JP2012181917A

JP2012181917A - ディスク面上を飛行するヘッドを備えた装置

Info

Publication number: JP2012181917A
Application number: JP2012116411A
Authority: JP
Inventors: Michael Allen Greminger; マイケル・アレン・グレミンガー; Meer Bradley Jay Ver; ブラッドリー・ジェイ・フェルメール; Markus Erwin Mangold; マルクス・アーウィン・マンゴールド
Original assignee: Seagate Technology LLC
Current assignee: Seagate Technology LLC
Priority date: 2009-09-30
Filing date: 2012-05-22
Publication date: 2012-09-20
Also published as: US10643655B2; US20110075302A1; JP2011076704A; JP5406153B2; CN102034489A; US8929032B2; CN102034489B; US20150085400A1

Abstract

【課題】ヘッドが磁気ディスクの表面を横断するときに、マイクロアクチュエータがヘッドの精密な位置制御を行なう一方、音声コイルモータがヘッドのマクロな位置制御を行なう。作動およびサスペンションシステムのためのより優れた構成が必要である。
【解決手段】本発明の装置は、ベースプレートの端部へ取付けられた、ディスク面上を飛行するヘッドを備えた装置であって、前記ベースプレートは傾斜したセクションを備え、前記傾斜したセクションは、前記装置のねじり軸を前記ヘッド側に傾けるように、前記ディスク面に対して傾斜しており、前記ねじり軸は、前記ヘッドを通る。
【選択図】図１Ｂ

Description

背景
磁気ディスクドライブは、一般に、磁気ディスクにデータを読取るおよび／または書込むために磁気ディスクの所望のトラック上にヘッドを配置するヘッドサスペンションに装着されたヘッドを含む。このような磁気ディスクドライブでは、大きさを小さくしたいという要望、記憶密度を増加させたいという要望、およびコストを下げたいという要望が絶え間なく存在する。大きさを小さくして記憶密度を増加させるために、データを記憶するディスク上のトラックは、より接近させて位置決めされる。トラック密度が高くなると、ヘッドの位置決めがデータの正確な読み書きにとってより重要になる。トラック密度が増加するにつれて、磁気ディスクの所望のトラック上で素早くかつ正確にヘッドを中央に置くようにヘッドサスペンションを制御することが、音声コイルモータおよびサーボ制御システムにとって益々困難になる。

ヘッドの精密な位置決めが不可欠になるにつれて、単一の作動源で正確にヘッドを位置決めすることもより困難になる。したがって、磁気ディスクに対してさらにヘッドを位置決めするために、マイクロアクチュエータが提案されてきた。ヘッドが磁気ディスクの表面を横断するときに、マイクロアクチュエータがヘッドの精密な位置制御を行なう一方、音声コイルモータがヘッドのマクロな位置制御を行なう。作動およびサスペンションシステムのためのより優れた構成が必要である。

概要
一実現例では、今回開示する技術は、ベースプレートの端部へ取付けられたヘッドを有する装置を教示する。ベースプレートは、ベースプレートのねじり軸がヘッド付近を通るようにする傾斜したセクションを含む。

別の実現例では、今回開示する技術は、ベースプレートに取付けられたロードビームを有する装置を教示する。当該装置は、また、ロードビームの、ベースプレートとは反対側の端部に取付けられたヘッドを含む。ベースプレートは、装置のねじり軸がヘッドを通るようにする、質量がシフトしたセクションを含む。

さらに別の実現例では、今回開示する技術は、ベースプレート共振振幅を減少させる方法を教示する。当該方法は、ヘッド付近を通るようにベースプレートねじり軸を移動させるように、サスペンション上のベースプレート質量を隣接するディスク面の方にシフトさせる工程を含む。

本明細書では、他の実現例についても説明し、記載する。

対応するねじり軸を有する例示的な水平なベースプレートの正面図である。対応するねじり軸を有する例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。平坦なベースプレートに対応する周波数応答関数Ａおよび傾斜したベースプレートに対応する周波数応答関数Ｂを示す。ロードビームおよびヘッドに取付けられた例示的な傾斜したベースプレートの平面図である。例示的な傾斜したベースプレートの平面図である。図４Ａの例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。例示的な多平面ベースプレートの平面図である。図５Ａの例示的な多平面ベースプレートの正面図である。例示的な多平面ベースプレートの平面図である。図６Ａの例示的な多平面ベースプレートの正面図である。対応するねじり軸を有する、アクチュエータアームの傾斜面に装着された例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。ベースプレートねじりモードが引起すヘッドのオフトラック運動を減少させるまたは解消するための例示的な工程を示す。

