JP2012114237A - ノズル洗浄装置および電子部品実装機 - Google Patents

Abstract

【課題】移動の際に洗浄液が飛散しにくく設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル洗浄装置５は、洗浄液Ｌが貯留される洗浄槽６００を有しノズル８の被洗浄部８２を洗浄する洗浄部６０と、洗浄部６０の上方に配置され洗浄後の被洗浄部８２に気体Ｇを吹き付けることにより、被洗浄部８２を乾燥させる乾燥部６１と、洗浄部６０と乾燥部６１との間に配置され、洗浄部６０と乾燥部６１とを連通、遮断可能に仕切るシャッター６２０を有するシャッター部６２と、を有する装置本体６を備える。洗浄モードにおいてはシャッター６２０を開け被洗浄部８２を洗浄し、乾燥モードにおいてはシャッター６２０を閉じ被洗浄部８２を乾燥させる。
【選択図】図５

Description

本発明は、はんだなどを基板に転写するピン転写ノズルや、電子部品を基板に装着する吸着ノズルなどのノズルを洗浄するノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機に関する。

ピン転写ノズルは、多数のピンを備えている。ディップ装置には、はんだ膜が形成されている。はんだを基板に転写する場合は、まず、ピン転写ノズルをはんだ膜に浸し、多数のピンに、はんだを付着させる。次に、ピン転写ノズルを基板まで移動させる。それから、多数のピンを基板に当接させる。このようにして、はんだを基板に転写している。多数のピンは、密集して配置されている。このため、隣り合うピン同士の間に、はんだが付着しやすい。この状態で、はんだを基板に転写すると、基板に、はんだのブリッジが形成されてしまう。そこで、定期的に、ピン転写ノズルを機外に取り出し、超音波洗浄を行っている。

また、吸着ノズルは、吸引力により電子部品を吸着している。このため、吸着ノズルの開口部には、負圧が供給されている。したがって、吸着ノズルの開口部は、目詰まりを起こしやすい。そこで、ピン転写ノズルと同様に、定期的に、吸着ノズルを機外に取り出し、超音波洗浄を行っている。

しかしながら、ピン転写ノズルや吸着ノズルの洗浄作業は煩雑である。この点、特許文献１、２には、吸着ノズルを自動的に洗浄、乾燥可能な電子部品実装機が開示されている。特許文献１、２の電子部品実装機は、いずれも、超音波洗浄装置と、乾燥装置と、を備えている。目詰まりを起こした吸着ノズルは、超音波洗浄装置により洗浄される。洗浄された吸着ノズルは、乾燥装置により乾燥される。特許文献１、２の電子部品実装機によると、自動的に、吸着ノズルを洗浄し、乾燥させることができる。このため、基板の生産性が向上する。

特開平５−７５２９２号公報 特開平１０−３０５２６３号公報

しかしながら、特許文献１、２の電子部品実装機によると、超音波洗浄装置と乾燥装置とが水平方向に異なる位置に配置されている。このため、超音波洗浄装置から乾燥装置まで、洗浄後の吸着ノズルを水平方向に移動させる必要がある。したがって、移動の際、洗浄液が電子部品実装機に飛散するおそれがある。また、超音波洗浄装置と乾燥装置とが水平方向に異なる位置に配置されているため、その分、電子部品実装機に占める両装置の設置スペースが広くなってしまう。

本発明のノズル洗浄装置および電子部品実装機は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、移動の際に洗浄液が電子部品実装機に飛散しにくく、設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するため、本発明のノズル洗浄装置は、洗浄液が貯留される洗浄槽を有し、少なくとも該洗浄液によりノズルの被洗浄部を洗浄する洗浄部と、該洗浄部の上方に配置され、洗浄後の該被洗浄部に気体を吹き付けることにより、該被洗浄部を乾燥させる乾燥部と、該洗浄部と該乾燥部との間に配置され、該洗浄部と該乾燥部とを連通、遮断可能に仕切るシャッターを有するシャッター部と、を有する装置本体を備え、該被洗浄部を洗浄する洗浄モードにおいては、該シャッターを開け、該洗浄部と該乾燥部とを連通させ、該乾燥部を介して該被洗浄部を該洗浄槽まで下降させ、該被洗浄部を洗浄し、該被洗浄部を乾燥させる乾燥モードにおいては、洗浄後の該被洗浄部を該洗浄槽から該乾燥部まで上昇させ、該シャッターを閉じ該洗浄部と該乾燥部とを遮断し、該被洗浄部を乾燥させることを特徴とする。

本発明のノズル洗浄装置によると、洗浄部、シャッター部、乾燥部は、上下方向に配置されている。このため、電子部品実装機に占める設置スペースを狭くすることができる。また、洗浄後の被洗浄部を乾燥させる際は、水平方向ではなく、上方向に、被洗浄部を移動させればよい。このため、洗浄液が電子部品実装機に飛散しにくい。

また、洗浄部と乾燥部との間には、シャッター部が介在している。乾燥モードにおいて、シャッター部のシャッターは閉じている。このため、乾燥用の気体により、洗浄液の液面が乱れるおそれがない。したがって、乾燥中の被洗浄部に、洗浄槽の洗浄液（液面から跳ね上がった洗浄液）が付着するおそれがない。

（２）好ましくは、上記（１）の構成において、複数の前記装置本体が交換可能に取り付けられる共用の基部を備える構成とする方がよい。本構成によると、共用の基部に対して、複数の装置本体を、交換して脱着することができる。例えば、ノズルの種類に応じて、複数種類の装置本体を、交換して使用することができる。この場合、ノズルの種類に応じて、ノズル洗浄装置全体を交換する場合と比較して、交換作業が簡単である。また、同種類の装置本体を複数用意することにより、任意の装置本体をメンテナンスしている間、他の装置本体を用いて、ノズルの洗浄、乾燥を実行することができる。このため、メンテナンスに伴うダウンタイムを削減することができる。

（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記洗浄部は、前記洗浄槽に収容されるブラシを有し、前記洗浄モードにおいて、該ブラシに前記被洗浄部を摺接させることにより、該被洗浄部を洗浄する構成とする方がよい。本構成によると、洗浄液とブラシとを併用して、被洗浄部を洗浄することができる。

（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記乾燥部は、前記洗浄槽の上方に配置され、前記ノズルが挿通される乾燥部側挿通孔と、該乾燥部側挿通孔の内周面に開口する吹出口を下流端に有する上流側通路と、該内周面に開口する流入口を上流端に有する下流側通路と、を有する気体通路と、を有する乾燥部材を有し、前記乾燥モードにおいて、前記気体は、該吹出口から前記被洗浄部に吹き付けられ、該流入口から該下流側通路を介して外部に排気される構成とする方がよい。

乾燥部は、乾燥部材を備えている。乾燥部材は、乾燥部側挿通孔と気体通路とを備えている。本構成によると、被洗浄部に気体を吹き付けやすくなる。また、乾燥部側挿通孔の径方向内側から外部に気体を排気しやすくなる。

