JP2012134295A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄型で安価な半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体発光装置は、リードフレームと、LEDチップと、透明樹脂と、ハウジング樹脂とを備えている。透明樹脂は、LEDチップ及びリードフレームの上面を覆うとともに第1のリードフレームと第2のリードフレームとの間に充填され、一部がリードフレームの下面側に露出されている。ハウジング樹脂は、リードフレーム上に設けられ、透明樹脂の上面を覆う上部と、透明樹脂の側面を覆う側面部と、透明樹脂の側面の一部を露出させる開口部とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】実施形態によれば、半導体発光装置は、リードフレームと、LEDチップと、透明樹脂と、ハウジング樹脂とを備えている。透明樹脂は、LEDチップ及びリードフレームの上面を覆うとともに第1のリードフレームと第2のリードフレームとの間に充填され、一部がリードフレームの下面側に露出されている。ハウジング樹脂は、リードフレーム上に設けられ、透明樹脂の上面を覆う上部と、透明樹脂の側面を覆う側面部と、透明樹脂の側面の一部を露出させる開口部とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体発光装置及びその製造方法に関する。
LED(Light Emitting Diode)チップを囲むパッケージの側面の一部が開口され、その開口から光が外部へと放出される構造を有するサイドビュータイプの半導体発光装置が知られている。
サイドビュータイプの発光装置の製造方法は、一般に、ハウジング樹脂の中空部にLEDチップを実装する工程、そのLEDチップとリードフレームとの配線を行う工程、およびハウジング樹脂の中空部に透明樹脂あるいは蛍光体を含んだ樹脂を充填する工程を有する。それら工程はハウジング樹脂の側面に形成された開口部を通じて行われるため、作業性が悪かった。
また、薄型化のためには、ハウジング樹脂の側面に形成する開口部の高さをできるだけ低くしたいが、開口部を通じて中空部にLEDチップの実装や配線を行うことから、開口部を狭くするには限界があり、薄型化に制約があった。
薄型で安価な半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
実施形態によれば、半導体発光装置は、リードフレームと、LED(Light Emitting Diode)チップと、透明樹脂と、ハウジング樹脂と、を備えている。
前記リードフレームは、同一平面上に配置されて相互に離隔した第1のリードフレームと第2のリードフレームとを有する。
前記LEDチップは、 前記リードフレームの上面に実装され、前記第1のリードフレームに接続された第1の端子と、前記第2のリードフレームに接続された第2の端子とを有する。
前記透明樹脂は、前記LEDチップ及び前記リードフレームの前記上面を覆うとともに前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間に充填され、一部が前記リードフレームの下面側に露出されている。
前記ハウジング樹脂は、前記リードフレーム上に設けられ、前記透明樹脂の上面を覆う上部と、前記透明樹脂の側面を覆う側面部と、前記透明樹脂の側面の一部を露出させる開口部とを有する。
前記リードフレームは、同一平面上に配置されて相互に離隔した第1のリードフレームと第2のリードフレームとを有する。
前記LEDチップは、 前記リードフレームの上面に実装され、前記第1のリードフレームに接続された第1の端子と、前記第2のリードフレームに接続された第2の端子とを有する。
前記透明樹脂は、前記LEDチップ及び前記リードフレームの前記上面を覆うとともに前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間に充填され、一部が前記リードフレームの下面側に露出されている。
前記ハウジング樹脂は、前記リードフレーム上に設けられ、前記透明樹脂の上面を覆う上部と、前記透明樹脂の側面を覆う側面部と、前記透明樹脂の側面の一部を露出させる開口部とを有する。
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態の半導体発光装置の模式斜視図である。
図2(a)は、本実施形態の半導体発光装置における光出射面側から見た模式側面図であり、図2(b)は、図2(a)における下面図である。
図3は、本実施形態の半導体発光装置において、ハウジング樹脂及び透明樹脂を除いた要素の模式斜視図である。
図1は、本実施形態の半導体発光装置の模式斜視図である。
図2(a)は、本実施形態の半導体発光装置における光出射面側から見た模式側面図であり、図2(b)は、図2(a)における下面図である。
図3は、本実施形態の半導体発光装置において、ハウジング樹脂及び透明樹脂を除いた要素の模式斜視図である。
本実施形態の半導体発光装置は、第1のリードフレーム(以下、単にリードフレームとも言う。)11と、第2のリードフレーム(以下、単にリードフレームとも言う。)12を備えている。
リードフレーム11及びリードフレーム12は、同一平面上に配置されており、相互に離隔している。リードフレーム11及びリードフレーム12の形状は平板状である。リードフレーム11及びリードフレーム12は同じ導電性材料からなり、例えば、銅板の上面及び下面に銀めっき層が形成された構造を有する。なお、リードフレーム11及びリードフレーム12の端面には銀めっき層は形成されておらず、銅板が露出している。
ここで、本明細書においては、説明の便宜上、XYZ直交座標系を導入する。
リードフレーム11及びリードフレーム12の上面に対して平行な方向のうち、リードフレーム11からリードフレーム12に向かう方向を+X方向とする。
リードフレーム11及びリードフレーム12の上面に対して垂直な方向のうち、上方(LEDチップ14が実装されている方向)を+Z方向とする。
+X方向及び+Z方向の双方に対して直交する方向のうち一方を+Y方向とする。
なお、+X方向、+Y方向及び+Z方向の反対方向を、それぞれ、−X方向、−Y方向及び−Z方向とする。また、例えば、「+X方向」及び「−X方向」を総称して、単に「X方向」ともいう。
リードフレーム11及びリードフレーム12の上面に対して平行な方向のうち、リードフレーム11からリードフレーム12に向かう方向を+X方向とする。
リードフレーム11及びリードフレーム12の上面に対して垂直な方向のうち、上方(LEDチップ14が実装されている方向)を+Z方向とする。
+X方向及び+Z方向の双方に対して直交する方向のうち一方を+Y方向とする。
