JP2007182002A - インクジェットヘッドおよびその製造方法ならびにインクジェット式記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることを目的とする。
【解決手段】流路部材１６に接合材１４を介して固定され、圧力室２を形成する複数の区画壁２ａと、複数の区画壁２ａ上に固定され振動板および第１の電極としての振動板兼共通電極１１と、振動板兼共通電極１１上に形成された圧電体膜１０と、圧電体膜１０上に形成された第２の電極３と、を備え、振動板兼共通電極１１と第２の電極３との間に所定の電圧が印加されることにより、圧力室２の容積を変化させる方向に圧電体膜１０を変位させるインクジェットヘッドであって、複数の区画壁２ａはそれぞれ段差部２ｂを有している。接合材１４が圧力室２にはみ出したとしても、このはみ出した接合材１４は区画壁２ａの段差部２ｂで止まり、振動板兼共通電極１１には到達していない構成とする。
【選択図】図４

Description

本発明はインクジェットヘッドおよびその製造方法ならびにインクジェット式記録装置に関するものである。

インクジェット式記録装置のインクジェットヘッドは、インク液を収容する圧力室を持つ圧力室部品と、この圧力室からインク滴を吐出させるためのアクチュエータ部である圧電体素子とを備えている。圧電体素子は、圧電体膜と、この圧電体膜に所定の電圧を印加するための個別電極及び共通電極とを備えている。所定の電圧を印加された圧電体膜は収縮および伸張する（圧電効果を生じる）。そして、インクジェットヘッドは、圧電体膜の圧電効果により圧力室の容積を変化させてインク滴をノズル孔から吐出させるように構成されている。

なお、多数のノズル孔から吐出されるインク滴の吐出特性を安定化させるには、圧電体素子の変位特性、共振特性のバラツキを抑制する必要がある。

たとえば、特開２０００−３０１７１５号公報には、ヘッド本体部とアクチュエータ部とが接着されてなるインクジェットヘッドにおいて、振動板の変位部に接着剤が付着することを防止する技術が開示されている。このインクジェットヘッドでは、振動板のヘッド本体部側の面に振動板の変位部を圧力室に晒す窓部が設けられた中間層を形成し、中間層と本体部の区画壁とを電着樹脂からなる接着剤により接着する。しかも、中間層は銅より形成され、接着剤のはみ出し部が振動板の変位部に付着しないよう、その厚みは５μｍに設定されている。
特開２０００−３０１７１５号公報

しかしながら、上記従来の技術では、中間層と本体部の区画壁とを接着するために塗布された接着剤の面積が圧力室を構成する区画壁の接着面の面積より少なくなって、その接着面の端面が接着されないか、あるいは塗布された接着剤がその接着面の端面からはみ出した状態で中間層と本体部の区画壁とが接着されると、圧電体素子の変位特性や共振特性がばらついてインク吐出効率が悪化し、信頼性の高いインクジェットヘッドを得ることができない。

そこで、本発明は、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドによる安定したインク吐出により高画質の印刷を行うことのできるインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。

この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、流路部材に接合材を介して固定され、圧力室を形成する複数の区画壁と、前記複数の区画壁における前記流路部材に固定された側とは反対側の部位に固定された振動板と、前記振動板の上に固定された第１の電極と、前記第１の電極の上に形成された圧電体膜と、前記圧電体膜の上に形成された第２の電極と、を備え、前記第１の電極と前記第２の電極との間に所定の電圧が印加されることにより、前記圧力室の容積を変化させる方向に前記圧電体膜を変位させるインクジェットヘッドであって、前記複数の区画壁はそれぞれ段差部を有している構成としたものである。

本発明の好ましい形態において、前記段差部は８μｍ〜３０μｍの範囲である構成としたものである。

本発明のさらに好ましい形態において、前記振動板は前記第１の電極を兼ねている構成としたものである。

また、この課題を解決するために、本発明のインクジェット式記録装置は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えた構成としたものである。

