JP2008032402A - リフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法 - Google Patents

リフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法 Download PDF

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Abstract

【課題】リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間でリフレクタの性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象となる楕円面リフレクタ10を支持するためのリフレクタ支持部材110と、楕円面リフレクタ10に向けてレーザ光を照射するためのLD光源120と、LD光源120を支持するためのLD光源支持部材130と、楕円面リフレクタ10の第1焦点近傍にLD光源120を配置するために、LD光源120の位置を調整する機能を有する位置調整装置と、楕円面リフレクタ10の第2焦点近傍に配置され、楕円面リフレクタ10から射出される光の量を測定するための光量測定装置150とを備えるリフレクタ評価装置。
【選択図】図1

Description

本発明は、リフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法に関する。
プロジェクタ等に用いるリフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)を評価する手段の1つとして、触針式の表面粗さ測定装置が従来知られている(例えば、特許文献1参照。)。触針式の表面粗さ測定装置は、触針をリフレクタの表面(内面)に接触させながら触針を移動させ、触針の上下運動を電気信号に変換することにより、リフレクタの表面粗さを測定するものである。
触針式の表面粗さ測定装置によれば、リフレクタの表面粗さを高精度に測定することが可能であり、表面粗さに基づいたリフレクタの性能を評価することが可能である。
実開平5−71704号公報
しかしながら、触針式の表面粗さ測定装置を用いてリフレクタの性能を評価する場合、触針をリフレクタの表面(内面)に接触させることにより表面粗さを測定するため、リフレクタの表面を傷付けてしまうという問題があった。
また、触針式の表面粗さ測定装置を用いてリフレクタの性能を評価する場合、リフレクタの全面にわたって触針を走査するのに長時間を要するため、リフレクタの性能を評価するのに多大な時間を要するという問題があった。
そこで、本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間でリフレクタの性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法を提供することを目的とする。
本発明のリフレクタ評価装置は、評価対象となるリフレクタを支持するためのリフレクタ支持部材と、前記リフレクタに向けてレーザ光を照射するためのLD光源と、前記LD光源を支持するためのLD光源支持部材と、前記リフレクタの焦点近傍に前記LD光源を配置するために、前記リフレクタの位置又は前記LD光源の位置を調整する機能を有する位置調整装置と、前記リフレクタの被照明領域側における所定位置に配置され、前記リフレクタから射出される光の量を測定するための光量測定装置とを備えることを特徴とする。
このため、本発明のリフレクタ評価装置によれば、リフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)の良し悪しにより光量測定装置で測定される光量が変化するため、光量測定装置で測定される光量の測定結果に基づいてリフレクタの性能を評価することが可能となる。
すなわち、比較的表面粗さの小さいリフレクタと比較的表面粗さの大きいリフレクタとでは、比較的表面粗さの大きいリフレクタの方が散乱する光が多く、反射光が乱れてしまうため、光量測定装置で測定される光量は少なくなる。比較的形状精度の良いリフレクタと比較的形状精度の低い(悪い)リフレクタとの場合及び内面に傷が存在しない又は比較的傷が少ないリフレクタと内面に比較的傷が多いリフレクタとの場合も、上記の場合と同様に、比較的形状精度の低い(悪い)リフレクタ及び内面に比較的傷が多いリフレクタの方が、光量測定装置で測定される光量は少なくなる。
また、本発明のリフレクタ評価装置によれば、レーザ光を利用してリフレクタの性能を評価するものであるため、従来のようにリフレクタの表面を傷付けてしまうこともない。
また、本発明のリフレクタ評価装置によれば、レーザ光を利用してリフレクタの広い面積を1度に測定することができるため、従来のようにリフレクタの性能を評価するのに多大な時間を要することもない。
したがって、本発明のリフレクタ評価装置は、リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間でリフレクタの性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記リフレクタは、楕円面リフレクタであり、前記LD光源は、前記楕円面リフレクタの第1焦点近傍に配置されるように構成され、前記光量測定装置は、前記楕円面リフレクタの第2焦点近傍に配置されるように構成されていることが好ましい。
このように構成することにより、楕円面リフレクタからの集束光の光量を光量測定装置で測定し、楕円面リフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)を評価することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記第2焦点近傍であって前記光量測定装置よりも前記第1焦点側の所定位置に配置され、所定形状の開口部を有する遮光部材をさらに備えることが好ましい。
ところで、性能の高い楕円面リフレクタ(例えば、表面粗さが小さく、形状精度が高く、傷が少ない楕円面リフレクタ。)は第1焦点からの光を正確に反射して第2焦点にきちんと集光することが可能である一方、性能の低い楕円面リフレクタ(例えば、表面粗さが大きく、形状精度が低く、傷が多い楕円面リフレクタ。)は第1焦点からの光を正確に反射して第2焦点にきちんと集光することができない。
