JP2012183626A - 平面研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】立形両頭平面研削盤を用いてワークを研削する際に、ワークと定盤とが接触することを確実に防止して研削精度や砥石寿命を向上させることができる平面研削方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを研削する際に、まず、下側砥石１１の研削面１２を、定盤上面３１よりも上方となるように位置決めするとともに、上側砥石２１の研削面２２を、下側砥石１１の研削面１２との間にワークＷを搬入できる間隔を空けて位置決めする。ついで、移載アーム４０を回転させることで、ワークＷを下側砥石１１の研削面１２と上側砥石２１の研削面２２との間に搬入する。ついで、下側主軸１０を上方に移動させるとともに、上側主軸２０を下方に移動させ、ワークＷの上下面を研削する。そして、下側主軸１０を元の位置に戻し、ワークＷを定盤上面３１へと搬出する。
【選択図】図４

Description

本発明は、立形両頭平面研削盤によって、被研削物の上下面を平面研削する方法に関する。

従来の一般的な立形両頭平面研削盤（以下、単に「研削盤」という）の概略構成を図４に示す。同図４に示すように、この研削盤１は、鉛直方向に同軸に配設された下側及び上側主軸１０，２０と、この主軸１０，２０の相互に対向する端部にそれぞれ固設されたカップ形の砥石１１，２１と、前記主軸１０，２０をそれぞれ軸回りに回転させる駆動モータ１３，２３と、前記主軸１０，２０をそれぞれ昇降させる下側及び上側昇降機構１４，２４と、ワークＷが載置される定盤３０と、ワークＷを保持して移載する移載アーム４０と、当該移載アーム４０を垂直軸を中心に水平回転させるアーム回転駆動機構４３と、前記移載アーム４０に保持されたワークＷをその軸心回りに回転させるワーク回転駆動機構４４と、前記駆動モータ１３，２３、昇降機構１４，２４、アーム回転駆動機構４３及びワーク回転駆動機構４４を制御する制御装置５０とを備えている。

前記各砥石１１，２１は、それぞれの開口側端面が平坦な研削面１２，２２となっており、これら研削面１２，２２が対向し、且つ前記主軸１０，２０と同軸となるように当該主軸１０，２０に固設されている。また、前記主軸１０，２０は、前記駆動モータ１３，２３によって同方向、或いは相互に逆方向に回転されるとともに、前記下側及び上側昇降機構１４，２４によってそれぞれ個別に軸方向に昇降される。

斯くして、前記下側及び上側昇降機構１４，２４は、前記制御装置５０により、前記主軸１０，２０を昇降させて、前記各砥石１１，２１の研削面１２，２２を予め設定した位置に位置決めする。尚、前記各砥石１１，２１の研削面１２，２２はそれぞれ水平になっている。

前記定盤３０は、前記下側主軸１０の砥石１１の側方にこれに近接して配置されている。この定盤３０の上面３１は、前記研削面１２，２２と平行になっており、当該上面３１に載置されたワークＷが、前記移載アーム４０によって前記砥石１１の研削面１２上に移載される。

前記移載アーム４０の平面図を図５に示す。同図に示すように、この移載アーム４０は、その両端部にそれぞれ、鉛直方向に貫通したワーク保持穴４２，４２を備えており、このワーク保持穴４２，４２内にそれぞれワークＷを保持することができるようになっている。

また、移載アーム４０は、その中央部に、前記定盤上面３１に対して垂直な回転軸４１を備えており、前記アーム回転駆動機構４３によって当該回転軸４１が回転されることにより、この回転軸４１を中心として例えば、図５（ａ）の矢示Ａ方向に回転し、前記定盤上面３１に載置されたワークＷを前記砥石１１の研削面１２上に搬入するとともに、前記砥石１１の研削面１２上にあるワークＷを定盤上面３１に搬出する。尚、移載アーム４０は左右対称形であるので、図５においては、その一端側の図示を省略した。

