JP2011148024A - 非接触保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】非接触搬送装置１０は、ワークＷを保持する保持部材１２と保持部材１２が装着される装着プレート１１とを有している。保持部材１２は、ワークＷに臨む流出面１２ａと、流出面１２ａに開口する旋回室と、旋回室に圧縮空気を導入する導入孔とを有している。一方、装着プレート１１は、相対向する装着面１５ａと裏面１５ｂとを繋ぐ外側面１５ｃを有するプレート本体１５と、気体供給源１３からの圧縮空気が流れる気体流路と、気体流路の経路上に設けられ装着面１５ａに開口し、該気体流路と保持部材１２の導入孔とが連通するかたちに保持部材１２が嵌入される嵌入孔とを有している。装着プレート１１の気体流路には、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられた供給ポート１９を介して圧縮空気が供給される。
【選択図】図５

Description

本発明は、ワークの異なる領域に負圧と正圧とを作用させることによってワークと保持面とが接触しない状態でワークを保持する非接触保持装置に関する。

従来から、特許文献１に記載のように、ワークを保持するための保持面がワークと接触しない態様で該保持面にワークを保持するという非接触保持装置が知られている。特許文献１に記載の非接触保持装置が有する保持プレートは、ハウジングやベース部等から構成されて、ワークに対向する保持面に旋回室としての凹部を備えている。この保持プレートにおける保持面とは反対側の面には、保持プレートの内部に気体を供給する供給ポートが設けられている。また保持プレートの内部には、供給ポートと旋回室とを連通して供給ポートから旋回室内に気体を導入する気体導入路が設けられている。そしてステージに載置されたワークが上記保持プレートで持ち上げられる際には、保持プレートの保持面がワークに向けて徐々に下げられるとともに、供給ポートから気体導入路を通して旋回室へ気体が供給される。

この際、気体導入路を通じて旋回室に導入された気体は、旋回室の内周面に沿うように旋回して、保持面に設けられた開口から保持面に沿うように流出する。そして保持面に設けられた開口の中心に上記旋回流による負圧が発生するとともに、保持面に沿って流出する気体によって保持面とワークとの間に正圧が発生する。このように旋回室に発生した負圧によってワークが保持面に吸引される一方、保持面とワークとの間に発生した正圧によってワークが保持面から離される結果、ワークと保持面とが接触しない状態でワークが保持プレートに保持される。そして保持プレートの保持面がステージから徐々に持ち上げられることによって、ステージに載置されたワークが上記保持プレートで持ち上げられる。

特開２００８−８７９１０号公報

ところで、非接触保持装置が有する保持プレートには、供給ポートに気体を供給するためのチューブ等の気体の供給系が接続されている。特許文献１に記載の非接触保持装置のように、保持面とは反対側の面に供給ポートが設けられる構成では、このような気体の供給系が保持面とは反対側の面上に配置されることになる。そして保持プレートによってワークが持ち上げられる際には、保持面とは反対側の面上に配置されたこうした供給系も保持プレートとともに持ち上げられることになる。この際、保持プレートの上方に配置される他の部材と気体の供給系とが接触することになれば、保持プレートに保持されるワークの状態が不安定になってしまう。そのため、特許文献１に記載のような非接触保持装置気体では、保持プレートが移動する空間に加えて、当該空間の上方に、気体の供給系が移動するための空間を別途設けることが余儀なくされていた。

特に、ステージに載置されたワークを保持プレートで保持した後に、ステージに向いた該ワークの側面をステージとは反対側に向けるようにワークを反転させる場合、上述したようなチューブ等が保持プレートのステージ側に垂れ下がることになる。そのため、保持プレートの上方に配置される他の部材と気体の供給系との接触のみならず、チューブ等とステージとの接触をも避けるため、保持プレートそのものを予めステージから大きく離す
ことが必要にもなる。その結果、保持プレートが移動する空間を上下方向に、より拡大することが必要にもなっていた。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供することにある。

