JP2008102011A - 穴内検査装置および穴内検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査時間の短縮化を図れ、かつ検査精度の向上を図れる穴内検査装置を提供すること。
【解決手段】穴２０の内部における異物９の有無を検査する穴内検査装置１であって、穴２０と同一形状かつ同一寸法の開口４１を有する絞り装置４と、開口を通してレーザー光を穴に照射するレーザー光源３と、穴からのレーザー光を受光するＣＣＤカメラ６と、このＣＣＤカメラ６が受光したレーザー光に基づいて異物の有無を判定する判定装置７とを備える。従って、従来のように対物レンズによってＣＣＤカメラを合焦させる必要がなくなり、検査時間の短縮化を図れる。穴を反射するレーザー光が対物レンズを通さずにＣＣＤカメラの受光素子に照射され、受光されるレーザー光が光軸に対して平行であるので、穴の内部に検査できない死角が生じず、検査精度を向上できる。
【選択図】図２

Description

本発明は、穴内検査装置および穴内検査方法に関する。詳しくは、穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査装置および穴内検査方法に関する。

従来、インクジェットプリンタのヘッド等の検査対象物に形成された微小な穴の内部に異物があるかどうかを顕微鏡によって目視検査していたが、近年、ＣＣＤカメラを備え、穴内の残留物をＣＣＤカメラによって検査する検査装置が知られるようになった（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載された検査装置は、光源から発せられた光が射出孔（穴）を通してＣＣＤカメラに入光するように構成されている。そして、ＣＣＤカメラの合焦位置を穴の深さ方向において等間隔に変化させながらＣＣＤカメラの撮影を繰り返し、穴に異物がない場合にはＣＣＤカメラが結像されず、穴に異物がある場合にはＣＣＤカメラが結像されるという違いによって、結像された場合を穴に異物があると判定する検査装置として構成されている。

特開平１１−２５８１７０号公報

しかしながら、前記特許文献１に記載の検査装置では、ＣＣＤカメラの合焦位置を穴の深さ方向に等間隔に変える際に、その都度、検査対象物の上下位置を調整するとともに、ＣＣＤカメラに設けられた対物レンズの位置をも調整しなければならず、検査時間が長くなってしまうという問題がある。また、穴内に対物レンズの合焦位置を合わせるので、穴内の内壁付近に死角が生じてしまい、この死角となる部分の検査ができず、検査精度の向上を図ることができないという問題もある。

本発明の目的は、検査時間の短縮化を図ることができて、かつ、検査精度の向上を図ることができる穴内検査装置および穴内検査方法を提供することである。

本発明の穴内検査装置は、穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査装置であって、前記穴と同一形状かつ同一寸法の開口を有する絞り手段と、前記開口を通してレーザー光を前記穴に照射するレーザー光源と、前記穴に照射された前記レーザー光を受光する受光素子と、この受光素子が受光したレーザー光に基づいて前記異物の有無を判定する判定手段とを備えることを特徴とする。

ここで、穴としては底面を有する穴であってもよく、または、貫通する穴であってもよい。底面を有する穴の場合において、受光素子は、穴の底面によって反射されるレーザー光を受光するように設けられてもよい。または、貫通する穴の場合において、受光素子は、穴内の異物を反射するレーザー光を受光するように設けられてもよく、あるいは、穴を通過するレーザー光を受光するように設けられてもよい。または、穴の開口を覆うように反射板を設けて、反射板に反射されるレーザー光を受光素子が受光するようにしてもよい。

このような構成において、レーザー光源から照射されたレーザー光は、絞り手段によって穴と同じ形状および寸法に絞られて穴に照射される。そして、穴を反射または通過するレーザー光が受光素子にて受光される。ここで、穴に異物がある場合には、穴に照射されたレーザー光の一部が散乱されるので、例えば、穴から反射されるレーザー光を受光したり、穴を通過するレーザー光を受光する場合、異物がある位置に対応する位置の受光素子で受光されるレーザー光は、異物がない位置に対応する位置の受光素子で受光されるレーザー光よりも弱くなる。この原理を用いて、判定手段が受光されたレーザー光の強さを、例えば、基準となるレーザー光の強さと比較して、強さの差が所定の値よりも大きくなる場合には、穴内に異物があると判定する。基準となるレーザー光の強さとして、予め異物のない穴を検査した際に受光されたレーザー光の強さを用いてもよい。
なお、受光されたレーザー光は、受光素子においてレーザー光の強さに応じた大きさのデジタル信号にＡ／Ｄ変換されるとともに、判定手段は、このデジタル信号に基づいて穴内の異物の有無を判定するように構成すればよい。