（４−１）好ましくは、上記（４）の構成において、前記乾燥部は、前記下流側通路と前記外部との間に配置され、前記気体をろ過するフィルターを有する構成とする方がよい。本構成によると、気体から、洗浄液や塵埃を濾し取ることができる。このため、外部に排気される気体を、清浄化することができる。

（５）好ましくは、上記（４）の構成において、前記シャッターは、前記乾燥部側挿通孔の下方に配置され、前記ノズルが挿通されるシャッター側挿通孔を有し、前記シャッター部は、該シャッターがスライド可能に収容されるシャッター室と、該シャッター室の上下方向両側に配置され該ノズルが挿通される一対の挿入部材側挿通孔と、を有するシャッター挿入部材と、該挿入部材側挿通孔の該シャッター室側の孔縁に配置され、該シャッターに弾性的に摺接するフッ素樹脂またはフッ素ゴム製の摺接部を有し、該シャッター室と該挿入部材側挿通孔の径方向内側の空間とを遮断する一対のシール部材と、を有する構成とする方がよい。

シャッター部は、シャッターと、シャッター挿入部材と、一対のシール部材と、を備えている。シャッター挿入部材は、シャッター室と、一対の挿入部材側挿通孔と、を備えている。シャッターは、シャッター室に収容されている。

シール部材は、シャッターと、挿入部材側挿通孔のシャッター室側の孔縁と、の間に配置されている。シール部材により、シャッター室は、挿入部材側挿通孔の径方向内側の空間から、隔離されている。このため、洗浄モードにおいては、シャッター室に洗浄液が進入するのを抑制することができる。また、乾燥モードにおいては、シャッター室に洗浄液や気体が進入するのを抑制することができる。また、シール部材の摺接部は、フッ素樹脂またはフッ素ゴム製である。このため、シャッターに対する摩擦抵抗が小さい。したがって、シャッターがスライドしやすい。

（６）好ましくは、上記（４）または（５）の構成において、前記ノズルは、前記被洗浄部の上方に配置されるフランジ部を有し、前記装置本体は、前記乾燥部側挿通孔の上方に配置され、該乾燥部側挿通孔よりも小径かつ該フランジ部よりも大径であって、前記乾燥モードにおいて径方向内側に該フランジ部が配置される弾性部材側挿通孔を有するエラストマー製の弾性部材を有する構成とする方がよい。

本構成によると、乾燥モードにおいて、弾性部材側挿通孔の径方向内側にフランジ部が配置されている。このため、弾性部材側挿通孔を介して、乾燥部から外部に気体が漏れにくい。また、弾性部材は、エラストマー製である。このため、フランジ部が弾性部材側挿通孔の内周面に接触した場合、内周面からフランジ部が受ける衝撃を緩和することができる。

（７）上記課題を解決するため、本発明の電子部品実装機は、上記（１）ないし（６）のいずれかの構成のノズル洗浄装置を備えることを特徴とする。本発明の電子部品実装機によると、洗浄部、シャッター部、乾燥部は、上下方向に配置されている。このため、ノズル洗浄装置の電子部品実装機に占める設置スペースを狭くすることができる。また、洗浄後の被洗浄部を乾燥させる際は、水平方向ではなく、上方向に、被洗浄部を移動させればよい。このため、洗浄液が電子部品実装機に飛散しにくい。

また、洗浄部と乾燥部との間には、シャッター部が介在している。乾燥モードにおいて、シャッター部のシャッターは閉じている。このため、乾燥用の気体により、洗浄液の液面が乱れるおそれがない。したがって、乾燥中の被洗浄部に、洗浄槽の洗浄液（液面から跳ね上がった洗浄液）が付着するおそれがない。

本発明によると、移動の際に洗浄液が電子部品実装機に飛散しにくく、設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することができる。

本発明の一実施形態の電子部品実装機の斜視図である。 同電子部品実装機の装着ヘッドの透過斜視図である。 同装着ヘッドに装着されるピン転写ノズルの斜視図である。 本発明の一実施形態のノズル洗浄装置の斜視図である。 同ノズル洗浄装置の前後方向断面図である。 図５のＶＩ−ＶＩ方向断面図である。 同ノズル洗浄装置の分解斜視図である。 同ノズル洗浄装置の装置本体の分解斜視図である。 同装置本体のシャッター部、洗浄部付近の分解斜視図である。 同シャッター部のシャッター挿入部材の斜視図である。 図６の枠ＸＩ内の拡大図である。 図５の枠ＸＩＩ内の拡大図である。 同装置本体の乾燥部の斜視図である。 同ノズル洗浄装置の洗浄モードにおける前後方向断面図である。 図１４の枠ＸＶ内の拡大図である。 同ノズル洗浄装置の乾燥モードにおける前後方向断面図である。 図１６の枠ＸＶＩＩ内の拡大図である。 図１８（ａ）は、同ノズル洗浄装置の基部から装置本体を取り外す際の動きの第一段階の模式図である。図１８（ｂ）は、同装置本体を取り外す際の動きの第二段階の模式図である。図１８（ｃ）は、同装置本体を取り外す際の動きの第三段階の模式図である。 同ノズル洗浄装置の基部に別の装置本体を取り付ける際の斜視図である。 その他の実施形態のノズル洗浄装置の装置本体の乾燥部の斜視図である。

以下、本発明のノズル洗浄装置および電子部品実装機の実施の形態について説明する。

＜電子部品実装機の構成＞
まず、本実施形態の電子部品実装機の構成について説明する。以降の図において、左側は、基板の搬送方向上流側に相当する。右側は、基板の搬送方向下流側に相当する。図１に、本実施形態の電子部品実装機の斜視図を示す。図１に示すように、電子部品実装機１は、ベース２と、モジュール３と、ディップ装置４と、ノズル洗浄装置５と、を備えている。

［ベース２］
ベース２は、直方体箱状を呈している。ベース２は、工場のフロアＦに配置されている。ベース２の前部開口には、デバイスパレット２０が装着されている。

［モジュール３］
図１に示すように、モジュール３は、基板搬送装置３０と、ＸＹロボット３１と、装着ヘッド３２と、マークカメラ３３と、パーツカメラ３４と、制御装置（図略）と、画像処理装置（図略）と、を備えている。

（基板搬送装置３０）
基板搬送装置３０は、手前側搬送部３０３ｆと、奥側搬送部３０３ｒと、手前側クランプ部３０２ｆと、奥側クランプ部３０２ｒと、を備えている。手前側搬送部３０３ｆ、奥側搬送部３０３ｒは、各々、前後一対のコンベアベルトを備えている。合計四つのコンベアベルトは、左右方向に延在している。手前側搬送部３０３ｆには、基板Ｂｆが架設されている。奥側搬送部３０３ｒには、基板Ｂｒが架設されている。

手前側クランプ部３０２ｆ、奥側クランプ部３０２ｒは、各々、前後一対のクランプ片を備えている。合計四つのクランプ片は、左右方向に延在している。手前側クランプ部３０２ｆは、手前側搬送部３０３ｆの上方に配置されている。奥側クランプ部３０２ｒは、奥側搬送部３０３ｒの上方に配置されている。

