JP2012191817A

JP2012191817A - 電磁アクチュエータ

Info

Publication number: JP2012191817A
Application number: JP2011055326A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Muraguchi; 洋介村口; Hiroshi Nakagawa; 洋中川; Yutaka Maeda; 豊前田; Mamoru Ozaki; 守小▲崎▼
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2011-03-14
Filing date: 2011-03-14
Publication date: 2012-10-04

Abstract

【課題】可動子を初期位置に復帰させる動作に寄与する部材を有し、その撓みを抑えることができ、さらに漏れ磁束を抑制して少ない電流で高効率に動作することができる電磁アクチュエータを提供すること。
【解決手段】固定子２と、可動子１内部の空間に配置された軸受ユニットとの間には、可動子１の空間を介して板バネが接続されている。板バネは、ｘ軸、ｙ軸、またはこれらの合成軸の周りでの可動子１の回転を支持する。上段側の電磁石３と、下段側の電磁石３とは、ｚ軸方向で見て同じ回転角度位置において同じ極性となるように励磁される。下段側のすべての電磁石３が電流値ｉ₀で励磁された場合、上段側のすべての電磁石３の電流値ｉ₀+ｉで励磁される。また、上段及び下段側の電磁石３のコアが、可動子１の外周面に対向する、該外周面に沿う形状の内周面をそれぞれ有する。
【選択図】図６

Description

本発明は、多自由度駆動を可能とする電磁アクチュエータに関する。

特許文献１には、球面全方位の駆動が可能であり、ロボットの肩関節や眼球の駆動に応用が期待される三自由度球面電磁アクチュエータが開示されている。

この電磁アクチュエータは、可動子と、この可動子を３軸（ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸）方向のまわりに回転トルクを発生させる固定子を備えている。可動子は、ｘｙ平面に平行な周方向に沿って分割された４つの磁性体と、これら磁性体の間に９０°おきに挿入された４つの永久磁石とを含む。固定子は、可動子の外周側に所定のエアギャップを介して配置されており、ｚ軸方向に沿って上下二つに分割されている。個々の固定子はそれぞれ、６個の磁極をもつ同一材質の磁性体で形成されており、各磁極の極性を制御することで、可動子をｚ軸のまわりに３６０°、ｘ軸及びｙ軸のまわりに所定角度範囲にわたって回転させることが可能である（例えば、特許文献１の明細書段落[００１７]参照）。

特開２００９−１３０９５７号公報

しかしながら、上記構成を有する電磁アクチュエータにおいては、ｘ軸及びｙ軸の周りへの可動子の回転範囲に制限があるため、この制限を超えて可動子を回転させた場合、可動子が初期位置へ復帰できなくなるという不都合がある。

特に、上記電磁アクチュエータを搬送ロボット等の関節部に適用した場合、被搬送体の自重やアームに加わる外力に起因するモーメントを受けることで、可動子に対してｘ軸、ｙ軸またはこれらの合成軸の周りに機械的な回転トルクが作用する。この回転トルクによって可動子が所定角度範囲を超えて回転した場合、固定子による電磁トルクでは可動子が復帰位置へ復帰できなくなるおそれがある。この場合、当該電磁アクチュエータによる関節部としての所期の機能が果たせなくなり、搬送ロボットの動作不良を招く。

そこで、可動子が初期位置へ復帰できるようにするために、固定子と可動子とをバネで接続することが考えられる。しかしながら、バネの剛性が低すぎる場合、可動子の重量によりバネが撓み、可動子が所期の動作を行うことができなくなるという問題がある。

