JP2009199065A - ファイバーを基礎にした共振器結合のためのシステムおよび方法 - Google Patents

Abstract

【課題】結晶基板支持体（２０２）上の光ファイバー整列素子を提供すること。
【解決手段】共振器光ファイバージャイロで具体化される例示的実施形態は、光ファイバー（１３６）の第１の端部分（１３８）および光ファイバー（１３６）の第２の端部分（１４０）を支持する働きをする結晶基板支持構造体（２０２）を形成するステップと、支持構造体（２０２）内に第１の端部Ｖ溝部分（２０８）および第２の端部Ｖ溝部分（２１０）を形成するステップと、光ファイバー（１３６）の第１の端部分（１３８）を第１の端部Ｖ溝部分（２０８）に物理的に結合するステップと、光ファイバー（１３６）の第２の端部分（１４０）を第２の端部Ｖ溝部分（２１０）に物理的に結合するステップとからなる工程によって製作される。
【選択図】図２

Description

ジャイロは、回転速度すなわち軸の周りの角速度の変化を測定する。基本的な従来の光ファイバージャイロ（ＦＯＧ）は、光源、ビーム発生素子、およびビーム発生素子に結合され、ある面積を囲む光ファイバーのコイルを含む。ビーム発生素子は、光ファイバーのコアに沿って時計回り（ＣＷ）方向および反時計回り（ＣＣＷ）方向に伝播する光ビームをコイル内に送出する。対向して伝播する（ＣＷおよびＣＣＷ）２つのビームは、回転経路を巡って伝播しながら異なる経路長を経験し、２つの経路長の差は、回転速度に比例する。ＦＯＧは、光ビームの光学経路によって囲まれる面積とともに一般に高くなる精度を有する。それゆえに、光学経路によって囲まれる面積が大きいほど、ＦＯＧの信号対雑音比は大きい。また、ＦＯＧの信号対雑音比を改善するために、光学経路は、コイルの巻き数を増やすことによって増やされてもよい。

共振器光ファイバージャイロ（ＲＦＯＧ）では、対向して伝播する光ビームは、単色性であり、ファイバー結合器または他の反射素子などの再循環器を使用して、複数巻き数のコイルの中を通り、コイルを複数回通過するために再循環する。共振コイルの共振周波数が観測されてもよいように、ビーム発生素子は典型的には、対向して伝播する光ビームの各々の周波数を変調するおよび／またはシフトする。コイルの中を通るＣＷおよびＣＣＷ経路の各々に対する共振周波数は、各光学経路内で連続して再循環されるビームの建設的干渉に基づく。コイルの回転は、共振コイルのそれぞれの共振周波数のシフトを生成し、回転に起因するコイルの共振周波数シフトに整合させるようにＣＷビームおよびＣＣＷビームの周波数を調整することに関連する周波数差は、回転速度を示す。反射鏡は、対向して伝播する光ビームをコイル内で再循環させるために使用されてもよいが、これは典型的には、鏡からコイルへの移行時に生成される損失から、信号対雑音比を低下させる。

したがって、ナビゲーションシステムにとって十分な精度で回転速度を測定することができる光ファイバージャイロを提供することが望ましい。そのうえ、比較的小さなプラットホームとの一体化のためのおよび比較的安価に作られる高精度光ファイバージャイロを提供することが望ましい。ＲＦＯＧの良好な性能は、光がファイバーコイルを多数回通過するように、ファイバーからファイバーの低い結合損失を有することを前提としている。この分野における従来技術は、ファイバーからファイバーの結合を行うために高反射鏡（たとえば、９８％の反射率）を使用する。この構成は、反射鏡被覆が多重誘電体被覆を使って非常に正確に作ることができるという利点を使用するが、それは、重大な不利益、即ち２つのファイバー端部がお互いに整列されることを保証することが困難であるということを経験する。この設計の実施には、時間のかかるならびに高価な能動的および手動による整列を必要とするであろう。