また、前記ワーク回転駆動機構４４の具体的な構造は図示しないが、移載アーム４０のワーク保持穴４２，４２に保持されたワークＷは、かかるワーク回転駆動機構４４によって、図５（ｂ）に図示した如く、例えば、矢示Ｂ方向に回転されており、このように回転された状態で、下側砥石１１の研削面１２上に搬入され、定盤上面３１上に搬出される。尚、ワーク保持穴４２，４２に保持されたワークＷは、移載アーム４０によって研削面１２上に移載されたとき、ワーク回転駆動機構４４によって回転され、定盤３０上に搬出されたとき、その回転が停止されるようになっていても良い。

尚、ワークＷを定盤３０と砥石１１の研削面１２との間で搬送する機構としては、図４及び図５に示した所謂ダブルアーム形式の前記移載アーム４０に限られるものではなく、一端にのみワーク保持穴を備えた所謂シングルアーム形式のものでもよい。或いは、周縁部に複数の保持穴を所定間隔で環状に備えた円板状部材を用い、これを水平回転させて搬送する所謂ロータリキャリア方式による機構のものでも良い。

そして、以上の構成を備えた研削盤１を用いてワークＷの上下面を平面研削する従来の研削方法としては、まず、前記下側昇降機構１４により前記下側主軸１０を移動させ、前記砥石１１の研削面１２が定盤上面３１よりも僅かに上方（通常５μｍ以上１５μｍ以下）に位置するように位置決めするとともに、前記上側昇降機構２４により前記上側主軸２０を移動させ、前記砥石１１の研削面１２との間にワークＷを搬入可能な間隔を有するように、砥石２１の研削面２２を位置決めする。

尚、このとき、移載アーム４０の一方は定盤３０の上方にあり、そのワーク保持穴４２にはワークＷが保持され、他方は砥石１１，２１間に位置し、そのワーク保持穴４２にはワークＷが保持されていないものとする。

ついで、前記アーム回転駆動機構４３により移載アーム４０を回転させて、そのワーク保持穴４２に保持されたワークＷを定盤上面３１から砥石１１の研削面１２上に移載した後、上側昇降機構２４により上側主軸２０を下降させて、砥石２１の研削面２２をワークＷの上面に当接させ、当該研削面１２，２２によってワークＷの上下面を所定量研削する。尚、上述したように、前記ワークＷは、ワーク回転駆動機構４４によってその軸中心に回転されている。

次に、このようにして研削加工を完了した後、上側主軸２０を上昇させて砥石２１をワークＷから離反させ、しかる後、前記アーム回転駆動機構４３により再度移載アーム４０を回転させることにより、研削済みのワークＷを前記研削面１２から定盤上面３１へと移載する。

このとき、移載アーム４０の、定盤３０の上方に位置する他方のワーク保持穴４２には、新たなワークＷが供給されて保持されており、前記移載アーム４０の回転により、この新たなワークＷが前記研削面１２上に移載される。

斯くして、以後、上記と同様の動作を繰り返すことによって、連続的にワークＷが研削加工される。

ところで、このような一般的な研削盤１及びこれを用いた研削方法において、これを改良した両頭平面研削装置及びその研削方法として、従来、特開平１０−５４３号公報に開示されたものが提案されている。

この両頭平面研削装置は、上述した従来の研削盤１の構成に加えて、下側砥石の研削面上に載置されたワークの下面と定盤上面との間の上下方向の間隔を検知する非接触センサを備えており、複数のワークを連続加工することによって生じる下側砥石研削面の摩耗量を、前記非接触センサによって検出できるようになっている。

そして、検出した摩耗量に相当する寸法だけ下側砥石を上昇させることで、下側砥石の研削面が常に定位置に位置するように、これを制御している。

下側砥石の研削面が摩耗により下方に後退して、その上下方向の位置が定盤上面に近づくと、加工中にワーク下面と定盤上面とが接触して、当該ワーク下面が損傷することになるが、特開平１０−５４３号公報に開示された研削装置及びその研削方法では、下側砥石の研削面を常に定位置に位置するように制御することで、このような問題が生じるのを防止しようとしている。

