JP2014016231A - ｐＨ計 - Google Patents

Abstract

【課題】 イオン感応性電界効果トランジスタを有するｐＨ計において、ＩＳＦＥＴチップと配線手段との接続が容易であり、かつ、センサ構成部をニードル状に非常に細長くすることが容易な構造を有するｐＨ計を提供すること。
【解決手段】 フレキシブルプリント配線板１０の第１配線パターン３０と第２配線パターン３５とが上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成されているので、フレキシブルプリント配線板１０の長さが２００ｍｍと非常に長いのに対して、幅１．０ｍｍとあたかも線条体のように長細いものとなっている。また、さらに、ＩＳＦＥＴチップ６０の図示していない電極をＩＳＦＥＴチップ用端子３３及び３７にフェイスダウンボンディングすることによって、ＩＳＦＥＴチップ６０をフレキシブルプリント配線板１０に実装するので、技術的困難性が低く、実装工程が非常に簡便になる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ｐＨ計に関し、特にＩＳＦＥＴ（イオン感応性電界効果トランジスタ）を有するｐＨ計に関する。

図７は、従来技術に係るイオン濃度計を示す説明図である。図７において、７０は基板、７１はリード部、７２は絶縁被膜、７３は対極部、７４は参照電極部、７５は作用電極部、７６はリード線、７７はコネクタ、７８はカバー、７９はフィルタである。

この従来技術に係るセンサ構成部は、電極等を形成する基板７０と、基板７０をカバーするフィルタ７９付きのカバー７８と、図示しない計測装置と接続するリード線７６から構成されている。基板７０の表面に絶縁被膜７２が形成され、その近傍に比較電極部７５、参照電極部７４、対極部７３、リード部７１が形成されている。計測装置とは、３つのリード部７１にそれぞれ接続されたリード線７６のワイヤとコネクタ７７とを介して接続されている。

ところで、ＩＳＦＥＴ式のｐＨ計は、センサ部がＩＳＦＥＴチップで小型化に適しているので、特に医療電子工学分野やバイオセンサ分野で利用されることが多くなっている。これらの分野では、極微量サンプルの化学種の測定を可能とするために、センサ構成部を注射針のような細長い円筒状ケースに収納した構造とすることが求められている。

細長い円筒状ケースに収納するために、センサ構成部をニードル状に非常に細長いものにすると、リード線となる極細ワイヤをリード部にボンディングする必要がある。極細ワイヤのボンディングには、図７に示したリード線７６のワイヤをボンディングするような一般的なワイヤボンディング装置では困難であり、高価な特殊装置を導入する必要がある。また、ボンディングした極細ワイヤに電気的絶縁を施し、製造工程において断線しないように特段の配慮も必要となる。さらに、ボンディング個所の電気的接続の目視検査もできないので、ボンディングで不具合が生じても、不具合があるものを次の工程に送り込んでしまうことになる。

また、別のボンディング法として、片面のフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）にＩＳＦＥＴチップをフェイスダウンボンディングする方法がある。ボンディング工程は手作業も可能なほど簡便であり、電気的接続のチェックにも即応する利点がある。しかし、ＩＳＦＥＴチップの電極部に接続される部分と、計測装置の回路基板に接続される部分との間は、２本又は３本の配線パターンを並列に形成する必要がある。よって、例えばＩＳＦＥＴチップの幅が１．０ｍｍであれば、フレキシブルプリント配線板の幅は２．５ｍｍ程度になるので、センサ構成部をニードル状に非常に細長くすることは困難である。

