JP2008304792A - 光学素子及び光走査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】急激な温度上昇により発生する不都合を解消することができる液体レンズからなる光学素子及び光走査装置を提供する。
【解決手段】導電性液体４０と絶縁性液体４２との界面Ｓの形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる液体レンズ１４。透明板４４，４６は、導電性液体４０及び絶縁性液体４２を挟持する。透明板４３，４５は、透明板４４，４６と所定の間隔を空けて配置される。
【選択図】図２

Description

本発明は、光学素子及びこれを備えた光走査装置に関し、より特定的には、液体レンズからなる光学素子及びこれを備えた光走査装置に関する。

オートフォーカス機能や光学ズームを備えた光学モジュールに用いられるレンズにおいて、液体レンズと呼ばれるものが存在する。図９は、液体レンズ１０１の光軸を含んだ平面における断面構造図である。この液体レンズ１０１は、導電性液体１０２と絶縁性液体１０３とが混ざり合わない状態で接触するように容器１０４に封入されており、導電性液体１０２と絶縁性液体１０３とがレンズを構成しているものである。この液体レンズ１０１では、導電性液体１０２に電圧を印加して、エレクトロウエッティング現象により導電性液体１０２と絶縁性液体１０３との界面Ｓの形状を変化させることができる。これにより、液体レンズ１０１の焦点を調整することができる。

前記液体レンズ１０１は、焦点の調整の際にレンズを移動させる機構が不要であるため、近年、様々な用途に利用することが提案されている。例えば、特許文献１ないし特許文献３では、液体レンズ１０１を光走査装置のコリメータレンズに適用することが提案されている。これらの光走査装置は、液体レンズの焦点距離を制御することにより、より高品位な画像形成を実現することを目的としている。

ところで、光走査装置では、ビームが外部に漏れることを防止するために、密閉度の高い構造となるように構成されている。その上、光走査装置には、ポリゴンミラーやレーザダイオード等の熱源が設けられている。そのため、光走査装置内は、高温状態になりやすい。特に、光走査装置の立ち上げ時には、該光走査装置内の温度が急激に上昇する。光走査装置内の温度が急激に上昇すると、液体レンズ１４において種々の問題が発生する。具体的には、導電性液体１０２や絶縁性液体１０３において気泡が発生したり、導電性液体１０２や絶縁性液体１０３の体積が変化して、界面Ｓの形状が歪んでしまったりする。
特開２００６−２５１３４３号公報 特開２００６−２５１５１３号公報 特開２００６−２５８８３８号公報

そこで、本発明の目的は、急激な温度上昇により発生する不都合を解消することができる光学素子及び光走査装置を提供することである。

第１の発明は、第１の液体と第２の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、前記第１の液体及び前記第２の液体を挟持する第１の透明板及び第２の透明板と、前記第１の透明板と所定の間隔を空けて配置された第３の透明板と、を備えること、を特徴とする。

第１の発明によれば、第１の液体及び第２の液体を狭持する第１の透明板及び第２の透明板の外側に第３の透明板を設けて、第１の液体及び第２の液体の容器を二重構造としている。これにより、容器が断熱構造をとるようになり、光学素子の周囲の温度が急激に上昇しても、第１の液体及び第２の液体の温度が急激に上昇することが抑制される。

第１の発明において、前記第２の透明板と所定の間隔を空けて配置された第４の透明板を、更に備えていてもよい。

第１の発明において、前記第１の透明板と前記第３の透明板との間には、空気層が存在していてもよい。

第１の発明において、前記第３の透明板の主面上であって、光軸に対応する位置には、熱線を反射するコーティングが施されていてもよい。

第１の発明によれば、第３の透明板に熱線を反射するコーティングが施されることにより、より効果的に第１の液体及び第２の液体が加熱されることが抑制される。

第１の発明は、光走査装置に対しても適用可能である。具体的には、第１の発明は、光走査装置において、光学素子と、前記光学素子に対して光を出射する光源と、前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、を備えること、を特徴とする。

