路となる空間が形成された流路形成基板と、他方の面を封止する振動板とが積層されて接合されることにより流路ユニットが形成され、この流路ユニットをヘッドケースの表面に接着するとともに、上記ヘッドケース内に、先端が上記振動板に当接するよう圧電振動子が収容されて構成されている。そして、上記圧電振動子の振動による振動板の変形応力により圧力発生室に圧力を発生させ、ノズル開口からインク滴を噴射させるように構成されている。

上記のような記録ヘッドは、ノズルプレートがステンレス等の導電性の金属板から構成されており、シリコン単結晶製の流路形成基板、樹脂フィルムの振動板が積層され、そこにインクが充填されたものとなっている。そして、上記記録ヘッドにおいて、ノズルプレートが帯電すると、紙粉がノズル面に付着して紙面汚れや吐出不良を引き起こす原因となり、紙に発生した静電気がノズルプレートに飛ぶと、それがインクや圧電振動子を伝わって、圧電振動子を駆動する駆動回路のトランジスタの破壊につながるおそれがある。

このため、ノズル開口を露出させる窓が形成された導電性のヘッドカバーを取り付けて接地し、流路ユニットを保護するとともに、導電性のノズルプレートの帯電を防止し、紙からの静電気を逃がしてトランジスタの破壊を防止するようになっている。（例えば下記の特許文献１）
特開２０００−１９０５１３号 特開２００４−３５１９２３号

ここで、上記ノズルプレートのノズル面は、ワイピングで払拭した後にインクが残らないように、撥水性の被膜を形成することがある。このような撥水性の被膜は、従来、ニッケルを含む共析めっき被膜が施されており、被膜にニッケルを含むことから被膜自体が導電性を有し、被膜を通して静電気や帯電をヘッドカバーに逃がすことができていた。

ところが、最近では撥水性能を向上させた撥水性被膜として、上記特許文献２に示すように、ガラス質で絶縁性の被膜を使用することが検討され始めている。このような絶縁性の被膜をノズルプレートのノズル面に形成すると、従来の記録ヘッドのように単にヘッドカバーを取り付けただけでは、ノズルプレートとヘッドカバーが絶縁性被膜を介して対面することとなり、紙からノズルプレートに飛んできた静電気やノズルプレートの帯電を、ヘッドカバーを介して逃がすことができなくなるという問題があった。そこで、ノズルプレートに絶縁性の被膜を形成した場合でもノズルプレートから有効に静電気や帯電を逃がすことができる記録ヘッドの開発が急務となっていた。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ノズル面に絶縁性被覆がなされたノズルプレートから静電気や帯電を有効に行い得るようにした液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルプレートのノズル開口から圧力発生手段によって加圧された液体を噴射する流路ユニットと、上記流路ユニットが固着されるヘッドケースと、上記ノズル開口を露出させる窓を備えたヘッドカバーとを備え、上記ノズルプレートは導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜が形成され、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することにより、ノズルプレートのノズル面に導電性母材が突出した突出部が形成され、上記突出部の頂部近傍領域が、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成され、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とが導通していることを要旨とする。

また、上記課題を解決するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、ノズルプレートのノズル開口から圧力発生手段によって加圧された液体を噴射する流路ユニットと、上記流路ユニットが固着されるヘッドケースと、上記ノズル開口を露出させる窓を備えたヘッドカバーとを準備し、導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜を形成してノズルプレートを形成し、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することによりノズル面に導電性母材が突出した突出部を形成し、上記突出部の頂部近傍領域を、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成し、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とを導通させることを要旨とする。

