JP2009059478A - イオン発生器 - Google Patents

Abstract

【課題】大量のイオンを発生させることができるイオン発生器を提供する。
【解決手段】絶縁基板１２は、本体部１８と、該本体部１８から同方向に突出する複数の突出部２０ａ〜２０ｆとを有する。グランド電極２４ａ〜２４ｆは、前記突出部２０ａ〜２０ｆ上に設けられている。放電電極２８ａ〜２８ｅは、前記突出部２０ａ〜２０ｆの間に位置する領域のそれぞれに対応するように前記本体部１８から突出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、イオン発生器、より特定的には、グランド電極及び放電電極を備えたイオン発生器に関する。

特許文献１には、低い印加電圧でマイナスイオンを発生させることができるイオン発生部品が記載されている。このイオン発生部品は、絶縁基板と線状電極とグランド電極とを備え、絶縁基板に線径１００μｍ以下の線状電極が取り付けられ、線状電極に対向するようにグランド電極が設けられている。このように、線径が１００μｍ以下の細い線状電極を用いれば、電子が線状電極の先端部に集中し易くなり、イオン発生部品において、強電界が生じ易くなる。

しかしながら、前記イオン発生部品では、線状電極が１つしか設けられていないため、大量のイオンを発生させることが困難であった。
特開２００５−６３８２７号公報

そこで、本発明の目的は、大量のイオンを発生させることができるイオン発生器を提供することである。

本発明は、本体部と、該本体部から同方向に突出する複数の第１の突出部と、を有する絶縁基板と、前記複数の第１の突出部上に設けられた複数のグランド電極と、前記複数の第１の突出部の間に位置する領域のそれぞれに対応するように、前記本体部から突出する複数の第１の放電電極と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、複数の放電電極が設けられているので、放電電極が１つしか設けられていないイオン発生器に比べて大量のイオンを発生することが可能となる。更に、本発明によれば、複数の突出部の間に位置する領域に対応するように放電電極が突出しているので、放電電極が発生した電界は、隣の放電電極が発生した電界に対して影響を及ぼしにくい。これは、放電電極間に存在する突出部上に設けられたグランド電極により放電電極から生じた電界が打ち消されるからである。

本発明において、前記複数のグランド電極、前記絶縁基板及び前記複数の第１の放電電極は、前記本体部の主面の法線方向において、この順に配置されていてもよい。

本発明において、前記複数のグランド電極を覆う絶縁膜を、更に備えていてもよい。

本発明において、前記複数の第１の突出部は、互いに平行であってかつ等間隔に配置され、前記複数の第１の放電電極は、互いに平行であってかつ等間隔に配置されていてもよい。

本発明において、前記複数の第１の放電電極は、第１の接続部を介して接続されており、前記複数の第１の放電電極及び前記第１の接続部は、一体的に構成されていてもよい。

本発明において、前記第１の放電電極が前記本体部から突出している長さは、前記グランド電極が該本体部から突出している長さよりも短くてもよい。

本発明において、前記グランド電極は、１ｋΩ／ｍｍ²以上の抵抗率の材料により形成されていてもよい。

本発明において、前記第１の突出部及び前記第１の放電電極は、前記本体部から一方の方向に突出し、前記本体部から前記一方の方向の反対方向に突出する、複数の第２の突出部及び複数の第２の放電電極を、更に備え、前記複数の第２の放電電極は、前記複数の第２の突出部の間に位置する領域のそれぞれに対応するように、前記本体部から突出していてもよい。

本発明において、前記複数の第１の突出部と前記複数の第２の突出部とは、互い違いに配置されていてもよい。

本発明において、前記本体部上に形成され、前記複数のグランド電極を接続する第２の接続部を、更に備えていてもよい。

本発明において、前記複数のグランド電極が形成された前記本体部の主面の反対側の主面に形成された外部接続用電極を、更に備え、前記複数のグランド電極と前記外部接続用電極とは、前記本体部に形成されたビア導体を介して接続されていてもよい。

本発明において、前記第２の接続部を構成する材料は、前記グランド電極よりも低い抵抗率を有していてもよい。

本発明において、前記第２の接続部に接触するように形成された配線であって、該第２の接続部を構成する材料の抵抗率よりも低い抵抗率の材料により形成された配線を、更に備えていてもよい。

