JP2012104861A5

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Publication number: JP2012104861A5
Application number: JP2012030228A
Authority: JP
Filing date: 2012-02-15
Publication date: 2012-07-12
Anticipated expiration: 2027-05-14

Description

上記課題を解決するため、本発明の１つの観点に係る極端紫外光源は、ターゲットにレーザ光を照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、少なくとも１つの光学素子を含み、ドライバレーザから出射されるレーザ光をターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するＥＵＶ集光光学系と、レーザ集光光学系によって集光されたレーザ光がターゲット又はプラズマによって反射されてドライバレーザに入射する戻り光を検出する戻り光検出器と、レーザ集光光学系に含まれている少なくとも１つの光学素子の位置を調節する位置調節機構と、戻り光検出器によって検出される戻り光の量に基づいて位置調節機構を制御する制御部とを具備する。

Claims

ターゲットにレーザ光を照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、
少なくとも１つの光学素子を含み、ドライバレーザから出射されるレーザ光を前記ターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、
前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するＥＵＶ集光光学系と、
前記レーザ集光光学系によって集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて前記ドライバレーザに入射する戻り光を検出する戻り光検出器と、
前記レーザ集光光学系に含まれている少なくとも１つの光学素子の位置を調節する位置調節機構と、
前記戻り光検出器によって検出される戻り光の量に基づいて前記位置調節機構を制御する制御部と、
を具備する極端紫外光源装置。
前記プラズマから放射される極端紫外光を検出する極端紫外光検出器をさらに具備し、
前記制御部が、前記戻り光検出器によって検出される戻り光の量と、前記極端紫外光検出器によって検出される極端紫外光の量とに基づいて、前記位置調節機構を制御する、請求項１記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザから出射されて所定の光路を通過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換しながら反射するリターダーと、
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーと、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を透過させて第２の直線偏光成分を反射する偏光分離素子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光分離素子を透過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記偏光分離素子に入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を透過させる偏光分離素子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光分離素子によって反射されたレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記偏光分離素子に入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
複数の前記偏光分離素子を具備する、請求項４又は５記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーと、
前記ドライバレーザから出射され前記コーティングミラーによって反射されたレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記コーティングミラーに入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザが、第１の直線偏光成分を主成分とするレーザ光を出射する、請求項３〜７のいずれか１項記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路にブルースター角で配置され、第１の直線偏光成分を透過して第２の直線偏光成分を反射する偏光子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光子を透過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換しながら反射して前記偏光子に入射させるリターダーと、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
前記リターダーが、曲面の反射面を有することにより、前記レーザ集光光学系の役割りを兼ねる、請求項３又は９記載の極端紫外光源装置。
前記ドライバレーザが、ＣＯ_２レーザによって構成される発振器と、前記発振器が発生したレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを含む、請求項１〜１０のいずれか１項記載の極端紫外光源装置。