なお、+X方向、+Y方向及び+Z方向の反対方向を、それぞれ、−X方向、−Y方向及び−Z方向とする。また、例えば、「+X方向」及び「−X方向」を総称して、単に「X方向」ともいう。
リードフレーム11は、Z方向から見て矩形のベース部11aを有する。このベース部11aから、例えば4本の吊ピン11b、11c、11d、11eが延出している。
吊ピン11bは、ベース部11aの+Y方向に向いた端縁のX方向中央部から+Y方向に向けて延出している。吊ピン11cは、ベース部11aの−Y方向に向いた端縁のX方向中央部から−Y方向に向けて延出している。X方向における吊ピン11b及び吊ピン11cの位置は相互に同一である。吊ピン11d及び吊ピン11eは、ベース部11aの−X方向に向いた端縁のY方向の両端部から、−X方向に向けて延出している。吊ピン11b〜11eは、ベース部11aの相互に異なる3辺からそれぞれ延出している。
リードフレーム12は、リードフレーム11と比較して、X方向の長さが短く、Y方向の長さは同じである。リードフレーム12は、Z方向から見て矩形のベース部12aを有する。このベース部12aから、例えば4本の吊ピン12b、12c、12d、12eが延出している。
吊ピン12bは、ベース部12aの+Y方向に向いた端縁におけるリードフレーム11側の端部から+Y方向に向けて延出している。吊ピン12cは、ベース部12aの−Y方向に向いた端縁におけるリードフレーム11側の端部から−Y方向に向けて延出している。吊ピン12d及び吊ピン12eは、ベース部12aの+X方向に向いた端縁のY方向の両端部から、+X方向に向けて延出している。吊ピン12b〜12eは、ベース部12aの相互に異なる3辺からそれぞれ延出している。
リードフレーム11における吊ピン11d及び吊ピン11eのY方向の幅は、リードフレーム12における吊ピン12d及び吊ピン12eのY方向の幅と同一でもよく、異なっていてもよい。吊ピン11d及び吊ピン11eの幅と、吊ピン12d及び吊ピン12eの幅とを異ならせれば、アノードとカソードの判別が容易になる。
リードフレーム11の下面11fにおけるベース部11aのX方向中央部には、凸部11gが形成されている。このため、リードフレーム11の厚さは2水準の値をとり、ベース部11aのX方向中央部、すなわち、凸部11gが形成されている部分は相対的に厚く、ベース部11aのX方向両端部及び吊ピン11b〜11eは相対的に薄い。図2(a)及び(b)において、ベース部11aにおける凸部11gが形成されていない部分を、薄板部11tとして示す。
同様に、リードフレーム12の下面12fにおけるベース部12aのX方向中央部には、凸部12gが形成されている。これにより、リードフレーム12の厚さも2水準の値をとり、ベース部12aのX方向中央部は凸部12gが形成されているため相対的に厚く、ベース部12aのX方向両端部及び吊ピン12b〜12eは相対的に薄い。図2(b)において、ベース部12aにおける凸部12gが形成されていない部分を、薄板部12tとして示す。
ベース部11a及びベース部12aのX方向両端部の下面には、それぞれ、ベース部11a及びベース部12aの端縁に沿ってY方向に延びる切欠が形成されている。
凸部11gは、リードフレーム11におけるリードフレーム12に対向する端縁から離隔した領域に形成されており、その端縁を含む領域は薄板部11tとなっている。凸部12gは、リードフレーム12におけるリードフレーム11に対向する端縁から離隔した領域に形成されており、その端縁を含む領域は薄板部12tとなっている。
リードフレーム11の上面とリードフレーム12の上面とは同一平面上にあり、リードフレーム11の凸部11gの下面11fとリードフレーム12の凸部12gの下面12fは同一平面上にある。Z方向における各吊ピンの上面の位置は、リードフレーム11及びリードフレーム12の上面の位置と一致している。従って、各吊ピンは同一のXY平面上に配置されている。
リードフレーム11の上面のうち、ベース部11aに相当する領域の一部には、ダイマウント材13が設けられている。ダイマウント材13は、導電性であっても絶縁性であってもよい。導電性のダイマウント材13として、例えば、銀ペースト、はんだ等を用いることができる。絶縁性のダイマウント材13としては、例えば、透明樹脂ペーストを用いることができる。
ダイマウント材13上には、LED(Light Emitting Diode)チップ14が設けられている。LEDチップ14は、ダイマウント材13によって、リードフレーム11の上面に接合されている。
LEDチップ14は、例えば、サファイア基板上に窒化ガリウム(GaN)等を含む半導体層が積層された構造を有する。LEDチップ14は例えば直方体であり、その上面に端子14a及び端子14b(図3参照)が設けられている。LEDチップ14は、端子14aと端子14bとの間に電圧が供給されることによって、例えば青色の光を出射する。
LEDチップ14の端子14aにはワイヤ15の一端が接合されている。ワイヤ15は端子14aから+Z方向(直上方向)に引き出され、−X方向と−Z方向との間の方向に向けて湾曲し、ワイヤ15の他端はリードフレーム11の上面に接合されている。これにより、端子14aはワイヤ15を介してリードフレーム11に接続されている。
一方、端子14bにはワイヤ16の一端が接合されている。ワイヤ16は端子14bから+Z方向に引き出され、+X方向と−Z方向との間の方向に向けて湾曲し、ワイヤ16の他端はリードフレーム12の上面に接合されている。これにより、端子14bはワイヤ16を介してリードフレーム12に接続されている。ワイヤ15及びワイヤ16は金属、例えば、金又はアルミニウムによって形成されている。
リードフレーム11及びリードフレーム12の上面上には、ハウジング樹脂30が設けられている。ハウジング樹脂30は中空部を有し、その中空部に透明樹脂17が充填されている。
透明樹脂17は、LEDチップ14が発する光に対する透過性を有する。透明樹脂17として、例えばシリコーン樹脂を用いることができる。
透明樹脂17は、リードフレーム11の上面、リードフレーム12の上面、LEDチップ14、ワイヤ15及びワイヤ16を覆っている。また、透明樹脂17は、リードフレーム11とリードフレーム12との間に充填されている。
リードフレーム11の凸部11gの下面11fおよびリードフレーム12の凸部12gの下面11fは、透明樹脂17で覆われずに露出している。リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側において、下面11f及び下面12f以外の部分は透明樹脂17で覆われている。
