JP2008172995A - 駆動装置および撮像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型で駆動力が大きくて高効率な駆動装置を提供する。
【解決手段】楕円振動を生ずるＸ軸振動子３２０ｘを駆動源として用いる一方、移動体３１１ｘ側は、移動対象物として所望の大きさに形成されたＸ枠３０１とこのＸ枠３０１よりも小さな摺動体３３０ｘとの分割構造で両者を固定して一体化し、小さい方の摺動体３３０ｘに摺動板３３２ｘと軸受け３３１ｘとを設けることでＸ軸振動子３２０ｘからの駆動力伝達機能と移動方向ガイド機能とを集約させ、大きい方のＸ枠３０１は摺動体３３０ｘと一体となって単に追従移動するように構成することで、小さい方の摺動体３３０ｘ側のみを剛性が高くなるように形成することで駆動力伝達の高効率化を図る一方、Ｘ枠３０１側は摺動体３３０ｘ側ほど高い剛性を必要とせず軽量な材質により所望の大きさに形成でき、かつ、Ｘ枠３０１の移動方向を規制する専用のガイド機構を不要とした。
【選択図】 図６

Description

本発明は、振動子の楕円振動を利用して移動体を駆動して所定の方向に移動させる駆動装置および該駆動装置によりブレ補正するデジタルカメラ等の撮像装置に関するものである。

従来、ブレ補正機能を備える撮像装置として、例えばカメラがある。カメラが備えるブレ補正機能としては、カメラピッチ方向のブレ振動とカメラヨー方向のブレ振動とを角速度センサ等のブレ検出手段を用いて検出し、検出されたブレ信号に基づいて、ブレを打ち消す方向に撮像光学系の一部若しくは撮像素子を撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向にそれぞれ独立にシフトさせることで、撮像素子の撮像面上での像のブレを補正する手ブレ補正機能が知られている。

このような手ブレ補正機能を実現する手ブレ補正機構においては、手ブレを補正するために撮影レンズの一部のレンズ、或いは撮像素子そのものを撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向に移動する駆動手段が用いられている。この駆動手段は、手ブレに追随して動作させるために高い応答性と、精密駆動（微小駆動）と、電源を切っても移動体の位置が保持される自己保持性が要求される。

このような要求に対して、特許文献１では、インパクトアクチュエータを用いた手ブレ補正機構が開示されている。また、特許文献２では、表面に楕円振動を発生する２つの振動子をシャフトに対して押圧させることで、振動子に対してシャフトをリニア駆動させる振動波リニアモータが開示されている。この振動波リニアモータによる駆動機構では、円柱状のシャフトが振動子によって相対移動され、シャフトに設けられた突起によりレンズ枠が駆動され、レンズ枠はレンズ枠用に設けられたガイド機構によって移動方向がガイドされて移動するように構成されている。

特開２００５−３３１５４９号公報 特開２００６−６７７１２号公報

しかしながら、特許文献１に示されるインパクトアクチュエータを駆動機構として用いた手ブレ補正機構では、高い応答性と、精密駆動と、自己保持性は得られるが、慣性力を利用して駆動するため、小型で高い出力を得ることができないという問題がある。例えば、カメラ等においてＣＣＤ等の撮像素子の前面に防塵フィルタ等が一体化されて、比較的大きくて重い撮像ユニットを駆動対象とする場合には不適となる。駆動力を上げるためには慣性質量を大きくする必要があり、駆動機構そのものが大きくなってしまう。また、摩擦力に打ち勝つ慣性力により駆動する原理から、摩擦滑りによるエネルギー損失が必ず生ずるものであり、効率をあまり高くすることができないという根本的な不具合もある。

一方、振動子の楕円振動を利用した、所謂振動波モータでは、効率が高く、大きな駆動力を得やすく、比較的大きくて重い撮像ユニット等の駆動に好適といえる。しかしながら、大きな駆動力を発生させるためには、振動子を移動体に対して大きな力で押圧する必要があり、移動体の剛性が低いと押圧力で撓んでしまい（振動波モータの振動振幅は元々数μｍ程度の小さなものであるため、数μｍ程度の撓みでも問題となる）、駆動機構の効率が低下したり、極端な場合には駆動力が吸収されることで動作しないといった問題が発生する。このような問題を防止するために、特許文献２に示されるように、振動子に直接接触する移動体である円柱状のシャフトは剛性が高くなるように形成して、実際に移動させる対象となるレンズ枠とは突起を介して駆動力を伝達して移動させる構成を採っている。このような構成では、レンズ枠側との駆動力伝達機構、レンズ枠側用のガイド機構等を別途必要とし、機構が複雑になるとともに大型で重いものとなってしまう問題がある。この点、レンズ枠等の移動対象物自体の剛性が高くなるように構成して振動子の楕円振動で直接駆動させるようにしてもよいが、形状、材質等によって決まる固有の共振周波数を有するものであり振動子からの楕円振動による駆動力伝達に際して固有の振動を生ずる等の不具合を避けるために、必要以上に大型化・重量化させる必要があり、小型化の要請に反するものとなる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型で駆動力が大きくて高効率な駆動装置および撮像装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子と、前記振動子を保持する保持部を有する固定部材と、前記振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して移動する移動体と、を備え、前記移動体は、前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記固定部材が有するガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする。