本発明によれば、複数の放電電極が設けられているので、放電電極が１つしか設けられていないイオン発生器に比べて大量のイオンを発生することが可能となる。

（第１の実施形態）
以下に、本発明の第１の実施形態に係るイオン発生器について図面を参照しながら説明する。図１は、イオン発生器１０の外観斜視図である。より詳細には、図１（ａ）は、イオン発生器１０の上面を示した外観斜視図であり、図１（ｂ）は、イオン発生器１０の下面を示した外観斜視図である。

イオン発生器１０は、マイナスイオン又はプラスイオンを照射して被帯電物を帯電させるものであり、例えば、コピー機の感光体等を帯電させるために用いられる。該イオン発生器１０は、絶縁基板１２、グランド電極部１４、及び、放電電極部１６を備える。

絶縁基板１２は、例えば、アルミナ基板により構成され、本体部１８及び突出部２０ａ〜２０ｆを含む。本体部１８は、上面（図１（ａ）に示される主面）及び下面（図１（ｂ）に示される主面）を有する長方形状の板である。突出部２０ａ〜２０ｆは、本体部１８の一方の長辺から主面方向において同方向に突出する突起である。ここで、主面方向とは、本体部１８の主面が広がる方向を指す。突出部２０ａ〜２０ｆは、本体部１８の長辺に対して垂直に突出しており、それぞれ等間隔であって平行に設けられている。なお、本体部１８及び突出部２０ａ〜２０ｆは、一体的に形成されている。

グランド電極部１４は、接続部２２及びグランド電極２４ａ〜２４ｆを含む。グランド電極２４ａ〜２４ｆはそれぞれ、突出部２０ａ〜２０ｆの上面において、該突出部２０ａ〜２０ｆと同方向に延在するように形成される電極膜である。接続部２２は、本体部１８の上面において、該本体部１８の長辺と略平行に延在するように形成される電極膜であって、各グランド電極２４ａ〜２４ｆを接続する。接続部２２及びグランド電極２４ａ〜２４ｆは、１ｋΩ／ｍｍ²以上の抵抗材料により一体的に形成される。接続部２２及びグランド電極２４ａ〜２４ｆは、例えば、サーメット抵抗やカーボン抵抗のペーストが塗布されて形成される。

放電電極部１６は、図１（ｂ）に示すように、接続部２６及び放電電極２８ａ〜２８ｅを含み、本体部１８の下面に接着剤等により取り付けられている。放電電極２８ａ〜２８ｅは、互いに隣り合う複数の突出部２０ａ〜２０ｆの間に位置する領域のそれぞれに対応するように、本体部１８から突出する電極である。より詳細には、放電電極２８ａ〜２８ｅは、突出部２０ａ〜２０ｆが設けられている本体部１８の長辺から垂直に突出しており、それぞれ等間隔であって平行に設けられている。具体的には、放電電極２８ａは、突出部２０ａ，２０ｂの間に位置する領域において該突出部２０ａ，２０ｂと平行に延在する。放電電極２８ｂは、突出部２０ｂ，２０ｃの間に位置する領域おいて該突出部２０ｂ，２０ｃと平行に延在する。放電電極２８ｃは、突出部２０ｃ，２０ｄの間に位置する領域において該突出部２０ｃ，２０ｄと平行に延在する。放電電極２８ｄは、突出部２０ｄ，２０ｅの間に位置する領域において該突出部２０ｄ，２０ｅと平行に延在する。放電電極２８ｅは、突出部２０ｅ，２０ｆの間に位置する領域において該突出部２０ｅ，２０ｆと平行に延在する。このように、放電電極２８ａ〜２８ｅは、隣り合う２つの突出部２０ａ〜２０ｆの間に位置する領域に１つずつ設けられている。換言すれば、放電電極２８ａ〜２８ｅと突出部２０ａ〜２０ｆとは、１つずつ交互に長辺方向に並ぶように配置されている。

更に、放電電極２８ａ〜２８ｅが本体部１８から突出している長さは、グランド電極２４ａ〜２４ｆが本体部１８から突出している長さよりも短い。すなわち、放電電極２８ａ〜２８ｅのそれぞれは、両側方に存在するグランド電極２４ａ〜２４ｆの間に位置する領域内に収まっている。

