JP2013170902A

JP2013170902A - ワーク吸着固定装置および超音波検査システム

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Publication number: JP2013170902A
Application number: JP2012034420A
Authority: JP
Inventors: masakatsu Murai; 正勝村井; Kaoru Kitami; 薫北見; Mitsuo Koshirae; 美津男拵
Original assignee: Hitachi Power Solutions Co Ltd
Current assignee: Hitachi Power Solutions Co Ltd
Priority date: 2012-02-20
Filing date: 2012-02-20
Publication date: 2013-09-02
Anticipated expiration: 2032-02-20
Also published as: JP5655017B2; TWI507684B; CN103257185B; CN103257185A; KR20130095685A; TW201350846A; KR101505417B1

Abstract

【課題】ワークが可撓性を有する場合であっても、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で安定的に吸着固定状態を維持する。
【解決手段】ワークＷＫを水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で吸着固定するワーク吸着固定装置１１は、循環水路２１と、送水部２３と、基部２９およびリップ部３１を有しワークＷＫを吸着する複数の吸盤３３を備える。循環水路２１は、水槽１７の水ＷＴを吸い込む吸込口２１ａおよび吸い込んだ水ＷＴを吐き出す吐出口２１ｂを有し、吸込口２１ａから吐出口２１ｂへと水槽１７の水ＷＴを循環させる。送水部２３は、循環水路２１に設けられて水ＷＴの循環を行わせる。基部２９は、吸込口２１ａに連通する貫通孔４１を略中心に有し、弾性を有するリップ部３１は、貫通孔４１を通して水ＷＴが吸引されることでリップ部３１の内方空間Ｓが狭められることによってワークＷＫを吸着する。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体材料などのワークを水槽の水に浸漬させた状態で吸着固定するワーク吸着固定装置および超音波検査システムに関する。

例えば、半導体材料などのワークの検査を、超音波を用いて行う技術が知られている。本願出願人は、ワークに対して超音波を発信する一方でその反射波を受信し、発信から受信に到るまでの経過時間に基づいて、ワークにおけるボイドやクラックなどの欠陥の検査を行う技術を提案している（特許文献１参照）。
特許文献１によれば、ワークの欠陥検査を簡易に行うことができる。

特開２００４−２１２１９１号公報

特許文献１では、ワークの欠陥検査を行うに際し、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で、吸着パッドを通して水を吸引することで生じる水圧差を用いてワークを吸着パッドに吸着固定するようにしている。検査中にワークの位置がぶれると、その検査結果が誤差を含むものになるからである。

ところが、特許文献１では、可撓性を有するワークを水槽の水に浸漬させた状態で、吸着パッドを通して水槽の水を吸引することで生じる水圧差を用いてワークを吸着パッドに吸着固定しよう試みたとき、例えば、吸着パッドから離れる方向にワークの周縁部が反っている場合は、ワークの周縁部と吸着パッドとの間に隙間を生じる。すると、吸着パッドを通して水槽の水を吸引することで生じる水圧差が小さくなり、この小さい水圧差程度では、ワークの周縁部を吸着パッドに引き付けて吸着固定状態を維持することはできないおそれがある。この点、特許文献１は、可撓性を有するワークを対象として検査を行う際に生じるおそれのある前記の問題については言及していない。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ワークが可撓性を有する場合であっても、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で安定的に吸着固定状態を維持可能なワーク吸着固定装置および超音波検査システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るワーク吸着固定装置は、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で吸着固定するワーク吸着固定装置であって、前記水槽の水を吸い込む吸込口および前記吸い込んだ水を吐き出す吐出口を有し、前記吸込口から吐出口へと前記水槽の水を循環させる循環水路と、前記循環水路に設けられて前記水の循環を行わせる送水部と、基部およびリップ部を有し前記ワークを吸着する複数の吸盤と、を備え、前記基部は、前記吸込口に連通する貫通孔を略中心に有し、弾性を有する前記リップ部は、前記貫通孔を通して前記水が吸引されることで当該リップ部の内方空間が狭められることによって前記ワークを吸着する、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るワーク吸着固定装置によれば、ワークが可撓性を有する場合であっても、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で安定的に吸着固定状態を維持することができる。