詳細な説明
ベースプレート上の圧電素子（または、他のマイクロアクチュエータモータ素子）が精密な位置制御のためにベースプレートを変形させることを可能にするのに十分な可撓性を有するヘッドサスペンションにおけるベースプレートは、望ましくない共振モードを生じさせる可能性がある。これらの望ましくない共振モードのうちの１つは、本明細書では、ベースプレートねじりモードと呼ばれる。ベースプレートねじりモードは、ヘッドサスペンションに沿って概して長手方向に走る軸の周りでのねじりを引起す。ねじり軸の厳密な位置は、ベースプレートにおける重量分布によって主に規定される。たとえば、ねじり軸は、ベースプレートがアクチュエータアームに取付けられている位置から、ベースプレートの質量中心線に沿って走っていてもよい。従来のマイクロアクチュエータサスペンションの構成では、十分なトラッキング性能を達成するために、駆動レベルのサーボ制御アルゴリズムがベースプレートねじりモードを補償する。しかしながら、この補償は、トラッキングシステムの全帯域幅を減少させる。

図１Ａは、対応するねじり軸１０６を有する例示的な水平なベースプレート１０２の正面図である。従来のマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、一般に、水平なベースプレート１０２、または代替的に、それぞれのヘッド１１２付近にまたはそれぞれのヘッド１１２にねじり軸１０６を通すように最適化されていない傾斜したベースプレートを利用する。水平なベースプレート１０２、ロードビーム１１０およびヘッド１１２は、一括して、ディスクドライブのためのサスペンションの一部である。ヘッド１１２は、ディスクが回転している間、ディスク面１１４の若干上方を「飛行」する。さらに、ヘッド１１２は、ディスクが回転しているとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。

例示的な水平なベースプレート１０２は、水平なベースプレート１０２を通って概して水平に走るねじり軸１０６を有する。ロードビーム１１０の一端は水平なベースプレート１０２の端部に装着され、ヘッド１１２はロードビーム１１０の反対側の端部に装着される。ねじり軸１０６がヘッド１１２と交わらないので、ねじり軸１０６の周りでのねじりは、ヘッド１１２が大幅に横方向にずれる（すなわち、ディスク面１１４に平行に、サスペンションの長手方向軸と直交してずれる）ことを招き得る。ベースプレートねじり軸１０６は図１Ａでは実質的に水平であるように示されているが、ベースプレートねじり軸１０６は、水平なベースプレート１０２の重量分布に応じて、上向きまたは下向きに角度がついていてもよい。とにかく、ベースプレートねじり軸１０６がヘッド１１２付近をまたはヘッド１１２を通らない場合に、大幅な横方向のずれが生じ得る。

図１Ｂは、対応するねじり軸１０８を有する例示的な傾斜したベースプレート１０４の正面図である。いくつかの実現例では、今回開示する技術に係るマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、傾斜したベースプレート１０４、および／または、それぞれの
ヘッド１１８付近にまたはそれぞれのヘッド１１８にねじり軸を通すように別のやり方で最適化されたベースプレートを利用する。傾斜したベースプレート１０４、ロードビーム１１６およびヘッド１１８は、同様に、ディスクドライブのための別のサスペンションの一部である。ヘッド１１８も、ディスクが回転している間、ディスク面１２０の若干上方を「飛行」し、ヘッド１１８も、ディスクが回転しているとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。

傾斜したベースプレート１０４は、水平なベースプレート１０２よりもディスク面１２０に近い質量分布を有する。これは、本明細書では、ディスク面１２０の方へのベースプレート１０４の質量のシフトと呼ばれる。その結果、傾斜したベースプレート１０４に対応するベースプレートねじり軸１０８も同様にディスク面１２０に接近するが、さらに、ディスク面１２０に向かって下向きにθ度の角度がついていてもよい。ベースプレートねじり軸１０８の厳密な角度および位置は、傾斜したベースプレート１０４の重量分布に依存する。傾斜したベースプレート１０４の重量分布は、ねじり軸１０８が、図１Ａのようにヘッド１１８の上方を通るのではなく、ヘッド１１８を通るように最適化される。ヘッド１１８付近にまたはヘッド１１８にねじり軸１０８を通すように最適化された例示的なベースプレートの構成については、図３〜図６Ｂに関して詳細に説明する。

