JP2007149404A - マイクロ波加熱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】金属線などの被加熱物にマイクロ波エネルギーを十分かつ効率よく吸収させることができるようにし、また、複数本の金属線などの複数の被加熱物を同時に加熱することができるようにする。
【解決手段】 マイクロ波発振器と円形導波管を有して構成されたマイクロ波加熱炉とを接続導波管を介して接続したマイクロ波加熱装置において、マイクロ波加熱炉は閉塞された両方の端部にそれぞれ被加熱物を挿通可能な貫通孔を有し、上記マイクロ波加熱炉に伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を伝搬し、上記マイクロ波加熱炉に発生した壁面電流を上記被加熱物に変位電流として導くことにより上記被加熱物を加熱する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、マイクロ波加熱装置に関し、さらに詳細には、連続して延在する金属線などの長尺な被加熱物を加熱する際に用いて好適なマイクロ波加熱装置に関する。

従来より、糸状に延在した金属線などの被加熱物を加熱するための装置として、一般にマイクロ波加熱装置が用いられている。

このマイクロ波加熱装置とは、マイクロ波発振器とマイクロ波加熱炉とを接続導波管で接続した構成を備えており、マイクロ波加熱炉としては、その断面が円形であるような円形導波管や、あるいは、その断面が矩形であるような矩形導波管が用いられている。

上記したような構成をもつマイクロ波加熱装置により、被加熱物として連続して延在する金属線を加熱する場合には、被加熱物である金属線をマイクロ波加熱炉内に挿通し、マイクロ波加熱炉内において当該金属線を所定の方向に一定の速度で走行させる。この際に、マイクロ波発振器によりマイクロ波を発生させると、マイクロ波発振器により発生されたマイクロ波は接続導波管を介してマイクロ波加熱炉に伝搬し、マイクロ波加熱炉内を走行する金属線を均一に加熱することができる。

こうしたマイクロ波加熱装置による加熱の手法は、誘導加熱として知られている手法であり、マイクロ波のエネルギーにより発生された電流であってマイクロ波加熱炉を構成する導波管の壁面を流れる電流（以下、「壁面電流」と適宜に称する。）を被加熱物に変位電流として導くことにより、当該被加熱物が発熱するようにしたものである。

ところで、マイクロ波加熱炉内での被加熱物への熱の伝わり方や最大強度の電界位置は、マイクロ波の伝送モードやマイクロ波加熱炉を構成する導波管の形状に依存していることが知られている。

例えば、マイクロ波の伝送モードがＴＥ_１０であり、マイクロ波加熱炉を構成する導波管として矩形導波管を用いた場合には、最大の強度をもつ電界位置は矩形導波管の中央一ヶ所のみであった。

このため、マイクロ波の伝送モードがＴＥ_１０であり、マイクロ波加熱炉を構成する導波管として矩形導波管を用いた際には、同時に複数の被加熱物を加熱することができないという問題点があった。

また、マイクロ波加熱炉内における被加熱物を加熱することが可能な加熱領域は、マイクロ波加熱炉を構成する導波管の寸法に制限されることになるが、マイクロ波加熱炉を構成する導波管として矩形導波管を用いた場合には、当該矩形導波管における被加熱物の延長方向に沿った加熱領域の寸法が短いため、被加熱物がマイクロ波エネルギーを十分に吸収することができないという問題点があった。

一方、マイクロ波の伝送モードとしてＴＥ_１０を用い、マイクロ波加熱炉を構成する導波管として円形導波管を用いた場合には、被加熱物として金属線を加熱する際には当該金属線にマイクロ波が吸収されずに外部に漏れてしまい、当該金属線を加熱することができないという問題点があった。

さらに、円形導波管を用いたマイクロ波加熱炉において伝送モードとしてＴＥ_０１を用いた場合には、当該円形導波管の中心に電界が集中しないため、被加熱物を充分に加熱することができないという問題点があった。

また、従来のマイクロ波加熱装置においては、同一のマイクロ波加熱炉で被加熱物として複数本の金属線を同時に加熱しようとすると、金属線同士が互いに干渉してしまい、一度に複数本の金属線を加熱することが困難であるという問題点があった。