第２の発明は、第１の液体と第２の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、前記第１の液体及び前記第２の液体を冷却する冷却手段を、備えること、を特徴とする。

第２の発明によれば、冷却手段が設けられているので、第１の液体及び第２の液体の温度が急激に上昇することが抑制される。

第２の発明において、前記第１の液体及び前記第２の液体は、第１の透明板及び第２の透明板により狭持されており、前記冷却手段は、前記第１の透明板及び前記第２の透明板を上面及び下面としたときの側面において、光軸を挟むように複数設けられていてもよい。

第２の発明によれば、光軸を挟むように冷却手段が設けられるので、該冷却手段は、第１の液体及び第２の液体を挟むようになる。その結果、第１の液体及び第２の液体をより効果的に冷却することができるようになる。

第２の発明は、光走査装置にも適用可能である。具体的には、第２の発明は、光走査装置において、光学素子と、前記光学素子に対して光を出射する光源と、前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、を備えること、を特徴とする。第２の発明において、光走査装置は、温度を検出する検出手段と、前記検出手段が検出した温度に基づいて、前記冷却手段の動作を制御する制御手段と、を更に備えていてもよい。

（第１の実施形態）
以下に、本発明の第１の実施形態に係る液体レンズ及びこれを備えた光走査装置の構成について図面を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態に係る液体レンズ１４を含んだ光走査装置１０の上視図である。

光走査装置１０は、図１に示すように、レーザダイオード１２、コリメータレンズ１３、液体レンズ１４、シリンドリカルレンズ１８、ポリゴンミラー２０、走査レンズ２２，２４、ミラー２６、受光素子２８、筐体２９及び制御部３０を備える。

レーザダイオード１２は、ビームを出射する光源としての役割を果たす。レーザダイオード１２から出射されたビームは、放射光である。

コリメータレンズ１３は、レーザダイオード１２から出射されたビームを平行光となるように集光する役割を果たす。液体レンズ１４は、コリメータレンズ１３を通過してきたビームを更に集光する役割を果たし、ビームの焦点距離を変化させる機能を有する。なお、液体レンズ１４の詳細については後述する。

シリンドリカルレンズ１８は、液体レンズ１４を通過してきたビームを、ポリゴンミラー２０のミラー面近傍において副走査方向に集光する。

ポリゴンミラー２０は、図示しないモーターにより矢印の方向に回転され、シリンドリカルレンズ１８を通過してきたビームを主走査方向に等角速度に偏向する偏向手段としての役割を果たす。走査レンズ２２，２４は、ポリゴンミラー２０により偏向されたビームを等速走査して、該ビームを感光体ドラム３２上に結像させる。感光体ドラム３２は、所定速度で回転駆動される。これにより、ビームによる主走査と感光体ドラム３２の回転による副走査によって２次元の静電潜像が形成される。

また、ミラー２６は、ポリゴンミラー２０により偏向され、走査レンズ２２，２４を通過したビームを受光素子２８側へと反射する役割を果たす。受光素子２８は、ミラー２６により反射されたビームを受光し、ビーム径を示す電気信号を生成する。制御部３０は、受光素子２８が生成した電気信号に基づいて、受光素子２８が受光しているビームのビーム径が一定となるように、液体レンズ１４の焦点距離を制御する制御手段としての役割を果たす。これにより、制御部３０は、走査レンズ２２，２４等が熱の影響により歪んだとしても、感光体ドラム３２に照射されるビームのビーム径が変化することを抑制している。

筐体２９は、図１に示すように、レーザダイオード１２、コリメータレンズ１３、液体レンズ１４、シリンドリカルレンズ１８、ポリゴンミラー２０、走査レンズ２２，２４、ミラー２６及び受光素子２８を収納する。

次に、図２を参照しながら、液体レンズ１４の構成について説明する。図２は、液体レンズ１４の光軸を含む面における断面構造図である。なお、図２（ａ）は、電圧を印加した状態における液体レンズ１４の断面構造図であり、図２（ｂ）は、電圧を印加していない状態における液体レンズ１４の断面構造図である。

