JP2009098407A - 表示装置 - Google Patents
表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009098407A JP2009098407A JP2007269893A JP2007269893A JP2009098407A JP 2009098407 A JP2009098407 A JP 2009098407A JP 2007269893 A JP2007269893 A JP 2007269893A JP 2007269893 A JP2007269893 A JP 2007269893A JP 2009098407 A JP2009098407 A JP 2009098407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal layer
- pad
- pad electrode
- conductive film
- transparent conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/117—Pads along the edge of rigid circuit boards, e.g. for pluggable connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/032—Materials
- H05K2201/0326—Inorganic, non-metallic conductor, e.g. indium-tin oxide [ITO]
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09372—Pads and lands
- H05K2201/09472—Recessed pad for surface mounting; Recessed electrode of component
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/0969—Apertured conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing of the conductive pattern
- H05K3/244—Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【課題】表示装置において、各パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することにより、より一層の小型化を図る。
【解決手段】少なくとも1個の基板は、少なくとも一辺の端部に複数のパッド電極を有し、前記複数のパッド電極の各パッド電極は、前記少なくとも1個の基板上に形成された金属層と、前記金属層上に形成された透明導電膜とを有し、フレキシブル配線基板は、前記各パッド電極の前記透明導電膜と機械的・電気的に接続された接続電極を有し、前記各パッド電極は、前記金属層が形成される面に、平面的に見て凹部または開口部の形状に前記金属層が形成されない金属層除去領域を有し、前記透明導電膜は、前記金属層が形成された領域と前記金属層除去領域との両方を覆い、かつ、前記金属層が形成された領域で前記金属層と電気的に接続され、前記フレキシブル配線基板の前記接続電極は、前記パッド電極の前記金属層と前記金属層除去領域との両方に重畳する。
【選択図】図2
【解決手段】少なくとも1個の基板は、少なくとも一辺の端部に複数のパッド電極を有し、前記複数のパッド電極の各パッド電極は、前記少なくとも1個の基板上に形成された金属層と、前記金属層上に形成された透明導電膜とを有し、フレキシブル配線基板は、前記各パッド電極の前記透明導電膜と機械的・電気的に接続された接続電極を有し、前記各パッド電極は、前記金属層が形成される面に、平面的に見て凹部または開口部の形状に前記金属層が形成されない金属層除去領域を有し、前記透明導電膜は、前記金属層が形成された領域と前記金属層除去領域との両方を覆い、かつ、前記金属層が形成された領域で前記金属層と電気的に接続され、前記フレキシブル配線基板の前記接続電極は、前記パッド電極の前記金属層と前記金属層除去領域との両方に重畳する。
【選択図】図2
Description
本発明は、表示装置に係り、特に、フレキシブル配線基板と接続されるパッド電極を検査用プローブを当てることが可能な検査用のパッド電極として兼用するようにした表示装置に関する。
アクティブ素子として薄膜トランジスタを使用するTFT方式の液晶表示パネルは高精細な画像を表示できるため、テレビ、PC用ディスプレイ等の表示装置として使用されている。特に、小型のTFT方式の液晶表示装置は、携帯機器の表示部として多用されている。
図13は、従来の液晶表示パネルの一例を示す図であり、同図において、SUB1は第1基板、SUB2は第2基板、ARは表示領域である。
図13に示す従来の液晶表示パネルは、画素電極、薄膜トランジスタ等が形成される第1基板(SUB1)と、カラーフィルタ等が形成される第2基板(SUB2)とを、所定の間隙を隔てて重ね合わせ、該両基板間の周縁部近傍に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに、両基板の外側に偏光板を貼り付けて構成される。
また、図13に示す従来の液晶表示パネルでは、第1基板(SUB1)の一辺の端部に複数のパッド電極(PAD)が形成される。このパッド電極(PAD)は、フレキシブル配線基板(図示せず)の対応する接続電極に接続される。外部からの表示データ、表示制御信号などは、フレキシブル配線基板を介して入力される。
さらに、図13に示すように、従来の液晶表示パネルでは、複数のパッド電極の内側に検査用のパッド電極(KPD)が形成される。この検査用のパッド電極(KPD)には、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される。
図13は、従来の液晶表示パネルの一例を示す図であり、同図において、SUB1は第1基板、SUB2は第2基板、ARは表示領域である。
図13に示す従来の液晶表示パネルは、画素電極、薄膜トランジスタ等が形成される第1基板(SUB1)と、カラーフィルタ等が形成される第2基板(SUB2)とを、所定の間隙を隔てて重ね合わせ、該両基板間の周縁部近傍に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに、両基板の外側に偏光板を貼り付けて構成される。
また、図13に示す従来の液晶表示パネルでは、第1基板(SUB1)の一辺の端部に複数のパッド電極(PAD)が形成される。このパッド電極(PAD)は、フレキシブル配線基板(図示せず)の対応する接続電極に接続される。外部からの表示データ、表示制御信号などは、フレキシブル配線基板を介して入力される。