なお、本願出願人が特許出願時に知っている先行技術は、上記において説明したようなものであって文献公知発明に係る発明ではないため、記載すべき先行技術情報はない。

本発明は、従来の技術の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、金属線などの被加熱物にマイクロ波エネルギーを十分かつ効率よく吸収させることができるようにしたマイクロ波加熱装置を提供しようとするものである。

また、本発明の目的とするところは、複数本の金属線などの複数の被加熱物を同時に加熱することができるようにしたマイクロ波加熱装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明によるマイクロ波加熱装置は、断面が円形である円筒状の円形導波管を有して構成されたマイクロ波加熱炉を備え、伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を当該マイクロ波加熱炉に伝搬させることにより、当該マイクロ波加熱炉内に位置する被加熱物を加熱するようにしたものである。

即ち、本発明のうち請求項１に記載の発明は、マイクロ波発振器と円形導波管を有して構成されたマイクロ波加熱炉とを接続導波管を介して接続したマイクロ波加熱装置において、マイクロ波加熱炉は閉塞された両方の端部にそれぞれ被加熱物を挿通可能な貫通孔を有し、上記マイクロ波加熱炉に伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を伝搬し、上記マイクロ波加熱炉に発生した壁面電流を上記被加熱物に変位電流として導くことにより上記被加熱物を加熱するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、本発明のうち請求項１に記載の発明において、上記貫通孔は、上記マイクロ波加熱炉の中心軸の近傍かつ上記中心軸を中心とする円周上にそれぞれ所定の間隔を開けて複数配置されるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、本発明のうち請求項１または２のいずれか１項に記載の発明において、上記貫通孔にマイクロ波の漏洩を防止するチョーク構造を備えたボスを設置するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２または３のいずれか１項に記載の発明において、上記マイクロ波加熱炉にマイクロ波を漏洩しないカットオフ孔を形成するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、本発明のうち請求項４に記載の発明において、さらに、上記カットオフ孔から上記被加熱物の温度を計測する温度計測手段を有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項６に記載の発明は、本発明のうち請求項５に記載の発明において、さらに、上記マイクロ波発振器の発振状態を制御するマイクロ波発振器制御手段を有し、上記温度計測手段が上記カットオフ孔から計測した上記被加熱物の温度に応じて上記マイクロ波発振器制御手段により上記マイクロ波発振器の発振状態を制御するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４、５または６のいずれか１項に記載の発明において、上記マイクロ波加熱炉が、外部から所定のガスを供給可能なガス供給手段と、内部のガスを外部へ排出可能なガス排出手段とを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、本発明のうち請求項７に記載の発明において、上記マイクロ波加熱炉は、さらに、上記マイクロ波加熱炉内において、上記マイクロ波加熱炉の内部に挿通された上記被加熱物ならびに上記ガス供給手段および上記排出手段を囲むガラス管を有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項９に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４、５、６、７または８のいずれか１項に記載の発明において、上記マイクロ波発振器と上記マイクロ波加熱炉との間に、アイソレータとパワーモニタと整合器とを有するようにしたものである。

本発明は、以上説明したように構成されているので、金属線などの被加熱物にマイクロ波エネルギーを十分かつ効率よく吸収させることが可能になり、当該被加熱物を加熱することができるようになるという優れた効果を奏する。

また、本発明は、複数本の金属線などの複数の被加熱物を同時に加熱することができるようになるという優れた効果を奏する。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明によるマイクロ波加熱装置の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。

まず、図１に示す本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の概念構成説明図と、図２（ａ）に示す図１の本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の一部Ａ矢視図と、図２（ｂ）に示す図１の本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の一部斜視図とを参照しながら説明する。

このマイクロ波加熱装置１０は、マイクロ波発振器１２と、断面が矩形の矩形導波管よりなる接続導波管１４、２２と、接続導波管２２の一部と断面が円形である円筒状の円形導波管２３とにより構成されるマイクロ波加熱炉２４とを有しており、マイクロ波発振器１２により接続導波管１４、２２を介してマイクロ波加熱炉２４に伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を伝搬させることにより、マイクロ波加熱炉２４内に位置する被加熱物たる中実な棒状の金属線３０を加熱するようになされている。