また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記第２の移動体部と一体で移動する前記第１の移動体部は、前記固定部材の前記ガイド部と前記第２の移動体部の被ガイド部との係合により移動方向がガイドされることを特徴とする。

また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記第１の移動体部は、樹脂材料、アルミニウムまたはマグネシウムにより形成されていることを特徴とする。

また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記第２の移動体部および前記振動子を挟んで前記ガイド部と相反する側から前記駆動部を前記摺動部に押圧するように前記振動子を付勢する付勢手段を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記ガイド部と前記被ガイド部とは、移動方向に沿って１列に配列された転動体を有し、前記ガイド部から移動方向とは異なる方向の離れた位置で前記第１の移動体部と前記固定部材との間に付勢力による挟持状態で配設された位置決め用の１つの転動体を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体と、を備え、前記第１，第２の移動体のうち、少なくとも一方の移動体は、所望の大きさに形成された第１の移動体部と、前記駆動部が接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記ガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする。

また、本発明に係る撮像装置は、当該撮像装置全体の動作を制御するマイクロコンピュータを備え、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を撮影光軸上に保持した第２の移動体と、を備え、前記第１，第２の移動体のうち、少なくとも一方の移動体は、所望の大きさに形成された第１の移動体部と、前記駆動部が接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記ガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする。

また、本発明に係る撮像装置は、当該撮像装置全体の動作を制御するマイクロコンピュータを備え、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、撮影光軸周りの開口を囲む枠形状に形成されるとともに前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、撮影光軸周りの開口を囲む枠形状で所望の大きさに形成された第１の移動体部と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記固定部材が有するガイド部に係合して第１の方向に移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第２の移動体部と、第２の保持部を有する前記第１の移動体部に保持されて、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、撮影光軸上に前記撮像素子を保持して前記第１の移動体部の前記開口に配設される所望の大きさに形成された第３の移動体部と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記第１の移動体部が有するガイド部に係合して第２の方向に移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第３の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第３の移動体部より小さく形成されて該第３の移動体部に固定され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体部に対して第２の方向に移動する第４の移動体部と、を備えることを特徴とする。

本発明に係る駆動装置および撮像装置によれば、効率が高く大きな駆動力を得やすい楕円振動を生ずる振動子を駆動源として用いる一方、移動体側は、移動対象物として所望の大きさに形成された第１の移動体部とこの第１の移動体部よりも小さな第２の移動体部との分割構造で両者を固定して一体化し、小さい方の第２の移動体部に大きな力の加わる摺動部と被ガイド部とを設けることで振動子からの駆動力伝達機能と移動方向ガイド機能とを集約させ、大きい方の第１の移動体部は第２の移動体部と一体となって単に追従移動するように構成し、小さい方の第２の移動体部側のみを剛性が高くなるように形成することで駆動力伝達の高効率化を図ることができる一方、第１の移動体部側は第２の移動体部側ほど高い剛性を必要とせず軽量な材質を用いて所望の大きさに形成すればよく、かつ、第１の移動体部の移動方向を規制する専用のガイド機構を要せず、全体として駆動力が大きくて高効率で小型・軽量化を図ることができるという効果を奏する。

以下、本発明に係る駆動装置および撮像装置を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態の撮像装置は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子を含む撮像ユニットの手ブレ補正を行うための駆動装置を搭載したものであり、ここでは、一例としてレンズ交換可能な一眼レフレックス式電子カメラ（デジタルカメラ）への適用例として説明する。なお、本発明は、実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。

まず、図１を参照して本実施の形態のカメラのシステム構成例について説明する。図１は、本実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。本実施の形態のカメラは、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット１０とによりシステム構成されている。

レンズユニット１０は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット１０の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌｕｃｏｍ”と称する）５が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂｕｃｏｍ”と称する）５０が行う。これらＬｕｃｏｍ５とＢｕｃｏｍ５０とは、ボディユニット１００にレンズユニット１０を装着した状態において通信コネクタ６を介して通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌｕｃｏｍ５がＢｕｃｏｍ５０に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。