すなわち、本発明の液体噴射ヘッドは、上記ノズルプレートは導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜が形成され、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することにより、ノズルプレートのノズル面に導電性母材が突出した突出部が形成され、上記突出部の頂部近傍領域が、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成され、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とが導通している。
このようにして、ノズル面に形成された突出部の頂部近傍領域において、ノズルプレートの導電性母材がヘッドカバーと確実に導通していることから、例えば撥水性被膜や親水性被膜として絶縁性被膜を形成したノズルプレートであっても、紙からノズルプレートに飛んできた静電気やノズルプレートの帯電を、ヘッドカバーを介して有効に逃がすことができ、ノズル面の汚れに伴う噴射不良やＩＣの損傷等を有効に防止することができるのである。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記導電性母材の突出部は絶縁性被膜の膜厚よりも大きい突出高さである場合には、
絶縁性被膜の表面より突出した位置に母材露出部が形成され、より確実にヘッドカバーとの導通を図ることができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ノズルプレートの裏面に対するレーザーマーキングにより上記凹部と突出部とが形成されている場合には、
ノズルプレートの裏面にレーザーマーキングで凹部を形成することによりノズル面を盛り上げて突出部を形成すればよいことから、突出部の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ノズルプレートの裏面に対するプレス成形により上記凹部と突出部とが形成されている場合には、
ノズルプレートの裏面にプレス成形で凹部を形成することによりノズル面を盛り上げて突出部を形成すればよいことから、突出部の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記突出部はノズルプレートの端辺に沿った領域に形成されている場合には、
ノズルプレートの端辺に沿った領域でヘッドカバーとの導通を確保できることから、ヘッドカバーの窓から露出させるノズル面の有効面積を必要以上に狭くすることがないため、ヘッド自体の大型化を防ぐことができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記突出部はノズルプレートの端辺に沿って複数形成されている場合には、
複数の突出部のうちの１つででもヘッドカバーとの導通を確保できることから、導通不良によるトラブルの発生率が大幅に減少し、信頼性を確保することができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッドカバーは、ノズル面を覆うカバー部と、上記カバー部から屈曲形成されてヘッドケースの側面を覆う側面部と、上記側面部から屈曲形成されてヘッドカバーをネジ止めするためのネジ止め部とを含み、ノズル面とヘッドケースを覆ってネジ止めされるように構成され、上記突出部は、ノズルプレートのノズル面における上記ヘッドカバーのネジ止め部に近い領域に形成されている場合には、
ヘッドカバーのネジ止めによって、ヘッドカバーのカバー部をノズル面に対して押し付ける方向の力が加わることから、上記突出部をネジ止め部に近い領域に形成することにより、カバー部を突出部に対して押し付ける方向の力が加わりやすくなり、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記突出部は、ヘッドケースをネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部が側面部を介してノズル面に押し付けられる領域に形成されている場合には、
ヘッドカバーのネジ止めによって、ヘッドカバーのカバー部がノズル面に対して押し付ける方向の力が加わる領域に突出部を形成することにより、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ノズルプレートは基材プレートから複数のノズルプレートが取り出されて形成されるものであり、上記突出部は、少なくとも上記基材プレートから取り出されるノズルプレートの数を２進数にしたときの桁数だけ形成された突出部形成予定領域に形成されている場合には、
上記突出部を、基材プレートから複数のノズルプレートを取り出して形成する場合の取出したノズルプレートの不良解析のため、基材プレートにおけるそのノズルプレートの配置アドレスの表示を行うのに利用することができ、わざわざ突出部を形成させるためだけの工程を設ける必要が無く、工程効率やコスト面で極めて優れている。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記絶縁性被膜は撥水性被膜である場合には、
例えば、ガラス質やセラミック質の撥水効果の高い撥水性被膜を適用することができるようになり、ワイピングによる払拭後のノズル面の清浄度を向上させることができ、ノズル面の汚れにともなう噴射対象面の汚れや噴射不良を、安全に低減させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッドカバーを介してノズルプレートの導電性母材が接地されている場合には、
紙からノズルプレートに飛んできた静電気やノズルプレートの帯電を、ヘッドカバーを介して有効に逃がすことができ、ノズル面の汚れに伴う噴射不良やＩＣの損傷等を有効に防止することができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜を形成してノズルプレートを形成し、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することによりノズル面に導電性母材が突出した突出部を形成し、上記突出部の頂部近傍領域を、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成し、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とを導通させる。
このようにして、ノズル面に形成された突出部の頂部近傍領域において、ノズルプレートの導電性母材がヘッドカバーと確実に導通していることから、例えば撥水性被膜や親水性被膜として絶縁性被膜を形成したノズルプレートであっても、紙からノズルプレートに飛んできた静電気やノズルプレートの帯電を、ヘッドカバーを介して有効に逃がすことができ、ノズル面の汚れに伴う噴射不良やＩＣの損傷等を有効に防止することができるのである。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記導電性母材の突出部を絶縁性被膜の膜厚よりも大きい突出高さとする場合には、
絶縁性被膜の表面より突出した位置に母材露出部が形成され、より確実にヘッドカバーとの導通を図ることができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記ノズルプレートの裏面に対してレーザーマーキングをすることにより上記凹部と突出部とを形成する場合には、
ノズルプレートの裏面にレーザーマーキングで凹部を形成することによりノズル面を盛り上げて突出部を形成すればよいことから、突出部の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記ノズルプレートの裏面に対してプレス成形することにより上記凹部と突出部とを形成する場合には、
ノズルプレートの裏面にプレス成形で凹部を形成することによりノズル面を盛り上げて突出部を形成すればよいことから、突出部の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記突出部をノズルプレートの端辺に沿った領域に形成する場合には、
ノズルプレートの端辺に沿った領域でヘッドカバーとの導通を確保できることから、ヘッドカバーの窓から露出させるノズル面の有効面積を必要以上に狭くすることがないため、ヘッド自体の大型化を防ぐことができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記突出部をノズルプレートの端辺に沿って複数形成する場合には、
複数の突出部のうちの１つででもヘッドカバーとの導通を確保できることから、導通不良によるトラブルの発生率が大幅に減少し、信頼性を確保することができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記ヘッドカバーは、ノズル面を覆うカバー部と、上記カバー部から屈曲形成されてヘッドケースの側面を覆う側面部と、上記側面部から屈曲形成されてヘッドカバーをネジ止めするためのネジ止め部とを含むものであり、上記ヘッドカバーをノズル面とヘッドケースを覆ってネジ止めすることにより、上記突出部とヘッドカバーを導通させる場合には、
ヘッドカバーのネジ止めによって、ヘッドカバーのカバー部をノズル面に対して押し付ける方向の力が加わることから、カバー部を突出部に対して押し付ける方向の力が加わりやすくなり、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記突出部を、ノズルプレートのノズル面における上記ヘッドカバーのネジ止め部に近い領域に形成する場合には、
上記突出部をネジ止め部に近い領域に形成することにより、カバー部を突出部に対して押し付ける方向の力が加わりやすくなり、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記突出部を、ヘッドケースをネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部が側面部を介してノズル面に押し付けられる領域に形成する場合には、
ヘッドカバーのネジ止めによって、ヘッドカバーのカバー部がノズル面に対して押し付ける方向の力が加わる領域に突出部を形成することにより、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記ノズルプレートを基材プレートから複数のノズルプレートを取り出して形成する際、上記突出部を、少なくとも上記基材プレートから取り出されるノズルプレートの数を２進数にしたときの桁数だけ形成した突出部形成予定領域に形成する場合には、
上記突出部を、基材プレートから複数のノズルプレートを取り出して形成する場合の取出したノズルプレートの不良解析のため、基材プレートにおけるそのノズルプレートの配置アドレスの表示を行うのに利用することができ、わざわざ突出部を形成させるためだけの工程を設ける必要が無く、工程効率やコスト面で極めて優れている。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記桁数の各突出部形成予定領域に突出部を形成するかしないかにより、基材プレートにおけるそのノズルプレートの配置アドレスを表示する場合には、
上記突出部を、基材プレートにおけるそのノズルプレートの配置アドレスの表示を行うのに利用することにより、わざわざ突出部を形成させるためだけの工程を設ける必要が無く、工程効率やコスト面で極めて優れている。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法において、上記絶縁性被膜は撥水性被膜である場合には、
例えば、ガラス質やセラミック質の撥水効果の高い撥水性被膜を適用することができるようになり、ワイピングによる払拭後のノズル面の清浄度を向上させることができ、ノズル面の汚れにともなう噴射対象面の汚れや噴射不良を、安全に低減させることができる。

つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。

図１〜図３は、本発明の液体噴射ヘッドを適用したインクジェット式の記録ヘッド１の構造の一例を示す図である。この記録ヘッド１は、圧力発生手段としての圧電振動子１４が収容されるヘッドケース１６と、このヘッドケース１６のユニット固着面に接着剤等で固着される流路ユニット２６と、上記流路ユニット２６をカバーするヘッドカバー２７とを備えている。