ねじり軸１０８の周りでのねじりはベースプレートねじり軸１０８の周りでのベースプレート１０４およびロードビーム１１６の回転を依然として引起し得るが、ヘッド１１８の横方向のずれは大幅に減少または解消する。さらに、ロードビーム１１６に取付けられている傾斜したベースプレート１０４の端部は、ディスク面１２０に向かって角度がつけられる、および／または、水平なベースプレート１０２よりもディスク面１２０に接近するように方向付けられる。このため、ロードビーム１１６は、ディスク面１２０の上方でロードビーム１１６を所望の向きおよび高さに戻すための１つ以上の撓み１２２を有していてもよい。一実現例では、傾斜したベースプレート１０４の質量は、ロードビーム１１６および／またはヘッド１１８の質量よりも大幅に大きい。このため、撓み１２２がねじり軸１０８の位置に実質的に影響を及ぼすことはない。

一実現例では、傾斜したベースプレート１０４の一部のみが傾けられる。たとえば、傾斜したベースプレート１０４は、一方の側が水平であり他方の側が傾斜している状態の撓み線をその幅に亘って有していてもよい（たとえば、図３〜図４Ｂ参照）。別の実現例では、傾斜したベースプレート１０４全体が傾けられる。たとえば、傾斜したベースプレート１０４は、アクチュエータアーム上の傾斜面に取付けられてもよい。アクチュエータアーム上の傾斜面を利用する１つの利点は、ドライブサスペンションの残りの部分が変化のないままであり得ることである。さらに別の実現例では、アクチュエータアームのすべてまたは一部が傾けられてもよく、したがって、傾斜したベースプレート１０４も同様に傾けられる（たとえば、図７参照）。アクチュエータアームを傾斜させる上での１つの制約は、マルチディスクドライブではアクチュエータアームを傾斜させるための隙間の量が限られていることである。

図２は、平坦なベースプレートに対応する周波数応答関数Ａ２２４および傾斜したベースプレートに対応する周波数応答関数Ｂ２２６を示す。周波数応答関数Ａ２２４およびＢ２２６は、ベースプレートに加えられた共振が引起すヘッドのオフトラック運動を表わす。対応するベースプレートが、平坦であるか、または、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すように最適化されない場合、周波数応答関数Ａ２２４がヘッドのオフトラック運動を辿る。対応するベースプレートが、傾斜しているか、または、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すように最適化される場合、周波数応答関数Ｂ２２６がヘッドのオフトラック運動を辿る。例示的な傾斜したまたは最適化されたベースプレートは、図３〜図６Ｂに見出され得る。

周波数応答Ａ２２４は、およそ１５ｋＨｚ、１７ｋＨｚおよび２２ｋＨｚにおいて３つの際立った明確な共振モードを示す。およそ１５ｋＨｚでの共振モードがベースプレートねじりモードに対応する。より具体的には、ベースプレートねじりモードは、ドライブサスペンションに沿って概して長手方向に走る軸の周りでのヘッドの低次のねじりである。

周波数応答Ｂ２２６は、およそ１７ｋＨｚおよび２１ｋＨｚにおいて主な共振モードを２つだけ示す。一般に、高周波数共振モードよりも低周波数共振モードの方が、ヘッドの性能に対する影響が大きい。このため、１５ｋＨｚでの低次のベースプレートのねじりは、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すようにベースプレートの質量分布をシフトさせることによって、対処される。

周波数応答Ｂ２２６の１７ｋＨｚでの共振モードは、一般に、周波数応答Ａの１７ＫＨｚでの共振モードに対応する。同様に、周波数応答Ｂの２１ＫＨｚでの共振モードは、一般に、周波数応答Ａの２２ｋＨｚでの共振モードに対応する。周波数応答Ａ２２４の１５ｋＨｚでの共振モードは、おおむね、共振モードＢ２２６にはない。これは、傾斜したベースプレートのベースプレートねじり軸がヘッド付近をまたはヘッドを通るためである。その結果、ヘッドのオフトラック運動がほとんどまたは全くない。この例示的な実現例では、ベースプレートは２度傾けられていたが、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸をシフトさせるために必要な傾斜角度は、さまざまであり得る。

