JP2007123736A - 放熱器 - Google Patents

Abstract

【課題】 受熱体を積層して内部に水路及び放熱フィンを形成した放熱構造であって、低圧力損失で放熱効果が高く、大型の冷却水循環装置を用いなくとも発熱体の熱を十分に除去すること。
【解決手段】 受熱を行う板状の第１〜第５の受熱体１１〜１５が複数積層されて接合され、最上層の表面に接合された発熱体９９の冷却用の冷却水の水路が、最下層１１の給水口から導かれたのち発熱体９９の下方７の層１１〜１５を通過して排水口まで連通して形成され、且つその下方に櫛歯状の放熱フィン２，３がフィン間に水路を伴って形成され、このフィン間の水路と給水口又は排水口へつながる水路とを上下方向で連通する連通孔が形成されている。その放熱フィンの各フィン２ｈ，２ｉ，２ｊ，４ｉ，４ｊ，４ｋを、当該放熱フィンが形成された層の厚みの略半分の位置で、２ｉと２ｊ並びに４ｊと４ｋで示すように、フィン隣接方向に所定ピッチずれた段差状態に形成する。
【選択図】 図１４

Description

本発明は、高出力ＬＤ（レーザーダイオード）アレイ等の高熱を発生する装置に適用される水冷式の放熱器に関する。

この種の従来技術として例えば、図１９〜図２７に示す高出力ＬＤアレイ用の５層構造の放熱器がある。
図１９（ａ）は、従来の放熱器１００の全体の構造を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の放熱器１００をＪ１−Ｊ２線で縦方向に切断した際の断面図である。
図２０は、放熱器１００の第１（１層目）の受熱体１の構造を示す斜視図である。

図２１は、放熱器１００の第２（２層目）の受熱体２の構造を示す斜視図である。
図２２は、放熱器１００の第３（３層目）の受熱体３の構造を示す斜視図である。
図２３は、放熱器１００の第４（４層目）の受熱体４の構造を示す斜視図である。
図２４は、放熱器１００の第５（５層目）の受熱体５の構造を示す斜視図である。
図２５は、第１の受熱体１に第２の受熱体２を積層した構造を示す斜視図である。

図２６は、第１〜第３の受熱体１〜３を順次積層した構造を示す斜視図である。
図２７（ａ）は、第１〜第４の受熱体１〜４を順次積層した構造を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の構造に更に第５の受熱体５を積層すると共にＬＤアレイ９９を固定した構造をＩ１−Ｉ２線で横方向に切断した際の断面図である。
高出力のＬＤアレイ９９は、発熱密度が数十〜数百Ｗ／ｃｍ²程度と大きいため、ＬＤアレイ９９の温度上昇によりレーザー出力、効率、発信波長、素子寿命に大きな影響を与える。従って、ＬＤアレイ９９で発生した熱をいかに除去するかが非常に重要な課題になる。

また、このＬＤアレイ９９の大きさが長さ１０ｍｍ×幅１〜１．５ｍｍ程度と受熱体１０５との接触面積が非常に小さく、空冷式では温度上昇が押えきれないため、この種の放熱器１００では内部に水路を設け水冷式の放熱を行っている。
この放熱器１００の水路は通常熱伝道の良い銅、アルミニュウムなどで製作されており、水路の形成については化学エッチングや精密プレスなどにより形成されるのが一般的である。

そこで、放熱器１００は、各々長方形で板状の第１〜第５の受熱体１〜５の各々に、給水口ｉｎとなる円形状の貫通口１ｃ，２ｃ，３ｃ，４ｃ，５ｃと、排水口ｏｕｔとなる円形状の貫通口１ｂ，２ｂ，３ｂ，４ｂ，５ｂとを設けて１層目から５層目まで順次積層し、各受熱体１〜５を気密状で且つ熱的に接合して構成されている。
また、第１〜第５の受熱体１〜５の１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａは、円形状の貫通口であり放熱器をねじ等で固定する際に使用される。なお、斜視図には省略しているが、断面図に示すように、放熱器１００の先端部７にはＬＤアレイ９９が搭載固定されている。