さらに、図13に示すように、従来の液晶表示パネルでは、複数のパッド電極の内側に検査用のパッド電極(KPD)が形成される。この検査用のパッド電極(KPD)には、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される。
図14は、図13に示すパッド電極(PAD)の平面図であり、図15は、図14に示すB−B’切断線に沿った断面構造を示す断面図である。
図15に示すように、各パッド電極(PAD)は、第1基板(SUB1)上に形成される金属層11と、金属層11上に形成される第1の層間絶縁層16と、第1の層間絶縁層16上に形成される第2の層間絶縁層15と、第2の層間絶縁層15上に形成される透明導電膜12とを有する。
ここで、図14に示すように、透明導電膜12の周辺部が金属層11の外側にはみ出すように、透明導電膜12は、全ての金属層11を覆うように形成される。なお、図14において、11−1は、金属層11に接続される金属配線層である。
また、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とに形成されたコンタクトホール13の内部で透明導電膜12は金属層11を覆うので、透明導電膜12は、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とに形成されたコンタクトホール13において金属層11と電気的に接続される。
図15に示すように、各パッド電極(PAD)は、第1基板(SUB1)上に形成される金属層11と、金属層11上に形成される第1の層間絶縁層16と、第1の層間絶縁層16上に形成される第2の層間絶縁層15と、第2の層間絶縁層15上に形成される透明導電膜12とを有する。
ここで、図14に示すように、透明導電膜12の周辺部が金属層11の外側にはみ出すように、透明導電膜12は、全ての金属層11を覆うように形成される。なお、図14において、11−1は、金属層11に接続される金属配線層である。
また、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とに形成されたコンタクトホール13の内部で透明導電膜12は金属層11を覆うので、透明導電膜12は、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とに形成されたコンタクトホール13において金属層11と電気的に接続される。
なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。
特開2000−155328号公報
特開平11−305251号公報
しかしながら、図13に示す従来の液晶表示パネルでは、パッド電極(PAD)と検査用のパッド電極(KPD)とが別々の場所に形成されていたので、額縁領域(図13のLbに示す領域)が広くなってしまうという問題がある。
仮に、図13に示す従来の液晶表示パネルにおいて、各パッド電極(PAD)を検査用のパッド電極(KPD)として兼用することにより、検査用のパッド電極(KPD)を省略すれば、その結果として、額縁領域(図13のLbに示す領域)を短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
しかしながら、図15に示すように、従来の液晶表示パネルのパッド電極(PAD)では、コンタクトホール13の内部において、金属層11上に透明導電膜12を形成しているため、各パッド電極(PAD)を検査用のパッド電極(KPD)として兼用した場合、製造工程中の検査時に、検査用プローブが当接することにより、金属層11上のパッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がつくことが想定される。
そして、透明導電膜12に傷がつくと、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生するという問題点があった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、表示装置において、各パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することにより、より一層の小型化を図ることが可能となる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
仮に、図13に示す従来の液晶表示パネルにおいて、各パッド電極(PAD)を検査用のパッド電極(KPD)として兼用することにより、検査用のパッド電極(KPD)を省略すれば、その結果として、額縁領域(図13のLbに示す領域)を短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
しかしながら、図15に示すように、従来の液晶表示パネルのパッド電極(PAD)では、コンタクトホール13の内部において、金属層11上に透明導電膜12を形成しているため、各パッド電極(PAD)を検査用のパッド電極(KPD)として兼用した場合、製造工程中の検査時に、検査用プローブが当接することにより、金属層11上のパッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がつくことが想定される。
そして、透明導電膜12に傷がつくと、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生するという問題点があった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、表示装置において、各パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することにより、より一層の小型化を図ることが可能となる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
(1)少なくとも1個の基板を有する表示パネルと、
前記少なくとも1個の基板の少なくとも一辺の端部に固定されるフレキシブル配線基板とを備え、
前記少なくとも1個の基板は、前記少なくとも一辺の前記端部に複数のパッド電極を有し、
前記複数のパッド電極の各パッド電極は、前記少なくとも1個の基板上に形成された金属層と、
前記金属層上に形成された透明導電膜とを有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記各パッド電極の前記透明導電膜と機械的・電気的に接続された接続電極を有する表示装置であって、
前記各パッド電極は、前記金属層が形成される面に、平面的に見て凹部または開口部の形状に前記金属層が形成されない金属層除去領域を有し、
前記透明導電膜は、前記金属層が形成された領域と前記金属層除去領域との両方を覆い、かつ、前記金属層が形成された領域で前記金属層と電気的に接続され、
前記フレキシブル配線基板の前記接続電極は、前記パッド電極の前記金属層と前記金属層除去領域との両方に重畳する。