本発明の非接触保持装置は、ワークに対向する保持面を有するとともに該保持面に複数の凹部を有した保持プレートと、前記保持プレートの外側と前記凹部の内部とを連通するように前記保持プレートの内部に設けられて、前記保持プレートの外側から前記複数の凹部の各々の内部に気体を導入して該凹部内に気体の旋回流を発生させる気体導入路とを備え、前記旋回流によって前記凹部の開口に負圧を形成するとともに、前記凹部の開口から流出する気体によって前記保持面と前記ワークとの間に正圧を形成することによって、前記ワークと前記保持面とが接触しない状態で前記ワークを前記保持プレートに保持する非接触保持装置であって、前記保持プレートを構成する外側面のうちで前記保持面と交差するとともに前記保持面から連続する外側面に、前記気体導入路に連通して前記保持プレートの外側から前記気体導入路に気体を供給する供給する供給ポートを有することを要旨とする。

本発明の非接触保持装置によれば、保持プレートを構成する外側面のうちで保持面と交差する外側面に供給ポートが設けられる。そのため、保持プレートに気体を供給するためのチューブ等、保持プレートに気体を供給するために必要な気体の供給系が、保持面と交差する外側面に接続されることになる。その結果、上記供給系が保持面とは反対側の面に接続される構成と比較して、ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持プレートが移動する方向、すなわち保持面が移動する方向において縮小することが可能である。

この非接触保持装置は、前記気体導入路が、前記保持面と平行な方向に沿って前記供給ポートと前記複数の凹部の各々の内部とを連通する通路であることを要旨とする。
この非接触保持装置によれば、保持プレートの内部に設けられる気体導入路が保持面と平行な方向に延びる形状である。そのため、保持面と交差する方向に沿って気体導入路が設けられる構成と比較して、保持面の法線方向における保持プレートの厚さ、すなわち保持面が移動する方向における保持プレートの厚さを薄くすることが可能である。それゆえに、ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持プレートが移動する方向において縮小することが可能である。

この非接触保持装置は、前記保持プレートが、前記保持面を有する板材から構成されて前記気体が流れる流路を内部に備えるとともに、前記流路に連通する複数の嵌入孔を前記保持面に有した装着プレートと、前記複数の嵌入孔の各々に嵌入されて筒内の空間によって前記凹部を構成する筒体からなり、前記筒体の周壁に開口して前記流路と連通し前記筒体の外側から前記凹部へ気体を導入する導入孔を有する保持部材とを備え、前記気体導入路が、前記流路と前記導入孔とによって構成されることを要旨とする。

この非接触保持装置によれば、保持プレートが、保持部材と、該保持部材が装着される装着プレートとによって構成される場合であっても、各凹部に気体を供給するために必要な気体の供給系が、保持面と交差する外側面に接続されることになる。そのため、ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持プレートが移動する方向において、より効果的に縮小することが可能である。

この非接触保持装置は、前記保持部材が、前記筒体の周壁に設けられた前記導入孔の開口を含むように前記筒体の周壁の全周にわたって凹設されて前記気体導入路に連通する連通凹部を備えることを要旨とする。

この非接触保持装置によれば、気体導入路が、装着プレートの内部に設けられた流路と、保持部材の導入路と、該流路及び該導入路に連通する連通凹部とによって構成される。こうした構成によれば、連通凹部を通して流路内の気体を導入孔に供給することが可能であるため、嵌入孔に嵌入される保持部材の位置を筒体の周壁における周方向において定める必要がない。それゆえに、嵌入孔に嵌入される保持部材の位置に高い自由度を得ることが可能である。

この非接触保持装置は、前記筒体の内表面が円周面であり、前記導入孔が前記円周面の接線方向に延びる孔であることを要旨とする。
この非接触搬送装置によれば、導入孔を通じて凹部の内部に導入された気体に対して、凹部の内表面である円周面に沿った流れが誘発される。そのため、凹部の内部において旋回流を効率よく発生させることが可能である。

本発明の一実施形態にかかる非接触搬送装置の概略構成を示す斜視図。 図１におけるＡ部の拡大図。 保持部の内部構造を示す断面図。 図３におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図。 ワークが保持された状態にある非接触搬送装置を模式的に示す平面図。

以下、本発明の非接触搬送装置を具体化した一実施形態について図１〜図５を参照して説明する。図１は、本実施形態の非接触搬送装置の概略構成を示す斜視図であって、ワークが保持される保持面側から見た斜視図である。