また、判定手段が、受光素子で受光されたレーザー光に対応するデジタル信号を画像として蓄積し、周辺よりも信号値が小さい部分を強調するフィルタ等を用いて画像を処理し、例えば、処理されたデジタル信号の中で、画像全体の信号値の平均よりも小さい信号値を検出して、その信号値と平均値との差が所定の値よりも大きい場合には、穴内に異物があると判定するようにしてもよい。

この発明によれば、従来のように対物レンズによってＣＣＤカメラを合焦させる必要がなく、検査時間の短縮化を図ることができる。
また、穴を反射または通過するレーザー光が対物レンズを通さずに受光素子に照射される。すなわち、受光されるレーザー光が光軸に対して平行となるので、穴の内部に検査できない死角が生じなくて済む。これによって、例えば、穴の内壁に付着する異物も確実に検出することができ、検査装置の検査精度が向上される。

本発明の穴内検査装置では、前記レーザー光源の照射方向の前方にハーフミラーが設けられ、このハーフミラーは、前記レーザー光源からのレーザー光を反射して前記穴に照射するように配置されるとともに、前記穴から反射されたレーザー光を透過して前記受光素子に当該透過したレーザー光が照射されるように設けられていることが好ましい。

この構成において、穴から反射されたレーザー光としては、底面を有する穴の場合には、底面によって反射されたレーザー光でもよく、貫通する穴の場合には、穴の開口を覆うように反射板を設けて、この反射板によって反射されたレーザー光でもよい。
本発明によれば、レーザー光源からのレーザー光を反射して穴に照射するハーフミラーが設けられるので、穴の一方の開口側に、レーザー光源および受光素子を配置することができ、これらの配置の自由度を大きくすることができる。これによって、検査装置をコンパクトにすることができる。特に、検査対象物の製造ライン等に本発明の検査装置を設ける場合には、レーザー光源や受光素子を検査対象物に対して同じ側にまとめて配置することができるので、製造ライン等に容易に配置でき、また、メンテナンスも容易となる。

本発明の穴内検査装置では、前記穴は、貫通する穴であり、前記受光素子は、前記穴を通過する前記レーザー光を受光するように設けられていることが好ましい。
このような構成によれば、受光素子がレーザー光源からのレーザー光をハーフミラーを介さずに直接受光するので、穴内に異物が無い部分を通過して受光されるレーザー光の強さが、ハーフミラーを介した場合のレーザー光の強さよりも強くなる。また、穴内に異物がある部分ではレーザー光が散乱して通過しないので、異物がある部分に対応する位置の受光素子が受光するレーザー光の強さと、異物が無い部分に対応する位置の受光素子が受光するレーザー光の強さとの差が大きく検出される。従って、確実に異物の有無を判定することができ、検査精度を向上させることができる。

本発明の穴内検査方法は、穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査方法であって、前記穴と同一形状かつ同一寸法の開口を有する絞り手段を用いて、レーザー光源からレーザー光を前記開口を通して前記穴に照射する照射工程と、前記穴に照射された前記レーザー光を受光素子に受光させる受光工程と、前記受光素子が受光したレーザー光に基づいて前記異物の有無を判定する判定工程とを備えることを特徴とする。

この発明によれば、穴内検査方法は、照射工程、受光工程、判定工程を備えているので、上述した穴内検査装置と同様の効果を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
［１．全体構成］
図１は、本実施形態の穴内検査装置１の構成を示す概念図である。
穴内検査装置１は、検査対象物２に形成された穴２０内部の異物の有無を検査するものであって、レーザー光源３と、絞り手段としての絞り装置４と、ハーフミラー５と、ＣＣＤカメラ６と、判定手段としての判定装置７と、出力手段としての表示パネル８とを備えている。
穴２０は、本実施形態では底面２１を有しており、インクジェットプリンタのヘッドに形成された微小な穴などが例示される。

