JP2010505209A - 汎用方法を利用したレシピ作成方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
データを間違いなく、効率良く入力できるようにすることで、背景技術の問題点を解決する。
【解決手段】
この汎用方法により作動するレシピエディタはそのレシピに対して最も利用されている仕様である汎用方法（ＢＫＭ）を利用する。この方法はレシピのためにＢＫＭに基づいた複数のＢＫＭモジュールを作成することも含む。この方法はさらにそれら複数のＢＫＭモジュールのパラメータのためのルールの定義も含む。これらルールはＢＫＭによって伝達される。この方法はさらにＢＫＭルールのガイドライン内のパラメータのための値を入力するのに汎用方法で作動するレシピエディタを利用することでＢＫＭ作動レシピを作成することを含む。
【選択図】 図２

Description

本発明は、汎用方法を利用したレシピ作成方法および装置に関する。

プラズマ処理技術およびクリーニング処理技術の進歩は半導体産業の成長に大きく貢献している。プラズマ処理においては様々なレシピが基板処理に利用できる。これらレシピは一般的に複雑であり、プロセスエンジニア等のユーザにレシピの理解のみならず、レシピを実行する処理システムの理解も求める。下記で説明するように、ここでの処理システムとはプラズマ処理システムおよびクリーニング処理システムを含む概念である。

レシピの作成に普通に利用される方法は大型モノリシックスプレッドシート（ＬＭＳ）のごときドキュメント表に値を人手によって入力することである。ＬＭＳはユーザに対して値の入力と変更にフレキシビリティを与える。しかしながらＬＭＳでは収集する値の数が大き過ぎる。典型的にはレシピは約５０ものステップを含む。各ステップでは約２５０ものパラメータ（例：バイアス電力、最高電力、チャンバ圧、ガスタイプ、等々）が定義される。加えて、各パラメータに対してユーザは３つの値であるセットポイント、ソフトトレランスおよびハードトレランスを入力しなければならない。よって、典型的なレシピでは約３万から４万もの値がユーザによる人手で入力されなければならない。

図１はレシピドキュメント表を利用した製造環境を表す概略図である。レシピがＬＭＳ１０２に入力された後、ＬＭＳ１０２は経路１０８を介して処理システムハードウェア１０６をコントロールするコンピュータ等のプロセスコントロールモジュール（ＰＣＭ）１０４にアップロードされる。各ステップにおいてＰＣＭ１０４は経路１１０を介してＬＭＳ１０２から処理システムハードウェア１０６にパラメータを送る。処理システムハードウェア１０６は基板を処理するためにＬＭＳ１０２からのパラメータを利用する。レシピステップが完了すると、プラズマ処理ハードウェア１０６はレシピの次のステップに移るために経路１１２を介してＰＣＭ１０４にデータリクエストを送る。

ＬＭＳ１０２のデータはユーザによって人手で入力されるため、この作業には間違いが介在しやすい。ユーザが正確な値を供給していることを確認するには、ユーザはレシピおよび処理システムハードウェアに関する技術と知識を有さねばならない。さらにレシピの作成にあたってユーザが供給しなければならない非常に多い数の値は間違った値の入力機会を増加させる。またＬＭＳ１０２は保護されておらず、ユーザ自身または他人がパラメータを追加あるいは削除することができる。よってユーザは間違いデータを入力して費用が高くつく基板の無駄を発生させる。専門家であれば無効データを含んだレシピのごとき“バッドレシピ”が製造環境によっては費用が高くつく基板の無駄の半分以上を占めることを承知している。

さらにＬＭＳ１０２へのデータ入力プロセスは処理システムハードウェア１０６と調和しないかも知れない。よって一般的にレシピ作成に通じたユーザでさえもＬＭＳ１０２に入力された値が処理システムハードウェア１０６の設計セッティングと調和するか否かを判定することは困難である。その結果、処理システムハードウェアの設計セッティングと調和しないレシピは高価なハードウェアに損傷を引き起こす可能性がある。