また、このような特殊な動きをする可動子を持つ電磁アクチュエータであっても、漏れ磁束を抑制することにより、少ない電流で高効率に動作できることが要求される。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、可動子を初期位置に復帰させる動作に寄与する部材が搭載され、かつ、その部材の撓みを抑えることができ、さらに漏れ磁束を抑制して少ない電流で高効率に動作することができる電磁アクチュエータを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る電磁アクチュエータは、
第１の可動子部と、第２の可動子部と、前記第１の可動子部及び前記第２の可動子部の間に空間を形成するように、前記第１及び前記第２の可動子部を同軸で連結する出力軸とを有する可動子と、
前記可動子の周囲に配置された第１の電磁石群と、前記可動子の周囲に配置され、前記出力軸に沿う方向で前記第１の電磁石群に対応するように配置された第２の電磁石群とを有し、前記第１及び前記第２の電磁石群が、前記可動子の外周面に対向する、該外周面に沿う形状の内周面をそれぞれ有し、前記第１及び前記第２の電磁石群を用いて、前記出力軸を回転中心とする第１のトルク、前記出力軸と直交する軸を回転中心とする第２のトルク及び前記出力軸に沿った方向での並進推力を、前記可動子に発生させる固定子と、
前記可動子の前記空間内に設けられ、前記第１のトルクによる前記可動子の回転を支持する軸受ユニットと、
前記可動子の前記空間を介して前記固定子と前記軸受ユニットとの間に接続され、前記第２のトルクによる前記可動子の回転を支持する支持部材と
を具備する。

固定子の第１の電磁石群の各電磁石のうち少なくも２つ（及び第２の電磁石群の各電磁石のうち少なくとも２つ）に互いに異なる向きの磁束をそれぞれ発生させることにより第１のトルクを発生させることができる。これにより、可動子は出力軸を回転中心として回転することができる。また、第１の電磁石群のうち少なくとも１つの電磁石と、出力軸の方向で見てその電磁石の回転角度位置とは異なる回転角度位置に配置された、第２の電磁石群のうち少なくとも１つの電磁石とに、励磁のための互いに異なる値の電流をそれぞれ加えることにより、第２のトルクを発生させることができる。これにより、可動子は出力軸を回転中心として回転（傾動または揺動）することができる。

軸受ユニットは第１のトルクによる可動子の回転を支持する。一方、支持部材は固定子と軸受ユニットとの間に接続されているので、第２のトルクによる可動子の回転を支持し、特に、可動子の初期位置への復帰動作に寄与することができる。

ここで、仮に支持部材の剛性が低すぎる場合に可動子の重量によって撓みが発生する場合があっても、第１及び第２の電磁石群による、出力軸に沿った方向での並進推力を利用することにより、その撓みの発生を抑えることができる。すなわち、出力軸方向が重力方向である場合に、可動子の重力の方向とは反対方向に並進推力が発生するように、第１及び第２の電磁石群の励磁が制御されることにより、可動子を初期位置に復帰させることができる。

また、支持部材の撓みの許容範囲をできるだけ小さくする等の、支持部材の厳格な設計を必要としない。

さらに、可動子の第２のトルクによる可動子の回転時、支持部材の撓みが抑えられることにより、可動子の動きの制御時においてその撓みによる弾性力が外乱にならないので、小さい第２のトルクにより可動子を回転させることができる。

さらに、可動子は、第１及び第２のトルクによる可動子の回転運動だけでなく、出力軸に沿った方向での可動子の並進移動も可能となるので、電磁アクチュエータの応用範囲を広げることができる。

また、本発明では、第１及び第２の電磁石群が、可動子の外周面に対向する、該外周面に沿う形状の内周面をそれぞれ有するため、可動子が回転動作や並進動作を行う時に、可動子の外周面と、第１及び第２の電磁石群のそれぞれの内周面とがそれぞれ高精度に所期のギャップを保つことができ、また、そのギャップをできるだけ狭く保つことができる。これにより、そのギャップにおける漏れ磁束の発生を抑制し、少ない電流で高効率に動作することができる電磁アクチュエータを実現することができる。

前記支持部材は、前記出力軸に垂直な面内で配置された板バネであってもよい。支持部材が板バネであることにより、第１及び第２の可動子部の間に形成される空間の、出力軸方向の厚さを薄くすることができる。これにより、電磁アクチュエータの薄型化を実現することができる。