（基板昇降装置３５）
基板昇降装置３５は、手前側昇降部３５０ｆと、奥側昇降部３５０ｒと、を備えている。手前側昇降部３５０ｆは、手前側搬送部３０３ｆの下方に配置されている。奥側昇降部３５０ｒは、奥側搬送部３０３ｒの下方に配置されている。手前側昇降部３５０ｆ、奥側昇降部３５０ｒは、各々、上下方向に移動可能である。はんだが転写される際、基板Ｂｆは、手前側クランプ部３０２ｆと手前側昇降部３５０ｆとにより、上下方向から挟持、固定される。基板Ｂｒは、奥側クランプ部３０２ｒと奥側昇降部３５０ｒとにより、上下方向から挟持、固定される。

（ＸＹロボット３１）
Ｘ方向は左右方向に、Ｙ方向は前後方向に、Ｚ方向は上下方向に、各々、対応している。ＸＹロボット３１は、Ｙ方向スライダ３１０と、Ｘ方向スライダ３１１と、左右一対のＹ方向ガイドレール３１２と、上下一対のＸ方向ガイドレール３１３と、を備えている。

左右一対のＹ方向ガイドレール３１２は、モジュール３のハウジング内部空間の上面に配置されている。Ｙ方向スライダ３１０は、左右方向に長いブロック状を呈している。Ｙ方向スライダ３１０は、左右一対のＹ方向ガイドレール３１２に、前後方向に摺動可能に取り付けられている。上下一対のＸ方向ガイドレール３１３は、Ｙ方向スライダ３１０の前面に配置されている。Ｘ方向スライダ３１１は、長方形板状を呈している。Ｘ方向スライダ３１１は、上下一対のＸ方向ガイドレール３１３に、左右方向に摺動可能に取り付けられている。

（装着ヘッド３２、マークカメラ３３、パーツカメラ３４）
装着ヘッド３２は、Ｘ方向スライダ３１１に取り付けられている。このため、装着ヘッド３２は、ＸＹロボット３１により、前後左右方向に移動可能である。図２に、本実施形態の電子部品実装機の装着ヘッドの透過斜視図を示す。図２に細線で示すように、装着ヘッド３２は、ボールねじ部３２０と、ホルダ３２１と、を備えている。

ボールねじ部３２０は、装着ヘッド３２に内蔵されている。ボールねじ部３２０は、ナット部３２０ａと、シャフト部３２０ｂと、を備えている。ナット部３２０ａは、モータ（図略）により、回転可能である。シャフト部３２０ｂは、上下方向に延在している。シャフト部３２０ｂは、ナット部３２０ａに挿通されている。ナット部３２０ａとシャフト部３２０ｂとは、多数のボール（図略）を介して、螺合している。このため、図２に一点鎖線で示すように、ナット部３２０ａが回転すると、シャフト部３２０ｂは上下方向に移動する。

ホルダ３２１は、円柱状を呈している。ホルダ３２１は、シャフト部３２０ｂの下端に装着されている。ホルダ３２１は、モータ（図略）により、軸回りに回転可能である。ホルダ３２１の下面には、吸入口（図略）が開設されている。吸入口から供給される負圧により、ホルダ３２１の下面には、ピン転写ノズル８が取り付けられている。ピン転写ノズル８は、本発明の「ノズル」の概念に含まれる。

図３に、本実施形態の電子部品実装機の装着ヘッドに装着されるピン転写ノズルの斜視図を示す。ピン転写ノズル８は、ホルダ吸着部８０と、フランジ部８１と、被洗浄部８２と、連結部８３と、を備えている。ホルダ吸着部８０は、円板状を呈している。ホルダ吸着部８０は、ホルダ３２１の下面に吸着している。フランジ部８１は、ホルダ吸着部８０より小径の円板状を呈している。フランジ部８１は、ホルダ吸着部８０の下方に配置されている。連結部８３は、上下方向に長い円柱状を呈している。連結部８３は、ホルダ吸着部８０とフランジ部８１とを連結している。被洗浄部８２は、多数の転写ピン８２０と、被洗浄板８２１と、を備えている。被洗浄板８２１は、正方形板状を呈している。被洗浄板８２１は、フランジ部８１の下面に固定されている。多数の転写ピン８２０は、被洗浄板８２１の下面に配置されている。多数の転写ピン８２０は、基板Ｂｆ、Ｂｒのランドパターンと鏡対称に配置されている。後述するディップ装置４により、多数の転写ピン８２０には、転写用のはんだが付着される。

図２に戻って、マークカメラ３３は、装着ヘッド３２の後方に配置されている。マークカメラ３３の撮像エリアは下方である。マークカメラ３３は、基板Ｂｆ、Ｂｒの位置決めのために用いられる。

図１に戻って、パーツカメラ３４は、手前側搬送部３０３ｆの前方に配置されている。パーツカメラ３４の撮像エリアは上方である。多数の転写ピン８２０に対するはんだの付着状態は、装着ヘッド３２がパーツカメラ３４の上方を通過する際に、撮像される。

［ディップ装置４］
ディップ装置４は、デバイスパレット２０の上面に配置されている。ディップ装置４は、回転テーブル４０と、スキージ４１とを備えている。回転テーブル４０は、円板状を呈している。回転テーブル４０は、軸回りに回転可能である。回転テーブル４０の上面には、はんだ（図略）が供給される。スキージ４１は、回転テーブル４０の上方に配置されている。はんだが供給された回転テーブル４０を回転させると、スキージ４１により、はんだが回転テーブル４０上面略全面に押し広げられる。このため、回転テーブル４０の上面に、膜厚が略一定のはんだ膜（図略）が形成される。

［ノズル洗浄装置５］
デバイスパレット２０の上面には、洗浄装置用ベース９０が配置されている。ノズル洗浄装置５は、洗浄装置用ベース９０の上面の後方に配置されている。図４に、本実施形態のノズル洗浄装置の斜視図を示す。図５に、同ノズル洗浄装置の前後方向断面図を示す。図６に、図５のＶＩ−ＶＩ方向断面図を示す。図７に、同ノズル洗浄装置の分解斜視図を示す。図８に、同ノズル洗浄装置の装置本体の分解斜視図を示す。図９に、同装置本体のシャッター部、洗浄部付近の分解斜視図を示す。

なお、図４においては、シャッター挿入部材６２１内部のシャッター６２０を、細線で示す。図５においては、断面よりも紙面手前側のレバー７５を、一点鎖線で示す。図７においては、シャッター挿入部材６２１内部のシャッター６２０、一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒ、一対のプランジャ７２Ｌ、７２Ｒを細線で示す。図９においては、一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒ、洗浄槽用シール枠６２１ｅを、細線で示す。図４〜図９に示すように、ノズル洗浄装置５は、装置本体６と基部７とを備えている。

（基部７）
基部７は、一対の基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒと、前壁部７１と、一対のプランジャ７２Ｌ、７２Ｒと、一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒと、シャフト７４と、レバー７５と、一対の側壁部７６Ｌ、７６Ｒと、底壁部７７と、を備えている。これらの部材は、いずれも金属製である。基部７は、洗浄装置用ベース９０の上面に固定されている。