すなわち、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側に、透明樹脂17の一部が露出している。その下面側に露出している透明樹脂17の領域を、図2(b)においてハッチングで表す。図2(b)においてハッチングされていない領域である下面11f及び下面12fは、透明樹脂17で覆われずに露出し、それら下面11f及び下面12fが、回路基板等に半導体発光装置を実装する際の外部電極パッドとなる。下面11f及び下面12fと、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側に露出している透明樹脂17の下面とは、同一平面上にある。
各吊ピン11b〜11e、12b〜12eの先端面は、透明樹脂17で覆われずに露出している。各吊ピン11b〜11e、12b〜12eの上面、下面及び側面は、透明樹脂17で覆われている。
リードフレーム11のベース部11aの周囲(薄板部11tの端面も含む)及び凸部11gの周囲は、透明樹脂17で覆われている。リードフレーム12のベース部12aの周囲(薄板部12tの端面も含む)及び凸部12gの周囲は、透明樹脂17で覆われている。リードフレーム11の薄板部11tの下面及びリードフレーム12の薄板部12tの下面は、透明樹脂17で覆われている。
LEDチップ14の上方から見て、透明樹脂17の形状は四角形(例えば矩形)である。リードフレーム11の吊ピン11b〜11eの先端面は、透明樹脂17の相互に異なる3つの側面に露出している。リードフレーム12の吊ピン12b〜12eの先端面は、透明樹脂17の相互に異なる3つの側面に露出している。
ハウジング樹脂30より下の側面において、透明樹脂17から露出しているのは、吊ピン11b〜11e、12b〜12eの先端面のみである。また、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側において、透明樹脂17から露出しているのは、凸部11gの下面及び凸部12gの下面12fのみである。
ハウジング樹脂30は、透明樹脂17の上面及び3つの側面を覆っている。ハウジング30は、透明樹脂17の上面を覆う上部31と、透明樹脂17の側面を覆う側面部32と、透明樹脂17の側面の一部を露出させる開口部33とを有する。図1及び図2(a)には表されていないが、開口部33に対向する透明樹脂17の側面も、ハウジング樹脂30の側面部32が覆っている。ハウジング樹脂30の上部31及び側面部32は、ハウジング樹脂30の内部で発生する光に対する遮光性もしくは反射性を有する。
ハウジング樹脂30における少なくとも内壁は、LEDチップ14が発する光に対する反射性を有する。また、透明樹脂17が蛍光体を含む場合には、ハウジング樹脂30の内壁は、その蛍光体から発する光に対する反射材としても機能する。これにより、ハウジング樹脂30内で発生した光を効率よく開口部33に導くことができる。そのようなハウジング樹脂30として、例えば、ポリアミド系の白色樹脂を用いることができる。
透明樹脂17には、図2(a)に示すように、多数の蛍光体18を分散させて含有させることができる。透明樹脂17は、蛍光体18が発する光に対する透過性を有する。蛍光体18は粒状であり、LEDチップ14から出射された光を吸収して、より波長が長い光を発光する。例えば、蛍光体18は、LEDチップ14から出射された青色の光の一部を吸収し、黄色の光を発光する。
これにより、LEDチップ14が出射し、蛍光体18に吸収されなかった青色の光と、蛍光体18から発光された黄色の光との混合色として例えば白色光が、ハウジング樹脂30の開口部33から放出される。なお、LEDチップ14が、側面発光する構造であれば、開口部33から効率よく外部に光を放出させることができる。
蛍光体18としては、例えば、黄緑色、黄色又はオレンジ色の光を発光するシリケート系の蛍光体を使用することができる。シリケート系の蛍光体は、以下の一般式で表すことができる。
(2−x−y)SrO・x(Bau,Cav)O・(1−a−b−c−d)SiO2・aP2O5bAl2O3cB2O3dGeO2:yEu2+
但し、0<x、0.005<y<0.5、x+y≦1.6、0≦a、b、c、d<0.5、0<u、0<v、u+v=1である。
但し、0<x、0.005<y<0.5、x+y≦1.6、0≦a、b、c、d<0.5、0<u、0<v、u+v=1である。
また、黄色蛍光体として、YAG系の蛍光体を使用することもできる。YAG系の蛍光体は、以下の一般式で表すことができる。
(RE1−xSmx)3(AlyGa1−y)5O12:Ce
但し、0≦x<1、0≦y≦1、REはY及びGdから選択される少なくとも1種の元素である。
但し、0≦x<1、0≦y≦1、REはY及びGdから選択される少なくとも1種の元素である。
又は、蛍光体18として、サイアロン系の赤色蛍光体及び緑色蛍光体を混合して使用することもできる。すなわち、蛍光体18は、LEDチップ14から出射された青色の光を吸収して緑色の光を発光する緑色蛍光体、及び青色の光を吸収して赤色の光を発光する赤色蛍光体とすることができる。
サイアロン系の赤色蛍光体は、例えば下記一般式で表すことができる。
(M1−xRx)a1AlSib1Oc1Nd1
但し、MはSi及びAlを除く少なくとも1種の金属元素であり、特に、Ca及びSrの少なくとも一方であることが望ましい。Rは発光中心元素であり、特にEuが望ましい。x、a1、b1、c1、d1は、0<x≦1、0.6<a1<0.95、2<b1<3.9、0.25<c1<0.45、4<d1<5.7である。
但し、MはSi及びAlを除く少なくとも1種の金属元素であり、特に、Ca及びSrの少なくとも一方であることが望ましい。Rは発光中心元素であり、特にEuが望ましい。x、a1、b1、c1、d1は、0<x≦1、0.6<a1<0.95、2<b1<3.9、0.25<c1<0.45、4<d1<5.7である。
このようなサイアロン系の赤色蛍光体の具体例を以下に示す。
Sr2Si7Al7ON13:Eu2+
Sr2Si7Al7ON13:Eu2+
サイアロン系の緑色蛍光体は、例えば下記一般式で表すことができる。
(M1−xRx)a2AlSib2Oc2Nd2
但し、MはSi及びAlを除く少なくとも1種の金属元素であり、特にCa及びSrの少なくとも一方が望ましい。Rは発光中心元素であり、特にEuが望ましい。x、a2、b2、c2、d2は、0<x≦1、0.93<a2<1.3、4.0<b2<5.8、0.6<c2<1、6<d2<11である。
(M1−xRx)a2AlSib2Oc2Nd2
但し、MはSi及びAlを除く少なくとも1種の金属元素であり、特にCa及びSrの少なくとも一方が望ましい。Rは発光中心元素であり、特にEuが望ましい。x、a2、b2、c2、d2は、0<x≦1、0.93<a2<1.3、4.0<b2<5.8、0.6<c2<1、6<d2<11である。
このようなサイアロン系の緑色蛍光体の具体例を以下に示す。
Sr3Si13Al3O2N21:Eu2+
Sr3Si13Al3O2N21:Eu2+
次に、本実施形態の半導体発光装置の製造方法について説明する。