また、接続部２６は、放電電極２８ａ〜２８ｅを接続し、該本体部１８の長辺と略平行に延在するように形成される。接続部２６及び放電電極２８ａ〜２８ｅは、図１（ｂ）に示すように一体的に構成されており、例えば、ステンレスにより作製される。

更に、前記の通り、グランド電極２４ａ〜２４ｆが突出部２０ａ〜２０ｆの上面に設けられ、かつ、放電電極部１６が本体部１８の下面に設けられている。故に、グランド電極２４ａ〜２４ｆ、絶縁基板１２及び放電電極２８ａ〜２８ｅは、本体部１８の主面の法線方向において、この順に配置されている。

以下に、イオン発生器１０の動作について説明する。

放電電極２８ａ〜２８ｅには、高圧電源の高圧出力端子が接続され、グランド電極２４ａ〜２４ｆには、高圧電源のグランド部が接続される。高圧電源は、マイナスの直流の高圧電圧を供給するが、マイナスの直流バイアスを重畳した交流の高圧電圧を供給してもよい。そして、高圧電源から供給される高圧電圧は、接続部２６の複数点に印加されることが好ましい。これにより、放電電極２８ａ〜２８ｅに等しく高圧電圧が印加されるようになる。同様に、高圧電源のグランド部は、接続部２２の複数点で接続されることが好ましい。これにより、グランド電極２４ａ〜２４ｆが等しくグランド接続されるようになる。なお、プラスイオンを発生させる場合には、高圧電源は、プラスの高圧電圧を供給する。

以上のように高圧電圧が印加されると、放電電極２８ａ〜２８ｅとグランド電極２４ａ〜２４ｆとの間で強電界が形成される。なお、以下では、説明に具体性を持たせるために、放電電極２８ａに着目して説明する。放電電極２８ａとグランド電極２４ａ，２４ｂとの間で強電界が形成される。また、放電電極２８ａの先端部は、絶縁破壊してコロナ放電状態となる。このとき、放電電極２８ａの先端周辺では、空気中の分子がプラズマ化されて、分子がプラスイオンとマイナスイオンとに分かれる。そして、マイナスの高圧電圧を印加した場合には、空気中のプラスイオンは放電電極２８ａに吸収され、空気中にはマイナスイオンが残る。以上のような現象により、イオン発生器１０は、マイナスイオンを発生する。なお、プラスの高圧電圧を印加した場合には、反対の作用によりプラスイオンが発生する。なお、他の放電電極２８ｂ〜２８ｅにおいて生じる現象は、放電電極２８ａにおいて生じる現象と同じであるので、説明を省略する。

（効果）
前記イオン発生器１０によれば、複数の放電電極２８ａ〜２８ｅが設けられているので、放電電極が１つしか設けられていないイオン発生器に比べて大量のイオンを発生することが可能となる。

更に、イオン発生器１０では、複数の突出部２０ａ〜２０ｆの間に位置する領域に放電電極２８ａ〜２８ｅが突出しているので、隣接する放電電極２８ａ〜２８ｅが発生する電界間での影響を低減することが可能となる。以下に詳しく説明する。

例えば、放電電極２８ａとグランド電極２４ａ，２４ｂとの間には、図１（ａ）中の点線に示すように、グランド電極２４ａ，２４ｂから放電電極２８ａに向かう電界が発生している。この電界は、実際には、更に広く遠方まで発生しようとする。

しかしながら、グランド電極２４ａ，２４ｂは、グランド電位（すなわち、接地電位）となっている。そのため、前記電界は、グランド電極２４ａ，２４ｂによりリセットされ、該グランド電極２４ａ，２４ｂの外側の領域へは広がることがない。従って、放電電極２８ａとグランド電極２４ａ，２４ｂとの間に発生した電界は、他の放電電極２８ｂ〜２８ｅとグランド電極２４ｂ〜２４ｆとの間に発生した電界を乱すことがない。その結果、放電電極２８ａからは、効率よくマイナスイオンが発生するようになる。なお、他の放電電極２８ｂ〜２８ｅについても、放電電極２８ａと同様であるので説明を省略する。