(2)(1)において、前記金属層除去領域は、前記金属層の内部に形成され全周が前記金属層に囲まれた開口部である。
(3)(1)または(2)において、前記透明導電膜と前記金属層との間に設けられた絶縁層を有し、
前記絶縁層は、前記金属層が形成された領域にコンタクトホールを有し、
前記透明導電膜は、前記絶縁層に形成された前記コンタクトホールにおいて、前記金属層と電気的に接続されている。
(1)少なくとも1個の基板を有する表示パネルと、
前記少なくとも1個の基板の少なくとも一辺の端部に固定されるフレキシブル配線基板とを備え、
前記少なくとも1個の基板は、前記少なくとも一辺の前記端部に複数のパッド電極を有し、
前記複数のパッド電極の各パッド電極は、前記少なくとも1個の基板上に形成された金属層と、
前記金属層上に形成された透明導電膜とを有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記各パッド電極の前記透明導電膜と機械的・電気的に接続された接続電極を有する表示装置であって、
前記各パッド電極は、前記金属層が形成される面に、平面的に見て凹部または開口部の形状に前記金属層が形成されない金属層除去領域を有し、
前記透明導電膜は、前記金属層が形成された領域と前記金属層除去領域との両方を覆い、かつ、前記金属層が形成された領域で前記金属層と電気的に接続され、
前記フレキシブル配線基板の前記接続電極は、前記パッド電極の前記金属層と前記金属層除去領域との両方に重畳する。
(2)(1)において、前記金属層除去領域は、前記金属層の内部に形成され全周が前記金属層に囲まれた開口部である。
(3)(1)または(2)において、前記透明導電膜と前記金属層との間に設けられた絶縁層を有し、
前記絶縁層は、前記金属層が形成された領域にコンタクトホールを有し、
前記透明導電膜は、前記絶縁層に形成された前記コンタクトホールにおいて、前記金属層と電気的に接続されている。
(4)(1)ないし(3)の何れかにおいて、前記金属層除去領域は、前記各パッド電極における、前記複数のパッド電極が並ぶ方向の中心よりも、前記各パッド電極の外側に寄った位置に配置されている。
(5)(1)ないし(4)の何れかにおいて、前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の2個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの一方の電極は、前記金属層が形成された部分において前記透明導電膜と電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの他方の電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されている。
(6)(1)ないし(4)の何れかにおいて、前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の1個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記1個の接続電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されている。
(7)(1)ないし(6)の何れかにおいて、前記表示パネルは、液晶表示パネルである。
(5)(1)ないし(4)の何れかにおいて、前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の2個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの一方の電極は、前記金属層が形成された部分において前記透明導電膜と電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの他方の電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されている。
(6)(1)ないし(4)の何れかにおいて、前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の1個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記1個の接続電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されている。
(7)(1)ないし(6)の何れかにおいて、前記表示パネルは、液晶表示パネルである。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明の表示装置によれば、各パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することにより、より一層の小型化を図ることが可能となる。
本発明の表示装置によれば、各パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することにより、より一層の小型化を図ることが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
図1は、本発明の実施例の液晶表示パネルの概略構成を示す図であり、同図(a)は正面図、同図(b)が側面図である。
図1において、SUB1はガラス基板などから成る第1基板、SUB2はガラス基板などから成る第2基板、ARは表示領域である。
本実施例の液晶表示パネルは、画素電極、薄膜トランジスタ(アクティブ素子)等が形成される第1基板(SUB1)と、カラーフィルタ等が形成される第2基板(SUB2)とを、所定の間隙を隔てて重ね合わせ、該両基板間の周縁部近傍に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに、両基板の外側に偏光板を貼り付けて構成される。
なお、対向電極は、TN方式やVA方式の液晶表示パネルであれば第2基板(SUB2)側に設けられ、IPS方式の場合は、第1基板(SUB1)側に設けられる。また、本発明は、液晶表示パネルの内部構造とは関係がないので、液晶表示パネルの内部構造の詳細な説明は省略する。さらに、本発明は、どのような構造の液晶表示パネルであっても適用可能である。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
図1は、本発明の実施例の液晶表示パネルの概略構成を示す図であり、同図(a)は正面図、同図(b)が側面図である。
図1において、SUB1はガラス基板などから成る第1基板、SUB2はガラス基板などから成る第2基板、ARは表示領域である。
本実施例の液晶表示パネルは、画素電極、薄膜トランジスタ(アクティブ素子)等が形成される第1基板(SUB1)と、カラーフィルタ等が形成される第2基板(SUB2)とを、所定の間隙を隔てて重ね合わせ、該両基板間の周縁部近傍に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに、両基板の外側に偏光板を貼り付けて構成される。