レンズユニット１０は、撮影レンズ１と絞り３を備える。撮影レンズ１は、レンズ駆動機構２内に設けられた図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り３は、絞り機構４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌｕｃｏｍ５は、Ｂｕｃｏｍ５０の指令に基づいてこれら各モータを制御する。

ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、光学系としての一眼レフ方式の構成部材（ペンタプリズム１２、クイックリターンミラー１１、接眼レンズ１３、サブミラー１１ａ）と、撮影光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタ１５と、サブミラー１１ａからの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのＡＦセンサユニット１６が設けられている。ＡＦセンサユニット１６は、位相差検出方式によるもので、単レンズ１６ａと反射ミラー１６ｂとＣＣＤ等によるＡＦセンサ１６ｃとを備える。

また、ＡＦセンサユニット１６を駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１７と、クイックリターンミラー１１を駆動制御するミラー駆動機構１８と、シャッタ１５の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１９と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路２０と、ペンタプリズム１２からの光束を検出する測光センサ２１ａに基づき測光処理を行う測光回路２１が設けられている。

撮影光軸上には、上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット３０が設けられている。撮像ユニット３０は、撮像素子であるＣＣＤ３１やその前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２、防塵フィルタ３３をユニットとして一体化してなるものである。防塵フィルタ３３の周縁部には、圧電素子３４が取り付けられている。圧電素子３４は、２つの電極を有しており、防塵フィルタ制御回路４８によって圧電素子３４を所定の周波数で振動させることで防塵フィルタ３３を振動させることで、フィルタ表面に付着した塵を除去し得るように構成されている。撮像ユニット３０に対しては、後述する手ブレ補正用の防振ユニットが付加されている。

また、本実施の形態のカメラシステムは、ＣＣＤ３１に接続したＣＣＤインターフェース回路２３と、液晶モニタ２４、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ２５、Ｆlash ＲＯＭ２６などを利用して画像処理する画像処理コントローラ２８とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してカメラ本体と通信可能かつ交換可能に装着される。そして、この記録メディア２７に撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ２９がＢｕｃｏｍ５０からアクセス可能に設けられている。

Ｂｕｃｏｍ５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ５１および動作表示用ＬＥＤ５１ａと、カメラ操作ＳＷ５２とが設けられている。カメラ操作ＳＷ５２は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷおよびパワーＳＷなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池５４と、電池５４の電圧を当該カメラシステムを構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路５３が設けられ、外部電源からジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路も設けられている。

上述のように構成されたカメラシステムの各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ２８は、Ｂｕｃｏｍ５０の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路２３を制御してＣＣＤ３１から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ２８でビデオ信号に変換され、液晶モニタ２４で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ２４の表示画像から、撮影した画像イメージを確認できる。

ＳＤＲＡＭ２５は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア２７に保管される。

ミラー駆動機構１８は、クイックリターンミラー１１をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１１がダウン位置にある時、撮影レンズ１からの光束はＡＦセンサユニット１６側とペンタプリズム１２側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット１６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１７を介してＢｕｃｏｍ５０へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム１２を通過した光束の一部は測光回路２１内の測光センサ２１ａへ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。

次に、図２を参照してＣＣＤ３１を含む撮像ユニット３０について説明する。図２は、撮像ユニット３０の構成例を示す縦断側面図である。撮像ユニット３０は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ３１と、ＣＣＤ３１の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２と、この光学ＬＰＦ３２の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵フィルタ３３と、この防塵フィルタ３３の周縁部に配設されて防塵フィルタ３３に対して所定の振動を与えるための圧電素子３４とを備える。

ここで、ＣＣＤ３１のＣＣＤチップ３１ａは固定板３５上に配設されたフレキシブル基板３１ｂ上に直接実装され、フレキシブル基板３１ｂの両端から出た接続部３１ｃ，３１ｄが主回路基板３６に設けられたコネクタ３６ａ，３６ｂを介して主回路基板３６側と接続されている。また、ＣＣＤ３１が有する保護ガラス３１ｅは、スペーサ３１ｆを介してフレキシブル基板３１ｂ上に固着されている。

また、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材３７が配設されている。このフィルタ受け部材３７は、ＣＣＤ３１の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ、光学ＬＰＦ３２の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２とを気密的に覆うホルダ３８が配設されている。ホルダ３８は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口３８ａを有し、この開口３８ａの防塵フィルタ３３側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部３８ｂが形成され、開口３８ａに対してその後方側から光学ＬＰＦ３２およびＣＣＤ３１が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ３２の前面側周縁部を段部３８ｂに対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ３２は段部３８ｂによって撮影光軸方向における位置規制がなされ、ホルダ３８の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。