底壁部７７は、長方形板状を呈している。一対の側壁部７６Ｌ、７６Ｒは、各々、細板状を呈している。側壁部７６Ｌは、底壁部７７の左縁から立設されている。側壁部７６Ｒは、底壁部７７の右縁から立設されている。前壁部７１は、細板状を呈している。前壁部７１は、底壁部７７の前縁から立設されている。

一対の基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒは、各々、前方（一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒの方向）に湾曲するＪ字状を呈している。一対の基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒは、底壁部７７の上面に、左右方向に所定間隔だけ離間して、配置されている。

一対のプランジャ７２Ｌ、７２Ｒは、各々、前後方向に長い丸棒状を呈している。一対のプランジャ７２Ｌ、７２Ｒは、前壁部７１の後面から、左右方向に所定間隔だけ離間して、後方（後述する前壁部６２４の方向）に向かって、突設されている。

シャフト７４は、左右方向に長い丸棒状を呈している。シャフト７４は、側壁部７６Ｌの前上端と、側壁部７６Ｒの前上端と、の間に、軸回りに回転可能に架設されている。レバー７５は、前方に湾曲するＬ字状を呈している。レバー７５は、側壁部７６Ｒの右側において、シャフト７４の右端に固定されている。

一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒは、各々、下方（後述する一対の被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲに係合する方向）に湾曲するＪ字状を呈している。一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒは、シャフト７４に、左右方向に所定間隔だけ離間して、固定されている。

このように、シャフト７４を介して、レバー７５と一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒとは連結されている。したがって、作業者がレバー７５を回動させると、シャフト７４が回動し、一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒが揺動する。

（装置本体６）
装置本体６は、洗浄部６０と、乾燥部６１と、シャッター部６２と、弾性部材６３と、外板６４と、リテーナー６５と、一対の洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒと、を備えている。

（シャッター部６２）
図１０に、シャッター部のシャッター挿入部材の斜視図を示す。図１０においては、シャッター挿入部材６２１に収容されている部材を細線で示す。また、シャッター挿入部材６２１の下壁の下面に配置されている部材を一点鎖線で示す。

図４〜図１０に示すように、シャッター部６２は、シャッター６２０と、シャッター挿入部材６２１と、一対のシール部材６２２、６２３と、前壁部６２４と、一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒと、四つのガイド部材６２１ＬＵ、６２１ＬＤ、６２１ＲＵ、６２１ＲＤと、洗浄槽用シール枠６２１ｅと、を備えている。

シャッター６２０は、金属製であって、長方形板状を呈している。シャッター６２０の略中央には、シャッター側挿通孔６２０ａが配置されている。シャッター側挿通孔６２０ａは、円形であって、シャッター６２０を上下方向に貫通している。

シャッター挿入部材６２１は、金属製であって、前方（基板Ｂｆ、Ｂｒと反対の方向）に開口する薄型の有底角筒状を呈している。シャッター挿入部材６２１は、シャッター室６２１ａと、一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃと、スリット６２１ｄと、を備えている。シャッター室６２１ａは、シャッター挿入部材６２１の内部空間である。挿入部材側挿通孔６２１ｂは、シャッター挿入部材６２１の上壁の略中央に配置されている。挿入部材側挿通孔６２１ｂは、円形であって、シャッター挿入部材６２１の上壁を上下方向に貫通している。挿入部材側挿通孔６２１ｃは、シャッター挿入部材６２１の下壁の略中央に配置されている。挿入部材側挿通孔６２１ｃは、円形であって、シャッター挿入部材６２１の下壁を上下方向に貫通している。一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃは、シャッター側挿通孔６２０ａと同径である。スリット６２１ｄは、左右方向に延在している。スリット６２１ｄは、シャッター挿入部材６２１の前面に開口している。シャッター６２０は、スリット６２１ｄを介して、前方（ピン転写ノズル８の挿入方向に対して交差する方向）から、シャッター挿入部材６２１のシャッター室６２１ａに挿入される。

四つのガイド部材６２１ＬＵ、６２１ＬＤ、６２１ＲＵ、６２１ＲＤは、各々、金属製であって、前後方向に長い角柱状を呈している。ガイド部材６２１ＬＵはシャッター室６２１ａの左上隅に、ガイド部材６２１ＬＤはシャッター室６２１ａの左下隅に、ガイド部材６２１ＲＵはシャッター室６２１ａの右上隅に、ガイド部材６２１ＲＤはシャッター室６２１ａの右下隅に、各々、配置されている。左側の一対のガイド部材６２１ＬＵ、６２１ＬＤは、シャッター６２０の左縁を案内している。右側の一対のガイド部材６２１ＲＵ、６２１ＲＤは、シャッター６２０の右縁を案内している。

一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒは、各々、金属製であって、後方（一対の基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒの方向）に湾曲するＪ字状を呈している。一対の本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒは、シャッター挿入部材６２１の下壁の下面に、左右方向に所定間隔だけ離間して、配置されている。本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒと基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒとは脱着可能に係合している。装置本体６を基部７に取り付ける際、基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒは、本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒ、つまり装置本体６の取付位置の基準になる。

洗浄槽用シール枠６２１ｅは、ゴム製であって、正方形枠状を呈している。洗浄槽用シール枠６２１ｅは、シャッター挿入部材６２１の下壁の下面に配置されている。洗浄槽用シール枠６２１ｅは、挿入部材側挿通孔６２１ｃを囲んでいる。

図１１に、図６の枠ＸＩ内の拡大図を示す。図１０、図１１に示すように、シール部材６２２、６２３は、各々、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製であって、リング状を呈している。ＰＴＦＥは、本発明の「フッ素樹脂」の概念に含まれる。シール部材６２２、６２３の内周面には、各々、肉抜部６２２ｂ、６２３ｂが凹設されている。シール部材６２２、６２３の先端には、各々、摺接部６２２ａ、６２３ａが突設されている。図１１に一点鎖線で示す自然状態に対して、摺接部６２２ａは上方（弾性復元力が蓄積される方向）に変位した状態で、摺接部６２３ａは下方（弾性復元力が蓄積される方向）に変位した状態で、各々、シャッター６２０に弾接している。シール部材６２２、６２３は、シャッター側挿通孔６２０ａ、一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃの径方向内側の空間から、シャッター室６２１ａを、封止している。

図１２に、図５の枠ＸＩＩ内の拡大図を示す。図１０、図１２に示すように、前壁部６２４は、金属製であって、左右方向に長い長方形板状を呈している。前壁部６２４は、シャッター挿入部材６２１の下壁の下面前縁から、下方に向かって突設されている。前壁部６２４は、一対の被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲを備えている。一対の被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲは、各々、金属製であって、左右方向に長い丸棒状を呈している。一対の被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲは、前壁部６２４の前面に、左右方向に所定間隔だけ離間して、配置されている。被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲには、一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒが係脱可能に係合している。前壁部６２４の前面には、プランジャ７２Ｌ、７２Ｒの先端（後端）が当接している。