本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置および超音波検査システムの概略構成図である。本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置の概要を表す図である。本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置の一構成要素である吸盤の実装構造を表す要部拡大断面図である。

以下、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置および超音波検査システムについて、図面を参照して詳細に説明する。

〔本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置および超音波検査システムの概要〕
はじめに、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置および超音波検査システムの概要について説明する。
特許文献１に係る従来技術では、可撓性を有するワークを水槽の水に浸漬させた状態で、吸着パッドを通して水槽の水を吸引することで生じる水圧差を用いてワークを吸着パッドに吸着固定しようと試みた場合に、例えば、吸着パッドから離れる方向にワークの周縁部が反っているときには、ワークの周縁部と吸着パッドとの間に隙間を生じる。すると、吸着パッドを通して水槽の水を吸引することで生じる水圧差が小さくなり、この小さい水圧差程度では、ワークの周縁部を吸着パッドに引き付けて吸着固定状態を維持することができないおそれがあった。
そこで、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置および超音波検査システムでは、基部およびリップ部を有しワークを吸着する吸盤であって、基部は、吸込口に連通する貫通孔を略中心に有し、弾性を有するリップ部は、貫通孔を通して水槽の水が吸引されることで当該リップ部の内方空間が狭められることによってワークを吸着する、吸盤を採用することにより、ワークが可撓性を有する場合であっても、ワークを水槽の水に浸漬させた状態で安定的な吸着固定状態の維持を図ることとした。

〔本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１および超音波検査システム１３の概略構成〕
次に、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１および超音波検査システム１３の概略構成について、図１〜図３を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１および超音波検査システム１３の概略構成図である。図２は、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１の概要を表す図である。図３は、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１の一構成要素である吸盤３３の実装構造を表す要部拡大断面図である。

なお、ワーク吸着固定装置１１と超音波検査システム１３との相違点は、次の通りである。すなわち、超音波検査システム１３は、ワーク吸着固定装置１１の構成に、ワークＷＫの欠陥検査を行うための超音波探触子１５の構成を追加したものである。超音波探触子１５は、図１中の矢印方向に沿って走査することにより、ワークＷＫの欠陥検査を行う機能を有する。
そこで、以下の説明では、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１を説明することで、超音波検査システム１３の説明に代えることとする。

本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１は、図１に示すように、ワークＷＫを水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で、保持部材１９に対するワークＷＫの吸着固定状態を維持する機能を有する。この吸着固定状態の維持機能を実現するために、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１は、図１に示すように、循環水路２１と、本発明の送水部として機能する送水ポンプ２３と、保持部材１９と、チャンバー部２５と、圧力調整弁２７と、基部２９およびリップ部３１（図３参照）を有しワークＷＫを吸着する複数の吸盤３３と、を備える。

ワークＷＫは、例えば、半導体材料や半導体部品などである。本実施形態では、例えば、可撓性を有するワークＷＫを想定している。

循環水路２１は、図１に示すように、水槽１７の水ＷＴを吸い込む吸込口２１ａおよび吸い込んだ水を吐き出す吐出口２１ｂを有する。循環水路２１は、吸込口２１ａから吸い込んだ水槽１７の水ＷＴを吐出口２１ｂから吐き出して水槽１７に戻す水槽１７の水ＷＴの循環水路としての機能を有する。

循環水路２１の途中には、図１に示すように、送水ポンプ２３が設けられている。送水ポンプ２３は、水槽１７の水ＷＴを送出することで水ＷＴの循環を行わせる機能を有する。また、循環水路２１は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧が所定値を下回ると開放する圧力調整弁２７を有する。

圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧が所定値を下回ると、ワークＷＫの検査を行う際に生じるワークＷＫの吸着固定による変形量が許容値を超えるか、または、送水ポンプ２３の負荷が許容値を超えるおそれがあるとみなして、その水圧に応じて圧力調整弁２７の開度を調整（例えば、吸込口２１ａの側の水圧が所定値を少し下回るときには、圧力調整弁２７の開度を開放側に小さく調整し、吸込口２１ａの側の水圧が所定値を大きく下回るときには、圧力調整弁２７の開度を開放側に大きく調整）する。

