JP2009100480A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基本波モードで、かつ、逆相の屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
   水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成する工程と、
   前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
   音叉形状の金属膜とレジストを残して前記レジストと前記金属膜を除去する工程と、
   水晶音叉基部と前記水晶音叉基部に接続された少なくとも第１水晶音叉腕と第２水晶音叉腕を備えた水晶音叉形状を形成するために、エッチング加工により前記水晶音叉形状を形成する工程と、
   エッチング加工により、前記第１水晶音叉腕と前記第２水晶音叉腕の各々の上面と下面の各々に溝を形成する工程と、
   前記溝の側面とその側面に対抗する水晶音叉腕の側面に極性の異なる電極を形成する工程と、
   を含んでいることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
2. 前記電極を備えた音叉型屈曲水晶振動子は２電極端子を備え、前記２電極端子の内の第１電極端子を形成するために、前記第１水晶音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された第１電極が前記第２水晶音叉腕の側面に形成された第２電極に接続されるように、前記第１電極と前記第２電極を形成し、かつ、前記２電極端子の内の第２電極端子を形成するために、前記第２水晶音叉腕の上面と下面の各々の溝に形成された第３電極が前記第１水晶音叉腕の側面に形成された第４電極に接続されるように、前記第３電極と前記第４電極を形成すると共に、前記第１電極から前記第４電極を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、前記 第１電極と前記第２電極の電気的極性と前記第３電極と前記第４電極の電気的極性とが異極性となる前記第１電極から前記第４電極を形成する工程を備えていて、前記音叉型屈曲水晶振動子は２次高調波モード振動を備え、前記基本波モード振動の容量比ｒ _１ が前記２次高調波モード振動の容量比ｒ _２ より小さくなるように、前記溝の厚み寸法ｔ _１ と前記水晶音叉腕の厚み寸法ｔを決定する工程を備えていることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法と、ケースと蓋とを備えた水晶ユニットの製造方法で、前記第１水晶音叉腕と前記第２水晶音叉腕に重りを形成する工程と、前記ケースの固定部に導電性接着剤によって前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、を含んでいて、前記ケースの固定部に導電性接着剤によって前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の真空中での発振周波数が、３２．７６４ｋＨｚから３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように周波数を調整する工程を備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
4. 請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法と、ケースと蓋とを備えた水晶ユニットの製造方法で、前記ケースは貫通穴を備え、前記第１水晶音叉腕と前記第２水晶音叉腕に重りを形成する工程と、前記ケースの固定部に導電性接着剤によって前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程と、を含んでいて、前記ケースの貫通穴を金属を用いて真空中で封止する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が３２．７６６ｋＨｚから３２．７７ｋＨｚの範囲内にあるように周波数を調整する工程を備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
5. 請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法、あるいは請求項３または請求項４に記載の水晶ユニットの製造方法と、増幅器とコンデンサーと抵抗とを備えた水晶発振器の製造方法で、前記水晶発振器から出力される出力信号は、３２．７６４ｋＨｚから３２．７７２ｋＨｚの範囲内にある発振周波数または３２．７６６ｋＨｚから３２．７７ｋＨｚの範囲内にある発振周波数を備えていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。