人手による間違いを最小限に留めるため、基板製造業者によってはレシピをハードコード化する方法を採用する。しかしながらこの方法はユーザに対してレシピに合法的な変更を加えるためのフレキシビリティをほとんど提供しない。それどころかレシピの更新処理は一般的に非常に時間を要し、高価なつくソフトウェアコードの変更が必要になる。レシピ作成のための従来技術による方法にはいくつかの弱点が存在する。例えばハードコード化されたレシピは、レシピの更新と調整を面倒な作業にするソフトウェアサポートを必要とする。一方、人手によるＬＭＳはユーザにデータ入力のフレキシビリティを提供するが、間違いデータ入力の機会は多くなる。

本発明はその１実施例において処理システムにより基板を処理するためのレシピの作成に関係する方法に関する。この方法はポピュラーな汎用方法（以降単に“汎用方法”）で作動するレシピエディタの提供を含む。この汎用方法により作動するレシピエディタはそのレシピに対して最も利用されている仕様である汎用方法（ＢＫＭ）を利用する。この方法はレシピのためにＢＫＭに基づいた複数のＢＫＭモジュールを作成することも含む。この方法はさらにそれら複数のＢＫＭモジュールのパラメータのためのルールの定義も含む。これらルールはＢＫＭによって伝達される。この方法はさらにＢＫＭルールのガイドライン内のパラメータのための値を入力するのに汎用方法で作動するレシピエディタを利用することでＢＫＭ作動レシピを作成することを含む。

別実施例では本発明は処理システムを使用して基板を処理するためのレシピの作成に関係するシステム構成に関する。このシステム構成は汎用方法作動レシピエディタを含む。この汎用方法作動レシピエディタは汎用方法（ＢＫＭ）を採用したものであり、そのレシピのための最良仕様のものである。このシステム構成はレシピのためのＢＫＭに基づく複数のＢＫＭモジュールをも含んでいる。このシステム構成はそれら複数のＢＫＭモジュールにパラメータを定義するルールをさらに含む。

さらに別な実施例では本発明はコンピュータ利用コードを有したプログラム記憶媒体を含む製品にも関する。このコンピュータ利用コードは処理システムにより基板を処理するためのレシピを作成するように設計されている。製品は汎用方法作動レシピエディタを作成するためのコンピュータ利用コードも含んでいる。この汎用方法作動レシピエディタは汎用方法（ＢＫＭ）を採用する。この汎用方法はそのレシピのための最もポピュラーな仕様のものである。製品はさらにそのレシピのためにＢＫＭに基づいて複数のＢＫＭモジュールを作成するためのコンピュータ利用コードをさらに含んでいる。製品は複数のＢＫＭモジュールにパラメータを定義するルールを適用するためのコンピュータ利用コードをさらに含んでいる。これらルールはＢＫＭによって伝達される。

本発明のこれら、および他の特徴は添付の図面を利用した以下で詳細な説明で解説されている。

図１は従来技術の人手によるレシピドキュメント表を利用した製造環境の概略図である。 図２は本発明の１実施例に従った複数のＢＫＭモジュールによるレシピの概略図である。 図３は本発明の１実施例に従ったＢＫＭ作動レシピエディタインターフェースの主要図である。 図４は本発明の１実施例に従ったＢＫＭ作動レシピエディタインターフェースの値図である。 図５は本発明の１実施例に従ったＢＫＭ作動レシピエディタのルール図である。 図６は本発明の１実施例に従ったＢＫＭ作動レシピを作成するためのＢＫＭ利用例を示すフローチャートである。 図７は本発明の１実施例に従ったＢＫＭ作動レシピを処理システムハードウェアに適用するためのアルゴリズムを示す概略ブロック図である。

本発明を添付図面で図示されていくつかの実施例に基づいて詳細に解説する。以下においては本発明の完全な理解を助けるために多数の特定詳細が記載されている。しかしながら当業技術者であれば本発明はそれら細部の一部または全部を省略しても実施が可能であることを理解しよう。また本発明の理解を容易にするため、よく知られている技術及び／又は構造の説明は省略されている。