さらに、この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、複数の区画壁をそれぞれ段差部が形成されるべく当該段差部の数に応じて複数回に分けて形成することとしたものである。

本発明の好ましい形態において、前記複数の区画壁を、振動板から流路部材の方向に向かって前記段差部の数に応じて複数回に分けて形成するとともに当該複数回に分けて形成される複数の区画壁要素の水平方向の幅が異なるように形成する構成としたものである。

本発明のさらに好ましい形態において、前記複数の区画壁要素の幅は、当該区画壁要素と前記振動板との距離に反比例していることとしたものである。

さらに、この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、前記複数の区画壁を、振動板から流路部材の方向に向かって２回に分けて形成するとともに当該２回に分けて形成される第１の区画壁要素と第２の区画壁要素との水平方向の幅が異なるように形成し、前記振動板から前記流路部材の方向の順に前記第１の区画壁要素、前記第２の区画壁要素が形成されるときは、前記第２の区画壁要素の幅は前記第１の区画壁要素の幅よりも小さくなるように形成することとしたものである。

本発明によれば、圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという有効な効果が得られる。

また、本発明によれば、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドによる安定したインク吐出により高画質の印刷を行うことができるという有効な効果が得られる。

本発明の請求項１に記載の発明は、流路部材に接合材を介して固定され、圧力室を形成する複数の区画壁と、複数の区画壁における流路部材に固定された側とは反対側の部位に固定された振動板と、振動板の上に固定された第１の電極と、第１の電極の上に形成された圧電体膜と、圧電体膜の上に形成された第２の電極と、を備え、第１の電極と第２の電極との間に所定の電圧が印加されることにより、圧力室の容積を変化させる方向に圧電体膜を変位させるインクジェットヘッドであって、複数の区画壁はそれぞれ段差部を有していることを特徴とするインクジェットヘッドであり、確実な接合材のはみ出し、およびはみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。これにより圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという作用を有する。

本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明において、段差部は８μｍ〜３０μｍの範囲であることを特徴とするインクジェットヘッドであり、確実な接合材のはみ出し、およびはみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。これにより圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという作用を有する。

本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、振動板は第１の電極を兼ねていることを特徴とするインクジェットヘッドであり、部品点数の削減およびこれに伴う作業工程の削減が可能になるので、コストを抑制することが可能になるという作用を有する。

本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置であり、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドによる安定したインク吐出により高画質の印刷を行うことができるという作用を有する。

本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、複数の区画壁をそれぞれ段差部が形成されるべく当該段差部の数に応じて複数回に分けて形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法であり、区画壁に微少な段差を形成することが可能になるので、はみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。これにより圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという作用を有する。

本発明の請求項６に記載の発明は、請求項５記載の発明において、複数の区画壁を、振動板から流路部材の方向に向かって段差部の数に応じて複数回に分けて形成するとともに当該複数回に分けて形成される複数の区画壁要素の水平方向の幅が異なるように形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法であり、区画壁に微少な段差を均一に形成することができるので、確実な接合材のはみ出し、およびはみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。これにより圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという作用を有する。

本発明の請求項７に記載の発明は、請求項６記載の発明において、複数の区画壁要素の幅は、当該区画壁要素と振動板との距離に反比例していることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法であり、振動板に近い区画壁要素ほどその水平方向の幅は長くなっているので、振動板に最も近い区画壁要素において、はみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。