以上、本発明によれば、可動子を初期位置に復帰させる動作に寄与する支持部材が搭載され、かつ、その支持部材の撓みを抑えることができる電磁アクチュエータを実現することができる。また、漏れ磁束を抑制して少ない電流で高効率に動作することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る電磁アクチュエータを示す平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である（Ｂ−Ｂ線またはＣ−Ｃ線も同様）。図３は、板バネを説明するために、可動子の第１及び第２の可動子部などを省略した状態の電磁アクチュエータを示す平面図である。図４は、図２に示す状態から、可動子がｘ軸周りに回転（傾動）した状態を示す断面図である。図５（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態に係る電磁アクチュエータの動作原理を説明するための図である。図６（Ａ）及び（Ｂ）は、板バネの撓みの発生を抑制するための動作原理を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

[電磁アクチュエータの構成]
図１は、本発明の一実施形態に係る電磁アクチュエータを示す平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である（Ｂ−Ｂ線またはＣ−Ｃ線も同様）。図１では、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸を有するｘｙｚ空間において、電磁アクチュエータ１００を図示している。本発明の一実施形態に係る電磁アクチュエータ１００は、可動子をｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸の各軸周りに回転駆動可能な球面アクチュエータの一種として構成されている。

電磁アクチュエータ１００は、可動子１と固定子２とを備える。可動子１は、ｘｙ平面内の円周方向に沿って４つの分割された磁性体１１と、隣接する２つの磁性体１１の各間に等ピッチ(９０°間隔)で挿入された４つの永久磁石１２(例えば、Br=１．４T)とを有している。すなわち、可動子１は、円周方向に２つの磁極対を有する。永久磁石１２は、図１に示す矢印ｄの向きに着磁されている。

固定子２は、外周側の壁を形成する筒状のフレーム２１と、このフレーム２１に設けられ可動子１を駆動するための複数の電磁石３を有する。これら電磁石３は、コア３２及びこのコア３２に巻かれたコイル３１で構成されている。電磁石３は、上段及び下段にそれぞれ６個ずつ設けられている。上段側の複数の電磁石３（第１の電磁石群）と、下段側の複数の電磁石３（第２の電磁石群）とは、ｚ軸方向で対称位置となるように配置されている。

各コア３２は、それぞれ可動子１に向けて突出するように、フレーム２１の内周面側に等ピッチ（ｚ軸方向で見て６０°間隔）取り付けられている。コア３２の端部である磁極３２１の先端面は、可動子１の外周面と対向している。

各コイル３１に供給される電流は独立して制御することが可能となっており、これにより１２個の磁極３２１のそれぞれにおける励磁量も独立に制御することが可能となっている。

図２に示すように、可動子１は、第１の可動子部１３と、第２の可動子部１４と、これら第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４を同軸で連結する出力軸１５とを有する。出力軸１５は、第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４の間に空間Ｄを形成するように、それらを連結する。

第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４は、同一の構成を有しており、上述したように、４つの分割された磁性体１１と、これら磁性体１１の間に設けられた４つの永久磁石１２をそれぞれ有する。第１の可動子部１３の磁性体１１と、第２の可動子部１４の磁性体１１とは、ｚ軸方向で見て同じ角度位置にそれぞれ配置されている。また、第１の可動子部１３の永久磁石１２と、第２の可動子部１４の永久磁石１２とは、ｚ軸方向で見て同じ角度位置にそれぞれ配置されている。

第１及び第２の可動子部１３及び１４の外周部のｚ軸方向の厚さが、それらの内周部のｚ軸方向の厚さよりそれぞれ厚く形成されている。これにより、空間Ｄは、ｚ軸方向の幅が広い内周側空間Ｄ１と、ｚ軸方向の幅が狭い外周側空間Ｄ２とに分けられる。

第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４の側面は球面の一部となっており、また、それらの球面に対応するように、コア３２の、第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４にそれぞれ対面する面もそれぞれ球面となっている。

出力軸１５のｚ軸方向での中心であって、内周側空間Ｄ１には、出力軸１５の軸受ユニット４が設けられている。軸受ユニット４は、出力軸１５をｚ軸周りに回転自在に支持する軸受４１と、軸受ユニット４を保持する軸受ホルダ４２とを有する。

固定子２のフレーム２１と軸受ユニット４との間には、空間Ｄを介して、支持部材としての板バネ５が接続されている。板バネ５は、ｘ軸、ｙ軸、またはこれらの合成軸の周りでの可動子１の回転を支持する機能を有する。

