JP2007212902A - 光送受信装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡易な構造で面型発光素子に対応可能な受信感度の高い光送受信装置を提供する。
【解決手段】 光送受信装置は、コア２とそれを覆うクラッド３とを有しコア長手方向両端部にそれぞれ同方向に４５度傾斜面６ａ，６ｂを形成した光導波路１と、光導波路の一方の４５度傾斜面６ａに配置され入射光を透過光と反射光とに配分するビームスプリッタ４と、発光面の法線方向と受光面の法線方向を一にした発光素子６６および受光素子６７とを備える。例えば、受光素子６７は、光導波路の一方の４５度傾斜面６ａおよび前記ビームスプリッタ４を介して光導波路１と光学的に結合され、発光素子６６は、光導波路の他方の４５度傾斜面６ｂおよびクラッド３を介して光導波路１と光学的に結合される。
【選択図】 図６

Description

本発明は光送受信装置に係り、特に、面型発光素子に対応した光送受信装置に関する。

波長の異なる２つの信号光を１本の光ファイバにより双方向に伝送させる１芯双方向通信に使用される光送受信モジュールにおいては、信号光は誘電体多層膜からなる光学フィルタにより反射光と透過光として分離される。１芯双方向通信において上りと下りで異なる波長を用いる場合、ひとつの機器に上り用と下り用の二つのモジュールを搭載する必要があるため、通信機器が高価になるという問題があった。一方、一つの波長で上りと下りの区別無く１芯双方向通信を実現する技術として、特許文献１に記載のように、ハーフミラーを用いて送信光と受信光を所定の方向に導く方法が知られている。しかし、この方法ではハーフミラーによって送信光と受信光がそれぞれ１／２になるため、受光素子に導かれる光量が３ｄＢ以上減少してしまい、受信感度が悪化するという問題があった。

これを解決する方法として、特許文献２などに記載のように、送信光と受信光が通る領域を空間的に分離することで、受信光を効率的に受光素子に導く方法がある。しかし、この方法は、モジュールに大きな空間を必要とする為、位置調整が難しく、実用的には大口径の光ファイバに適用することしかできないという問題がある。

また、光送受信モジュールにおいては、省電力化や高速変調性の観点から垂直共振型面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）のような面発光型の発光素子が好適に用いられが、従来の技術は端面発光型のレーザーダイオードを前提としており、面発光型の素子を実装するためにはモジュールの構造が複雑になるという問題がある。
特開平１０−３９１８０号公報 特開２００２−１２４６８７号公報

従って本発明の目的は、簡易な構造で面型発光素子に対応可能な受信感度の高い光送受信装置を提供することにある。

上記目的は、コアと前記コアを覆うクラッドとを有し前記コア長手方向両端部にそれぞれ同方向に傾斜面を形成した光導波路と、前記光導波路の一方の傾斜面に配置され入射光を透過光と反射光とに配分する光分配手段と、発光面の法線方向と受光面の法線方向を一にした発光素子および受光素子とを備え、前記発光素子および受光素子の一方が、前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記発光素子および受光素子の他方が、前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合される光送受信装置により、達成される。

ここで、前記光分配手段は、反射率が５０％以上９５％未満に設定され、前記発光素子が前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記受光素子が前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合されるようにすることができる。また、前記光分配手段は、反射率が５％以上５０％未満に設定され、前記受光素子が前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記発光素子が前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合されるようにすることができる。

また、前記光導波路の傾斜面は好適には４５度傾斜面である。この「４５度」は、４５度丁度のほかその近傍も含む約４５度を意味する。前記光分配手段は金属薄膜からなるビームスプリッタまたは誘電体多層膜からなるビームスプリッタとすることができる。前記光分配手段は前記傾斜面に直接形成することができる。前記発光素子は垂直共振型面発光レーザとすることができる。前記光導波路の他方の傾斜面に金属薄膜または誘電体多層膜による反射ミラーを配置することができる。前記コアの少なくとも一方の端部における前記コア長手方向と垂直方向の光導波路の表面上にマイクロレンズを設けることができる。前記光導波路は高分子光導波路とすることができる。