一方、ホルダ３８の前面側の周縁部には、防塵フィルタ３３を光学ＬＰＦ３２の前面に所定間隔あけて保持するために段部３８ｂ周りで段部３８ｂよりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部３８ｃが全周に亘って形成されている。全体として円形ないしは多角形の板状に形成された防塵フィルタ３３は、板ばね等の弾性体によって形成されてねじ３９で防塵フィルタ受け部３８ｃに固定された押圧部材４０による押圧状態で防塵フィルタ受け部３８ｃに支持される。ここで、防塵フィルタ３３の背面側の外周縁部に配設された圧電素子３４部分には、防塵フィルタ受け部３８ｃとの間に環状のシール４１が介在され、気密状態が確保されている。撮像ユニット３０は、このようにしてＣＣＤ３１を搭載する所望の大きさに形成されたホルダ３８を備える気密構造に構成されている。

次に、本実施の形態のカメラの手ブレ補正機能について説明する。本実施の形態では、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向および第２の方向であるＹ軸方向に撮像素子であるＣＣＤ３１をブレを補償するように変位移動させるものであり、手ブレ補正用の駆動装置を含む防振ユニットは、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子を駆動源として用い、撮像ユニット３０中のＣＣＤ３１を搭載したホルダ３８を移動対象物として構成される。

まず、本実施の形態の駆動装置で駆動源として用いる振動子の動作原理について説明する。図３は、振動子の動作原理を示す模式図である。振動子２００は、所定の大きさで矩形状に形成された圧電体２０１と、この圧電体２０１の片面側に片寄らせて分極により中心対称に形成された一対の駆動電極２０２，２０３と、駆動電極２０２，２０３に対応する圧電体２０１の表面位置に設けられた駆動部としての駆動子２０４，２０５とを備える。駆動電極２０２に＋の電圧を印加すると、図３（ａ）に示すように、分極構造の駆動電極２０２部分が伸びるように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は伸びるように変形しないので全体として円弧状に変形する。逆に、駆動電極２０２に−の電圧を印加すると、図３（ｃ）に示すように、分極構造の駆動電極２０２部分が縮むように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は縮まないので全体として、図３（ａ）とは逆向きの円弧状に変形する。駆動電極２０３側でも同様である。

そこで、駆動子２０４，２０５の表面に楕円振動を発生させるには、圧電体２０１の分極された一方の駆動電極２０２に所定周波数の正弦波による周波電圧を印加するととともに、他方の駆動電極２０３に駆動電極２０２に印加する周波電圧の周波数と同じ周波数で位相のずれた正弦波による周波電圧を印加する。印加する周波電圧の周波数は、圧電体２０１の中央が屈曲振動の節となり、駆動子２０４，２０５部分が屈曲振動の腹となり、かつ、圧電体２０１の縦振動の節が屈曲振動の節と一致するような所定の数値に設定する。すると、印加する周波電圧の＋，−の変化に伴い、振動子２００は、図３（ｂ）に示す復元状態を含めて、図３（ａ）〜（ｃ）に示す屈曲振動を繰り返し、駆動子２０４，２０５の表面には楕円振動が発生する。よって、振動子２００の駆動子２０４，２０５側に駆動対象となる移動体を押圧接触させて配設することで、移動体は駆動子２０４，２０５の表面に生ずる楕円振動の向きに従い移動することとなる。

この際、駆動電極２０２，２０３に印加する周波電圧の位相差を変えることで、駆動子２０４，２０５の表面に発生する楕円振動の形状を変えることが可能であり、これにより振動子２００に駆動されて移動する移動体の移動速度を変えることができる。例えば、周波電圧の位相差が０°であれば速度は０であるが、位相差を増やすと速度は次第に上がり、位相差９０°で最大速度となり、また、９０°を超えて位相差を大きくすると逆に速度は次第に下がり、位相差１８０°では再び速度０となる。位相差を負の値にすると、駆動子２０４，２０５に発生する楕円振動の回転方向が逆転し、移動体を逆方向に駆動することが可能となる。この場合も、位相差−９０°のときに最大速度となる。

つづいて、このような振動子を駆動源として用いる本実施の形態の防振ユニットについて図４〜図７を参照して説明する。図４は、本実施の形態の防振ユニットの構成例を示す分解斜視図であり、図５は、図４に示す各部の形状を簡略化して示す防振ユニットの概略側面図であり、図６は、図５中のＸ軸駆動機構部を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図７は、そのガイド軸受構造を示す断面図である。

まず、本実施の形態の防振ユニット３００は、光学ＬＰＦ３２、防塵フィルタ３３等ともにＣＣＤ３１を搭載したホルダ３８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる最終的な移動対象物とするものであり、撮影光軸周りの開口３０１ａを囲む枠部３０１ｂを有する枠形状でホルダ３８をＹ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されたＸ枠（第１の移動体部）３０１と、撮影光軸周りの開口３０２ａを囲む枠部３０２ｂを有する枠形状でＸ枠３０１をＸ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されて図示しないカメラ本体に固着されたフレーム（固定部材）３０２と、を備える。