図３は、可動子１の第１及び第２の可動子部１３及び１４、また、図２で示す上段の各電磁石３の図示をそれぞれ省略した状態の電磁アクチュエータ１００を示す平面図である。板バネ５の外形は円形である。上記のように、板バネ５の外周縁５１はフレーム２１に接続されて固定され、また、その内周縁５２は軸受ユニット４に接続され固定されている。

板バネ５には、円弧状の２つのスリット５４と、それらのスリット５４より外周側に配置された円弧状の２つのスリット５５とが形成されている。スリット５４が並ぶ方向は例えばｙ軸に沿った方向であり、各スリット５４の端部の間には連結部５３ｘがそれぞれ形成されている。外周側のスリット５５が並ぶ方向は例えばｘ軸に沿った方向であり、各スリット５４の端部の間には連結部５３ｙがそれぞれ形成されている。これにより、可動子１（図２参照）は、連結部５３ｘを回転中心としてｘ軸周りに回転可能となり、また、連結部５３ｙを回転中心としてｙ軸周りに回転可能となる。

板バネ５の材料は、ステンレス、アルミニウム、樹脂等の非磁性材であるが、磁性材であってもよい。

図４は、図２に示す状態から、可動子１がｘ軸周りに回転（傾動）した状態を示す断面図である。ｙ軸周りも同様である。この図に示すように、可動子１（出力軸１５、第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４）は、軸受ユニット４と一体的に回転する。また、このような構成の板バネ５によれば、その剛性が適宜調整されることにより、ｘ及びｙ軸の合成軸の周りでも可動子１が回転可能となる。

図２に示すように、上段側の複数の電磁石３（第１の電磁石群）の内周面３５ａと、下段側の複数の電磁石３（第２の電磁石群）の内周面３５ｂとが、可動子１の第１の可動子部１３及び第２の可動子部１４のそれぞれの外周面１３１及び１４１にそれぞれ対向している。そして、内周面３５ａの形状と外周面１３１の形状とが対応し、内周面３５ｂの形状と外周面１４１の形状とが対応している。

具体的には、それら外周面１３１、１４１、内周面３５ａ、３５ｂの形状は、球面の一部の形状でなる。このような構成により、可動子１が回転動作や並進動作を行う時に、可動子１の外周面１３１及び１４１と、電磁石３の内周面３５ａ及び３５ｂとが、それぞれ高精度に所期のギャップを保つことができ、また、そのギャップをできるだけ狭く保つことができる。これにより、そのギャップにおける漏れ磁束の発生を抑制し、少ない電流で高効率に動作することができる電磁アクチュエータを実現することができる。

なお、上記外周面１３１、１４１、内周面３５ａ、３５ｂの形状は球面の一部に限られず、楕円面の一部、双曲面の一部、楕円放物面の一部等の、二次曲面の一部であってもよい。

[電磁アクチュエータの動作原理]
以下、電磁アクチュエータ１００の動作原理を説明する。

まず、ｘ軸周りの回転運動について動作原理を説明する。図５（Ａ）は、図１で示したｘ軸に垂直な断面、すなわちＡ−Ａ線断面を表している。ここで、Ａ−Ａ線断面内には４つの磁極３２１が存在している。また、これら４つの磁極３２１に対向する磁性体１１は、永久磁石１２の着磁方向により、Ｓ極の磁性を示している。

今、図５（Ａ）で示した磁極が現れるようにコイル３１が励磁されると、可動子１は図中の矢印方向にトルク（つまり、電磁トルク）を得ることができる。また、コイル３１の電流を反転させると、可動子１は図５（Ａ）とは反対方向にトルクを得ることになる。ｘ軸周りの回転におけるトルク量は、Ａ−Ａ線断面内に存在するコア３２に巻かれたコイル３１への電流量を調整することによって制御可能である。