本発明の請求項８に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、複数の区画壁を、振動板から流路部材の方向に向かって２回に分けて形成するとともに当該２回に分けて形成される第１の区画壁要素と第２の区画壁要素との水平方向の幅が異なるように形成し、振動板から流路部材の方向の順に第１の区画壁要素、第２の区画壁要素が形成されるときは、第２の区画壁要素の幅は第１の区画壁要素の幅よりも小さくなるように形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法であり、区画壁に微少な段差を均一に形成することができるので、確実な接合材のはみ出し、およびはみ出した接合材の振動板への付着を確実に防止することができるという作用を有する。これにより圧電体膜の変位特性や共振特性の均一化を図ることができ、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になるという作用を有する。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１は本発明の一実施の形態であるインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図２は図１のインクジェット式記録装置におけるインクジェットヘッドの全体構成を示す斜視図、図３は図２のインクジェットヘッドの要部を示す斜視図、図４は図２のインクジェットヘッドの要部を示す断面図、図５は区画壁に形成された段差部の幅と共振変動率との関係を示すグラフ、図６は区画壁に形成された段差部の幅と接着強度比との関係を示すグラフ、図７は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの製造方法を連続的に説明する断面図、図８は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの製造方法に係る他の区画壁を説明する断面図である。

図１に示すように、インクジェット式記録装置４０は、圧電体素子の圧電効果を利用して記録を行う本発明のインクジェットヘッド４１（詳細については後述する）を備えており、インクジェットヘッド４１から吐出したインク滴を紙等の記録媒体４２に着弾させて、記録媒体４２に記録を行うものである。インクジェットヘッド４１は、主走査方向Ｘに配置したキャリッジ軸４３に設けられたキャリッジ４４に搭載されていて、キャリッジ４４がキャリッジ軸４３に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Ｘに往復動する。また、インクジェット式記録装置４０は、記録媒体４２をインクジェットヘッド４１の幅方向（すなわち、主走査方向Ｘ）と略垂直方向の副走査方向Ｙに移動させる複数個のローラ（移動手段）４５を備えている。

次に、インクジェットヘッド４１の構成について、図２および図３を参照して詳細に説明する。

図２および図３に示すように、インクジェットヘッド４１は、圧力室部品であって、圧力室用開口部１が形成される圧力室部品Ａ、圧力室用開口部１の上端開口面を覆うように配置されるアクチュエータ部Ｂ、圧力室用開口部１の下端開口面を覆うように配置されるインク液流路部品Ｃ、インク流路７に連通するノズル孔８が形成されているノズル板Ｄ、およびボンディングワイヤーＢＷを介して多数の個別電極３に対して電圧を供給するＩＣチップＥを備えている。

圧力室部品Ａの圧力室用開口部１は、その上下に位置するアクチュエータ部Ｂおよびインク液流路部品Ｃにより区画されて圧力室２となる。

アクチュエータ部Ｂには、圧力室２の上方に位置する個別電極（第２の電極）３が配置されている。圧力室２および個別電極３は、図２を参照して分かるように、千鳥状に多数配列されている。

インク液流路部品Ｃには、インク液供給方向に並ぶ圧力室２間で共用する共通液室５と、この共通液室５を圧力室２に連通する供給口６と、圧力室２内のインク液が流出するインク流路７とが形成されている。

次に、アクチュエータ部Ｂおよび圧力室部品Ａの構成について、図４を参照して詳細に説明する。

図４に示すように、アクチュエータ部Ｂは、圧力室２を形成する複数の区画壁２ａと、圧力室２を覆うようにして複数の区画壁２ａ上に固定された振動板兼共通電極（振動板および第１の電極）１１と、振動板兼共通電極１１上に形成された圧電体膜１０と、圧電体膜１０上に形成された個別電極（第２の電極）３とを有している。そして、個別電極３と振動板兼共通電極１１とは、これらの電極間に所定の電圧が印加されることにより、相互に協働して、圧力室２の容積を変化させる方向に圧電体膜１０を変位させる。なお、圧電体膜１０、第１の電極としての振動板兼共通電極１１および第２の電極３で、圧電素子を構成している。

複数の区画壁２ａはそれぞれ中間部分に段差部（あるいは段差）２ｂを有している。つまり、複数の区画壁２ａは、振動板兼共通電極１１側の部位つまり第１の区画壁（以下、「第１の区画壁要素」という。）２０と、流路部材１６側の部位つまり第２の区画壁（以下、「第２の区画壁要素」という。）２１とを有しており、これらの区画壁要素の水平方向の幅は異なっている。具体的には第１の区画壁要素２０は第２の区画壁要素２１と比較して水平方向の幅が長さＬだけ長くなっている。換言すると、区画壁２ａは幅Ｌの段差部２ｂが形成されていることになる。