そして、Ｘ枠３０１をフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるＸ軸駆動機構部３１０ｘと、ホルダ３８をＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させるＹ軸駆動機構３１０ｙとを備え、ホルダ３８をＸ枠３０１とともにフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるとともにＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させることにより、ホルダ３８に搭載されたＣＣＤ３１はＸＹ平面内でＸ軸方向およびＹ軸方向にブレを補償するように変位移動される。

ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの構成について説明する。Ｘ軸駆動機構部３１０ｘは、Ｘ軸振動子（第１の振動子）３２０ｘと、Ｘ枠３０１に一体に固定されてＸ枠３０１とともに駆動対象となる移動体（第１の移動体）３１１ｘを構成する摺動体（第２の移動体部）３３０ｘと、Ｘ軸振動子３２０ｘを摺動体３３０ｘ側に付勢する押圧機構（付勢手段）３４０ｘとを備える。

Ｘ軸振動子３２０ｘは、図３で説明した振動子２００の動作原理に従い、所定の周波電圧が印加されることにより楕円振動が発生する駆動子（駆動部）３２１ｘ，３２２ｘを矩形状の圧電体３２３ｘの片面に備える。Ｘ軸振動子３２０ｘは、圧電体３２３ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘと相反する側の中央位置に振動子ホルダ３２４ｘを有し、振動子ホルダ３２４ｘに形成された突起３２５ｘがフレーム３０２の溝３４２ｘ（保持部）に嵌合することで、Ｘ軸振動子３２０ｘはＸ軸方向の移動が規制されるように位置決めされて保持されている。このような構成により駆動子３２１ｘ，３２２ｘに生じる楕円振動による駆動力がＸ軸方向に作用する。

また、摺動体３３０ｘは、軸受け（被ガイド部）３３１ｘ上に摺動板（摺動部）３３２ｘを固着してなる。軸受け３３１ｘは、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧されて摺動板３３２ｘに接触する位置でＸ枠３０１の一部に対して例えばビス３３３ｘにより一体となるように固定されている。なお、Ｘ枠３０１に対する摺動体３３０ｘの固定は、ビス止めに限らず、接着等であってもよく、固定方式は、特に問わない。ここで、摺動体３３０ｘは、図４からも明らかなように、所望の大きさに形成されたＸ枠３０１に比して小さな大きさ（Ｘ軸振動子３２０ｘ相当の大きさ）で形成されたものである。また、Ｘ枠３０１が樹脂材料やアルミニウム合金、または振動吸収性の高いマグネシウム合金等を用いて形成されているのに対して、摺動板３３２ｘは耐磨耗性を有するセラミックス等を用いてＸ枠３０１よりも剛性が高くなるように形成され、軸受け３３１ｘは、フェライト系のステンレス等の焼入れ可能な材質に焼入れをして剛性を高めたものである。

また、フレーム３０２は、フレーム３０２に形成された開口形状の取付部に配置されて摺動体３３０ｘの軸受け３３１ｘに対向するようにビス３０３ｘで固定された軸受け（ガイド部）３０４ｘを備える。この軸受け３０４ｘには、図７に示すように、Ｘ軸方向に沿わせたＶ溝３０５ｘが、磨耗防止用のＶ溝板３０６ｘを固着して形成されている。軸受け３３１ｘには、図７に示すように、軸受け３０４ｘのＶ溝３０５ｘ（Ｖ溝板３０６ｘ）に対向するＶ溝３３４ｘが形成されている。ここで、リテーナ３３５ｘで位置決めされた２個のボール３３６ｘ（転動体）をＶ溝３０５ｘ，３３４ｘ間に挟み込ませることにより、軸受け３０４ｘ，３３１ｘは、Ｘ軸方向に沿って１列に配列された２個のボール３３６ｘを有する構造とされている。２個のボール３３６ｘは、図６等に示すように、駆動子３２１ｘ，３２２ｘ直下となる位置付近に位置決めされており、リテーナ３３５ｘによりＸ軸方向の移動が規制されている。なお、転動体としてはボールに限らず、ローラでもよい。

押圧機構３４０ｘは、スペーサ３４３ｘを介して一端がビス３４４ｘによりフレーム３０２に固定されてＸ軸振動子３２０ｘを保持する押圧板３４１ｘと、この押圧板３４１ｘの他端側をフレーム３０２に固定するビス３４５ｘ周りにスペーサ３４６ｘを介して配設されＸ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが摺動板３３２ｘに押圧接触するように押圧板３４１ｘを付勢する押圧ばね３４７ｘとを備える。押圧機構３４０ｘによる押圧力は、１５Ｎ（ニュートン）程度の非常に大きな力に設定されている。