図１に示されるように、非接触搬送装置１０は、装着プレート１１と保持部材１２とを有している。装着プレート１１は、保持部材１２が装着されるとともに圧縮空気供給源１３から導入される圧縮空気を該保持部材１２に供給する。一方、保持部材１２は、装着プレート１１がワークＷ（図３参照）に向けて徐々に下げられるとき、装着プレート１１から供給される圧縮空気を用いてワークＷを非接触で保持する。そして、非接触搬送装置１０は、図示しない移動機構を用いて、保持部材１２が装着された装着プレート１１を移動させることで該保持部材１２が保持しているワークＷを搬送する。本実施形態における保持プレートは、これら装着プレート１１と保持部材１２とによって構成されている。

装着プレート１１は、一対の対向する面（保持面を構成する装着面１５ａ、裏面１５ｂ）を繋ぐ外側面１５ｃを有した板材としてのプレート本体１５を有している。プレート本体１５の内部には、気体導入路を構成する気体流路１７が設けられている。気体流路１７は、装着面１５ａと平行な方向に延びる第１気体流路１７ａと、同じく装着面１５ａと平行な方向であって、且つ、第１気体流路１７ａと直交する方向に延びる４つの第２気体流路１７ｂとから構成されている。各第２気体流路１７ｂは、第１気体流路１７ａと交差する部分において該第１気体流路１７ａに連通するとともにプレート本体１５内に終端部が設けられている。各気体流路１７には、プレート本体１５の外側面１５ｃに供給ポート１９が設けられており、この供給ポート１９に接続されるチューブ２１を通じて圧縮空気供給源１３から圧縮空気が導入される。このチューブ２１は、ワークＷの搬送時に該ワークＷと接触しないように配設されている。

プレート本体１５には、装着面１５ａ及び裏面１５ｂに開口し、保持部材１２が嵌入される嵌入孔２３が複数設けられている。嵌入孔２３は、該嵌入孔２３の内周面に気体流路１７が開口するように、気体流路１７の経路上に設けられている。具体的には、第１気体流路１７ａには、４本の第２気体流路１７ｂの各々を挟む位置に合計８つの嵌入孔２３が設けられている。また各第２気体流路１７ｂには、１本の第１気体流路１７ａを挟む位置に合計２つの嵌入孔２３が設けられている。嵌入孔２３には、装着面１５ａ側から保持部材１２が嵌入されて、裏面１５ｂ側から突出した保持部材１２の雄ねじ部２９にナット３１を螺合させることによりプレート本体１５に対して装着される（図３参照）。こうした構成であれば、チューブ２１が接続される供給ポート１９がプレート本体１５の外側面１５ｃに設けられているため、保持部材１２に気体を供給するためのチューブ２１等、保持プレートに気体を供給するために必要な気体の供給系が、装着面１５ａと交差する外側面１５ｃに接続されることになる。その結果、上記供給系が装着面１５ａとは反対側の裏面１５ｂに接続される構成と比較して、ワークＷを保持するために装置が必要とする空間を、保持プレートが移動する方向、すなわち装着面１５ａが移動する方向において縮小することが可能である。

次に、保持部材１２について図２〜図４を参照して説明する。図２は、図１におけるＡ部の拡大図である。図３は、保持部材１２の内部構造を示す断面図であって、プレート本体１５に装着された状態を示す図である。図４は、図３におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

図２及び図３に示されるように、多段状の円筒体である保持部材１２は、装着面１５ａに繋がる端面である流出面１２ａを有した円環状の係止部２５を有している。本実施形態では、プレート本体１５が有する装着面１５ａと保持部材１２が有する流出面１２ａとによって保持面が構成されている。

保持部材１２は、係止部２５よりも縮径されるかたちで該係止部２５に連なりプレート本体１５の嵌入孔２３に嵌入される嵌入部２７と、嵌入部２７よりも縮径されるかたちで該嵌入部２７に連なり外周がねじ切りされた雄ねじ部２９とを有している。また保持部材１２は、流出面１２ａに開口し、係止部２５と嵌入部２７とに跨るように形成された断面円状の旋回室３５を有している。保持部材１２は、係止部２５と装着面１５ａとが当接する位置まで嵌入孔２３に嵌入されている。そして保持部材１２は、裏面１５ｂから突出する雄ねじ部２９に雌ねじ部材としてのナット３１を螺合させることによりプレート本体１５に装着されている。