図２に示すように、液体レンズ１４は、導電性液体４０、絶縁性液体４２、透明板４３，４４，４５，４６、第１の電極４８、絶縁膜５０、第２の電極５２及び側面５３を含む。該液体レンズ１４は、導電性液体４０と絶縁性液体４２との界面Ｓの形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、該液体レンズ１４の焦点距離を変化させることができるものである。具体的には、電圧が印加されると、界面Ｓは、図２（ｂ）に示す状態から、図２（ａ）に示す状態へと変化する。

透明板４４，４６は、透明な樹脂又はガラスにより構成され、導電性液体４０及び絶縁性液体４２を狭持し、該導電性液体４０及び絶縁性液体４２の容器の上面及び下面としての役割を果たす。より詳細には、透明板４４，４６は、互いに平行に所定の隙間を残して配置され、該隙間に、導電性液体４０と絶縁性液体４２とが封入される。

透明板４３は、透明板４４の反対側において、透明板４６と所定の隙間ｓｐ１を空けて配置される。また、透明板４５は、透明板４６の反対側において、透明板４４と所定の隙間ｓｐ２を空けて配置される。前記隙間ｓｐ１，ｓｐ２は、共に空気層である。空気層の熱伝導率は透明板４３，４４，４５，４６よりも小さいので、液体レンズ１４の周囲の温度が急激に変化しても、導電性液体４０及び絶縁性液体４２の温度は緩やかに変化するようになる。これにより、液体レンズ１４の周囲の温度が急激に上昇しても、導電性液体４０及び絶縁性液体４２に気泡が発生したり界面Ｓの形状が歪んだりすることが抑制される。

また、透明板４３，４５の外側の表面であって、光軸に対応する位置を含む領域には、熱線を反射するためのコーティングが施されている。これにより、レーザダイオード１２やポリゴンミラー２０等の熱源から発生する輻射熱による導電性液体４０及び絶縁性液体４２の加熱が抑制される。

側面５３は、透明板４３，４４，４５，４６と共に導電性液体４０及び絶縁性液体４２の容器としての役割を果たす。該側面５３は、透明板４３，４４，４５，４６を上面及び下面としたときにおける側面に該当する部材であって、熱伝導率が小さな樹脂などにより形成される。側面５３に用いられる材料としては、例えば、エンジニアリングプラスチックが挙げられる。側面５３に特に好ましいエンジニアリングプラスチックとしては、ポリフェニレンサルファイド又はポリエーテルエーテルケトンが挙げられる。このように、側面５３の材料に熱伝導率が小さな物質が適用されることにより、導電性液体４０及び絶縁性液体４２の急激な温度上昇が抑制される。

導電性液体４０は、無機塩の水溶液や、有機液体など、それ自身が導電性を有するもの、或いはイオン性成分を付加することによって導電性とされた液体である。絶縁性液体４２は、導電性液体４０とは異なる屈折率を有し、シリコーンオイルやパラフィンオイルなどのような導電性液体４０と混合しない液体である。そのため、導電性液体４０と絶縁性液体４２とは、互いに分離した状態となっており、界面Ｓを形成している。これにより、導電性液体４０と絶縁性液体４２とはレンズを構成している。なお、導電性液体４０の屈折率の方が、絶縁性液体４２の屈折率よりも小さいことが好ましい。

第１の電極４８は、導電性液体４０と接触するように、透明板４４上に設けられる。第２の電極５２は、透明板４６と第１の電極４８との間に設けられる。絶縁膜５０は、第２の電極５２を覆うように形成される。具体的には、絶縁膜５０は、第１の電極４８と第２の電極５２との間に形成されて該第１の電極４８と第２の電極５２とを絶縁すると共に、第２の電極５２の内周面に形成されて第２の電極５２と導電性液体４０及び絶縁性液体４２とが接触しないようにしている。第１の電極４８と第２の電極５２との間には、液体レンズ１４の駆動時において、電圧が印加される。