（リテーナー６５）
図４〜図９に戻って、リテーナー６５は、金属製であって、上方に開口する有底角筒状を呈している。リテーナー６５は、シャッター挿入部材６２１の下壁の下面に伏設されている。挿入部材側挿通孔６２１ｃは、リテーナー６５の内部に収容されている。

（洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒ）
洗浄液センサ６６Ｌは、リテーナー６５の左壁の右面に配置されている。洗浄液センサ６６Ｒは、リテーナー６５の右壁の左面に配置されている。洗浄液センサ６６Ｌと洗浄液センサ６６Ｒは、左右方向に対向している。

（洗浄部６０）
洗浄部６０は、洗浄槽６００と、ブラシ６０１と、を備えている。洗浄部６０は、リテーナー６５の内部に収容されている。洗浄槽６００は、金属製であって、上方に開口する角筒状を呈している。洗浄槽６００の内部には、洗浄液Ｌが貯留されている。洗浄液Ｌの量（液面の高さ）は、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒにより、検出される。

すなわち、洗浄槽６００に洗浄液Ｌが所定量入っている場合は光軸が洗浄液Ｌ内を通過するように、洗浄液Ｌが所定量入っていない場合は光軸が洗浄液Ｌ内を通過しないように、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒはリテーナー６５に取り付けられている。当該受光量の変化から、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒは洗浄液Ｌの残量を検出する。

ブラシ６０１は、基部６０１ａと起毛部６０１ｂとを備えている。ブラシ６０１は、洗浄液Ｌに浸漬した状態で、洗浄槽６００の内部に収容されている。基部６０１ａは、樹脂製であって、正方形板状を呈している。起毛部６０１ｂは、樹脂製であって、基部６０１ａの上面に植設されている。

（乾燥部６１）
乾燥部６１は、乾燥部材６１０とフィルター６１１とを備えている。乾燥部６１は、シャッター挿入部材６２１の上壁の上面に積層されている。図１３に、本実施形態のノズル洗浄装置の装置本体の乾燥部の斜視図を示す。図１３においては、乾燥部材６１０内部の気体通路６１０ｂ、フィルター６１１を細線で示す。

図１３に示すように、乾燥部材６１０は、乾燥部側挿通孔６１０ａと、気体通路６１０ｂと、機種マーク６１０ｇ（文字「Ａ」）と、を備えている。乾燥部側挿通孔６１０ａは、乾燥部材６１０の略中央に配置されている。乾燥部側挿通孔６１０ａは、円形であって、乾燥部材６１０を上下方向に貫通している。乾燥部側挿通孔６１０ａは、一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃと同径である。乾燥部側挿通孔６１０ａは、一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃの上方に配置されている。機種マーク６１０ｇは、乾燥部材６１０の上面右後隅に配置されている。機種マーク６１０ｇは、図２に示すマークカメラ３３により、撮像される。

図１３に戻って、気体通路６１０ｂは、乾燥部材６１０の内部に配置されている。気体通路６１０ｂは、上流側通路６１０ｃと下流側通路６１０ｅとを備えている。上流側通路６１０ｃは、乾燥部材６１０の後端面左隅からＪ字状に延在している。上流側通路６１０ｃの上流端には、給気管９５が接続されている。上流側通路６１０ｃの下流端は、左右方向（乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面の周方向）に三方に分岐している。三方の分岐端には、四角形状の吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲが配置されている。吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲは、各々、乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面の前側に開口している。下流側通路６１０ｅは、乾燥部側挿通孔６１０ａと後述するフィルター６１１との間に配置されている。下流側通路６１０ｅの上流端には、左右方向（乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面の周方向）に長いスリット状の流入口６１０ｆが配置されている。流入口６１０ｆは、乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面の後側に開口している。吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲと流入口６１０ｆとは、前後方向に対向している。

フィルター６１１は、不織布製であって、長方形板状を呈している。フィルター６１１は、乾燥部材６１０の内部に配置されている。フィルター６１１は、乾燥部材６１０の孔縁付近に配置されている。フィルター６１１の上流端には、下流側通路６１０ｅの下流端が接続されている。フィルター６１１の下流端には、排気管９６が接続されている。

（弾性部材６３）
図４〜図９に戻って、弾性部材６３は、ゴム製であって、長方形板状を呈している。ゴムは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。弾性部材６３は、乾燥部材６１０の上面に積層されている。弾性部材６３は、弾性部材側挿通孔６３０と、八本のスリット６３１と、を備えている。弾性部材側挿通孔６３０は、弾性部材６３の略中央に配置されている。弾性部材側挿通孔６３０は、円形であって、弾性部材６３を上下方向に貫通している。弾性部材側挿通孔６３０は、乾燥部側挿通孔６１０ａよりも小径である。弾性部材側挿通孔６３０は、乾燥部側挿通孔６１０ａの上方に配置されている。八本のスリット６３１は、弾性部材側挿通孔６３０の孔縁から、径方向外側に向かって、放射状に延在している。

（外板６４）
外板６４は、金属製であって、長方形板状を呈している。外板６４の略中央には、外板側挿通孔６４０が配置されている。外板側挿通孔６４０は、円形であって、外板６４を上下方向に貫通している。外板側挿通孔６４０は、乾燥部側挿通孔６１０ａと同径である。外板側挿通孔６４０は、弾性部材側挿通孔６３０の上方に配置されている。

＜電子部品実装機のノズル洗浄時の動き＞
次に、本実施形態の電子部品実装機のノズル洗浄時の動きについて説明する。図１に示すように、基板Ｂｆ、Ｂｒ生産中においては、装着ヘッド３２に取り付けられたピン転写ノズル８により、回転テーブル４０から、基板Ｂｆ、Ｂｒに、はんだが転写される。転写する際、装着ヘッド３２は、パーツカメラ３４を経由する。この際、図３に示すように、被洗浄部８２の多数の転写ピン８２０に対するはんだの付着状態が撮像される。撮像データは、画像処理装置により処理される。処理の結果、はんだの付着状態が悪い場合（例えば、隣り合う転写ピン８２０同士がはんだで繋がっている場合）、制御装置は、ピン転写ノズル８の洗浄を決定する。

［洗浄モード］
図１４に、本実施形態のノズル洗浄装置の洗浄モードにおける前後方向断面図を示す。図１５に、図１４の枠ＸＶ内の拡大図を示す。洗浄モードにおいては、まず、図１、図４に示すように、装着ヘッド３２により、ピン転写ノズル８をノズル洗浄装置５の外板側挿通孔６４０の上方まで移動させる。また、図５に示すように、シャッター６２０を開状態にする。すなわち、外板側挿通孔６４０、弾性部材側挿通孔６３０、乾燥部側挿通孔６１０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｂ、シャッター側挿通孔６２０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｃを、上下方向（ピン転写ノズル８の挿入方向）に連通させる。

次に、図２に示すように、ボールねじ部３２０を駆動し、ピン転写ノズル８を下降させる。そして、図１４、図１５に示すように、外板側挿通孔６４０、弾性部材側挿通孔６３０、乾燥部側挿通孔６１０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｂ、シャッター側挿通孔６２０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｃを介して、ピン転写ノズル８の被洗浄部８２を、ブラシ６０１の起毛部６０１ｂに当接させる。また、被洗浄部８２を、洗浄液Ｌに浸漬する。この状態で、被洗浄部８２を、前後左右方向、回転方向に移動させる。すなわち、被洗浄部８２を、起毛部６０１ｂに擦りつける。このようにして、被洗浄部８２を掃除する。