特開平１０−５４３号公報

ところが、上記従来の一般的な研削盤１においては、ワークＷを移載する際の、前記下側砥石１１の研削面１２の位置（搬入位置）、並びにワークＷを研削する際の前記研削面１２の位置（研削位置）が同じ位置であり、しかも、これら搬入位置及び研削位置は、上述したように、定盤上面３１よりも僅かに上方に設定されているため、以下に説明するような問題があった。

即ち、前記下側砥石１１の研削面１２上にあるワークＷに上側砥石２１の研削面２２を押し当てて当該ワークＷを研削する際、当然のことながら、当該砥石１１，２１に研削負荷が作用し、また、下側砥石１１には、研削負荷に加えてワークＷの重量による荷重も作用するが、このような荷重は、図６（ａ）のように、上側主軸２０及び下側主軸１０に対して、その中心軸から外れた偏荷重となっており、砥石１１，２１に作用する負荷が軽負荷である場合にはあまり問題とならないものの、重負荷が作用する場合には、図６（ｂ）に示すように、下側主軸１０及び上側主軸２０の各フランジが傾く或いは砥石１１，２１が撓むことで、ワークＷの下面が定盤上面３１に接触し、当該ワークＷの下面及び定盤上面３１が損傷するという問題を生じるのである。尚、図６（ｂ）では、傾いた状態を分かり易くするために、実際よりも大きい傾斜角度で図示している。

また、ワークＷ下面と定盤上面３１とが接触することで、ワークＷが定盤３０に支えられた状態となるため、上側砥石２１の研削量よりも下側砥石１１の研削量の方が小さくなり、下側砥石１１の目詰まりが発生する或いはワークＷの上下面の研削代を適切に配分することが困難になるという問題も生じる。加えて、ワークＷが傾いた状態で研削されることにもなるため、研削精度（特に平面度）の低下や砥石１１，２１の型崩れが発生するという問題も生じ、砥石１１，２１の型崩れが頻繁に発生することで、ドレッシング作業の必要回数が増加し、加工コストが増加するという問題も発生する。

これらの問題は、前記搬入位置を上方に上げることで解消されるが、かかる搬入位置を上方に設定すると、下側砥石１１の研削面１２と定盤上面３１との段差が大きくなりすぎ、下側砥石１１の研削面１２から定盤上面３１へとワークＷを移載する際に、下側砥石１１のエッジ部分で研削後のワークＷ下面が傷つきやすくなるという問題や、この段差が障害となって、ワークＷを研削面１２上に移載することができないという根本的な問題を生じる。

尚、前記搬入位置及び研削位置が同じ位置に設定され、これらの位置が定盤上面から僅か上方に設定されているという点については、特開平１０−５４３号公報に開示された研削装置も同様であり、当該研削装置においても上記と同様の問題が生じていた。

本発明は、以上の実情に鑑みなされたもので、研削時に、ワークと定盤とが接触することを確実に防止して研削精度や砥石寿命を向上させることができる平面研削方法の提供を、その目的とする。

上記課題を解決するための本発明は、
それぞれ平坦な研削面を有する一対の砥石を、その前記研削面同士が対向するように上下に配設するとともに、該一対の砥石をそれぞれその研削面と直交する軸を中心に回転させ、ついで、載置台上に配置した被研削物を水平方向にスライドさせて前記一対の砥石間に搬入し、ついで、前記一対の砥石研削面によって前記被研削物の上下面を研削加工するようにした平面研削方法であって、
前記下側砥石を、前記載置台上の被研削物をその研削面上にスライド搬入可能な位置に位置決めするとともに、前記上側砥石を、非接触で前記被研削物を搬入可能な間隔をもって前記下側砥石の上方に位置決めし、
ついで、前記載置台上の被研削物をスライド搬入せしめて前記下側砥石の研削面上に載置し、
この後、前記下側砥石を上昇させることにより、又は、前記下側砥石を上昇させるとともに前記上側砥石を下降させることにより、前記被研削物の上面を前記上側砥石の研削面に当接せしめて、前記被研削物の上下面を研削加工し、
ついで、前記下側砥石を下降させて、前記被研削物を前記載置台上にスライド搬出可能な位置に位置決めし、
この後、前記下側砥石上の被研削物を前記載置台上に搬出するようにしたことを特徴とする平面研削方法に係る。