なお、対向電極は、TN方式やVA方式の液晶表示パネルであれば第2基板(SUB2)側に設けられ、IPS方式の場合は、第1基板(SUB1)側に設けられる。また、本発明は、液晶表示パネルの内部構造とは関係がないので、液晶表示パネルの内部構造の詳細な説明は省略する。さらに、本発明は、どのような構造の液晶表示パネルであっても適用可能である。
液晶表示パネルには、隣接する2本の走査線(ゲート線ともいう。)と、隣接する2本の映像線(ソース線またはドレイン線ともいう。)とで囲まれる領域に、走査線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、映像線からの映像信号が前述の薄膜トランジスタを介して供給される画素電極とが形成されて、所謂、画素が構成される。
これら複数の画素が形成された領域が表示領域(AR)であり、当該表示領域を囲んで周辺領域が存在する。
周辺領域には、映像線に映像電圧(映像信号)を供給する映像駆動回路と、走査線に走査電圧(走査信号)を供給する走査線駆動回路と、映像駆動回路および走査線駆動回路を制御・駆動する表示制御回路が配置される。
なお、本実施例では、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)は、半導体層として低温ポリシリコンを使用したポリシリコン薄膜トランジスタにより構成される。
同様に、前述の映像駆動回路、走査線駆動回路、および表示制御回路も、ポリシリコン薄膜トランジスタにより構成され、液晶表示パネルの内部(即ち、シール材により封止された第1基板(SUB1)と第2基板(SUB2)の内部)の周辺部に配置される。
これら複数の画素が形成された領域が表示領域(AR)であり、当該表示領域を囲んで周辺領域が存在する。
周辺領域には、映像線に映像電圧(映像信号)を供給する映像駆動回路と、走査線に走査電圧(走査信号)を供給する走査線駆動回路と、映像駆動回路および走査線駆動回路を制御・駆動する表示制御回路が配置される。
なお、本実施例では、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)は、半導体層として低温ポリシリコンを使用したポリシリコン薄膜トランジスタにより構成される。
同様に、前述の映像駆動回路、走査線駆動回路、および表示制御回路も、ポリシリコン薄膜トランジスタにより構成され、液晶表示パネルの内部(即ち、シール材により封止された第1基板(SUB1)と第2基板(SUB2)の内部)の周辺部に配置される。
本実施例の液晶表示パネルでは、パッド電極(PAD)が検査用のパッド電極を兼用するため、第1基板(SUB1)の一辺の端部に複数のパッド電極(PAD)が形成されるが、図13に示す検査用のパッド電極(KPD)は形成されない。
なお、図1、および後述する図12において、複数のパッド電極(PAD)は、矩形状の第1基板(SUB1)の1つの辺の端部に形成するようにしたが、複数のパッド電極(PAD)は、第1基板(SUB1)の2つの辺の端部、または、3つの辺の端部、あるいは全ての辺の端部に形成するようにしてもよい。
図2は、本実施例のパッド電極(PAD)の平面図であり、図3は、図2に示すA−A’切断線に沿った断面構造を示す断面図である。
本実施例では、パッド電極(PAD)の金属層11に開口部14が形成される点と、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15に形成されるコンタクトホール13が、前述の開口部14を避けてL字型に形成される点で、前述の図14、図15に示す従来のパッド電極と相異する。なお、図2において、11−1は、金属層11に接続される金属配線層である。
前述したように、本実施例では、金属層11が形成される面に、金属層が形成されない金属層除去領域(開口部14の領域)が形成される。この開口部14が、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分となる。そのため、この開口部14の面積は、検査用プローブを当接するために必要とされる最小の面積以上とする必要がある。
このように、本実施例の各パッド電極(PAD)では、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分には金属層11が形成されない。したがって、本実施例では、製造工程中の検査時に、検査用プローブが当接することにより各パッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がついたとしても、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生することはない。
これにより、本実施例では、検査用のパッド電極(KPD)をパッド電極(PAD)とは別の場所に設ける必要がないので、額縁領域(図1のLaに示す領域)を、従来のものより短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
なお、図1、および後述する図12において、複数のパッド電極(PAD)は、矩形状の第1基板(SUB1)の1つの辺の端部に形成するようにしたが、複数のパッド電極(PAD)は、第1基板(SUB1)の2つの辺の端部、または、3つの辺の端部、あるいは全ての辺の端部に形成するようにしてもよい。
図2は、本実施例のパッド電極(PAD)の平面図であり、図3は、図2に示すA−A’切断線に沿った断面構造を示す断面図である。
本実施例では、パッド電極(PAD)の金属層11に開口部14が形成される点と、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15に形成されるコンタクトホール13が、前述の開口部14を避けてL字型に形成される点で、前述の図14、図15に示す従来のパッド電極と相異する。なお、図2において、11−1は、金属層11に接続される金属配線層である。
前述したように、本実施例では、金属層11が形成される面に、金属層が形成されない金属層除去領域(開口部14の領域)が形成される。この開口部14が、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分となる。そのため、この開口部14の面積は、検査用プローブを当接するために必要とされる最小の面積以上とする必要がある。
このように、本実施例の各パッド電極(PAD)では、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分には金属層11が形成されない。したがって、本実施例では、製造工程中の検査時に、検査用プローブが当接することにより各パッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がついたとしても、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生することはない。
