JP2012187559A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークが搭載されるトレイを安定して、かつ、連続的に移動させ、処理室での処理効率を向上させつつ、処理室での処理をより確実に行うこと。
【解決手段】ワークが搭載される複数のトレイと、前記複数のトレイが係合される第１レール部と、前記複数のトレイのうちの搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて前記第１レール部に沿って移動させる第１移動手段と、前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１移動手段によりその内部に搬入されたトレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う処理室と、を備え、前記トレイが、前記第１レール部と係合し、前記第１レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークを搭載したトレイを処理室に通過させて処理を行う処理装置に関する。

従来から、複数の環状部品を超音波振動板に対して傾斜させてトレイに載置し、洗浄槽に満たされた洗浄液にトレイごと浸漬し、超音波によって複数の環状部品を洗浄する技術がある（特許文献１参照）。

また、回転テーブルの複数の載置部にベアリング組立体を１つずつ載置し、回転テーブルを回転させつつ、洗浄ノズルから洗浄液を噴出して載置部に載置された複数のベアリング組立体を洗浄する技術がある（特許文献２参照）。

また、ベアリング組立体をブラシにより磨くと共にジェットノズルから洗浄液を噴出させた後に、そのベアリング組立体を１つずつメッシュ状のトレイに載置し、トレイの下側に設けられた洗浄槽に満たされた洗浄液にトレイごと浸漬し、ベアリング組立体を洗浄する技術がある（特許文献３参照）。

また、一対の無端チェーンの間に複数の処理用トレイを搬送方向に連続して構成し、処理用トレイごとにリードフレームを１つずつ載置した状態で、無端チェーンを駆動することにより無端チェーンの通過を許容すると共に無端チェーンに沿って配置された処理室（噴射型処理槽及び浸漬型処理槽）で半導体のリードフレームを洗浄する技術がある（特許文献４参照）。

特開２００２−０５９０９６号公報 特開２００５−２３０６０７号公報 特開２００１−０８７７１８号公報 特開平０９−１０４９９９号公報

しかしながら、特許文献１では、環状部品がトレイに接触している面積が大きく、接触している部分の洗浄を十分に行うことができない可能性がある。また、複数（例えば、５個）の環状部品を一括して洗浄するため、ロットの切換時に端数（例えば、１個〜４個）の環状部品のみで洗浄する必要が生じ、洗浄効率が低下する虞がある。

また、特許文献２では、回転テーブルの複数の載置部にベアリング組立体を１つずつ載置する載置動作、及び洗浄ノズルからの噴出が完了した後に、複数の載置部からベアリング組立体を取り除く取出動作が必要となるため、異なる処理を連続して行う場合、その都度、載置動作と取り出し動作とが必要になり、処理効率が低下する虞がある。また、異なる場所において載置・取り出し動作を行うために、それぞれの場所に載置装置および取出装置を配置する必要があり、装置全体が複雑になる。

また、特許文献３では、洗浄部では、メッシュ状のトレイに一つのベアリングを載置する載置動作、トレイを洗浄槽内まで下降させる下降動作、トレイを洗浄槽内から上昇させる上昇動作、トレイから一つのベアリングを取り除く取り出し動作が必要となるため、連続した洗浄処理の効率を低下させる原因となってしまう。更に、トレイには、１つのベアリングしか載置できないため、１つのベアリングの洗浄のために、これらの処理を毎回行わなければならないため、ボトルネックとなり得る。また、メッシュを形成する線状部材の上にベアリングを載置するため、複数の線状部材がベアリングの載置部と接触してしまい、その部分の洗浄を十分に行うことができない可能性がある。

また、特許文献４では、各処理用トレイが無端チェーンに連結されており、昇降を行うことができないため、浸漬型処理槽の一方側の側部から処理用トレイが浸漬型処理槽内に進入し、他方側の側部から処理用トレイが排出されるように、無端チェーンを配設している。この方式では、メッキ槽としての浸漬型処理槽内の処理液中に無端チェーン全体も浸漬されることとなり、無端チェーンに付着している油や粉塵等が処理液中に混入してしまうため、この方式の浸漬型処理槽を洗浄槽として用いることは難しい。また、浸漬型処理槽以外の処理槽であっても、ブローや乾燥等の工程で油や粉塵等の付着した無端チェーンが処理室内に進入すれば、油や粉塵等が処理室内に飛散してしまうため好ましくない。また、無端チェーンに処理用トレイを連結させて循環搬送するようにしているため、戻り側（下側）のトレイにはベアリングが載置されないこととなるため処理効率が低下する。更に、無端チェーンに処理用トレイを連結させて循環搬送するようにしているため、異なる複数の処理を行う際は、処理室を無端チェーンの搬送軌道に沿って配置する必要があり、全体的に長い処理装置となり、装置レイアウトが制限される。

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、ワークが搭載されるトレイを安定して、かつ、連続的に移動させ、処理室での処理効率を向上させつつ、処理室での処理をより確実に行うものである。

上記課題を解決するため、本発明に係る処理装置は、ワークが搭載される複数のトレイと、前記複数のトレイが係合される第１レール部と、前記複数のトレイのうちの搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて前記第１レール部に沿って移動させる第１移動手段と、前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１移動手段によりその内部に搬入された前記トレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う処理室と、を備え、前記トレイが、前記第１レール部と係合し、前記第１レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備える。

本発明によれば、前記トレイが前記被案内部を備えるため、前記第１移動手段が搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて移動させることで、前記処理室内に安定して、かつ、連続的に前記トレイを搬入することができる。これにより、前記処理室での処理効率を向上させつつ、前記処理室での処理をより確実に行うことができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記トレイが、ワークが載置される被載置部と、前記被載置部の搬送方向上流側、下流側の少なくともいずれかで上方に起立し、搬送方向と直交する方向に延びる閉塞壁部と、を備え、前記処理室を区画する壁体は、前記第１レール部が貫通される部分に開口部を有し、前記処理室に搬入された前記トレイが前記開口部を通過する際、前記閉塞壁部が前記開口部を閉塞する。

この形態によれば、前記閉塞壁部を備えたことにより、前記処理室を閉塞状態に保持することができる。このため、前記処理室における処理をより確実に行うことができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記第１移動手段は、前記第１レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて押し出す第１押出手段であり、前記処理装置は、前記第１押出手段により押し出されて前記トレイが空になった位置に新たな前記トレイを供給する第１供給手段を更に備える。