本発明に係る光導波路は、コアと前記コアを覆うクラッドとを備え、前記コア長手方向両端部にそれぞれ傾斜面を形成して側面視形状を平行四辺形とし、前記傾斜面の一方に入射光を透過光と反射光とに配分する光分配手段を配置したものである。前記傾斜面は好適には４５度傾斜面である。この「４５度」は、４５度丁度のほかその近傍も含む約４５度を意味する。前記傾斜面の他方に金属薄膜または誘電体多層膜による反射ミラーを配置することができる。前記コアの少なくとも一方の端部における前記コア長手方向と垂直方向の前記クラッドの表面上にマイクロレンズを設けることができる。前記コアの少なくとも一方の端部において前記コア長手方向と垂直方向に別のコアを設けることができる。前記コアと前記コアを覆うクラッドは高分子材料で形成することができる。

本発明によれば、簡易な構造で面型発光素子に対応可能な受信感度の高い光送受信装置を得ることができる。

以下、本発明に係る光送受信装置の実施例を説明するが、その前に、それに用いる光導波路の構成例について説明する。

＜光導波路＞
図１（Ａ）は、光送受信装置において信号光の光量の分配と受発光素子との光接合を担う光導波路の構成例を示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の光導波路の側面図である。図示のように、光導波路１は、コア２とそれを覆うクラッド３とを有し、コア長手方向両端部が４５度傾斜面６ａ，６ｂとなっており、側面視形状は平行四辺形を呈している。一方の４５度傾斜面６ａには光分配手段としてビームスプリッタ４が設置される。ビームスプリッタ４を金属薄膜により作製した場合、装置コストを抑えることができる。また、ビームスプリッタ４を誘電体多層膜とすることで、光吸収が無く効率的に反射率を高めることができる。尚、ビームスプリッタ４は別体として作製されたものを光導波路端部に設置することも可能であるが、光導波路端面に直接積層することで部品点数を減らし、実装コストを抑制することができる。このビームスプリッタ４と後述する光素子（発光素子または受光素子）との間には、屈折率が１．３から１．８程度の図示しない接着剤が介在している。

このように構成された光導波路において、他方の４５度傾斜面６ｂの下方からの第１の信号光Ｌ１は、光導波路１のコア２の４５度傾斜面６ｂによるマイクロミラーによって反射され、図の左方向にコア２を伝搬し、ビームスプリッタ４において、一部が反射光Ｌ１ｒとして上方に反射されて外部へ導かれる。また、その残部は透過光Ｌ１ｔとしてそのまま透過する。一方、上方から入射する第２の信号光Ｌ２は、ビームスプリッタ４において、一部は透過光Ｌ２ｔとしてそのまま透過する。また、その残部は反射光Ｌ２ｒとして図の右方向にコア２を伝搬し、４５度傾斜面２ｂによるマイクロミラーによって反射されて外部に出射される。

ここで、一方の４５度傾斜面６ａに設置されたビームスプリッタ４に対向して受光素子を配置し、他方の４５度傾斜面６ｂおよびクラッド３を介して光導波路コア部に光結合する位置にレーザーダイオード等の発光素子を配置した場合、ビームスプリッタの反射率を５０％未満に設定することで受光素子へ入射する信号光の光量を確保し、受信感度を高めることができる。また、発光素子からの出射光に対してはビームスプリッタは装置外へ出射する光量をレーザー安全基準内に抑える為のフィルタ代わりとなる。一方、光送受信装置が十分な通信性能を得る上で必要とされる信号光強度を確保する為にはビームスプリッタの反射率は５％以上であることが望ましい。また、一方の４５度傾斜面６ａに設置されたビームスプリッタ４に対向して配置される素子をレーザーダイオード等の発光素子とし、他方の４５度傾斜面６ｂおよびクラッド３を介して光導波路コア部に光結合する素子を受光素子とした場合、上記と同様の理由によりビームスプリッタの反射率は５０％以上９５％未満であることが望ましい