ここで、前記した水圧の所定値は、ワークＷＫに係る変形量許容値、または、送水ポンプ２３に係る負荷の許容値に基づいて、これら許容値のうちいずれか小さい方を適宜設定すればよい。これにより、圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧を高めるように働くことにより、ワークＷＫに係る過剰な変形や、送水ポンプ２３の過負荷を未然に防止する機能を有する。

保持部材１９は、図１に示すように、ワークＷＫに当接する平板状の当接面１９ａを有し、当該ワークＷＫの姿勢を水平状態に保持する機能を有する。箱形状の保持部材１９は、不図示の支持部材を介して、水槽１７に対して水平状態を維持して固定されている。ワークＷＫの姿勢を保持する保持部材１９の位置決めは、ワークＷＫにおけるボイドやクラックなどの欠陥の検査精度を高める上で重要な要素だからである。

保持部材１９の当接面１９ａには、図１および図３に示すように、複数の収容穴部３５が開設されている。複数の収容穴部３５は、それぞれが略円筒形状に形成されている。複数の収容穴部３５には、複数の吸盤３３がそれぞれ収容されるようになっている。

保持部材１９における複数の収容穴部３５の下方には、空洞であるチャンバー部２５が設けられている。複数の収容穴部３５のそれぞれと、チャンバー部２５との間には、これらの間を連通接続する通孔３７が開設されている。チャンバー部２５は、循環水路２１の一部を構成するように、保持部材１９に設けられている。循環水路２１と比べて水流路の断面積が大きく形成されたチャンバー部２５は、後記するように、複数の吸込口２１ａおよび複数の貫通孔４１をそれぞれ通して水槽１７の水ＷＴを吸引する際に、複数の吸込口２１ａ間での水槽１７の水ＷＴの吸引力を略均等化する機能を有する。

ゴムなどの弾性体より形成される吸盤３３は、図３に示すように、基部２９およびリップ部３１を有している。吸盤３３における基部２９の中心には、円筒形状の挿通孔部３９が設けられている。この挿通孔部３９に対し、貫通孔４１が中心に開設されたボルト４３が挿通される。吸盤３３の基部２９は、ボルト４３の軸部に形成されたねじ部４３ａと、通孔３７に形成されたねじ溝３７ａとを螺合することにより、保持部材１９の収容穴部３５に対して取り付けられる。

吸盤３３のリップ部３１は、図３に示すように、基部２９の周囲から斜め上方に向かって延び出している。リップ部３１における円周形状の外周縁部（本発明の“周縁部”に相当する。）３１ａは、保持部材１９の当接面１９ａに対して略面一となるように位置している。つまり、リップ部３１の外周縁部３１ａは、保持部材１９の当接面１９ａに対してワークＷＫが当接している状態で、ワークＷＫに当接するようになっている。

要するに、複数の吸盤３３は、リップ部３１がワークＷＫを臨み、かつ、リップ部３１の外周縁部３１ａが保持部材１９の当接面１９ａに対して略面一となるように、保持部材１９の収容穴部３５にそれぞれ設けられている。これにより、弾性を有するリップ部３１は、ボルト４３に開設された貫通孔４１を通して水槽１７の水ＷＴが吸引されることでリップ部３１の内方空間Ｓが狭められることによって、ワークＷＫを吸着するように構成されている。

複数の吸盤３３は、保持部材１９の長手方向に沿って延びる中心線を隔てて相互に隣接する一対の吸盤３３同士が対向するように配置されている。保持部材１９の長手方向を行方向とし、この長手方向に直交する方向を列方向とすると、本実施形態では、保持部材１９に対して複数の吸盤３３は、２行７列に整列して設けられている。

〔本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１の動作〕
次に、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１の動作について説明する。
本実施形態では、ワークＷＫの一例として、例えば厚さｔが０．５ｍｍのガラスエポキシ基板を想定して説明を進める。また、同ワークＷＫは、その周縁部が、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に反っているものとする。

まず、操作者は、送水ポンプ２３の電源スイッチ（不図示）をオンする。送水ポンプ２３は、予め設定された駆動力をもって、水槽１７の水ＷＴを送出することで水ＷＴの循環を行わせるように動作する。これにより、保持部材１９の当接面１９ａに対し、ワークＷＫを吸着固定するための準備が整う。

