JP2007146995A

JP2007146995A - 静圧スライダ

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Publication number: JP2007146995A
Application number: JP2005343734A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kobayashi; 小林　　隆
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2005-11-29
Filing date: 2005-11-29
Publication date: 2007-06-14
Anticipated expiration: 2025-11-29
Also published as: JP4535991B2

Abstract

【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば電子線描画装置といった半導体素子の製造装置および検査装置に用いられ、高精度な走行性能および高精度な位置決めを可能とする流体静圧軸受を用いた静圧スライダに関する。

従来より、半導体素子（集積回路）の製造または検査する装置には種々のステージ装置が用いられている。また、半導体素子が露光、描画されるウェハの大型化にともなってウェハを搭載するステージ装置も大型化し、かつ移動距離も増大化しており、ステージ装置の重量は増加の一途をたどっている。

かかるステージ装置では、更なる生産性向上を目的に高速、高加速化と高精度化が要求されており、この要求を満たすため圧縮流体を用いた流体静圧軸受による非接触案内を行う静圧スライダが提案されている。

また近年では、電子線描画装置やＳＥＭ用といった真空チャンバ内での動作を要求される半導体素子の製造および検査装置にも、圧縮流体を回収し真空チャンバ外へ排出する差動排気機構を採用するにより静圧スライダが用いられている。

図６は、従来の静圧スライダ５００の斜視図を示し、一対の固定体１０１（１０１ａ、１０１ｂ）が略平行に配置され、各々の固定体１０１に一対の可動体１０２（１０２ａ、１０２ｂ）が囲繞され、さらに可動体１０２ａ、１０２ｂを連結するように支持体１０３が配置されており、さらに使用目的に応じて支持体１０３に試料載置部１０４が囲繞されている。この静圧スライダ５００は、可動体１０２が固定体１０１によって往復に移動可能であり、支持体１０３上にウェハ等の試料を載置するものである。

ここで、図６におけるＤ−Ｄ断面図を図７（ａ）、（ｂ）に示す。静圧スライダ５００は、固定体１０１と可動体１０２との間に加圧した圧縮流体を送り込み、非接触で可動体を固定体に対して相対移動させるため、各種装置の高速、高加速化及び高精度化に対応可能である。そのため、安定した静圧を受けているときは、図７（ａ）に示すように固定体１０１ａと可動体１０２ｂの間隔はほぼ均一に保たれており、固定体１０１の案内面１２２と可動体１０２の静圧面１２３の平行度も保たれた状態にある。一方、図７（ｂ）に示すように、例えば支持体１０３に重量の大きな試料が搭載されたり、支持体１０３が大型化した際の支持体１０３の自重により支持体１０３に偏荷重（モーメント）がかかると、基準となる固定体１０１の案内面１２２に対して可動体１０２が傾斜浮上し、さらに浮上量の少ない側では静圧剛性低下に伴い前記固定体１０１と可動体１０２が接触しやすく、安定した移動が困難となるという課題を有していた。

そこで、静圧スライダの静圧面に対する案内面の傾斜を制御する提案が種々行われている。

静圧スライダ５００を真空チャンバ（不図示）内に配置し、ステージ装置として利用する場合は、静圧スライダ５００から真空チャンバへ流出する流体のリークを低減するためにも案内面１２２と静圧面１２３は十分な平行度を保つ必要がある。この平行度を保つ手段として、可動体１０２を連結する支持体１０３は可動体１０２に偏荷重がかからないように、例えば図８に示すように可動体１０２の上面の略中心に支持体１０３を締結して、可動体１０２にかかる荷重が静圧面全面に均等にかかるようにする必要がある。

また、図９に示すように、可動体１０２の下部に、取り付け部品１２６、予圧用ネジ１２７、予圧用バネ１２８を介してラビリンス部１２９が接続されており、さらに、ラビリンス部１２９には、静圧パッド１２１と、静圧パッド１２１の外周に設けられた流体排気溝（不図示）が配置されている。ラビリンス部１２９は、固定体１０１の案内面１２２は、所定のクリアランスを保ったまま可動体１０２が移動する静圧スライダ５１０が提案されている（特許文献１参照）。
特開２００２−３４９５６９号公報