この形態によれば、前記第１供給手段により搬送方向上流側端部の位置にトレイが供給され、前記第１押出手段により、供給されたトレイが搬送方向下流側に向けて押し出される。このため、トレイが、前記第１レール部に沿って玉突き状態で移動し、案内される。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記第１レール部は、平行に配設される一対のレール部材を有し、前記一対のレール部材のいずれか一方は、他方の前記レール部材と対向する面に溝部を有し、前記被案内部は、前記一対のレール部材の一方に形成された前記溝部に向けて突出して形成され、前記溝部に係合される。

この形態によれば、移動の負荷を受けるトレイの前記被案内部が前記レール部材の溝部に係合した状態で支持されるため、前記トレイの跳ね上がりを防止することができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記第１レール部は、平行に配設される一対のレール部材を有し、前記一対のレール部材の双方は、対向する面に溝部を有し、前記被案内部は、前記一対のレール部材のそれぞれの前記溝部に向けて突出して形成され、それぞれの前記溝部に係合される。

この形態によれば、トレイの跳ね上がりをより確実に抑制することができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記トレイは、前記トレイの搬送方向上流側端部で後続の前記トレイの対応する部位と当接する上流側当接部と、前記トレイの搬送方向下流側に突出して形成され、その搬送方向下流側端部で先行する前記トレイの対応する部位と当接する下流側当接部と、を有する。

この形態によれば、トレイが、先行するトレイ及び後続のトレイと当接するように形成されるため、トレイをより確実に押し出し移動させることができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記被案内部が、前記上流側当接部及び前記下流側当接部を有する。

この形態によれば、前記被案内部が、先行するトレイ及び後続のトレイと前記溝部内で当接するように形成されるため、トレイをより確実に押し出し移動させることができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記処理室よりも搬送方向上流側の位置で、空のトレイにワークを載置する載置手段を更に備える。

この形態によれば、前記載置手段を備えたことにより、前記ワークが搭載されたトレイを前記処理室に通過させることができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを、前記第１レール部が延びる方向とは異なる方向に搬送する搬送手段を更に備える。

この形態によれば、前記搬送手段を備えたことにより、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動したトレイを所望の場所に搬送することができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記複数のトレイが係合される第２レール部と、前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて前記第２レール部に沿って移動させる第２移動手段と、を更に備え、前記搬送手段は、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを前記第２レール部の搬送方向上流側端部に搬送し、前記第２レール部が、前記第１レール部に並んで配置され、前記処理室に貫通される。

この形態によれば、前記搬送手段により、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動したトレイを前記第２レール部の搬送方向上流側端部に搬送することが可能となるため、前記処理室の配置の自由度を向上することができる。

また、本発明の一形態に係る処理装置は、前記第２移動手段は、前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて押し出す第２押出手段である。

この形態によれば、前記搬送手段により前記第２レール部の搬送方向上流側端部の位置にトレイが搬送され、前記第２押出手段によりそのトレイが搬送方向下流側に向けて押し出される。このため、前記第２レール部上のトレイ全体が搬送方向下流側に向けて移動し、案内される。

また、本発明に係る処理装置は、第１レール部と、前記第１レール部と並んで配設された第２レール部と、前記第１レール部の搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に押し出す第１押出手段と、前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に押し出す第２押出手段と、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動したトレイを前記第２レール部の搬送方向上流側端部に搬送する第１搬送手段と、前記第２レール部の搬送方向下流側端部に移動したトレイを前記第１レール部の搬送方向上流側端部に搬送する第２搬送手段と、前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１押出手段によりその内部に搬入されたトレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う第１処理室と、前記第２レール部が貫通するように配置され、前記第２押出手段によりその内部に搬入されたトレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う第２処理室と、前記第１処理室よりも搬送方向上流側の位置で、空の前記トレイにワークを載置する載置手段と、前記第２処理室よりも搬送方向下流側の位置で、処理済みの前記ワークが載置されたトレイからワークを取り出す取出手段と、を備え、前記トレイが、前記第１レール部及び前記第２レール部と係合し、前記第１レール部及び前記第２レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備え、前記第１レール部及び前記第２レール部が前記被案内部と係合する溝部を備える。

本発明によれば、前記トレイが、前記被案内部を備え、前記第１レール部及び前記第２レール部が前記被案内部と係合する溝部を備えるため、前記第１押出手段又は前記第２押出手段が搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に押し出し、前記第１処理室又は前記第２処理室内に安定して、かつ、連続的に前記トレイを搬入することができる。これにより、前記第１処理室及び前記第２処理室での処理効率を向上させつつ、前記第１処理室及び前記第２処理室での処理をより確実に行うことができる。また、前記第１レール部と前記第２レール部との間を前記第１搬送手段及び前記第２搬送手段により接続したため、前記トレイを循環させて用いることが可能となる。

本発明によれば、ワークが搭載されるトレイを安定して、かつ、連続的に移動させることができ、また、処理室での処理効率を向上させつつ、処理室での処理をより確実に行うことができる。

本発明の第１の実施形態に係る処理装置１００の全体構成を示す平面図である。 処理装置１００での処理に供されるトレイの一構成を示す斜視図である。 図２に対応するトレイの平面図である。 処理室４１の短手方向の概略断面図である。 処理室４１の長手方向の概略断面図である。 制御部による各構成のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る処理装置２００の全体構成を示す概略図である。 処理装置１００又は２００での処理に供されるトレイの他の構成を示す斜視図である。 図８に対応するトレイの平面図である。

以下に、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、本発明の実現手段としての一例であり、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で以下の実施形態を修正又は変形したものに適用可能である。

＜第１の実施形態＞
［処理装置１００の全体構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る処理装置１００の全体構成を示す平面図である。

処理装置１００は、本実施形態では、ワークの洗浄に関連する処理を行う洗浄処理装置を想定する。

処理装置１００は、複数のトレイＴＲと、第１レール部２０と、第１移動機構３０と、処理室４０（第１処理室４１〜第４処理室４４および移動室４５）と、載置機構５０と、第１搬送機構６０と、第２レール部７０と、第２移動機構８０と、第２搬送機構９０と、取出機構１０とを備える。

複数のトレイＴＲのそれぞれには、ワークとしてベアリングＷが搭載される。各トレイＴＲには、本実施形態では、ベアリングＷの完成品が２つ載置される。なお、ベアリングＷが載置される後述の被載置部ＴＲ１２０の形状を変えれば、ベアリングＷの完成品ではなく、ベアリングＷの内輪と外輪とを１つずつ１つのトレイに載置することも可能である。複数のトレイＴＲは、本実施形態では、ベアリングＷの洗浄工程で使用することを想定しており、洗浄工程を循環して使用される。