レーザー光源３は、照射口からレーザー光を照射するように構成され、レーザー光の光軸に直交する断面の形状および寸法は、穴２０の形状および寸法よりも大きい。
絞り装置４およびハーフミラー５は、レーザー光源３から照射されるレーザー光の光軸上に配置されている。
絞り装置４は、レーザー光源３の照射口に配置され、穴２０と同一形状かつ同一寸法の開口４１を有している。絞り装置４は、レーザー光源３からのレーザー光が開口４１を通ることで、レーザー光を穴２０と同一形状かつ同一寸法にするように設けられている。

ハーフミラー５は、絞り装置４よりもレーザー光の進行方向に配置され、薄いガラス層によって形成されている。また、ハーフミラー５は、入射されるレーザー光を部分的に反射させるとともに部分的に透過させるように構成されている。
本実施形態では、ハーフミラー５は、レーザー光源３からのレーザー光の光軸に対して略４５度傾くように配置されており、ハーフミラー５に入射されるレーザー光を反射して、入射方向の光軸と反射方向の光軸とが成す角度が９０度となるように設けられている。この反射方向の光軸上に検査対象物２が設けられ、ハーフミラー５によって反射されたレーザー光が照射される位置に穴２０が配置されている。このようにして、ハーフミラー５は、レーザー光源３からのレーザー光を穴２０に向けて反射させるように構成されている。また、穴２０に照射されるレーザー光は、穴２０の底面２１によってハーフミラー５に向けて反射される。ハーフミラー５は、この穴２０からのレーザー光を部分的に透過して、ＣＣＤカメラに向けて照射させるように構成されている。

ＣＣＤカメラ６は、穴２０の底面２１によって反射されたレーザー光の光軸上に設けられており、ハーフミラー５に対して穴２０の配置位置とは反対側に配置されている。また、ＣＣＤカメラ６は、穴２０の底面２１を反射するレーザー光を受光して、レーザー光の大きさに応じたデジタル信号を出力するように構成されている。すなわち、ＣＣＤカメラ６には、本発明の受光素子としてのＣＣＤ（電荷結合素子）６０が設けられ、このＣＣＤ６０は、格子状に並んだ複数の画素（不図示）から構成されている。そして、ＣＣＤ６０の１つの画素にレーザー光が当たると、レーザー光の強さに応じた大きさの電荷が生じ、その電荷の大きさがＡ／Ｄ変換によりデジタル信号に変換されて出力されるように設けられている。
また、本実施形態では、穴２０を反射するレーザー光が入射されるＣＣＤカメラ６の入射口６１には、対物レンズ等のレンズが設けられておらず、ＣＣＤカメラ６は、穴２０によって反射されたレーザー光が直接ＣＣＤ６０に照射されるようになっている。

判定装置７は、ＣＣＤカメラ６からのデジタル信号に基づいて穴２０内部の異物の有無を判定して、その判定結果を出力するように構成されている。判定方法については、後で詳しく説明する。なお、判定装置７から出力された判定結果は、表示パネル８に表示されるようになっている。

［２．検査対象の穴］
検査対象となる穴２０は、底面２１を有する穴であり、穴２０の内径寸法が１ｍｍ以下に設定され、例えば、１５μｍ〜１０００μｍの範囲である。穴２０の深さ寸法については、例えば、５０μｍ〜１００μｍの範囲となっている。

［３．検査方法］
次に、穴内検査装置１を用いた検査方法について図２に基づいて説明する。
図２は、穴内に異物がある場合の穴内検査装置１の概念図である。
＜照射工程＞
まず、図２に示すように、レーザー光源３、絞り装置４、ハーフミラー５、ＣＣＤカメラ６、判定装置７、表示パネル８を所定の位置に配置して穴内検査装置１を形成する。次に、穴２０の開口がハーフミラー５側を向くようにして、穴２０がハーフミラー５およびＣＣＤカメラ６を結ぶ光軸上となるように検査対象物２を配置する。次に、レーザー光源３からレーザー光を照射させる。この際、レーザー光は、絞り装置４の開口４１を通過してハーフミラー５によって反射され、穴２０に照射される。このようにして、穴２０に当該穴２０と同一形状かつ同一寸法のレーザー光を照射する。