［乾燥モード］
図１６に、本実施形態のノズル洗浄装置の乾燥モードにおける前後方向断面図を示す。図１７に、図１６の枠ＸＶＩＩ内の拡大図を示す。乾燥モードにおいては、まず、図２に示すように、ボールねじ部３２０を駆動し、ピン転写ノズル８を上昇させる。そして、図１６、図１７に示すように、ピン転写ノズル８を弾性部材側挿通孔６３０の径方向内側に配置する。また、フランジ部８１の下端と弾性部材側挿通孔６３０の下端とを、略面一に揃える。次に、シャッター６２０を前方にスライドさせることにより、外板側挿通孔６４０、弾性部材側挿通孔６３０、乾燥部側挿通孔６１０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｂ、挿入部材側挿通孔６２１ｃに対して、シャッター側挿通孔６２０ａを、前方にずらす。

フランジ部８１の外周面と弾性部材側挿通孔６３０の内周面との間には、微小な隙間Ｃが形成される。図１７に太線で示すように、隙間Ｃ、吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲ、流入口６１０ｆを除いて、シャッター６２０上方の乾燥室Ｓは、外部から封止されている。

それから、ピン転写ノズル８を軸回りに回転させながら、上流側通路６１０ｃ、吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲを介して、乾燥室Ｓに空気Ｇを吹き込む。空気Ｇは、本発明の「気体」の概念に含まれる。被洗浄部８２に付着した洗浄液Ｌ、塵埃は、空気Ｇにより吹き飛ばされる。洗浄液Ｌ、塵埃を含む空気Ｇは、流入口６１０ｆを介して、下流側通路６１０ｅに流入する。図１３に示すように、空気Ｇ中の洗浄液Ｌ、塵埃は、フィルター６１１により取り除かれる。このため、排気管９６からは、清浄な空気Ｇが排気される。

＜電子部品実装機のノズル洗浄装置交換時の動き＞
次に、本実施形態の電子部品実装機のノズル洗浄装置交換時の動きについて説明する。図１８（ａ）に、本実施形態のノズル洗浄装置の基部から装置本体を取り外す際の動きの第一段階の模式図を示す。図１８（ｂ）に、同装置本体を取り外す際の動きの第二段階の模式図を示す。図１８（ｃ）に、同装置本体を取り外す際の動きの第三段階の模式図を示す。図１９に、本実施形態のノズル洗浄装置の基部に別の装置本体を取り付ける際の斜視図を示す。

基部７から装置本体６を取り外す際は、図１８（ａ）に示すように、まず、給気管９５、排気管９６を装置本体６から取り外す。次に、レバー７５を前方に揺動させる。すなわち、揺動爪７３Ｌ、７３Ｒを、被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲから外す。続いて、図１８（ｂ）に示すように、本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒと基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒとの係合部を略中心として、装置本体６を上方に揺動させる。それから、図１８（ｃ）に示すように、基部７に対して、装置本体６を斜め前上方に引き出す。このようにして、基部７から装置本体６を取り外す。それから、図１９に示すように、四つのピン転写ノズル８に対応する、別の装置本体６を基部７に取り付ける。

取り付ける際は、図１８（ｃ）→図１８（ｂ）→図１８（ａ）の順に、作業を行う。装置本体６とピン転写ノズル８との対応は、図１に示すマークカメラ３３で機種マーク６１０ｇ（文字「Ｂ」）を撮像することにより、確認される。

＜作用効果＞
次に、本実施形態のノズル洗浄装置および電子部品実装機の作用効果について説明する。本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図５に示すように、洗浄部６０、シャッター部６２、乾燥部６１が、上下方向に積層されている。このため、電子部品実装機１に占める設置スペースを狭くすることができる。また、洗浄後の被洗浄部８２を乾燥させる際は、水平方向ではなく、上方向に、被洗浄部８２を移動させればよい。このため、洗浄液Ｌが、電子部品実装機１におけるノズル洗浄装置５以外の部位に、飛散しにくい。

また、洗浄部６０と乾燥部６１との間には、シャッター部６２が介在している。図１６、図１７に示すように、乾燥モードにおいて、シャッター部６２のシャッター６２０は閉じている。このため、空気Ｇにより、洗浄液Ｌの液面が乱れるおそれがない。したがって、乾燥中の被洗浄部８２に、洗浄槽６００の洗浄液Ｌ（液面から跳ね上がった洗浄液Ｌ）が付着するおそれがない。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図７、図１９に示すように、共用の基部７に対して、複数種類の装置本体６を交換することができる。このため、ピン転写ノズル８の種類に応じて、複数種類の装置本体６を、交換して使用することができる。したがって、ピン転写ノズル８の種類に応じて、ノズル洗浄装置５全体を交換する場合と比較して、交換作業が簡単である。また、マークカメラ３３で機種マーク６１０ｇを撮像することにより、装置本体６とピン転写ノズル８との対応を、簡単に確認することができる。特に、装置本体６、ピン転写ノズル８の種類が多い場合、この機能は有効である。また、基部７に対する装置本体６の脱着作業は、工具なしで行うことができる。このため、脱着作業が簡単である。また、装置本体６を基部７に取り付ける際、基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒは、本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒ、つまり装置本体６の取付位置の基準になる。このため、装置本体６の位置決めが簡単である。

また、同種類の装置本体６を複数用意することにより、任意の装置本体６をメンテナンスしている間、他の装置本体６を用いて、ピン転写ノズル８の洗浄、乾燥を実行することができる。このため、メンテナンスに伴うダウンタイムを削減することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図１５に示すように、洗浄部６０が洗浄液Ｌとブラシ６０１とを備えている。このため、洗浄液Ｌとブラシ６０１とを併用して、被洗浄部８２を洗浄することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図１３に示すように、乾燥部材６１０が乾燥部側挿通孔６１０ａと気体通路６１０ｂとを備えている。このため、被洗浄部８２に空気Ｇを吹き付けやすくなる。また、乾燥部側挿通孔６１０ａの径方向内側から外部に空気Ｇを排気しやすくなる。また、乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面には、フランジ部８１の周方向に沿って、三つの吹出口６１０ｄＬ、６１０ｄＭ、６１０ｄＲが開設されている。このため、図１７に示すように、被洗浄部８２の全面に亘って、空気Ｇを供給することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、乾燥部６１がフィルター６１１を備えている。このため、空気Ｇから、洗浄液Ｌや塵埃を濾し取ることができる。したがって、外部に排気される空気Ｇを、清浄化することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図１１に示すように、シール部材６２２、６２３が、シャッター側挿通孔６２０ａ、一対の挿入部材側挿通孔６２１ｂ、６２１ｃの径方向内側の空間から、シャッター室６２１ａを、封止している。このため、洗浄モードにおいては、シャッター室６２１ａに洗浄液Ｌや塵埃などが進入するのを抑制することができる。また、乾燥モードにおいては、シャッター室６２１ａに洗浄液Ｌや空気Ｇや塵埃などが進入するのを抑制することができる。また、シール部材６２２、６２３は、ＰＴＦＥ製である。このため、シャッター６２０に対する摩擦抵抗が小さい。したがって、シャッター６２０がスライドしやすい。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図１５に示すように、弾性部材側挿通孔６３０は、外板側挿通孔６４０、乾燥部側挿通孔６１０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｂ、シャッター側挿通孔６２０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｃよりも、小径である。このため、これらの孔の径方向内側をピン転写ノズル８が上下方向に移動する際、ピン転写ノズル８が硬質（金属製）の外板側挿通孔６４０、乾燥部側挿通孔６１０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｂ、シャッター側挿通孔６２０ａ、挿入部材側挿通孔６２１ｃに当接しにくい。