図３は、ロードビーム３１６およびヘッド３１８に取付けられた例示的な傾斜したベースプレート３０４の平面図である。いくつかの実現例では、傾斜したベースプレート３０４は概して多平面であり（すなわち、傾斜したベースプレート３０４は、２つ以上の平面上に位置する素子を含み）、撓み線３３０が２つ以上の平面を描いている。傾斜したベースプレート３０４の主要セクション３３４は、ディスク面におよそ平行に装着される。傾斜したベースプレート３０４のＴ字型セクション３３２は、ディスク面に向かって下向きに角度がついている（たとえば、図１Ｂにおけるベースプレート１０４参照）。Ｔ字型セクション３３２は、Ｔ字型セクション３３２の中央部分の両側に装着された１つ以上の圧電素子３２８（たとえば、１つ以上の圧電ダイ）を有していてもよい。圧電素子３２８は、印加された電界によって伸張したり収縮したりして、傾斜したベースプレート３０４の主要セクション３３４を基準としたＴ字型セクション３３２の微調整を制御する。ヘッドのマクロな位置制御は、音声コイルモータおよびサーボ制御システムを用いて、ディスク面に概して垂直に走る軸の周りで傾斜したベースプレート３０４全体を回転させることによって、達成される。

ロードビーム３１６の一端は、ベースプレート３０４のＴ字型セクション３３２の底部側に取付けられる。ロードビーム３１６は、ベースプレート３０４のマクロな位置制御およびＴ字型セクション３３２の微調整で動く。ヘッド３１８は、ロードビーム３１６の下側であって、反対側の端部に装着される。ベースプレート３０４のＴ字型セクション３３２がディスク面に向かって傾斜しているので、ロードビーム３１６は、ディスク面から離れるようにロードビーム３１６を撓ませる第１の撓み線３３６と、ディスク面の上方でロードビームを所望の高さおよび向きに方向付ける第２の撓み線３３８（たとえば、プリロード湾曲（preload bend））とを有する。ねじり軸３０８は、平面図において、ベースプレート３０４、ロードビーム３１６およびヘッド３１８の中心線を通る。ねじり軸３０８は、また、ヘッド３１８付近をまたはヘッド３１８を通るように、正面図においてディスク面に向かって下向きに角度がついている（たとえば、図４Ｂ参照）。

図４Ａは、例示的な傾斜したベースプレート４０４の平面図である。傾斜したベースプ
レート４０４は、撓み線４３０によって接続された主要セクション４３４とＴ字型セクション４３２とを有する。主要セクション４３４は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。Ｔ字型部分４３２は、ロードビームに取付けられるように構成され、ディスク面に向かって傾けられる。傾斜したＴ字型部分４３２は、傾斜したベースプレート４０４の質量中心をディスク面４２０の方に移動させる。

図４Ｂは、図４Ａの例示的な傾斜したベースプレート４０４の正面図である。傾斜したベースプレート４０４は、撓み線４３０によって接続された主要セクション４３４とＴ字型セクション４３２とを有する。ねじり軸４０８は、傾斜したベースプレート４０４の質量中心と一致している。したがって、Ｔ字型セクション４３２をディスク面４２０に向かって下向きに撓ませることによって、ねじり軸４０８も同様に、ディスク面４２０に向かって下向きに撓む。

図５Ａは、例示的な多平面ベースプレート５０４の平面図である。図４Ａおよび図４Ｂの傾斜したベースプレート４０４と同様に、多平面ベースプレート５０４は、主要セクション５３４とＴ字型セクション５３２とを有する。主要セクション５３４は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。Ｔ字型セクション５３２は、ロードビームに取付けられるように構成され、中央部分５５０と上部部分５５２とを含む。Ｔ字型セクション５３２は、第１の撓み線５４０と第２の撓み線５４２とを有し、第１の撓み線５４０および第２の撓み線５４２は、共同して、Ｔ字型セクション５３２の中央部分５５０を、ディスク面により近い平面に移動させる。