このため、本発明のリフレクタ評価装置によれば、上記のように構成することにより、楕円面リフレクタの第2焦点のごく近傍を通過する光のみを通過させることが可能となるため、楕円面リフレクタの性能の良し悪しによって光量測定装置によって測定される光量が大きく変化するようになり、光量測定装置における測定感度を高くすることが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記リフレクタは、放物面リフレクタであり、前記LD光源は、前記放物面リフレクタの焦点近傍に配置されるように構成されていることが好ましい。
このように構成することにより、放物面リフレクタからの略平行光の光量を光量測定装置で測定し、放物面リフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)を評価することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記光量測定装置は、前記放物面リフレクタの光軸上に配置され前記放物面リフレクタから射出される光を受けるための積分球と、前記積分球の中に配置された光量測定素子とを有することが好ましい。
このように構成することにより、放物面リフレクタから射出される光を積分球でもれなく受けて当該光量を測定することが可能となるため、放物面リフレクタの性能をより正確に評価することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記LD光源支持部材は、前記リフレクタの光軸に平行な軸を回転中心として回転可能に構成されていることが好ましい。
このように構成することにより、レーザ光をリフレクタの円周方向に沿って走査することで、リフレクタの内面における円周方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記リフレクタ支持部材は、前記リフレクタの光軸を回転中心として前記リフレクタを回転させる機能を有することが好ましい。
このように構成することによっても、レーザ光をリフレクタの円周方向に沿って走査することで、リフレクタの内面における円周方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記LD光源支持部材は、前記リフレクタの光軸と前記LD光源の光軸とのなす角度を調整する機能を有することが好ましい。
このように構成することにより、レーザ光の照射範囲をリフレクタの湾曲方向(リフレクタを開口面に直交する面で切った場合の、リフレクタの湾曲面に沿った方向。)に沿って移動させることで、リフレクタの内面における湾曲方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。本発明のリフレクタ評価装置は、深底のリフレクタの性能を評価する場合に、特に有用となる。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記LD光源支持部材として、前記リフレクタの光軸と前記LD光源の光軸とのなす角度が異なる複数のLD光源支持部材を交換可能に備えることが好ましい。
このように構成することによっても、レーザ光の照射範囲をリフレクタの湾曲方向(リフレクタを開口面に直交する面で切った場合の、リフレクタの湾曲面に沿った方向。)に沿って移動させることで、リフレクタの内面における湾曲方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。本発明のリフレクタ評価装置は、深底のリフレクタの性能を評価する場合に、特に有用となる。
なお、この明細書において「LD光源の光軸」とは、LD光源から射出される光の中心軸のことをいう。
本発明のリフレクタ評価装置においては、前記リフレクタと前記光量測定装置との間に配置され、前記リフレクタから射出される光の一部を反射するためのハーフミラーと、前記ハーフミラーで反射された光のスペックルパターンを撮影する撮像装置とをさらに備えることが好ましい。
ところで、本発明者の実験により、リフレクタの表面粗さと撮像装置で撮影されるスペックルパターンの大きさとの間には相関関係があることがわかった。すなわち、リフレクタの表面粗さが小さくなればなるほどスペックルパターンは大きなものとなり、リフレクタの表面粗さが大きくなればなるほどスペックルパターンは小さなものとなるのである。
このため、本発明のリフレクタ評価装置によれば、光量測定装置で測定される光量の測定結果に加えて、撮像装置で撮影されたスペックルパターンの大きさに基づいてリフレクタの性能を評価することが可能となるため、リフレクタの性能を多面的な観点から総合的に評価することが可能となる。すなわち、光量測定装置による測定結果からは部分的な光量低下が見られた場合に、その光量低下が表面粗さに起因するものなのか、形状精度に起因するものなのか、傷に起因するものなのかを明らかにすることが可能となる。
本発明のリフレクタ評価方法は、評価対象となるリフレクタの焦点近傍にLD光源を配置し、前記リフレクタの被照明領域側における所定位置に光量測定装置を配置した状態で、前記LD光源から前記リフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記リフレクタから射出される光の量を前記光量測定装置により測定することにより、前記リフレクタの性能を評価することを特徴とする。
なお、本発明のリフレクタ評価方法において、評価対象となるリフレクタが楕円面リフレクタであれば、LD光源を当該楕円面リフレクタの第1焦点近傍に配置し、光量測定装置を当該楕円面リフレクタの第2焦点近傍に配置するものとする。また、評価対象となるリフレクタが放物面リフレクタであれば、LD光源を当該放物面リフレクタの焦点近傍に配置し、光量測定装置を当該放物面リフレクタの被照明領域側における所定位置に配置するものとする。
このため、本発明のリフレクタ評価方法によれば、楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)の良し悪しにより光量測定装置で測定される光量が変化するため、光量測定装置で測定される光量の測定結果に基づいて楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能を評価することが可能となる。
また、本発明のリフレクタ評価方法によれば、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能を評価するものであるため、楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能を評価することが可能となる。