図１は、例示的共振器光ファイバージャイロ１０２の構成図である。例示的共振器光ファイバージャイロ１０２の動作は、本明細書で以下に述べられ、２００５年１２月９日に出願され、今は米国２００７／０１３３００３として公開されている、出願番号１１／２９８４３９を有する本願の譲受け人に譲渡された米国出願でさらに詳細に述べられ、それは参照により本明細書に全体として組み込まれる。共振器光ファイバージャイロ１０２は、光ビームをそれぞれ合成する２つのレーザー１０４、１０６（たとえば、波長可変レーザー、レーザダイオードなどの光源、または他の適切な光源）、対向して伝播する方向に光ビームを循環させ、レーザー１０４、１０６からの光ビームの一部分を共振器１０８内へ導入する再循環器１１０を有する共振器１０８、共振器１０８内を循環する光をサンプリングする光検出器１１２、１１４、光検出器１１４、１１２にそれぞれ結合され、対向して伝播する方向の各々に対して共振器１０８の共振ディップの中心を検出する共振検出器１１６、１１８、ならびに共振検出器１１６、１１８にそれぞれ結合される入力およびレーザー１０４、１０６にそれぞれ結合される出力を有するサーボ機構１２０、１２２を含む。それゆえに、共振器光ファイバージャイロ１０２のこれらの部品は、対向して伝播する各方向（たとえば、時計回り（ＣＷ）および反時計回り（ＣＣＷ））に対して共振追跡ループ１２４、１２６を形成する。

共振器１０８は、再循環器１１０および複数のループを持つ光ファイバーコイル１３６を含む。任意の適切な光ファイバーが使用されてもよいが、例示的実施形態では、光ファイバーコイル１３６は、中空コア光ファイバーである。光ファイバーコイル１３６は、第１の端部１３８および第２の端部１４０を有する。各端部１３８、１４０は、再循環器１１０のそれぞれの支持部分に物理的に結合される。再循環器１１０は、ＣＷおよびＣＣＷ入射光ビームを光ファイバーコイル１３６内に導入し、変調された光ビームの一部分を光ファイバーコイル１３６の中を通って循環させる。再循環器１１０は、光ファイバーコイル１３６の１つの端部から出てくる光を光ファイバーコイル１３６のもう１つの端部内へ再導入し、このようにして光に何度も光ファイバーコイル１３６の中を通って伝播させる。サニャク効果（Ｓａｇｎａｃ Ｅｆｆｅｃｔ）の応用により、光ファイバージャイロ１０２は、光ファイバージャイロ１０２の軸の周りの回転速度を感知する。効率の良い光再循環には、光ファイバーコイル端部１３８、１４０の正確な整列を必要とする。
米国特許出願第１１／２９８４３９号

結晶基板支持体上の光ファイバー整列素子のためのシステムおよび方法が開示される。

共振器光ファイバージャイロで具体化される光ファイバー整列素子の例示的実施形態は、光ファイバーの第１の端部分および光ファイバーの第２の端部分を支持する働きをする結晶基板支持構造体を形成するステップと、支持構造体内に第１の端部Ｖ溝部分および第２の端部Ｖ溝部分を形成するステップと、光ファイバーの第１の端部分を第１の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップと、光ファイバーの第２の端部分を第２の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップとからなる工程によって製作される。

さらなる態様によると、例示的実施形態は、光ファイバーの第１の端部分および光ファイバーの第２の端部分を支持する働きをする結晶基板支持構造体を形成するステップと、軸に沿って支持構造体内にＶ溝を形成し、そのＶ溝は、中央Ｖ溝部分、第１の端部Ｖ溝部分、および第２の端部Ｖ溝部分によって規定され、そのＶ溝部分の各々は、軸に沿って端から端まで整列されるステップと、光ファイバーの第１の端部が中央Ｖ溝部分の方へ向けられ、軸に沿って整列されるように、光ファイバーの第１の端部分を第１の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップと、光ファイバーの第２の端部が中央Ｖ溝部分の方へ向けられ、軸に沿って整列され、光ファイバーの第１の端部と向かい合うように、光ファイバーの第２の端部分を第２の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップとからなる工程によって製作される。

他の態様によると、光ファイバーシステムは、中央部分、第１の端部を持つ第１の端部分、および第２の端部を持つ第２の端部分によって規定され、第１の端部および第２の端部が光を送出し、受け取る働きをする光ファイバーと、光ファイバーの第２の端部によって受け取ることができ、光ファイバーの中央部分の方へ進む第１の光ビームを発生する働きをする第１の光源と、軸に沿って整列され、中央Ｖ溝部分および第１の端部Ｖ溝部分によって規定される少なくとも１つのＶ溝をその上に持つ結晶基板支持構造体と、光ファイバーの第１の端部が中央Ｖ溝部分の方へ向けられ、軸に沿って整列されるように、第１の端部Ｖ溝部分を光ファイバーの第１の端部分に物理的に結合する働きをするバインダーと、軸に沿って整列され、介在する自由空間経由で光ファイバーの第１の端部から出る光ビームを受け取る働きをする光透過光学部品とを有する。