更に、放熱器１００は水路を板材にハーフエッチングをせず、上記のように穴を貫通させて形成しているので、水路面積の大きい部分についてはリブ（例えば２ｅ，３ｅ，４ｆ）を用い流路面積と放熱器１００の強度を確保している。
また、放熱器１００の給水、排水口周辺は、パッキンなどにより気密にシールされるが、その際、パッキンを潰す時の力により板材に変形が生じ冷却水漏れが発生しないように、リブ（例えば図２１に示す２ｅ，２ｋ、図２２に示す３ｇ，３ｈ）を設け、これによって剛性を確保している。
図２３に示す第４の受熱体４のリブ４ｅは、放熱器１００をスタックした場合のシール材を収納する部分になり面積を大きくしてある。図２４に示す第５の受熱体５は最上層であって、その上面の先端部７に図１９（ｂ）に示すようにＬＤアレイ９９を搭載する。また円状の開口部５ｃ，５ｂは、上記のシール材収納時のガイドとなる。

次に、このような構造の放熱器１００による放熱動作を説明する。
図示せぬ冷却水循環装置（ポンプ）から図２５に示すように、放熱器１００の給水口ｉｎに導かれた冷却水は、第２の受熱体２の給水口２ｃまで到達する。この冷却水は、リブ２ｋがあるため、図２６に示す更に上層の第３の受熱体３に設けられた開口部３ｙから流入し、再び下層の第２の受熱体２の空間２ｇまで到達する。更にこの冷却水は、放熱フィン２ｍの間２ｖを通り、ここで熱交換されながら末端まで到達する。

その後、冷却水は上層の第３の受熱体３に設けられた連通孔３ｋを通り、図２７に示す第４の受熱体４の放熱フィン４ｈの間４ｉを、３層目とは逆方向に熱交換されながら空間４ｄまで導かれる。ここで、冷却水は、リブ４ｆにより流れがせき止められ、空間４ｄから図２６に示す第２及び第３の受熱体２，３に設けられた空間部３ｄ，２ｄに流れ込む。この流れ込んだ冷却水は、リブ３ｅ，２ｅにより一旦流れが堰き止められ、上方の第５の受熱体５の空間部５ｄに流入する。

このような動作を繰り返しながら冷却水は排水口ｏｕｔに向かう。ここで、排水口ｏｕｔの直前に第２の受熱体２のリブ２ｅにより流れが堰きとめられるので、冷却水は一旦上昇し、第３の受熱体３の空間部３ｚを通過し、排水口ｏｕｔより外部に排出される。
この種の従来の放熱器として、例えば特許文献１及び特許文献２に記載のものがある。
ＷＯ００／１１９２２号公報 特開平８−１３９４７９号公報

上述したように、従来の放熱器１００においては、ＬＤアレイ９９で発生した熱を直接最上層の受熱体５に熱伝導させ、その下部の第４の受熱体４に設けられた放熱フィン４ｈにより効率良く熱を除去することができる。しかし、放熱フィン４ｈの間隔や幅などは製作上の制約から実装数を増加させるには限界があり、高出力ＬＤアレイ９９を搭載した場合、充分に熱を除去することができないという問題がある。