これにより、本実施例では、検査用のパッド電極(KPD)をパッド電極(PAD)とは別の場所に設ける必要がないので、額縁領域(図1のLaに示す領域)を、従来のものより短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
また、本実施例では、コンタクトホール13が、前述の開口部14を避けてL字型に形成されるが、このコンタクトホール13の内部において、透明導電膜12と金属層11とが電気的に接続される。
また、開口部14は、各パッド電極(PAD)における、複数のパッド電極(PAD)が並ぶ方向(図2の矢印Cの方向)の中心よりも、各パッド電極(PAD)の外側に寄った位置に配置される。
なお、本実施例において、透明導電膜12と開口部14との間には、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とが形成されているが、透明導電膜12と開口部14との間の第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とは省略することも可能である。
また、本実施例では、透明導電膜12として、酸化インジウム・スズ(ITO)を使用しているが、酸化亜鉛系、酸化スズ系の透明導電膜も使用可能である。また、金属層11として、(MoW/AlSi/MoW)の3層を積層した金属層を使用しているが、表示装置や半導体技術で使用される周知の金属材料を使用することが可能である。
さらに、前述の説明では、金属層11に開口部14を形成することにより、金属層11が形成される面に、金属層が形成されない金属層除去領域を形成しているが、この構造以外に、例えば、図4に示すように、金属層11の一部に凹部24を形成し、あるいは、図5に示すように、金属層11をL字型に形成して、金属層除去領域を形成してもよい。図5の場合も、図4の場合と同様に、金属層11の一部に平面的に見て凹部24の形状に金属層除去領域が形成される。
また、開口部14は、各パッド電極(PAD)における、複数のパッド電極(PAD)が並ぶ方向(図2の矢印Cの方向)の中心よりも、各パッド電極(PAD)の外側に寄った位置に配置される。
なお、本実施例において、透明導電膜12と開口部14との間には、第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とが形成されているが、透明導電膜12と開口部14との間の第1の層間絶縁層16と第2の層間絶縁層15とは省略することも可能である。
また、本実施例では、透明導電膜12として、酸化インジウム・スズ(ITO)を使用しているが、酸化亜鉛系、酸化スズ系の透明導電膜も使用可能である。また、金属層11として、(MoW/AlSi/MoW)の3層を積層した金属層を使用しているが、表示装置や半導体技術で使用される周知の金属材料を使用することが可能である。
さらに、前述の説明では、金属層11に開口部14を形成することにより、金属層11が形成される面に、金属層が形成されない金属層除去領域を形成しているが、この構造以外に、例えば、図4に示すように、金属層11の一部に凹部24を形成し、あるいは、図5に示すように、金属層11をL字型に形成して、金属層除去領域を形成してもよい。図5の場合も、図4の場合と同様に、金属層11の一部に平面的に見て凹部24の形状に金属層除去領域が形成される。
本実施例では、表示信号源(ホスト側)からの表示データ、あるいは、表示制御信号は、フレキシブル配線基板を介して、液晶表示パネルに入力される。
図6は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の一例を示す平面図であり、図7は、フレキシブル配線基板18に形成された接続電極17の一例を示す図であり、図8は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の一例の断面構造を示す要部断面図である。
図6ないし図8は、一つのパッド電極(PAD)に2個の接続電極17を機械的・電気的に接続する場合を示す図である。また、図6ないし図8では、図示を簡略化するために、パッド電極(PAD)が3個の場合を図示しているが、実際は3個以上のパッド電極(PAD)が配置されることはいうまでもない。
図6ないし図8では、一つのパッド電極(PAD)に2個の接続電極17が機械的・電気的に接続されるが、当該2つの接続電極17のうちの一方の電極は、金属層11が形成された部分において、導電粒子19を介して透明導電膜12に電気的に接続され、2個の接続電極17のうちの他方の電極は、開口部14(金属層除去領域)と金属層11が形成された部分との両方において、導電粒子19を介して透明導電膜12と電気的に接続されている。
したがって、図8に示すように、開口部14(金属層除去領域)の部分の導電粒子19は大きく変形することになる。
なお、一つのパッド電極(PAD)に機械的・電気的に接続される2個の接続電極17には、同一の電圧(あるいは、信号)供給されていることはいうまでもない。
また、金属層除去領域は、全周が金属層11に囲まれた開口部14の形状に代えて、図4および図5で説明したような凹部24の形状でも良い。
図6は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の一例を示す平面図であり、図7は、フレキシブル配線基板18に形成された接続電極17の一例を示す図であり、図8は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の一例の断面構造を示す要部断面図である。
図6ないし図8は、一つのパッド電極(PAD)に2個の接続電極17を機械的・電気的に接続する場合を示す図である。また、図6ないし図8では、図示を簡略化するために、パッド電極(PAD)が3個の場合を図示しているが、実際は3個以上のパッド電極(PAD)が配置されることはいうまでもない。
図6ないし図8では、一つのパッド電極(PAD)に2個の接続電極17が機械的・電気的に接続されるが、当該2つの接続電極17のうちの一方の電極は、金属層11が形成された部分において、導電粒子19を介して透明導電膜12に電気的に接続され、2個の接続電極17のうちの他方の電極は、開口部14(金属層除去領域)と金属層11が形成された部分との両方において、導電粒子19を介して透明導電膜12と電気的に接続されている。
したがって、図8に示すように、開口部14(金属層除去領域)の部分の導電粒子19は大きく変形することになる。
なお、一つのパッド電極(PAD)に機械的・電気的に接続される2個の接続電極17には、同一の電圧(あるいは、信号)供給されていることはいうまでもない。
また、金属層除去領域は、全周が金属層11に囲まれた開口部14の形状に代えて、図4および図5で説明したような凹部24の形状でも良い。
図9は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の他の一例を示す平面図であり、図10は、フレキシブル配線基板18に形成された接続電極17の他の一例を示す図であり、図11は、本実施例の第1基板(SUB1)にフレキシブル配線基板18を実装した状態の他の一例の断面構造を示す要部断面図である。