本発明のリフレクタ評価方法においては、前記リフレクタと前記光量測定装置との間にハーフミラーを配置するとともに、前記ハーフミラーで反射された光を撮影する撮像装置を配置し、前記リフレクタから射出される光の量を前記光量測定装置により測定するとともに、前記ハーフミラーで反射された光のスペックルパターンを前記撮像装置で観察することにより、前記リフレクタの性能を評価することが好ましい。
このような方法とすることにより、光量測定装置で測定される光量の測定結果に加えて、撮像装置で撮影されたスペックルパターンの大きさに基づいて楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能を評価することが可能となるため、楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの性能を多面的な観点から総合的に評価することが可能となる。すなわち、光量測定装置による測定結果からは部分的な光量低下が見られた場合に、その光量低下が表面粗さに起因するものなのか、形状精度に起因するものなのか、傷に起因するものなのかを明らかにすることが可能となる。
以下、本発明のリフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
[実施形態1]
図1は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100を説明するために示す図である。図1(a)はリフレクタ評価装置100の構成を模式的に示す図であり、図1(b)は遮光部材160を楕円面リフレクタ10側から見た図である。
図2は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100におけるLD光源支持部材130の機能を説明するために示す図である。図2は、リフレクタ支持部材110に支持された楕円面リフレクタ10を楕円面リフレクタ10の開口面側から見たときの状態を示している。
図3は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100におけるLD光源支持部材130の機能を説明するために示す図である。図3(a)はLD光源支持部材130の機能を説明するための概念図であり、図3(b)は楕円面リフレクタ10における開口面側の内面を照射するようにLD光源配置部134の角度を調整した場合を示す図であり、図3(c)は楕円面リフレクタ10における首状部12側の内面を照射するようにLD光源配置部134の角度を調整した場合を示す図である。
図4は、実施形態1に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャートである。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100は、図1に示すように、評価対象となる楕円面リフレクタ10を支持するためのリフレクタ支持部材110と、楕円面リフレクタ10に向けてレーザ光を照射するためのLD(レーザダイオード)光源120と、LD光源120を支持するためのLD光源支持部材130と、LD光源支持部材110に配設された位置調整装置140(図示せず。)と、楕円面リフレクタ10から射出される光の量を測定するための光量測定装置150と、略円形状の開口部162を有する遮光部材160とを備える。
評価対象となる楕円面リフレクタ10は、発光管の一方の封止部に挿通・固着されることとなる筒状の首状部12と、発光管から放射された光を第2焦点F2に向けて反射する反射面14とを有する。
リフレクタ支持部材110は、図2に示すように、楕円面リフレクタ10の開口面側の所定位置(例えば、楕円面リフレクタ10の開口面における上下左右の計4箇所。)を支持する支持部材である。
LD光源120は、ここでは図示による説明を省略するが、赤色光を射出する発光部と、LD基板とを有する。
LD光源支持部材130は、LD光源120を支持する支持部材であり、例えば、アルミニウム合金から構成されている。また、LD光源支持部材130は、図2に示すように、楕円面リフレクタ10の光軸10axに平行な軸を回転中心として回転可能に構成されている。
LD光源支持部材130は、図1に示すように、支持部132と、LD光源配置部134と、支持部132とLD光源配置部134とを連結するヒンジ部136とを有する。
このように構成されたLD光源支持部材130は、図3に示すように、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源120の光軸120axとのなす角度θを調整する機能を有する。すなわち、ヒンジ部136を回動中心としてLD光源配置部134を図3(a)に示す矢印a方向に回動させることにより、図3(b)に示すように、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源120の光軸120axとのなす角度θを大きくすることができる。これにより、楕円面リフレクタ10における開口面側の内面にレーザ光を照射することが可能となる。また、ヒンジ部136を回動中心としてLD光源配置部134を図3(a)に示す矢印a方向に回動させることにより、図3(c)に示すように、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源120の光軸120axとのなす角度θを小さくすることができる。これにより、楕円面リフレクタ10における首状部12側の内面にレーザ光を照射することが可能となる。
なお、「LD光源120の光軸120ax」とは、LD光源120から射出される光の中心軸のことをいう。
位置調整装置140は、ここでは図示による説明を省略するが、LD光源支持部材130に配設され、LD光源120が楕円面リフレクタ10の第1焦点F1近傍に配置されるように、LD光源120の位置を調整する機能を有する。
光量測定装置150は、楕円面リフレクタ10から射出される光の量を測定するためのものであり、楕円面リフレクタ10の第2焦点F2近傍に配置されている。光量測定装置150は、例えば、フォトダイオードからなる。
遮光部材160は、第2焦点F2近傍であって光量測定装置150よりも第1焦点F1側の所定位置(光量測定装置150の光入射側の位置)に配置され、略円形状の開口部162を有する(図1(b)参照。)。