このような複数の区画壁２ａは、たとえばアクリル樹脂またはエポキシ樹脂からなる接合材１４を介して流路部材１６に固定されている。接合材１４は、図４に示すように、圧力室２内にはみ出し、かつ、そのはみ出した接合材１４の一部は区画壁２ａの段差部２ｂにはみ出している。

なお、上述したように段差部２ｂを有する区画壁２ａにおいては第１の区画壁要素２０は第２の区画壁要素２１よりも広く（水平方向の幅が長さＬだけ長く）なっているので、接合材１４のはみ出しの一部が区画壁２ａの段差部２ｂにはみ出したとしても、そのはみ出した接合材１４は、区画壁２ａの段差部２ｂで止まることになり、振動板としての振動板兼共通電極１１には到達しない。すなわち、はみ出した接合材１４の振動板としての振動板兼共通電極１１への付着を防止することができる。

ここで、区画壁２ａに形成された段差部２ｂの幅と共振変動率との関係、および区画壁２ａに形成された段差部２ｂの幅と接着強度比との関係について、図５および図６を参照して説明する。

段差部２ｂの幅と共振変動率との関係においては、図５に示すように、段差部２ｂの幅Ｌ（μｍ）が大きくなると（図４参照）、接合材１４が振動板兼共通電極１１まで達する割合が減少するので、共振変動率（％）は小さくなり、特に段差部２ｂの幅Ｌが８μｍ以上であれば、共振変動率が安定しているのが分かる。

一方、段差部２ｂの幅と接着強度比との関係においては、図６に示すように、段差部２ｂの幅Ｌ（μｍ）が大きくなると（図４参照）、区画壁２ａと流路部材１６との間の接着面の幅が小さくなるので接着強度が低下し、特に段差部２ｂの幅Ｌが３０μｍを超えた場合、接着強度は段差が無い場合と比較して半分以下になってしまう。

従って、段差部２ｂの幅Ｌは８μｍ〜３０μｍの範囲が有効であることが分かる。すなわち、本実施の形態では、段差部２ｂの幅Ｌを８μｍ〜３０μｍの範囲になるように設定している。

なお、本実施の形態では、振動板兼共通電極１１と振動板とを一体化した構造にしているが、本発明はこれに限定されることなく、振動板兼共通電極１１と区画壁２ａとの間に振動板を形成するようにすることもできる。

したがって、本明細書において、振動板兼共通電極１１が区画壁２ａに固定されているとは、第１の電極および振動板としての振動板兼共通電極１１が直接区画壁２ａに固定されていること、および第１の電極としての振動板兼共通電極１１が振動板を介して区画壁２ａに固定されていること、の両方を意味する。

ところで、本実施の形態において、個別電極３は例えばＰｔ（白金）で、圧電体膜１０は例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）で、振動板兼共通電極１１は例えばＣｕ（銅）で、第１の区画壁要素２０および第２の区画壁要素２１は例えばＮｉ（ニッケル）でそれぞれ形成されている。また、個別電極３は例えば厚さ０．２μｍに、圧電体膜１０は例えば厚さ３μｍに、振動板兼共通電極１１は例えば厚さ５．５μｍに、第１の区画壁要素２０および第２の区画壁要素２１は例えば厚さ７０μｍに、各々成膜されている。

また、個別電極３、圧電体膜１０、振動板兼共通電極１１、第１の区画壁要素２０および第２の区画壁要素２１などの形成方法は、公知の各種の膜形成法、例えばスクリーン印刷の如き厚膜法やディッピング等の塗布法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、メッキ法、電鋳等の薄膜形成法が適宜採用され得る。しかし、それらに何等限定されるものではない。