こうした構成であれば、保持部材１２を装着プレート１１に容易に装着することができるとともに、保持部材１２を位置決めした状態でプレート本体１５に装着することも可能である。そのため保持部材１２の位置を向きの調整を容易に行うこともできる。なお、保持部材１２は、嵌入部２７における係止部２５側の端部に形成された凹部に配置されるＯリング３３により、装着面１５ａ側における気密が保たれる。また、プレート本体１５とナット３１とに挟まれるシールプラグ３４と、雄ねじ部２９に巻き回された図示しないシールテープとによって、裏面１５ｂ側における気密が保たれる。

係止部２５は、流出面１２ａ側で縮径する多段状に形成されており、その大径部分の周縁には一対の切り欠き部３７が相対向する位置に設けられている。なお、この切り欠き部３７は、後述する導入孔４１の旋回室３５における開口位置に対応するように設けられている。

嵌入部２７には、その外周面の全周にわたって凹設され、気体導入路を構成する連通凹部３９が設けられている。連通凹部３９は、保持部材１２がプレート本体１５の嵌入孔２
３に嵌入された状態でプレート本体１５の気体流路１７と連通する位置に設けられている。また、図４に示されるように、嵌入部２７には、連通凹部３９の底面と旋回室３５の内周面とに開口し、気体導入路を構成する導入孔４１が貫通形成されている。すなわち、導入孔４１は連通凹部３９を通じて気体流路１７に連通するとともに、旋回室３５は導入孔４１、連通凹部３９を通じて気体流路１７に連通する。そして上流側の気体流路１７内の圧縮空気は、図４に矢印で示すように、一部が連通凹部３９及び導入孔４１を通じて旋回室３５に流入し、残りが連通凹部３９を通じて下流側の気体流路１７に再び導入される。

ここで、保持部材１２が上記連通凹部３９を有しない構成では、気体流路１７からの気体を旋回室３５まで導くために、嵌入部２７の外周面に設けられた導入孔４１の開口と嵌入孔２３の内周面における気体流路１７の開口とが相対向するように、保持部材１２の位置を定める必要がある。そのため、保持部材１２をプレート本体１５へ装着する際に、非常に手間を要してしまう。これに対して、上記構成からなる保持部材１２によれば、嵌入部２７の周壁の全周にわたって連通凹部３９が設けられているため、連通凹部３９を通じて導入孔４１と気体流路１７とが連通している。それゆえに、嵌入部２７の周壁の周方向においては、保持部材１２の配置に関わらず、導入孔４１と気体流路１７とを確実に連通させることができ、保持部材１２のプレート本体１５への装着に関わる作業を容易なものとすることができる。また、導入孔４１にはプレート本体１５の気体流路１７を通じて圧縮空気が供給されることから、保持部材１２自体には、チューブ２１を接続するための接続部を設ける必要がなくなる。その結果、保持部材１２の構造を簡素化することもできる。

図４に示されるように、導入孔４１は、旋回室３５の内周面である円周面の接線方向であって、該旋回室３５の内周面で対向する位置から互いに相反する方向に向かって延出形成されている。こうした構成の導入孔４１であれば、該導入孔４１を通じて旋回室３５に流入した圧縮空気は、該旋回室３５の内周面に沿った流れが誘発されることとなり、旋回室３５内において旋回流を効率よく発生させることができる。

こうした旋回室３５における圧縮空気の旋回により、旋回室３５にはベルヌーイの定理に基づく負圧が発生する。一方、旋回室３５で旋回流になった圧縮空気は、やがて流出面１２ａにおける開口部から流出する。旋回室３５の開口部から流出した圧縮空気は、流出面１２ａに沿って流出し該流出面１２ａとワークＷとの間に正圧を発生させる。そして、ワークＷは、上述した負圧と正圧とが作用することによって流出面１２ａに接触することなく保持される。

次に、こうした構成の非接触搬送装置１０について図５を参照して説明する。図５は、上記構成の非接触搬送装置１０においてワークＷが保持されている状態を模式的に示す平面図であって、一部の保持部材１２を省略して示した図である。

図５に示されるように、上記構成の非接触搬送装置１０は、チューブ２１が接続される供給ポート１９がプレート本体１５の外側面１５ｃに設けられているため、チューブ２１が装着面１５ａとは反対側の裏面１５ｂに接続される構成と比較して、ワークＷを保持するために装置が必要とする空間を、装着面１５ａ（ワークＷ）が移動する方向において縮小することが可能である。また、縮小された空間の分、保持部材１２が装着されたプレート本体１５の移動可能な範囲を拡大させることができる。例えば、図５に二点差線で示す仮想線４３に対して、プレート本体１５、つまりはワークＷをより近づけることができる。その結果、ワークＷの搬送経路の自由度を拡張させることもできる。