実施形態1に係るリフレクタ評価方法は、上記したリフレクタ評価装置100を用いて評価対象となる楕円面リフレクタ10の性能を評価する方法であって、図4に示すように、LD光源及び光量測定装置配置ステップS10と、レーザ光照射ステップS20と、光量測定ステップS30とを含むものである。以下、これら各ステップを順に説明する。
(LD光源及び光量測定装置配置ステップS10)
まず、評価対象となる楕円面リフレクタ10の第1焦点F1近傍にLD光源120を配置し、楕円面リフレクタ10の第2焦点F2近傍に光量測定装置150を配置する。
(レーザ光照射ステップS20)
次に、LD光源120及び光量測定装置150を所定位置に配置した状態で、LD光源120から楕円面リフレクタ10に向けてレーザ光を照射する。
(光量測定ステップS30)
そして、楕円面リフレクタ10から射出される光の量を光量測定装置150により測定する。
楕円面リフレクタの性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)の良し悪しにより光量測定装置150で測定される光量が変化する。例えば、比較的表面粗さの小さい楕円面リフレクタと比較的表面粗さの大きい楕円面リフレクタとでは、比較的表面粗さの大きい楕円面リフレクタの方が散乱する光が多く、反射光が乱れてしまうため、光量測定装置150で測定される光量は少なくなる。比較的形状精度の良い楕円面リフレクタと比較的形状精度の低い(悪い)楕円面リフレクタとの場合及び内面に傷が存在しない又は比較的傷が少ない楕円面リフレクタと内面に比較的傷が多い楕円面リフレクタとの場合も、上記の場合と同様に、比較的形状精度の低い(悪い)楕円面リフレクタ及び内面に比較的傷が多い楕円面リフレクタの方が、光量測定装置150で測定される光量は少なくなる。
光量測定ステップS30における光量の測定結果に基づいて楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能となる。
以上のように、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100によれば、楕円面リフレクタ10の性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)の良し悪しにより光量測定装置150で測定される光量が変化するため、光量測定装置150で測定される光量の測定結果に基づいて楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能となる。
また、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100によれば、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の性能を評価するものであるため、従来のように楕円面リフレクタの表面を傷付けてしまうこともない。
また、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100によれば、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の広い面積を1度に測定することができるため、従来のように楕円面リフレクタの性能を評価するのに多大な時間を要することもない。
したがって、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100は、楕円面リフレクタ10の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、位置調整装置140は、LD光源支持部材130に配設され、LD光源120の位置を調整する機能を有するため、リフレクタ評価時に、リフレクタ支持部材110に支持された楕円面リフレクタ10に対してLD光源120の位置を調整することが可能となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、LD光源120は、赤色光を射出するLD光源である。赤色光を射出するLD光源は比較的安価であるため、安価なリフレクタ評価装置となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、LD光源支持部材130は、熱伝導性の高いアルミニウム合金からなるため、LD光源120で発生する熱を効率よく放散させることが可能となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、第2焦点F2近傍であって光量測定装置150よりも第1焦点F1側の所定位置に配置され、略円形状の開口部162を有する遮光部材160をさらに備えるため、楕円面リフレクタ10の第2焦点F2のごく近傍を通過する光のみを通過させることが可能となる。このため、楕円面リフレクタ10の性能の良し悪しによって光量測定装置150によって測定される光量が大きく変化するようになり、光量測定装置150における測定感度を高くすることが可能となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、LD光源支持部材130は、楕円面リフレクタ10の光軸10axに平行な軸を回転中心として回転可能に構成されている。これにより、レーザ光を楕円面リフレクタ10の円周方向(図2参照。)に沿って走査することで、楕円面リフレクタの内面における円周方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100においては、リフレクタ支持部材110は、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源120の光軸120axとのなす角度を調整する機能を有する。これにより、レーザ光の照射範囲を楕円面リフレクタ10の湾曲方向(図3(a)に示す矢印A,A方向。)に沿って移動させることで、楕円面リフレクタ10の内面における湾曲方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。実施形態1に係るリフレクタ評価装置100は、深底の楕円面リフレクタの性能を評価する場合に、特に有用となる。
また、実施形態1に係るリフレクタ評価方法によれば、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の性能を評価するものであるため、楕円面リフレクタ10の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能となる。