図５Ｂは、図５Ａの例示的な多平面ベースプレート５０４の正面図である。図５Ｂ上で左から右に移動して、多平面ベースプレート５０４の主要セクション５３４は、ディスク面５２０に平行に向けられ、ディスク面５２０から第１の距離のところにある。Ｔ字型セクション５３２の中央部分５５０は、第１の撓み線５４０において、これもディスク面５２０に平行であるがディスク面５２０により近い平面へとシフトされる。Ｔ字型セクション５３２の上部部分５５２は、第２の撓み線５４２において、これもディスク面５２０に平行な平面へとシフトされる。いくつかの実現例では、上部部分５５２は、ディスク面５２０からの距離が主要セクション５３４と同じところにある。他の実現例では、Ｔ字型セクション５３２の上部部分５５２は、第２の撓み線５４２において、これもディスク面５２０に平行であり、さらに中央部分５５０よりもディスク面５２０から離れている（または、ディスク面５２０に近い）が、ディスク面５２０からの距離が主要セクション５３４と同じところにあるわけではない平面へとシフトされる。ねじり軸５０８は、多平面ベースプレート５０４の質量中心と一致している。したがって、ディスク面５２０により近いＴ字型セクション５３２の中央部分５５０を撓ませることによって、ねじり軸５０８は、ディスク面５２０に向かって下向きに撓む。

図６Ａは、例示的な多平面ベースプレート６０４の平面図である。図４Ａおよび図４Ｂの傾斜したベースプレート４０４と同様に、多平面ベースプレート６０４は、主要セクション６３４とＴ字型セクション６３２とを有する。主要セクション６３４は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。Ｔ字型セクション６３２は、ロードビームに取付けられるように構成され、中央部分６５０と、第１の上部部分６４６と、第２の上部部分６４８とを含む。Ｔ字型セクション６３２は、第１の撓み線６４０と、第２の撓み線６４２と、第３の撓み線６４４とを有し、第１の撓み線６４０、第２の撓み線６４２および第３の撓み線６４４は、共同して、Ｔ字型セクション６３２の中央部分６５０を、ディスク面により近い平面に移動させる。

図６Ｂは、図６Ａの例示的な多平面ベースプレート６０４の正面図である。図６Ｂ上で
左から右に移動して、多平面ベースプレート６０４の主要セクション６３４は、ディスク面６２０に平行に向けられ、ディスク面６２０から第１の距離のところにある。Ｔ字型セクション６３２の中央部分６５０は、第１の撓み線６４０において、これもディスク面６２０に平行であるがディスク面６２０により近い平面へとシフトされる。Ｔ字型セクション６３２の第１の上部部分６４６および第２の上部部分６４８（図６Ａ参照）は、第２の撓み線６４２および第３の撓み線６４４においてそれぞれに、これもディスク面６２０に平行であるが、ディスク面６２０からの距離が主要セクション６３４と同じまたは類似のところにある平面へとシフトされる。

他の実現例では、Ｔ字型セクション６３２の第１の上部部分６４６および第２の上部部分６４８（図６Ａ参照）は、第２の撓み線６４２および第３の撓み線６４４においてそれぞれに、これもディスク面６２０に平行であり、中央部分６５０よりもさらにディスク面６２０から離れている（または、ディスク面６２０に近い）が、ディスク面６２０からの距離が主要セクション６３４と同じところにあるわけではない平面へとシフトされる。ねじり軸６０８は、多平面ベースプレート６０４の質量中心と一致している。ディスク面６２０により近いＴ字型セクション６３２の中央部分を撓ませることによって、ねじり軸６０８は、ディスク面６２０に向かって下向きに撓む。この実現例では、多平面ベースプレート６０４は、（図６Ｂに示される実現例における２つの平面と比較して）３つの平面を有する。