＜受光工程＞
次に、穴２０に照射されたレーザー光が、底面２１によってハーフミラー５に向かって反射する。この際、図２に示すように、穴２０内部に異物９がある場合には、レーザー光が異物９によって散乱するので、異物９を反射するレーザー光の強さは、散乱したレーザー光の量だけ弱くなる。ハーフミラー５は、穴２０を反射したレーザー光を透過させて、ＣＣＤカメラ６にレーザー光を照射させる。そして、ＣＣＤカメラ６におけるＣＣＤ６０の複数の画素は、穴２０の底面２１を反射したレーザー光を受光して、それぞれのレーザー光の強さに応じた大きさの電荷を発生する。さらに、電荷の大きさをデジタル信号にＡ／Ｄ変換して出力する。このようにして、ＣＣＤカメラ６に、穴２０を反射したレーザー光を受光させて、レーザー光の強さに応じたデジタル信号を出力させる。

＜判定工程＞
次に、判定装置７にＣＣＤカメラ６からのデジタル信号（検査画像）と、基準となるデジタル信号（基準画像）とを比較させる。ここで、基準となるデジタル信号として、図１に示すように、穴２０内に異物９が無い検査対象物２を穴内検査装置１で検査した際に、測定されたデジタル信号を用いる。原理的には、検査画像と基準画像とを比較して、それぞれのデジタル信号において一致しない部分があれば、その部分に異物があると判定してもよい。本実施形態では、ＣＣＤカメラ６での測定誤差を考慮することにより、検査画像と基準画像における各デジタル信号の大きさの差が所定の値よりも大きくなる画素がある場合には、その画素に対応する穴２０の位置に異物９があると判定する。
ここで、所定の値とは、ＣＣＤカメラ６の測定誤差の大きさと略一致する値とすることができる。すなわち、異物９が無い部分のデジタル信号値（検出値）は、基準のデジタル信号値に対して測定誤差の範囲内で略一致する。これに対して、異物がある部分のデジタル信号値と、異物の無い部分のデジタル信号値との差は、ＣＣＤカメラ６の測定誤差に対してかなり大きな差となる。従って、測定のバラツキを考慮し、所定の値以上の差があれば、その部分には異物９があると判定するように設定することができる。
そして、判定結果を表示パネル８に出力する。このように、それぞれのデジタル信号の大きさの差によって、異物９の有無を判定する。
以上のような方法によって、穴内検査装置１を用いて穴２０内の異物を検査することができる。

［４．検査対象物の位置合わせ方法］
次に、穴２０がハーフミラー５およびＣＣＤカメラ６を結ぶ光軸上となるように検査対象物２の位置合わせをする方法について説明する。
まず、検査対象物２をレーザー光の光軸に略一致するように大まかに配置する。
次に、穴２０にレーザー光を照射させて、ＣＣＤカメラ６で穴２０を反射するレーザー光を受光する。なお、穴２０がレーザー光の光軸に対してずれている場合には、穴２０の周辺部分を反射するレーザー光が受光されるので、受光された信号レベルは基準信号レベルよりも大きくなる。このことを利用して、ＣＣＤカメラ６から出力された信号レベルが基準信号レベルと略一致するように、検査対象物２を光軸に直交する方向に移動させる。
このようにして、検査対象物２の位置合わせをすることができる。

なお、検査対象物２において基準からの穴２０の位置情報が予め得られている場合には、その穴２０の位置情報を使って検査対象物２の固定部とＣＣＤカメラ６との位置関係により、検査対象物２の固定分の位置を設定すればよく、前記の位置合わせを省略することができる。また、同じ検査対象物２に複数の穴２０が形成されている場合には、検査対象物２を固定する台を複数の穴２０のピッチに応じて移動させればよく、個々の穴２０に対する位置合わせを省略することができる。

［５．本実施形態による効果］
本実施形態によれば、次のような効果がある。
（１）穴２０と同一形状かつ同一寸法の開口４１を通してレーザー光を穴２０に照射して、穴２０の底面２１を反射するレーザー光をＣＣＤカメラ６が受光するので、従来のように対物レンズによってＣＣＤカメラ６を合焦させる必要がなくなり、検査時間の短縮化を図ることができる。

（２）穴２０を反射するレーザー光が従来のように対物レンズを通さずにＣＣＤカメラ６のＣＣＤ６０に照射されるので、受光されるレーザー光が光軸に対して平行となるので、穴２０の内部に検査できない死角が生じることがなく、検査精度を向上させることができる。