次に、ｙ軸周りの回転運動について、図５（Ｂ）をもとに説明する。図５（Ｂ）はＡ−Ａ線断面をｚ軸周りに６０°回転させた断面、すなわちＢ−Ｂ線断面またはＣ−Ｃ線断面を示している。ここで、Ｂ−Ｂ線断面及びＣ−Ｃ線断面においても、その断面内には４つの磁極３２１が存在している。また、これら４つの磁極３２１に対向する磁性体１１は、永久磁石１２の着磁方向により、Ｎ極の磁性を示している。

なお、ｙ軸は、図１におけるＢ−Ｂ線またはＣ−Ｃ線の間に位置する線であるが、Ｂ−Ｂ線断面内にある磁極３２１及びＣ−Ｃ線断面内にある磁極３２１は、それぞれ同じ極性になるように制御されるので、図５（Ｂ）で示した１つの図で動作原理を説明することができる。

今、図５（Ｂ）で示した磁極が現れるようにコイル３１が励磁されると、可動子１は図中の矢印方向にトルクを得ることができる。また、コイル３１の電流を反転させると、可動子１は図５（Ｂ）とは反対方向にトルクを得ることになる。すなわち、Ｂ−Ｂ線断面及びＣ−Ｃ線断面の両方において、同様の作用によって同じ大きさのトルクを作用させれば、可動子に働く合力はｙ軸周りの回転トルクとなる。ｙ軸周りの回転におけるトルク量は、Ｂ−Ｂ線断面またはＣ−Ｃ線断面内に存在するコア３２に巻かれたコイル３１への電流量を調整することによって制御可能である。

最後に、ｚ軸周りの回転について、図５（Ｃ）をもとに動作原理を説明する。図５（Ｃ）はｚ軸に垂直な断面図を示している。今、図５（Ｃ）で示した磁極が現れるようコイル３１が励磁され、つまり、ｚ軸周りの方向で１８０°離れた各電磁石が同相となるように、コイル３１が励磁され、可動子１は図中の矢印方向にトルクを得ることができる。ｚ軸に沿って配置された２つの固定子についてそれぞれ同じ磁極を発生させれば、ｚ軸以外の軸にはトルクは発生しないことになる。また、コイル３１の電流を反転させると、可動子１は反対方向にトルクを得ることになる。ｚ軸周りの回転におけるトルク量は、コア３２に巻かれたコイル３１への電流量を調整することによって制御可能である。

以上のように、特に図５（Ａ）及び（Ｂ）を用いて説明したように、ｘ軸またはｙ軸周りに可動子１が回転（傾動または揺動）することができる。可動子１は、上記のように板バネ５が取り付けられているので、初期位置に復帰することができる。また、上記したように、板バネ５の剛性が適宜調整されることにより、ｘ及びｙ軸の合成軸の周りでも可動子１が回転可能となる。

ここで、仮に板バネ５に撓みが発生したとしても、以下のようにしてその撓みの発生を抑制することができる。図６（Ａ）はその動作原理を説明するための平面図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。

例えば図６（Ａ）に示すように、各電磁石３が、それぞれ図示するような磁極を持つように励磁されたとする。上段側の電磁石３と、下段側の電磁石３とは、ｚ軸方向で見て同じ回転角度位置において同じ極性となるように励磁される。本実施形態では、図６（Ｂ）に示すように、下段側のすべての電磁石３が電流値ｉ₀で励磁された場合、上段側のすべての電磁石３の電流値ｉ₀+ｉで励磁される。すなわち、下段側及び上段側で、電磁石３の励磁のための電流値の差がｉとされる。このように、いわばバイアス電流ｉが上段側の電磁石３に付加されることにより、上記板バネ５の撓みをキャンセルする方向に（いま、重力方向をｚ軸方向の下方向としている。）、可動子１に並進推力を発生させることができる。電流値ｉは、板バネ５やその他の部材の設計に応じて予め設定することができる。これにより、可動子１の位置を初期位置に保つことができる。

また、板バネ５の撓みの許容範囲をできるだけ小さくする等の、板バネ５の厳格な設計を必要としない。

さらに、可動子１のｘｙ軸周りでの回転時に板バネ５の撓みが抑えられることにより、可動子１の動きの制御時においてその撓みによる弾性力が外乱にならないので、小さいトルクにより可動子１を回転させることができる。