また、放熱器１００では、板状部材を貫通して水路を形成しているので給排水口周辺が強度的に弱くなる。これを補ってシール材による強度を確保するためリブ２ｋ，２ｅを形成している。しかし、そのリブ２ｋ，２ｅにより流路断面積が狭められ、冷却水の流入時や排水時に圧力損失が著しく大きくなるという問題がある。
更に、その圧力損失については流路断面積が大きい給水口ｉｎから放熱器１００内に冷却水が流入する際、急激な流路断面積の縮小により圧力損失が増大する。逆に冷却水が排水口ｏｕｔに流出する際にも流路断面積の急拡大により圧力損失が増大する。圧力損失が増大することによる弊害として、冷却水循環装置（ポンプ）の負荷が大きくなるので、その装置を大型化しなければならないという問題がある。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、受熱体を積層して内部に水路及び放熱フィンを形成した放熱構造であって、低圧力損失で放熱効果が高く、大型の冷却水循環装置を用いなくとも発熱体の熱を十分に除去することができる放熱器を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明の請求項１による放熱器は、受熱を行う板状の受熱体が複数積層されて接合され、最上層の表面に接合された発熱体の冷却用の冷却水の水路が、最下層の給水口から導かれたのち発熱体の下方の層を通過して排水口まで連通して形成され、且つその下方に櫛歯状の放熱フィンがフィン間に水路を伴って形成され、このフィン間の水路と給水口又は排水口へつながる水路とを上下方向で連通する連通孔が形成される放熱器において、前記放熱フィンの各フィンを、当該放熱フィンが形成された層の厚みの略半分の位置で、フィン隣接方向に所定ピッチずれた段差状態に形成したことを特徴とする。
この構成によれば、放熱フィンの各フィンが所定ピッチずれた段差状態に形成されているので、フィン自体の表面積が拡大し、これに応じて放熱面積が拡大するため放熱効率が向上する。これによって、放熱フィン間に流入した冷却水が効率よく発熱体の熱を冷却する。

また、本発明による請求項２による放熱器は、請求項１において、前記連通孔の内壁を、当該連通孔が形成された層の厚みの略半分の位置で、前記フィン隣接方向と同方向に所定ピッチずれた段差状態に形成したことを特徴とする。
この構成によれば、連通孔の内壁がフィン隣接方向と同方向に所定ピッチずれた段差状態、つまり冷却水が通過する上下方向と直交方向に段差状にずれた状態に形成されているので、内壁に上下方向の垂直面と、この垂直面に直交する水平面とができる。このため、冷却水が連通孔を発熱体のある上方向へ向かう際に水平面に衝突して乱流が生じるので、熱伝達率が大幅に向上する。

また、本発明による請求項３による放熱器は、請求項１または２において、前記所定ピッチずれた段差状態は、層の上下面からエッチングで削り取って成形することを特徴とする。
この構成によれば、放熱フィン又は連通孔の内壁の段差状のずれを、通常の両面エッチング方法で簡単に実現することができるので、低コストで実現することができる。

また、本発明による請求項４による放熱器は、請求項１から３の何れか１項において、前記放熱フィンの形成された層が、前記連通孔の形成された層の上下に配置され、その上下の放熱フィンのフィン間の水路が前記連通孔で連通された層構造の場合に、前記上下の放熱フィンの各フィンが、前記所定ピッチずれた段差状態に形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、各フィンが所定ピッチずれた段差状態に形成された放熱フィンが更に発熱体の下方に配置されるので、更にフィンの表面積が拡大し、これに応じて放熱面積が更に拡大するため放熱効率がより向上する。これによって、放熱フィン間に流入した冷却水が、より効率よく発熱体の熱を冷却する。

また、本発明による請求項５による放熱器は、請求項４において、前記連通孔の上下に放熱フィンが配置された層構造において、当該連通孔を挟んだ放熱フィンの層部分の断面形状がジグザグの段差状態に形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、上下方向の冷却水通路がジグザグになるので、冷却水の乱流化が促進され、更に冷却性能を向上させることができる。

また、本発明による請求項６による放熱器は、請求項１から５の何れか１項において、前記給水口が形成された最下層の上に積層され、前記放熱フィンが形成された層において、前記給水口に組み合わされる環状のリブを前記給水口の中心から同心円状に拡大させ、この拡大によって前記リブが、前記最下層への積層時に前記給水口の周囲面に対して当該周囲面が所定幅露出されて段差状態に組み合わされ、その露出面が水路となるようにし、また、前記拡大されたリブ上に所定間隔で複数の凸部を設け、これら凸部の形成層上に前記連通孔の形成された層が積層された際に、前記複数の凸部間の凹部が水路となるようにしたことを特徴とする。
この構成によれば、給水口から放熱フィンへいたる水路が徐々に縮小された形状となるので、流路断面積の急縮小がなくなり、圧力損失を低減させることができる。また、放熱フィンの形成された層の受熱体の加工は、放熱フィンと同様にエッチングのマスクにより容易に可能となるのでコストアップにはならない。