上記流路ユニット２６は、列設された圧力発生室１９と上記各圧力発生室１９に供給するインクを貯留するインク貯留室１７を含む流路空間が形成された流路形成基板１１と、上記流路形成基板１１の一面に積層されて圧力発生室１９内のインクを噴射するノズル開口１５が形成されたノズルプレート１０と、上記流路形成基板１１の他面に積層されて圧力発生室１９を含む流路空間を封止する振動板（封止板）１２とが積層されて構成され、ノズルプレート１０のノズル開口１５から圧電振動子（圧力発生手段）１４によって加圧されたインクを噴射する。

上記ノズルプレート１０は、ノズル開口１５が複数列設されてノズル列２５が形成され、この例では６列のノズル列２５が形成されてそれぞれ異なる種類のインクを噴射するようになっている。このノズルプレート１０は、主としてステンレス板等の導電性材料から形成されている。上記ノズル列２５は、図３における紙面に垂直な方向に設けられている。

上記流路形成基板１１は、上記各ノズル開口１５に連通する圧力発生室１９が列設されている。また、各圧力発生室１９にインク供給路１８を介して連通して各圧力発生室１９に対して供給するインクを貯留する共通のインク貯留室１７が、上記圧力発生室１９の列に沿って配置されるよう形成されている。上記流路形成基板１１は、この例では、Ｓｉ単結晶基板をエッチングすることにより形成されている。

上記振動板１２は、この例では、ポリフェニレンサルファイドフィルム等の樹脂フィルムからなり、ステンレス板製の島部１３等がラミネートされて形成されている。

そして、上記流路形成基板１１の一面にノズルプレート１０が積層され、他面に振動板１２が島部１３を外側に配置するように積層されて流路ユニット２６が構成されている。上記流路形成基板１１、ノズルプレート１０、振動板１２に接着剤が塗布されて積層され、上下方向に圧力を加えながら所定の高温に加熱保持して接合したのち室温まで冷却することにより、上記流路ユニット２６がつくられる。

一方、上記ヘッドケース１６は、この例では、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂が射出成形されてなり、上記ヘッドケースは、圧電振動子１４を収容するケース本体部２４と、上記ケース本体部２４のユニット固着面と反対側に形成されたフランジ部２８とを備えて構成されている。

上記ケース本体部２４には、上下に貫通する収容空間２１が形成され、この収容空間２１に、上記各圧力発生室１９に対応するよう圧電振動子１４が収容されるようになっている。上記収容空間２１はノズル列２５の方向に延び、ノズル列２５に対応して６つ設けられる（図３では１つしか示していない）。上記圧電振動子１４は、縦振動モードの圧電振動子１４であり、後端側が固定板２０に固着されている。

上記フランジ部２８は、ケース本体部２４のユニット固着面と反対側において、ケース本体部２４の外周部から外方向に延びて張り出すように形成されている。

そして、上記ヘッドケース１６のユニット固着面に、流路ユニット２６の振動板１２側が接着剤で接合された状態で、圧電振動子１４の先端面が振動板１２の島部１３に固着されるとともに、固定板２０がヘッドケース１６に接着固定されている。

上記ヘッドカバー２７は、この例ではステンレス板等のような導電性の金属板が屈曲形成されたものであり、ヘッドケース１６に流路ユニット２６が固着されたヘッド本体２に取り付けられ、上記流路ユニット２６を覆ってカバーするようになっている。

上記ヘッドカバー２７は、上記ヘッド本体２の外周部分を覆う大略枠状に形成されており、ノズル面３０のノズル開口１５を露出させる窓３１を備えており、上記窓３１の周辺部でノズル面３０を覆うカバー部３２と、上記カバー部３２から屈曲形成されてヘッドケース１６の側面を覆う側面部３３と、上記側面部３３から屈曲形成されてヘッドカバー２７をネジ止めするためのネジ止め部３４とを含んで構成されている。

上記ヘッドカバー２７は、カバー部３２がノズル面３０のノズル列２５と直交する方向の両端部を覆い、側面部が流路ユニット２６の当該両端部ならびにヘッドケース１６の側面を覆い、ネジ止め部３４がヘッドケース１６のフランジ部２８に対してネジ３５によりネジ止めされている。

上記ネジ止め部３４は、ヘッドカバー２７のノズル列２５と直交する方向（記録ヘッド１がキャリッジで移動する方向である主走査方向である）の両側に形成されるとともに、ノズル列２５方向（上記主走査方向に直行する副走査方向である）の一方の側部に形成され、３箇所でヘッドカバー２７をネジ止めするようになっている。

上記ネジ止め部３４にら着されたネジ３５は、ヘッドカバー２７をヘッドケース１６に取り付けるとともに、ヘッド本体２を図示しないキャリッジに取り付けるようになっている。上記主走査方向の両側に形成されたネジ止め部３４は、副走査方向の片側に形成されたもう１つのネジ止め部とは反対側寄りに形成され、平面視四角形のヘッド本体を３点で支持するようになっている。

上記構成の記録ヘッド１は、駆動回路２３で発生させた駆動信号をフレキシブル回路板２２を介して圧電振動子１４に入力することにより、圧電振動子１４が長手方向に伸縮される。この圧電振動子１４の伸縮により、振動板１２の島部１３を振動させて圧力発生室１９内の圧力を変化させ、圧力発生室１９内のインクをノズル開口１５からインク滴として吐出させるようになっている。

上記記録ヘッド１は、記録用紙の紙幅方向に往復移動するキャリッジに取り付けられ、キャリッジを移動させながら記録用紙上にインク滴を吐出させ、記録用紙に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。

図４〜図５は上記記録ヘッド１の要部を示す図であり、図４（ａ）は記録ヘッド１の断面図、図４（ｂ）はノズルプレート１０のＡ−Ａ断面図、図４（ｃ）はノズルプレート１０の平面図、図５はノズルプレート１０の要部を示す斜視図である。

上記ノズルプレート１０は、ステンレス等から形成された導電性母材３６のノズル面３０側に、絶縁性被膜３７が形成されて構成されている。上記導電性母材の厚みは、特に限定するものではないが、噴射特性との兼ね合いで例えば３０〜１２０μｍ程度に設定される。上記絶縁性被膜３７の厚みは、特に限定するものではないが、導電性母材３６の厚みよりはかなり薄く設定され、例えば０．１〜１μｍ程度に設定される。