次に、操作者は、水槽１７に対して水平状態を維持して固定された保持部材１９の当接面１９ａに対し、手作業で（自動化してもよい）ワークＷＫを軽く押し付けるようにする。すると、吸込口２１ａにおいて生じる水槽１７の水ＷＴの吸引力によって、ワークＷＫの中央部および周縁部は、保持部材１９の当接面１９ａに密着するように引き寄せられる。

具体的には、弾性を有するリップ部３１は、水槽１７の水ＷＴが貫通孔４１を通して吸引されることでリップ部３１の内方空間Ｓが狭められることによって、ワークＷＫを吸着するように働く。仮に、ワークＷＫの周縁部において、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に力が加えられたとしても、弾性を有するリップ部３１が、ワークＷＫに対する吸着固定状態を維持するように働く。

したがって、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、可撓性を有するワークＷＫの周縁部が、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に反っている場合であっても、同ワークＷＫを水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で安定的に吸着固定状態を維持することができる。

仮に、大判のワークＷＫが、保持部材１９の当接面１９ａを全て覆うように位置している場合には、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧が、所定値を下回るに到る。すると、圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３の負荷が許容値を超えるおそれがあるとみなして、不図示の弁体を開放するように動作する。

したがって、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、仮に、大判のワークＷＫが、保持部材１９の当接面１９ａを全て覆うように位置している場合であっても、圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧を高めるように働くので、送水ポンプ２３の過負荷を未然に防止することができる。

また、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、保持部材１９は、複数の吸込口２１ａおよび複数の貫通孔４１にそれぞれ連通接続され、循環水路２１の一部を構成するチャンバー部２５を有するので、複数の吸込口２１ａおよび複数の貫通孔４１をそれぞれ通して水槽１７の水ＷＴを吸引する際に、保持部材１９の当接面１９ａを覆うワークＷＫの大きさにかかわらず、複数の吸込口２１ａ間での水槽１７の水ＷＴの吸引力を略均等化することができる。

ところで、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１を具現化するに際し、単一の吸盤３３の所要吸着力Ｐを、いかにして求めるのかが問題となる。単一の吸盤３３の所要吸着力Ｐを把握することができれば、得られた情報に基づいて、送水ポンプ２３の駆動力を設定することができるからである。そこで、単一の吸盤３３の所要吸着力Ｐを求める際の考え方を、以下に述べることとする。

いま、ワークＷＫの周縁部の反りを平らに保持できる単一の吸盤３３の吸着力（水槽１７の水ＷＴの吸引力）をＰ_０とする。また、保持部材１９の当接面１９ａに対してワークＷＫの動きを抑制できる単一の吸盤３３の吸着力をＰ_１とする。そして、ワークＷＫの欠陥検査時においてワークＷＫにかけてよい、単一の吸盤３３あたりの最小の吸着力（水圧）をＰ_２とする。
すると、単一の吸盤３３の所要吸着力Ｐは、下記の式（１）によって表すことができる。
Ｐ_０＋Ｐ_１ ≦ Ｐ≦ Ｐ_２式（１）

なお、前記した単一の吸盤３３の吸着力Ｐ_０，Ｐ_１，Ｐ_２は、ワークＷＫおよび吸盤３３の仕様などに従って変動する。そこで、実験、シミュレーション、または、これらの組み合わせによって、単一の吸盤３３の吸着力Ｐ_０，Ｐ_１，Ｐ_２をそれぞれ求めればよい。こうして求めた単一の吸盤３３の吸着力Ｐ_０，Ｐ_１，Ｐ_２を式（１）に代入することによって、単一の吸盤３３の所要吸着力Ｐを求めることができる。

〔本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１の作用効果〕
本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、基部２９およびリップ部３１を有しワークＷＫを吸着する複数の吸盤３３を備え、基部２９は、吸込口２１ａに連通する貫通孔４１を略中心に有し、弾性を有するリップ部３１は、貫通孔４１を通して水槽１７の水ＷＴが吸引されることでリップ部３１の内方空間Ｓが狭められることによってＷＫワークを吸着するので、ワークＷＫが可撓性を有し、かつ、ワークＷＫの周縁部が、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に反っている場合であっても、同ワークＷＫを水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で安定的に吸着固定状態を維持することができる。