しかし、図８に示すように可動体１０２の上面に支持体１０３を締結するような方法では、不図示の駆動手段、位置検出手段、制御手段とを備えることにより高速化、高加速化に加え、高い位置制御性能（位置決め性能）が要求される静圧スライダ５００では、可動体１０２の駆動中心と可動体１０２を連結している支持体１０３を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、位置決め性能の低下を抑制するために前記支持体１０３を可動体１０２の上面ではなく側面にて連結するのがよいが、可動体１０２の傾斜浮上を助長しやすいという課題があった。

また、角柱状の固定体１０１に対して可動体１０２が囲繞し、この固定体１０１に沿って可動体１０２が移動する静圧スライダの場合、固定体１０１と可動体１０２は角柱の４面の間隔を均一に保つ必要があるが、特許文献１に示す方法を用いた場合、固定体１０１の案内面１２２と可動体１０２の静圧面１２３との任意の対向面の間隔を均一に保つことは可能であるものの、他の対向面の間隔が不均一になり、固定体１０１と可動体１０２が接触したり、かじりを起こしやすいという課題があった。

本発明はこれらの問題を鑑み、高精度な位置決めを可能とし、かつ第１可動体と固定体の平行度が保たれ、さらに、真空中においてもリークが抑制された非接触で駆動可能な静圧スライダを提供することを目的として、本発明の静圧スライダは、略平行に配置された一対の固定体と、各固定体を囲繞して配置され、固定体に沿って移動する一対の第１可動体と、該一対の第１可動体を連結する支持体と、を備え、前記支持体の少なくとも一端に、固定体に対する第１可動体の傾斜角度を検出する検出手段と、該検出手段により検出された角度に対応して第１可動体の角度を調整する調整手段を備えたことを特徴としている。

また本発明は、前記調整手段は、圧電素子であることを特徴とする。

さらに本発明は、前記調整手段は、電磁モータであることを特徴とする。

またさらに本発明は、前記検出手段は、非接触型変位計であることを特徴とする。

さらにまた本発明は、前記検出手段である非接触型変位計は、静電容量型であることを特徴とする。

また本発明は、前記検出手段である非接触型変位計は、レーザ測長型であることを特徴とする。

さらに本発明は、前記支持体の少なくとも一端に弾性体を配置することを特徴とする。

またさらに本発明は、前記支持体の平面度が１０μｍ以下であることを特徴とする。

さらに本発明は、前記支持体に囲繞して配置され、支持体に沿って移動する第２可動体を備えたことも特徴とする。

また本発明は、真空チャンバ内にて、加圧噴出される圧縮流体を回収するための流体排気溝が形成されている前記第１第２可動体と、前記流体排気溝より回収された流体を真空チャンバ外へ排出するための真空排気管路が形成されている前記固定体及び前記支持体を備えたことを特徴とする。

本発明の静圧スライダによれば、前記支持体の少なくとも一端に、固定体に対する第１可動体の傾斜角度を検出する検出手段と、該検出手段により検出された角度に対応して第１可動体の角度を調整する調整手段を備えたことから、高精度な位置決めを可能とし、かつ可動体と固定体の平行度が保たれるために、支持体の平行度を向上させることができる。さらに、真空中においてもリークが抑制された非接触で駆動可能な静圧スライダを実現できる。

さらに、調整手段として、圧電素子もしくは電磁モータを用いることから、真空環境下での使用が可能であるので、本発明の静圧スライダを真空中で使用することが可能となる。また、圧電素子の場合、指令電圧に対して、ナノメートルオーダーでの調整が可能であるので、固定体と第１可動体の平行度を高い精度で制御することが可能となり、さらに高速応答が可能であるため高精度な位置決めが可能となる
また、検出手段が非接触型変位計であることから、発熱を伴わない測定が可能であり、パーティクルの発生も防止することができる。

以下、本発明の静圧スライダについて詳細に説明する。

図１（ａ）は、本発明の静圧スライダの一実施形態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ線の断面図である。