なお、放電電極２８ａは、図１（ａ）に示すように、両側方に存在するグランド電極２４ａ，２４ｂの間に位置する領域内に収まっているので、放電電極２８ａとグランド電極２４ａ，２４ｂとの間で発生する電界は、グランド電極２４ａ，２４ｂ外により漏れにくくなる。その結果、放電電極２８ａからは、更に効率よくマイナスイオンが発生するようになる。なお、他の放電電極２８ｂ〜２８ｅについても、放電電極２８ａと同様であるので説明を省略する。

なお、グランド電極２４ｂは、放電電極２８ａとの間で強電界を形成すると共に、放電電極２８ｂとの間においても強電界を形成する。放電電極２８ａ，２８ｂ間にグランド電極２４ｂを配置することで、このようにグランド電極２４ｂが２つの役割を果たすことができるので、イオン発生器１０を小型化することができる。なお、他のグランド電極２４ｃ〜２４ｅについても、グランド電極２４ｂと同様であるので説明を省略する。

また、グランド電極部１４と放電電極部１６とが絶縁基板１２の異なる面に設けられている。これにより、放電電極２８ａ〜２８ｅを接続部２６により接続することにより放電電極部１６を一体成形しても、グランド電極部１４と放電電極部１６とが交差することがない。従って、放電電極部１６を容易に形成することが可能となる。

更に、グランド電極部１４が絶縁基板１２の上面に形成され、かつ、放電電極部１６が絶縁基板１２の下面に設けられることにより、グランド電極部１４と放電電極部１６とが絶縁基板１２の同一主面上に形成される場合に比べて、絶縁基板１２が介在する分だけ、グランド電極部１４と放電電極部１６との距離を大きくすることができる。その結果、グランド電極部１４と放電電極部１６の高圧電圧印加部との間で漏れ電流が発生することを有効に抑制することができるようになる。このように、漏れ電流の発生が抑制されると、漏れ電流により空気中の酸素が分解されて酸素原子が生成される現象が起きにくくなる。その結果、イオン発生器１０において、酸素原子と酸素分子とが反応してオゾンが発生することが抑制される。

また、グランド電極部１４に１ｋΩ／ｍｍ²以上の抵抗率を有する抵抗材料が用いられているので、グランド電極部１４に電流が流れにくい。その結果、放電電極部１６とグランド電極部１４との間に漏れ電流が発生することを有効に抑制することができるようになる。その結果、イオン発生器１０において、オゾンが発生することが抑制される。

（第２の実施形態）
以下に、本発明の第２の実施形態に係るイオン発生器１１０について図面を参照しながら説明する。図２は、イオン発生器１１０の上面を示した外観斜視図である。なお、図２に示すイオン発生器１１０において、図１に示すイオン発生器１０と同じ構成については、同じ参照符号を付してある。以下に、イオン発生器１１０とイオン発生器１０との相違点を中心に説明する。

イオン発生器１０では、グランド電極部１４は露出しているのに対して、イオン発生器１１０では、グランド電極部１４は絶縁膜３０により略全面が覆われている。そして、接続部２２の長手方向の両端において、絶縁膜３０が一部形成されないことにより、グランド電極部１４の一部が露出している。このグランド電極部１４が露出した部分を、コンタクト部３２ａ，３２ｂと称す。コンタクト部３２ａ，３２ｂには、高圧電源のグランド端子が接続されてグランド電圧が印加される。前記絶縁膜３０の材料としては、例えば、シリコーン、ガラスグレーズが挙げられる。

前記のように、グランド電極部１４の表面を絶縁膜３０により覆うことで、放電電極部１６とグランド電極部１４との間で漏れ電流が発生することを抑制できる。その結果、漏れ電流を原因としてオゾンが発生することを抑制できる。

なお、図２に示すイオン発生器１１０では、接続部２２の両端を露出させてコンタクト部３２ａ，３２ｂを形成し、該コンタクト部３２ａ，３２ｂを介してグランド電圧をグランド電極部１４に印加しているが、グランド電圧の印加方法はこれに限らない。そこで、グランド電圧の他の印加方法に関するイオン発生器について図面を参照しながら説明する。図３は、イオン発生器１１０の変形例に係るイオン発生器２１０の外観斜視図である。より詳細には、図３（ａ）は、イオン発生器２１０の上面を示した外観斜視図であり、図３（ｂ）は、イオン発生器２１０の下面を示した外観斜視図である。以下に、イオン発生器２１０とイオン発生器１１０との相違点を中心に説明を行う。