方法と技術を含んだ様々な実施例が以下において解説されている。本発明は、本発明技術の実施例を実行させるコンピュータ利用インストラクションを記憶するコンピュータ利用媒体を含む製品もその範囲に含む。このコンピュータ利用媒体にはコンピュータ利用コードを記憶するための、例えば半導体、磁気、光磁気、光学または他の形態のコンピュータ利用媒体が含まれる。さらに本発明は本発明の実施例を実行するための装置もその範囲に含む。このような装置は本発明の実施例に関するステップを実行するための専用及び／又はプログラム式回路をも含むことができる。この装置の例には、汎用コンピュータ及び／又はプログラムされている専用計算装置が含まれる。また本発明の実施例に関する様々なステップのために設計されているコンピュータ／計算装置および専用／プラグラム式回路の組み合わせも含まれる。

本発明の実施例によれば、所定のレシピのための値を入力して調整するフレキシビルティをユーザに提供しつつ、ポピュラーな汎用方法（ＢＫＭ）を利用するように設計されている汎用方法作動レシピエディタが提供される。ここで解説するようにＢＫＭとは処理システムハードウェアのためのレシピを作成するためにポピュラーに利用されている汎用方法のことである。ここで解説するように処理システムにはプラズマ処理システムおよびクリーニング処理システムが含まれる。本発明の実施例では各レシピのＢＫＭはＢＫＭモジュール内にカプセル化されている。本発明の実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタを介して現存ＢＫＭモジュールを改良し、新ＢＫＭモジュールを作成するための専門家用の方法とシステム構成がさらに提供される。ここで言う専門家とは新ＢＫＭモジュールを作成するか現行のＢＫＭモジュールを改良するためにエディタ特権を許可された人物のことである。

本明細書では様々な実施例がプラズマ処理システムを使用して解説されている。しかしながら本発明はプラズマ処理システムには限定されず、クリーニングシステムも含むことができる。明細書内の本発明の説明は本発明の例示であり、本発明を限定するものではない。

本発明の１実施例では各ＢＫＭモジュールは処理の特定段階に関係し、レシピのステップを含んでいる。その１例では５０工程を有するレシピは機能ブロック単位にモジュール化されており、１０のＢＫＭモジュールと関連する。各ＢＫＭモジュールは少なくとも１つのステップに関係する。

レシピを作成するにあたりユーザはＢＫＭモジュールを呼び出すためにＢＫＭ作動レシピエディタを利用する。その１実施例ではＢＫＭモジュールは各パラメータの許容値のためのルールを特定する。またルールはパラメータ間の相互依存性の定義に利用できる。１例では圧力パラメータのために入力される値はバイアス電力パラメータのために入力される範囲を決定する。さらにレシピのポピュラーな方法への更新は更新されたＢＫＭを介して伝達され、ＢＫＭモジュールのパラメータの新ルールに翻訳される。１実施例ではルールはＢＫＭが更新されるとき自動的に更新される。よってレシピの作成ではユーザは値を入力または変更できるが、ルールを変更する許可は得られないであろう。

本発明の１実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタはレシピ作成にあたって処理システムハードウェアのための推奨設計セッティングを採用することができる。さらにレシピの実行に先立って、処理システムハードウェアのためのユーザ提供設計セッティングがＢＫＭ作動レシピと比較されてそれらの同調性が判定され、ハードウェアに対するコストが高くつく損傷を回避することができる。

製造環境によっては基板製造者は提供されたＢＫＭモジュールでは利用できないユーザ専用レシピを有するであろう。ここで説明するようにユーザ専用レシピとは本分野の多くのユーザに採用されているポピュラー方法とは異なるステップまたはパラメータを有するレシピのことである。１実施例では自身のレシピのユーザ専用である特徴の維持を願うツール所有者に関連する専門家はＢＫＭ操作作動レシピエディタを使用してＢＫＭモジュールを改定または作成する許可を得るであろう。よってこれらＢＫＭはそのツール専用であり、他のツール所有者（例：競合基板メーカ）には伝達されない。

本発明の実施例の特徴と利点は以下の図面の説明でさらに詳細に理解されよう。図２は本発明の１実施例による複数のＢＫＭモジュールと関連するレシピの概略図である。複ステップのモノリシックレシピ２０２は複数の機能ブロックにモジュール化されている。これらは複数のＢＫＭモジュール（２１０、２２０、２３０）と関係する。各ＢＫＭモジュールは複数のパラメータ（２１２〜２１８、２２２〜２２８、２３２〜２３８）を有する。１実施例では各パラメータは各セルに入力される許容値を定義するルールによってコントロールされる。さらに各セルはデフォルト値の示唆を有する。さらに各ＢＫＭモジュールは処理システムハードウェアのため推奨設計セッティングを有する。