図２（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ光導波路パターンのパリエーションを示す側面図である。図２（Ａ）に示すように、他方の４５度傾斜面６ｂに金属薄膜からなる反射ミラー７を作製することでマイクロミラー面を保護することが可能である。また、反射ミラー７を誘電体多層膜によるミラーとすることで、光吸収が無く効率的に反射率を高めることができる。反射ミラー７は全反射ミラーとすることができる。さらに、４５度傾斜面によりコアの長手方向と垂直に伝搬方向を変換される信号光の光路となる光導波路の表面上にマイクロレンズ８ａ，８ｂを設けることができる。すなわち、このマイクロレンズは、コア２の少なくとも一方の端部におけるコア長手方向と垂直方向のクラッド３の表面上に設けることができる。これにより信号光をコリメートすることができる。光導波路のコア２は直線に限られず、対向する４５度面斜面間を拡散することなく光を伝搬する構造であればよい。

また、図２（Ｂ）に示すように、４５度傾斜面から垂直方向にコア２ａ，２ｂによる副導波路部を設けることで、コア２による主導波路部と光導波路１の外部とを光が拡散することなく接続することが可能になる。すなわち、少なくとも一方の端部においてコア長手方向と垂直方向に別のコア２ａ及び／又はコア２ｂを設けることができる。

本光導波路としては、上記形状を満たしていれば、素材、加工方法に特に制限はない。樹脂材料（高分子材料）により構成される高分子導波路をダイシングソーによって加工することで、低コストで作製が可能である。高分子導波路の作製方法に特に制限は無く、一般によく用いられるフォトリソグラフィやＲＩＥ（反応性イオンエッチング）を利用した方法で作製可能である。特に、本発明者らが既に提案している特開２００４−２９５０７号公報に記載の方法を用いることで、剛体基板を用いる事無く高分子光導波路フィルムの作製が可能なため、その後のダイシングソーによる外形形成と同時に光学端面の形成が可能である。この方法を次に説明する。

図３（Ａ）〜（Ｇ）は、高分子材料を用いた光導波路の製造方法の一例を説明するための図である。図３（Ａ）は光導波路用凸部１２が形成された原盤１０を示す。この原盤１０の光導波路用凸部１２が形成された面に、図３（Ｂ）に示すように、鋳型形成用の硬化性樹脂材料の層２０ａを形成し硬化する。次に、硬化した鋳型形成用の樹脂材料の層２０ａを原盤１０から剥離し（型取り）、この層に形成された凹部２２（原盤の光導波路用の凸部１２に対応する）が露出するようにその両端を切断して、図３（Ｃ）に示すように、鋳型２０を作製する。この鋳型は例えばシリコーン樹脂製とすることができる。

この鋳型２０に、図３（Ｄ）に示すように、それと密着性が良いクラッド用基材（クラッド）３０を密着させる。次に、鋳型２０の一端をコアとなる硬化性樹脂４０ａに接触させ、毛細管現象を利用して鋳型の凹部２２に進入させる。図３（Ｅ）は、鋳型２０の凹部に硬化性樹脂が充填された状態を示す。そして、紫外線の照射又は加熱により凹部内に充填した硬化性樹脂を硬化させ、硬化した鋳型を剥離する（図示せず）。これにより、図３（Ｆ）に示すように、クラッド３０の上に光導波路用凸部（コア）４０が形成される。さらに、クラッド３０のコア形成面にクラッド５０を形成する。これにより、図３（Ｇ）に示すように、光導波路６０が作製される。以上のようにして作製された光導波路６０を、ダイシングソー等により成形して光導波路１を得る。ダイシングソーによる光導波路の外形形成例を次に示す。簡単の為、ここでは対向した４５度傾斜面間を直線で接続した光導波路とする。

図４は、光導波路の外形形成方法の一例を説明するための上面図である。本例では、図示のように、クラッド５０に覆われた複数の直線状のコア４０が互いに平行に配列された光導波路６０（光導波路フィルム）について、コア４０の長手方向、およびコア４０の長手方向に対し４５度の角度で切削を行い、平行四辺形状の光導波路１とする。このように光導波路フィルム上面形状を平行四辺形とする方法では、光導波路のすべての端面が同一のダイシングブレードにより成形可能であり、切削にかかる工数は通常の光導波路フィルムを作製する場合と同等である。また、光導波路フィルム内にコアを自由に設計できるため、図２（Ｂ）に示したようなコア２ａ，２ｂによる副導波路部を有する光導波路を作製する事ができる。