イオン発生器２１０では、外部接続用電極としてのコンタクト部４２ａ，４２ｂは、図３（ｂ）に示すように、本体部１８の下面（すなわち、接続部２２が形成されている本体部１８の上面に対する反対側の面）に形成されている。このコンタクト部４２ａ，４２ｂは、サーメット抵抗、カーボン抵抗あるいは銀系電極などの導電性ペーストが塗布されて形成される。

更に、接続部２２の両端近傍にビア導体４０ａ，４０ｂが設けられている。このビア導体４０ａ，４０ｂは、本体部１８にスルーホールが形成され、該スルーホールに導体が充填されることにより形成される。前記コンタクト部４２ａ，４２ｂとグランド電極部１４とは、該ビア導体４０ａ，４０ｂ及び接続部２２を介して接続されている。なお、コンタクト部４２ａ，４２ｂは、グランド電極部１４に直接に接続されていてもよい。

図３に示すイオン発生器２１０では、本体部１８の下面に設けられたコンタクト部４２ａ，４２ｂを介して高圧電源のグランド部をグランド電極部１４に接続する。ここで、高圧電圧は、本体部１８の下面に設けられた放電電極部１６に印加される。そのため、図３に示すイオン発生器２１０では、高圧電源の高圧出力端子及びグランド部の両方を本体部１８の下面側から接続できるようになる。その結果、高圧出力端子及びグランド部を接続するためのリード線の引き回しが簡素化される。

（第３の実施形態）
以下に、本発明の第３の実施形態に係るイオン発生器３１０について図面を参照しながら説明する。図４は、イオン発生器３１０の上視図である。より詳細には、図４（ａ）は、イオン発生器３１０の絶縁基板３１２の上視図であり、図４（ｂ）は、イオン発生器３１０の放電電極部３１６の上視図であり、図４（ｃ）は、イオン発生器３１０の上視図である。

イオン発生器３１０は、図４（ｃ）に示すように、絶縁基板３１２、グランド電極部３１４、放電電極部３１６、及び、配線３４０ａ〜３４０ｄを備える。図４（ｃ）に示すイオン発生器３１０は、図４（ａ）に示す絶縁基板３１２の下面に、図４（ｂ）に示す放電電極部３１６が取り付けられることにより構成される。この際、絶縁基板３１２及び放電電極部３１６に形成された丸孔にピンが挿入されることにより絶縁基板３１２と放電電極部３１６とが固定される。

絶縁基板３１２は、本体部３１８及び突出部３２０ａ〜３２０ｑを含む。グランド電極部３１４は、接続部３２２及びグランド電極３２４ａ〜３２４ｑを含む。放電電極部３１６は、図４（ｂ）に示すように、接続部３２６及び放電電極３２８ａ〜３２８ｐを含む。

ここで、イオン発生器３１０では、図４（ｃ）に示すように、本体部３１８から一方の方向に突出するように突出部３２０ａ〜３２０ｈ、グランド電極３２４ａ〜３２４ｈ及び放電電極３２８ａ〜３２８ｈが設けられている（図４（ｃ）では、放電電極３２８ａ〜３２８ｈの参照符号は省略されている）。更に、本体部３１８から他方の方向に突出するように突出部３２０ｉ〜３２０ｑ、グランド電極３２４ｉ〜３２４ｑ及び放電電極３２８ｉ〜３２８ｐが設けられている（図４（ｃ）では、放電電極３２８ｉ〜３２８ｐの参照符号は省略されている）。放電電極３２８ａ〜３２８ｇは、突出部３２０ａ〜３２０ｈの間に位置する領域のそれぞれに対応するように、本体部３１８から突出している。また、放電電極３２８ｉ〜３２８ｐは、突出部３２０ｉ〜３２０ｑの間に位置する領域のそれぞれに対応するように、本体部３１８から突出している。