上述のように各ＢＫＭモジュールはポピュラーな汎用方法仕様を含む。さらに各ＢＫＭモジュールは処理段階に関連し、少なくとも１つのレシピステップを含む。レシピの作成においてユーザはＢＫＭ作動レシピエディタを利用して複数のＢＫＭモジュールを呼び出す。図３、図４および図５はＢＫＭ作動レシピエディタのためのインターフェース例を図示する。

図３はＢＫＭ作動レシピエディタインターフェースの主要図の１例である。この主要図ではインターフェース３０２は３つのＢＫＭモジュール（３０４、３０６、３０８）でレシピを示す。１実施例では処理システムハードウェアの製造業者は各レシピのためのＢＫＭモジュールの数とＢＫＭモジュールの連続を決定する。よってパラメータ値の入力は、ＢＫＭが利用されるなら製造業者のＢＫＭに合致することが保証される。ＢＫＭモジュール３０４のごとき１つのＢＫＭモジュールをクリックし、“オープン”ボタン３５０をクリックすることでユーザはＢＫＭモジュール３０４のためのパラメータを呼び出すことができる。

図４はその１実施例でＢＫＭ作動レシピエディタインターフェースの値図を示す。この値図でユーザはＢＫＭルールのガイドライン内の各パラメータの値を入力する。インターフェース４０２は図３のＢＫＭモジュール３０４の値図を示す。ＢＫＭモジュール３０４はパラメータ解説欄４０４、セットポイント欄４０８、ソフトトレランス欄４１０およびハードトレランス欄４１２を含んだ複数の欄を有する。各セルの値はルールのガイドライン内で変更される（図４には図示しないがセルに適用可能）。欄４０８、４１０および４１２のセルのそれぞれは各セルに入力される許容値を制限するルールを含む。（ルール例は表１参照。）１例ではパラメータセル４２０（Head Pair 1 Top DIW Flow）に対してはセットポイントセル４２２のためのデフォルト値は“オフ”にセットされている。ユーザがセットポイントセル４２２をクリックするとユーザはセルの値を変更させる。しかしながら各セルのために受け容れられる値は各パラメータのためにセットされたルールで規制されている。

図５は本発明の１実施例によるＢＫＭ作動レシピエディタのルール図である。このルール図において専門家はＢＫＭモジュールをカスタマイズするために各パラメータセルのルールを改定できる。前述したように専門家とは新ＢＫＭモジュールの作成あるいは現行ＢＫＭモジュールの改定のためのエディタ認可を得た人物のことである。１実施例ではＢＫＭの作成及び/又は改定の特権はツール製造業者によって認可された人物にだけ与えられる。インターフェース５０２はＢＫＭモジュール３０４のルール図を示す。ＢＫＭモジュール３０４はパラメータ解説欄５０４、セットポイント欄５０８、ソフトトレランス欄５１０およびハードトレランス欄５１２を含む複数の欄を有する。欄５０４で示される各パラメータはユーザによって追加あるいは取り除かれることはない。しかしながら欄５０８、欄５１０および欄５１２のルールは、専門家が適正に許可すれば改定される。ルール例は表１参照。１例ではパラメータセル５２０（Head Pair 1 Top DIW Flow）に対してセットポイントセル５２２のためのルールはデフォルトにセットされる。ユーザがセットポイントセル５２２をクリックすると、ダイアログボックス５２４が現れ、ユーザにそのデフォルトに関する情報を与え、ユーザにセットポイントセル５２２の値を変更させる。

表１：ルール例
ルール 解説
デフォルト ソフトウェアにコード化されたデフォルト値を使用
正確 ＢＫＭで特定された値を使用
ユーザＢＫＭ ＢＫＭを作成するときユーザに値を特定許可
ユーザレシピ レシピのＢＫＭを使用するときユーザに値を特定許可
前ステップ 前ステップの値を使用
カスタム ＢＫＭにコード化された値をセットするカスタムロジック