なお、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置（枠部３０２ｂ上で最も離れた、ほぼ対角位置）でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘ（転動体）が配設されている。このボール３０７ｘは、ボール３０７ｘ近傍でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に係止させたばね３０８ｘによる付勢力で挟持状態に維持され、フレーム３０２に対するＸ枠３０１の撮影光軸（Ｚ軸）方向の間隔を維持するように位置決めする。ここで、ばね３０８ｘの付勢力は、ボール３０７ｘの挟持状態を維持できればよく、押圧ばね３４７ｘの付勢力に比して数段弱く設定されている。これにより、Ｘ枠３０１と摺動体３３０ｘとからなる移動体３１１ｘは、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる３点支持で移動し得る構成とされている。また、ボール３０７ｘをボール３３６ｘに対して、撮影光軸及び開口３０１ａを挟んで反対側に配することで、ボール３０７ｘとボール３３６ｘとの距離を離間することができるので、安定した３点支持構造とすることができる。このように本実施の形態によれば、３つのボール（転動体）で、移動体３１１ｘの移動方向のガイドを行うとともに傾きをも規定することができ、安定した駆動が可能となる。

一方、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも、基本構造はＸ軸駆動機構部３１０ｘと同様であり、同一または対応する部分には同一符号に添え字ｙを付して示し、説明も省略する。なお、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙは、フレーム３０２に代えてＸ枠３０１を固定部材とし、Ｘ枠３０１に代えてホルダ３８を移動対象となる第１の移動体部（または第３の移動体部）とするものであり、ホルダ３８には一体に固定されてホルダ３８とともに駆動対象となる移動体（第２の移動体）３１１ｙを構成する摺動体（第２の移動体部または第４の移動体部）３３０ｙを備える。

また、本実施の形態の防振ユニット３００は、ボディユニット１００のＸ軸周りのブレ（ピッチ方向のブレ）を検出するＸ軸ジャイロ３５０ｘとボディユニット１００のＹ軸周りのブレ（ヨー方向のブレ）を検出するＹ軸ジャイロ３５０ｙとがフレーム３０２に配設されている。また、フレーム３０２に配設させたホール素子３５１とホール素子３５１に対向するようにホルダ３８の一部に配設させたマグネット３５２とからなる位置検出センサ３５３を備える。そして、これらＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙおよび位置検出センサ３５３からの信号に基づきＸ軸振動子３２０ｘ、Ｙ軸振動子３２０ｙに対する振動子駆動回路３５４を制御する防振制御回路３５５を備える。防振制御回路３５５は、Ｂｕｃｏｍ５０からの指示に従い制御動作を実行する。

次に、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの動作について説明する。Ｘ軸振動子３２０ｘに所定の周波電圧を印加して駆動子３２１ｘ，３２２ｘに楕円振動を発生させると、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧機構３４０による強い付勢力で摺動板３３２ｘに押圧接触しているので、摺動体３３０ｘは駆動子３２１ｘ，３２２ｘの楕円振動の回転方向に駆動される。

この際、Ｘ軸振動子３２０ｘに加える押圧力は強いため、仮に、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘや軸受け３３１ｘの剛性が弱いと、図８中に仮想線で示すように、付与する押圧力により摺動板３３２ｘや軸受け３３１ｘが撓んでしまい、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとが片当りして動作が不安定になったり、動作しなくなってしまう。

この点、本実施の形態では、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘおよび軸受け３３１ｘの剛性が高いため、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとの押圧接触状態が安定し、楕円振動に伴う駆動力が摺動板３３２ｘに確実に伝達され、高効率で楕円振動の回転方向に駆動することができる。この際、摺動板３３２ｘを有する摺動体３３０ｘ側はフレーム３０２に対して面接触ではなく、軸受け３３１ｘ，３０４ｘ部分でのボール３３６ｘによる転動方式で接触しているので、押圧力が強くても摺動体３３０ｘはフレーム３０２に対して摩擦の少ない状態で確実に移動することとなる。そして、軸受け３３１ｘ，３０４ｘは、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなるので、摺動体３３０ｘはＸ軸振動子３２０ｘによる駆動を受けた場合にＸ軸方向にのみ移動する。このように摺動体３３０ｘが移動すると、摺動体３３０ｘが固定されたＸ枠３０１も、摺動体３３０ｘと一体となってＸ軸方向に移動する。すなわち、Ｘ枠３３０ｘの移動方向も、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなる軸受け３３１ｘ，３０４ｘ同士の係合によりガイドされる。