本発明の静圧スライダ５０は、固定体１（１ａ、１ｂ）が略平行に配置され、各々の固定体１に一対の第１可動体２（２ａ、２ｂ）が囲繞され、さらに第１可動体２ａ、２ｂを連結するように支持体３が配置されている。さらに、第１可動体２ａの案内面２２に対向する静圧面２３には、圧縮流体を噴出する静圧パッド２１が配置されており、静圧パッド２１から噴出された圧縮流体の案内面２２と静圧面２３との間の静圧（いわゆる隙間内圧力）により、第１可動体２ａは固定体１ａに数μｍ程度のクリアランスを介して非接触で浮上支持されている。固定体１は可動体２の貫通孔に通過されており、可動体２のレールの作用をなし、この状態で第１可動体１ａは固定体１の案内面２２に沿って非接触で移動可能となる。

なお、固定体１を構成する一対の固定体１ａ、１ｂが略平行とは、固定体１ａ、１ｂとの距離がほぼ一定であればよく、支持体３により連結された可動体２ａ、２ｂが固定体１ａ、１ｂの静圧面２３に沿って非接触で移動可能であればよい。

第１可動体２ａ、２ｂが対向する側面には、各第１可動体２ａ、２ｂを連結する支持体３と支持体３を２次元的に拘束する拘束体５ａ、５ｂが配置されていてもよく、支持体３は各第１可動体２ａ、２ｂと拘束体５ａ、５ｂを介して同時に移動可能となる。支持体３の端部３ａ、３ｂと第１可動体２ａ、２ｂとの間には０．５ｍｍ以下のクリアランスがあり、第１可動体２ａ、２ｂは、配置された支持体３、拘束体５ａ、５ｂ及びその搭載物の重量のモーメント荷重により、固定体１に接触するまでの範囲内で傾斜している。

本発明の静圧スライダ５０は、支持体３の少なくとも一端に固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する一対の検出手段１２（１２ａ、１２ｂ）と、検出手段１２より検出された角度に応じて第１可動体１の角度を調整する調整手段１１（１１ａ、１１ｂ）を備え、この調整手段１１によって固定体１に対する第１可動体２の傾斜を調整することができる。また、調整手段１１は静圧スライダ５０外に配置された圧電素子用ドライバーなどからの配線を通じて電圧を供給され、供給された電圧に応じて伸縮することにより可動体２の傾斜角度を調整する。

したがって、固定体１と第１可動体２の非接触状態を保つことが可能となり、固定体１と第１可動体２の摩擦熱による材料の膨張収縮が起きず、第１可動体２の移動および停止の位置精度の向上、および第１可動体２の走行精度を高くすることができる。また、半導体素子の製造および検査工程において欠陥の原因となるパーティクルの発生を防止するとともに、パーティクルが固定体１と第１可動体２のすき間に挟み込むことかないので、固定体１と第１可動体２のかじりを防止することが可能となる。

また、固定体１と第１可動体２の平行度を保つことが可能となるので、静圧面２３の軸受剛性を上げることができる。これにより、第１可動体２の走行性能を高精度に保つことができるので高精度な位置決めが可能となる。さらに、支持体３の位置を低くすることができるので、静圧スライダ５０の重心位置を下げることが可能となり、第１可動体２の位置決め時に振動の発生が無く高精度な位置決めが可能となる。

前記検出手段１２は、第１可動体２の走行性能および位置決め精度に影響を及ぼさないために、非接触型変位計であることが好ましい。非接触型変位計であることから、発熱を伴わない測定が可能であり、パーティクルの発生も防止することができる。非接触型変位計としては、静電容量型、レーザ側長型、渦電流型、エアセンサ型などが挙げられるが、本発明の静圧スライダ５０では、静電容量型もしくはレーザ側長型であることが好ましい。これらの変位計は、測定値の分解能が高く、固定体１に対する第１可動体２の傾きを精度よく検出することができる。また、レーザ側長型は、応答性が高いために、第１可動体２の移動中でも検出が可能であり、検出時に装置を停止する必要が無いという利点を有する。

さらに静電容量型は、検出中の自己発熱がないために、静圧スライダ５０自体に影響を及ぼすことが無く、温度変化による測定値の変化（ドリフト）を抑えることができ、高精度と安定した測定値を得ることができる。このことから、固定体１に対する第１可動体２の傾きを精度よく検出することができる。また、非磁性体であることから、ＥＢ装置などでの利用も可能となる。また、高額なミラーなどを必要としない。