図５（Ａ）〜（Ｃ）は、光導波路の外形形成方法の一例を説明するための側面図である。本例では、まず、図５（Ａ）に示すように、刃先におよそ４５度の傾斜角を有するダイシングブレード５１を、土台５２上に配置された光導波路６０（光導波路フィルム）に対して垂直に当てて切削加工を行うことにより、４５度傾斜面５３を作製する。次に、必要に応じて、図５（Ｂ）に示すように、傾斜面５３に対してスパッタリング等により金属薄膜または誘電体多層膜からなるビームスプリッタ５４を形成する。この工程は必須ではなく、別の方法でビームスプリッタを形成してもよい。そして、図５（Ｃ）に示すように、光導波路６０を裏返して土台５２上に配置し、上記図５（Ａ）の場合と同様にして、ダイシングブレード５１を光導波路６０に対して垂直に当てて切削加工を行うことにより、４５度傾斜面５５を作製する。このように、光導波路６０の両面に対し切削を行うことにより、光導波路６０の側面形状を平行四辺形とすることができる。この方法は、光導波路フィルムの片面に対し４５度傾斜面を形成した後、該傾斜面に対して金属薄膜または誘電体多層膜からなるビームスプリッタを形成し、しかる後に光導波路フィルムのもう一方の面に対して切削を行うものであり、これにより複数の光導波路に対し一括してビームスプリッタを形成することが可能である。次に光送受信装置について説明する。

＜光送受信装置＞
図６は本発明に係る光送受信装置の一実施例を示す側面図であり、図７は本発明に係る光送受信装置の一実施例を示す上面図である。本実施例では、一芯双方向通信用の光送受信装置を示す。図示のように、光送受信装置６１は、台座６２と、光学的に透明な窓材６３を有するカバー６４とを備えたパッケージを具備している。窓材６３は、例えば図示しない光ファイバに光学的に接続可能とされている。台座６２上には、サブマウント基板６５が配置されている。このサブマウント基板６５上には、面型発光型素子６６と、面型受光素子６７と、受光素子用アンプ６８とが搭載されており、さらに側面形状が平行四辺形状の光導波路１が、面型発光素子６６および面型受光素子６７の近傍に配置される。すなわち、発光素子６６の発光面の法線方向と受光素子６７の受光面の法線方向は一に（同方向に）されている。図示のように、発光素子６６と受光素子６７は所望の距離を隔てて同一平面に配置され、これにより簡易な構造で面型発光素子に対応可能となり受信感度も高くすることができる。

光導波路１は、例えばコア径が４５μｍであり光の伝搬方向の一方の端面に反射率を１５％に設定した光分配手段としてのビームスプリッタ４を備えている。ここで、発光素子６６としては、装置外へ出射する光量をレーザー安全基準内に抑えること、及び受信感度を高めることのバランスを考えると、端面発光レーザに比較して発光効率が高いＶＣＳＥＬを発光素子として用いることが望ましい。また、受光素子６７としては、フォトダイオード、例えば、高速なシリコン系、またはガリウムヒ素系のＰＩＮフォトダイオード、或は、ＭＳＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）型フォトダイオードを用いることができるが、その他の素子であってもよい。

本実施例では、面型受光素子６７は、台座６２上面の中央部に光導波路１のビームスプリッタ４と対向して設置される。波長選択フィルタ４の面と面型受光素子６７の受光面の空間には屈折率が１．３から１．８程度の接着剤６９が介在している。面型受光素子６７に入射する信号光を透過率の高いビームスプリッタ４の透過光とすることで、信号光を効率よく受光することが出来る。この場合、ビームスプリッタ４の反射率は例えば５％以上５０％未満に設定される。また、面型発光素子（ＶＣＳＥＬ）６６を光導波路１の他方の４５度傾斜面に対向して設置することにより、４５度傾斜面による２回の光路変換による損失と、ビームスプリッタの反射率、および光導波路の導波性能の最適化によって、レーザー光の光量を安全基準内に抑えるように調整することができる。面型発光素子６６と面型受光素子６７は、それぞれ突き当てによる位置決め機構を有するサブマウント基板６５により相互の位置を精密に調整し実装する事ができる。面型発光素子６６と面型受光素子６７の配置位置は交換可能である。面型発光素子６６が、台座６２上面の中央部に光導波路１のビームスプリッタ４と対向して設置される場合、ビームスプリッタ４の反射率は例えば５０％以上９５％未満に設定される。