このような動作において、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘが配設され、Ｘ枠３０１と摺動体３３０ｘとからなる移動体３１１ｘが、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる離れた位置での３点支持とされているので、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りの回転による煽りを生ずることなく安定してフレーム３０２上をＸ軸方向に移動する。よって、Ｘ軸振動子３２０ｘに対する強い押圧部分のガイド支持機構が、軸受け３３１ｘ，３０４ｘによるＸ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造で済み、小型化・構造単純化が可能となる。

Ｙ軸駆動機構３１０ｙも、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの場合と同様に動作する。

次に、手ブレ補正動作について説明する。カメラ操作ＳＷ５２中の図示しない手ブレ補正ＳＷがオンされており、図示しないメインＳＷがオンされると、Ｂｕｃｏｍ５０から防振制御回路３５５に対して、振動子駆動回路３５４が初期動作を実行する信号が伝達され、振動子駆動回路３５４からＸ軸振動子３２０ｘおよびＹ軸振動子３２０ｙに所定の周波電圧が印加され、ＣＣＤ３１の中心が撮影光軸上にくるようにＸ枠３０１およびホルダ３８がＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される。

そして、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙによって検出されるボディユニット１００のブレ信号を防振制御回路３５５に取り込む。ここで、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙでは、その一方の軸周りのブレを検出する角速度センサから出力された信号が、処理回路で信号増幅後、Ａ／Ｄ変換されて防振制御回路３５５に入力される。

防振制御回路３５５では、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙの出力信号に基づきブレ補正量を演算し、演算されたブレ補正量に応じた信号を振動子駆動回路３５４に出力する。ＣＣＤ３１を搭載したホルダ３８およびＸ枠３０１は、振動子駆動回路３５４によって生成される電気信号によって動作するＹ軸振動子３２０ｙ、Ｘ軸振動子３２０ｘによって駆動される。ＣＣＤ３１（ホルダ３８）の駆動位置は、位置検出センサ３５３によって検出され、防振制御回路３５５に送られフィードバック制御が行われる。

すなわち、防振制御回路３５５では、入力されたＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙからの信号（以下、「ブレ信号」または「ブレ角速度信号」ともいう）に基づいて基準値を演算する。基準値の演算は、カメラの主電源を投入してから静止画撮影のための露光を行うまでの間、行う。この演算としては、比較的長時間のブレ信号の移動平均値を算出する方法、またはカットオフ周波数が比較的低いローパスフィルタによりＤＣ成分を求める方法等があり、何れかの方法を用いればよい。この演算により求めた基準値をブレ信号より差分することにより、ブレ信号の低周波成分が除去された信号が得られる。そして、この信号と位置検出センサ３５３の出力信号とに基づいて振動子駆動回路３５４が制御されて、ＣＣＤ３１（ホルダ３８）の位置をブレを補償するように移動させる。

ここで、静止画撮影時の補正動作について図９を参照して説明する。図９は、静止画撮影時の補正動作を示す概略フローチャートである。なお、本動作は、レリーズＳＷにより撮影準備開始が指示される前（ＩＲ ＯＮ前）においては行われず、レリーズＳＷにより撮影準備開始が指示されると（１Ｒ ＯＮになると）、開始する。

本動作が開始されると、上述の基準値を用いて補正量を演算し、算出された補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１１）。続いて、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されたか（１Ｒ ＯＦＦになったか）否かを判定し（ステップＳ１２）、解除された場合には（ステップＳ１２；Ｙｅｓ）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１７）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）となる。

一方、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されない場合には（ステップＳ１２；Ｎｏ）、続いて、レリーズＳＷにより撮影開始が指示されたか（２Ｒ ＯＮになったか）否かを判定し（ステップＳ１３）、指示されない場合には（ステップＳ１３；Ｎｏ）、ステップＳ１２に戻り、指示待ち状態で待機する。レリーズＳＷにより撮影開始が指示された場合には（ステップＳ１３；Ｙｅｓ）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングする（ステップＳ１４）。続いて、保持された基準値を用いて補正量を演算し、その補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１５）。そして、露光を行い（ステップＳ１６）、露光が終了すると、ブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１７）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）となる。

本実施の形態によれば、効率が高く大きな駆動力を得やすい楕円振動を生ずる振動子３２０ｘ，３２０ｙを駆動源として用いる一方、移動体３１１ｘ，３１１ｙ側は、本来の移動対象物として所望の大きさに形成されたＸ枠３０１やホルダ３８のような第１の移動体部とこの第１の移動体部よりも小さな摺動体３３０ｘや摺動体３３０ｙのような第２の移動体部との分割構造で両者を固定して一体化し、小さい方の第２の移動体部に摺動板３３２ｘ，３３２ｙと軸受け３３１ｘ，３３１ｙとを設けることで振動子３２０ｘ，３２０ｙからの駆動力伝達機能と移動方向ガイド機能とを集約させ、大きい方の第１の移動体部は第２の移動体部と一体となって単に追従移動するように構成し、小さい方の第２の移動体部側のみを剛性が高くなるように形成することで駆動力伝達の高効率化を図ることができる一方、第１の移動体部側は第２の移動体部側ほどの高い剛性を必要とせず軽量な材質により所望の大きさに形成すればよく、かつ、第１の移動体部の移動方向を規制する専用のガイド機構を要せず、全体として駆動力が大きくて高効率で小型・軽量化を図ることができる。