次に、上述した構成のインクジェットヘッドの製造方法について、図７を参照して説明する。

図７において、先ず、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）基板１５上に個別電極３をエピタキシャル成長により成膜し（図７（ａ））、次に、個別電極３上にペロブスカイト構造の圧電体膜１０を成膜し（図７（ｂ））、さらに、圧電体膜１０上に振動板兼共通電極１１を成膜する（図７（ｃ））。なお、振動板を振動板兼共通電極１１とは別に設ける場合には、さらに振動板兼共通電極１１上に振動板を成膜する。

その後、振動板兼共通電極１１上に第１の区画壁要素２０を形成しこの表面を平滑にした後に（図７（ｄ））、第１の区画壁要素２０上にパターンを形成し、そのパターンの形状を第１の区画壁要素２０とは変えて第２の区画壁要素２１を形成しこの表面を平滑にし（図７（ｅ））、次に、例えばリン酸を用いたウエットエッチングによりＭｇＯ基板１５を除去し（図７（ｆ））、さらに、個別電極３および圧電体膜１０を所定の形状にパターニングする（図７（ｇ））。

最後に流路部材１６を接合材１４で固定すると（図７（ｈ））、図４に示したインクジェットヘッドが得られる。

ところで、図７（ｄ）、（ｅ）に示す例の複数の区画壁２ａを形成する場合は、複数の区画壁２ａを、振動板としての振動板兼共通電極１１から流路部材１６の方向に向かって１つの段差部２ｂの数に対応して２回に分けて形成するとともに、当該２回に分けて形成される第１および第２の区画壁要素２０，２１の水平方向の幅が異なるように形成する。そのとき、各区画壁要素２０，２１の幅は、当該区画壁要素と振動板としての振動板兼共通電極１１との距離に反比例するようにする。すなわち、第２の区画壁要素２１と比較して振動板としての振動板兼共通電極１１に近い第１の区画壁要素２０の水平方向の幅を、第２の区画壁要素２１の水平方向の幅よりも長くする。

なお、本実施の形態では、区画壁２ａを、振動板兼共通電極（振動板および第１の電極）１１から流路部材１６の方向に向かって段差部の数（この例では段差部２ｂの１つ）に応じて複数回（この例では２回）に分けて形成するとともに当該複数回（この例では２回）に分けて形成される第１の区画壁要素２０、第２の区画壁要素２１の水平方向の幅が異なるように形成するようにしているが、本発明はこれに限定されることなく、図８（ａ）、（ｂ）に示すような構造とすることもできる。

なお、図８（ａ）、（ｂ）に示す構造例は、例えば図７（ｅ）の紙面に対し左側の区画壁２ａに対応するものである。ここでは右側の区画壁２ａは省略している。

さて、区画壁２ａを、図８（ａ）に示すように、振動板兼共通電極（振動板および第１の電極）１１から流路部材１６の方向に向かって例えば２つの段差部３０ａ，３０ｂに対応して３回に分けて形成するとともに当該３回に分けて形成される第１の区画壁要素３１、第２の区画壁要素３２、第３の区画壁要素３３の水平方向の幅が異なるように形成するようにする。

換言すれば、振動板兼共通電極１１から流路部材１６の方向（垂直方向）に向かって、第１の区画壁要素３１、第２の区画壁要素３２、第３の区画壁要素３３を形成する。しかも、これらの区画壁要素の水平方向の幅が、振動板としての振動板兼共通電極１１との距離に反比例するように、つまり振動板兼共通電極１１に近い区画壁要素ほどその水平方向の幅が長くなるようにする。

そして、段差部３０ａの水平方向の幅と段差部３０ｂの水平方向の幅とを加算した値の幅は、上記段差部２ｂの幅Ｌ（８μｍ〜３０μｍ）とする。

なお、流路部材１６と接合材１４を介して固定される第３の区画壁要素３３の水平方向の幅は、例えば上記第２の区画壁要素２１の水平方向の幅と同等程度にすればよい。

また、区画壁２ａを、図８（ｂ）に示すように、例えば１つの段差部３５に対応して水平方向に２回に分けて形成するとともに当該２回に分けて形成される第１の区画壁要素３６、第２の区画壁要素３７を形成するようにする。この場合、流路部材１６と接合材１４を介して固定される第１の区画壁要素３６の水平方向の幅Ｌ１は、例えば上記第２の区画壁要素２１の水平方向の幅と同等程度にし、また第２の区画壁要素３７の水平方向の幅つまり段差部３５は、上記段差部２ｂの幅Ｌ（８μｍ〜３０μｍ）とする。