[実施形態2]
図5は、実施形態2に係るリフレクタ評価装置200を説明するために示す図である。図5は、リフレクタ支持部材210に支持された楕円面リフレクタ10を楕円面リフレクタ10の開口面側から見たときの状態を示している。なお、図5において、図2と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施形態2に係るリフレクタ評価装置200は、基本的には実施形態1に係るリフレクタ評価装置100と同様の構成を有するが、リフレクタ支持部材の有する機能が実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは異なる。
すなわち、実施形態2に係るリフレクタ評価装置200においては、図5に示すように、リフレクタ支持部材210は、楕円面リフレクタ10の光軸10axを回転中心として楕円面リフレクタ10を回転させる機能を有する。これにより、レーザ光を楕円面リフレクタ10の円周方向に沿って走査することで、楕円面リフレクタ10の内面における円周方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。
このように、実施形態2に係るリフレクタ評価装置200は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは、リフレクタ支持部材の有する機能が異なるが、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様に、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の性能を評価するものであるため、楕円面リフレクタ10の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
実施形態2に係るリフレクタ評価装置200は、リフレクタ支持部材の有する機能以外の点では、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様の構成を有するため、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
[実施形態3]
図6は、実施形態3に係るリフレクタ評価装置300を説明するために示す図である。図6(a)は第1のLD光源支持部材330aを配置した場合のリフレクタ評価装置300の構成を模式的に示す図であり、図6(b)は第2のLD光源支持部材330bを配置した場合のリフレクタ評価装置300の構成を模式的に示す図であり、図6(c)は第3のLD光源支持部材330cを配置した場合のリフレクタ評価装置300の構成を模式的に示す図である。
実施形態3に係るリフレクタ評価装置300は、基本的には実施形態1に係るリフレクタ評価装置100と同様の構成を有するが、複数のLD光源支持部材を備える点で、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは異なる。
すなわち、実施形態3に係るリフレクタ評価装置300においては、図6(a)に示すように、LD光源支持部材として、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源320a〜320cの光軸320aax〜320caxとのなす角度θが異なる第1〜第3のLD光源支持部材330a〜330cを交換可能に備える。
第1のLD光源支持部材330aは、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源320aの光軸320aaxとのなす角度θが比較的大きくなるように構成されているため、図6(a)に示すように、楕円面リフレクタ10における開口面側の内面にレーザ光を照射することが可能となる。
第2のLD光源支持部材330bは、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源320bの光軸320baxとのなす角度θが第1のLD光源支持部材330aの場合よりも小さくなるように構成されているため、図6(b)に示すように、楕円面リフレクタ10における開口面側と首状部12との間の内面にレーザ光を照射することが可能となる。
第3のLD光源支持部材330cは、楕円面リフレクタ10の光軸10axとLD光源320cの光軸320caxとのなす角度θが小さくなるように構成されているため、図6(c)に示すように、楕円面リフレクタ10における首状部12側の内面にレーザ光を照射することが可能となる。
上記した第1〜第3のLD光源支持部材330a〜330cを適宜使い分けることにより、楕円面リフレクタ10の内面における湾曲方向全面にわたってレーザ光を照射することが可能となる。
このように、実施形態3に係るリフレクタ評価装置300は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは、複数のLD光源支持部材を備える点で異なるが、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様に、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の性能を評価するものであるため、楕円面リフレクタ10の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
実施形態3に係るリフレクタ評価装置300は、複数のLD光源支持部材を備える点以外の点では、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様の構成を有するため、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
[実施形態4]
図7は、実施形態4に係るリフレクタ評価装置400の構成を模式的に示す図である。図8は、実施形態4に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャートである。なお、図7において、図1(a)と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施形態4に係るリフレクタ評価装置400は、基本的には実施形態1に係るリフレクタ評価装置100と同様の構成を有するが、ハーフミラー及び撮像装置をさらに備える点で、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは異なる。