以上のように構成された液体レンズ１４について、以下に、その動作原理について図３を参照しながら説明する。図３は、図２の液体レンズ１４のＣの部分の拡大図である。図３（ａ）は、電圧が印加されていない状態での液体レンズ１４（図２（ｂ）に対応）のＣの部分の拡大図であり、図３（ｂ）は、電圧が印加された状態での液体レンズ１４（図２（ａ）に対応）のＣの部分の拡大図である。

まず、導電性液体４０と絶縁性液体４２との間の界面張力を界面張力γ１２とし、絶縁膜５０と導電性液体４０との間の界面張力を界面張力γ３１とし、絶縁性液体４２と絶縁膜５０との間の界面張力を界面張力γ２３と定義する。図３（ａ）に示すように、第１の電極４８と第２の電極５２との間に電圧が印加されていない場合には、界面張力γ１２と界面張力γ２３と界面張力γ３１とは、互いに釣り合っており、界面Ｓと絶縁膜５０とが角θ１の角度をなしている。このとき、角θ１と界面張力γ１２と界面張力γ２３と界面張力γ３１との間には、ヤングの方程式により、式（１）の関係が成立する。

ここで、第１の電極４８及び第２の電極５２に電圧を印加すると、例えば、図３（ｂ）に示すように、絶縁膜５０と導電性液体４０との境界には、プラスの電荷が現れる。一方、絶縁膜５０と第２の電極５２との境界には、マイナスの電荷が現れる。これにより、電荷による圧力Πが、絶縁性液体４２と絶縁膜５０との間に、界面張力γ２３と同じ方向に発生する。この圧力Πは、式（２）のように示される。

なお、εは絶縁膜５０の誘電率であり、ε０は真空の誘電率であり、ｅは絶縁膜５０の厚さであり、Ｖは第１の電極４８と第２の電極５２との間の電圧である。

圧力Πが発生することにより、界面Ｓと絶縁膜５０とは、角θ１よりも大きな角θ２の角度をなすようになる。このとき、液体レンズ１４の界面Ｓは、図２（ａ）に示すように、湾曲する。この角θ２は、式（３）のように示される。

以上のように、第１の電極４８と第２の電極５２との間に印加する電圧を変化させることにより、界面Ｓと絶縁膜５０とのなす角度が変化することがわかる。そして、界面Ｓと絶縁膜５０とのなす角度が変化することにより、電圧が印加された状態では、図２（ａ）に示すように、界面Ｓが湾曲して、焦点距離が相対的に短くなる。また、電圧が印加されていない状態では、図２（ｂ）に示すように、界面Ｓが平坦状になり、焦点距離が相対的に長くなる。図１に示す制御部３０は、この電圧の大きさを制御して、液体レンズ１４の焦点距離を制御する。

本実施形態に係る液体レンズ１４によれば、導電性液体４０及び絶縁性液体４２を収納する容器を二重構造とすることにより、液体レンズ１４の周囲の温度が急激に上昇したとしても、導電性液体４０及び絶縁性液体４２の温度が急激に上昇することが抑制される。その結果、導電性液体４０及び絶縁性液体４２に気泡が発生したり、界面Ｓの形状が歪んだりすることが抑制される。

また、液体レンズ１４では、透明板４３，４５の外側の面に熱線を反射するコーティングが施されているので、レーザダイオード１２やポリゴンミラー２０等の熱源から発生する輻射熱によって導電性液体４０及び絶縁性液体４２が加熱されることが抑制される。

（変形例）
なお、本実施形態に係る液体レンズ１４の側面５３は、一重構造であるが、これを図４に示す側面５３'のように二重構造としてもよい。図４は、変形例に係る液体レンズ１４の光軸を含む面における断面構造図である。側面５３'を二重構造とすることにより、より効果的に、導電性液体４０及び絶縁性液体４２の急激な温度上昇が抑制される。

また、本実施形態に係る液体レンズ１４の隙間ｓｐ１，ｓｐ２は、空気層であるとしたが、熱伝導率が透明板４３，４４，４５，４６よりも小さな物質で充填されていてもよい。この物質は、液体、気体、固体のいずれであってもよい。