第１レール部２０には、複数のトレイＴＲが係合される。第１レール部２０は、互いに平行に配設される一対のレール部材２１、２２を有する。

第１移動機構３０は、第１レール部２０の搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて第１レール部２０に沿って移動させる。本実施形態の場合、第１移動機構３０は、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて押し出す機構であって、伸縮可能なロッド３０ｂと、ロッド３０ｂを伸縮駆動する駆動部３０ａとを含む、エアシリンダやガスシリンダ等の押出機構である。

第１移動機構３０は、例えば、所定のタイミングでエア又はガスが駆動部３０ａに供給されて、第１レール部２０の搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを伸縮ロッド３０ｂにより所定距離（ロッドのストローク範囲）だけ押し出す。

そして、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて次々と押し出すことで、搬送方向下流側に押し出された複数のトレイＴＲの全部の移動（搬送）を可能にする。本実施形態では、例えば、伸縮ロッド３０ｂのストローク量を、一つのトレイＴＲの搬送方向の長さ分に設定し、供給された１つのトレイＴＲを、搬送方向の長さ分だけ押し出すようにしている。しかし、第１搬送機構６０及び第２搬送機構９０が複数のトレイＴＲを受け入れ可能な構造であれば、複数のトレイＴＲの搬送方向の長さの分だけ押し出すことも可能である。

処理室４０のうち、第１処理室４１及び第２処理室４２は、第１レール部２０が貫通するように、トレイＴＲの搬送方向に配置されるとともに、互いに隣り合って配置される。第１処理室４１、第２処理室４２では、その内部に搬入され、移動されるトレイＴＲに搭載されたベアリングＷに対して所定の処理を行う。

また、処理室４０のうち、第３処理室４３及び第４処理室４４は、第２レール部７０が貫通するように、トレイＴＲの搬送方向に配置されるとともに、互いに隣り合って配置される。第３処理室４３、第４処理室４４においも、その内部に搬入され、移動されるトレイＴＲに搭載されたベアリングＷに対して所定の処理を行う。

第１処理室４１〜第４処理室４４および移動室４５は、壁体により区画され、後述するようにそれぞれ内部が閉塞空間となるようにしている。

本実施形態の場合、処理室４０全体で、ベアリングＷの洗浄に関連する処理を行う。トレイＴＲ上のベアリングＷは、第１処理室４１→第２処理室４２→移動室４５→第３処理室４３→第４処理室４４の順に搬送される。

第１処理室４１は、例えば、ベアリングＷを洗浄液内に浸漬するための浸漬洗浄室であり、第２処理室４２は、例えば、ベアリングＷの上方及び下方から洗浄液を噴霧して洗浄するためのシャワー洗浄室である。第３処理室４３は、例えば、ベアリングＷに付着した洗浄液を吹き飛ばして水切りをするためのブロアー液切り室であり、第４処理室４４は、例えば、ベアリングＷに温風を吹き付けることによりベアリングＷを乾燥させるための温風乾燥室である。

なお、移動室４５は、洗浄したベアリングＷの洗浄状態を維持するために区画された閉塞空間となっており、ベアリングＷの洗浄状態を維持したまま、トレイＴＲの移動を可能にしている。

載置機構５０は、処理室４０（第１処理室４１）よりも搬送方向上流側の位置で、空のトレイＴＲにベアリングＷを載置する。載置機構５０は、例えば、ロボットアーム等の把持機構と、この把持機構を移動する吊りレールと、を備える。そして、前工程の処理が終了し、ベルトコンベアＢによって搬送され、所定の位置に停止されたベアリングＷを、把持機構によって一つ或いは複数把持し、吊りレールに沿ってこれを搬送して、空のトレイＴＲ上に載置する。

第１搬送機構６０は、処理室４０（移動室４５）の空間内に配置され、第１レール部２０の搬送方向とは異なる方向に延びる搬送ベルト６１と、駆動ローラを駆動させて搬送ベルト６１を駆動する駆動機構６２とを備える。異なる方向とは、本実施形態では、第１レール部２０の搬送方向下流側端部と第２レール部７０の搬送方向上流側端部とを接続する方向（搬送方向と直交する水平方向）を意味する。

これにより、第１搬送機構６０は、第１レール部２０の搬送方向下流側端部に移動されたトレイＴＲを第２レール部７０の搬送方向上流側端部まで搬送する。つまり、第１搬送機構６０は、搬送機構としての他に、第２レール部７０における後述の第２移動機構８０により押し出されてトレイＴＲが空になった位置に、新たなトレイＴＲを供給する供給機構としても機能する。

なお、第１搬送機構６０は、ベルト搬送機構以外も採用可能である。例えば、第１レール部２０の搬送方向と異なる直交方向に搬送軌道を画定し、トレイＴＲがスライド可能な載置テーブルを設ける。そして、第１移動機構３０と同様の押出機構を設けて、トレイＴＲの一方の横側（幅方向の一方）を押し出すようにしてトレイＴＲを供給してもよい。

また、搬送ベルト６１が延びる方向としては、水平方向に限定するものではなく、第１レール部２０の搬送方向下流側端部と第２レール部７０の搬送方向上流側端部とを接続できればよい。

トレイＴＲは第２レール部７０にも係合される。第２レール部７０は、互いに平行に配設される一対のレール部材７１、７２を有する。第２レール部７０は、第１レール部２０に平行に（左右に並べて）配置され、処理室４０のうち、第３処理室４３、第４処理室４４を貫通するように配置される。

第２移動機構８０は、第２レール部７０の搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて第２レール部７０に沿って移動させる。本実施形態の場合、第２移動機構８０は、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて押し出す機構であって、伸縮可能なロッド８０ｂと、ロッド８０ｂを伸縮駆動する駆動部８０ａとを含、エアシリンダやガスシリンダ等の押出機構である。

第２移動機構８０は、例えば、所定のタイミングでエア又はガスが駆動部８０ａに供給されて、第２レール部７０の搬送方向上流側端部に位置するトレイを伸縮ロッド３０ｂにより所定距離（ロッドのストローク範囲）だけ押し出す。

そして、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて次々と押し出すことで、搬送方向下流側に押し出された複数のトレイＴＲの全部の移動（搬送）を可能にする。本実施形態では、例えば、伸縮ロッド８０ｂのストローク量を、一つのトレイＴＲの搬送方向の長さ分に設定し、供給された１つのトレイＴＲを、搬送方向の長さ分だけ押し出すようにしている。しかし、第１搬送機構６０及び第２搬送機構９０が複数のトレイＴＲを受け入れ可能な構造であれば、複数のトレイＴＲの搬送方向の長さの分だけ押し出すことも可能である。