好ましい代替の実施形態は、次の図面を参照して以下で詳細に述べられる。

Ｖ溝支持体の実施形態は、吸収されたガスを検出する光ファイバー共振器システム、物体の変形を検出する光ファイバーシステム、および光ファイバーを用いる他の種類の光ファイバーシステムなどの、しかしそれらに限定されない、様々な光ファイバー素子で実施されてもよい。例示的実施形態では、Ｖ溝は、シリコンを基礎にした光学ベンチ内にエッチングされ、ここではＶ溝をエッチングするためにマスクが使用される。そのマスクは、Ｖ溝のマスクパターンに沿った正確な幅を使用する。エッチング工程は、光ファイバーの端部がＶ溝内に取り付けられるとき、光ファイバー端部がお互いに正確に整列されるようなＶ溝を形成する。したがって、光は、正確に整列された光ファイバーの端部間を再循環されてもよい。Ｖ溝支持体の実施形態は、様々な種類の光ファイバージャイロおよび光ファイバーの端部の正確な整列を必要とする他の光ファイバー素子で使用されてもよい。

図２は、Ｖ溝支持体を持つシリコン光学ベンチの例示的実施形態による、光ファイバーシステム２００の端部の方向付けの図である。Ｖ溝支持体は、共振器１０８内に存在する。シリコン光学ベンチは、その上にＶ溝２０４が配置された支持構造体２０２を含む。シリコン光学ベンチ２０２は、単結晶シリコン基板などの、しかしそれには限定されない、シリコン結晶基板構造体でもよい。他の実施形態では、シリコン光学ベンチと似ている支持構造体が、その上にＶ溝２０４をともなって使用されてもよい。

例示的Ｖ溝２０４は、中央Ｖ溝部分２０６および２つの端部Ｖ溝部分２０８、２１０を含む。この例示的実施形態では、Ｖ溝２０４の方向付けは、Ｖ溝２０４の方向と平行な軸２１２を形成する。したがって、Ｖ溝部分２０６、２０８、２１０の各々は、軸２１２に沿って整列される。

光ファイバーシステム２００の１つの端部分１３８は、端部Ｖ溝部分２０８に物理的に結合される。光ファイバーシステム２００の反対側の端部分１４０は、もう１つの端部Ｖ溝部分２１０に物理的に結合される。様々な光学部材は、Ｖ溝２０４の中央Ｖ溝部分２０６上に製作されてもよくおよび／またはそれに取り付けられてもよい。

光ファイバー端部分１３８がＶ溝端部分２０８に物理的に結合される（即ち、接着剤でつけられる、エポキシで接着される、またははんだ付けされる）とき、光ファイバーシステム２００の端部２１４は、軸２１２と整列され、中央Ｖ溝部分２０６と向かい合っている。光ファイバー端部分１４０がＶ溝端部分２１０に物理的に結合されるとき、光ファイバーシステム２００の端部２１６は、軸２１２と整列され、中央Ｖ溝部分２０６と向かい合っている。したがって、端部２１４および２１６はＶ溝２０４内に存在するので、端部２１４および２１６はお互いに向かい合っており、正確に整列している。

Ｖ溝部分２０６は、端部２１４と２１６との間に介在する自由空間２１８を有する。自由空間２１８はガスで充填されてもよく、または自由空間２１８は真空であってもよい。それゆえに、端部２１４および２１６に入るおよび／またはそこから出る光は、介在する自由空間２１８を通り抜ける。上で述べられたように、様々な光学部品もまた、中央に設置されたＶ溝部分２０６の介在する自由空間２１８内に存在してもよい。