（３）レーザー光源３からのレーザー光を反射して穴２０に照射するように配置されるハーフミラー５を設けたので、検査対象物２の上方のみに、検査用のレーザー光源３、絞り装置４、ハーフミラー５、ＣＣＤカメラ６を配置することができる。従って、これらの配置の自由度を大きくすることができ、検査装置をコンパクトにすることもでき、測定作業の効率化を図ることもできる。特に、検査対象物２の製造ライン等に検査装置を設ける場合には、レーザー光源３やＣＣＤカメラ６を検査対象物２に対して同じ側にまとめて配置することができるので、製造ライン等に容易に配置でき、また、メンテナンスも容易となる。

（４）穴２０に照射されるレーザー光が、穴２０よりも大きい形状の場合には、検査対象物２における穴２０の周辺部分でレーザー光が反射してしまい、その反射光が穴２０の底面２１の反射光よりも強くなるため、穴２０の底面２１の反射光が不明瞭となってしまう。このような場合には、穴内の異物の有無を検査できない。これに対して本実施形態では、絞り装置４によって、穴２０に照射されるレーザー光は、穴２０と同じ形状と寸法に絞られるので、検査対象物２における穴２０の周辺部分でレーザー光が反射することを防ぐことができ、確実に穴２０の異物の有無を判定することができる。

（５）穴２０の形状または寸法が変更された場合は、変更された穴２０の形状または寸法と同一の開口を有する絞り装置４に交換することで、穴２０が異なる場合であっても容易に対応することができる。

（６）従来のように対物レンズを備える必要がなく、また、ＣＣＤカメラ６または検査対象物２を三次元方向に移動可能に構成する必要がなく、少なくともＣＣＤカメラ６または検査対象物２を二次元方向に移動可能に構成するだけでよい。従って、検査装置の構成を簡略化することができ、検査装置の低コスト化を図ることができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る穴内検査装置について図３に基づいて説明する。
図３は、穴内検査装置１Ａの構成を示す概念図である。
穴内検査装置１Ａは、図３に示すように、検査対象物２Ａに形成された貫通する穴２０Ａを検査する装置であって、前述の第１実施形態の穴内検査装置１に対してレーザー光源３の配置位置が異なる点と、ハーフミラー５を有しない点とが相違するもので、その他の構成は略同様である。すなわち、レーザー光源３から照射されるレーザー光の光軸上に、貫通する穴２０ＡおよびＣＣＤカメラ６が配置されるように構成されている。ＣＣＤカメラ６は、貫通する穴２０Ａを通過するレーザー光を直接受光するようになっている。

本実施形態によれば、前述の効果（１）、（２）、（４）、（５）、（６）に加え、次のような効果がある。
（７）ＣＣＤカメラ６がレーザー光源３からのレーザー光をハーフミラーを介さずに直接受光するので、画像の信号レベルが大きく、確実に異物９を検出することができ、検査精度を向上させることができる。

（８）異物９があれば、レーザー光が遮光されて、ＣＣＤカメラ６に到達しないので、異物９のある部分の受光の値と異物９の無い部分の受光の値との差が大きくなる。従って、第１実施形態と比べて、異物９をより確実に検出することができる。

（９）第１実施形態のように異物９によって反射されたレーザー光を受光する場合には、異物９によって散乱されたレーザー光の一部が受光されることもある。本実施形態では、ＣＣＤカメラ６が穴２０Ａに対してレーザー光源３とは反対側に設けられているので、異物９によって散乱されたレーザー光の一部が受光されることがなく、更に確実に異物９を検出することができる。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る穴内検査装置について図４に基づいて説明する。
図４は、穴内検査装置１Ｂの構成を示す概念図である。
穴内検査装置１Ｂは、図４に示すように、検査対象物２Ａに形成された貫通する穴２０Ａを検査する装置であって、前述の第１実施形態の穴内検査装置１に対して判定装置７Ａの構成が異なる点が相違するもので、その他の構成は略同様である。すなわち、貫通する穴２０Ａに照射されるレーザー光のうちで、異物９を反射する微量のレーザー光だけがＣＣＤカメラ６によって受光される。判定装置７Ａは、この微量のレーザー光に対する信号レベルが所定の値より大きい場合を異物があるとして判定するように構成されている。