また、本発明による請求項７による放熱器は、請求項１から６の何れか１項において、前記排水口が形成された最下層の上に積層され、前記放熱フィンが形成された層において、前記排水口に組み合わされる環状のリブを前記排水口の中心から同心円状に拡大させ、この拡大によって前記リブが、前記最下層への積層時に前記排水口の周囲面に対して当該周囲面が所定幅露出されて段差状態に組み合わされ、その露出面が水路となるようにし、また、前記拡大されたリブ上に所定間隔で複数の凸部を設け、これら凸部の形成層上に前記連通孔の形成された層が積層された際に、前記複数の凸部間の凹部が水路となるようにしたことを特徴とする。

この構成によれば、連通孔の上層の放熱フィンから排水口へいたる水路が徐々に拡大された形状となるので、流路断面積の急拡大がなくなり、圧力損失を低減させることができる。また、給水口及び排水口の双方に本発明の特徴構造が適用されている場合は、給水口から徐々に流路断面積が縮小し、排水口へは徐々に流路断面積が拡大するので、圧力損失を大幅に低減させることができる。従って、小型の冷却水循環装置で十分に冷却水の供給を行うことが可能になる。

以上説明したように本発明によれば、受熱体を積層して内部に水路及び放熱フィンを形成した放熱構造であって、低圧力損失で放熱効果が高く、大型の冷却水循環装置を用いなくとも発熱体の熱を十分に除去することができるという効果がある。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。但し、本明細書中の全図において相互に対応する部分には同一符号を付し、重複部分においては後述での説明を適時省略する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る５層構造の放熱器１０の全体の構造を示す斜視図である。
図２は、放熱器１０の第１（１層目）の受熱体１１の構造を示す斜視図である。
図３は、放熱器１０の第２（２層目）の受熱体１２の構造を示す斜視図である。

図４（ａ）は、図３に示す第２の受熱体１２のＡ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の放熱フィン部分をＢ１−Ｂ２線で横方向に切断した際の断面図である。
図５は、放熱器１０の第３（３層目）の受熱体１３の構造を示す斜視図である。
図６（ａ）は、図５に示す第３の受熱体１３のＣ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の間通行部分をＤ１−Ｄ２線で横方向に切断した際の断面図である。
図７は、放熱器１０の第４（４層目）の受熱体１４の構造を示す斜視図である。
図８（ａ）は、図７に示す第４の受熱体１４のＥ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の放熱フィン部分をＦ１−Ｆ２線で横方向に切断した際の断面図である。

図９は、放熱器１０の第５（５層目）の受熱体１５の構造を示す斜視図である。
図１０は、第１の受熱体１１に第２の受熱体１２を積層した構造を示す斜視図である。
図１１は、第１〜第３の受熱体１１〜１３を順次積層した構造を示す斜視図である。
図１２は、第１〜第４の受熱体１１〜１４を順次積層した構造を示す斜視図である。
図１３は、図１に示す放熱器１０をＧ１−Ｇ２線で横方向に切断した際の断面図である。

図１４（ａ）は、図１３に示す放熱器１０の先端部７におけるＨ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の先端部７の冷却水の流れを示す断面図である。
図１５（ａ）は、図１３に示す放熱器１０の先端部７におけるＨ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）に示す第３の受熱体１３を上下面逆にして積層した構成の断面図である。