すなわち、実施形態4に係るリフレクタ評価装置400においては、図7に示すように、楕円面リフレクタ10と光量測定装置150との間に配置され、楕円面リフレクタ10から射出される光の一部を反射するためのハーフミラー470と、ハーフミラー470で反射された光のスペックルパターンを撮影する撮像装置480とをさらに備える。
このように、実施形態4に係るリフレクタ評価装置400は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは、ハーフミラー及び撮像装置をさらに備える点で異なるが、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様に、レーザ光を利用して楕円面リフレクタ10の性能を評価するものであるため、楕円面リフレクタ10の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
実施形態4に係るリフレクタ評価方法は、上記したリフレクタ評価装置400を用いて評価対象となる楕円面リフレクタ10の性能を評価する方法であって、図8に示すように、実施形態1で説明したLD光源及び光量測定装置配置ステップS10、レーザ光照射ステップS20並びに光量測定ステップS30に加えて、ハーフミラー及び撮像装置配置ステップS12とスペックルパターン観察ステップS32とを含むものである。以下、ハーフミラー及び撮像装置配置ステップS12並びにスペックルパターン観察ステップS32について詳細に説明する。なお、LD光源及び光量測定装置配置ステップS10、レーザ光照射ステップS20並びに光量測定ステップS30については、実施形態1で説明したものと同様であるため、詳細な説明は省略する。
(ハーフミラー及び撮像装置配置ステップS12)
LD光源及び光量測定装置配置ステップS10を行った後、楕円面リフレクタ10と光量測定装置150との間にハーフミラー470を配置するとともに、ハーフミラー470で反射された光を撮影する撮像装置480を配置する。
(スペックルパターン観察ステップS32)
光量測定ステップS30を行った後、ハーフミラー470で反射された光のスペックルパターンを撮像装置480で観察する。
ここで、本発明者の実験により、楕円面リフレクタ10の表面粗さと撮像装置480で撮影されるスペックルパターンの大きさとの間には相関関係があるわかった。すなわち、楕円面リフレクタの表面粗さが小さくなればなるほどスペックルパターンは大きなものとなり、楕円面リフレクタの表面粗さが大きくなればなるほどスペックルパターンは小さなものとなる。
このため、上記のスペックルパターン観察ステップS32による撮像装置480で撮影されたスペックルパターンの大きさに基づいて、楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能となる。
以上にように、実施形態4に係るリフレクタ評価装置400及びリフレクタ評価方法によれば、光量測定装置150で測定される光量の測定結果に加えて、撮像装置480で撮影されたスペックルパターンの大きさに基づいて楕円面リフレクタ10の性能を評価することが可能となるため、楕円面リフレクタ10の性能を多面的な観点から総合的に評価することが可能となる。すなわち、光量測定装置150による測定結果からは部分的な光量低下が見られた場合に、その光量低下が表面粗さに起因するものなのか、形状精度に起因するものなのか、傷に起因するものなのかを明らかにすることが可能となる。
[実施形態5]
図9は、実施形態5に係るリフレクタ評価装置500の構成を模式的に示す図である。図10は、実施形態5に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャートである。
実施形態5に係るリフレクタ評価装置500は、基本的には実施形態1に係るリフレクタ評価装置100と同様の構成を有するが、評価対象となるリフレクタの種類及び光量測定装置の種類が、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは異なる。
すなわち、実施形態5に係るリフレクタ評価装置500においては、図9に示すように、楕円面リフレクタに代えて放物面リフレクタ20を評価対象としている。
また、実施形態5に係るリフレクタ評価装置500においては、光量測定装置として、積分球及び光量測定素子を有する光量測定装置550を用いている。
光量測定装置550は、放物面リフレクタ20の光軸20ax上に配置され放物面リフレクタ20から射出される光を受けるための積分球552と、積分球552の中に配置された光量測定素子554とを有する。
なお、評価対象となる放物面リフレクタ20を支持するためのリフレクタ支持部材510、放物面リフレクタ20に向けてレーザ光を照射するためのLD光源520、LD光源520を支持するためのLD光源支持部材530及び放物面リフレクタ20の焦点F近傍にLD光源520を配置するために、LD光源520の位置を調整する機能を有する位置調整装置540(図示せず。)については、実施形態1で説明したリフレクタ支持部材110、LD光源120、LD光源支持部材130及び位置調整装置140と同様の機能及び構成を有するため、詳細な説明は省略する。
このように、実施形態5に係るリフレクタ評価装置500は、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100とは、評価対象となるリフレクタの種類及び光量測定装置の種類が異なるが、実施形態1に係るリフレクタ評価装置100の場合と同様に、レーザ光を利用して放物面リフレクタ20の性能を評価するものであるため、放物面リフレクタ20の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で放物面リフレクタ20の性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置となる。
また、実施形態5に係るリフレクタ評価装置500においては、光量測定装置550は、積分球552と、光量測定素子554とを有するため、放物面リフレクタ20から射出される光を積分球552でもれなく受けて当該光量を測定することが可能となり、放物面リフレクタ20の性能をより正確に評価することが可能となる。