以上説明したように、本実施形態の非接触搬送装置１０によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、圧縮空気供給源１３から圧縮空気が導入される気体流路１７の供給ポート１９は、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられている。こうした構成によれば、保持部材１２に圧縮空気を供給するためのチューブ２１を裏面１５ｂ側に配設しなくて済む。その結果、ワークＷの反対側において装置自体が占有する空間を縮小させることができ、ワークＷの搬送経路の自由度を拡張させることができる。

（２）上記実施形態によれば、装着プレート１１の内部に設けられる気体流路１７が装着面１５ａと平行な方向に延びる形状である。そのため、装着面１５ａと交差する方向に沿って気体流路１７が設けられる構成と比較して、装着プレート１１の厚さ、すなわち装着面１５ａが移動する方向における装着プレート１１の厚さを薄くすることが可能である。それゆえに、ワークＷを保持するために装置が必要とする空間を、装着プレート１１が移動する方向において縮小することが可能である。

（３）上記実施形態によれば、保持部材１２の導入孔４１とプレート本体１５の気体流路１７とを保持部材１２の嵌入部２７の全周にわたって凹設した連通凹部３９を通じて連通させた。こうした構成によれば、保持部材１２をプレート本体１５に装着する作業が容易なものとなる。

（４）上記実施形態によれば、導入孔４１は、旋回室３５の内表面における接線方向であって、該旋回室３５の内表面において対向する位置から互いに相反する方向に向かって延出形成されている。こうした構成によれば、導入孔４１を通じて旋回室３５に流入した圧縮空気に対して該旋回室３５の内表面に沿った流れが誘発されるため、旋回室３５内に旋回流が効率よく発生する。

（５）上記実施形態によれば、１つの気体流路１７の経路上に複数の保持部材１２が配置されて、気体流路１７の下流側に配置されている保持部材１２には、上流側に配置されている保持部材１２の連通凹部３９を通過した圧縮空気が供給される。こうした構成によれば、１つの供給ポート１９を通じて複数の保持部材１２を作動させることができる。すなわち、保持部材１２の各々に対してチューブ２１を接続するための接続部を設けなくて済む。その結果、保持部材１２に気体を供給する供給系の部材点数を少なくすることもできる。

（６）上記実施形態によれば、保持部材１２の雄ねじ部２９を裏面１５ｂから突出するように構成するとともに、ナット３１を雄ねじ部２９に螺合させることで保持部材１２をプレート本体１５に装着した。こうした構成であれば、保持部材１２をプレート本体１５に容易に装着することができるとともに、保持部材１２を位置決めした状態でプレート本体１５に装着することも可能であるため該保持部材１２の向きの調整を容易に行うこともできる。

なお、上記実施形態は以下のように変更して実施することもできる。
・上記実施形態の保持部材１２は、裏面１５ｂから突出する雄ねじ部２９にナット３１を螺合させることにより、プレート本体１５に装着した。これに限らず、プレート本体１５に保持部材１２を装着する上では、例えばプレート本体１５に設けた雌ねじ部に保持部材１２の雄ねじ部２９を螺合させる構成であってもよい。このような構成であっても上記（１）〜（４）と同じような効果を得ることができる。

・上記実施形態の非接触搬送装置１０では、プレート本体１５に気体流路１７の経路上に複数の嵌入孔２３を形成し、各嵌入孔２３に保持部材１２を装着した。これに限らず、装着プレート１１に設けられる嵌入孔２３及び保持部材１２は単数であってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（３）と同じような効果を得ることができる。

・上記実施形態では、旋回室３５の内表面を円周面に形成したが、旋回室で圧縮空気の旋回流が発生するのであれば、旋回室は円周面に限られるものではない。
・上記実施形態では、導入孔４１は、旋回室３５の内表面における接線方向であって、該旋回室３５の内表面で対向する位置から互いに相反する方向に向かって延出形成した。これに限らず、導入孔４１は、旋回室３５において圧縮空気の旋回流が形成されるのであれば、例えば、上記した対向する位置から旋回室３５の内表面における接線方向と交差する方向に延出形成されていてもよい。このような構成であっても、上記（１）（２）と同じような効果を得ることができる。

