JP2012104525A - 有機el表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下部電極14上に正孔注入層16AR,16AG,16ABを形成する。赤色,緑色および青色有機EL素子10R,10G,10Bについて、正孔輸送層16BR,16BG,16BB上に低分子材料を含む赤色,緑色および青色の発光層16CR,16CG,16CBを塗布法により形成したのち、各発光層16CR,16CG,16CBの全面に電子輸送層16Dを蒸着法により形成する。電子輸送層16D上に電子注入層16Eおよび上部電極17を形成する。
【選択図】図3
Description
(A)基板に、複数の有機EL素子の各々ごとに設けられた複数の下部電極
(B)下部電極の上に有機EL素子ごとに設けられた正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する複数の正孔注入・輸送層
(C)正孔注入・輸送層上に有機EL素子ごとに設けられると共に、低分子材料を含む複数の有機発光層
(D)複数の有機発光層上の全面に設けられた電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層
(E)電子注入・輸送層上に設けられた上部電極
(A)基板に複数の下部電極を複数の有機EL素子の各々ごとに形成する工程
(B)下部電極上に正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する複数の正孔注入・輸送層を有機EL素子ごとに塗付法により形成する工程
(C)正孔注入・輸送層上に低分子材料を含む複数の有機発光層を有機EL素子ごとに塗付法により形成する工程
(D)複数の有機発光層の全面に電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層を蒸着法により形成する工程
(E)電子注入・輸送層の全面に上部電極を形成する工程
1.第1の実施の形態
(各色発光層上に電子注入・輸送層を形成した有機EL表示装置)
2.第2の実施の形態
(各色発光層と電子注入・輸送層との間にホールブロック層を形成した有機EL表示装置)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る有機EL表示装置1の構成を表すものである。この有機EL表示装置1は、有機ELテレビジョン装置などとして用いられるものであり、例えば、基板11の上に、表示領域110として、後述する複数の赤色有機EL素子10R,緑色有機EL素子10G,青色有機EL素子10Bがマトリクス状に配置されたものである。表示領域110の周辺には、映像表示用のドライバである信号線駆動回路120および走査線駆動回路130が設けられている。
(A13〜A16は、芳香族炭化水素基またはその誘導体が1〜10個結合した基、あるいは複素環基またはその誘導体が1〜15個結合した基である。nおよびmは0〜10000の整数であり、n+mは10〜20000の整数である。)
(Zは含窒素炭化水素基あるいはその誘導体である。L1は2価の芳香族環基が1ないし4個結合した基、具体的には1〜4個の芳香族環が連結した2価の基、またはその誘導体である。A4およびA5は、芳香族炭化水素基あるいは芳香族複素環基、またはその誘導体である。但し、A4およびA5は互いに結合して環状構造を形成してもよい。)
(L2は2価の芳香族環基が2ないし6個結合した基である。具体的には2〜6個の芳香族環が連結した2価の基、またはその誘導体である。A6〜A9は、芳香族炭化水素基あるいは複素環基、またはその誘導体が1〜10個結合した基である。)
(R24〜R29は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、または炭素数20以下のアルキル基、アルケニル基、カルボニル基を有する基、カルボニルエステル基を有する基、アルコキシル基を有する基、シアノ基を有する基、ニトロ基を有する基、あるいはそれらの誘導体、炭素数30以下のシリル基を有する基、アリール基を有する基、複素環基を有する基、アミノ基を有する基あるいはそれらの誘導体である。)
(A10は水素原子あるいはハロゲン原子、炭素数1〜20個のアルキル基、3〜40個の芳香族環が縮合した多環芳香族炭化水素基を有する炭素数6〜60個の炭化水素基または含窒素複素環基あるいはそれらの誘導体である。Bは単結合、2価の芳香族環基あるいはその誘導体である。R7,8は各々独立して水素原子あるいはハロゲン原子、炭素数1〜20個のアルキル基、炭素数6〜60個の芳香族炭化水素基、含窒素複素環基または炭素数1〜20個のアルコキシ基あるいはそれらの誘導体である。)
(A11は芳香族環が2ないし5個縮合したn価の基である。具体的には3個の芳香族環が縮合したn価のアセン系芳香族環基、またはその誘導体である。R9〜R13は各々独立して水素原子あるいはハロゲン原子、A11またはR15〜R19のいずれか1つに結合する遊離原子価である。R15〜R19は各々独立して水素原子、ハロゲン原子またはR9〜R13のいずれか1つに結合する遊離原子価である。nは2以上の整数であり、n個のピリジルフェニル基は同一でもよく、異なっていてもよい。)
(A12は芳香族環が2ないし5個縮合したm価の基である。具体的には3個の芳香族環が縮合したn価のアセン系芳香族環基、またはその誘導体である。R20〜R24は各々独立して水素原子あるはハロゲン原子、A12またはR25〜R29のいずれか1つに結合する遊離原子価である。R25〜R29は各々独立して水素原子、ハロゲン原子またはR20〜R24のいずれか1つに結合する遊離原子価である。mは2以上の整数であり、m個のビピリジル基は同一でもよく、異なっていてもよい。)