次に、本実施例の動作を説明する。図６に示すように、面型発光素子６６から上方に向けて出射された第１の信号光Ｌ１は、光導波路１のコア２の４５度傾斜面によって反射され、図の左方向にコア２を伝搬し、ビームスプリッタ４において、一部が反射光Ｌ１ｒとして上方に反射されて窓材６３を介して光送受信装置６１の外部へ導かれる。また、その残部は透過光Ｌ１ｔとしてそのまま透過する。一方、光送受信装置６１の外部から窓材６３を介して入射する第２の信号光Ｌ２は、光導波路１の上方より入射し、ビームスプリッタ４において、一部は透過光Ｌ２ｔとしてそのまま透過して面受光素子に到達する。また、その残部は反射光Ｌ２ｒとして図の右方向にコア２を伝搬し、４５度傾斜面によって反射されて面型発光素子６６方向に出射されるが、反射光Ｌ２ｒの光量は小さくしかも光導波路１から出射する時に発散するので面型発光素子６６に悪影響を与えることはない。

光導波路１は受発光素子との光接続と受発光素子の電気結線を考慮して設計される。前者の光接続に関しては、受発光素子と光導波路コア部の４５度傾斜面の距離が近い事が望まれる。レンズを介さない発光素子からの出射光は平行光ではなく広がり角を持つ事から、発光面と該発光面に接続される導波路コア部との距離の増加に伴い、良好な光結合のために必要とされる実装位置の公差は厳しくなる。また、光導波路への入射光を効率良くコアの４５度傾斜面に光接続し、且つ、ビームスプリッタからの透過光を効率良く面型受光素子に入射させる為には、コア部４５度傾斜面と面型受光素子の隔たりも小さい事が要求される。例えば、ＮＡが０．２の信号光がコア部の４５度傾斜面に焦点を持って入射する場合に、有効受光径が７０μｍのフォトダイオードの実装公差を±１０μｍ程度確保するためには、コアと受光面との距離を１５０μｍよりも小さくする必要がある。図２（Ａ）に示したように、光導波路外部へ出射される、もしくは光導波路外部より入射される信号光の光路となる光導波路表面にマイクロレンズを設ける事により、光結合時の実装トレランスの向上が可能になる。

また、後者の受発光素子の電気結線に関しては、受発光素子の上方に設置される光導波路が受発光素子の電極面と干渉しないように配慮する必要がある。図８（Ａ）、（Ｂ）は受発光素子電極面と光導波路構造との関係の一例を示す図、図９（Ａ）、（Ｂ）は受発光素子電極面と光導波路構造との関係の他の例を示す図である。各図において符号８１，８２は、それぞれ発光素子６６および受光素子６７の電極（電極面）を示す。例えば、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、光導波路１のコア２の長手方向延長線上に発光素子（ＶＣＳＥＬ）６６の電極面を配置する場合には、光導波路４５度面の下部８３を切り落とすことも有効である。また、図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、コア２の長手方向と垂直に光導波路側面側に発光素子（ＶＣＳＥＬ）６６および受光素子（フォトダイオード）６７の電極面を配置する場合には、コア２と受発光素子電極面が配置される側の光導波路側面までの距離を小さく設計する事で、光導波路１と受発光素子の電極面との干渉を回避することができる。

このように、本発明に係る光送受信装置は、受発光素子が光導波路を介して光ファイバと接続される双方向光通信モジュールであって、光伝播方向の端面を約４５度傾斜面とした側面視形状が平行四辺形の光導波路と、前記光導波路の一方の４５度傾斜面に配置され、入射した光を透過光と反射光とに配分する光分配手段と、受発光面の法線方向を一にした一つの発光素子と一つの受光素子により構成され、前記受発光素子の一方が受発光面の法線方向を該モジュールの入出射方向として前記光導波路の前記光分配手段が配置された４５度傾斜面に対向して配置され、他方の受発光素子が他方の４５度傾斜面とクラッド部を介して光接合されるものである。これにより、簡易な構造で面型発光素子に対応可能な受信感度の高い光送受信装置を得ることができる。