特開平７−１４０１１４公報

本発明は、上記課題を解決するために、イオン感応性電界効果トランジスタを有するｐＨ計において、ＩＳＦＥＴチップと配線手段との接続が容易であり、かつ、センサ構成部をニードル状に非常に細長くすることが容易な構造を有するｐＨ計を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、ＩＳＦＥＴチップ及び回路基板を有するｐＨ計において、上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成された複数の配線パターンと、前記複数の配線パターンの一方の端部に、前記ＩＳＦＥＴチップに対してそれぞれ電気的に接続された接続端子と、前記複数の配線パターンの他方の端部に、前記回路基板に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子とを備えたフレキシブルプリント配線板を有することを特徴とするｐＨ計である。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記フレキシブルプリント配線板は、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子及び前記回路基板に対する前記接続端子は、前記複数の配線パターンが延びる方向に沿ってそれぞれ配置されていることを特徴とするｐＨ計である。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記フレキシブルプリント配線板は、前記複数の配線パターンと、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子及び前記回路基板に対する前記接続端子の一部とがスルーホールを介して電気的に接続されていることを特徴とするｐＨ計である。

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記フレキシブルプリント配線板は、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子と前記回路基板に対する前記接続端子とが上面と下面とに択一的に配置されていることを特徴とするｐＨ計である。

請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の発明において、さらに、前記フレキシブルプリント配線板と前記回路基板との間に介在する延長用フレキシブルプリント配線板を有し、前記延長用フレキシブルプリント配線板は、上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成された複数の延長用配線パターンと、前記複数の延長用配線パターンの一方の端部に、前記フレキシブルプリント配線板の前記他方の端部の前記接続端子に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子と、前記複数の延長用配線パターンの他方の端部に、前記回路基板に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子とを備えていることを特徴とするｐＨ計である。

請求項１に記載の発明によれば、フレキシブルプリント配線板に備えている上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成された複数の配線パターンによって、ＩＳＦＥＴチップと回路基板とを電気的に接続するので、フレキシブルプリント配線板を配線パターン１本分の幅とすることができ、ＩＳＦＥＴチップと配線手段との接続が容易になり、かつ、センサ構成部をニードル状に非常に細長くすることが容易になる。

請求項２に記載の発明によれば、フレキシブルプリント配線板の両端の接続端子を複数の配線パターンが延びる方向に沿って配置しているので、フレキシブルプリント配線板の両端部を幅広にする必要がなく、フレキシブルプリント配線板を全長に渡って一定の幅にすることができる。ひいては、幅広の部分がないので、ニードル状のケースに収納することが容易になる。

請求項３に記載の発明によれば、スルーホールを介して電気的に接続するので、フレキシブルプリント配線板に形成する各接続端子の上面部の高さを揃えることができ、ＩＳＦＥＴチップ及び回路基板との電気的接続を容易にすることができる。

請求項４に記載の発明によれば、ＩＳＦＥＴチップと回路基板とのいずれか一方が裏面側に位置していても容易に電気的に接続することができる。

請求項５に記載の発明によれば、延長用フレキシブルプリント配線板を用いることによって、市場ニーズに応じてセンサ構成部をさらに長いものとすることができる。また、１つのフレキシブルプリント配線板でセンサ構成部をさらに長くする場合には、基盤となる絶縁樹脂層の面積を大きくする必要があるが、この絶縁樹脂層を大きくすることはセンサ構成部の製造コストを増大させる要因となる場合がある。しかし、２つのフレキシブルプリント配線板を用いてセンサ構成部をさらに長くする場合には、基盤となる絶縁樹脂層の面積を大きくせずに済む可能性が高くなり、製造コストの増大を一定程度防ぐことができる。

本発明の第１の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明の第１の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は断面図である。 本発明の第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板の断面、（ｂ）は第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板の断面図である。 ＩＳＦＥＴ式のｐＨ計における動作原理の説明図である。 従来技術に係るイオン濃度計を示す説明図である。

以下に、本発明の各実施の形態に係るｐＨ計を図面に基づいて説明する。なお、図面にはセンサ構成部以外の部分の形状について特に記載していないが、この部分はニードル状とする必要なく、例えば電子体温計の本体部のような薄型の略直方体形状にするなど適宜選択できる。

まず、ＩＳＦＥＴ式のｐＨ計の動作原理について、図６に基づいて説明する。図６は、ＩＳＦＥＴ式のｐＨ計における動作原理の説明図である。６０はＩＳＦＥＴチップ、６４は比較電極、６５はドレイン電極、６６はソース電極、６７はＰ型基板、６８はゲート絶縁膜、６９は溶液である。