１実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタはツール製造業者と関連する製造技術者または専門家によって伝達されるＢＫＭ（すなわち新最善法）を利用し、そのＢＫＭをＢＫＭモジュールのパラメータのセルに適用できるルールに翻訳する能力を有する。よってユーザに変更の知識がなくともレシピは更新されたＢＫＭで作成でき、及び／又は改定できる。

１実施例においては現行レシピのＢＫＭによる改定はツール製造業者によって遠隔操作で実行され、結果としてのパラメータ変更は承認を求め、及び／又はサービス通知としてツールユーザに伝達される。１実施例ではＢＫＭが変更されると、現存レシピに対抗して利用されるように新ＢＫＭがコンピュータネットワーク（例：インターネット）を介してツールユーザ（または直接的にツール自体）に送られる。更新ＢＫＭは現存レシピ共に、または現存パラメータのための異なる利用可能な値範囲と共に含まれるべき新パラメータを特定する。この“ＢＫＭオーディット”はツールユーザ（またはアクセスがツールユーザによって許可されている場合にはツール製造業者）に対して、変更されたＢＫＭに鑑みて現存レシピに関連するパラメータ値が改定されるべきかに関する情報を提供する。このように１工場の専門家またはツール製造業者の専門家によって得られた知識は特定ツールユーザのレシピの秘密性を冒すことなく全ツールユーザに恩恵を与える方法で伝達される。

別実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタは基板製造業者の“業者専用レシピ”を利用させる。業者専用レシピはその所有者によって厳密に保護されている。なぜならそれらは競合者に対する明確な有利性を付与するからである。ＢＫＭ作動レシピエディタを使用することで専門家は新ＢＫＭモジュールを作成でき、及び／又は現行ＢＫＭモジュールを操作して業者専用レシピを利用可能にできる。

図６は本発明の１実施例によるＢＫＭ作動レシピの作成に利用されるＢＫＭの使用例を示すフローチャートである。第１ステップ６０２でツール所有者と関係する専門家はＢＫＭ作動レシピエディタを起動する。本発明の１実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタはレシピのための最もポピュラーな汎用仕様を含むＢＫＭを含む。各レシピに対してそれらＢＫＭは複数のＢＫＭモジュール内でカプセル化されている。

続くステップ６０４で、ＢＫＭモジュールがレシピの作成に十分であるＢＫＭを含んでいればＢＫＭモジュールは変更が必要であり、操作員はステップ６１４でＢＫＭルールのガイドライン内のパラメータの値を入力するためにＢＫＭ作動レシピエディタを利用することで新レシピを作成する。その１例ではＢＫＭモジュールのパラメータのルールはポピュラーな汎用仕様を含む。そのＢＫＭモジュールは操作員がＢＫＭモジュールのパラメータのルールを変更せずに新ＢＫＭ作動レシピを作成できるなら十分である。しかし、もしそのＢＫＭモジュールが次のステップ６０４で十分でなければ、そのＢＫＭモジュールは改定が必要であり、あるいは新ＢＫＭモジュールが作成されなければならない。１例では、もし専門家が業者専用レシピを利用したいと思ってもポピュラーな汎用仕様のＢＫＭモジュールは十分ではないことがあり、ＢＫＭモジュールのパラメータルールの変更が必要となるかも知れない。

続くステップ６０６で専門家は現存ＢＫＭモジュールの改定を選択することができる。もし専門家が現存ＢＫＭモジュールの改定を選択するとステップ６０８で専門家は専用レシピを利用するために現存ＢＫＭモジュールのパラメータ（例：許容値、パラメータ間の関係、等々）のルールを改定できる。しかしながらステップ６０６で専門家が現存ＢＫＭモジュールの改定を選択しなければ専門家は新ＢＫＭモジュールをステップ６１０で作成することを選択できる。ステップ６１２で専門家は新規に作成されたＢＫＭモジュールのパラメータのルールを定義する。新ＢＫＭモジュールは専用レシピを利用させるルールを有した現行ＢＫＭモジュールに基づくものである。ＢＫＭモジュールがレシピ作成のために全ての正しいパラメータとルールとを有すると、続くステップ６１４で操作員はＢＫＭ作動レシピを作成するため、各パラメータのための値を入力するためにＢＫＭ作動エディタを利用することができる。