上記絶縁性被膜３７は、例えば撥水性を発揮するガラス質の被膜であり、例えば、導電性母材３６のノズル面３０側に、シリコーン材料をプラズマ重合することによりプラズマ重合膜を成膜し、このプラズマ重合膜の表面に撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜を成膜したもの等をあげることができる。

上記プラズマ重合膜の原料としては、シリコーン油、アルコキシシラン、具体的には、ジメチルポリシロキサン等が挙げられ、製品としては、ＴＳＦ４５１（ジーイー東芝シリコーン社製）、ＳＨ２００（東レ・ダウコーニング・シリコーン社製）等を用いることができる。上記プラズマ重合膜は、例えば、所定の負圧に吸引したチャンバ内にノズルプレート１０を配置し、原料のシリコーンを気化させて供給しながらチャンバ内にアルゴンプラズマを精製することにより形成させることができる。

上記金属アルコキシドの分子膜は、撥水性および撥油性を有していればいかなるものでもよいが、好ましくはフッ素を含む長鎖高分子基（以下、長鎖ＲＦ基という）を有する金属アルコキシドのまたは撥液基を有する金属酸塩の単分子膜である。前記金属アルコキシドとしては、例えばＴｉ、Ｌｉ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｔ、Ｂａ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｂｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｙ、Ｚｒ、Ｔａ等を使用する様々なものがあるが、ケイ素、チタン、アルミニウム、ジルコニウム等が一般的に用いられる。本実施形態ではケイ素を用いた物を使用し、好ましくはフッ素を含む長鎖ＲＦ基を有するアルコキシシラン、または撥液基を有する金属酸塩がよい。

長鎖ＲＦ基としては、分子量は１０００以上であり、例えば、パーフルオロアルキル鎖、パーフルオポリエーテル鎖等が挙げられる。この長鎖ＲＦ基を有するアルコキシシランとして、例えば、長鎖ＲＦ基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。本発明の撥液膜として適している長鎖ＲＦ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、ヘプタトリアコンタフルオロイコシルトリメトキシシランなどが挙げられるが、製品としてはオプツールＤＳＸ（商標、ダイキン工業社製）、ＫＹ−１３０（商標、信越化学工業社製）が挙げられる。フッ化炭素基（ＲＦ基）はアルキル基より表面自由エネルギーが小さいため、金属アルコキシドにＲＦ基を含有させることにより、形成する撥液膜の撥液性を向上させることができると共に、耐薬品性、耐候性、耐摩擦性等の特性も向上させることができる。また、ＲＦ基としては、長鎖構造が長いものが、より撥液性を持続させることができる。また撥液基を有する金属酸塩として、例えばアルミネートおよびチタネート等が挙げられる。

上記金属アルコキシドの分子膜は、例えば、上記プラズマ重合膜が成膜されたノズルプレート１０を２００〜４００℃の範囲に加熱し、金属アルコキシドをシンナー等の溶媒と混合して例えば０．１ｗｔ％の濃度に調整した溶液に浸漬することにより形成することができる。

なお、撥水性被膜としては上述したものに限定するものではなく、フッ素樹脂被膜等、各種の被膜を適用することができる。

そして、上記ノズルプレート１０のノズル面３０には、上記絶縁性被膜３７が除去されて導電性母材３６がノズル面３０に露出した母材露出部３８が形成され、上記母材露出部３８を介して導電性材料から形成されたヘッドカバー２７とノズルプレート１０の導電性母材３６とが導通している。

この例では、上記母材露出部３８は、つぎのようにして形成されている。すなわち、上記ノズルプレート１０のノズル面３０と反対側の裏面に凹部３９を形成することにより、ノズルプレート１０のノズル面３０に導電性母材３６が突出した突出部４０が形成され、上記突出部４０の頂部近傍領域が、絶縁性被膜３７が除去されて導電性母材３６が露出した母材露出部３８に形成されている。そして、上記母材露出部３８を介してヘッドカバー２７とノズルプレート１０の導電性母材３６とが導通している。

上記凹部３９と突出部４０は、例えば、上記ノズルプレート１０の裏面に対してレーザーマーキングを施すことにより、当該裏面に凹部３９を形成しノズル面３０に突出部４０を、盛り上げ形成することにより形成することができる。また、上記ノズルプレート１０の裏面に対してポンチを押し込むプレス成形を施すことにより、当該裏面に凹部３９を形成しノズル面３０に突出部４０を、盛り上げ形成することにより形成することができる。

上記導電性母材３６の突出部４０は、絶縁性被膜３７の膜厚よりも大きい突出高さとすることにより、突出部４０の頂部近傍が絶縁性被膜３７の表面よりもノズル面３０側に突出し、導電性母材３６がノズル面３０に露出する。すなわち、上記絶縁性被膜３７の膜厚は０．１〜１μｍ程度に設定されるのに対し、上記突出部４０の導電性母材３６のノズル面３０側表面からの突出高さは例えば約３〜６μｍに設定される。上記突出部４０の突出高さは、レーザーマーキングで凹部３９と突出部４０を形成する場合、母材の材質が同じであればレーザーマーキングの際のレーザー強度によって変わるので、レーザー強度を調節することによって制御ならびに管理を行うことができる。また、プレス成形で突出部４０を形成する場合、ポンチの押し込み度合いを調節することによって突出部４０の突出高さを制御し管理することができる。

図４（ｃ）および図５に示すように、上記突出部４０はノズルプレート１０のノズル面３０から端縁までにわたって形成されている。

図６（ａ）は、上記突出部４０が形成されたノズルプレート１０の平面図である。上記突出部４０は、ノズルプレート１０の端辺に沿った領域において、ノズルプレート１０の端辺に沿って複数形成されている。この例では、主走査方向の両端のうち一方のノズル列２５と平行な端辺において、ノズルプレート１０の略端から端までにわたって突出部４０が列設されている。

図６（ｂ）は、上記複数の突出部４０を形成する場合の詳細について説明する図である。

図７に示すように、上記ノズルプレート１０は１つの基材プレート４１から複数のノズルプレート１０が取り出されて形成されるものである。この例では、１枚の基材プレート４１から６枚のノズルプレート１０がプレスによる打抜きによって取出されるようになっている。４３は打抜かれたときにノズルプレート１０の外形線となる打抜き予定線４３である。