第１の実施の形態の放熱器１０が従来の放熱器１００と異なる点は、図４に２ｐ，２ｑで示すように第２の受熱体１２の放熱フィン２ｈ，２ｉ，２ｊを、この厚みの半分の位置で隣接方向に０より大きい値〜１／２ピッチ程度の若干ずれた段差状態（以降、所定ピッチずれた段差状態と表現する）で形成し、また、図６に３ｐ，３ｑで示すように第３の受熱体１３の連通孔３ｋの内壁を、上記の放熱フィン２ｈ，２ｉ，２ｊと同様に所定ピッチずれた段差状態で形成し、更に、図８に４ｐ，４ｑで示すように、第４の受熱体１４の放熱フィン４ｉ，４ｊ，４ｋを、上記の連通孔３ｋと同様に所定ピッチずれた段差状態で形成したことにある。
その所定ピッチずれた段差状態に形成する方法は、化学エッチングによって各受熱体１２，１３，１４の上下面から板厚の１／２までエッチングを行って成形する。

次に、このような構造の放熱器１０による放熱動作を説明する。
図示せぬ冷却水循環装置（ポンプ）から図１０に示すように、放熱器１０の給水口ｉｎに導かれた冷却水は、第２の受熱体１２のリブ２ｋを乗り越え空間２ｇに到達し、放熱フィン間２ｌに流入する。
ここで、図１４に示すように、放熱フィン２ｈ，２ｉ，２ｊは所定ピッチずれた段差状態に形成されているので、そのずれ位置の水平部２ｐ，２ｑによって放熱面積が拡大され、これによって放熱効率が向上している。このため、放熱フィン間２ｌに流入した冷却水は効率よく熱を冷却し、第３の受熱体１３の連通孔３ｋに上方向に流れを変えて流入する。

この流入した冷却水は、連通孔３ｋの水平部３ｐに衝突するので、ここで乱流が発生する。このため熱伝達率も大幅に向上する。即ち、このように連通孔３ｋに流入した冷却水は、水平部３ｐ，３ｑによる放熱面積拡大と、水平部３ｐへの衝突による乱流とによって熱伝達率が大幅に向上する。
更に、冷却水は、連通孔３ｋから第４の受熱体１４の放熱フィン間４ｌに到達し、この際、水平部４ｑに衝突して乱流が生じるので、熱伝達率が大幅に向上する。この後、放熱フィン４ｉ，４ｊ，４ｋを通過する際に、水平部４ｐ，４ｑによって放熱面積が増大しているので、ここでも大幅に放熱効率が向上する。

このように、第１の実施の形態の放熱器１０によれば、冷却水の乱流化と放熱フィン表面積拡大により著しい熱伝達効率を向上させ、ＬＤアレイ９９で発生した熱を良好に冷却できる。言い換えれば、放熱器１０の冷却性能が著しく改善されるので、ＬＤアレイ９９の温度上昇を適正に抑制することが可能になる。
また、第１〜第５の受熱体１１〜１５を形成する際に、片面のエッチングマスクパターンでピッチを予めずらしたものを用意しておけば、後は通常の両面エッチング方法で簡単に製作することが可能となる。つまり、コストアップになる要因は無い。
この他、図１５（ａ）に示す上記の放熱器１０の構造において、（ｂ）に示すように、第３の受熱体１３を上下面逆に配置すれば、上下方向の冷却水通路がジグザグになるので、冷却水の乱流化が促進され、更に冷却性能を向上させることができる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態の放熱器が、第１の実施の形態の放熱器１０と異なる点は、図１６に示すように、第２の受熱体２２の構造を変えたことにある。即ち、第２の受熱体２２のリブ２２ｅ，２２ｇの形状を、給排水口の中心から同心円状に拡大させることによって、図１７に示すように、第１の受熱体１１に積層した際に第１の空間部２２ｈ，２２ｉができるように形成した。