また、本実施形態に係る液体レンズ１４は、光走査装置１０に適用するものとしたが、別の装置に適用されてもよい。該液体レンズ１４は、例えば、光ピックアップ装置に対しても適用可能である。

（第２の実施形態）
以下に、第２の実施形態に係る液体レンズ及びこれを備えた光走査装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係る光走査装置１０は、第１の実施形態と同様に図１に示される。図５は、本実施形態に係る液体レンズ１４の光軸を含む面における断面構造図である。また、図６は、該液体レンズ１４の外観斜視図である。なお、本実施形態に係る液体レンズ１４において、第１の実施形態に係る液体レンズ１４と同じ構成については、同じ参照符号を付してある。

本実施形態に係る液体レンズ１４では、図５及び図６に示すように、第１の実施形態に係る液体レンズ１４のように透明板４３，４５を設けて断熱する代わりに、冷却手段としてのペルチェ素子６４ａ，６４ｂを設けて導電性液体４０及び絶縁性液体４２を冷却している。本実施形態に係る液体レンズ１４のその他の構成については、第１の実施形態に係る液体レンズ１４のその他の構成と基本的には同じである。そこで、以下に、本実施形態に係る液体レンズ１４と第１の実施形態に係る液体レンズ１４との相違点を中心に説明する。

本実施形態に係る液体レンズ１４では、側面６３は、例えば、アルミニウム等のような熱伝導率が高い材料により形成される。この側面６３には、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂが設けられている。該ペルチェ素子６４ａ，６４ｂは、光軸を挟むように配置され、冷却手段としての役割を果たす。なお、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂの詳細については後述する。

また、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂが設けられていない側面６３には、図６に示すように、温度センサ６５ａ，６５ｂが設けられている。該温度センサ６５ａ，６５ｂは、液体レンズ１４の温度を検出する検出手段としての役割を果たす。ペルチェ素子６４ａ，６４ｂ及び温度センサ６５ａ，６５ｂは、図１の制御部３０に接続されている。

制御部３０は、温度センサ６５ａ，６５ｂから出力されてくる温度情報に基づいて、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂの動作を制御する制御手段としての役割を果たす。具体的には、温度センサ６５ａ，６５ｂが所定温度以上の温度を検出した場合には、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂに電流を流して、液体レンズ１４の熱をペルチェ素子６４ａ，６４ｂに吸収させる。この所定温度の一例としては、２５℃±５℃である。

以下に、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂについて図面を参照しながら説明する。図７は、ペルチェ素子の基本構成を示した図である。なお、実際には、図７のペルチェ素子が複数個直列に接続されて用いられる。

ペルチェ素子は、電流が流れることにより、一方の面が発熱し、他方の面が吸熱する素子であり、図７に示すように、電極７０ａ，７０ｂ、Ｐ型半導体７２、Ｎ型半導体７４及び電極７６を備える。電極７０ａの一端は、Ｐ型半導体７２に接続されると共に、電極７０ａの他端は、直流電源７８の正極に接続される。電極７０ｂの一端は、Ｎ型半導体７４に接続されると共に、電極７０ｂの他端は、直流電源７８の負極に接続される。電極７６の一端は、Ｐ型半導体７２に接続されると共に、電極７６の他端は、Ｎ型半導体７４に接続される。

以上のように構成されたペルチェ素子において、Ｐ型半導体７２からＮ型半導体７４へと電流を流すと、電極７６では吸熱が生じ、電極７０ａ，７０ｂでは発熱が生じる。すなわち、電極７６から電極７０ａ，７０ｂへと熱が移動する。そこで、電極７６を図５の側面６３に接触するようにペルチェ素子を配置することにより、液体レンズ１４内の熱が液体レンズ１４外へと放出されるようになる。その結果、導電性液体４０及び絶縁性液体４２の温度が急激に上昇することが抑制される。

特に、ペルチェ素子６４ａ，６４ｂが光軸を挟むように配置されることにより、該ペルチェ素子６４ａ，６４ｂの間に導電性液体４０及び絶縁性液体４２が位置するようになる。その結果、より効果的に導電性液体４０及び絶縁性液体４２を冷却することが可能となる。