また、マイクロ波加熱装置１０においては、円形導波管２３を有して構成されたマイクロ波加熱炉２４が、接続導波管１４、２２におけるマイクロ波の伝搬方向と直交する方向にその中心軸Ｃ方向が延長するように配置されている。

なお、接続導波管２２の壁面の一部は開口しており、この開口にマイクロ波加熱炉２４を構成する円形導波管２３の一方の端部２３ａが開口状態で接続されている。

そして、金属線３０は、円形導波管２３を有して構成されたマイクロ波加熱炉２４の中心軸Ｃ方向に沿って延長するようにして、マイクロ波加熱炉２４内を移動可能に配置されている。

上記したように、マイクロ波発振器１２とマイクロ波加熱炉２４との間は接続導波管１４、２２により接続されているが、より詳細には、接続導波管１４と接続導波管２２との間には、マイクロ波加熱炉２４からの反射電力を吸収して当該反射電力をマイクロ波発振器１２へ戻る経路とは別の経路へ誘導してマイクロ波発振器１２を保護するアイソレータ１６と、マイクロ波発振器１２から入力された電力値を電力計１８ａにより視覚的に検知させるとともにマイクロ波加熱炉２４から反射された電力値を電力計１８ｂにより視覚的に検知させるパワーモニタ１８と、マイクロ波電力を有効利用するためにマイクロ波発振器１２とマイクロ波加熱炉２４とのインピーダンス整合をとるための整合器２０とが配置されている。

なお、上記した各構成部材は、マイクロ波発振器１２の後段に接続導波管１４が位置し、接続導波管１４の後段にアイソレータ１６が位置し、アイソレータ１６の後段にパワーモニタ１８が位置し、パワーモニタ１８の後段に整合器２０が位置し、整合器２０の後段に接続導波管２２が位置し、接続導波管２２の後段にマイクロ波加熱炉２４が位置するように配置されている。

次に、上記した各構成部材をさらに詳細に説明すると、接続導波管２２は、矩形導波管２２の一部と円筒状の円形導波管２３とにより構成されるマイクロ波加熱炉２４の内部を気密状態に保持するために、パワーモニタ１８側の一方の端部に気密窓２６を備えているとともに、気密窓２６が設けられている一方の端部とは反対に位置する他方の端部は閉塞されている。

また、マイクロ波加熱炉２４を構成する円形導波管２３の他方の端部２３ｂは閉塞されているが、円形導波管２３の中心軸Ｃの近傍には、４つの貫通孔２３ｃが中心軸Ｃを中心とする円周上にそれぞれ所定の間隔を開けて等間隔に穿設されている。

一方、接続導波管２２における円形導波管２３の貫通孔２３ｃを有する面と対向する壁面にも、貫通孔２３ｃとそれぞれ対向する位置に４つの貫通孔２２ａが穿設されている。

なお、円形導波管２３の貫通孔２３ｃおよび接続導波管の貫通孔２２ａには、それぞれの貫通孔２３ｃ、２２ａからのマイクロ波の漏洩を防止するとともに気密状態を保持するために、チョーク構造のボス２８が配設されている。

そして、マイクロ波加熱装置１０においては、これら互いに対向するマイクロ波加熱炉２４の貫通孔２３ｃと貫通孔２２ａとをそれぞれ貫通するようにして、合計で４本の金属線３０をマイクロ波加熱炉２４内に配置することができ、４本の金属線を同時に加熱することができるようになされている。

また、マイクロ波加熱炉２４を構成する円形導波管２３の壁面には、外部にマイクロ波を漏洩することのない孔であるカットオフ孔３２が形成されている。このカットオフ孔３２を利用して、マイクロ波加熱炉２４内において加熱されている金属線３０の温度を計測することができる。

上記したパワーモニタ１８は、マイクロ波発振器１２からマイクロ波加熱炉２４へ向かう出射波とマイクロ波加熱炉２４から戻る反射波とを同時に測定することが可能である。また、マイクロ波加熱炉２４から戻る反射波を測定することにより、金属線３０の加熱に伴い金属線３０に吸収されたエネルギーを検出可能となされている。