図4(a)〜図5(d)は、本実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図である。
図4(a)〜図5(d)は、本実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図である。
図4(a)及び(b)は、前述したリードフレーム11及びリードフレーム12を複数含むリードフレームシート23の形成方法を示す。
リードフレームシート23は、図4(a)に示す導電シート21を加工して得られる。導電シート21は、例えば、短冊状の銅板21aの上下面に銀めっき層21bが形成されたものである。
その導電シート21の上下面には、それぞれマスク22a及びマスク22bが設けられる。マスク22a及びマスク22bには、選択的に開口部22cが形成されている。マスク22a及びマスク22bは、例えば印刷法によって形成することができる。
次に、マスク22a及びマスク22bが設けられた導電シート21をエッチング液に浸漬することにより、導電シート21をウェットエッチングする。これにより、導電シート21のうち、開口部22c内に位置する部分がエッチングされて選択的に除去される。
このとき、例えば浸漬時間を調整することによってエッチング量を制御し、導電シート21の上面側及び下面側からのエッチングがそれぞれ単独で導電シート21を貫通する前に、エッチングを停止させる。すなわち、上下面側からハーフエッチングを施す。但し、上面側及び下面側の双方からエッチングされた部分は、導電シート21を貫通するようにする。その後、マスク22a及びマスク22bを除去する。
これにより、図4(b)に示すように、導電シート21から銅板21a及び銀めっき層21bが選択的に除去されて、リードフレームシート23が形成される。なお、図示の便宜上、図4(b)以降の図においては、銅板21a及び銀めっき層21bを区別せずに、リードフレームシート23として一体的に図示する。
図8(a)は、リードフレームシート23の平面図であり、図8(b)は、このリードフレームシート23の素子領域Pの一部拡大平面図である。
図8(a)に示すように、リードフレームシート23においては、例えば3つのブロックBが設定されており、各ブロックBには例えば1000個程度の素子領域Pが設定されている。
図8(b)に示すように、素子領域Pはマトリクス状に配列されており、素子領域P間は格子状のダイシング領域Dとなっている。各素子領域Pにおいては、相互に離隔したリードフレーム11及びリードフレーム12を含む基本パターンが形成されている。ダイシング領域Dにおいては、導電シート21を形成していた導電性材料が、隣り合う素子領域P間をつなぐように残留している。
すなわち、素子領域P内においては、リードフレーム11とリードフレーム12とは相互に離隔しているが、ある素子領域Pに属するリードフレーム11は、この素子領域Pから見て−X方向に位置する隣の素子領域Pに属するリードフレーム12に連結されており、両フレームの間には、+X方向に向いた平面形状が凸状の開口部23aが形成されている。
また、Y方向において隣り合う素子領域Pに属するリードフレーム11同士は、ブリッジ23bを介して連結されている。同様に、Y方向において隣り合う素子領域Pに属するリードフレーム12同士は、ブリッジ23cを介して連結されている。これにより、リードフレーム11のベース部11a及びリードフレーム12のベース部12aのそれぞれから、3方向に向けて4本の導電部材が延出している。
更に、リードフレームシート23の下面側からのエッチングをハーフエッチングとすることにより、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面に、それぞれ前述した凸部11g及び凸部12gが形成される。
次に、図4(c)に示すように、リードフレームシート23の下面に、支持体として、例えばポリイミドからなる補強テープ24を貼り付ける。そして、リードフレームシート23の各素子領域Pに属するリードフレーム11上に、ダイマウント材13を供給する。例えば、ペースト状のダイマウント材13を、吐出器からリードフレーム11上に吐出させる、あるいは機械的な手段によりリードフレーム11上に転写する。
次に、ダイマウント材13上にLEDチップ14をマウントし、ダイマウント材13を硬化させるための熱処理を行う。これにより、リードフレームシート23の各素子領域Pにおけるリードフレーム11上にダイマウント材13を介してLEDチップ14が搭載される。
次に、図4(d)に示すように、例えば超音波接合により、ワイヤ15の一端をLEDチップ14の端子14aに接合し、他端をリードフレーム11の上面に接合する。また、ワイヤ16の一端をLEDチップ14の端子14bに接合し、他端をリードフレーム12の上面12hに接合する。これにより、端子14aがワイヤ15を介してリードフレーム11に接続され、端子14bがワイヤ16を介してリードフレーム12に接続される。
次に、図5(a)〜(d)は、リードフレームシート23に対して透明樹脂17及びハウジング樹脂30を設ける工程及びダイシング工程を表す。
図5(a)は、ハウジング樹脂30が成形型40にセットされた状態を示す。ハウジング樹脂30は、例えば射出成形によって、複数の凹部30aを有する形状に成形されている。複数の凹部30aは、図6(a)の上面図に示すように、例えばマトリクス状に配置されている。隣り合う凹部30a間には、例えば格子状の平面パターンで壁部30bが存在する。ハウジング樹脂30は、凹部30aを上に向けて成形型40にセットされる。
ハウジング樹脂30の凹部30aには、図5(b)に示すように、液状またはジェル状の未硬化状態の透明樹脂17が供給される。例えば、シリコーン樹脂等の透明樹脂に蛍光体を混合し、撹拌することにより、液状またはジェル状の蛍光体含有透明樹脂17が調製される。透明樹脂17は、ハウジング樹脂30における複数の凹部30a間の上面上にも供給される。
次に、図5(b)に示すように、前述したLEDチップ14を実装したリードフレームシート23を、成形型40における透明樹脂17及びハウジング樹脂30の上方にセットする。リードフレームシート23は、LEDチップ14が実装された面を下方の透明樹脂17及びハウジング樹脂30に向けている。リードフレームシート23におけるLEDチップ14の実装面の反対側の裏面には、補強テープ24が貼り付けられている。
そして、リードフレームシート23を下降させて、図5(c)に示すように、透明樹脂17に押し付ける。LEDチップ14は、ハウジング樹脂30の凹部30a内に入り、透明樹脂17は、LEDチップ14、ワイヤ15、ワイヤ16及びリードフレームシート23の表面(LEDチップ14の実装面)を覆う。一つの凹部30aにつき、複数(図示では例えば2つ)のLEDチップ14が収まる。