実施形態5に係るリフレクタ評価方法は、上記したリフレクタ評価装置500を用いて評価対象となる放物面リフレクタ20の性能を評価する方法であって、図10に示すように、放物面リフレクタ20の焦点F近傍にLD光源520を配置し、放物面リフレクタ20の被照明領域側における所定位置に光量測定装置550を配置するLD光源及び光量測定装置配置ステップS110と、LD光源520から放物面リフレクタ20に向けてレーザ光を照射するレーザ光照射ステップS120と、放物面リフレクタ20から射出される光の量を光量測定装置550により測定する光量測定ステップS130とを含むものである。
このため、実施形態5に係るリフレクタ評価方法によれば、放物面リフレクタ20の性能(例えば、表面粗さ、形状精度、傷の存在など。)の良し悪しにより光量測定装置550で測定される光量が変化するため、光量測定装置550で測定される光量の測定結果に基づいて放物面リフレクタ20の性能を評価することが可能となる。
また、実施形態5に係るリフレクタ評価方法によれば、レーザ光を利用して放物面リフレクタ20の性能を評価するものであるため、放物面リフレクタ20の表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間で放物面リフレクタ20の性能を評価することが可能となる。
以上、本発明のリフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法を上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
(1)上記各実施形態のリフレクタ評価装置100〜500においては、位置調整装置は、LD光源支持部材に配設され、LD光源が楕円面リフレクタの第1焦点F1近傍に配置されるように、又はLD光源が放物面リフレクタの焦点F近傍に配置されるように、LD光源の位置を調整する機能を有していたが、本発明はこれに限定されるものではない。位置調整装置として、リフレクタ支持部材に配設され、LD光源が楕円面リフレクタの第1焦点F1近傍に配置されるように、又はLD光源が放物面リフレクタの焦点F近傍に配置されるように、楕円面リフレクタ又は放物面リフレクタの位置を調整する機能を有する位置調整装置を用いてもよい。
(2)上記実施形態1〜4に係るリフレクタ評価装置100〜400においては、遮光部材として、開口部162の形状が略円形状である遮光部材160を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、開口部の形状が略円形状以外の形状である遮光部材を用いてもよい。
(3)上記実施形態3に係るリフレクタ評価装置300においては、複数のLD光源支持部材として、3つのLD光源支持部材330a〜330cを交換可能に備える場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、2つ又は4つ以上のLD光源支持部材を交換可能に備えていてもよい。
(4)上記実施形態4に係るリフレクタ評価装置400においては、評価対象となるリフレクタが楕円面リフレクタである場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、評価対象となるリフレクタが放物面リフレクタであってもよい。
(5)上記実施形態4に係るリフレクタ評価方法においては、LD光源及び光量測定装置配置ステップS10の後にハーフミラー及び撮像装置配置ステップS12が行われ、光量測定ステップS30の後にスペックルパターン観察ステップS32が行われる場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。ハーフミラー及び撮像装置配置ステップS12は、例えば、LD光源及び光量測定装置配置ステップS10の前に行ってもよいし、LD光源及び光量測定装置配置ステップS10と同時に行ってもよいし、光量測定ステップS30の後に行ってもよい。また、スペックルパターン観察ステップS32は、例えば、光量測定ステップS30の前に行ってもよいし、光量測定ステップS30と同時に行ってもよい。
(6)上記実施形態5に係るリフレクタ評価装置500においては、光量測定装置として、積分球552及び光量測定素子554を有する光量測定装置550を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、光量測定装置として、例えば照度計を用いてもよい。
(7)上記実施形態5に係るリフレクタ評価方法においては、光量測定ステップS130の測定結果に基づいて放物面リフレクタ20の性能を評価しているが、本発明はこれに限定されるものではない。上記実施形態4に係るリフレクタ評価方法の場合と同様に、放物面リフレクタ20と光量測定装置550との間にハーフミラー及び撮像装置を配置して、当該撮像装置で撮影されたスペックルパターンの大きさに基づいて、放物面リフレクタ20の性能を評価してもよい。この場合、スペックルパターン観察ステップは、光量測定ステップS130の前に行ってもよいし、光量測定ステップS130と同時に行ってもよいし、光量測定ステップS130の後に行ってもよい。
実施形態1に係るリフレクタ評価装置100を説明するために示す図。 実施形態1に係るリフレクタ評価装置100におけるLD光源支持部材130の機能を説明するために示す図。 実施形態1に係るリフレクタ評価装置100におけるLD光源支持部材130の機能を説明するために示す図。 実施形態1に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャート。 実施形態2に係るリフレクタ評価装置200を説明するために示す図。 実施形態3に係るリフレクタ評価装置300を説明するために示す図。 実施形態4に係るリフレクタ評価装置400の構成を模式的に示す図。 実施形態4に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャート。 実施形態5に係るリフレクタ評価装置500の構成を模式的に示す図。 実施形態5に係るリフレクタ評価方法を説明するために示すフローチャート。
符号の説明