本発明の実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。 撮像ユニットの構成例を示す縦断側面図である。 振動子の動作原理を示す模式図である。 防振ユニットの構成例を示す分解斜視図である。 図４に示す各部の形状を簡略化して示す防振ユニットの概略側面図である。 図５中のＸ軸駆動機構部を抽出し拡大して示す概略側面図である。 ガイド軸受構造を示す断面図である。 振動子に対する押圧力により撓みが生ずる様子を示す説明図である。 静止画撮影時の補正動作を示す概略フローチャートである。

符号の説明

３１ ＣＣＤ
３８ ホルダ
５０ Ｂｕｃｏｍ
３０１ Ｘ枠
３０２ フレーム
３０４ｘ，３０４ｙ 軸受け
３０７ｘ，３０７ｙ ボール
３２０ｘ Ｘ軸振動子
３２０ｙ Ｙ軸振動子
３２１ｘ，３２２ｘ 駆動子
３２１ｙ，３２２ｙ 駆動子
３３０ｘ，３３０ｙ 摺動体
３３１ｘ，３３１ｙ 軸受け
３３２ｘ，３３２ｙ 摺動板
３３６ｘ，３３６ｙ ボール
３４０ｘ，３４０ｙ 押圧機構
３４２ｘ，３４２ｙ 保持部

Claims (8)

1. 所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子と、
   前記振動子を保持する保持部を有する固定部材と、
   前記振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して移動する移動体と、
   を備え、
   前記移動体は、
   所望の大きさに形成された第１の移動体部と、
   前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記固定部材が有するガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする駆動装置。
2. 前記第２の移動体部と一体で移動する前記第１の移動体部は、前記固定部材の前記ガイド部と前記第２の移動体部の被ガイド部との係合により移動方向がガイドされることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記第１の移動体部は、樹脂材料、アルミニウムまたはマグネシウムにより形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。
4. 前記第２の移動体部および前記振動子を挟んで前記ガイド部と相反する側から前記駆動部を前記摺動部に押圧するように前記振動子を付勢する付勢手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の駆動装置。
5. 前記ガイド部と前記被ガイド部とは、移動方向に沿って１列に配列された転動体を有し、
   前記ガイド部から移動方向とは異なる方向の離れた位置で前記第１の移動体部と前記固定部材との間に付勢力による挟持状態で配設された位置決め用の１つの転動体を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の駆動装置。
6. 所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、
   第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、
   前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体と、
   を備え、
   前記第１，第２の移動体のうち、少なくとも一方の移動体は、
   所望の大きさに形成された第１の移動体部と、
   前記駆動部が接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記ガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする駆動装置。
7. 当該撮像装置全体の動作を制御するマイクロコンピュータを備え、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、
   前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、
   第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、
   前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を撮影光軸上に保持した第２の移動体と、
   を備え、
   前記第１，第２の移動体のうち、少なくとも一方の移動体は、
   所望の大きさに形成された第１の移動体部と、
   前記駆動部が接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記ガイド部に係合して移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定された第２の移動体部とからなることを特徴とする撮像装置。
8. 当該撮像装置全体の動作を制御するマイクロコンピュータを備え、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、
   前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   撮影光軸周りの開口を囲む枠形状に形成されるとともに前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、
   撮影光軸周りの開口を囲む枠形状で所望の大きさに形成された第１の移動体部と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記固定部材が有するガイド部に係合して第１の方向に移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第１の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第１の移動体部より小さく形成されて該第１の移動体部に固定され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第２の移動体部と、
   第２の保持部を有する前記第１の移動体部に保持されて、前記マイクロコンピュータの指示に基づき所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、
   撮影光軸上に前記撮像素子を保持して前記第１の移動体部の前記開口に配設される所望の大きさに形成された第３の移動体部と、
   前記第２の振動子の前記駆動部が押圧されて接触する摺動部と、該摺動部と相反する側に設けられて前記第１の移動体部が有するガイド部に係合して第２の方向に移動方向がガイドされる被ガイド部とを有し、前記第３の移動体部より剛性が高く、かつ、前記第３の移動体部より小さく形成されて該第３の移動体部に固定され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体部に対して第２の方向に移動する第４の移動体部と、
   を備えることを特徴とする撮像装置。

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