図３は、例示的シリコン結晶支持構造体２０２内に製作されたＶ溝２０４の面３−３´（図１）に沿った側面図である。Ｖ溝２０４は、（１１１）ミラー（Ｍｉｌｌｅｒ）指数、しかしそれには限定されないが、によって規定される結晶面などの、シリコン結晶構造体の選択された面に沿ったシリコン結晶支持構造体２０２の異方性エッチングによって形成される。Ｖ溝２０４は、角度αおよび幅Ｗによって特徴づけられてもよい。Ｖ溝２０４がシリコンベンチ内にエッチングされるとき、角度αは（１１１）面に対応する。好ましくは、幅Ｗは、Ｖ溝２０４の長さに沿って一定であり、さらに詳細には端部分１３８、１４０の長さに沿って一定である。幅Ｗにおけるこの整合性は、厳密に制御されたマスクの線およびエッチング工程によって容易になる。

光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０が、それぞれの端部Ｖ溝部分２０８、２１０内へ位置付けられるとき、光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０は、位置３０４においてＶ溝２０４の側壁３２０と接触している。上で述べられたように、位置３０４は、Ｖ溝の角度αおよび幅の関数である。

端部Ｖ溝部分２０８、２１０は、長さによって規定できる。長さは、あらかじめ規定されてもよくまたは可変であってもよく、および／または長さは、端部Ｖ溝部分２０８、２１０に対して異なってもよい。

さらに、Ｖ溝２０４の角度αは、端部Ｖ溝部分２０８、２１０の長さに沿って実質的に一定であり、それによって、端部分１３８、１４０のお互いに対する整列および／または光ファイバージャイロ１０２の光学を改善する。光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０は、実質的に同じ直径を有するから、ならびに角度αおよび／または幅Ｗは、端部Ｖ溝部分２０８、２１０の両方に対して実質的に一定であるから、支持構造体２０２の表面３０６と光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０の中心３０８との間の距離に対応する距離Ｄ１は、両端部分１３８、１４０に対して実質的に同じである。ここで、Ｖ溝２０４の角度αおよび幅Ｗは、中心３０８が表面３０６よりも下となるようなものである。しかしながら、Ｖ溝２０４の角度αおよび／または幅Ｗは、中心３０８が表面３０６と同じ高さ、またはそれよりも高くなるようなものであってもよい。距離Ｄ１は、Ｖ溝２０４の幅Ｗを規定することによって制御可能である。

光ファイバーシステム２００の各端部分１３８、１４０は、そのそれぞれの端部Ｖ溝部分２０８、２１０内で実質的に同じ位置に置かれているから、２つの端部分１３８、１４０の中心３０８は、お互いに整列される。すなわち、端部分１３８の端部２１４は、端部分１４０の端部２１６と向かい合っており、それと整列している。理想的には、端部分１３８、１４０が同一の寸法、およびＶ溝部分２０８、２１０が同一の寸法の場合には、端部２１４および２１６は、厳密にお互いに整列するであろう。端部分１３８、１４０の寸法、および／またはＶ溝部分２０８、２１０の寸法が比較的小さな差異を持つ場合には、端部２１４および２１６は、実質的にお互いに整列するであろう。

共振器光ファイバージャイロで実施されるＶ溝実施形態の場合には、ＣＷ光は、端部２１６から出て、軸２１２に平行な経路内を進む。光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０の中心３０８は、お互いに整列されているから、出てくるＣＷ光のかなりの部分は、光が自由空間の中を通って伝播するときに生じるビーム拡がりの量に応じて、端部２１４において受け取られる。受け取られたＣＷ光は、光ファイバーシステム２００の中を通ってＣＷ方向に進み続ける。

ＣＣＷ光は、端部２１４から出て、軸２１２に平行な経路内を進む。光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０の中心３０８は、お互いに整列されているから、ＣＣＷ光のかなりの部分は、端部２１６において受け取られる。受け取られたＣＣＷ光は、光ファイバーシステム２００の中を通ってＣＣＷ方向に進み続ける。

端部２１４、２１６は、実質的にお互いに整列されているから、光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０間のずれに起因する光の損失は、著しくかつ予想外に低減される。すなわち、正確な方法で形成されたＶ溝２０４は、端部分１３８、１４０がお互いに正確に整列されるような支持構造体２０２内への、光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０の正確な物理的結合を可能にする。