さらに、バイアス電流値を適宜制御することにより、可動子１は、ｚ軸、ｘｙ軸での回転運動だけでなく、ｚ軸に沿った方向での並進運動も可能となる。すなわち、意図的に可動子１が初期位置から離れるように可動子１が駆動されることにより、電磁アクチュエータ１００の応用範囲を広げることができる。例えば、搬送用のロボットアームの関節装置に電磁アクチュエータ１００が適用される場合、ｚ軸方向での搬送対象物の位置の微調整等を行うことができる。

[その他の実施形態]
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。

出力軸１５、フレーム２１、板バネ５、可動子１の第１及び第２の可動子部１３及び１４のそれぞれの形状、大きさ等は適宜変更可能である。例えば、板バネ５のスリットの形状、配置、個数等、適宜変更可能である。あるいは、１枚の板バネ５に代えて、長方形状の板バネが複数設けられていてもよい。電磁アクチュエータ１００の、出力軸方向の厚さは厚くなるが、板バネ５に代えて、複数のコイルバネが設けられていてもよい。

例えば、センサを用いて可動子１のｘｙ軸周りでの傾動角やｚ軸方向での並進移動の距離が検出される構成であってもよい。この場合、センサとして、例えば出力軸１５等に設けられた光センサ等を利用することができる。

可動子１に並進推力を発生させる方法として、図６（Ｂ）に示した形態に限られない。例えば、ｚ軸方向で見て回転角度位置にある、下段側及び上段側の電磁石３が、それぞれ異なる磁極を持つように励磁されるようにしてもよい。例えば図６（Ｂ）のＡ−Ａ線断面で見る場合、上段側の２つの電磁石３がＮ極で、下段側の２つの電磁石３がＳ極になるように励磁される。このような方法によっても、可動子１の並進移動が可能となる。あるいは、このような方法と、図６（Ｂ）で示した電流値の制御による方法とを組合せてもよい。

電磁石３の個数や配置は、上記実施形態に限られず、適宜変更可能である。

ｘ軸、ｙ軸、またはこれらの合成軸の周りでの可動子１の回転、すなわち可動子１の傾動を支持する支持部材として、板バネ５に限られない。例えばそれはゴムでもよい。支持部材が板バネのような薄い部材でなく、z軸方向に厚さのある部材である場合、その厚さに応じて、外周側空間Ｄ２（図２参照）等の形状やサイズが適宜設計されればよい。
あるいは、支持部材は、設計者がその設計時に意図的に弾性力を持たせたような部材に限られず、その傾動動作を支持できる部材であって、その傾動に追従して変形（弾性変形）するような部材であれば何でもよい。

Ｄ…空間
１…可動子
２…固定子
３…電磁石
４…軸受ユニット
５…板バネ（支持部材に相当）
１３…第１の可動子部
１４…第２の可動子部
１５…出力軸
１００…電磁アクチュエータ

Claims

第１の可動子部と、第２の可動子部と、前記第１の可動子部及び前記第２の可動子部の間に空間を形成するように、前記第１及び前記第２の可動子部を同軸で連結する出力軸とを有する可動子と、
前記可動子の周囲に配置された第１の電磁石群と、前記可動子の周囲に配置され、前記出力軸に沿う方向で前記第１の電磁石群に対応するように配置された第２の電磁石群とを有し、前記第１及び前記第２の電磁石群が、前記可動子の外周面に対向する、該外周面に沿う形状の内周面をそれぞれ有し、前記第１及び前記第２の電磁石群を用いて、前記出力軸を回転中心とする第１のトルク、前記出力軸と直交する軸を回転中心とする第２のトルク及び前記出力軸に沿った方向での並進推力を、前記可動子に発生させる固定子と、
前記可動子の前記空間内に設けられ、前記第１のトルクによる前記可動子の回転を支持する軸受ユニットと、
前記可動子の前記空間を介して前記固定子と前記軸受ユニットとの間に接続され、前記第２のトルクによる前記可動子の回転を支持する支持部材と、
を具備する電磁アクチュエータ。
請求項１に記載の電磁アクチュエータであって、
前記支持部材は、前記出力軸に垂直な面内で配置された板バネである電磁アクチュエータ。