本発明では、検出手段１２を用いて固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出することが重要であり、これにより固定体２ａに対する第１可動体１ａの傾斜角度を検出することができるとともに、検出された角度をフィードバックして調整手段１１の制御量を決定することにより、第１可動体１の静圧面２３と固定体２の案内面２２との平行度を高精度に保持することができる。

具体的に、一方の第１可動体２ａの傾斜角度を検出する手段を例に説明する。先ず図２（ａ）に示すように、一方の第１可動体２ａを固定体１ａに静置させた状態で、第１可動体２ａのそれぞれの側面に検出手段１２ａ、信号（α、β）を照射し、反射してきた信号を検出手段１２ａで受信しこれを基準とする。次に同図（ｂ）に示すように、第１可動体２ａを静圧により固定体１ａより浮上させ、第１可動体２ａの側面に検出信号１２ａより信号（α’、β’）を照射し、反射してきた信号を検出手段１２ａで受信し、この信号（α、β）、（α’、β’）の差より傾斜角度θを算出、測定することが可能となる。また、他方の第１可動体２ｂ、固定体１ｂについても検出手段１２ｂにより同様に検出する。

なお、第１可動体２ａの上面もしくは下面より検出しても構わない。また、検出手段１２ａより出力される信号は、２箇所以上であればよい。

この検出手段１２により検出された傾斜角度θを基に、調整手段１１ａ、１１ｂを用いて第１可動体２ａ、２ｂの傾斜角度θを調整する。図３、図４に示すように、この調整手段１１ａ、１１ｂは、可動体２ａ、２ｂの側面のうち支持体３側の側面の上部に設けられており、圧電素子、電磁モータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどの伸縮可能な手段から成るため、傾斜角度θの大きさに対応してこの調整手段の伸縮度合いを種々変化させるものである。

前記圧電素子、電子モータにおいては、供給される電流・電圧を通じて、また、エアシリンダ、油圧シリンダにおいては、エア、油等の媒体を通じて各手段が伸縮することにより、第１可動体２ａを回転方向に移動させて、浮上した第１可動体２ａが固定体１ａに対して平行になるように、即ち第１可動体２ａが固定体１ａに静置された時の初期状態になるように調整するものである。

なお、この調整手段１１による調整は、第１可動体２ｂについても同様に調整手段１１ｂにより行われる。

特に、調整手段１１は圧電素子もしくは電磁モータを用いることが好ましい。圧電素子は非磁性体であるため、半導体製造装置の電子線描画装置にも影響を及ぼすことがない。さらに、検出手段１１から入力される指令電圧に対して、ナノメートルオーダーでの調整が可能であるので、固定体１と第１可動体２の平行度を高い精度で制御することが可能となり、さらに高速応答が可能であり、重量当たりの出力が大きく小型軽量であるため、第１可動体２の走行性能を高精度に保つことができるので高精度な位置決めが可能となる。また、動作に伴う発熱が少ないことから静圧スライダ５０の精度に悪影響を及ぼしにくいなどの利点も有している。一方、電磁モータは、ストロークが長く、調整範囲が広いので、固定体１に対し第１可動体２の傾斜角度θが大きいときに特に好適である。加えて、剛性が高く応答性も高いのでリニアに第１可動体２の傾斜角度θを調整することができる。また、圧電素子、電磁モータともに真空環境下での利用が可能であるので、例えば、静圧スライダ５０を電子線描画装置等に用いることもできる。また、図中の調整手段１１は支持体端部の３ａ、３ｂの上部中央部に配置されているが、下部中央部に配置されてもよく、さらに複数個用いても構わない。

固定体１に対する第１可動体２の傾きを逐次調整する必要がない場合は、調整手段１１として不図示のネジを用いてもよい。ネジは調整手段１１として簡便であり、一度調整してしまえば経時変化がなく、圧電素子や電磁モータのように故障が発生する可能性が低いといった特徴がある。

また、本発明の静圧スライダ５０は、図３に示すように支持体３の少なくとも一端に弾性体６を配置することが好ましく、調整手段１１で第１可動体２の角度を調整する際に第１可動体２の回転の支点となり、容易に第１可動体２の傾きを修正することが可能となるためである。