また、弾性部材６３は、金属や樹脂よりも柔軟なゴム製である。このため、フランジ部８１が弾性部材側挿通孔６３０の内周面に接触した場合、内周面からフランジ部８１が受ける衝撃を緩和することができる。並びに、弾性部材側挿通孔６３０の孔縁には、八本のスリット６３１が配置されている。フランジ部８１が弾性部材側挿通孔６３０の内周面に接触した場合、スリット６３１が開口することにより、弾性部材側挿通孔６３０の内周面は簡単に変形する。この点においても、内周面からフランジ部８１が受ける衝撃を緩和することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図１７に示すように、乾燥モードにおいて、弾性部材側挿通孔６３０の径方向内側にフランジ部８１が配置されている。このため、弾性部材側挿通孔６３０を介して、乾燥部６１から外部に空気Ｇが漏れにくい。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、水平方向に洗浄部６０と乾燥部６１とが配置されている場合と比較して、ピン転写ノズル８の移動距離が短くなる。このため、ピン転写ノズル８の洗浄、乾燥に要する消費電力が小さくなる。また、ダウンタイムが短くなる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、乾燥モードにおいて、空気Ｇにより、ピン転写ノズル８に付着した洗浄液Ｌを吹き飛ばしている。すなわち、非接触状態でピン転写ノズル８を乾燥させている。このため、ピン転写ノズル８に塵埃が付着しにくい。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図６に示すように、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒにより、洗浄液Ｌの量を随時確認することができる。また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図６に示すように、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒが洗浄液Ｌの不足を検出した場合は、図１８に示すように、装置本体６を交換してから、使用後の装置本体６の洗浄槽６００に、洗浄液Ｌを補充することができる。あるいは、使用後の装置本体６の洗浄槽６００を丸ごと交換することができる。このため、洗浄液Ｌの補充によるダウンタイムを削減することができる。

また、本実施形態のノズル洗浄装置５によると、図５、図１２に示すように、基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒとプランジャ７２Ｌ、７２Ｒとの間に、装置本体６が押し込まれることにより、基部７に対する装置本体６の前後方向のがたつきが規制されている。また、本体側係合部６２５Ｌ、６２５Ｒと基部側係合部７０Ｌ、７０Ｒとが係合すること、並びに一対の揺動爪７３Ｌ、７３Ｒが被係合部６２４ａＬ、６２４ａＲに上方から係合することにより、基部７に対する装置本体６の上下方向のがたつきが規制されている。このため、装置本体６が基部７から外れにくい。

＜その他＞
以上、本発明のノズル洗浄装置および電子部品実装機の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。

吹出口６１０ｄ、流入口６１０ｆの位置関係、形状、配置数は特に限定しない。図２０に、その他の実施形態のノズル洗浄装置の装置本体の乾燥部の斜視図を示す。なお、図１３と対応する部位については、同じ符号で示す。図２０に示すように、乾燥部側挿通孔６１０ａの内周面の全周に亘って開口するように、リング状の吹出口６１０ｄを配置してもよい。また、吹出口６１０ｄに対して、流入口６１０ｆを上下方向にずらして配置してもよい。また、フィルター６１１は配置しなくてもよい。すなわち、下流側通路６１０ｅの下流端を外部に開放してもよい。また、下流側から負圧を加えることにより、流入口６１０ｆを介して、乾燥部側挿通孔６１０ａの径方向内側の空気Ｇを吸引してもよい。

上記実施形態においては、本発明の気体として空気Ｇを用いたが、不活性ガスなど他の気体を用いてもよい。上記実施形態においては、シャッター側挿通孔６２０ａ付きのシャッター６２０を用いたが、シャッター側挿通孔６２０ａ無しのシャッター６２０を用いてもよい。この場合、シャッター６２０をシャッター室６２１ａに挿入した状態が閉状態、シャッター６２０をシャッター室６２１ａから抜き出した状態が開状態になる。上記実施形態においては、本発明のノズルとしてピン転写ノズル８を用いたが、電子部品を吸着する吸着ノズルを用いてもよい。上記実施形態においては、洗浄部６０に洗浄槽６００とブラシ６０１とを配置したが、洗浄槽６００と超音波発振器とを配置してもよい。すなわち、ピン転写ノズル８を超音波洗浄してもよい。この場合、超音波発振器と洗浄槽６００の底面とが接触するように、超音波発振器を基部７側に、洗浄槽６００を装置本体６に、それぞれ配置してもよい。上記実施形態においては、空気Ｇだけを用いて被洗浄部８２を乾燥させたが、赤外線などを併用してもよい。

上記実施形態においては、装置本体６に洗浄部６０を配置したが、基部７に洗浄部６０の少なくとも一部を配置してもよい。また、基部７を配置しなくてもよい。すなわち、洗浄装置用ベース９０に、洗浄部６０、乾燥部６１、シャッター部６２、弾性部材６３、外板６４、リテーナー６５、一対の洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒなどの部材を、配置してもよい。

上記実施形態においては、シール部材６２２、６２３の全体をＰＴＦＥ製としたが、摺接部６２２ａ、６２３ａだけをＰＴＦＥ製としてもよい。また、摺接部以外の部分をゴムなどのエラストマー製としてもよい。こうすると、シール部材６２２、６２３が弾性変形しやすくなる。また、ＰＴＦＥの代わりに、他のフッ素樹脂またはフッ素ゴムを用いてもよい。フッ素樹脂としては、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（４．６フッ化））、ＥＴＦＥ（テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド（２フッ化））、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロトリフルオロエチレン（３フッ化））、ＥＣＴＦＥ（クロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体）などを用いてもよい。フッ素ゴムとしては、ＦＫＭ（フッ化ビニリデン系ゴム）、ＦＥＰＭ（テトラフルオロエチレン−プロピレン系ゴム）、ＦＦＫＭ（テトラフルオロエチレン−パープルオロビニルエーテル系ゴム）などを用いてもよい。

上記実施形態においては、弾性部材６３をゴム製としたが、他のエラストマー製としてもよい。上記実施形態においては、フィルター６１１を不織布製としたが、織布製、多孔質体製などとしてもよい。また、洗浄液センサ６６Ｌ、６６Ｒの洗浄液Ｌの検出方式は特に限定しない。例えば、光学式、磁気式、電極式、超音波式であってもよい。