（変形例）
なお、図８に示すように、全ての側面６３にペルチェ素子６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄが設けられてもよい。図８は、変形例に係る液体レンズ１４の外観斜視図である。この場合、温度センサ６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄは、透明板４４の四隅に設けられることが好ましい。

また、温度センサ６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄは、液体レンズ１４に取り付けられるものとしたが、該温度センサ６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄの取り付け位置はこれに限らない。温度センサ６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄは、液体レンズ１４の周囲に設けられればよく、例えば、光走査装置１０側に取り付けられていてもよい。

また、本実施形態に係る液体レンズ１４は、光走査装置１０に適用するものとしたが、別の装置に適用されてもよい。該液体レンズ１４は、例えば、光ピックアップ装置に対しても適用可能である。

また、本実施形態に係る液体レンズ１４において、第１の実施形態に係る液体レンズ１４のように容器を二重構造にしてもよい。

また、ポリゴンミラー２０により偏向されたビームは、走査レンズ２２，２４を通過した後、直接に感光体ドラム３２を照射しているが、該ビームは、ミラーにより進行方向が変えられた後に、感光体ドラム３２を照射してもよい。

第１の実施形態に係る液体レンズを含んだ光走査装置の上視図である。 前記液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。 図２の液体レンズのＣの部分の拡大図である。 変形例に係る液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。 第２の実施形態に係る液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。 前記液体レンズの外観斜視図である。 ペルチェ素子の基本構成を示した図である。 変形例に係る液体レンズの外観斜視図である。 液体レンズの断面構造図である。

符号の説明

１０ 光走査装置
１２ レーザダイオード
１３ コリメータレンズ
１４ 液体レンズ
１８ シリンドリカルレンズ
２０ ポリゴンミラー
２２，２４ 走査レンズ
２６ ミラー
２８ 受光素子
２９ 筐体
３０ 制御部
３２ 感光体ドラム
４０ 導電性液体
４２ 絶縁性液体
４３，４４，４５，４６ 透明板
４８ 第１の電極
５０ 絶縁膜
５２ 第２の電極
５３，５３'，６３ 側面
６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ ペルチェ素子
６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄ 温度センサ
Ｓ 界面
ｓｐ１，ｓｐ２ 隙間

Claims (9)

1. 第１の液体と第２の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、
   前記第１の液体及び前記第２の液体を挟持する第１の透明板及び第２の透明板と、
   前記第１の透明板と所定の間隔を空けて配置された第３の透明板と、
   を備えること、
   を特徴とする光学素子。
2. 前記第２の透明板と所定の間隔を空けて配置された第４の透明板を、
   更に備えること、
   を特徴とする請求項１に記載の光学素子。
3. 前記第１の透明板と前記第３の透明板との間には、空気層が存在すること、
   を特徴とする請求項１に記載の光学素子。
4. 前記第３の透明板の主面上であって、光軸に対応する位置には、熱線を反射するコーティングが施されていること、
   を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光学素子。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の光学素子と、
   前記光学素子に対して光を出射する光源と、
   前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、
   を備えること、
   を特徴とする光走査装置。
6. 第１の液体と第２の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、
   前記第１の液体及び前記第２の液体を冷却する冷却手段を、
   備えること、
   を特徴とする光学素子。
7. 前記第１の液体及び前記第２の液体は、第１の透明板及び第２の透明板により狭持されており、
   前記冷却手段は、前記第１の透明板及び前記第２の透明板を上面及び下面としたときの側面において、光軸を挟むように複数設けられていること、
   を特徴とする請求項６に記載の光学素子。
8. 請求項６又は請求項７のいずれかに記載の光学素子と、
   前記光学素子に対して光を出射する光源と、
   前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、
   を備えること、
   を特徴とする光走査装置。
9. 温度を検出する検出手段と、
   前記検出手段が検出した温度に基づいて、前記冷却手段の動作を制御する制御手段と、
   を更に備えること、
   を特徴とする請求項８に記載の光走査装置。

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