図３におけるＢ部の拡大図を示す図４（ａ）、（ｂ）を用いて弾性体６が第１可動体２ａに配置された場合について詳細を説明する。図４（ａ）に示すように一方の第１可動体２ａが固定体１ａに対して傾いた場合、支持体端面３ａに配置された調整手段１１ａによって、第１可動体２ａの側面上部に圧力をかけ、第１可動体２ａの傾きを調整する。この際、一方の弾性体６ａの上部が第１可動体１ａの回転の支点になるため、第１可動体２ａの調整がスムーズにでき、図４（ｂ）に示すように第１可動体２ａと固定体１ａの平行度を保つことができる。

また、弾性体６ａに環状形状を用いた場合、支持体端部３ａと可動体２ａの互いの側面は、環状の弾性体６ａの内径側で密閉された空間を有することになる。そこで、図５（ａ）に示すように、支持体３にも第２可動体７を配置することも可能となり、ここで環状の弾性体６ａは、支持体３ａおよび第１可動体２ａに形成した回収経路と真空チャンバとの間の封止材としての作用を有することになる。弾性体６ａの材質としては、フッ素系ゴム、シリコン系ゴムが選択される。特に、本発明の静圧スライダ５１を真空中で使用する場合は、弾性体６ａから発生するアウトガスが少ないという観点からシリコン系ゴムが、また、高真空度中においてもアウトガスがシリコン系ゴムより少ないという観点から、フッ素系ゴムを用いることが好ましい。

なお、他方の第１可動体２ｂにも同様に弾性体６ｂが配置されており同じ作用を成す。

また、本発明は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、支持体３に囲繞して配置され、支持体３に沿って移動する第２可動体７を備えることが好ましい。図５（ａ）は支持体３に第２可動体７を配置した場合の斜視図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図である。

これにより、支持体３上に載置する試料を第２可動体７に載置することにより、試料を２次元方向に円滑に移動させることが可能となる。

詳細には、真空チャンバ（不図示）内にて第１可動体２および第２可動体７には、加圧噴出される圧縮流体を回収するための流体排気溝２４が形成されており、さらに支持体３および固定体２には、流体排気溝２４より回収された流体を真空チャンバ（不図示）外へ排出するための真空排気管路２５が形成されている。また、第２可動体７は支持体３に囲繞して配置されており、支持体３には第２可動体７を案内するための案内面２７を有している。この案内面２７は高精度に加工されており、支持体３が第１可動体２に配置された状態で案内面２７の平面度は５μｍ以下になるように設定されている。

第２可動体７の案内面２７に対向する静圧面２８には、圧縮流体を噴出する静圧パッド２６が配置されており、静圧パッド２６から噴出された圧縮流体の案内面２７と静圧面２８との間の静圧により、第２可動体７は支持体３に数μｍ程度のクリアランスを介して非接触で支持されており、案内面２７に沿って非接触で移動可能である。

静圧スライダ５０を本構成にすることにより、不図示の駆動源により駆動される第１可動体２の駆動中心と第１可動体２を連結している支持体３を含めた可動部の鉛直方向の重心位置が同一となり、位置決めする際に大きな振動を発生することなく、良好な位置決めが可能となる。

第２可動体７の静圧面２８には、静圧パッド２６が配置され、さらにその周囲には噴出された流体を回収するための流体排気溝２９が形成されている。また、支持体３には流体排気溝２９に接続した真空排気管路３０が形成されており、真空排気管路３０は第１可動体１の流体排気溝２４と接続されている。静圧パッド２６から供給された流体は流体排気溝２９と真空排気管路３０を通して流体排気溝２４へと流れ、以降は静圧パッド２１から噴出した流体と同様に真空ポンプ（不図示）により真空チャンバ外の周囲へ排出される。

このことから、高精度な走行性能を有し、高精度な位置決めが可能であり、高速、高加速に対応可能な非接触の静圧スライダ５０を真空中で使用することができる。また、第１可動体１の流体排気溝２４および第２可動体７の流体排気溝２９により流体を回収し、さらに、固定体１および支持体３に対して、第１可動体２および第２可動体７は囲繞して配置されており、流体を真空チャンバ外へ放出するので、真空チャンバ内の真空度の低下を抑制することができる。

