JP2009016731A - 回路基板などの保護フィルムストリップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】動力部21とフィルムストリップ部22からなり、動力部は、フィルムストリップ部と連結する第1駆動部材211と第2駆動部材212を具え、第1駆動部材と第2駆動部材は、フィルムストリップ部に第1軸方向と第2軸方向の駆動力を提供する。
フィルムストリップ部は、フィルムストリップ台221とフィルムストリップ台上に回転可能にピン接合されフィルムストリップヘッド222を具え、一対のゴムローラー231に掛け渡されたゴムベルト232をフィルムストリップヘッドに掛け渡し、真空吸盤24上に固定された基板11に対して、第1駆動部材の第1軸方向伸縮動作によりストリップヘッド上のゴムベルトを基板面に押圧し、第2駆動部材の第2軸方向伸縮動作によりストリップヘッドを回転させつつ動作させて効果的に保護フィルムを剥離する。
【選択図】図1
Description
該第1駆動部材211の接続ロッド213は、伸縮動作の方向が第1軸向であり、該第2駆動部材212の接続ロッドの伸縮方向は、これと異なる第2軸方向であり、該第1駆動部材211と第2駆動部材212は、接続ロッド213,214を介してフィルムストリップ部22に第1軸向および第2軸向の駆動力を提供し、第1軸向、第2軸向の駆動力を合わせることによって、ローラーフィルムストリップの作用を発生する。該第1軸方向と第2軸方向は、70度から110度の挟み角を最適とする。
11 被加工部材
111 膜体
12 作業領域
20 フィルムストリップ機構
21 動力部
211 第1駆動部材
212 第2駆動部材
213 連接ロッド
214 連接ロッド
22 フィルムストリップ部
221 フィルムストリップ台
222 フィルムストリップヘッド
223 ローラー面
23 ゴムタイヤ部
231 タイヤ
232 ゴムベルト
24 真空吸盤
Claims (6)
- 動力部と隔離する保護フィルムにゴムベルトを押圧して剥離動作するフィルムストリップ部からなり、
該動力部は、駆動部材と第2駆動部を具え、該第1駆動部材と第2駆動部材をフィルムストリップ部と接続し、
且つ該第1駆動部材は該フィルムストリップ部に第1軸方向に動作させ、該第2駆動部材はフィルムストリップ部にこれと異なる第2軸方向に動作させ、
該フィルムストリップ部は、フィルムストリップヘッドを備え、該フィルムストリップヘッドはその外周面上のゴムベルトを第1駆動部材と第2駆動部材の第1軸方向及び第2軸方向動作を合成して押圧と剥離する動作を行うことを特徴とする、
回路基板などの保護フィルムストリップ装置。 - 前記駆動部がフィルムストリップ時、第2駆動部材が先に動作してローラーフィルムストリップの作用を強化したことを特徴とする請求項1記載の回路基板などの保護フィルムストリップ装置。
- 前記フィルムストリップ部がフィルムストリップ台と該フィルムストリップ台に回動可能に連結されたフィルムストリップヘッドからなり、上記第1駆動部材と第2駆動部材の第1軸方向及び第2軸方向動作を合成した動作を行なうようにしたことを特徴とする請求項1記載の回路基板などの保護フィルムストリップ装置。
- 前記保護フィルムストリップ装置が設備台上に設置され、且つ該保護フィルムストリップ装置がフィルムストリップ動作する方向が該設備台の設置方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項1乃至3記載の回路基板などの保護フィルムストリップ装置。
- 前記フィルムストリップヘッドが円弧状のローラー面を有することを特徴とする請求項1乃至3記載の回路基板などの保護フィルムストリップ装置。
- 前記フ回路基板などの保護フィルムストリップ装置が真空吸盤を具え、該真空吸盤が被加工部材を固定する作用を行なうことを特徴とする請求項1乃至3記載の回路基板などの保護フィルムストリップ装置。
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|---|---|---|---|---|
| WO2025204054A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | 株式会社レクザム | 剥離装置 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61197056U (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-09 | ||
| JPS6241158A (ja) * | 1985-08-16 | 1987-02-23 | Somar Corp | 薄膜剥離方法及び薄膜剥離装置 |
| JPH02106560A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Nec Corp | フィルム剥離装置 |
| JPH05213521A (ja) * | 1991-08-22 | 1993-08-24 | Hoechst Ag | キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置 |
| JPH06244538A (ja) * | 1993-02-03 | 1994-09-02 | Morton Internatl Spa | 積層基板からカバーシートを除去する方法と装置 |
| JPH09114384A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Nec Eng Ltd | 薄板保護シートの剥離方法 |
| JPH10167560A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-23 | Toray Ind Inc | カバーシートの剥離装置および剥離方法 |
| JP2001089018A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-03 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | フィルム剥離装置 |
| JP2006008276A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-01-12 | Tdk Corp | ピーリング装置及びピーリング方法 |
| JP2006160376A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法 |
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Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61197056U (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-09 | ||
| JPS6241158A (ja) * | 1985-08-16 | 1987-02-23 | Somar Corp | 薄膜剥離方法及び薄膜剥離装置 |
| JPH02106560A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Nec Corp | フィルム剥離装置 |
| JPH05213521A (ja) * | 1991-08-22 | 1993-08-24 | Hoechst Ag | キャリヤ材料上に層をなして設けられたフィルムを分離し、引き離すための装置 |
| JPH06244538A (ja) * | 1993-02-03 | 1994-09-02 | Morton Internatl Spa | 積層基板からカバーシートを除去する方法と装置 |
| JPH09114384A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Nec Eng Ltd | 薄板保護シートの剥離方法 |
| JPH10167560A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-23 | Toray Ind Inc | カバーシートの剥離装置および剥離方法 |
| JP2001089018A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-03 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | フィルム剥離装置 |
| JP2006008276A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-01-12 | Tdk Corp | ピーリング装置及びピーリング方法 |
| JP2006160376A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025204054A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | 株式会社レクザム | 剥離装置 |
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