そして、このようにして１つの基材プレート４１から複数のノズルプレート１０を取出す場合、各ノズルプレート１０に対して、基材プレート４１におけるそのノズルプレート１０の配置を配置アドレスとして刻印等することにより、取出したノズルプレート１０の不良解析等に使用することが行われている。本発明では、このような配置アドレスの刻印と、ヘッドカバー２７とノズルプレート１０との導通用の突出部４０を兼用するようにしたのである。

この例では、１枚の基材プレート４１から６枚のノズルプレート１０を取り出し、基材プレート４１における配置によってそれぞれＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４，Ｎｏ．５，Ｎｏ．６のナンバー（配置アドレス）が割り当てられている。この配置アドレスを突出部４０を形成することにより、各ノズルプレート１０に刻印し表示する。

図６（ｂ）は、ノズルプレート１０に突出部４０によって上記配置アドレスを刻印し表示したものについて説明する図である。上記ノズルプレート１０には、配置アドレスを表示するための複数（この例では３つ）の突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成されている。各突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃにはそれぞれ１つの突出部４０を形成しうるようになっている。

また、上記３つの突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃの両側には、２つの突出部４０が隙間無く隣接して設けられた始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂとが形成され、始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂに挟まれた領域が配置アドレス表示領域であることを示している。そして、上記始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂの外側は、突出部４０が一定ピッチで並んで設けられた領域になっている。

上記突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃは、少なくとも上記基材プレート４１から取り出されるノズルプレート１０の数を２進数にしたときの桁数だけ形成されている。この例では、１枚の基材プレート４１から６枚のノズルプレート１０が取り出され、「６」を２進数にした「１１０」の桁数が「３」であることから、突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃは、少なくとも上記桁数の「３」だけ設けられる。なお、この例において、突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃを４つ以上設けてその内の３つだけ使用してもよい。

そして、３つの突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃのうち、始点マーク４４ａに近い突出部形成予定領域４２ａに突出部４０を形成するかしないかで２進数の１の位の「１」または「０」を表示し、次の突出部形成予定領域４２ｂに突出部４０を形成するかしないかで２進数の２の位の「１」または「０」を表示し、次の突出部形成予定領域４２ｃに突出部４０を形成するかしないかで２進数の４の位の「１」または「０」を表示することにより、配置アドレスを表示するようになっている。ここで、この例の場合、突出部４０を形成したときが「１」、形成していないときが「２」になっている。

すなわち、配置アドレスが「Ｎｏ．１」のノズルプレート１０には、１の位の突出部形成予定領域４２ａに突出部４０を形成し、２の位の突出部形成予定領域４２ｂおよび４の位の突出部形成予定領域４２ｃには突出部４０を形成しないことにより、２進数の「００１」すなわち配置アドレスの「１」を表示する。配置アドレスが「Ｎｏ．２」のノズルプレート１０には、２の位の突出部形成予定領域４２ｂに突出部４０を形成し、１の位の突出部形成予定領域４２ａおよび４の位の突出部形成予定領域４２ｃには突出部４０を形成しないことにより、２進数の「０１０」すなわち配置アドレスの「２」を表示する。

配置アドレスが「Ｎｏ．３」のノズルプレート１０には、１の位の突出部形成予定領域４２ａおよび２の位の突出部形成予定領域４２ｂに突出部４０を形成し、４の位の突出部形成予定領域４２ｃには突出部４０を形成しないことにより、２進数の「０１１」すなわち配置アドレスの「３」を表示する。配置アドレスが「Ｎｏ．４」のノズルプレート１０には、４の位の突出部形成予定領域４２ｃに突出部４０を形成し、１の位の突出部形成予定領域４２ａおよび２の位の突出部形成予定領域４２ｂには突出部４０を形成しないことにより、２進数の「１００」すなわち配置アドレスの「４」を表示する。

同様にして、配置アドレスが「Ｎｏ．５」のノズルプレート１０には、２進数の「１０１」すなわち配置アドレスの「５」を表示し、配置アドレスが「Ｎｏ．６」のノズルプレート１０には、２進数の「１１０」すなわち配置アドレスの「６」を表示する。

この例では、ノズルプレート１０の端縁に沿って複数の突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃを設け、上記端縁を手前にした状態で、右側に始点マーク４４ａ，左側に終点マーク４４ｂを配置し、始点マーク４４ａに近い側から順に、１の位の突出部形成予定領域４２ａ、２の位の突出部形成予定領域４２ｂ、４の位の突出部形成予定領域４２ｃ、と位をあげるように突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃを形成している。

このようにして、始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂに挟まれた配置アドレス表示領域の３つの複数の突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃに、それぞれ突出部４０を形成するかしないかにより、基材プレート４１におけるそのノズルプレート１０の配置アドレスを表示しているのである。

そして、上記のようにして形成したノズルプレート１０を用いて流路ユニット２６が形成され、記録ヘッド１が形成される（図１〜図３参照）。

この状態で、上記ヘッドカバー２７は、キャリッジに形成された接点プレート、キャリッジの往復移動をガイドするガイドバーを介して記録装置の筐体に電気的に接続され、これにより、上記ヘッドカバー２７を介してノズルプレート１０の導電性母材３６が接地されている。

つぎに、本発明の記録ヘッド１の製造方法について説明する。

図７は、基材プレート４１の一例であり、導電性母材３６の板材を準備し、まず、打抜き予定線４３の内側の所定位置に、プレス加工やレーザ加工等によりノズル開口１５を形成する。

つぎに、図９（ａ）および図９（ｂ）に示すように、上記ノズル開口１５を形成した基材プレート４１のノズル面３０側の表面に、絶縁性被膜３７を形成する。

つぎに、図８および図９（ｃ）に示すように、上記絶縁性被膜３７を形成した基材プレート４１のノズル面３０と反対の裏面側に、レーザーマーキングもしくはプレス成形により凹部３９を形成し、それに対応するノズル面３０に突出部４０を盛り上げ形成する。このとき、突出部４０は、ノズルプレート１０となる領域の主走査方向の両端のうち一方のノズル列２５と平行な端辺において、打抜き予定線４３に沿って複数列設する。