基部７に対して、装置本体６は、転写ピンや吸着ノズルを収容するノズルストッカ、フラックス転写ユニット、部品廃棄ボックスなど、別用途のユニットと交換可能であってもよい。この場合であっても、機種マーク６１０ｇをマークカメラ３３で撮像することにより、ユニットの種類を確認することができる。

１：電子部品実装機、２：ベース、３：モジュール、４：ディップ装置、５：ノズル洗浄装置、６：装置本体、７：基部、８：ピン転写ノズル（ノズル）。
２０：デバイスパレット、３０：基板搬送装置、３１：ＸＹロボット、３２：装着ヘッド、３３：マークカメラ、３４：パーツカメラ、３５：基板昇降装置、４０：回転テーブル、４１：スキージ、６０：洗浄部、６１：乾燥部、６２：シャッター部、６３：弾性部材、６４：外板、６５：リテーナー、６６Ｌ：洗浄液センサ、６６Ｒ：洗浄液センサ、７０Ｌ：基部側係合部、７０Ｒ：基部側係合部、７１：前壁部、７２Ｌ：プランジャ、７２Ｒ：プランジャ、７３Ｌ：揺動爪、７３Ｒ：揺動爪、７４：シャフト、７５：レバー、７６Ｌ：側壁部、７６Ｒ：側壁部、７７：底壁部、８０：ホルダ吸着部、８１：フランジ部、８２：被洗浄部、８３：連結部、９０：洗浄装置用ベース、９５：給気管、９６：排気管。
３０２ｆ：手前側クランプ部、３０２ｒ：奥側クランプ部、３０３ｆ：手前側搬送部、３０３ｒ：奥側搬送部、３１０：Ｙ方向スライダ、３１１：Ｘ方向スライダ、３１２：Ｙ方向ガイドレール、３１３：Ｘ方向ガイドレール、３２０：ボールねじ部、３２０ａ：ナット部、３２０ｂ：シャフト部、３２１：ホルダ、３５０ｆ：手前側昇降部、３５０ｒ：奥側昇降部、６００：洗浄槽、６０１：ブラシ、６０１ａ：基部、６０１ｂ：起毛部、６１０：乾燥部材、６１０ａ：乾燥部側挿通孔、６１０ｂ：気体通路、６１０ｃ：上流側通路、６１０ｄ：吹出口、６１０ｄＬ：吹出口、６１０ｄＭ：吹出口、６１０ｄＲ：吹出口、６１０ｅ：下流側通路、６１０ｆ：流入口、６１０ｇ：機種マーク、６１１：フィルター、６２０：シャッター、６２０ａ：シャッター側挿通孔、６２１：シャッター挿入部材、６２１ＬＤ：ガイド部材、６２１ＬＵ：ガイド部材、６２１ＲＤ：ガイド部材、６２１ＲＵ：ガイド部材、６２１ａ：シャッター室、６２１ｂ：挿入部材側挿通孔、６２１ｃ：挿入部材側挿通孔、６２１ｄ：スリット、６２１ｅ：洗浄槽用シール枠、６２２：シール部材、６２２ａ：摺接部、６２２ｂ：肉抜部、６２３：シール部材、６２３ａ：摺接部、６２３ｂ：肉抜部、６２４：前壁部、６２４ａＬ：被係合部、６２４ａＲ：被係合部、６２５Ｌ：本体側係合部、６２５Ｒ：本体側係合部、６３０：弾性部材側挿通孔、６３１：スリット、６４０：外板側挿通孔、８２０：転写ピン、８２１：被洗浄板。
Ｂｆ：基板、Ｂｒ：基板、Ｃ：隙間、Ｆ：フロア、Ｇ：空気（気体）、Ｌ：洗浄液、Ｓ：乾燥室。

Claims (7)

1. 洗浄液が貯留される洗浄槽を有し、少なくとも該洗浄液によりノズルの被洗浄部を洗浄する洗浄部と、
   該洗浄部の上方に配置され、洗浄後の該被洗浄部に気体を吹き付けることにより、該被洗浄部を乾燥させる乾燥部と、
   該洗浄部と該乾燥部との間に配置され、該洗浄部と該乾燥部とを連通、遮断可能に仕切るシャッターを有するシャッター部と、
   を有する装置本体を備え、
   該被洗浄部を洗浄する洗浄モードにおいては、該シャッターを開け、該洗浄部と該乾燥部とを連通させ、該乾燥部を介して該被洗浄部を該洗浄槽まで下降させ、該被洗浄部を洗浄し、
   該被洗浄部を乾燥させる乾燥モードにおいては、洗浄後の該被洗浄部を該洗浄槽から該乾燥部まで上昇させ、該シャッターを閉じ該洗浄部と該乾燥部とを遮断し、該被洗浄部を乾燥させるノズル洗浄装置。
2. 複数の前記装置本体が交換可能に取り付けられる共用の基部を備える請求項１に記載のノズル洗浄装置。
3. 前記洗浄部は、前記洗浄槽に収容されるブラシを有し、
   前記洗浄モードにおいて、該ブラシに前記被洗浄部を摺接させることにより、該被洗浄部を洗浄する請求項１または請求項２に記載のノズル洗浄装置。
4. 前記乾燥部は、
   前記洗浄槽の上方に配置され、前記ノズルが挿通される乾燥部側挿通孔と、
   該乾燥部側挿通孔の内周面に開口する吹出口を下流端に有する上流側通路と、該内周面に開口する流入口を上流端に有する下流側通路と、を有する気体通路と、
   を有する乾燥部材を有し、
   前記乾燥モードにおいて、前記気体は、該吹出口から前記被洗浄部に吹き付けられ、該流入口から該下流側通路を介して外部に排気される請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のノズル洗浄装置。
5. 前記シャッターは、前記乾燥部側挿通孔の下方に配置され、前記ノズルが挿通されるシャッター側挿通孔を有し、
   前記シャッター部は、
   該シャッターがスライド可能に収容されるシャッター室と、該シャッター室の上下方向両側に配置され該ノズルが挿通される一対の挿入部材側挿通孔と、を有するシャッター挿入部材と、
   該挿入部材側挿通孔の該シャッター室側の孔縁に配置され、該シャッターに弾性的に摺接するフッ素樹脂またはフッ素ゴム製の摺接部を有し、該シャッター室と該挿入部材側挿通孔の径方向内側の空間とを遮断する一対のシール部材と、
   を有する請求項４に記載のノズル洗浄装置。
6. 前記ノズルは、前記被洗浄部の上方に配置されるフランジ部を有し、
   前記装置本体は、前記乾燥部側挿通孔の上方に配置され、該乾燥部側挿通孔よりも小径かつ該フランジ部よりも大径であって、前記乾燥モードにおいて径方向内側に該フランジ部が配置される弾性部材側挿通孔を有するエラストマー製の弾性部材を有する請求項４または請求項５に記載のノズル洗浄装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のノズル洗浄装置を備える電子部品実装機。

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