第２搬送機構９０は、第２レール部７０の搬送方向とは異なる方向に延びる搬送ベルト９１と、駆動ローラを駆動させて搬送ベルト９１を駆動する駆動機構９２とを備える。異なる方向とは、本実施形態では、第２レール部７０の搬送方向下流側端部と第１レール部２０の搬送方向上流側端部とを接続する方向（搬送方向と直交する水平方向）を意味する。

これにより、第２搬送機構９０は、第２レール部７０の搬送方向下流側端部に移動されトレイＴＲを第１レール部２０の搬送方向上流側端部まで搬送する。つまり、第２搬送機構９０は、搬送機構としての他に、第１レール部２０における第１移動機構３０により押し出されてトレイＴＲが空になった位置に、新たなトレイＴＲを供給する供給機構としても機能する。

なお、第２搬送機構９０は、ベルト搬送機構以外も採用可能である。例えば、第２レール部７０の搬送方向と異なる直交方向に搬送軌道を画定し、トレイＴＲがスライド可能な載置テーブルを設ける。そして、第２移動機構８０と同様の押出機構を設けて、トレイＴＲの他方の横側（幅方向の他方）を押し出すようにしてトレイを供給してもよい。

取出機構１０は、処理室４０（第４処理室４４）よりも搬送方向下流側の位置で、トレイＴＲから処理済みのベアリングＷを取り出す。取出機構１０は、例えば、ロボットアーム等の把持機構と、この把持機構を移動する吊りレールと、を備える。そして、処理室４０での洗浄工程が終了し、第２レール部７０の所定の位置に移動され、停止されたトレイＴＲに搭載されたベアリングＷを、把持機構によって一つ或いは複数把持し、吊りレールに沿ってこれを搬送して、後工程のベルトコンベアＢ上に載置する。

上記の構成を備えることにより、洗浄工程において、同じトレイＴＲ群を循環して用いることが可能となる。なお、本実施形態では、このように同じトレイＴＲ群を循環して用いたが、このようにトレイを循環使用する形態以外の形態も採用可能である。例えば、洗浄後のワークをパレットごと、後工程のベルトコンベアに載置し、搬送するようにしてもよい。

［詳細構成］
ここでは、トレイＴＲの構成を第１レール部２０の構成を参照しながら説明するが、トレイＴＲとの関係では第２レール部７０も第１レール部２０と同様の構成である。

図２は、処理装置１００での処理に供されるトレイＴＲの一構成を示す斜視図である。図３は、図２に対応するトレイＴＲの平面図である。このトレイＴＲは、ベアリング載置トレイであり、例えば、内輪と外輪とを組み合わせたベアリングの完成品を２つ載置することを想定したトレイである。

トレイＴＲの枠体である底部（フレーム部）ＴＲ１０１には、Ｘ字状に架け渡された筋交いである梁部ＴＲ１０３が設けられる。底部ＴＲ１０１及び梁部ＴＲ１０３で囲まれる空間が、ワークに対して下方から洗浄処理を行うための洗浄穴部ＴＲ１０２となる。

梁部ＴＲ１０３の上面には、取付溝部ＴＲ１０４が形成される。この取付溝部ＴＲ１０４に、後述する載置部材ＴＲ１２１の係合部ＴＲ１２１ｂが嵌め込まれる。図２中では、Ｘ字状の梁部ＴＲ１０３が、トレイの搬送方向と直交する水平方向に、隣り合って２つ設けられる場合を例に挙げたが、これに限定されるものではない。例えば、Ｘ字状の梁部ＴＲ１０３は、１つだけであってもよく、また、３つ以上並べて設けてもよい。底部ＴＲ１０１と梁部ＴＲ１０３とは、一体又は別体のいずれであってもよい。

トレイＴＲは、第１レール部２０及び第２レール部７０と係合し、これらに沿うトレイＴＲの移動が案内される被案内部ＴＲ１１０、ＴＲ１１０と、ワークが載置される被載置部ＴＲ１２０と、被載置部ＴＲ１２０の搬送方向上流側及び下流側で上方に起立し、搬送方向と直交する水平方向（幅方向）に延びる閉塞壁部ＴＲ１３０、ＴＲ１３０と、を備える。

なお、閉塞壁部は、搬送方向の中央部に１つだけ設けてもよい。閉塞壁部を中央に１つ設ける場合は、閉塞壁部を境に搬送方向それぞれの側に被載置部ＴＲ１２０が構成（載置部材ＴＲ１２１は合計４つ）されることになる。

被案内部ＴＲ１１０、ＴＲ１１０は、一対のレール部材２１、２２に係合するように底部ＴＲ１０１の両幅方向に突出してそれぞれ形成される。被案内部ＴＲ１１０を設けたことでトレイＴＲを安定して、連続的に搬送できる。本実施形態の場合、被案内部ＴＲ１１０は、トレイＴＲの搬送方向上流側に突出して形成される上流側当接部ＴＲ１１１と、トレイＴＲの搬送方向下流側に突出して形成される下流側当接部ＴＲ１１２とを有する。

被載置部ＴＲ１２０は、互いに同じ形状である２つの載置部材ＴＲ１２１を有する。載置部材ＴＲ１２１は、ベアリングの完成品の内輪底面を支持する４つの支持部ＴＲ１２１ａと、梁部ＴＲ１０３に形成された４つの取付溝部ＴＲ１０４に係合される４つの係合部ＴＲ１２１ｂとを有する。支持部ＴＲ１２１ａは、ベアリングの完成品の内輪底面のみを支持する。これにより、ベアリングの完成品の外輪は、内輪と外輪との間に構成される転動体により負荷がかからない状態で支持されるため、例えば、洗浄液の噴き付けが行われる処理室では、外輪を水圧により回転させることにより、転動体、内輪の外周溝および外輪の内周溝の洗浄を効率よく行うことができる。

支持部ＴＲ１２１ａの内側には傾斜部が設けられている。これにより、載置するベアリングのサイズ変更を容易に行うことができると共に、載置機構５０によるベアリングの投入位置がずれた場合であっても、所定の位置にベアリングを位置づけること（位置決め）を容易に行うことができる。係合部ＴＲ１２１ｂは、取付溝部ＴＲ１０４のサイズに応じたサイズに形成される。

閉塞壁部ＴＲ１３０は、トレイＴＲの底部ＴＲ１０１から略垂直に起立するように形成される。閉塞壁部ＴＲ１３０は、本実施形態では、被案内部ＴＲ１１０よりも幅方向（搬送方向と直交する方向）の内方に形成される。閉塞壁部ＴＲ１３０は、第１レール部２０又は第２レール部７０に沿って移動するトレイＴＲが処理室４１〜４４の開口部４６を通過する際に、開口部４６を閉塞する。これにより、トレイＴＲの移動に伴って、開口部４６が各トレイＴＲの閉塞壁部ＴＲ１３０により順次閉塞され、第１処理室４１〜第４処理室４４および移動室４５は、それぞれ内部が閉塞空間とされる。