また、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、ワークＷＫに当接する平板状の当接面３１ａを有しワークＷＫの姿勢を保持するための保持部材１９をさらに備え、複数の吸盤３３は、リップ部３１がワークＷＫを臨み、かつ、リップ部３１におけるワークＷＫ側の外周縁部３１ａが保持部材１９の当接面１９ａに対して略面一となるように保持部材１９にそれぞれ設けられるので、前記の作用効果に加えて、ワークＷＫを水平な吸着固定状態に的確に維持することができる。

また、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、循環水路２１は、チャンバー部２５を有し、複数の吸盤３３がそれぞれ有する基部２９の吸込口２１ａに連通する貫通孔４１は、チャンバー部２５に連通するように構成されるので、複数の吸込口２１ａおよび複数の貫通孔４１をそれぞれ通して水槽１７の水ＷＴを吸引する際に、保持部材１９の当接面１９ａを覆うワークＷＫの大きさにかかわらず、複数の吸込口２１ａ間での水槽１７の水ＷＴの吸引力を略均等化することができる。

また、本発明の実施形態に係るワーク吸着固定装置１１によれば、循環水路２１は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧が所定値を下回ると開放する圧力調整弁２７を有するので、仮に、大判のワークＷＫが、保持部材１９の当接面１９ａを全て覆うように位置している場合であっても、圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧を高めるように働くため、送水ポンプ２３の過負荷を未然に防止することができる。

そして、本発明の実施形態に係る超音波検査システム１３は、水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で吸着固定したワークＷＫを対象として超音波を用いた欠陥検査を行うための超音波探触子１５を備えるものが前提となる。本発明の実施形態に係る超音波検査システム１３では、基部２９およびリップ部３１を有しワークＷＫを吸着する複数の吸盤３３を備え、基部２９は、吸込口２１ａに連通する貫通孔４１を略中心に有し、弾性を有するリップ部３１は、貫通孔４１を通して水槽１７の水ＷＴが吸引されることでリップ部３１の内方空間Ｓが狭められることによってＷＫワークを吸着する。また、ワークＷＫに当接する平板状の当接面３１ａを有しワークＷＫの姿勢を保持するための保持部材１９を備える。複数の吸盤３３は、リップ部３１がワークＷＫを臨み、かつ、リップ部３１におけるワークＷＫ側の外周縁部３１ａが保持部材１９の当接面１９ａに対して略面一となるように保持部材１９にそれぞれ設けられる。

本発明の実施形態に係る超音波検査システム１３によれば、可撓性を有するワークＷＫの周縁部が、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に反っている場合であっても、ワークＷＫを水槽１７の水ＷＴに浸漬させた状態で、水平かつ安定な吸着固定状態にワークＷＫを的確に維持することができる。
したがって、本発明の実施形態に係る超音波検査システム１３によれば、高精度のワークＷＫの欠陥検査を行うことができる。

［その他の実施形態］
以上説明した実施の形態は、本発明に係る具現化の一例を示したものである。従って、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならない。本発明は、その要旨または主要な特徴から逸脱することなく、様々な形態で実施することができるからである。

例えば、本実施形態において、ワークＷＫとしては、その周縁部が、保持部材１９の当接面１９ａから離れる方向に反っているものを想定して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明を適用可能なワークＷＫとしては、例えば、保持部材１９の当接面１９ａに対して中央部分が凸形状または凹形状を有するものなど、あらゆる形状のワークＷＫであってもよい。

また、本実施形態において、保持部材１９に対して吸盤３３を、保持部材１９の長手方向に沿って延びる中心線を隔てて相互に隣接する一対の吸盤３３同士が対向するように配置する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。保持部材１９に対して吸盤３３を、保持部材１９の長手方向に沿って延びる中心線を隔てて相互に隣接する一対の吸盤３３同士を千鳥状に配置する態様を採用してもよい。

また、本実施形態において、保持部材１９に対して複数の吸盤３３を、２行７列に整列して設ける例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。保持部材１９に設けられる吸盤３３の行方向または列方向の数や吸盤３３の総数は、対象となるワークＷＫの大きさや保持部材１９の大きさに応じて適宜設定することができる。