以上の構成において、上記したマイクロ波加熱装置１０のマイクロ波発振器１２により発生されたマイクロ波がマイクロ波加熱炉２４に伝搬されると、マイクロ波加熱炉２４に配置された金属線３０が加熱されることになる。

以下に、上記したマイクロ波加熱装置１０を用いて被加熱物として金属線３０を加熱する動作について詳細に説明すると、まずはじめに、互いに対向するマイクロ波加熱炉２４の貫通孔２３ｃと接続導波管の貫通孔２２ａとをそれぞれ挿通するようにして、合計で４本の金属線３０をマイクロ波加熱炉２４内に配置し、当該配置した金属線３０をマイクロ波加熱炉２４を構成する円形導波管２３の中心軸Ｃに沿って一定の速度で移動する。

一方、マイクロ波発振器１２の電源を投入して伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を発生させると、当該発生された伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波は、接続導波管１４、アイソレータ１６、パワーモニタ１８、整合器２０、接続導波管２２を介して、マイクロ波加熱炉２４に伝搬して供給されることとなる。

この伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波のマイクロ波加熱炉２４への伝搬により、マイクロ波加熱炉２４に生じた壁面電流が金属線３０へ変位電流として導かれ、金属線３０が発熱することになる。

図３および図４には、マイクロ波加熱炉２４におけるマイクロ波の伝送モードがＴＭ_０１である場合の電磁界が示されている。

ここで、マイクロ波加熱炉２４の貫通孔２３ｃと貫通孔２２ａとは、マイクロ波加熱炉２４内で電界強度の高い部分の近傍を金属線３０が通過できるように配置ならびに大きさを設定することにより、金属線３０を効率よく加熱することができるようになる。

そして、伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を用いるマイクロ波加熱装置１０は、従来の伝送モードがＴＥモードのマイクロ波を用いたマイクロ波加熱装置と比べると、マイクロ波加熱炉２４の中心部と周辺部との間の電界強度の差が小さいため、被加熱物である金属線３０をより均一で効率よく加熱することが可能になる。

また、このマイクロ波加熱装置１０においては、マイクロ波加熱炉２４が円形導波管２３を有して構成されているため、従来のマイクロ波加熱装置における矩形導波管により構成されるマイクロ波加熱炉に比べて、被加熱物がマイクロ波加熱炉内に存在する範囲を大きくとることができる。つまり、円形導波管の軸方向長さに応じた長さがマイクロ波加熱炉内に存在する範囲とすることができるので、円形導波管の軸方向長さに応じた長さの被加熱物を一度に加熱することができ、被加熱物にマイクロ波エネルギーを十分に吸収させることができる。

また、マイクロ波加熱装置１０においては、上記したように最大で４本の金属線３０を互いに対向するマイクロ波加熱炉２４の貫通孔２３ｃと貫通孔２２ａとにそれぞれ挿通することができ、複数の被加熱物を同時に加熱することができる。

次に、図５および図６を参照しながら、本発明によるマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態について説明する。

ここで、図５は、本発明によるマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態の図１に対応する概念構成説明図であり、図６は、図５の示す本発明によるマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態の図２（ｂ）に対応する一部斜視図である。

なお、以下の説明においては、図１〜４を参照しながら説明した本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態と同一または相当する構成については、上記において用いた符号と同一の符号を用いて示すことにより、その構成ならびに作用の詳細な説明は適宜に省略することとする。

この本発明のマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態によるマイクロ波加熱装置１００は、気密窓２６を備えた接続導波管２２の一部と円形導波管２３とにより構成されたマイクロ波加熱炉２４の内部へガスを供給することができるように、所定のガスを充填したガスボンベなどの外部からマイクロ波加熱炉２４の内部へガスを供給するためのガス供給パイプなどのガス供給手段１０２と、マイクロ波加熱炉２４の内部から外部へガスを排出するためのガス排出パイプなどのガス排出手段１０４とを備えている点において、上記した本発明のマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態によるマイクロ波加熱装置１０と異なる。