さらに、このとき、透明樹脂17は、リードフレームシート23における前述したエッチングによって除去された部分にも充填される。リードフレームシート23の裏面には補強テープ24が貼り付けられているため、透明樹脂17はリードフレームシート23の裏面側にはみ出さない。したがって、前述したリードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム12の凸部12gの下面12fは、透明樹脂17で覆われない。
そして、リードフレームシート23を透明樹脂17に押し付けた状態で、透明樹脂17を硬化させる。すなわち、透明樹脂17は圧縮成形される。透明樹脂17は、例えば熱硬化される。また、ハウジング樹脂30における凹部30a間の壁部30bの上面は、リードフレームシート23の表面に接着する。この結果、リードフレームシート23、透明樹脂17及びハウジング樹脂30は一体に結合される。
次に、リードフレームシート23、透明樹脂17及びハウジング樹脂30の結合体を、成形型40から取り出す。この後、補強テープ24を剥離する。これにより、リードフレームシート23の裏面側に、リードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム11の凸部12gの下面12fが露出する。
次に、例えばブレードを用いて、リードフレームシート23、透明樹脂17及びハウジング樹脂30を切断する。それらを、図5(d)における破線に沿って切断する。また、上面視での切断位置を、図6(b)において破線で表す。後述する図7(a)及び(b)においても、上面視での切断位置が破線で表される。
すなわち、ハウジング樹脂30における凹部30aの周囲の壁部30b、凹部30a内の透明樹脂17、その透明樹脂17の下の凹部30aの底部30cが切断される。リードフレームシート23は、壁部30bの上の部分、及び凹部30a内の透明樹脂17の上の部分が切断される。
凹部30a内の透明樹脂17を切断することで、凹部30a内の透明樹脂17は2つに分割される。分割されたそれぞれの透明樹脂17に少なくとも1つのLEDチップ14が含まれるように、凹部30a内の透明樹脂17を切断する。すなわち、凹部30a内の複数のLEDチップ14の間の部分を切断する。
図6(b)において、破線で囲まれた部分が個片化された1つの半導体発光装置となる。凹部30a内の透明樹脂17を切断することで、その切断面に透明樹脂17が露出する。
図6(b)の場合、個片化された1つの半導体発光装置は4つの側面を有する。その4つの側面のうち、3つの側面ではハウジング樹脂30が透明樹脂17を覆っているが、残りの1つの側面では透明樹脂17が露出している。透明樹脂17の上面は、図5(a)〜(d)に示すハウジング樹脂30における凹部30aの底部30cに相当する部分で覆われている。したがって、個片化により、透明樹脂17が露出している一部の側面から光が外部へと放出されるサイドビュータイプの半導体発光装置が得られる。
また、図7(a)に示すように、1つの凹部30aを3分割すると、真ん中の半導体発光装置61では4つの側面のうちの対向する2つの側面で透明樹脂17が露出される。すなわち、互いに逆方向の2方向に光を出射可能なサイドビュータイプの半導体発光装置が得られる。
あるいは、1つの凹部30aを縦方向と横方向に分割してもよい。例えば、図7(b)には、1つの凹部30aを6分割した例を示す。この場合、4つの側面のうちの3つの側面で透明樹脂17が露出したサイドビュータイプの半導体発光装置62が得られる。また、コーナーを介してつながった2つの側面で透明樹脂17が露出したサイドビュータイプの半導体発光装置63を得ることもできる。
上記切断(ダイシング)工程により、リードフレームシート23においては、図8(b)に示すダイシング領域Dの部分が除去される。この結果、リードフレームシート23における素子領域Pに配置された部分が個片化される。すなわち、リードフレームシート23からリードフレーム11及びリードフレーム12が分離される。
また、ダイシング領域DにおけるY方向に延びる部分が、リードフレームシート23の開口部23aを通過することにより、リードフレーム11に吊ピン11d及び吊ピン11eが、リードフレーム12に吊ピン12d及び吊ピン12eが形成される。
また、ブリッジ23bが分断されることにより、リードフレーム11に吊ピン11b及び吊ピン11cが形成され、ブリッジ23cが分断されることにより、リードフレーム12に吊ピン12b及び吊ピン12cが形成される。
それら吊ピン11b〜11e及び12b〜12eの先端面は、透明樹脂17で覆われず、ハウジング樹脂30の下方の側面側に露出する。
前述したリードフレームシート23、透明樹脂17及びハウジング樹脂30の結合体は、例えば、リードフレームシート23側から切断される。あるいは、それら結合体を、ハウジング樹脂30側から切断してもよい。
個片化後、各種のテストを行う。このとき、吊ピン11b〜11e及び12b〜12eの先端面をテスト用の端子として使用することも可能である。
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
透明樹脂17がリードフレーム11及びリードフレーム12の下面の一部及び端面の大部分を覆っている。このため、リードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム12の凸部12gの下面12fを透明樹脂17から露出させて外部電極パッドを実現しつつ、リードフレーム11及びリードフレーム12の保持性を高めることができる。
すなわち、ベース部11aのX方向中央部に凸部11gを、ベース部12aのX方向中央部に凸部12gを形成することによって、ベース部11aの下面のX方向の両端部及びベース部12aの下面のX方向の両端部に切欠を実現する。そして、この切欠内に透明樹脂17が充填されることによって、リードフレーム11及びリードフレーム12を強固に保持することができる。これにより、ダイシングの際に、リードフレーム11及びリードフレーム12が透明樹脂17から剥離しにくくなり、歩留まりを向上させることができる。
更にまた、リードフレーム11及びリードフレーム12のそれぞれの上面及び下面に銀めっき層が形成されている。銀めっき層は光の反射率が高いため、本実施形態の半導体発光装置は光の取出効率が高い。
更にまた、本実施形態においては、1枚の導電性シート21から、多数、例えば、数千個程度の半導体発光装置を一括して製造することができる。これにより、半導体発光装置1個当たりの製造コストを低減することができる。
更にまた、本実施形態においては、リードフレームシート23をウェットエッチングによって形成している。このため、別のレイアウトのリードフレームを製造する際には、マスクの原版のみを用意すればよく、金型によるプレス等の方法によってリードフレームシート23を形成する場合と比較して、初期コストを低く抑えることができる。