図9ないし図11は、一つのパッド電極(PAD)に1個の接続電極17を機械的・電気的に接続する場合を示す図である。また、図9ないし図11でも、図示を簡略化するために、パッド電極(PAD)が3個の場合を図示しているが、実際は3個以上のパッド電極(PAD)が配置されることはいうまでもない。
図9ないし図11では、1個の接続電極が、開口部14(金属層除去領域)と金属層11が形成された部分との両方において、導電粒子19を介して透明導電膜12と電気的に接続されている。
したがって、図11に示すように、開口部14(金属層除去領域)の部分の導電粒子19は大きく変形することになる。
尚、金属層除去領域は、全周が金属層11に囲まれた開口部14の形状に代えて、図4および図5で説明したような凹部24の形状でも良い。
図6ないし図11を用いて説明したように、パッド電極(PAD)を透明導電膜12のみで構成するのではなく、一部に金属層11を残し、フレキシブル配線基板18の接続電極17を金属層除去領域と金属層11との両方に重畳させているので、電気的な接続抵抗を減らすことが可能である。
図9ないし図11は、一つのパッド電極(PAD)に1個の接続電極17を機械的・電気的に接続する場合を示す図である。また、図9ないし図11でも、図示を簡略化するために、パッド電極(PAD)が3個の場合を図示しているが、実際は3個以上のパッド電極(PAD)が配置されることはいうまでもない。
図9ないし図11では、1個の接続電極が、開口部14(金属層除去領域)と金属層11が形成された部分との両方において、導電粒子19を介して透明導電膜12と電気的に接続されている。
したがって、図11に示すように、開口部14(金属層除去領域)の部分の導電粒子19は大きく変形することになる。
尚、金属層除去領域は、全周が金属層11に囲まれた開口部14の形状に代えて、図4および図5で説明したような凹部24の形状でも良い。
図6ないし図11を用いて説明したように、パッド電極(PAD)を透明導電膜12のみで構成するのではなく、一部に金属層11を残し、フレキシブル配線基板18の接続電極17を金属層除去領域と金属層11との両方に重畳させているので、電気的な接続抵抗を減らすことが可能である。
図12は、本実施例の液晶表示パネルの変形例を示す図である。
図12に示す液晶表示パネルは、映像線に映像電圧を供給する映像駆動回路と、走査線に走査電圧を供給する走査線駆動回路と、映像駆動回路および走査線駆動回路を制御・駆動する表示制御回路とを搭載した半導体チップ(DRV)を、第1基板(SUB1)上にCOG方式で実装したものである。図12(a)は正面図、図12(b)は側面図である。
なお、前述の説明では、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)は、半導体層として低温ポリシリコンを使用したポリシリコン薄膜トランジスタを使用した場合について説明したが、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)としては、半導体層としてアモルファスシリコンを使用したアモルファスシリコン薄膜トランジスタを使用してもよい。
以上説明したように、本実施例では、各パッド電極の、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分に金属層11を形成しないようにしたので、製造工程中の検査時に、検査用プローブを当接することにより各パッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がついたとしても、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生することはない。
これにより、本実施例では、検査用のパッド電極(KPD)をパッド電極(PAD)とは別の場所に設ける必要がないので、額縁領域(図12のLcに示す領域)を、従来のものより短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
図12に示す液晶表示パネルは、映像線に映像電圧を供給する映像駆動回路と、走査線に走査電圧を供給する走査線駆動回路と、映像駆動回路および走査線駆動回路を制御・駆動する表示制御回路とを搭載した半導体チップ(DRV)を、第1基板(SUB1)上にCOG方式で実装したものである。図12(a)は正面図、図12(b)は側面図である。
なお、前述の説明では、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)は、半導体層として低温ポリシリコンを使用したポリシリコン薄膜トランジスタを使用した場合について説明したが、第1基板(SUB1)に形成される薄膜トランジスタ(アクティブ素子)としては、半導体層としてアモルファスシリコンを使用したアモルファスシリコン薄膜トランジスタを使用してもよい。
以上説明したように、本実施例では、各パッド電極の、製造工程中の検査時に検査用プローブが当接される部分に金属層11を形成しないようにしたので、製造工程中の検査時に、検査用プローブを当接することにより各パッド電極(PAD)の透明導電膜12に傷がついたとしても、後工程(例えば、端子洗浄等)において、金属層11に電食(電気化学的腐食)が発生することはない。
これにより、本実施例では、検査用のパッド電極(KPD)をパッド電極(PAD)とは別の場所に設ける必要がないので、額縁領域(図12のLcに示す領域)を、従来のものより短くすることができるので、液晶表示パネルのより一層の小型化を図ることが可能となる。
なお、前述の特許文献1には、検査用のパッド電極において、透明導電膜よりも下層の金属層を除去する技術が記載されている。しかしながら、前述の特許文献1では、検査用のパッド電極の近傍にバイパス配線が形成されており、外部との接続用のパッド電極は別の箇所に形成されていることは明白であり、前述の特許文献1には、パッド電極を検査用のパッド電極として兼用することは記載されていない。
また、前述の特許文献2には、半導体チップのバンプ電極と接続されるパッド電極の近傍に検査用のパッド電極を形成する技術が記載されている。しかしながら、前述の特許文献2では、検査用のパッド電極は、半導体チップのバンプ電極とは重畳しておらず、しかも、引用文献2で示されているパッド電極は、フレキシブル配線基板の接続電極に接続されるものではないので、前述の特許文献2には、フレキシブル配線基板の接続電極と接続されるパッド電極を検査用のパッド電極として兼用することは記載されていない。
なお、前述の説明では、本発明を、液晶表示装置に適用した実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、有機EL表示装置など、画素を有する表示装置全般に適用可能である。したがって、表示パネルに用いられる基板は、必ずしも2個である必要はなく、少なくとも1個の基板であればよい。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