ディスク面に向かってベースプレートのすべてまたはあるセクションを傾斜させるおよび／または撓ませることによって、サスペンションとディスクとの間の隙間が減少する。図５の多平面ベースプレート５０４と比較して、図６の撓んだ中央部分６５０は、図５の撓んだ中央部分５５０よりも大きい。その結果、ねじり軸６０８の同じ撓みを達成するために、中央部分６５０の撓みの量は中央部分５５０未満であり得る。同様に、図４Ａおよび図４Ｂの傾斜したベースプレート４０４は、サスペンションとディスクとの間の隙間を図５Ａ〜図６Ｂの多平面ベースプレート５０４、６０４未満に減少させる。なぜなら、傾斜したベースプレート４０４の傾斜した部分が、多平面ベースプレート５０４、６０４の撓んだ部分よりも大きいためである。多平面ベースプレート６０４がディスク面６２０に近接して装着されるので、多平面ベースプレート６０４とディスク面６２０との間の隙間の問題のために、多平面ベースプレート６０４が図５の多平面ベースプレートよりも好ましいかも知れない。

例示的な実現例では、図４Ａおよび図４Ｂの傾斜したベースプレート４０４は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を０．０７５ｍｍだけ減少させる。図５Ａおよび図５Ｂの多平面ベースプレート５０４は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を１．５ｍｍだけ減少させる。図６Ａおよび図６Ｂの多平面ベースプレート６０４は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を１．０ｍｍだけ減少させる。

傾斜したベースプレート４０４に優る多平面ベースプレート５０４、６０４の１つの利点は、ヘッドの精密な位置制御のための圧電素子がサスペンションおよびディスク面に平行なままであることである。これは、サスペンションへの圧電素子の組立を簡略化する。なぜなら、圧電素子は、サスペンションの残りの部分に対してある角度をなして組立てられることはないためである。

図３〜図６Ｂに示されるベースプレート形状因子は単に例であり、本明細書では、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにベースプレートねじり軸を最適化する他の形状因子が意図される。さらに、図１Ｂ、図３、図４Ａおよび図４Ｂの傾斜したベースプレート、ならびに、図５Ａ〜図６Ｂの多平面ベースプレートは、さまざまな形成技術（たとえば、プ
レスブレーキ、スタンピング、曲げ、鋳造、押出成形および／またはモールディング）を用いて作成されてもよい。さらに、傾斜したベースプレートおよび多平面ベースプレートは、たとえば鋼、アルミニウム、銅およびチタンを含むさまざまな金属合金から構成されてもよい。また、さらに、傾斜したベースプレートおよび多平面ベースプレートは、さまざまな硬質プラスチック、たとえばポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリスチレンを含んでいてもよい。

図７は、対応するねじり軸７０８を有する、アクチュエータアーム７５４の傾斜面７５２上に装着された例示的な傾斜したベースプレート７０４の正面図である。いくつかの実現例では、今回開示する技術に係るマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、それぞれのヘッド７１８付近にまたはそれぞれのヘッド７１８にねじり軸７０８を通すように最適化される所望の傾斜角度を達成するために、アクチュエータアーム７５４上の傾斜面７５２にベースプレート７０４を装着する。アクチュエータアーム７５４、傾斜したベースプレート７０４、ロードビーム７１６およびヘッド７１８はすべて、ディスクドライブのためのサスペンションの一部である。ヘッド７１８は、ディスク面７２０の若干上方を「飛行」し、ディスクが回転するとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。

傾斜したベースプレート７０４は、図１Ａの水平なベースプレート１０２よりもディスク面７２０に近い質量分布を有し得る。これは、本明細書では、ディスク面７２０の方へのベースプレート７０４の質量のシフトと呼ばれる。その結果、傾斜したベースプレート７０４に対応するねじり軸７０８も同様に、ディスク面７２０に接近する。さらに、ベースプレート７０４を傾斜させることは、また、ねじり軸７０８をディスク面７２０の方に傾斜させ得る。ベースプレートねじり軸７０８の厳密な角度および位置は、傾斜したベースプレート７０４の重量分布および傾斜面７５２の角度に依存する。傾斜したベースプレート７０４の重量分布は、ねじり軸７０８が、図１Ａのようにヘッド１１２の上方ではなく、ヘッド７１８付近をまたはヘッド７１８を通るように最適化される。

ねじり軸７０８の周りでのねじりはベースプレートねじり軸７０８の周りでのベースプレート７０４およびロードビーム７１６の回転を依然として引起し得るが、ヘッド７１８の横方向のずれは大幅に減少または解消する。さらに、ロードビーム７１６に取付けられている傾斜したベースプレート７０４の端部は、ディスク面７２０に向かって角度がつけられる、および／または、図１Ａの水平なベースプレート１０２よりもディスク面７２０に接近するように方向付けられる。このため、ロードビーム７１６は、ディスク面７２０の上方でロードビーム７１６を所望の向きおよび高さに戻すために１つ以上の撓み７２２を有していてもよい。