本体部３１８から一方の方向に突出する突出部３２０ａ〜３２０ｈと本体部３１８から他方の方向に突出する突出部３２０ｉ〜３２０ｑとは、互い違いに配置されている。例えば、突出部３２０ｊは、突出部３２０ａ，３２０ｂの間から該突出部３２０ａ，３２０ｂが設けられた長辺と対向する長辺から突出するように設けられている。なお、他の突出部３２０ａ〜３２０ｈ，３２０ｋ〜３２０ｐについても、突出部３２０ｊと同様であるので説明を省略する。

また、配線３４０ａ〜３４０ｄは、接続部３２２の上層において接続部３２２に接触するように設けられている。該配線３４０ａ〜３４０ｄを構成する材料の抵抗率は、接続部３２２を構成する材料の抵抗率よりも低い。このような材料としては、例えば、銀が挙げられる。

絶縁膜３３０は、グランド電極部３１４及び配線３４０ａ〜３４０ｄの略全面を覆うように形成される。そして、絶縁膜３３０は、接続部３２２の両端近傍において、開口を有する。これにより、配線３４０ａ，３４０ｄの一部が露出し、コンタクト部３４２ａ，３４２ｂを形成している。該コンタクト部３４２ａ，３４２ｂには、高圧電源のグランド部が接続される。

以上のように構成されたイオン発生器３１０によれば、本体部３１８の長辺の両方にグランド電極３２４ａ〜３２４ｑ及び放電電極３２８ａ〜３２８ｐが設けられている。そのため、イオン発生器３１０は、より広範囲にわたってイオンを発生させることができる。

また、本体部３１８の一方の長辺から突出する突出部３２０ａ〜３２０ｈと本体部３１８の他方の長辺から突出する突出部３２０ｉ〜３２０ｑとは、互い違いに配置されている。そのため、イオン発生器３１０は、絶縁基板３１２の主面と被帯電物とを対向させて配置した場合に、被帯電物を均一に帯電させることができる。

また、接続部３２２を構成する材料よりも低い抵抗率の材料により、接続部３２２に接触するように、配線３４０ａ〜３４０ｄが形成されている。そのため、接続部３２２と配線３４０ａ〜３４０ｄとの合成抵抗を小さくすることができ、グランド電極３２４ａ〜３２４ｑ全体を均一にグランド電位とすることができる。

（その他の実施形態）
なお、図４に示すイオン発生器３１０において、接続部３２２に接触するように配線３４０ａ〜３４０ｄを設けるものとしたが、図１ないし図３に示すイオン発生器１０，１１０，２１０においても、配線３４０ａ〜３４０ｄに相当する配線が設けられてもよい。更に、図１ないし図４に示すイオン発生器１０，１１０，２１０，３１０において、配線３４０ａ〜３４０ｄに相当する配線を設ける代わりに、グランド電極２４ａ〜２４ｆ，３２４ａ〜３２４ｑを構成する材料の抵抗率よりも低い抵抗率を有する材料により接続部２２，３２２を形成してもよい。

また、図１ないし図３に示すイオン発生器１０，１１０，２１０では、放電電極２８は、５本設けられているが、放電電極２８の数はこれに限らない。放電電極２８は、それぞれ少なくとも２本設けられていればよい。この場合、突出部２０は、少なくとも３本必要となる。なお、イオン発生器３１０では、放電電極２８は、２つの辺にそれぞれ２本ずつ設けられていればよい。

図１（ａ）は、第１の実施形態に係るイオン発生器の上面を示した外観斜視図であり、図１（ｂ）は、該イオン発生器の下面を示した外観斜視図である。 第２の実施形態に係るイオン発生器の上面を示した外観斜視図である。 図３（ａ）は、第２の実施形態に係るイオン発生器の変形例に係るイオン発生器の上面を示した外観斜視図であり、図３（ｂ）は、該イオン発生器の下面を示した外観斜視図である。 図４（ａ）は、第３の実施形態に係るイオン発生器の絶縁基板の上視図であり、図４（ｂ）は、該イオン発生器の放電電極部の上視図であり、図４（ｃ）は、該イオン発生器の上視図である。