(R30〜R32は水素原子、1〜3個の芳香族環が縮合した芳香族炭化水素基あるいはそれらの誘導体、炭素数1〜6個の炭化水素基を有する1〜3個の芳香族環が縮合した芳香族炭化水素基あるいはそれらの誘導体、炭素数6〜12個の芳香族炭化水素基を有する1〜3個の芳香族環が縮合した芳香族炭化水素基あるいはそれらの誘導体である。)
次いで、基板11の全面に例えばITOよりなる透明導電膜を形成し、この透明導電膜をパターニングすることにより、図5(A)に示したように、下部電極14を赤色有機EL素子10R,緑色有機EL素子10G,青色有機EL素子10Bの各々ごとに形成する(ステップS101)。その際、下部電極14を、平坦化絶縁膜(図示せず)のコンタクトホール(図示せず)を介して駆動トランジスタTr1のドレイン電極と導通させる。
続いて、同じく図5(A)に示したように、下部電極14上および平坦化絶縁膜(図示せず)上に、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition;化学気相成長)法により、S
iO2 等の無機絶縁材料を成膜し、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより、下部隔壁15Aを形成する。
プラズマ処理を行ったのち、撥水化処理(撥液化処理)を行う(ステップS103)ことにより、特に上部隔壁15Bの上面及び側面の濡れ性を低下させる。具体的には、大気圧下で4フッ化メタンを反応ガスとするプラズマ処理(CF4プラズマ処理)を行い、その後、プラズマ処理のために加熱された基板11を室温まで冷却することで、上部隔壁15Bの上面及び側面を撥液化し、その濡れ性を低下させる。
撥水化処理を行ったのち、図5(B)に示したように、上部隔壁15Bに囲まれた領域内に、上述した材料よりなる正孔注入層16AR,16AG,16ABを形成する(ステップS104)。この正孔注入層16AR,16AG,16ABは、スピンコート法や液滴吐出法などの塗布法により形成する。特に、上部隔壁15Bに囲まれた領域に正孔注入層16AR,16AG,16ABの形成材料を選択的に配する必要上、液滴吐出法であるインクジェット方式や、ノズルコート方式を用いることが好ましい。
正孔注入層16AR,16AG,16ABを形成したのち、図5(C)に示したように、正孔注入層16AR,16AG,16ABの上に、上述した高分子材料を含む正孔輸送層16BR,16BG,16BBを赤色有機EL素子10R,緑色有機EL素子10Gおよび青色有機EL素子10Bの各々ごとに形成する(ステップS105)。この正孔輸送層16BR,16BG,16BBは、スピンコート法や液滴吐出法などの塗布法により形成する。特に、上部隔壁15Bに囲まれた領域に正孔輸送層16BR,16BGの形成材料を選択的に配する必要上、液滴吐出法であるインクジェット方式や、ノズルコート方式を用いることが好ましい。
赤色有機EL素子10R,緑色有機EL素子10Gおよび青色有機EL素子10Bの正孔輸送層16BR,16BG,16BBを形成したのち、図5(D)に示したように、赤色有機EL素子10Rの正孔輸送層16BRの上に上述した高分子材料および低分子材料の混合材料よりなる赤色発光層16CRを形成する。また、同様に緑色有機EL素子10Gおよび青色有機EL素子10Bの正孔輸送層16BG,16BBの上にそれぞれ上述した高分子材料および低分子材料の混合材料よりなる緑色発光層16CGおよび青色発光層16CBを形成する(ステップS106)。赤色発光層16CR,緑色発光層16CGおよび青色発光層16CBは、スピンコート法や液滴吐出法などの塗布法により形成する。特に、上部隔壁15Bに囲まれた領域に赤色発光層16CRおよび緑色発光層16CGの形成材料を選択的に配する必要上、液滴吐出法であるノズルコート方式や、インクジェット方式を用いることが好ましい。
赤色発光層16CR,緑色発光層16CGおよび青色発光層16CBを形成したのち、図6(A),図6(B)および図6(C)に示したように、赤色発光層16CR,緑色発光層16CGおよび青色発光層16CBの全面に、蒸着法により、上述した材料よりなる電子輸送層16D,電子注入層16Eおよび上部電極17を形成する(ステップS107,S108,S109)。
以下、第2の実施の形態について説明する。なお、第1の実施の形態と同一の構成要素については同一符号を付してその説明は省略する。本発明の第2の実施の形態に係る有機EL表示装置の全体構成は図示しないが、第1の実施の形態と同様に、例えば基板11の上に複数の赤色有機EL素子20R,緑色有機EL素子20G,青色有機EL素子20Bがマトリクス状に配置された表示領域が形成されている。表示領域内には画素駆動回路が設けられている。
赤色発光層26CR,緑色発光層26CGおよび青色発光層26CBまで形成したのち、蒸着法により、これら各色の発光層26CR,26CG,26CBの全面に、上述した低分子材料よりなるホールブロック層26Fを共通層として形成する(ステップS201)。
以下、上記実施の形態で説明した有機EL表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の有機EL表示装置は、テレビジョン装置,デジタルカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
上記実施の形態の有機EL表示装置は、例えば、図9に示したようなモジュールとして、後述する適用例1〜5などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板11の一辺に、保護層30および封止用基板40から露出した領域210を設け、この露出した領域210に、信号線駆動回路120および走査線駆動回路130の配線を延長して外部接続端子(図示せず)を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板(FPC;Flexible Printed Circuit)220が設けられていてもよい。