図４（ａ）乃至（ｃ）は、処理室４１又は４２の短手方向（幅方向）の概略断面図である。図５（ａ）及び（ｂ）は、処理室４１の長手方向（搬送方向）の概略断面図である。

図４（ａ）で示すように、処理室４１、４２には、入口側、出口側の双方の壁体に形成された開口部４６を通って、第１レール部２０のレール部材２１、２２が貫通される。

一対のレール部材２１、２２の双方は、搬送方向に伸張した３つの板状部材からそれぞれ構成され、上側と下側とに同じ幅の上側板状部材２１ａ、２２ａと、下側板状部材２１ｃ、２２ｃとを配置し、その間に上下板状部材より幅が小さい中間板状部材２１ｂ、２２ｂをサンドイッチ状に配置し、それらをネジ部材等の締結部材で組み合わせることで、互いに対向する面に溝部２３、２３を形成する。そして、この溝部２３、２３にトレイＴＲの被案内部ＴＲ１１０、１１０を係合させ、この溝部２３、２３内で異なるトレイＴＲの上流側当接部ＴＲ１１１、１１１と下流側当接部ＴＲ１１２、１１２とを当接させることでトレイＴＲが搬送される。

換言すれば、レール部材２１、２２は、互いに対向する面が開口するように断面略Ｃ字状に形成される。そして、第１レール部２０に案内される（詳細には、第１レール部２０の溝部２３、２３にトレイＴＲの被案内部ＴＲ１１０、１１０を係合して案内される）トレイを、第１レール部２０の途中から抜き取る場合は、上側板状部材２１ａ、２２ａを取り外すことでトレイの抜き取りが可能となる。なお、第２レール部７０も同様の構成である。

図４（ｂ）で示すように、被案内部ＴＲ１１０は、一対のレール部材２１、２２のそれぞれの溝部２３に向けて突出して形成される。突出する被案内部ＴＲ１１０がそれぞれの溝部２３に係合される。

図５（ａ）で示すように、上流側（後側）当接部ＴＲ１１１は、後続（上流側）のトレイの対応する部位（下流側（前側）当接部ＴＲ１１２）に当接される。下流側（前側）当接部ＴＲ１１２は、先行するトレイの対応する部位（上流側（後側）当接部ＴＲ１１１）に当接される。上流側当接部ＴＲ１１１及び下流側当接部ＴＲ１１２は、閉塞壁部ＴＲ１３０（または載置部ＴＲ１２０）よりも搬送方向上流側および下流側に突出して形成されている。

なお、図５（ｂ）で示すように、被案内部ＴＲ１１０は、本実施形態では、安定搬送のため、溝部２３内で、上流側当接部ＴＲ１１１及び下流側当接部ＴＲ１１２が当接されることとしている。しかし、上流側当接部ＴＲ１１１と、下流側当接部ＴＲ１１２とは、被案内部ＴＲ１１０以外の部位に設けてもよい。例えば載置部ＴＲ１２０の幅方向中央部に当接部を設け（図示せず）、前後に隣接するトレイの、載置部ＴＲ１２０の当接部同士を当接するようにしても構わない。

図４（ａ）、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施形態では、更に、処理室４１、４２の開口部４６に連続してトンネル部Ｔ１が設けられる。例えば、処理室４１では、入口側及び出口側の開口部４６に連続して、処理室４１の内部にトンネル部Ｔ１が設けられる。トンネル部Ｔ１の搬送方向長さは、閉塞壁部ＴＲ１３０により常に閉塞状態が維持できるように２つの閉塞壁部ＴＲ１３０を収容できる長さに設定され、例えば、トレイの搬送方向長さ（閉塞壁部ＴＲ１３０の離間距離）と略同じとされる。

処理室４１を、浸漬洗浄室とした場合、処理室４１内部の洗浄液の量が一定量になるように、洗浄液はその量を調整（制御）して充填（供給）される。その上で洗浄液が処理室４１の外部に漏れる量を少なくすることで処理室４１内部の洗浄液の量を管理して洗浄可能にしている。

また、処理室４２は、処理室４１と隣り合っているため、入口側のトンネル部Ｔ１は省略することができ、出口側の処理室４２の外部に同様のトンネル部Ｔ１が設けられる。

処理室４３、４４についても同様にトンネル部Ｔ１を設ける。トンネル部Ｔ１を設けることにより、トレイＴＲが開口部４６の位置で停止しなければならないという制約がなくなり、トンネル部Ｔ１内のいずれかの位置に閉塞壁部ＴＲ１３０が位置していれば、処理室４０（第１処理室４１〜第４処理室４４および移動室４５）の密閉性を保持することができる。

このように、トンネル部Ｔ１を設けることによりトレイＴＲが移動中であっても処理室４０の出入口を閉塞状態にすることができる。

また、処理装置１００は、図示しない制御部（例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、インターフェース等）を備え、第１移動機構３０、載置機構５０、第１搬送機構６０、第２移動機構８０、第２搬送機構９０、取出機構１０及び各処理室の処理機構の各構成の動作を統括的に制御する。

［処理フロー］
図６は、制御部による各構成のタイミングチャートを示す図である。

まず、制御部は、載置機構５０、第１搬送機構６０、第２搬送機構９０及び取出機構１０に駆動開始を指示する。具体的には、載置機構５０は処理室４０（第１処理室４１）よりも搬送方向上流側の載置位置に位置する空のトレイにワークを載置する。

また、第１搬送機構６０は、駆動機構６２により搬送ベルト６１を駆動して、第１レール部２０の搬送方向下流側端部に移動したトレイを第２レール部７０の搬送方向上流側端部まで搬送する。

また、第２搬送機構９０は、駆動機構９２により搬送ベルト９１を駆動して、第２レール部７０の搬送方向下流側端部に移動したトレイを第１レール部２０の搬送方向上流側端部まで搬送する。また、取出機構１０は処理室４０（第４処理室４４）よりも搬送方向下流側の取出位置に位置するトレイから処理済みのワークを取り出す。

そして、制御部は、第１移動機構３０及び第２移動機構８０に駆動開始を指示する。具体的には、第１移動機構３０は、その押出機構を駆動させて、第１レール部２０の搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて第１レール部２０に沿って移動させる。

また、第２移動機構８０は、その押出機構を駆動させて、第２レール部７０の搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて、第２レール部７０に沿って移動させる。このように、第１移動機構３０および第２移動機構８０により、搬送方向上流側端部の位置でそれぞれ待機するトレイを、搬送方向下流側に向けて移動させる。