図８は、ベースプレートねじりモードが引起すヘッドのオフトラック運動を減少または解消するための例示的な工程を示す。位置付け工程８０２において、ヘッドサスペンション上でベースプレートからヘッドに向かって延びるベースプレートねじり軸を位置付ける。ベースプレートねじり軸は、ベースプレートねじり軸に沿って、ベースプレート、ロードビームおよびヘッドのねじりを引起す少なくとも１つのベースプレートねじりモードに対応する。

傾斜工程８０４において、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸を移動させるように、ディスクに向かって（または、ディスクから離れるように）ベースプレートを傾斜させる。ベースプレートを傾斜させることによって、ベースプレートの質量分布がディスクの方に移動する。ねじり軸の位置がベースプレートの重量分布に関連するので、ねじり軸もディスクの方に移動する。アクチュエータアーム上の傾斜面上にベースプレートを装着することによって、ベースプレート全体をディスクの方に傾斜させてもよい。または、アクチュエータアーム自体を傾斜させてもよく、したがって、アクチュエータアーム
に装着されたベースプレートも同様に傾けられる。ベースプレートが１つ以上の湾曲部を有する実現例では、ベースプレートの１つ以上のセクションのみが傾けられ、ベースプレートの残りの部分はディスクと水平である。

移動工程８０６において、質量をシフトさせ、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸を移動させるように、ディスクの方に（または、ディスクから離れるように）ベースプレートの少なくとも一部を移動させる。ベースプレートを傾斜させることと同様に、ディスクの方にベースプレートをシフトさせることによって、ベースプレートの質量分布がディスクの方に移動する。ねじり軸の位置がベースプレートの重量分布に関連するので、ねじり軸もディスクの方に移動する。いくつかの実現例では、ねじり軸は、ベースプレートの質量中心を通って走っている。例示的なシフト工程において、ベースプレートの中央部分は、ベースプレートの残りの部分よりもディスクに近い平面へとシフトされてもよい。ベースプレートの質量をシフトさせること（質量シフト工程）は、ベースプレートまたはベースプレートが取付けられた面の少なくとも一部を少なくとも傾斜させること（たとえば、工程８０４参照）、または、ベースプレートの少なくとも一部を移動させること（たとえば、工程８０６参照））を含む。

（１）本発明の実施の形態の一の装置は、ベースプレートの端部へ取付けられたヘッドを備えた装置であって、前記ベースプレートは傾斜したセクションを備え、前記傾斜したセクションは前記装置のねじり軸が前記ヘッド付近を通るようにする、装置である。

（２）また、前記ベースプレートは、隣接するディスク面に概して平行な主要セクションをさらに備え、前記傾斜したセクションは、前記主要セクションよりも前記ディスク面に近づくように前記ディスク面に向かって傾斜していてもよい。

（３）また、前記傾斜したセクションは、隣接するディスク面に向かっておよそ２度傾けられていてもよい。

（４）また、前記ベースプレートに取付けられ、前記ヘッドの細密な運動制御を行なうために前記ベースプレートを変形させるように構成された少なくとも１つの圧電素子をさらに備えていてもよい。

（５）また、前記ベースプレートは、前記傾斜したセクションと前記主要セクションとの間に撓み線をさらに備えていてもよい。

（６）前記傾斜したセクションは、Ｔ字型セクションを備えていてもよい。
（７）本発明は、ロードビームをさらに備え、前記ロードビームは、隣接するディスク面から離れるように前記ロードビームを撓ませる第１の撓み線と、前記ロードビームを前記ディスク面の方に撓ませる、前記第１の撓み線と前記ヘッドとの間の第２の撓み線とを含んでいてもよい。

（８）前記ねじり軸は、前記ヘッドを通っていてもよい。
（９）本発明の実施の形態の他の装置は、ベースプレートに取付けられたロードビームと、前記ロードビームの、前記ベースプレートとは反対側の端部に取付けられたヘッドとを備えた装置であって、前記ベースプレートは質量がシフトしたセクションを備え、前記質量がシフトしたセクションは、前記装置のねじり軸が前記ヘッドを通るようにする、装置である。