そして、図９（ｄ）に示すように、上記突出部４０の頂部近傍領域の絶縁性被膜３７を除去して導電性母材３６を露出させ、母材露出部３８を形成する。このとき、絶縁性被膜３７の除去は、ノズルプレート１０のノズル面３０に研磨加工を施すことにより絶縁性被膜３７を研磨除去するようにしてもよい。また、特に絶縁性被膜３７の除去工程を設けず、ヘッドカバー２７をネジ止めする際の突出部４０の頂部とヘッドカバー２７との摩擦により絶縁性被覆３７を除去し、ヘッドカバー２７の組み付け工程において、突出部４０に母材露出部３８を形成するとともに、当該母材露出部３８とヘッドカバー２７との導通を確保するようにしてもよい。

さらに、各ノズルプレート１０には、上述したように、始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂをレーザーマーキングにより形成するとともに、始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂの外側には一定ピッチで突出部４０を形成する。

そして、上記始点マーク４４ａと終点マーク４４ｂの間に複数（この例では３つ）設けた突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃに、それぞれ突出部４０を形成するかしないかにより、上述したように、各ノズルプレートの配置アドレスの刻印と表示が行われる。

そして、上記打抜き予定線４３を打抜いてノズルプレート１０の外形を形成し、図６に示すようなノズルプレート１０が形成される。

ついで、図１０（ａ）に示すように、上記のようにして形成したノズルプレート１０を、流路形成基板１１および振動板１２と積層して接着剤で接合し、流路ユニット２６を形成する。このとき、ノズルプレート１０のノズル面３０には、上述した突出部４０が形成されているため、ノズル面３０にクッションシート４６を載置し、上記クッションシート４６を介して押圧治具４７で押圧して圧力をかけて接合することが行われる。

つぎに、図１０（ｂ）に示すように、上記のようにして形成した流路ユニット２６を、ヘッドケース１６に接着剤で接合し、ヘッド本体２を形成する。このときも、ノズル面３０にクッションシート４６を載置し、上記クッションシート４６を介して押圧治具４７で押圧して圧力をかけて接合することが行われる。

上記クッションシート４６としては、例えばフッ素樹脂シート等を用いることができ、突出部４０の突出高さを３〜６μｍ程度に設定していることから、上記フッ素樹脂シートで充分に突出部４０を吸収してむらなく接合することができる。

そして、図１１に示すように、上記のようにして形成したヘッド本体２にヘッドカバー２７を取り付ける。すなわち、ノズル面３０のノズル開口１５が窓３１から露出するようにヘッドカバー２７をヘッド本体２に被せ、３箇所のネジ止め部３４をフランジ部２８にネジ３５でネジ止めすることにより、ヘッドカバー２７をヘッド本体２に取り付ける。このとき、上記ヘッドカバー２７をノズル面３０とヘッドケース１６を覆ってネジ止めすることにより、上記突出部４０の頂部の母材露出部３８とヘッドカバー２７が当接し、突出部４０とヘッドカバー２７が導通する。

このとき、図９（ｃ）に示したように、ノズルプレート１０の突出部４０の頂部が絶縁性被膜３７で覆われた状態でヘッドカバー２７を取り付ける。この取り付けの際のネジ止めによって、ヘッドカバー２７のカバー部３２が突出部４０の頂部近傍領域に擦れることにより、図９（ｄ）に示したように、擦れたところの絶縁性被膜３７が剥がれ、導電性母材３６が露出して母材露出部３８が形成され、ヘッドカバー２７とノズルプレート１０の導電性母材３６の導通が図られる。

そして、ヘッドカバー２７は、ネジ止め部３４をネジ止めすることにより、ヘッドカバー２７のカバー部３２をノズル面３０に押し付ける力が働くことから、図１２に示すように、上記突出部４０を、ノズルプレート１０のノズル面３０における上記ヘッドカバー２７のネジ止め部３４に近い領域に形成することにより、突出部４０とヘッドカバー２７との導通をより確実にすることができる。この例では、ネジ止め部３４がヘッド本体２の主操作方向の両側部に形成されていることから。突出部４０の列は、ノズルプレート１０の主操作方向の一方の端部近傍の領域に列設している。

上記３つのネジ止め部３４には、通常の右ネジをら着させたときに右回りのトルクが働く。したがって、３つのネジ止め部３４のうち図示の右側のネジ止め部３４ａにおいては、ヘッドカバー２７をネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部３２が側面部３３を介してノズル面３０に押し付けられる力が作用することとなる（図１１（ｂ）（ｃ）参照）。したがって、図１２に示すように、上記突出部４０を、ヘッドカバー２７をネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部３２が側面部３３を介してノズル面３０に押し付けられる領域に形成するのが導通を確実にするうえでより好ましい。この例では、図１２の鎖線で囲った領域Ｃである。

以上のように、本発明によれば、ノズル面３０に形成された突出部４０の頂部近傍領域において、ノズルプレート１０の導電性母材３６がヘッドカバー２７と確実に導通していることから、例えば撥水性被膜や親水性被膜として絶縁性被膜３７を形成したノズルプレート１０であっても、紙からノズルプレート１０に飛んできた静電気やノズルプレート１０の帯電を、ヘッドカバー２７を介して有効に逃がすことができ、ノズル面３０の汚れに伴う噴射不良やＩＣの損傷等を有効に防止することができるのである。

また、上記導電性母材３６の突出部４０は絶縁性被膜３７の膜厚よりも大きい突出高さであるため、絶縁性被膜３７の表面より突出した位置に母材露出部３８が形成され、より確実にヘッドカバー２７との導通を図ることができる。

また、上記ノズルプレート１０の裏面に対するレーザーマーキングにより上記凹部３９と突出部４０とが形成されている場合には、ノズルプレート１０の裏面にレーザーマーキングで凹部３９を形成することによりノズル面３０を盛り上げて突出部４０を形成すればよいことから、突出部４０の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部４０を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

また、上記ノズルプレート１０の裏面に対するプレス成形により上記凹部３９と突出部４０とが形成されている場合には、ノズルプレート１０の裏面にプレス成形で凹部３９を形成することによりノズル面３０を盛り上げて突出部４０を形成すればよいことから、突出部４０の形成が容易で不必要に製造コストをあげるのを防止し、突出部４０を形成させる位置精度も向上させることができて信頼性を確保できる。

また、上記突出部４０はノズルプレート１０の端辺に沿った領域に形成されているためノズルプレート１０の端辺に沿った領域でヘッドカバー２７との導通を確保できることから、ヘッドカバー２７の窓３１から露出させるノズル面３０の有効面積を必要以上に狭くすることがないため、ヘッド自体の大型化を防ぐことができる。