更に、第２の受熱体２２にリブ凸部２２ｄ，２２ｆを設けることによって、凸部間に凹部２２ｅ，２２ｇを形成し、この凹部が第２の空間部２２ｅ，２２ｇとなり、図１８に示すように、第３の受熱体１３を積層した際に当該受熱体１３の空間部３ｙ，３ｚと、第２の空間部２２ｅ，２２ｇとが合わさって流路面積が徐々に縮小又は拡大するようにした。
また、リブ凸部２２ｄ，２２ｆは、補強部となるが、これは板厚の約１／２程度をハーフエッチングにて形成する。

このような構成の第２の実施の形態の放熱器において、給水口ｉｎから導かれた冷却水は、第１の空間部２２ｈへ流入する。この際、第１の空間部２２ｈ，２２ｉは、給水口よりも広いので流路断面積の急縮小がない。このため、冷却水が給水口ｉｎから第１の空間部２２ｈへ流入する際の圧力損失の増大が抑制される。
次に、冷却水はリブ２２ｇを通過するが、リブ凸部２２ｆによる第２の空間部２２ｇによって流路断面積が縮小しているので、圧力損失の増大が抑制される。

この後の冷却水の流れは上述と同様なので割愛する。そして、冷却水は、最終的に排水口ｏｕｔに到達するが、この際、第３の受熱体１３の空間部３ｚと第２の空間部２２ｅとが合わさり、これに流れ方向に連続して第１の空間部２２ｉが存在するので、流路段面積が徐々に拡大し、これによって冷却水の圧力損失の増大が大幅に抑制される。

このように、第２の実施の形態の放熱器によれば、給水口ｉｎから徐々に流路断面積を縮小させ、排水口ｏｕｔへは徐々に流路断面積を拡大させる構成としたので、従来のような流路断面積の急縮小や急拡大がなくなる。このため圧力損失を大幅に低減させることができる。従って、従来のように大型の冷却水循環装置を用いなくとも、言い換えれば小型の冷却水循環装置で十分に冷却水の供給を行うことが可能になる。
また、第２の受熱体２２を作成する場合、第１の実施の形態での放熱フィンと同様にエッチングのマスクにより容易に可能となるのでコストアップにはならない。

本発明の第１の実施の形態に係る５層構造の放熱器の全体の構造を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第１（１層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第２（２層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 （ａ）は、図３に示す第２の受熱体のＡ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の放熱フィン部分をＢ１−Ｂ２線で横方向に切断した際の断面図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第３（３層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 （ａ）は、図５に示す第３の受熱体のＣ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の間通行部分をＤ１−Ｄ２線で横方向に切断した際の断面図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第４（４層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 （ａ）は、図７に示す第４の受熱体のＥ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の放熱フィン部分をＦ１−Ｆ２線で横方向に切断した際の断面図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第５（５層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第１の受熱体に第２の受熱体を積層した構造を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第１〜第３の受熱体を順次積層した構造を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る放熱器の第１〜第４の受熱体を順次積層した構造を示す斜視図である。 図１に示す放熱器をＧ１−Ｇ２線で横方向に切断した際の断面図である。 図１３に示す放熱器の先端部におけるＨ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）の先端部の冷却水の流れを示す断面図である。 図１３に示す放熱器の先端部におけるＨ枠線部の拡大図、（ｂ）は（ａ）に示す第３の受熱体を上下面逆にして積層した構成の断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る５層構造の放熱器における第２の受熱体の構造を示す斜視図である。 第２の実施の形態に係る放熱器の第１の受熱体に第２の受熱体を積層した構造を示す斜視図である。 第２の実施の形態に係る放熱器の第１〜第３の受熱体を順次積層した構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の全体の構造を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の放熱器をＪ１−Ｊ２線で縦方向に切断した際の断面図である。 従来の放熱器の第１（１層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第２（２層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第３（３層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第４（４層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第５（５層目）の受熱体の構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第１の受熱体１に第２の受熱体を積層した構造を示す斜視図である。 従来の放熱器の第１〜第３の受熱体を順次積層した構造を示す斜視図である。 （ａ）は、従来の放熱器の第１〜第４の受熱体を順次積層した構造を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の構造に更に第５の受熱体を積層すると共にＬＤアレイを固定した構造をＩ１−Ｉ２線で横方向に切断した際の断面図である。