図７は本発明の１実施例によるＢＫＭ作動レシピを処理システムハードウェアに適用するためのアルゴリズムを図示するブロック図である。ＰＣＭ７０２はＰＣＭ７０２にアップロードされたＢＫＭ作動レシピ６０４を有する。ＢＫＭ作動レシピ６０４はＢＫＭ作動レシピエディタによって作成される。１実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタはＰＣＭ７０２内に存在する。別実施例ではＢＫＭ作動レシピエディタはＰＣＭ７０２の外部に存在する。ＢＫＭ作動レシピエディタは処理システムハードウェア７０８から経路７１０を介して実際の設計セッティングに関するデータをリクエストする。処理システムハードウェア７０８は経路７１０を介してＰＣＭ７０２にリクエストされた設計データを送る。この設計データでＰＣＭ７０２はＢＫＭ作動レシピ７０４が処理システムハードウェア７０８と協調できるか否かを決定する。もしレシピが設計セッティングと共存できなければ警告７０６が発せられ、ユーザにＢＫＭ作動レシピ７０４を改定させるか、ハードウェア設計セッティングを改定させる。しかし、もしデータが共存できればＰＣＭ７０２は処理システムハードウェア７０８にレシピを送ることでレシピを実行できる。

本発明の実施例から理解されようがＢＫＭ作動レシピエディタは、レシピと処理システムハードウェアの設計セッティングの専門知識をユーザが有する必要性を排除することでユーザを“脱専門知識化”し、製造に必要な人件費や材料費を大きく抑えることができる。特にユーザによる入力を拒絶または認可するためのルールがＢＫＭ作動レシピエディタに組み入れられているので、製造業者はユーザによる間違いデータ入力の面倒を回避でき、“脱専門知識化”されたユーザが特定パラメータのために入力される有効データのみに限定されるため高価な基板の無駄が低減する。

本発明をいくつかの実施例を利用して解説したが、本発明の範囲内でそれらの変更は可能である。発明の名称、発明の概要および要約は本発明の理解を助けるために提供されており、「請求の範囲」を限定するものではない。さらに本発明の方法と装置には多数の他の利用方法が存在する。よって本発明の真の範囲は「請求の範囲」で定義されたものである。

Claims (29)