また、流体は、固定体１および支持体３などを循環しているので真空中においても静圧スライダ５０に蓄熱が起こらず、第１可動体２および第２可動体７の走行精度を高く保つことができる。さらに、第１可動体１の角度を調整手段１１で調整することから、案内面２２と静圧面２３のクリアランスが一定に保てるので、このクリアランスから真空チャンバ内への流体の漏出を抑制することができ真空チャンバ内の真空度を保つことが可能になる。

また、前記固定体１（１ａ、１ｂ）及び支持体３の材質は、高精度な加工が可能で良好な平面度や平行度を得られ、比剛性が高く自重や搭載物の荷重による変形量が少ないアルミナ質セラミックスや、比剛性がアルミナ質セラミックスより高く第１可動体２や第２可動体７を駆動するための不図示の駆動源から発生する熱をすみやかに排熱するために、熱伝導率の高い炭化珪素質セラミックスを用いることが好ましい。

また、第１可動体２(２ａ、２ｂ)および第２可動体７の材質も同様に、高精度な加工が可能で良好な平面度や平行度を得られ、比剛性の高いアルミナ質セラミックスや、固定体１や支持体２の場合と同様に排熱の理由から炭化珪素質セラミックスとしてもよい。

また、不図示の駆動源が発生する熱が伝熱しても変形することなく、搭載物の変形を誘発しないことから線膨張係数が１×１０^−６［１℃］以下の低熱膨張セラミックスとしてもよい。

なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更は可能である。

（ａ）は本発明の静圧スライダの一実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線における断面図である（ａ）、（ｂ）は本発明の静圧スライダの第１可動体の傾斜角度の検出方法を示す概念図である。本発明の静圧スライダの他の実施形態を示す断面図である。（ａ）、（ｂ）は図３のＢ部の拡大図であり、（ａ）は固定体に対して可動体が傾いた状態を示し、（ｂ）は固定体と可動体の平行度が保たれている状態を示す。（ａ）は本発明の静圧スライダの他の実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図である。従来の静圧スライダを示す斜視図である。（ａ）、（ｂ）は図６のＤ−Ｄ線における断面図であり、（ａ）は固定体と可動体の平行度が保たれている状態を示し、（ｂ）は固定体に対して可動体が傾いた状態を示す。従来の静圧スライダの別の実施形態を示す斜視図である。従来の静圧スライダのさらに別の実施形態を示す側面図である。

符号の説明

５０、５００、５１０：静圧スライダ
１、１ａ、１ｂ、１０１：固定体
２、２ａ、２ｂ、１０２：可動体
３：支持体
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ：台座
５ａ、５ｂ：拘束体
６、６ａ、６ｂ：弾性体
７：第２可動体
１１、１１１：調整手段
１２、１２１：検出手段
２１、２６、１２１：静圧パッド
２２、２７、１２２：案内面
２３、２８、１２３：静圧面
２４、２９：流体排気溝
２５、３０：真空排気管
１２６：取り付け部品
１２７：予圧用ネジ
１２８：予圧用バネ
１２９：ラビリンス部

Claims

略平行に配置された一対の固定体と、各固定体を囲繞して配置され、固定体に沿って移動する一対の第１可動体と、該一対の第１可動体を連結する支持体と、を備え、前記支持体の少なくとも一端に、固定体に対する第１可動体の傾斜角度を検出する検出手段と、該検出手段により検出された傾斜角度に対応して第１可動体の傾斜角度を調整する調整手段を備えたことを特徴とする静圧スライダ。
前記検出手段は、非接触型変位計であることを特徴とする請求項１に記載の静圧スライダ。
前記検出手段である非接触型変位計は、静電容量型であることを特徴とする
請求項２に記載の静圧スライダ。
前記検出手段である非接触型変位計は、レーザ測長型であることを特徴とする請求項２に記載の静圧スライダ。
前記調整手段は、圧電素子であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の静圧スライダ。
前記調整手段は、電磁モータであることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の静圧スライダ。
前記支持体の少なくとも一端に弾性体を配置したことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の静圧スライダ。
前記支持体に囲繞して配置され、支持体に沿って移動する第２可動体を備えたことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の静圧スライダ。
前記固定体、支持体および可動体は、セラミックスから成ることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の静圧スライダ。