また、上記突出部４０はノズルプレート１０の端辺に沿って複数形成されているため、複数の突出部４０のうちの１つででもヘッドカバー２７との導通を確保できることから、導通不良によるトラブルの発生率が大幅に減少し、信頼性を確保することができる。

また、上記ヘッドカバー２７は、ノズル面３０を覆うカバー部３２と、上記カバー部３２から屈曲形成されてヘッドケース１６の側面を覆う側面部３３と、上記側面部３３から屈曲形成されてヘッドカバー２７をネジ止めするためのネジ止め部３４とを含み、上記ヘッドカバー２７をノズル面３０とヘッドケース１６を覆ってネジ止めすることにより、上記突出部４０とヘッドカバー２７を導通させているため、ヘッドカバー２７のネジ止めによって、ヘッドカバー２７のカバー部３２をノズル面３０に対して押し付ける方向の力が加わることから、カバー部３２を突出部４０に対して押し付ける方向の力が加わりやすくなり、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

また、上記突出部４０を、ノズルプレート１０のノズル面３０における上記ヘッドカバー２７のネジ止め部３４に近い領域に形成したため、上記突出部４０をネジ止め部３４に近い領域に形成することにより、カバー部３２を突出部４０に対して押し付ける方向の力が加わりやすくなり、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

また、上記突出部４０を、ヘッドカバー２７をネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部３２が側面部３３を介してノズル面３０に押し付けられる領域に形成したため、ヘッドカバー２７のネジ止めによって、ヘッドカバー２７のカバー部３２がノズル面３０に対して押し付ける方向の力が加わる領域に突出部４０を形成することにより、導通の確保がより確実に行われ、信頼性を向上させることができる。

また、上記ノズルプレート１０を基材プレート４１から複数のノズルプレート１０を取り出して形成する際、上記突出部４０を、少なくとも上記基材プレート４１から取り出されるノズルプレート１０の数を２進数にしたときの桁数だけ形成した突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃに形成するため、上記突出部４０を、基材プレート４１から複数のノズルプレート１０を取り出して形成する場合の取出したノズルプレート１０の不良解析のため、基材プレート４１におけるそのノズルプレート１０の配置アドレスの表示を行うのに利用することができ、わざわざ突出部４０を形成させるためだけの工程を設ける必要が無く、工程効率やコスト面で極めて優れている。

また、上記桁数の各突出部形成予定領域４２ａ，４２ｂ，４２ｃに突出部４０を形成するかしないことにより、基材プレート４１におけるそのノズルプレート１０の配置アドレスを表示するため、上記突出部４０を、基材プレート４１におけるそのノズルプレート１０の配置アドレスの表示を行うのに利用することにより、わざわざ突出部４０を形成させるためだけの工程を設ける必要が無く、工程効率やコスト面で極めて優れている。

また、上記絶縁性被膜３７は撥水性被膜であるため、例えば、ガラス質やセラミック質の撥水効果の高い撥水性被膜を適用することができるようになり、ワイピングによる払拭後のノズル面の清浄度を向上させることができ、ノズル面の汚れにともなう噴射対象面の汚れや噴射不良を、安全に低減させることができる。

また、上記ヘッドカバー２７を介してノズルプレート１０の導電性母材３６が接地されているため、紙からノズルプレート１０に飛んできた静電気やノズルプレートの帯電を、ヘッドカバー２７を介して有効に逃がすことができ、ノズル面３０の汚れに伴う噴射不良やＩＣの損傷等を有効に防止することができる。

図１３は、本発明の第２例のノズルプレート１０を示す。この例では、突出部４０の列がノズルプレート１０における主操作方向の両端縁近傍領域に形成されている。

この例は、ヘッドカバー２７の取り付けの際の突出部４０とヘッドカバー２７との摩擦によって絶縁性被膜３７を剥がして母材露出部３８を形成するのではなく、ノズルプレート１０のノズル面３０の研磨等によって突出部４０の頂部近傍領域の絶縁性被膜３７を除去し、母材露出部３８を形成するのに適している。

すなわち、突出部４０の頂部が絶縁性被膜３７で覆われた状態のノズルプレート１０を、流路ユニット２６に組み付けて流路ユニット２６の状態でノズルプレート１０のノズル面を研磨して突出部４０の頂部近傍領域の絶縁性被膜３７を除去したり、あるいは、上記流路ユニット３６をヘッドケース１６に固着して形成したヘッド本体２の状態でノズルプレート１０のノズル面を研磨して突出部４０の頂部近傍領域の絶縁性被膜３７を除去したりして、母材露出部３８を形成する場合に、ノズルプレート１０の主操作方向の両端縁近傍領域において突出部４０を列設することにより、研磨中の流路ユニット２６やヘッド本体２の姿勢を安定させ、研磨時のノズル面３０の傷付き等が防止される。それ以外は上記実施例と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。また、この例でも上記実施例と同様の作用効果を奏する。

なお、上述した説明は、絶縁性被膜３７が撥水性被膜である例を説明したが、これに限定するものではなく、上記絶縁性被膜３７として浸水性被膜等、ノズルプレート１０のノズル面３０に適する特性の被膜であれば、各種の絶縁性被膜３７を適用することができる。

また、上述した説明は、基材プレート４１から複数のノズルプレート１０をプレスにより打抜いて取り出す例を説明したが、これに限定するものではなく、レーザ切断等、プレス以外の方法で取り出すものも含む趣旨である。

上記各実施例では、縦振動モードの圧電振動子１４を備えた記録ヘッド１について説明したが、これに限定するものではなく、本発明は撓み振動モードの圧電振動子を備えた記録ヘッド１に適用することもできるし、圧力発生手段として圧電振動子ではなく、圧力発生室内部の液体を加熱して気泡を発生させるバブルジェット（登録商標）タイプの記録ヘッド１に適用することも可能である。

本発明は、液体噴射装置に適用可能であり、その代表例としては、画像記録用のインクジェット式記録ヘッド１を備えたインクジェット式記録装置がある。その他の液体噴射装置としては、例えば液晶ディスプレー等のカラーフィルタ製造に用いられる色材噴射ヘッドを備えた装置、有機ＥＬディスプレー、面発光ディスプレー（ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材（導電ペースト）噴射ヘッドを備えた装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを備えた装置、精密ピペットとしての試料噴射ヘッドを備えた装置等があげられる。