バインダー３１０は、光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０をそれらのそれぞれの端部Ｖ溝部分２０８、２１０内へ物理的に結合するために使用される。バインダー３１０は、紫外線（ＵＶ）硬化可能なバインダーなどの、しかしそれには限定されない、光硬化可能なバインダーでもよい。別法として、バインダー３１０は、熱硬化可能なバインダーでもよい。他の実施形態は、端部分１３８、１４０をそれらのそれぞれの端部Ｖ溝部分２０８、２１０に物理的に結合するために任意の適切なバインダー３１０を用いてもよい。そのようなバインダー３１０の限定されない実施例は、ブロック、ひも、棒および他の種類の留め具を含む。

図４は、複数の光学部材の第１の配置４００について光ファイバーシステム２００の端部２１４、２１６の方向付けを示す例示的Ｖ溝実施形態の構成図である。図５は、複数の光学部材の第２の配置５００について光ファイバーシステム２００の端部２１４、２１６の方向付けを示す例示的Ｖ溝実施形態の構成図である。光学部材の限定されない実施例は、ボールレンズ４０２、偏光フィルター４０４、および透過鏡４０６を含む。任意の数の選択された光学部材４０２、４０４、４０６が、中央Ｖ溝部分２０６内に置かれてもよく、そのような選択された光学部材４０２、４０４、４０６が、任意の望ましい方法で構成されてもよいことが理解される。

図６は、オフセットＶ溝実施形態６００による光ファイバーの端部の方向付けの図である。Ｖ溝２０４ａ、２０４ｂのオフセットは、１つまたは複数の光学部材６０２に起因する光のオフセットを補償する。すなわち、Ｖ溝軸２１２ａおよびＶ溝軸２１２ｂのオフセットは、光学部材６０２からの光オフセットの量に対応する。

Ｖ溝２０４は、光ファイバージャイロ１０２内の他の光学部材の配置および／または整列を容易にするために使用されてもよい。上で述べられたように、光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０は、軸２１２に沿ってお互いに実質的に整列される。それゆえに、中央Ｖ溝部分２０６の自由空間の中を通る光の進行の経路は、Ｖ溝２０４の位置に対して決定でき、さらに詳細には、軸２１２に対して決定できる。したがって、ボールレンズ４０２、偏光フィルター４０４、透過鏡４０６、または同様のものなどの他の光学部材は、端部分１３８、１４０に対して所望の位置で、中央Ｖ溝部分２０６内に置かれてもよくおよび／またはそれと全体的に整列されてもよい。すなわち、他の光学部材は、Ｖ溝２０４の周知の位置に対して位置付けられてもよく、さらに詳細には、軸２１２に対して位置付けられてもよい。

様々な実施形態では、Ｖ型溝２０４は、端部分１３８、１４０をお互いに対して方向付け、位置付ける自己修正手段をＶ型溝が提供するという点で、望ましい。たとえば、第１の支持構造体は、Ｖ型構成内に特定の幅で端部Ｖ溝部分２０８、２１０を有してもよい。第２の支持構造体もまた、Ｖ型構成内に端部Ｖ溝部分２０８、２１０を有してもよいが、第１の支持構造体のＶ溝とは異なる別の幅を有する。支持構造体のどちらかについて、それらのそれぞれの光ファイバーシステム２００の端部分１３８、１４０は、それらのそれぞれの端部２１４、２１６がお互いに整列するように位置付けられ、方向付けられるであろう。それゆえに、Ｖ溝２０４の使用は、設計および製造の工程に高い許容度を提供する。

任意の適切な製作手段および／または技術が、Ｖ溝２０４を形成するために使用されてもよい。たとえば、異方性エッチング技術が、Ｖ溝を形成するために使用されてもよい。
いくつかの実施形態では、２つの分離したＶ溝が形成されてもよい。好ましくは、Ｖ溝は、同じマスクを使用して形成され、同時にエッチングされる。第１のＶ溝の一部分は、端部分１３８を位置付け、方向付けるために使用されてもよく、第２のＶ溝の一部分は、もう１つの端部分１４０を位置付け、方向付けるために使用されてもよい。Ｖ溝２０４は、光ファイバーシステム２００のそれらのそれぞれの端部分１３８、１４０を周知の方法で位置付け、方向付けるので、光学素子は、光ファイバーシステム２００の端部２１４、２１６によって放出されるおよび／または受け取られる光を処理するために、任意の望ましい構成で配置することができる。