本実施形態によれば、検査対象の穴が貫通する穴であっても、底面を有する穴の場合と同じ測定方法で異物を検査することができる。また、異物がない状態では、理論的にＣＣＤカメラ６が受光する信号レベルが零となるので、予め基準となる信号レベルを測定する必要がなく、検査方法を簡略化でき、検査時間の短縮化を図ることができる。また、第１実施形態と略同様の効果がある。

［本発明の変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

例えば、前記実施形態では、検査対象の穴の形状が特に制限されることはなく、例えば、照射されるレーザー光の光軸に直交する断面形状が円形であってもよく、または、略多角形であってもよい。
また、前記実施形態では、判定装置において、ＣＣＤカメラからのデジタル信号と、基準となるデジタル信号とを比較して異物の有無を判定していたが、これに限らず、ＣＣＤカメラからのデジタル信号を画像として受信し、受信した画像中の信号値が周辺よりも小さい部分を強調するフィルタ等を用いて処理し、例えば、画像全体の信号値の平均値に対して所定の値より小さい点欠陥があれば、穴内に異物があると判定してもよい。このような構成であれば、基準となるデジタル信号を測定する必要がないので、検査を簡略化でき、検査時間を短縮化できる。

また、前記第１および第３実施形態におけるＣＣＤカメラとレーザー光源とは、配置を逆にしてもよい。
また、前記第１および第３実施形態におけるハーフミラーは、レーザー光源からのレーザー光の光軸に対して略４５度傾くように配置されているが、傾き角度は、レーザー光源と検査対象物の大きさや形状に応じて略４５度以外に設定してもよい。
また、ハーフミラーに限らず、反射および透過する機能を有する部材であればよく、例えば、ビームスプリッターを用いてもよい。

また、前記第３実施形態における貫通する穴の裏面の開口（ＣＣＤカメラとは反対側の開口）を覆うように、反射板を設けてもよい。このようにすれば、反射板を反射するレーザー光をＣＣＤカメラが受光することによって、異物の有無を検査することができる。従って、処理判定装置の判定方法は、底面を有する穴の場合と全く同じ方法で異物の有無を判定することができるので、処理判断装置の構成を簡略化できる。

その他、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

本発明の第１実施形態に係る穴内検査装置を示す概念図。 前記穴内検査装置において検査対象の穴に異物がある場合を示す概念図。 本発明の第２実施形態に係る穴内検査装置を示す概念図。 本発明の第３実施形態に係る穴内検査装置を示す概念図。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ…穴内検査装置、３…レーザー光源、４…絞り装置（絞り手段）、５…ハーフミラー、７，７Ａ…判定装置（判定手段）、９…異物、２０，２０Ａ…穴、４１…開口、６０…ＣＣＤ（受光素子）。

Claims (4)

1. 穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査装置であって、
   前記穴と同一形状かつ同一寸法の開口を有する絞り手段と、
   前記開口を通してレーザー光を前記穴に照射するレーザー光源と、
   前記穴に照射された前記レーザー光を受光する受光素子と、
   この受光素子が受光したレーザー光に基づいて前記異物の有無を判定する判定手段と
   を備えることを特徴とする穴内検査装置。
2. 請求項１に記載の穴内検査装置において、
   前記レーザー光源の照射方向の前方にハーフミラーが設けられ、
   このハーフミラーは、前記レーザー光源からのレーザー光を反射して前記穴に照射するように配置されるとともに、前記穴から反射されたレーザー光を透過して前記受光素子に当該透過したレーザー光が照射されるように設けられていることを特徴とする穴内検査装置。
3. 請求項１に記載の穴内検査装置において、
   前記穴は、貫通する穴であり、
   前記受光素子は、前記穴を通過する前記レーザー光を受光するように設けられていることを特徴とする穴内検査装置。
4. 穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査方法であって、
   前記穴と同一形状かつ同一寸法の開口を有する絞り手段を用いて、レーザー光源からレーザー光を前記開口を通して前記穴に照射する照射工程と、
   前記穴に照射された前記レーザー光を受光素子に受光させる受光工程と、
   前記受光素子が受光したレーザー光に基づいて前記異物の有無を判定する判定工程とを備えることを特徴とする穴内検査方法。

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