本発明が適用される記録ヘッドの一例を示す斜視図である。 上記記録ヘッドを示す分解斜視図である。 上記記録ヘッドを示す断面図である。 上記記録ヘッドの要部を示す図である。 ノズルプレートの要部を示す斜視図である。 ノズルプレートを示す図である。 ノズルプレートの製造工程を説明する図である。 ノズルプレートの製造工程を説明する図である。 ノズルプレートの製造工程を説明する図である。 ノズルプレートの製造工程を説明する図である。 ノズルプレートの製造工程を説明する図である。 上記記録ヘッドの作用を説明する図である。 ノズルプレートの第２例を示す図である。

符号の説明

１ 記録ヘッド，２ ヘッド本体，１０ ノズルプレート，１１ 流路形成基板，１２ 振動板，１３ 島部，１４ 圧電振動子，１５ ノズル開口，１６ ヘッドケース，１７ インク貯留室，１８ インク供給路，１９ 圧力発生室，２０ 固定板，２１ 収容空間，２２ フレキシブル回路板，２３ 駆動回路，２４ ケース本体部，２５ ノズル列，２６ 流路ユニット，２７ ヘッドカバー，２８ フランジ部，３０ ノズル面，３１ 窓，３２ カバー部，３３ 側面部，３４ ネジ止め部，３５ ネジ，３６ 導電性母材，３７ 絶縁性被膜，３８ 母材露出部，３９ 凹部，４０ 突出部，４１ 基材プレート，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ 突出部形成予定領域，４３ 打抜き予定線，４４ａ 始点マーク，４４ｂ 終点マーク，４６ クッションシート，４７ 押圧治具

Claims (23)

1. ノズルプレートのノズル開口から圧力発生手段によって加圧された液体を噴射する流路ユニットと、上記流路ユニットが固着されるヘッドケースと、上記ノズル開口を露出させる窓を備えたヘッドカバーとを備え、
   上記ノズルプレートは導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜が形成され、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することにより、ノズルプレートのノズル面に導電性母材が突出した突出部が形成され、上記突出部の頂部近傍領域が、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成され、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とが導通していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 上記導電性母材の突出部は絶縁性被膜の膜厚よりも大きい突出高さである請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 上記ノズルプレートの裏面に対するレーザーマーキングにより上記凹部と突出部とが形成されている請求項１または２記載の液体噴射ヘッド。
4. 上記ノズルプレートの裏面に対するプレス成形により上記凹部と突出部とが形成されている請求項１または２記載の液体噴射ヘッド。
5. 上記突出部はノズルプレートの端辺に沿った領域に形成されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 上記突出部はノズルプレートの端辺に沿って複数形成されている請求項５記載の液体噴射ヘッド。
7. 上記ヘッドカバーは、ノズル面を覆うカバー部と、上記カバー部から屈曲形成されてヘッドケースの側面を覆う側面部と、上記側面部から屈曲形成されてヘッドカバーをネジ止めするためのネジ止め部とを含み、ノズル面とヘッドケースを覆ってネジ止めされるように構成され、
   上記突出部は、ノズルプレートのノズル面における上記ヘッドカバーのネジ止め部に近い領域に形成されている請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 上記突出部は、ヘッドケースをネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部が側面部を介してノズル面に押し付けられる領域に形成されている請求項７記載の液体噴射ヘッド。
9. 上記ノズルプレートは基材プレートから複数のノズルプレートが取り出されて形成されるものであり、上記突出部は、少なくとも上記基材プレートから取り出されるノズルプレートの数を２進数にしたときの桁数だけ形成された突出部形成予定領域に形成されている請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 上記絶縁性被膜は撥水性被膜である請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 上記ヘッドカバーを介してノズルプレートの導電性母材が接地されている請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
12. ノズルプレートのノズル開口から圧力発生手段によって加圧された液体を噴射する流路ユニットと、上記流路ユニットが固着されるヘッドケースと、上記ノズル開口を露出させる窓を備えたヘッドカバーとを準備し、
    導電性母材のノズル面側に絶縁性被膜を形成してノズルプレートを形成し、上記ノズルプレートのノズル面と反対側の裏面に凹部を形成することによりノズル面に導電性母材が突出した突出部を形成し、上記突出部の頂部近傍領域を、絶縁性被膜が除去されて導電性母材が露出した母材露出部に形成し、上記母材露出部を介して導電性材料から形成されたヘッドカバーとノズルプレートの導電性母材とを導通させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
13. 上記導電性母材の突出部を絶縁性被膜の膜厚よりも大きい突出高さとする請求項１２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
14. 上記ノズルプレートの裏面に対してレーザーマーキングをすることにより上記凹部と突出部とを形成する請求項１２または１３記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
15. 上記ノズルプレートの裏面に対してプレス成形することにより上記凹部と突出部とを形成する請求項１２または１３記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
16. 上記突出部をノズルプレートの端辺に沿った領域に形成する請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
17. 上記突出部をノズルプレートの端辺に沿って複数形成する請求項１６記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
18. 上記ヘッドカバーは、ノズル面を覆うカバー部と、上記カバー部から屈曲形成されてヘッドケースの側面を覆う側面部と、上記側面部から屈曲形成されてヘッドカバーをネジ止めするためのネジ止め部とを含むものであり、
    上記ヘッドカバーをノズル面とヘッドケースを覆ってネジ止めすることにより、上記突出部とヘッドカバーを導通させる請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
19. 上記突出部を、ノズルプレートのノズル面における上記ヘッドカバーのネジ止め部に近い領域に形成する請求項１８記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
20. 上記突出部を、ヘッドケースをネジ止めする際の締め付けトルクにより、カバー部が側面部を介してノズル面に押し付けられる領域に形成する請求項１８または１９記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
21. 上記ノズルプレートを基材プレートから複数のノズルプレートを取り出して形成する際、上記突出部を、少なくとも上記基材プレートから取り出されるノズルプレートの数を２進数にしたときの桁数だけ形成した突出部形成予定領域に形成する請求項１２〜２０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
22. 上記桁数の各突出部形成予定領域に突出部を形成するかしないかにより、基材プレートにおけるそのノズルプレートの配置アドレスを表示する請求項２１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
23. 上記絶縁性被膜は撥水性被膜である請求項１２〜２２のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
    

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