たとえば、および実際に、光がシリコン部分反射鏡（それは本質的に非ゼロ反射率を持つ窓である）を通り抜けて伝搬するとき、透過光は、入射光に対して横に動かされるであろう。窓の屈折率および厚さ次第では、この変位は無視できない。透過光の垂直高さは、入射光の垂直高さと同じである。光をファイバーからファイバーへ最大限に結合させるためには、Ｖ溝、および中間の光学系は、この変位に対処するためにオフセットされる必要がある。変位は、容易に計算され、製作マスクで対処することができる。垂直高さは影響を受けず、依然として自動整列される。

いくつかの実施形態では、光ファイバーの端部分１３８、１４０および／またはＶ溝は、好ましいファイバー軸への光偏光の整列を手伝うために、その上に案内手段を有してもよい。たとえば、端部分１３８、１４０は、１つまたは複数の扁平部分、切り込み、縞模様および／または他の案内手段をその上に有してもよい。

支持構造体２０２のいくつかの実施形態は、内部に形成されるＶ溝２０４、またはその同等のものを有してもよい。たとえば、シリコン型支持構造体２０２を有する実施形態では、深いエッチング工程が、内部Ｖ溝型構造体を形成するために使用されてもよい。

いくつかの実施形態では、端部分１３８、１４０は、特定の光偏光軸に沿って整列される必要がある。光ファイバーの第１の端部分１３８が、第１の端部Ｖ溝部分２０８内へ置かれるとき、光のビームが第１の端部２１４から放出されながら、第１の端部分が回転される。第１の端部２１４から放出される光のビームの最大光透過が検出されると、第１の端部分１３８は、Ｖ溝部分２０８内に固定される。光ファイバーの第２の端部分１４０が、第２の端部Ｖ溝部分２１０内へ置かれるとき、光のＣＷビームが第２の端部２１６から放出されながら、第２の端部分１４０が回転される。第２の端部２１６から放出される光のビームの最大光透過が検出されると、第２の端部分１４０は、Ｖ溝部分２１０内に固定される。

本発明の好ましい実施形態は、上で述べられたように、例示され、説明されたが、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、多くの変形がなされ得る。したがって、本発明の範囲は、好ましい実施形態の開示によっては限定されない。それよりむしろ、本発明は、添付の特許請求の範囲を参照することによって全体に決定されるべきである。

光ファイバージャイロの例示的実施形態の構成図である。 例示的実施形態による光ファイバーの端部の方向付けの図である。 シリコン結晶を基礎にした支持体内に製作されるＶ溝の側面図である。 複数の光学部材の第１の配置について光ファイバーの端部の方向付けを示す例示的実施形態の構成図である。 複数の光学部材の第２の配置について光ファイバーの端部の方向付けを示す例示的実施形態の構成図である。 オフセットＶ溝実施形態による光ファイバーの端部の方向付けの図である。

Claims (3)

1. 中央部分、第１の端部を持つ第１の端部分、および第２の端部を持つ第２の端部分によって規定される光ファイバーを有する光ファイバーシステムを構成するための方法であって、
   前記光ファイバーの前記第１の端部分および前記光ファイバーの前記第２の端部分を支持する働きをする結晶基板支持構造体を形成するステップと、
   軸に沿って前記支持構造体内にＶ溝を形成するステップであって、前記Ｖ溝は、中央Ｖ溝部分、第１の端部Ｖ溝部分、および第２の端部Ｖ溝部分によって規定され、前記Ｖ溝部分の各々は、前記軸に沿って端から端まで整列されるステップと、
   前記光ファイバーの前記第１の端部が、前記中央Ｖ溝部分の方へ向けられ、前記軸に沿って整列されるように、前記光ファイバーの前記第１の端部分を前記第１の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップと、
   前記光ファイバーの前記第２の端部が、前記中央Ｖ溝部分の方へ向けられ、前記軸に沿って整列され、前記光ファイバーの前記第１の端部と向かい合うように、前記光ファイバーの前記第２の端部分を前記第２の端部Ｖ溝部分に物理的に結合するステップとを含む方法。
2. 請求項１に記載の方法において、前記Ｖ溝を形成するステップが、前記Ｖ溝を形成するために（１１１）面に沿って前記結晶基板支持構造体を異方的にエッチングするステップを含む方法。
3. 請求項１に記載の方法において、光学部材を前記中央Ｖ溝部分（２０６）に前記軸（２１２）と整列させて置くステップをさらに含む方法。

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