・上記実施形態では、保持部材１２の周壁に全周にわたる連通凹部３９が形成されている。これに限らず、プレート本体１５に保持部材１２を装着されているときに気体流路１７と導入孔４１とが連通するのであれば、連通凹部３９を嵌入部２７の全周ではなく一部に設ける構成であってもよい。また、連通凹部３９を割愛し、気体導入路が気体流路１７と導入孔４１とによって構成されてもよい。このような構成であっても、上記（１）（２）と同じような効果を得ることができる。なお、保持部材１２に連通凹部３９が凹設されていない場合、下流側に配置されている保持部材１２には、上流側に配置されている保持部材１２において一方の導入孔４１から旋回室３５流入した圧縮空気の一部が他方の導入孔４１から流出したものが供給される。

・上記実施形態では、装着面１５ａと平行な方向に沿って気体流路１７が形成されるが、供給ポート１９から供給される気体が保持部材１２に導入される通路であれば、装着面１５ａと交差する方向に沿って気体流路１７が形成される構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）と同じような効果を得ることができる。

・上記実施形態では、装着プレート１１と保持部材１２とによって、すなわち複数の部材によって保持プレートを構成したが、該装着プレート１１と保持部材１２とが一体形成された単一の部材によって保持プレートを構成してもよい。

・上記実施形態では、気体として圧縮空気を用いたが、気体として不活性ガスなどを用いてもよい。

Ｗ…ワーク、１０…非接触搬送装置、１１…装着プレート、１２…保持部材、１２ａ…流出面、１３…圧縮空気供給源、１５…プレート本体、１５ａ…装着面、１５ｂ…裏面、１５ｃ…外側面、１７…気体流路、１７ａ…第１気体流路、１７ｂ…第２気体流路、１９…供給ポート、２１…チューブ、２３…嵌入孔、２５…係止部、２７…嵌入部、２９…雄ねじ部、３１…ナット、３３…Ｏリング、３４…シールプラグ、３５…旋回室、３７…切り欠き部、３９…連通凹部、４１…導入孔、４３…仮想線。

Claims (5)

1. ワークに対向する保持面を有するとともに該保持面に複数の凹部を有した保持プレートと、
   前記保持プレートの外側と前記凹部の内部とを連通するように前記保持プレートの内部に設けられて、前記保持プレートの外側から前記複数の凹部の各々の内部に気体を導入して該凹部内に気体の旋回流を発生させる気体導入路とを備え、
   前記旋回流によって前記凹部の開口に負圧を形成するとともに、前記凹部の開口から流出する気体によって前記保持面と前記ワークとの間に正圧を形成することによって、前記ワークと前記保持面とが接触しない状態で前記ワークを前記保持プレートに保持する非接触保持装置であって、
   前記保持プレートを構成する外側面のうちで前記保持面と交差するとともに前記保持面から連続する外側面に、前記気体導入路に連通して前記保持プレートの外側から前記気体導入路に気体を供給する供給する供給ポートを有する
   ことを特徴とする非接触保持装置。
2. 前記気体導入路が、前記保持面と平行な方向に沿って前記供給ポートと前記複数の凹部の各々の内部とを連通する通路である
   ことを特徴とする請求項１に記載の非接触保持装置。
3. 前記保持プレートが、
   前記保持面を有する板材から構成されて前記気体が流れる流路を内部に備えるとともに、前記流路に連通する複数の嵌入孔を前記保持面に有した装着プレートと、
   前記複数の嵌入孔の各々に嵌入されて筒内の空間によって前記凹部を構成する筒体からなり、前記筒体の周壁に開口して前記流路と連通し前記筒体の外側から前記凹部へ気体を導入する導入孔を有する保持部材とを備え、
   前記気体導入路が、前記流路と前記導入孔とによって構成される
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触保持装置。
4. 前記保持部材が、
   前記筒体の周壁に設けられた前記導入孔の開口を含むように前記筒体の周壁の全周にわたって凹設されて前記流路に連通する連通凹部を備える
   ことを特徴とする請求項３に記載の非接触保持装置。
5. 前記筒体の内表面が円周面であり、
   前記導入孔が前記円周面の接線方向に延びる孔である
   ことを特徴とする請求項３又は４に記載の非接触保持装置。

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