これにより、それぞれのトレイの下流側当接部ＴＲ１１２が、それぞれのトレイの下流側位置に待機するトレイの上流側当接部ＴＲ１１１に当接される。その結果、連続して隣接する複数のトレイＴＲすべてを搬送方向下流側に移動することができる。なお、押出機構の駆動とは、本実施形態では、エアシリンダやガスシリンダにエア又はガスを供給する処理を意味する。

制御部は、任意のタイミングにより処理室４０（第１処理室４１〜第４処理室４４）の処理機構に駆動開始を指示する。処理機構とは、例えば、処理室４１での洗浄液の充填機構、処理室４２でのシャワー噴射機構、処理室４３での送風機構、処理室４４での温風送出機構等を意味する。

以上の処理により、洗浄に関連する処理の１サイクルが終了する。１サイクルとは、処理装置１００の取出機構１０によりワークが結果物として取り出されてから次に取り出されるまでの間の処理を示す。例えば、本実施形態では、６秒毎に取出機構１０により２個のワークが取り出されるまでの処理を示す。

＜第２の実施形態＞
第１の実施形態では、複数の処理室が水平方向に配置され、第１レール部２０と第２レール部７０とが平行に水平方向に並べて配置されており、第１搬送機構６０及び第２搬送機構９０によりトレイを洗浄工程で水平循環して用いた。

しかし、処理室やレール部或いは搬送機構のレイアウトはこれに限られず、種々のレイアウトを採用することができる。図７は、本発明の第２の実施形態に係る処理装置２００の全体構成を示す概略図である。

本実施形態では、処理室４０の第１処理室４１および第２処理室４２と第３処理室４３および第４処理室４４とが上下に並べて、また、第１レール部２０と第２レール部７０とが平行に上下に並べて配置されており、第１搬送機構６０’及び第２搬送機構９０’によりトレイを洗浄工程で上下方向に移動して循環する構成となっている。以下、このような構造を有する処理装置２００について説明する。なお、第１の実施形態と同様の構成については、同一の参照番号を用いて説明する。

［処理装置２００の全体構成］
図７に示すように、処理装置２００は、複数のトレイＴＲと、第１レール部２０と、第１移動機構３０と、処理室４０（第１処理室４１〜第２処理室４４および移動室４５）と、載置機構５０’と、第１搬送機構６０’と、第２レール部７０と、第２移動機構８０と、第２搬送機構９０’と、取出機構１０’とを備える。

処理装置２００は、処理室４０が上下方向に伸長して形成され（第１処理室４１、第２処理室４２と第３処理室４３、第４処理室４４とが上下に並べて配置され、下側に第１処理室４１、第２処理室４２が、上側に第３処理室４３、第４処理室４４が配置される積層構造となって）、配置されている。

上記第１の実施形態と同様に、処理室４１乃至４４を、それぞれ浸漬洗浄室、シャワー洗浄室、ブロアー液切り室、温風乾燥室とすることができる。この場合、ブロアー液切り室である処理室４３が、シャワー洗浄室である処理室４２の上方に位置しているため、処理室４３内でベアリングＷから液切りされた水分（洗浄液）を、処理室４２へ落下させる構成とすれば、処理室４２内での洗浄液と処理室４３から落下した水分（洗浄液）とを処理室４２において共通に回収でき、洗浄液の回収を容易化できる。

第１処理室４１、第２処理室４２は、第１レール部２０がこれらを貫通するように構成している。また、第３処理室４３、第４処理室４４は、第２レール部材７０がこれらを貫通するように構成している。そして、それぞれ第１レール部２０と第２レール部７０とに沿ってトレイＴＲの移動を可能にしている。

第１レール部２０は、第１の実施形態と同様に互いに平行に所定の高さ位置に配設される一対のレール部材２１、２２を有する。

第１移動機構３０は、後述する第２搬送機構９０’の一部に構成され、第１レール部２０の搬送方向上流側端部に第２搬送機構９０’の昇降体９１’がトレイを載置した状態で位置すると、トレイを搬送方向下流側に向けて昇降体９１’から第１レール部２０に移動させる。

第１移動機構３０は、所定のタイミングで第１レール部２０の搬送方向上流側端部に昇降体９１’に載置するトレイを伸縮ロッド３０ｂにより所定距離（ロッドのストローク範囲）だけ押し出す。このように、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて次々と押出すことで搬送方向下流側に押し出された複数のトレイＴＲの全部の移動（搬送）を可能にする。

本実施形態では、例えば、ロッド３０ｂのストロークは、一つのトレイＴＲの大きさに設定されている。しかし、第１搬送機構６０’が複数のトレイＴＲを受け入れ可能な構造であれば、複数のトレイＴＲの搬送方向の大きさの分だけ押し出すことも可能である。

上記第１の実施形態の載置機構５０に代わる載置機構５０’は、下側に構成される第１レール部２０上の処理室４１よりも搬送方向上流側の位置で、空のトレイＴＲにベアリングＷを載置する。載置機構５０’の構成及び動作は、上記第１の実施形態の載置機構５０と同様でよい。

上記第１の実施形態の第１搬送機構６０に代わる第１搬送機構６０’は、第１レール部２０の搬送方向とは異なる方向の上下方向に伸張するフレーム構造体６０ａ’と、フレーム構造体６０ａ’内を移動可能な昇降体６１’と、不図示の昇降駆動機構（例えば、チェーン駆動機構や、エアシリンダなどのアクチュエータ機構等のエレベータ機構）とを備える。

これにより、第１搬送機構６０’は、第１レール部２０の搬送方向下流側端部の位置と同じ高さ位置（下降位置）に待機する昇降体６１’に移動されたトレイを、第２レール部７０の搬送方向上流側端部の位置と同じ高さ位置（上昇位置）まで搬送する。つまり、第１搬送機構６０’は、上側に配置された第２レール部７０に新たなトレイを供給する供給機構として機能する。

第２レール部７０は、第１の実施形態と同じく、互いに平行に配設される一対のレール部材７１、７２を有する。第２レール部７０は、第１レール部２０に平行に上下に並べて配置され、処理室４０のうち、第３処理室４３、第４処理室４４を貫通するように配置される。

第２移動機構８０は、第１搬送機構６０’の一部に構成され、第２レール部７０の搬送方向上流側端部に第１搬送機構６０’の昇降体６１’がトレイＴＲを載置した状態で位置すると、トレイＴＲを搬送方向下流側に向けて昇降体６１’から第２レール部７０に移動させる。