図10は、上記実施の形態の有機EL表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有しており、この映像表示画面部300は、上記実施の形態に係る有機EL表示装置により構成されている。
図11は、上記実施の形態の有機EL表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部410、表示部420、メニュースイッチ430およびシャッターボタン440を有しており、その表示部420は、上記実施の形態に係る有機EL表示装置により構成されている。
図12は、上記実施の形態の有機EL表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体510,文字等の入力操作のためのキーボード520および画像を表示する表示部530を有しており、その表示部530は、上記実施の形態に係る有機EL表示装置により構成されている。
図13は、上記実施の形態の有機EL表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部610,この本体部610の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ620,撮影時のスタート/ストップスイッチ630および表示部640を有しており、その表示部640は、上記実施の形態に係る有機EL表示装置により構成されている。
図14は、上記実施の形態の有機EL表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そのディスプレイ740またはサブディスプレイ750は、上記実施の形態に係る有機EL表示装置により構成されている。
赤色有機EL素子10R,緑色有機EL素子10Gおよび青色有機EL素子10Bを25mm×25mmの基板11上に作製した。
赤色有機EL素子20R,緑色有機EL素子20Gおよび青色有機EL素子20Bを25mm×25mmの基板11上に作製した。
Claims (19)
- 基板に、複数の有機EL素子の各々ごとに設けられた複数の下部電極と、
前記下部電極の上に前記有機EL素子ごとに設けられた正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する複数の正孔注入・輸送層と、
前記正孔注入・輸送層上に前記有機EL素子ごとに設けられると共に、低分子材料を含む複数の有機発光層と、
前記複数の有機発光層上の全面に設けられた電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層と、
前記電子注入・輸送層上に設けられた上部電極と
を備えた有機EL表示装置。 - 前記複数の有機発光層と前記電子注入・輸送層との間に設けられると共に、ホールブロック特性を有するホールブロック層を備えた、請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 前記有機発光層は前記低分子材料と共に高分子材料を含み、前記低分子材料は分子量が300以上1万以下の化合物である、請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 前記有機発光層に含まれる前記高分子材料と前記低分子材料との分子量比(高分子材料/低分子材料)は10以上である、請求項3に記載の有機EL表示装置
- 前記低分子材料は、錯体形成可能な金属元素としてベリリウム(Be),ホウ素(B),亜鉛(Zn),カドミウム(Cd),マグネシウム(Mg),金(Au),銀(Ag),パラジウム(Pd),白金(Pt),アルミニウム(Al),ガドリニウム(Ga),イットリウム(Y),スカンジウム(Sc),ルテニウム(Ru),ロジウム(Rh),オスミウム(Os),イリジウム(Ir)のうちの少なくとも1種を含む、請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 前記ホールブロック層に用いられる化合物は、電子移動度が1.0×10-6cm2/Vs以上1.0×10-1cm2/Vs以下である、請求項1または9乃至11のいずれか1項に記載の有機EL表示装置。
- 前記ホールブロック層は、HOMO(最高被占軌道)とLUMO(最低空軌道)との準位間のギャップが3.0以上3.8以下である、請求項2に記載の有機EL表示装置。
- 前記有機EL素子は、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子、青色有機EL素子、黄色有機EL素子または白色有機EL素子のうちの少なくとも1種である、請求項1または2に記載の有機EL表示装置。
- 基板に複数の下部電極を複数の有機EL素子の各々ごとに形成する工程と、
前記下部電極上に正孔注入または正孔輸送の少なくとも一方の特性を有する複数の正孔注入・輸送層を前記有機EL素子ごとに塗付法により形成する工程と、
前記正孔注入・輸送層上に低分子材料を含む複数の有機発光層を前記有機EL素子ごとに塗付法により形成する工程と、
前記複数の有機発光層の全面に電子注入または電子輸送の少なくとも一方の特性を有する電子注入・輸送層を蒸着法により形成する工程と、
前記電子注入・輸送層の全面に上部電極を形成する工程と
を含む有機EL表示装置の製造方法。 - 前記複数の有機発光層と前記電子注入・輸送層との間に設けられると共に、ホールブロック特性を有するホールブロック層を蒸着法により形成する、請求項17に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記塗付法として、吐出方式、印刷方式または噴霧方式を用いる、請求項17に記載の有機EL表示装置の製造方法。
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