この平面研削方法によれば、まず、下側砥石を、上側砥石との間に被研削物が搬入可能な間隔を空け、且つ載置台上の被研削物をスライド搬入可能な位置、即ち、搬入位置に位置決めした後、前記載置台上の被研削物を下側砥石の研削面上に載置する。

ついで、前記下側砥石を、前記搬入位置の上方に設定された研削位置まで上昇させ、下側砥石を研削位置に上昇させた状態で、当該下側砥石及び上側砥石によって前記被研削物の上下面を研削加工する。

そして、研削加工完了後、下側砥石を、被研削物を載置台上にスライド搬出可能な位置、即ち、搬出位置に下降させ、下降後、被研削物を載置台上に搬出する。

このように、本発明によれば、被研削物の研削位置を当該被研削物の搬入位置よりも上方に設定しているので、この研削位置を適正な位置に設定することで、例え、研削時に重負荷が作用したとしても、かかる重負荷に起因した砥石の撓みや弾性変形或いは主軸の傾きにより被研削物下面と定盤上面とが接触するのを確実に防止して研削精度や砥石寿命を向上させることができる。また、この接触によって生じるワークや定盤の損傷を未然に防止することもできる。

一方、被研削物を搬入，搬出する際には、下側砥石を、載置台上との間で被研削物をスライド搬送可能な位置に位置決めするようにしており、従来と同様に、下側砥石と載置台上との間で、被研削物をスムーズに搬送することができる。

尚、前記搬入位置と搬出位置は同じ位置でも、これらが異なる位置でも良く、各位置は、下側砥石の研削面が前記載置台上面よりも上方となるような位置でも良い。

また、前記搬入位置における下側砥石の研削面が前記載置台上面よりも下方に位置し、前記搬出位置における同研削面が前記載置台上面よりも上方に位置するように設定してもよい。

このようにすることで、搬入，搬出のいずれの場合にも、搬送方向において、突出した出っ張りが生じず、よりスムーズに被研削物を搬送することができる。

また、前記研削位置における前記下側砥石の研削面は、前記載置台上面から２０μｍ以上３００μｍ以下（より好ましくは３０μｍ以上１２０μｍ以下）となる位置であるのが好ましい。同研削面の位置を載置台上面より２０μｍ以上上方に設定することで、研削時に被研削物下面と載置台上面とが接触するのを効果的に防止でき、一方、３００μｍ以下にすることで、下側砥石の上昇時間が長くなるのを適正な範囲に抑えることができ、研削加工のサイクルタイムが長くなるのを許容範囲内に抑えることができる。

以上説明したように、本発明に係る平面研削方法によれば、研削位置を被研削物の搬入位置よりも上方に設定したので、研削時に重負荷が作用したとしても、被研削物下面と載置台上面とが接触するのを確実に防止して研削精度の低下及び偏摩耗に伴う砥石コストの増加を防止することができる。また、上述したような、下側砥石の目詰まり、ワークの研削代の片寄り、ワークや載置台の損傷といった問題の発生も未然に防止することができる。

本発明に係る平面研削方法の手順を示す説明図である。尚、移載アームは一端のみ図示した。 本発明に係る平面研削方法の手順を示す説明図である。尚、移載アームは一端のみ図示した。 本発明に係る平面研削方法の手順を示す説明図である。尚、移載アームは一端のみ図示した。 従来の立形両頭平面研削盤の概略構成を示す正面図である。 従来の立形両頭平面研削盤における移載アームを示す平面図である。尚、移載アームは一端のみ図示した。 従来の立形両頭平面研削盤で砥石研削面の傾きが生じる過程を示す説明図である。