また、本実施形態において、ワークＷＫの一例として、例えば厚さｔが０．５ｍｍのガラスエポキシ基板を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明で使用可能なワークＷＫとしては、例えば、可撓性を有するワークの他に、吸着面に凹凸を有するワークや、相互に大きさの異なる複数のワークを組み合わせたものなどを、適宜用いることができる。

１１ワーク吸着固定装置
１３超音波検査システム
１５超音波探触子
１７水槽
１９保持部材
１９ａ当接面
２１循環水路
２１ａ吸込口
２１ｂ吐出口
２３送水ポンプ（送水部）
２５チャンバー部
２７圧力調整弁
２９基部
３１リップ部
３１ａ外周縁部（周縁部）
３３吸盤
３５収容穴部
３７通孔
３７ａねじ溝
３９挿通孔部
４１貫通孔
４３ボルト
４３ａねじ部
ＷＫワーク
ＷＴ水槽の水
Ｓリップ部の内方空間

ここで、前記した水圧の所定値は、ワークＷＫに係る変形量許容値、または、送水ポンプ２３に係る負荷の許容値に基づいて、これら許容値のうちいずれか大きい方を適宜設定すればよい。これにより、圧力調整弁２７は、送水ポンプ２３に対する吸込口２１ａの側の水圧を高めるように働くことにより、ワークＷＫに係る過剰な変形や、送水ポンプ２３の過負荷を未然に防止する機能を有する。

Claims

ワークを水槽の水に浸漬させた状態で吸着固定するワーク吸着固定装置であって、
前記水槽の水を吸い込む吸込口および前記吸い込んだ水を吐き出す吐出口を有し、前記吸込口から吐出口へと前記水槽の水を循環させる循環水路と、
前記循環水路に設けられて前記水の循環を行わせる送水部と、
基部およびリップ部を有し前記ワークを吸着する複数の吸盤と、
を備え、
前記基部は、前記吸込口に連通する貫通孔を略中心に有し、
弾性を有する前記リップ部は、前記貫通孔を通して前記水が吸引されることで当該リップ部の内方空間が狭められることによって前記ワークを吸着する、
ことを特徴とするワーク吸着固定装置。
請求項１に記載のワーク吸着固定装置であって、
前記ワークに当接する平板状の当接面を有し当該ワークの姿勢を保持するための保持部材をさらに備え、
前記複数の吸盤は、前記リップ部が前記ワークを臨み、かつ、前記リップ部における前記ワーク側の周縁部が前記保持部材の前記当接面に対して略面一となるように、前記保持部材にそれぞれ設けられる、
ことを特徴とするワーク吸着固定装置。
請求項１または２に記載のワーク吸着固定装置であって、
前記循環水路は、チャンバー部を有し、
前記複数の吸盤がそれぞれ有する前記基部の前記吸込口に連通する前記貫通孔は、前記チャンバー部に連通するように構成される、
ことを特徴とするワーク吸着固定装置。
請求項１〜３のいずれか一項に記載のワーク吸着固定装置であって、
前記循環水路は、前記送水部に対する前記吸込口の側の水圧が所定値を下回るとその水圧に応じた開度調整を行う圧力調整弁を有する、
ことを特徴とするワーク吸着固定装置。
水槽の水に浸漬させた状態で吸着固定したワークを対象として超音波を用いた欠陥検査を行う超音波検査システムであって、
水槽の水を吸い込む吸込口および前記吸い込んだ水を吐き出す吐出口を有し、前記吸込口から吐出口へと前記水槽の水を循環させる循環水路と、
前記循環水路に設けられて前記水の循環を行わせる送水部と、
前記ワークに当接する平板状の当接面を有し当該ワークの姿勢を保持するための保持部材と、
基部およびリップ部を有し前記ワークを吸着する吸盤と、
を備え、
前記基部は、前記吸込口に連通する貫通孔を略中心に有し、
弾性を有する前記リップ部は、前記貫通孔を通して前記水が吸引されることで当該リップ部の内方空間が狭められることによって前記ワークを吸着し、
複数の前記吸盤は、前記リップ部が前記ワークを臨み、かつ、前記リップ部における前記ワーク側の周縁部が前記保持部材の前記当接面ａに対して略面一となるように、前記保持部材にそれぞれ設けられる、
ことを特徴とする超音波検査システム。