なお、ガス供給手段１０２とガス排出手段１０４とは、マイクロ波加熱炉２４の内部から外部へマイクロ波が漏洩しないような構成を備えることが好ましい。

上記したガス供給手段１０２からマイクロ波加熱炉２４の内部へ供給するガスとしては、例えば、水素ガスや窒素ガスなどの各種のガスを必要に応じて選択すればよい。

従って、このマイクロ波加熱装置１００によれば、マイクロ波加熱装置１００のマイクロ波加熱炉２４の内部に窒素ガスや水素ガスなどの各種のガスを供給しながら、供給された各種のガス雰囲気中で被加熱物を加熱することが可能になる。

次に、図７および図８を参照しながら、本発明によるマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態について説明する。

ここで、図７は、本発明によるマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態の図１に対応する概念構成説明図であり、図８は、図７の示す本発明によるマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態の図２（ｂ）に対応する一部斜視図である。

なお、以下の説明においては、図１〜６を参照しながら説明した本発明によるマイクロ波加熱装置の第１〜２の実施の形態と同一または相当する構成については、上記において用いた符号と同一の符号を用いて示すことにより、その構成ならびに作用の詳細な説明は適宜に省略することとする。

この本発明のマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態によるマイクロ波加熱装置２００は、マイクロ波加熱炉２４内において、内部に挿通された被加熱物ならびにガス供給手段１０２およびガス排出手段１０４を囲むようにガラス管２０２が配置されている点において、上記したマイクロ波加熱装置１０、１００と異なる。

従って、このマイクロ波加熱装置２００によれば、マイクロ波加熱装置２００のガラス管２０２の内部にのみガスを供給することが可能になるので、マイクロ波加熱装置全体にガスを供給する場合に比べて、ガスの使用量を低減することができる。

なお、上記した各実施の形態は、以下の（１）乃至（５）に示すように変形することができるものである。

（１）上記した各実施の形態においては、説明の複雑化を避け本発明の理解を容易にするために、その詳細な説明を省略したが、例えば、図９に示すように、カットオフ孔３２から被加熱物たる金属線３０の温度を計測する温度計測手段３００と、マイクロ波発振器１２の発振状態を制御するマイクロ波発振器制御手段３０２とを設けるようにして、温度計測手段３００がカットオフ孔３２から計測した金属線３０の温度に応じてマイクロ波発振器制御手段３０２によりマイクロ波発振器１２の発振状態を制御し、被加熱物たる金属線３０の加熱温度を制御するようにしてもよく、これにより、金属線３０の加熱温度を安定して保つことができる。

（２）上記した実施の形態においては、加熱する対象たる被加熱物として中実な棒状の金属線を用いたが、被加熱物はこれに限られるものではないことは勿論であり、糸状、円筒状あるいは平板状などの種々の形状のものを加熱する対象することができる。

（３）上記した実施の形態においては、同時に４本の金属線３０を加熱することができるようにしたが、同時に加熱することのできる被加熱物の数は４本に限られるものではないことは勿論であり、貫通孔２２ａ、２３ｃの個数を任意に選択することにより、所望の個数の被加熱物を同時に加熱することのできるようになる。例えば、貫通孔２２ａ、２３ｃの個数をそれぞれ２個ずつとすれば２本の被加熱物を加熱することができ、また、貫通孔２２ａ、２３ｃの個数をそれぞれ３個ずつとすれば３本の被加熱物を加熱することができ、また、貫通孔２２ａ、２３ｃの個数をそれぞれ５個ずつとすれば５本の被加熱物を加熱することができ、また、貫通孔２２ａ、２３ｃの個数をそれぞれ６個ずつとすれば６本の被加熱物を加熱することができるというように、貫通孔２２ａ、２３ｃは４個ずつに限らず所望の個数を形成することができ、その数に応じた個数の被加熱物を加熱することができる。

（４）上記した実施の形態においては、円形導波管２３と接続導波管２２の一部とによりマイクロ波加熱炉２４を構成したが、これに限られるものではないことは勿論であり、円形導波管のみによりマイクロ波加熱炉を構成し、円形導波管の壁面に接続導波管を接続するようにしてもよい。

（５）上記した実施の形態ならびに上記した（１）乃至（４）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。