以下、本発明の具体的な実施形態に係る平面研削方法について、図面を参照しつつ説明する。尚、本実施形態において用いる立形両頭平面研削盤については、図４に示した従来の研削盤１と同様のものである。したがって、その具体的な構成についての説明は、これを省略する。

本実施形態に係る平面研削方法によれば、まず、下側昇降機構１４により下側主軸１０及び下側砥石１１を移動させて、図１（ａ）に示すように、下側砥石１１の研削面１２が、定盤上面３１よりも僅かに上方に位置するように位置決めするとともに、上側砥石２１の研削面２２が、前記下側砥石１１の研削面１２との間にワークＷを搬入可能な間隔を有するように、前記上側昇降機構２４により前記上側主軸２０及び上側砥石２１を移動させて位置決めする。以下、この下側砥石１１及び上側砥石２１の位置を「ワーク搬入位置」という。

このように、本例では、ワーク搬入位置における前記研削面１２の位置を、定盤上面３１より僅か上方に設定して、研削面１２と定盤上面３１との間に段差を設けているが、これは、後にこの研削面１２上にワークＷが搬入，載置されたときに、当該ワークＷの下面と定盤上面３１とが接触するのを防止するためである。また、ワーク搬入位置は、後述するようにワーク搬出位置でもあり、ワークＷを搬出する際に、砥石１１のエッジ部分によって研削後のワークＷ下面が傷つきやすくなるのを防止するためである。

一方、研削面１２と定盤上面３１との間に段差を設けると、この段差が、ワークＷを研削面１２上にスライド搬送する際の障害となるため、当該段差は極力小さい方が好ましい。

以上を考慮すると、上記段差は、総じて５μｍ〜１５μｍの範囲内に設定するのが好ましい。例えば、ワークＷの重量が重い場合には１５μｍ程度、重量が軽い場合には５μｍ程度に前記段差を設定するようにしても良いし、ワークＷの重量に関係なく、当該段差を設定するようにしても良い。

尚、このようにして、下側砥石１１及び上側砥石２１がワーク搬入位置に位置決めされたとき、移載アーム４０の一方端は定盤３０の上方にあって、そのワーク保持穴４２にはワークＷが保持されており、他方端は砥石１１，２１間に位置して、そのワーク保持穴４２にはワークＷが保持されていないものとする。図１〜図３においては、移載アーム４０の他方端側の図示を省略している。

また、定盤３０の上方に位置する前記ワーク保持穴４２へのワークＷの供給及び後述する取出しは、ローダーやロボット等の適宜自動装置を用いてこれを行うことができる。

ついで、図１（ｂ）に示すように、アーム回転駆動機構４３によって回転軸４１を回転させることで、移載アーム４０を１８０°回転させ、前記一方端側のワーク保持穴４２に保持された状態で定盤上面３１に載置されたワークＷを、ワーク回転駆動機構４４によってその軸中心に回転させつつ、下側砥石１１の研削面１２と上側砥石２１の研削面２２との間に搬入して下側砥石１１の研削面１２上に載置する。尚、下側砥石１１の研削面１２と上側砥石２１の研削面２２との間に搬入した後、ワークＷをワーク回転駆動機構４４によってその軸中心に回転させるようにしても良い。

ついで、図２（ａ）に示すように、下側昇降機構１４によって下側主軸１０及び下側砥石１１を距離ｄ_１だけ上昇させるとともに、上側昇降機構２４によって上側主軸２０及び上側砥石２１をワークＷに向けて距離ｄ_２（切込み量）だけ下降させる。その際、下側主軸１０及び下側砥石１１の上昇速度は特に制限はないが、上側主軸２０及び上側砥石２１の下降速度は、研削加工速度とする。