第２移動機構８０は、所定のタイミングで第２レール部７０の搬送方向上流側端部に昇降体６１’に載置するトレイを伸縮ロッド８０ｂにより所定距離（ロッドのストローク範囲）だけ押し出す。このように、搬送方向上流側端部に位置するトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて次々と押出すことで搬送方向下流側に押し出された複数のトレイＴＲの全部の移動（搬送）を可能にする。本実施形態では、例えば、ロッドのストロークは、一つのトレイの大きさに設定されている。しかし、第２搬送機構９０’が複数のトレイＴＲを受け入れ可能な構造であれば、複数のトレイＴＲの搬送方向の大きさの分だけ押し出すことも可能である。

上記第１の実施形態の第２搬送機構９０に代わる第２搬送機構９０’は、第２レール部７０の搬送方向とは異なる方向の上下方向に伸張するフレーム構造体９０ａ’と、フレーム構造体９０ａ’内を移動可能な昇降体９１’と、不図示の昇降駆動機構（例えば、チェーン駆動機構や、エアシリンダなどのアクチュエータ機構等のエレベータ機構）とを備える。

これにより、第２搬送機構９０’は、第２レール部７０の搬送方向下流側端部の位置と同じ高さ位置（下降位置）に待機する昇降体９１’に移動されたトレイを、第２レール部７０の搬送方向上流側端部の位置と同じ高さ位置（上昇位置）まで搬送する。つまり、第２搬送機構９０’は、下側に配置された第１レール部２０に新たなトレイＴＲを供給する供給機構として機能する。

上記第１の実施形態の取出機構１０に代わる取出機構１０’は、処理室４０（第４処理室４４）よりも搬送方向下流側（載置機構５０’の上部）の位置で、トレイから処理済みのベアリングＷを取り出す。取出機構１０’の構成及び動作は、上記第１の実施形態の取出機構１０と同様でよい。

次に、係る構成からなる処理装置２００の動作について説明する。まず、処理装置２００の制御部は、載置機構５０’、第１搬送機構６０’、第２搬送機構９０’及び取出機構１０’に駆動開始を指示する。具体的には、載置機構５０’は処理室４０（第１処理室４１）よりも搬送方向上流側の載置位置に位置する空のトレイにワークを載置する。

また、第１搬送機構６０’は、不図示の昇降駆動機構を駆動して、第１レール部２０の搬送方向下流側端部へ昇降体６１’を移動（下降）させる。そして、第１レール部２０からトレイを受け取り、第２レール部７０の搬送方向上流側端部まで搬送（上昇）させる。

また、第２搬送機構９０’は、不図示の昇降駆動機構を駆動して、第２レール部７０の搬送方向下流側端部へ昇降体９１’を移動（上昇）させる。そして、第２レール部７０からトレイを受け取り、第１レール部２０の搬送方向上流側端部まで搬送（下降）させる。また、取出機構１０’は処理室４０（第４処理室４４）よりも搬送方向下流側の取出位置に位置するトレイから処理済みのワークを取り出す。

そして、制御部は、第１移動機構３０及び第２移動機構８０に駆動開始を指示する。具体的には、第１移動機構３０は、その押出機構を駆動させて、昇降体９１’からトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて第１レール部２０に沿って移動させる。また、第２移動機構８０は、その押出機構を駆動させて、昇降体６１’からトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて、第２レール部７０に沿って移動させる。

このように第１移動機構３０および第２移動機構８０によりそれぞれの昇降体６１’および昇降体９１’に待機するトレイＴＲに向かって搬送方向上流側端部のトレイＴＲを搬送方向下流側に向けて移動させることで、それぞれのトレイＴＲの下流側当接部ＴＲ１１２をそれぞれの上流側位置に待機するトレイＴＲの上流側当接部ＴＲ１１１に当接することで下流側に連続して隣接する複数のトレイＴＲすべてを搬送方向下流側に移動することができる。

以上の処理により、洗浄に関連する処理の１サイクルが終了する。

本実施形態においては、処理室４１、４２と処理室４３、４４とが上下に２つ並べて配置されているが、上下に３つ又は４つ並べて配置するようにしてもよい。例えば、上下に４つ並べて配置する場合においては、第１階層には処理室４１、第２階層には処理室４２、第３階層には処理室４３、第４階層には処理室４４を配置して構成してもよい。このように本実施形態の構成によれば、多様なレイアウトに対応可能に装置構成を変更することができる。また、上下に並べて配置することで、洗浄液の回収が容易になり、装置構造を容易にすることが可能となる。

＜第３の実施形態＞
トレイＴＲは、種々の変更が可能である。以下、トレイＴＲの他の例について説明する。

図８は、処理装置１００又は２００での処理に供されるトレイＴＲの他の構成例であるトレイＴＲ２００を示す斜視図である。図９は、図８に対応するトレイＴＲ２００の平面図である。このトレイＴＲ２００は、ベアリングの構成部品となる内輪と外輪とを載置し、内輪と外輪とを組み立てる前の工程としての洗浄に関連する処理に用いられることを想定したトレイである。

トレイＴＲ２００は、トレイＴＲ２００を第１レール部２０と係合し、これらに沿うトレイＴＲの移動が案内される被案内部ＴＲ２１０、ＴＲ２１０と、ワークが載置される被載置部ＴＲ２２０と、被載置部ＴＲ２２０の搬送方向上流側及び下流側で上方に起立し、搬送方向と直交する水平方向に延びる閉塞壁部ＴＲ２３０、ＴＲ２３０と、を備える。

被案内部ＴＲ２１０、ＴＲ２１０は、一対のレール部材２１、２２に係合するように底部ＴＲ１１０の両幅方向（搬送方向と直交する水平方向）に突出してそれぞれ形成される。被案内部ＴＲ２１０は、トレイＴＲ２００の搬送方向上流側に突出して形成される上流側当接部ＴＲ２１１と、トレイＴＲ２００の搬送方向下流側に突出して形成される下流側当接部ＴＲ２１２とを有する。なお、上流側当接部ＴＲ２１１と下流側当接部ＴＲ２１２とは被案内部ＴＲ２１０以外の部位（例えば被載置部ＴＲ２２０）に設けてもよい。

被載置部ＴＲ２２０は、Ｌ字状の第１載置部材ＴＲ２２１と、第１載置部材ＴＲ２２１と組み合わせられるＬ字状の第２載置部材ＴＲ２２２とを有する。トレイＴＲ２００の底部ＴＲ２０１には、ワーク（外輪および内輪）に対して下方から洗浄処理を行うための洗浄穴部ＴＲ２０２と、洗浄穴部ＴＲ２０２の周縁で第１載置部材ＴＲ２２１及び第２載置部材ＴＲ２２２を取り付けるための取付溝部ＴＲ２０３とを備える。