10…楕円面リフレクタ、10ax…楕円面リフレクタの光軸、12…首状部、14…反射面、20…放物面リフレクタ、20ax…放物面リフレクタの光軸、100,200,300,400,500…リフレクタ評価装置、110,210,510…リフレクタ支持部材、120,320a,320b,320c,520…LD光源、120ax,320aax,320bax,320cax…LD光源の光軸、130,330a,330b,330c,530…LD光源支持部材、132,532…支持部、134,534…LD光源配置部、136,536…ヒンジ部、150,550…光量測定装置、160…遮光部材、162…開口部、470…ハーフミラー、480…撮像装置、552…積分球、554…光量測定素子、F…(放物面リフレクタの)焦点、F1…(楕円面リフレクタの)第1焦点、F2…(楕円面リフレクタの)第2焦点、θ…リフレクタの光軸とLD光源の光軸とのなす角度

Claims (12)

  1. 評価対象となるリフレクタを支持するためのリフレクタ支持部材と、
    前記リフレクタに向けてレーザ光を照射するためのLD光源と、
    前記LD光源を支持するためのLD光源支持部材と、
    前記リフレクタの焦点近傍に前記LD光源を配置するために、前記リフレクタの位置又は前記LD光源の位置を調整する機能を有する位置調整装置と、
    前記リフレクタの被照明領域側における所定位置に配置され、前記リフレクタから射出される光の量を測定するための光量測定装置とを備えることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  2. 請求項1に記載のリフレクタ評価装置において、
    前記リフレクタは、楕円面リフレクタであり、
    前記LD光源は、前記楕円面リフレクタの第1焦点近傍に配置されるように構成され、
    前記光量測定装置は、前記楕円面リフレクタの第2焦点近傍に配置されるように構成されていることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  3. 請求項2に記載のリフレクタ評価装置において、
    前記第2焦点近傍であって前記光量測定装置よりも前記第1焦点側の所定位置に配置され、所定形状の開口部を有する遮光部材をさらに備えることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  4. 請求項1に記載のリフレクタ評価装置において、
    前記リフレクタは、放物面リフレクタであり、
    前記LD光源は、前記放物面リフレクタの焦点近傍に配置されるように構成されていることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  5. 請求項4に記載のリフレクタ評価装置において、
    前記光量測定装置は、前記放物面リフレクタの光軸上に配置され前記放物面リフレクタから射出される光を受けるための積分球と、前記積分球の中に配置された光量測定素子とを有することを特徴とするリフレクタ評価装置。
  6. 請求項1〜5のいずれかに記載のリフレクタ評価装置において、
    前記LD光源支持部材は、前記リフレクタの光軸に平行な軸を回転中心として回転可能に構成されていることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  7. 請求項1〜5のいずれかに記載のリフレクタ評価装置において、
    前記リフレクタ支持部材は、前記リフレクタの光軸を回転中心として前記リフレクタを回転させる機能を有することを特徴とするリフレクタ評価装置。
  8. 請求項1〜7のいずれかに記載のリフレクタ評価装置において、
    前記LD光源支持部材は、前記リフレクタの光軸と前記LD光源の光軸とのなす角度を調整する機能を有することを特徴とするリフレクタ評価装置。
  9. 請求項1〜7のいずれかに記載のリフレクタ評価装置において、
    前記LD光源支持部材として、
    前記リフレクタの光軸と前記LD光源の光軸とのなす角度が異なる複数のLD光源支持部材を交換可能に備えることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  10. 請求項1〜9のいずれかに記載のリフレクタ評価装置において、
    前記リフレクタと前記光量測定装置との間に配置され、前記リフレクタから射出される光の一部を反射するためのハーフミラーと、
    前記ハーフミラーで反射された光のスペックルパターンを撮影する撮像装置とをさらに備えることを特徴とするリフレクタ評価装置。
  11. 評価対象となるリフレクタの焦点近傍にLD光源を配置し、前記リフレクタの被照明領域側における所定位置に光量測定装置を配置した状態で、前記LD光源から前記リフレクタに向けてレーザ光を照射し、
    前記リフレクタから射出される光の量を前記光量測定装置により測定することにより、前記リフレクタの性能を評価することを特徴とするリフレクタ評価方法。
  12. 請求項11に記載のリフレクタ評価方法において、
    前記リフレクタと前記光量測定装置との間にハーフミラーを配置するとともに、前記ハーフミラーで反射された光を撮影する撮像装置を配置し、
    前記リフレクタから射出される光の量を前記光量測定装置により測定するとともに、前記ハーフミラーで反射された光のスペックルパターンを前記撮像装置で観察することにより、前記リフレクタの性能を評価することを特徴とするリフレクタ評価方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104101479A (zh) * 2014-06-18 2014-10-15 安徽华夏显示技术股份有限公司 一种par灯定焦检测装置及其定焦检测方法
CN104359424A (zh) * 2014-10-09 2015-02-18 无锡中科光电技术有限公司 一种椭球镜面形检测装置及方法
WO2016151682A1 (ja) * 2015-03-20 2016-09-29 国立大学法人 東京大学 Euv光用回転楕円体ミラーの反射率計測装置
CN106767392A (zh) * 2017-01-11 2017-05-31 哈尔滨工业大学 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104101479A (zh) * 2014-06-18 2014-10-15 安徽华夏显示技术股份有限公司 一种par灯定焦检测装置及其定焦检测方法
CN104359424A (zh) * 2014-10-09 2015-02-18 无锡中科光电技术有限公司 一种椭球镜面形检测装置及方法
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