これにより、上側砥石２１の研削面２２がワークＷの上面に当接し、下側砥石１１の研削面１２及び上側砥石２１の研削面２２によって、ワークＷの上下面が研削される。

尚、下側砥石１１の上昇量ｄ_１は、定盤上面３１とワークＷの下面（即ち、下側砥石１１の研削面１２）との間の距離が、研削負荷等に起因した下側及び上側主軸１０，２０や下側砥石１１の変形によっても、ワークＷの下面と定盤上面３１とが接触しないような距離となるように適宜設定される量であり、定盤上面３１と前記研削面１２との間の距離が２０μｍ以上３００μｍ以下（より好ましくは３０μｍ以上１２０μｍ以下）の範囲内となるような量（例えば、ｄ_１＝５０μｍ）に設定するのが好ましい。２０μｍ未満の場合には、研削負荷等に起因したワークＷ下面と定盤上面３１との接触を有効に防止することができず、一方、３００μｍを越えると、下側砥石１１の上昇時間が長くなり、研削加工のサイクルタイムが許容範囲を超えて長くなるからである。

また、切込み量ｄ_２は、ワークＷの上下面に設定された研削代の合計に相当する量であり、この切込み量ｄ_２についても適宜設定される。

斯くして、研削完了後のワークＷの厚みをｔとすると、前記ワーク搬入位置における上側砥石２１の研削面２２の位置、即ち、下側砥石１１の研削面１２からの距離Ｌは下式によって算出され、上側砥石２１の研削面２２の位置は、下側砥石１１の研削面１２から距離Ｌだけ上方に設定される。

Ｌ＝ｄ_１＋ｄ_２＋ｔ

上記のようにして、ワークＷの研削を完了すると、次に、図２（ｂ）に示すように、下側昇降機構１４及び上側昇降機構２４によって、それぞれ下側主軸１０及び上側主軸２０を元の前記搬入位置に復帰させる。

その後、図３に示すように、アーム回転駆動機構４３により移載アーム４０を１８０°回転させて、研削完了後のワークＷを下側砥石１１の研削面１２上から定盤上面３１へと搬出する。

尚、移載アーム４０の、定盤３０の上方に位置する他方のワーク保持穴４２には、上記と同様にして新たなワークＷが供給されて保持されており、前記移載アーム４０の回転により、この新たなワークＷが前記研削面１２上に移載される。

そして、定盤３０上に搬出されたワークＷをワーク保持穴４２から取出し、空になったワーク保持穴４２に新たなワークＷを供給する。

斯くして、以後、上記と同様の動作を繰り返すことによって、連続的にワークＷが研削加工される。

以上のように、本発明の平面研削方法によれば、ワーク搬入位置よりも上方に設定した位置まで、下側砥石１１の研削面１２の位置を移動させてワークＷに研削加工を施すため、例え、研削時に砥石１１，２１の研削面１２，２２に重負荷が作用したとしても、下側主軸１０及び上側主軸２０の各フランジの傾きによるワークＷ下面と定盤上面３１との接触を確実に防止することができる。これにより、ワークＷ下面と定盤上面３１との接触によって生じるワークＷや定盤３０の損傷を未然に防止できる。

また、ワークＷが定盤３０に支えられ、下側及び上側砥石１１，２１の研削量に差が生じることに起因する、下側砥石１１の目詰まりやワークＷの研削代配分の困難化という問題の発生も防止できる。さらに、傾いた状態のワークＷを研削することもなくなるため、高い研削精度（特に平面度）を維持することができる。加えて、砥石１１，２１の型崩れ（偏摩耗）の発生も抑えることができるため、ドレッシング作業の回数を減らすことができ、砥石を長持ちさせることができる。

上述した点に加え、ワークＷを搬入，搬出する際は、従来と同様に、下側砥石１１の研削面１２と定盤上面３１との間の段差が、ワークＷをスライド搬送できる段差としているため、ワークＷをスムーズに移載することができる。

以上、本発明の具体的な実施形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何らこれらに限定されるものではない。