第２載置部材ＴＲ２２２に対して第１載置部材ＴＲ２２１を、スリット２２１ａ、２２２ａ同士を重ね合わせるように組み合わせる。これら組み合わせた第１載置部材ＴＲ２２１及び第２載置部材ＴＲ２２２の各屈曲部及び各端部が、底部ＴＲ２０１の各取付溝部ＴＲ２０３に嵌め込み、着座される。第１載置部材ＴＲ２２１と第２載置部材ＴＲ２２２とが交差する位置が２つ存在し、各交差する位置がワークの形状に合わせたワーク載置部として形成される。

第１載置部材ＴＲ２２１及び第２載置部材ＴＲ２２２は、ベアリングの内輪底面（外周および内周を結ぶ一側面）を支持する内輪支持部ＴＲ２２３と、ベアリングの外輪底面（外周および内周を結ぶ一側面）を支持する外輪支持部ＴＲ２２４と、底部ＴＲ２０１の周縁に形成された取付溝部ＴＲ２０３に係合される複数の係合部ＴＲ２２５とを有する。

内輪支持部ＴＲ２２３及び外輪支持部ＴＲ２２４の内側には傾斜部が設けられている。これにより、載置する内輪、外輪のサイズ変更を行っても、所定の範囲内に位置づけを行うことができる。係合部ＴＲ２２５は、取付溝部ＴＲ２０３のサイズに応じたサイズに形成される。第１載置部材ＴＲ２２１及び第２載置部材ＴＲ２２２は一体に設けてもよい。また、トレイ本体の底部ＴＲ２０１及び第２載置部材ＴＲ２２２、又はトレイ本体の底部ＴＲ２０１、第１載置部材ＴＲ２２１及び第２載置部材ＴＲ２２２を一体に設けてもよい。

閉塞壁部ＴＲ２３０は、トレイＴＲ２００の底部ＴＲ２０１から略垂直に起立するように形成される。閉塞壁部ＴＲ２３０は、本実施形態では、被案内部ＴＲ２１０よりも幅方向（搬送方向と直交する方向）の内方に形成される。閉塞壁部ＴＲ２３０は、第１レール部２０又は第２レール部７０に沿って搬入されたトレイＴＲ２００が処理室４１〜４４の開口部４６を通過する際に開口部４６を閉塞する。

ＴＲ トレイ
ＴＲ１１０ 被案内部
２０ 第１レール部
３０ 第１移動機構
４０ 処理室（第１処理室４１〜第４処理室４４）
５０、５０’ 載置機構
６０、６０’ 第１搬送機構
７０ 第２レール部
８０ 第２移動機構
９０、９０’ 第２搬送機構
１０、１０’ 取出機構
１００、２００ 処理装置

Claims (12)

1. ワークが搭載される複数のトレイと、
   前記複数のトレイが係合される第１レール部と、
   前記複数のトレイのうちの搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて前記第１レール部に沿って移動させる第１移動手段と、
   前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１移動手段によりその内部に搬入された前記トレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う処理室と、を備え、
   前記トレイが、
   前記第１レール部と係合し、前記第１レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備えることを特徴とする処理装置。
2. 前記トレイが、
   ワークが載置される被載置部と、
   前記被載置部の搬送方向上流側、下流側の少なくともいずれかで上方に起立し、搬送方向と直交する方向に延びる閉塞壁部と、を備え、
   前記処理室を区画する壁体は、前記第１レール部が貫通される部分に開口部を有し、
   前記処理室に搬入された前記トレイが前記開口部を通過する際、前記閉塞壁部が前記開口部を閉塞することを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 前記第１移動手段は、前記第１レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて押し出す第１押出手段であり、
   前記処理装置は、前記第１押出手段により押し出されて前記トレイが空になった位置に新たな前記トレイを供給する第１供給手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
4. 前記第１レール部は、平行に配設される一対のレール部材を有し、
   前記一対のレール部材のいずれか一方は、他方の前記レール部材と対向する面に溝部を有し、
   前記被案内部は、前記一対のレール部材の一方に形成された前記溝部に向けて突出して形成され、前記溝部に係合されることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
5. 前記第１レール部は、平行に配設される一対のレール部材を有し、
   前記一対のレール部材の双方は、対向する面に溝部を有し、
   前記被案内部は、前記一対のレール部材のそれぞれの前記溝部に向けて突出して形成され、それぞれの前記溝部に係合されることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
6. 前記トレイは、
   前記トレイの搬送方向上流側端部で後続の前記トレイの対応する部位と当接する上流側当接部と、
   前記トレイの搬送方向下流側に突出して形成され、その搬送方向下流側端部で先行する前記トレイの対応する部位と当接する下流側当接部と、
   を有することを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
7. 前記被案内部が、前記上流側当接部及び前記下流側当接部を有することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
8. 前記処理室よりも搬送方向上流側の位置で、空の前記トレイにワークを載置する載置手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
9. 前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを、前記第１レール部が延びる方向とは異なる方向に搬送する搬送手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
10. 前記複数のトレイが係合される第２レール部と、
    前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて前記第２レール部に沿って移動させる第２移動手段と、
    を更に備え、
    前記搬送手段は、前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを前記第２レール部の搬送方向上流側端部に搬送し、
    前記第２レール部が、前記第１レール部に並んで配置され、前記処理室に貫通されることを特徴とする請求項９に記載の処理装置。
11. 前記第２移動手段は、前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に向けて押し出す第２押出手段であることを特徴とする請求項１０に記載の処理装置。
12. 第１レール部と、
    前記第１レール部と並んで配設された第２レール部と、
    前記第１レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に押し出す第１押出手段と、
    前記第２レール部の搬送方向上流側端部に位置する前記トレイを搬送方向下流側に押し出す第２押出手段と、
    前記第１レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを前記第２レール部の搬送方向上流側端部に搬送する第１搬送手段と、
    前記第２レール部の搬送方向下流側端部に移動した前記トレイを前記第１レール部の搬送方向上流側端部に搬送する第２搬送手段と、
    前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１押出手段によりその内部に搬入された前記トレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う第１処理室と、
    前記第２レール部が貫通するように配置され、前記第２押出手段によりその内部に搬入された前記トレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う第２処理室と、
    前記第１処理室よりも搬送方向上流側の位置で、空の前記トレイにワークを載置する載置手段と、
    前記第２処理室よりも搬送方向下流側の位置で、処理済みの前記ワークが載置された前記トレイからワークを取り出す取出手段と、
    を備え、
    前記トレイが、前記第１レール部及び前記第２レール部と係合し、前記第１レール部及び前記第２レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備え、
    前記第１レール部及び前記第２レール部が前記被案内部と係合する溝部を備えることを特徴とする処理装置。

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