更にまた、本実施形態においては、リードフレーム11のベース部11a及びリードフレーム12のベース部12aから、それぞれ吊ピンが延出している。これにより、ベース部自体が透明樹脂17の側面において露出することを防止し、リードフレーム11及びリードフレーム12の露出面積を低減することができる。この結果、リードフレーム11及びリードフレーム12が透明樹脂17から剥離することを防止できる。また、リードフレーム11及びリードフレーム12の腐食も抑制できる。
この効果を製造方法の点から見ると、図8(b)に示すように、リードフレームシート23において、ダイシング領域Dに介在するように、開口部23a、ブリッジ23b及びブリッジ部23cを設けることにより、ダイシング領域Dに介在する金属部分を減らしている。これにより、ダイシングが容易になり、ダイシングブレードの磨耗を抑えることができる。
また、リードフレーム11及びリードフレーム12のそれぞれから、3方向に4本の吊ピンが延出している。これにより、図4(c)に示すLEDチップ14のマウント工程において、リードフレーム11が隣の素子領域Pのリードフレーム11及びリードフレーム12によって3方向から確実に支持されるため、マウント性が高い。同様に、図4(d)に示すワイヤボンディング工程においても、ワイヤの接合位置が3方向から確実に支持されるため、例えば超音波接合の際に印加した超音波が逃げることが少なく、ワイヤをリードフレーム及びLEDチップに良好に接合することができる。
更にまた、図5(d)に示すダイシング工程において、リードフレームシート23側からダイシングを行っている。これにより、透明樹脂17を切断する位置にて、リードフレーム11及びリードフレーム12の切断端部を形成する金属材料が、透明樹脂17の側面上を+Z方向に延伸する。このため、この金属材料が透明樹脂17の側面上を−Z方向に延伸して下面側から突出し、バリが発生することがない。従って、半導体発光装置を実装する際に、バリに起因して実装不良となることがない。
また、ハウジング樹脂30で覆う前のリードフレームシート23上にLEDチップ14を実装でき、さらに例えばワイヤボンディングによりLEDチップ14とリードフレームとを電気的に接続することができる。狭い開口部を通じたチップ実装及び配線作業が不要である。この結果、生産効率を向上させ、コスト低減を図れる。
さらに、ハウジング樹脂30に凹部30aを形成し、その凹部30aに透明樹脂17を供給し、その凹部30a内の透明樹脂17に対して、リードフレームシート23に実装されたLEDチップ14を押し付けて、透明樹脂17を硬化させる。すなわち、狭い開口部を通じた透明樹脂の封入工程が不要である。この結果、生産効率を向上させ、コスト低減を図れる。
また、凹部30aの深さを浅くすることで、あるいは凹部30aの底部30cを薄くすることで、容易に薄型化を実現できる。凹部30aを浅くしても、あるいは凹部30aの底部30cを薄くしても、製造効率の低減はまねかない。
また、本実施形態では、リードフレーム11及びリードフレーム12を多数形成したリードフレームシート23に対して、一括して透明樹脂17及びハウジング樹脂30を結合させ、その結合体をダイシングして、個々の半導体発光装置を得る。このため、個片化されたひとつひとつのチップ及びリードフレームに対して透明樹脂及びハウジング樹脂を設ける製造方法と比べて、製造効率が高く、材料使用効率も高くできる。この結果、本実施形態は、安価で且つ薄型のサイドビュータイプの半導体発光装置を提供することができる。
(第2実施形態)
図9は、第2実施形態の半導体発光装置の模式側面図である。
図9は、第2実施形態の半導体発光装置の模式側面図である。
本実施形態の半導体発光装置は、図3に示す第1実施形態と同じ構成のLEDチップ14、リードフレーム11及びリードフレーム12を備える。また、第1実施形態と同様、LEDチップ14の端子は、例えばワイヤによってリードフレーム11及びリードフレーム12と接続されている。
LEDチップ14を透明樹脂51が覆っている。また、透明樹脂51は、リードフレーム11及びリードフレーム12の大部分を覆っている。透明樹脂51は、LEDチップ14の上方に設けられた凸部51aを有する。リードフレーム11及びリードフレーム12の下面は、回路基板等への実装面となる。凸部51aは、その実装面の反対側に突出している。
透明樹脂51は、LEDチップ14が発する光に対する透過性を有する。透明樹脂51として、例えばシリコーン樹脂を用いることができる。
透明樹脂51は、リードフレーム11の上面、リードフレーム12の上面、LEDチップ14及びワイヤを覆っている。また、透明樹脂51は、リードフレーム11とリードフレーム12との間に充填されている。
前述したリードフレーム11の凸部11gの下面11fおよびリードフレーム12の凸部12gの下面11fは、透明樹脂51で覆われずに露出している。リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側において、下面11f及び下面12f以外の部分は透明樹脂51で覆われている。すなわち、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側に、透明樹脂51の一部が露出している。
各吊ピン11b〜11e、12b〜12eの先端面は、透明樹脂51で覆われずに露出している。各吊ピン11b〜11e、12b〜12eの上面、下面及び側面は、透明樹脂51で覆われている。
リードフレーム11のベース部11aの周囲及び凸部11gの周囲は、透明樹脂51で覆われている。リードフレーム12のベース部12aの周囲及び凸部12gの周囲は、透明樹脂51で覆われている。リードフレーム11の薄板部11tの下面及びリードフレーム12の薄板部12tの下面は、透明樹脂51で覆われている。
透明樹脂51の側面側に露出しているのは、吊ピン11b〜11e、12b〜12eの先端面のみである。また、リードフレーム11及びリードフレーム12の下面側において、透明樹脂51から露出しているのは、凸部11gの下面及び凸部12gの下面12fのみである。
透明樹脂51には、前述した第1実施形態と同様に、多数の蛍光体を分散させて含有させることができる。透明樹脂51は、蛍光体が発する光に対する透過性を有する。蛍光体は粒状であり、LEDチップ14から出射された光を吸収して、より波長が長い光を発光する。
次に、本実施形態の半導体発光装置の製造方法について説明する。
次に、図10(a)〜(c)は、リードフレームシート23に対して透明樹脂51を設ける工程及びダイシング工程を表す。
リードフレームシート23は、図4(a)及び(b)を参照して説明した第1実施形態と同様に形成される。そのリードフレームシート23に対するLEDチップ14の実装及びワイヤボンディングも、図4(c)及び(d)を参照して説明した第1実施形態と同様に行われる。