1. 処理システムで基板を処理するためのレシピの作成方法であって、
   ポピュラーな汎用方法（ＢＫＭ）を利用する汎用方法作動レシピエディタを提供するステップであって、該ＢＫＭは該レシピのための最良実施仕様であるステップと、
   前記レシピのために前記ＢＫＭに基づいて複数のＢＫＭモジュールを作成するステップと、
   前記複数のＢＫＭモジュールのパラメータのためにルールを定義するステップであって、該ルールは前記ＢＫＭによって伝達されるステップと、
   前記ＢＫＭルールのガイドライン内で前記パラメータのための値を入力するために前記ポピュラーな汎用方法作動レシピエディタを利用することでＢＫＭ作動レシピを作成するステップと、
   を含んでいることを特徴とする方法。
2. 複数のＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュールを含み、該第１ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. 複数のＢＫＭモジュールは第２ＢＫＭモジュールを含み、該第２ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含み、該第２ＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュール内に組み入れられていないステップを含んでいることを特徴とする請求項２記載の方法。
4. ルールはパラメータのための許容値を定義することを特徴とする請求項１記載の方法。
5. ルールは複数のパラメータ間の相互依存性を定義することを特徴とする請求項４記載の方法。
6. ルールはＢＫＭで自動的に更新されることを特徴とする請求項４記載の方法。
7. 汎用方法作動レシピエディタは処理システムに対して推奨される設計セッティングを含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
8. 汎用方法作動レシピエディタはＢＫＭ作動レシピの実行に先立って処理システムの実際の設計セッティングをリクエストし、該実際の設計セッティングと該ＢＫＭ作動レシピとの比較が実施されることを特徴とする請求項１記載の方法。
9. 汎用方法作動レシピエディタは、実際の設計セッティングとＢＫＭ作動レシピとの比較が同調性を否定するときには警告を発することを特徴とする請求項８記載の方法。
10. 処理システムで基板を処理するためのレシピの作成のためのシステム構成であって、
    ポピュラーな汎用方法（ＢＫＭ）を利用する汎用方法作動レシピエディタであって、該ＢＫＭは該レシピのための最良実施仕様である汎用方法作動レシピエディタと、
    前記レシピのために前記ＢＫＭに基づく複数のＢＫＭモジュールと、
    前記複数のＢＫＭモジュールのパラメータを定義するためのルールであって、該ルールは前記ＢＫＭによって伝達されるルールと、
    を含んでいることを特徴とするシステム構成。
11. 複数のＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュールを含み、該第１ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含んでいることを特徴とする請求項１０記載のシステム構成。
12. 複数のＢＫＭモジュールは第２ＢＫＭモジュールを含み、該第２ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含み、該第２ＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュール内に組み入れられていないステップを含んでいることを特徴とする請求項１１記載のシステム構成。
13. ルールはパラメータのための許容値を定義することを特徴とする請求項１０記載のシステム構成。
14. ルールは複数のパラメータ間の相互依存性を定義することを特徴とする請求項１３記載のシステム構成。
15. ルールはＢＫＭで自動的に更新されることを特徴とする請求項１３記載のシステム構成。
16. 汎用方法作動レシピエディタは処理システムに対して推奨される設計セッティングを含んでいることを特徴とする請求項１０記載のシステム構成。
17. 汎用方法作動レシピエディタはパラメータのための値入力を受領後にＢＫＭ作動レシピを作成するために利用されることを特徴とする請求項１０記載のシステム構成。
18. 汎用方法作動レシピエディタはＢＫＭ作動レシピの実行に先立って処理システムの実際の設計セッティングをリクエストし、該実際の設計セッティングと該ＢＫＭ作動レシピとの比較が実施されることを特徴とする請求項１７記載のシステム構成。
19. 汎用方法作動レシピエディタは、実際の設計セッティングとＢＫＭ作動レシピとの比較が同調性を否定するときには警告を発することを特徴とする請求項１８記載のシステム構成。
20. コンピュータ利用コードを含んだプログラム記憶媒体を含む製品であって、該コンピュータ利用コードは処理システムで基板を処理するためのレシピを作成するように設計されており、本製品は、
    汎用方法作動レシピエディタを作成するためのコンピュータ利用コードであって、該汎用方法作動レシピエディタはポピュラーな汎用方法（ＢＫＭ）であり、該ＢＫＭは該レシピのための最良実施仕様であるコンピュータ利用コードと、
    前記レシピのために前記ＢＫＭに基づく複数のＢＫＭモジュールを作成するためのコンピュータ利用コードと、
    前記複数のＢＫＭモジュールのパラメータを定義するためにルールを適用するコンピュータ利用コードであって、該ルールは前記ＢＫＭによって伝達されるコンピュータ利用コードと、
    を含んでいることを特徴とする製品。
21. 複数のＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュールを含み、該第１ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含んでいることを特徴とする請求項２０記載の製品。
22. 複数のＢＫＭモジュールは第２ＢＫＭモジュールを含み、該第２ＢＫＭモジュールはレシピの少なくとも１つのステップを含み、該第２ＢＫＭモジュールは第１ＢＫＭモジュール内に組み入れられていないステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の製品。
23. ルールはパラメータのための許容値を定義することを特徴とする請求項２０記載の製品。
24. ルールは複数のパラメータ間の相互依存性を定義することを特徴とする請求項２３記載の製品。
25. ルールはＢＫＭで自動的に更新されることを特徴とする請求項２０記載の製品。
26. 汎用方法作動レシピエディタは処理システムに対して推奨される設計セッティングを含んでいることを特徴とする請求項２０記載の製品。
27. 汎用方法作動レシピエディタはパラメータのための値入力を受領後にＢＫＭ作動レシピを作成するために利用されることを特徴とする請求項２０記載の製品。
28. 汎用方法作動レシピエディタはＢＫＭ作動レシピの実行に先立って処理システムの実際の設計セッティングをリクエストし、該実際の設計セッティングと該ＢＫＭ作動レシピとの比較が実施されることを特徴とする請求項２０記載の製品。
29. 汎用方法作動レシピエディタは、実際の設計セッティングとＢＫＭ作動レシピとの比較が同調性を否定するときには警告を発することを特徴とする請求項２７記載の製品。

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