例えば、前記ワーク搬入位置における下側砥石１１の位置を、下側砥石１１の研削面１２が、定盤上面３１よりも僅かに下方に位置するように設定してもよい。

この場合、ワークＷを搬入する際に、下側砥石１１の研削面１２の位置が、定盤上面３１よりも僅かに下方に位置するように（例えば、定盤上面３１よりも０〜１５μｍ下がった位置となるように）、下側昇降機構１４により下側主軸１０及び下側砥石１１を移動させ、アーム回転駆動機構４３により移載アーム４０を回転させてワークＷを研削面１２に移載した後、下側砥石１１の研削面１２が定盤上面３１よりも所定量上方に位置するように、下側主軸１０及び下側砥石１１を予め決めた上昇量ｄ_１だけ上昇させるとともに、上側昇降機構２４により上側主軸２０及び上側砥石２１を下降させて、ワークＷの上下面を研削し、その後、下側砥石１１の研削面１２が定盤上面３１よりも僅かに上方となるように、下側昇降機構１４により下側主軸１０及び下側砥石１１を移動させるとともに、上側昇降機構２４により上側主軸２０及び上側砥石２１を上昇させ、下側砥石１１の研削面１２から定盤上面３１へとワークＷを搬出する。

このようにすれば、ワークＷを定盤上面３１から下側砥石１１の研削面１２へと搬送する際にも、搬送方向において突出した出っ張りが生じず、ワークＷをよりスムーズに搬送することができる。

また、ワークＷを下側砥石１１の研削面１２に移載した後、上側主軸２０を固定した状態で、下側主軸１０及び下側砥石１１を前記上昇量ｄ_１だけ上昇させ、更に、前記切込み量ｄ_２だけ上昇させて、ワークＷの上下面を研削するようにしてもよい。

１ 研削盤
１０ 下側主軸
１１ 下側砥石
１２ 研削面
１３ 下側駆動モータ
１４ 下側昇降機構
２０ 上側主軸
２１ 上側砥石
２２ 研削面
２３ 上側駆動モータ
２４ 上側昇降機構
３０ 定盤
３１ 定盤上面
４０ 移載アーム
４１ 回転軸
４２ ワーク保持穴
４３ アーム回転駆動機構
４４ ワーク回転駆動機構
５０ 制御装置
Ｗ ワーク

Claims (4)

1. それぞれ平坦な研削面を有する一対の砥石を、その前記研削面同士が対向するように上下に配設するとともに、該一対の砥石をそれぞれその研削面と直交する軸を中心に回転させ、ついで、載置台上に配置した被研削物を水平方向にスライドさせて前記一対の砥石間に搬入し、ついで、前記一対の砥石研削面によって前記被研削物の上下面を研削加工するようにした平面研削方法であって、
   前記下側砥石を、前記載置台上の被研削物をその研削面上にスライド搬入可能な位置に位置決めするとともに、前記上側砥石を、非接触で前記被研削物を搬入可能な間隔をもって前記下側砥石の上方に位置決めし、
   ついで、前記載置台上の被研削物をスライド搬入せしめて前記下側砥石の研削面上に載置し、
   この後、前記下側砥石を上昇させることにより、又は、前記下側砥石を上昇させるとともに前記上側砥石を下降させることにより、前記被研削物の上面を前記上側砥石の研削面に当接せしめて、前記被研削物の上下面を研削加工し、
   ついで、前記下側砥石を下降させて、前記被研削物を前記載置台上にスライド搬出可能な位置に位置決めし、
   この後、前記下側砥石上の被研削物を前記載置台上に搬出するようにしたことを特徴とする平面研削方法。
2. 前記被研削物を搬入及び搬出する際の前記下側砥石の位置を、その研削面が前記載置台上面よりも上方に位置するように設定したことを特徴とする請求項１記載の平面研削方法。
3. 前記被研削物を搬入する際の前記下側砥石の位置を、その研削面が前記載置台上面よりも下方に位置し、前記被研削物を搬出する際の前記下側砥石の位置を、その研削面が前記載置台上面よりも上方に位置するように設定したことを特徴とする請求項１記載の平面研削方法。
4. 前記被研削物の上下面を研削加工する際に、前記下側砥石を、その研削面が前記載置台上面から２０μｍ以上３００μｍ以下に位置するように上昇させることを特徴とする請求項１乃至３記載のいずれかの平面研削方法。

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