本実施形態では、図10(a)に示すように、複数の凹部46が形成された成形型45を用いて、透明樹脂51の圧縮成形を行う。複数の凹部46は、図11の上面図に示すように、例えばマトリクス状に配置されている。その上面視における凹部46の平面形状は、例えば円形である。
凹部46には、図10(a)に示すように、液状またはジェル状の未硬化状態の透明樹脂51が供給される。例えば、シリコーン樹脂等の透明樹脂に蛍光体を混合し、撹拌することにより、液状またはジェル状の蛍光体含有透明樹脂51が調製される。透明樹脂51は、成形型45における複数の凹部46間の上面上にも供給される。
次に、前述したLEDチップ14を実装したリードフレームシート23を、成形型45の上方にセットする。リードフレームシート23は、LEDチップ14が実装された面を下方の透明樹脂51に向けてセットされる。リードフレームシート23におけるLEDチップ14の実装面の反対側の裏面には、補強テープ24が貼り付けられている。
そして、リードフレームシート23を下降させて、図10(b)に示すように、透明樹脂51に押し付ける。透明樹脂51は、LEDチップ14、ワイヤ及びリードフレームシート23の表面(LEDチップ14の実装面)を覆う。
さらに、このとき、透明樹脂51は、リードフレームシート23における前述したエッチングによって除去された部分にも充填される。リードフレームシート23の裏面には補強テープ24が貼り付けられているため、透明樹脂51はリードフレームシート23の裏面側にはみ出さない。したがって、前述したリードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム12の凸部12gの下面12fは、透明樹脂51で覆われない。
そして、リードフレームシート23を透明樹脂51に押し付けた状態で、透明樹脂51を硬化させる。透明樹脂51は、例えば熱硬化される。また、透明樹脂51はリードフレーム11及びリードフレーム12の表面に接着する。この結果、リードフレームシート23及び透明樹脂51は一体に結合される。
次に、リードフレームシート23及び透明樹脂51の結合体を、成形型45から取り出す。この後、補強テープ24を剥離する。これにより、リードフレームシート23の裏面側に、リードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム11の凸部12gの下面12fが露出する。
次に、例えばブレードを用いて、リードフレームシート23及び透明樹脂51を切断する。それらを、図10(c)における破線に沿って切断する。また、上面視での切断位置を、図11において破線で表す。
透明樹脂51において、成形型45の凹部46に充填された部分である凸部51aの間の部分が切断される。したがって、個片化された半導体発光装置は凸部51aを含む。
図11において、破線で囲まれた部分が個片化された1つの半導体発光装置となる。各半導体発光装置は、少なくとも1つのLEDチップ14を含む。リードフレーム11及びリードフレーム12上の透明樹脂51は、ずべての部分が露出している。
本実施形態では、成形型45の底面に凹部46を形成し、その凹部46に透明樹脂51を供給し、LEDチップ14を実装したリードフレームシート23を透明樹脂51に押し付けて圧縮成形する。これにより、いわゆるレンズトップタイプの半導体発光装置を簡単に製造できる。
成形型45の底面に形成するパターン形状は、レンズが形成できる凹部を例に挙げたが、必要な光学特性を得られる形状であれば、どのような形でも構わない。
本実施形態においても、リードフレーム11及びリードフレーム12を多数形成したリードフレームシート23に対して、一括して透明樹脂51を結合させ、その結合体をダイシングして、個々の半導体発光装置を得る。このため、個片化されたひとつひとつのチップ及びリードフレームに対して透明樹脂を設ける製造方法と比べて、製造効率が高く、材料使用効率も高くでき、安価な半導体発光装置を提供することができる。
さらに本実施形態では、透明樹脂51を囲むハウジング樹脂もしくは外囲器が設けられていないため、ハウジング樹脂がLEDチップ14から生じる光及び熱を吸収して劣化することがない。特に、ハウジング樹脂がポリアミド系の熱可塑性樹脂によって形成されている場合は劣化が進行しやすいが、本実施形態においてはそれがない。このため、本実施形態の半導体発光装置は、耐久性が高い。従って、本実施形態の半導体発光装置は寿命が長く、信頼性が高く、幅広い用途に適用可能である。また、ハウジング樹脂が設けられていないため、部品点数及び工程数が少なく、コストが低い。
また、透明樹脂体51をシリコーン樹脂によって形成している。シリコーン樹脂は光及び熱に対する耐久性が高いため、これによっても、半導体発光装置の耐久性が向上する。
更に、透明樹脂体51の側面を覆うハウジング樹脂が設けられていないため、広い角度に向けて光が出射される。このため、本実施形態の半導体発光装置は、広い角度で光を出射する必要がある用途、例えば、照明及び液晶テレビのバックライトとして使用する際に有利である。
また、本実施形態においても、第1実施形態と同様、透明樹脂51がリードフレーム11及びリードフレーム12の下面の一部及び端面の大部分を覆っている。このため、リードフレーム11の凸部11gの下面11f及びリードフレーム12の凸部12gの下面12fを透明樹脂51から露出させて外部電極パッドを実現しつつ、リードフレーム11及びリードフレーム12の保持性を高めることができる。
すなわち、ベース部11aのX方向中央部に凸部11gを、ベース部12aのX方向中央部に凸部12gを形成することによって、ベース部11aの下面のX方向の両端部及びベース部12aの下面のX方向の両端部に切欠を実現する。そして、この切欠内に透明樹脂51が充填されることによって、リードフレーム11及びリードフレーム12を強固に保持することができる。これにより、ダイシングの際に、リードフレーム11及びリードフレーム12が透明樹脂51から剥離しにくくなり、歩留まりを向上させることができる。
更にまた、本実施形態においても、リードフレーム11のベース部11a及びリードフレーム12のベース部12aから、それぞれ吊ピンが延出している。これにより、ベース部自体が透明樹脂51の側面において露出することを防止し、リードフレーム11及びリードフレーム12の露出面積を低減することができる。この結果、リードフレーム11及びリードフレーム12が透明樹脂51から剥離することを防止できる。また、リードフレーム11及びリードフレーム12の腐食も抑制できる。