符号の説明

１０，１１０，２１０，３１０ イオン発生器
１２，３１２ 絶縁基板
１４，３１４ グランド電極部
１６，３１６ 放電電極部
１８，３１８ 本体部
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，３２０ａ，３２０ｂ，３２０ｃ，３２０ｄ，３２０ｅ，３２０ｆ，３２０ｇ，３２０ｈ，３２０ｉ，３２０ｊ，３２０ｋ，３２０ｌ，３２０ｍ，３２０ｎ，３２０ｏ，３２０ｐ，３２０ｑ 突出部
２２，２６，３２２，３２６ 接続部
２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ，２４ｆ，３２４ａ，３２４ｂ，３２４ｃ，３２４ｄ，３２４ｅ，３２４ｆ，３２４ｇ，３２４ｈ，３２４ｉ，３２４ｊ，３２４ｋ，３２４ｌ，３２４ｍ，３２４ｎ，３２４ｏ，３２４ｐ，３２４ｑ グランド電極
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ，２８ｅ，３２８ａ，３２８ｂ，３２８ｃ，３２８ｄ，３２８ｅ，３２８ｆ，３２８ｇ，３２８ｈ，３２８ｉ，３２８ｊ，３２８ｋ，３２８ｌ，３２８ｍ，３２８ｎ，３２８ｏ，３２８ｐ 放電電極
３０，３３０ 絶縁膜
３２ａ，３２ｂ，４２ａ，４２ｂ，３４２ａ，３４２ｂ コンタクト部
４０ａ，４０ｂ ビア導体
３４０ａ，３４０ｂ，３４０ｃ，３４０ｄ 配線

Claims (13)

1. 本体部と、該本体部から同方向に突出する複数の第１の突出部と、を有する絶縁基板と、
   前記複数の第１の突出部上に設けられた複数のグランド電極と、
   前記複数の第１の突出部の間に位置する領域のそれぞれに対応するように、前記本体部から突出する複数の第１の放電電極と、
   を備えることを特徴とするイオン発生器。
2. 前記複数のグランド電極、前記絶縁基板及び前記複数の第１の放電電極は、前記本体部の主面の法線方向において、この順に配置されていること、
   を特徴とする請求項１に記載のイオン発生器。
3. 前記複数のグランド電極を覆う絶縁膜を、
   更に備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のイオン発生器。
4. 前記複数の第１の突出部は、互いに平行であってかつ等間隔に配置され、
   前記複数の第１の放電電極は、互いに平行であってかつ等間隔に配置されること、
   を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のイオン発生器。
5. 前記複数の第１の放電電極は、第１の接続部を介して接続されており、
   前記複数の第１の放電電極及び前記第１の接続部は、一体的に構成されていること、
   を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のイオン発生器。
6. 前記第１の放電電極が前記本体部から突出している長さは、前記グランド電極が該本体部から突出している長さよりも短いこと、
   を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のイオン発生器。
7. 前記グランド電極は、１ｋΩ／ｍｍ²以上の抵抗率の材料により形成されていること、
   を特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のイオン発生器。
8. 前記第１の突出部及び前記第１の放電電極は、前記本体部から一方の方向に突出し、
   前記本体部から前記一方の方向の反対方向に突出する、複数の第２の突出部及び複数の第２の放電電極を、
   更に備え、
   前記複数の第２の放電電極は、前記複数の第２の突出部の間に位置する領域のそれぞれに対応するように、前記本体部から突出していること、
   を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のイオン発生器。
9. 前記複数の第１の突出部と前記複数の第２の突出部とは、互い違いに配置されていること、
   を特徴とする請求項８に記載のイオン発生器。
10. 前記本体部上に形成され、前記複数のグランド電極を接続する第２の接続部を、
    更に備えることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のイオン発生器。
11. 前記複数のグランド電極が形成された前記本体部の主面の反対側の主面に形成された外部接続用電極を、
    更に備え、
    前記複数のグランド電極と前記外部接続用電極とは、前記本体部に形成されたビア導体を介して接続されていること、
    を特徴とする請求項１０に記載のイオン発生器。
12. 前記第２の接続部を構成する材料は、前記グランド電極よりも低い抵抗率を有すること、
    を特徴とする請求項１１に記載のイオン発生器。
13. 前記第２の接続部に接触するように形成された配線であって、該第２の接続部を構成する材料の抵抗率よりも低い抵抗率の材料により形成された配線を、
    更に備えること、
    を特徴とする請求項１１に記載のイオン発生器。

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