本発明は、連続して延在する金属線などのような長尺な被加熱物を加熱する際に利用することができる。

図１は、本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の概念構成説明図である。 図２（ａ）は、図１の本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の一部Ａ矢視図であり、図２（ｂ）は、図１の本発明によるマイクロ波加熱装置の第１の実施の形態の一部斜視図である。 図３は、マイクロ波加熱炉におけるマイクロ波の伝送モードがＴＭ_０１である場合の電磁界を示す説明図である。 図４は、マイクロ波加熱炉におけるマイクロ波の伝送モードがＴＭ_０１である場合の電磁界を示す説明図である。 図５は、本発明によるマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態の図１に対応する概念構成説明図である。 図６は、図５の示す本発明によるマイクロ波加熱装置の第２の実施の形態の図２（ｂ）に対応する一部斜視図である。 図７は、本発明によるマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態の図１に対応する概念構成説明図である。 図８は、図７の示す本発明によるマイクロ波加熱装置の第３の実施の形態の図２（ｂ）に対応する一部斜視図である。 図９は、本発明によるマイクロ波加熱装置の他の実施の形態の図１に対応する概念構成説明図である。

符号の説明

１０、１００、２００ マイクロ波加熱装置
１２ マイクロ波発振器
１４ 接続導波管
１６ アイソレータ
１８ パワーモニタ
１８ａ 出射波の強度を示す電力計
１８ｂ 反射波の強度を示す電力計
２０ 整合器
２２ 接続導波管
２２ａ 貫通孔
２３ 円形導波管
２３ａ 端部
２３ｂ 端部
２３ｃ 貫通孔
２４ マイクロ波加熱炉
２６ 気密窓
２８ ボス
３０ 金属線
３２ カットオフ孔
１０２ ガス供給手段
１０４ ガス排気手段
２０２ ガラス管
３００ 温度計測手段
３００ マイクロ波発振器

Claims (9)

1. マイクロ波発振器と円形導波管を有して構成されたマイクロ波加熱炉とを接続導波管を介して接続したマイクロ波加熱装置において、
   マイクロ波加熱炉は閉塞された両方の端部にそれぞれ被加熱物を挿通可能な貫通孔を有し、
   前記マイクロ波加熱炉に伝送モードがＴＭ_０１のマイクロ波を伝搬し、
   前記マイクロ波加熱炉に発生した壁面電流を前記被加熱物に変位電流として導くことにより前記被加熱物を加熱する
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
2. 請求項１に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記貫通孔は、前記マイクロ波加熱炉の中心軸の近傍かつ前記中心軸を中心とする円周上にそれぞれ所定の間隔を開けて複数配置された
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
3. 請求項１または２のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記貫通孔にマイクロ波の漏洩を防止するチョーク構造を備えたボスを設置した
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
4. 請求項１、２または３のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記マイクロ波加熱炉にマイクロ波を漏洩しないカットオフ孔を形成した
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
5. 請求項４に記載のマイクロ波加熱装置において、さらに、
   前記カットオフ孔から前記被加熱物の温度を計測する温度計測手段を有する
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
6. 請求項５に記載のマイクロ波加熱装置において、さらに、
   前記マイクロ波発振器の発振状態を制御するマイクロ波発振器制御手段を有し、
   前記温度計測手段が前記カットオフ孔から計測した前記被加熱物の温度に応じて前記マイクロ波発振器制御手段により前記マイクロ波発振器の発振状態を制御する
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
7. 請求項１、２、３、４、５または６のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記マイクロ波加熱炉は、
   外部から所定のガスを供給可能なガス供給手段と、
   内部のガスを外部へ排出可能なガス排出手段と
   を有することを特徴とするマイクロ波加熱装置。
8. 請求項７に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記マイクロ波加熱炉は、さらに、
   前記マイクロ波加熱炉内において、前記マイクロ波加熱炉の内部に挿通された前記被加熱物ならびに前記ガス供給手段および前記排出手段を囲むガラス管を有する
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
9. 請求項１、２、３、４、５、６、７または８のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置において、
   前記マイクロ波発振器と前記マイクロ波加熱炉との間に、
   アイソレータとパワーモニタと整合器とを有する
   ことを特徴とするマイクロ波加熱装置。

Images