更にまた、図10(c)に示すダイシング工程において、リードフレームシート23側からダイシングを行っている。これにより、リードフレーム11及びリードフレーム12の切断端部を形成する金属材料が、透明樹脂51の側面上を+Z方向に延伸する。このため、この金属材料が透明樹脂51の側面上を−Z方向に延伸して下面側から突出し、バリが発生することがない。従って、半導体発光装置を実装する際に、バリに起因して実装不良となることがない。
前述した各実施形態において、LEDチップ14は上面に2つの端子を設けた構造に限らず、下面に一方の端子を設けて、その一方の端子をフェイスダウンボンディングで一方のリードフレームに接合させてもよい。あるいは、下面に2つの端子を設けて、それら2つの端子をそれぞれ第1のリードフレーム11と第2のリードフレーム12に対してフェイスダウンボンディングで接合させてもよい。また、1つの半導体発光装置に搭載するLEDチップ14は、複数であってもよい。
また、第1のリードフレーム11と第2のリードフレーム12との間に、それらに対して同一平面状で離隔した第3のリードフレームを設け、その第3のリードフレームにLEDチップ14を搭載してもよい。この場合、第3のリードフレームを、電極としてではなく、ヒートシンクとして機能させることができる。
また、LEDチップ14は、青色の光を出射するチップに限定されない。また、蛍光体は、青色光を吸収して黄色の光を発光する蛍光体に限定されない。LEDチップ14は、青色以外の色の可視光を出射するものであってもよく、紫外線又は赤外線を出射するものであってもよい。蛍光体は、青色光、緑色光又は赤色光を発光する蛍光体であってもよい。
また、半導体発光装置全体が出射する光の色も、白色には限定されない。上述のような赤色蛍光体、緑色蛍光体及び青色蛍光体について、それらの重量比R:G:Bを調節することにより、任意の色調を実現できる。例えば、白色電球色から白色蛍光灯色までの白色発光は、R:G:B重量比が、1:1:1〜7:1:1及び1:1:1〜1:3:1及び1:1:1〜1:1:3のいずれかとすることで実現できる。更に、透明樹脂には、蛍光体が含まれなくてもよい。この場合は、LEDチップ14から出射された光が、半導体発光装置から出射される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
11…第1のリードフレーム、12…第2のリードフレーム、14…LEDチップ、11b〜11e,12b〜12e…吊ピン、11g,12g…凸部、17,51…透明樹脂、23…リードフレームシート、24…支持体、30…ハウジング樹脂、33…開口部、45…成形型
Claims (8)
- 同一平面上に配置されて相互に離隔した第1のリードフレームと第2のリードフレームとを有するリードフレームと、
前記リードフレームの上面に実装され、前記第1のリードフレームに接続された第1の端子と、前記第2のリードフレームに接続された第2の端子とを有するLED(Light Emitting Diode)チップと、
前記LEDチップ及び前記リードフレームの前記上面を覆うとともに前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間に充填され、一部が前記リードフレームの下面側に露出された透明樹脂と、
前記リードフレーム上に設けられ、前記透明樹脂の上面を覆う上部と、前記透明樹脂の側面を覆う側面部と、前記透明樹脂の側面の一部を露出させる開口部とを有するハウジング樹脂と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置。 - 前記ハウジング樹脂における少なくとも内壁は、前記LEDチップが発する光に対する反射性を有することを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置。
- 前記第1のリードフレームの下面及び前記第2のリードフレームの下面にはそれぞれ凸部が形成され、
前記凸部の下面は前記透明樹脂で覆われずに露出し、前記凸部の側面は前記透明樹脂に覆われていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置。 - 前記第1のリードフレーム及び前記第2のリードフレームのうちの少なくとも一方は、
周囲が前記透明樹脂に覆われたベース部と、
前記ベース部から延出し、その先端面が前記透明樹脂から露出し、その下面が前記透明樹脂に覆われた吊ピンと、
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。 - 凹部を有するハウジング樹脂における前記凹部に未硬化状態の透明樹脂を供給する工程と、
同一平面上に配置されて相互に離隔した第1のリードフレームと第2のリードフレームとを有し、一方の面にLED(Light Emitting Diode)チップが実装されたリードフレームシートの他方の面を支持体に支持させた状態で、前記一方の面及び前記LEDチップを前記透明樹脂に押し付けて前記透明樹脂を硬化させる工程と、
前記透明樹脂の硬化後、前記支持体を剥離する工程と、
前記透明樹脂の硬化後、前記ハウジング樹脂における前記凹部の壁部、前記凹部内の前記透明樹脂、前記透明樹脂の下の前記凹部の底部及び前記リードフレームシートを切断する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 凹部を有する成形型における前記凹部に未硬化状態の透明樹脂を供給する工程と、
同一平面上に配置されて相互に離隔した第1のリードフレームと第2のリードフレームとを有し、一方の面にLED(Light Emitting Diode)チップが実装されたリードフレームシートの他方の面を支持体に支持させた状態で、前記一方の面及び前記LEDチップを前記透明樹脂に押し付けて前記透明樹脂を硬化させる工程と、
前記透明樹脂の硬化後、前記支持体を剥離する工程と、
前記透明樹脂の硬化後、前記透明樹脂及び前記リードフレームシートを切断する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 前記透明樹脂において、前記成形型の前記凹部に充填された部分の間の部分を切断することを特徴とする請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記リードフレームシートを形成する工程は、
導電シートを上面側及び下面側からそれぞれ選択的にエッチングし、少なくとも前記下面側からのエッチングは前記導電シートを貫通する前に停止させることにより、前記第1のリードフレームの下面及び前記第2のリードフレームの下面にそれぞれ凸部を形成する工程を有し、
前記支持体を剥離すると、前記凸部の下面は前記透明樹脂から露出されることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。
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