符号の説明

１ａ〜５ａ，１ｂ〜５ｂ，１ｃ〜５ｃ，２ｄ，２ｇ 貫通口
２ｅ，３ｅ，２ｆ，２ｋ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，４ｅ，４ｆ，４ｇ リブ
２ｈ，２ｉ，２ｊ，４ｉ，４ｊ，４ｋ 放熱フィン
２ｐ，２ｑ，３ｐ，３ｑ 水平部
３ｋ 連通孔
３ｙ，３ｚ 空間部
２ｌ，４ｌ 放熱フィン間
７ 放熱器の先端部
１０ 放熱器
１１ 第１の受熱体
１２，２２ 第２の受熱体
１３ 第３の受熱体
１４ 第４の受熱体
１５ 第５の受熱体
２２ｄ，２２ｆ リブ凸部
２２ｅ，２２ｇ リブ凹部（第２の空間部）
２２ｈ，２２ｉ 第１の空間部
９９ ＬＤアレイ

Claims (7)

1. 受熱を行う板状の受熱体が複数積層されて接合され、最上層の表面に接合された発熱体の冷却用の冷却水の水路が、最下層の給水口から導かれたのち発熱体の下方の層を通過して排水口まで連通して形成され、且つその下方に櫛歯状の放熱フィンがフィン間に水路を伴って形成され、このフィン間の水路と給水口又は排水口へつながる水路とを上下方向で連通する連通孔が形成される放熱器において、
   前記放熱フィンの各フィンを、当該放熱フィンが形成された層の厚みの略半分の位置で、フィン隣接方向に所定ピッチずれた段差状態に形成した
   ことを特徴とする放熱器。
2. 前記連通孔の内壁を、当該連通孔が形成された層の厚みの略半分の位置で、前記フィン隣接方向と同方向に所定ピッチずれた段差状態に形成した
   ことを特徴とする請求項１に記載の放熱器。
3. 前記所定ピッチずれた段差状態は、層の上下面からエッチングで削り取って成形する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の放熱器。
4. 前記放熱フィンの形成された層が、前記連通孔の形成された層の上下に配置され、その上下の放熱フィンのフィン間の水路が前記連通孔で連通された層構造の場合に、前記上下の放熱フィンの各フィンが、前記所定ピッチずれた段差状態に形成されている
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の放熱器。
5. 前記連通孔の上下に放熱フィンが配置された層構造において、当該連通孔を挟んだ放熱フィンの層部分の断面形状がジグザグの段差状態に形成されている
   ことを特徴とする請求項４に記載の放熱器。
6. 前記給水口が形成された最下層の上に積層され、前記放熱フィンが形成された層において、前記給水口に組み合わされる環状のリブを前記給水口の中心から同心円状に拡大させ、この拡大によって前記リブが、前記最下層への積層時に前記給水口の周囲面に対して当該周囲面が所定幅露出されて段差状態に組み合わされ、その露出面が水路となるようにし、また、前記拡大されたリブ上に所定間隔で複数の凸部を設け、これら凸部の形成層上に前記連通孔の形成された層が積層された際に、前記複数の凸部間の凹部が水路となるようにした
   ことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の放熱器。
7. 前記排水口が形成された最下層の上に積層され、前記放熱フィンが形成された層において、前記排水口に組み合わされる環状のリブを前記排水口の中心から同心円状に拡大させ、この拡大によって前記リブが、前記最下層への積層時に前記排水口の周囲面に対して当該周囲面が所定幅露出されて段差状態に組み合わされ、その露出面が水路となるようにし、また、前記拡大されたリブ上に所定間隔で複数の凸部を設け、これら凸部の形成層上に前記連通孔の形成された層が積層された際に、前記複数の凸部間の凹部が水路となるようにした
   ことを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の放熱器。

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