以上説明したように、本実施の形態によれば、確実な接合材のはみ出し、およびはみ出した接合材の振動板兼共通電極への付着防止が可能になり、複数の圧電体素子（圧電体膜１０、個別電極３および振動板兼共通電極）の相互間における変位特性や共振特性が均一化されるので、インク吐出効率の優れたインクジェットヘッドを得ることが可能になる。

そして、このようなインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置によれば、安定したインク吐出により高画質の印刷を行うことが可能になる。

本発明は、モノクロ印刷あるいはカラー印刷を行うためのインクジェットヘッドおよびその製造方法、ならびにモノクロ印刷あるいはカラー印刷を行うインクジェット式記録装置に適用することができる。

本発明の一実施の形態であるインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図 図１のインクジェット式記録装置におけるインクジェットヘッドの全体構成を示す斜視図 図２のインクジェットヘッドの要部を示す斜視図 図２のインクジェットヘッドの要部を示す断面図 区画壁に形成された段差部の幅と共振変動率との関係を示すグラフ 区画壁に形成された段差部の幅と接着強度比との関係を示すグラフ 本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの製造方法を連続的に説明する断面図 本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドの製造方法に係る他の区画壁を説明する断面図

符号の説明

２ 圧力室
２ａ 区画壁
２ｂ，３５ 段差部
３ 個別電極（第２の電極）
１０ 圧電体膜
１１ 振動板兼共通電極（振動板、第１の電極）
１４ 接合材
１６ 流路部材
２０，３１，３６ 第１の区画壁（第１の区画壁要素）
２１，３２，３７ 第２の区画壁（第２の区画壁要素）
３３ 第３の区画壁（第３の区画壁要素）
３０ａ 第１の段差部
３０ｂ 第２の段差部
４０ インクジェット式記録装置
４１ インクジェットヘッド

Claims (8)

1. 流路部材に接合材を介して固定され、圧力室を形成する複数の区画壁と、
   前記複数の区画壁における前記流路部材に固定された側とは反対側の部位に固定された振動板と、
   前記振動板の上に固定された第１の電極と、
   前記第１の電極の上に形成された圧電体膜と、
   前記圧電体膜の上に形成された第２の電極と、
   を備え、前記第１の電極と前記第２の電極との間に所定の電圧が印加されることにより、前記圧力室の容積を変化させる方向に前記圧電体膜を変位させるインクジェットヘッドであって、
   前記複数の区画壁はそれぞれ段差部を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記段差部は８μｍ〜３０μｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記振動板は前記第１の電極を兼ねていることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
4. 請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。
5. 請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
   複数の区画壁をそれぞれ段差部が形成されるべく当該段差部の数に応じて複数回に分けて形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
6. 前記複数の区画壁を、振動板から流路部材の方向に向かって前記段差部の数に応じて複数回に分けて形成するとともに当該複数回に分けて形成される複数の区画壁要素の水平方向の幅が異なるように形成することを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7. 前記複数の区画壁要素の幅は、当該区画壁要素と前記振動版との距離に反比例している
   ことを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
   前記複数の区画壁を、
   振動板から流路部材の方向に向かって２回に分けて形成するとともに当該２回に分けて形成される第１の区画壁要素と第２の区画壁要素との水平方向の幅が異なるように形成し、
   前記振動板から前記流路部材の方向の順に前記第１の区画壁要素、前記第２の区画壁要素が形成されるときは、前記第２の区画壁要素の幅は前記第１の区画壁要素の幅よりも小さくなるように形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

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