（１０）前記ベースプレートは、１つ以上の平面的な面を備えていてもよい。
（１１）前記ベースプレートは、主要部分と、前記主要部分よりも隣接するディスク面の近くに位置する中央部分とを備えていてもよい。

（１２）前記ベースプレートは、前記主要部分と前記中央部分との間の第１の撓み線と、前記中央部分に隣接する上部部分とをさらに備え、前記上部部分は、前記中央部分とは異なる平面的な面上にあってもよい。

（１３）前記上部部分および前記主要部分は、前記ディスク面からおよそ等しい距離離れていてもよい。

（１４）前記主要部分は、前記上部部分よりも前記ディスク面に近くてもよい。
（１５）前記中央部分および前記上部部分は、Ｔ字型を備えていてもよい。

（１６）前記中央部分は、第２の撓み線に隣接する第１の上部部分と、第３の撓み線に隣接する第２の上部部分とを備え、前記中央部分は、前記第１の上部部分と前記第２の上部部分とを隔ていてもよい。

（１７）本発明の別の実施の形態の装置は、ベースプレートに取付けられたロードビームと、前記ロードビームの、前記ベースプレートとは反対側の端部に取付けられたヘッドとを備えた装置であって、前記ベースプレートはアクチュエータアームの傾斜面に取付けられ、前記傾斜面は、前記装置のねじり軸が前記ヘッドを通るようにする、装置である。

（１８）本発明の実施の形態の方法は、ベースプレート共振振幅を減少させる方法であって、ヘッド付近を通るようにベースプレートねじり軸を移動させるように、サスペンション上のベースプレート質量を隣接するディスク面の方にシフトさせる工程を備える、方法である。

（１９）前記シフトさせる工程は、ベースプレートの傾斜したセクションが前記ディスク面に向かって延びるようにベースプレートの少なくともあるセクションを傾斜させる工程を含んでいてもよい。

（２０）前記シフトさせる工程は、ベースプレートのあるセクションを前記ディスク面に近づける工程を含んでいてもよい。

（２１）前記シフトさせる工程は、ベースプレートをアクチュエータアーム上の傾斜面に装着する工程を含んでいてもよい。

上記の明細書、例およびデータは、この発明の例示的な実施例の構造および用途を完全に説明する。この発明の多くの実施例がこの発明の精神および範囲から逸脱することなくなされ得るので、この発明は、以下に添付される特許請求の範囲に属する。さらに、記載される特許請求の範囲から逸脱することなく、さらに別の実施例では異なる実施例の構造的特徴が組合せられてもよい。

１０２，１０４ベースプレート、１０６，１０８ねじり軸、１１２，１１８ヘッド。

Claims

ベースプレートの端部へ取付けられた、ディスク面上を飛行するヘッドを備えた装置であって、
前記ベースプレートは傾斜したセクションを備え、前記傾斜したセクションは、前記装置のねじり軸を前記ヘッド側に傾けるように、前記ディスク面に対して傾斜しており、
前記ねじり軸は、前記ヘッドを通る、装置。
前記ベースプレートは、隣接する前記ディスク面に概して平行な主要セクションをさらに備え、前記傾斜したセクションは、前記主要セクションよりも前記ディスク面に近づくように前記ディスク面に向かって傾斜する、請求項１に記載の装置。
前記ベースプレートは、前記傾斜したセクションと前記主要セクションとの間に撓み線をさらに備える、請求項２に記載の装置。
前記傾斜したセクションは、Ｔ字型セクションを備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
前記ベースプレートに取付けられ、前記ヘッドの細密な運動制御を行なうために前記ベースプレートを変形させるように構成された少なくとも１つの圧電素子をさらに備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
ロードビームをさらに備え、前記ロードビームは、隣接する前記ディスク面から離れるように前記ロードビームを撓ませる第１の撓み線と、前記ロードビームを前記ディスク面の方に撓ませる、前記第１の撓み線と前記ヘッドとの間の第２の撓み線とを含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
前記傾斜したセクションは、隣接する前記ディスク面に向かっておよそ２度傾けられる、請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置。