また、前述の特許文献2には、半導体チップのバンプ電極と接続されるパッド電極の近傍に検査用のパッド電極を形成する技術が記載されている。しかしながら、前述の特許文献2では、検査用のパッド電極は、半導体チップのバンプ電極とは重畳しておらず、しかも、引用文献2で示されているパッド電極は、フレキシブル配線基板の接続電極に接続されるものではないので、前述の特許文献2には、フレキシブル配線基板の接続電極と接続されるパッド電極を検査用のパッド電極として兼用することは記載されていない。
なお、前述の説明では、本発明を、液晶表示装置に適用した実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、有機EL表示装置など、画素を有する表示装置全般に適用可能である。したがって、表示パネルに用いられる基板は、必ずしも2個である必要はなく、少なくとも1個の基板であればよい。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
11 金属層
11−1 配線層
12 透明導電膜
13 コンタクトホール
14 開口部
15 第2の層間絶縁層
16 第1の層間絶縁層
17 接続電極
18 フレキシブル配線基板
19 導電粒子
24 凹部
DRV 半導体チップ
SUB1 第1基板
SUB2 第2基板
AR 表示領域
PAD パッド電極
KPD 検査用のパッド電極
11−1 配線層
12 透明導電膜
13 コンタクトホール
14 開口部
15 第2の層間絶縁層
16 第1の層間絶縁層
17 接続電極
18 フレキシブル配線基板
19 導電粒子
24 凹部
DRV 半導体チップ
SUB1 第1基板
SUB2 第2基板
AR 表示領域
PAD パッド電極
KPD 検査用のパッド電極
Claims (7)
- 少なくとも1個の基板を有する表示パネルと、
前記少なくとも1個の基板の少なくとも一辺の端部に固定されるフレキシブル配線基板とを備え、
前記少なくとも1個の基板は、前記少なくとも一辺の前記端部に複数のパッド電極を有し、
前記複数のパッド電極の各パッド電極は、前記少なくとも1個の基板上に形成された金属層と、
前記金属層上に形成された透明導電膜とを有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記各パッド電極の前記透明導電膜と機械的・電気的に接続された接続電極を有する表示装置であって、
前記各パッド電極は、前記金属層が形成される面に、平面的に見て凹部または開口部の形状に前記金属層が形成されない金属層除去領域を有し、
前記透明導電膜は、前記金属層が形成された領域と前記金属層除去領域との両方を覆い、かつ、前記金属層が形成された領域で前記金属層と電気的に接続され、
前記フレキシブル配線基板の前記接続電極は、前記パッド電極の前記金属層と前記金属層除去領域との両方に重畳することを特徴とする表示装置。 - 前記金属層除去領域は、前記金属層の内部に形成され全周が前記金属層に囲まれた開口部であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記透明導電膜と前記金属層との間に設けられた絶縁層を有し、
前記絶縁層は、前記金属層が形成された領域にコンタクトホールを有し、
前記透明導電膜は、前記絶縁層に形成された前記コンタクトホールにおいて、前記金属層と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表示装置。 - 前記金属層除去領域は、前記各パッド電極における、前記複数のパッド電極が並ぶ方向の中心よりも、前記各パッド電極の外側に寄った位置に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の表示装置。
- 前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の2個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの一方の電極は、前記金属層が形成された部分において前記透明導電膜と電気的に接続され、
前記2個の接続電極のうちの他方の電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記複数のパッド電極の中の1個のパッド電極には、前記フレキシブル配線基板の1個の前記接続電極が機械的・電気的に接続され、
前記1個の接続電極は、前記金属層除去領域と前記金属層が形成された部分との両方において前記透明導電膜と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記表示パネルは、液晶表示パネルであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の表示装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007269893A JP2009098407A (ja) | 2007-10-17 | 2007-10-17 | 表示装置 |
| US12/251,517 US20090103037A1 (en) | 2007-10-17 | 2008-10-15 | Display Device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007269893A JP2009098407A (ja) | 2007-10-17 | 2007-10-17 | 表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009098407A true JP2009098407A (ja) | 2009-05-07 |
Family
ID=40563152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007269893A Pending JP2009098407A (ja) | 2007-10-17 | 2007-10-17 | 表示装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20090103037A1 (ja) |
| JP (1) | JP2009098407A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015025943A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 実装構造、電気光学装置及び電子機器 |