本発明は光送受信装置に係り、特に、面型発光素子に対応した光送受信装置に関するものであり、産業上の利用可能性がある。

（Ａ）は、光送受信装置において信号光の光量の分配と受発光素子との光接合を担う光導波路の構成例を示す斜視図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の光導波路の側面図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ光導波路パターンのパリエーションを示す側面図である。 （Ａ）〜（Ｇ）は高分子材料を用いた光導波路の製造方法の一例を説明するための図である。 光導波路の外形形成方法の一例を説明するための上面図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は光導波路の外形形成方法の一例を説明するための側面図である。 本発明に係る光送受信装置の一実施例を示す側面図である。 本発明に係る光送受信装置の一実施例を示す上面図である。 受発光素子電極面と光導波路構造との関係の一例を示す図である。 受発光素子電極面と光導波路構造との関係の他の例を示す図である。

符号の説明

Ｌ１第１の信号光
Ｌ２ 第２の信号光
１ 光導波路
２，２ａ，２ｂ，２ｃ コア
３ クラッド
４ ビームスプリッタ
６ａ，６ｂ ４５度傾斜面
７ 反射ミラー
８ａ，８ｂ マイクロレンズ

Claims (17)

1. コアと前記コアを覆うクラッドとを有し前記コア長手方向両端部にそれぞれ同方向に傾斜面を形成した光導波路と、前記光導波路の一方の傾斜面に配置され入射光を透過光と反射光とに配分する光分配手段と、発光面の法線方向と受光面の法線方向を一にした発光素子および受光素子とを備え、前記発光素子および受光素子の一方が、前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記発光素子および受光素子の他方が、前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合されることを特徴とする光送受信装置。
2. 前記光分配手段は、反射率が５０％以上９５％未満に設定され、前記発光素子が前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記受光素子が前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の光送受信装置。
3. 前記光分配手段は、反射率が５％以上５０％未満に設定され、前記受光素子が前記光導波路の一方の傾斜面および前記光分配手段を介して前記光導波路と光学的に結合され、前記発光素子が前記光導波路の他方の傾斜面および前記クラッドを介して前記光導波路と光学的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の光送受信装置。
4. 前記光導波路の傾斜面が４５度傾斜面であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光送受信装置。
5. 前記光分配手段が金属薄膜からなるビームスプリッタであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光送受信装置。
6. 前記光分配手段が誘電体多層膜からなるビームスプリッタであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光送受信装置。
7. 前記光分配手段が前記傾斜面に直接形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光送受信装置。
8. 前記発光素子が垂直共振型面発光レーザであることを特徴とする請求項１から７に記載の光送受信装置。
9. 前記光導波路の他方の傾斜面に金属薄膜または誘電体多層膜による反射ミラーを配置したことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光送受信装置。
10. 前記コアの少なくとも一方の端部における前記コア長手方向と垂直方向の光導波路の表面上にマイクロレンズを設けたことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の光送受信装置。
11. 前記光導波路が高分子光導波路であることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の光送受信装置。
12. コアと前記コアを覆うクラッドとを備え、前記コア長手方向両端部にそれぞれ傾斜面を形成して側面視形状を平行四辺形とし、前記傾斜面の一方に入射光を透過光と反射光とに配分する光分配手段を配置したことを特徴とする光導波路。
13. 前記傾斜面が４５度傾斜面であることを特徴とする請求項１２に記載の光導波路。
14. 前記傾斜面の他方に金属薄膜または誘電体多層膜による反射ミラーを配置したことを特徴とする請求項１２または１３に記載の光導波路。
15. 前記コアの少なくとも一方の端部における前記コア長手方向と垂直方向の前記クラッドの表面上にマイクロレンズを設けたことを特徴とする請求項１２から１４のいずれかに記載の光導波路。
16. 前記コアの少なくとも一方の端部において前記コア長手方向と垂直方向に別のコアを設けたことを特徴とする請求項１１から１５のいずれかに記載の光導波路。
17. 前記コアと前記コアを覆うクラッドとが高分子材料で形成されることを特徴とする請求項１２から１６のいずれかに記載の光導波路。

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