| JP2021535436A (ja) * | 2018-08-27 | 2021-12-16 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co., Ltd. | 表示パネル、およびそれを含む表示装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101392268B1 (ko) * | 2008-11-26 | 2014-05-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치의 패드부 |
| KR101097306B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 얼라인 마크를 포함하는 디스플레이 장치 |
| US9019714B2 (en) * | 2011-10-26 | 2015-04-28 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Circuit component and method of making the same |
| US9627347B2 (en) * | 2012-09-24 | 2017-04-18 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Method of manufacturing semiconductor device and semiconductor device manufacturing apparatus |
| US10615198B1 (en) * | 2018-01-11 | 2020-04-07 | Apple Inc. | Isolation structures in film-based image sensors |
| US10868203B1 (en) | 2018-04-25 | 2020-12-15 | Apple Inc. | Film-based image sensor with planarized contacts |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7679097B2 (en) * | 2004-10-21 | 2010-03-16 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
| KR20060100872A (ko) * | 2005-03-18 | 2006-09-21 | 삼성전자주식회사 | 반투과 액정 표시 장치 패널 및 그 제조 방법 |
-
2007
- 2007-10-17 JP JP2007269893A patent/JP2009098407A/ja active Pending
-
2008
- 2008-10-15 US US12/251,517 patent/US20090103037A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015025943A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 実装構造、電気光学装置及び電子機器 |
| JP2021535436A (ja) * | 2018-08-27 | 2021-12-16 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co., Ltd. | 表示パネル、およびそれを含む表示装置 |
| JP7428700B2 (ja) | 2018-08-27 | 2024-02-06 | 三星ディスプレイ株式會社 | 表示パネル、およびそれを含む表示装置 |
| US11917760B2 (en) | 2018-08-27 | 2024-02-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Display panel and display device comprising same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20090103037A1 (en) | 2009-04-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8228478B2 (en) | Liquid crystal display device | |
| JP5974415B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| US8467028B2 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
| US10186526B2 (en) | Display panel | |
| US11309381B2 (en) | Liquid crystal display device | |
| JP2003066113A (ja) | 基板装置、その検査方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
| JP4879781B2 (ja) | 表示パネル | |
| JP2009098407A (ja) | 表示装置 | |
| US9690125B2 (en) | Display device | |
| CN103901690A (zh) | 一种阵列基板及其制作方法、显示装置 | |
| JP2010008444A (ja) | 液晶表示装置 | |
| CN100394263C (zh) | 电光装置和电子设备 | |
| US9651836B2 (en) | Display device | |
| US9703152B2 (en) | Liquid crystal display device | |
| US8624251B2 (en) | Electronic panel | |
| JP2009069725A (ja) | 液晶パネル | |
| JP4857775B2 (ja) | 電気光学装置 | |
| JP4788100B2 (ja) | 電気光学装置用基板、電気光学装置および電子機器 | |
| JP3603902B2 (ja) | 液晶装置 | |
| JP5164669B2 (ja) | 電気光学パネル、電気光学装置およびこれを搭載した電子機器 | |
| CN120418721A (zh) | 阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置 | |
| JP3987450B2 (ja) | 液晶装置 | |
| JP2004347696A (ja) | 液晶装置、及びその製造方法、並びに電子機器 | |
| JP2007271803A (ja) | 液晶パネル用アレイ基板の製造方法および液晶パネルの製造方法 | |
| JP2008233420A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 |