ｐＨセンサとなるＩＳＦＥＴチップ６０は、Ｎチャンネル型のＩＳＦＥＴである。ＩＳＦＥＴは、Ｉｏｎ‐Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｆｉｅｌｄ‐Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒという英語名の略称であり、ユニポーラトランジスタであるＦＥＴの構造をセンサに応用したものである。ゲート絶縁膜は、イオンに対して感応性があり、ＩＳＦＥＴでは絶縁膜をこの性質を積極的に利用することで高性能なｐＨセンサを実現するものである。ＩＳＦＥＴのゲート電極は、Ｐ型基板６７の表面に作られた薄いゲート絶縁膜６８の上に電解質の溶液６９が接し、さらにこの溶液に比較電極６４が接した構造からなっている。ＩＳＦＥＴのデバイス動作は、この絶縁膜の下に形成される電荷チャンネルを利用するものであ。すなわち、上下２つのＮ型半導体層を形成し、それぞれをドレイン電極６５とソース電極６６とし、この間に電圧を引加する。この系において、電圧の印加でチャンネルという電流通路、つまりがＮ型半導体層間に電子の流れが形成されると、伝導電流が流れることになる。

この構造において、溶液６９中で水素イオン濃度が増すと、Ｐ型半導体の主なキャリアである正孔はこれに反発してゲート絶縁膜６８から遠ざかり、これとは反対に、通常はＰ型層内に少数派として存在する電子がゲート直下に引き寄せられる。その結果、ドレイン電極６５とソース電極６６との間にチャンネルという電流通路が形成される。このように、ゲート絶縁膜６８に沿って蓄積した電子をこの図の上下方向へ流れるキャリア通路をゲート絶縁膜６８に加えられるゲート電極の電位により制御できるのである。つまり、ゲート電極の電位によってドレイン電極６５とソース電極６６との間の電流をコントロールすることができる電位応答型センサとなる。したがって、水素イオン濃度が高いほどＮチャネル層が厚くなって電流が多く流れるので、この電流値によってイオン濃度を検知できるのである。

図１は、本発明の第１の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。図１において、１０はフレキシブルプリント配線板、２０は第１絶縁樹脂層、２１は第２絶縁樹脂層、２２は第３絶縁樹脂層、３０は第１配線パターン、３１は回路基板用端子、３２はスルーホール、３３はＩＳＦＥＴチップ用端子、３４はスルーホール、３５は第２配線パターン、３６は回路基板用端子、３７はＩＳＦＥＴチップ用端子、６０はＩＳＦＥＴチップ、６０ａは露出部、６１は封止樹脂であり、その他の符号は図６と同じものを示す。図２は、本発明の第１の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。図２において、図２で用いた符号は、すべて図１と同じものを示す。なお、図１において、フレキシブルプリント配線板１０の中間部を省略しており、図２から図５においても同様に中間部を省略している。

図１及び図２に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部は、フレキシブルプリント配線板１０をその構造の基盤としている。フレキシブルプリント配線板１０は、ポリイミドフィルムで銅箔をサンドイッチした構造で、強度があり屈曲性に富んだ配線基板である。さらに、フレキシブルプリント配線板１０は、いわゆる両面型のものであり、上下両面に回路パターンを形成したものである。フレキシブルプリント配線板１０の第１絶縁樹脂層２０、第２絶縁樹脂層２１及び第３絶縁樹脂層２２は、厚さ２５μｍポリイミドフィルムで下からこの順序で積層されている。さらに、これらの絶縁樹脂層は、長さ２００ｍｍ、幅１．０ｍｍに形成されている。

第１配線パターン３０は、第１絶縁樹脂層２０と第２絶縁樹脂層２１との間に形成されており、厚さ２５μｍ、幅０．５ｍｍの圧延銅箔からなる。第１配線パターン３０の回路基板に電気的に接続される側には、回路基板用端子３１が形成されている。回路基板用端子３１は、スルーホール３２によって第２絶縁樹脂層２１の上面側に露出していると共に、第１配線パターン３０と導通している端子としたもので、図示していない回路基板に接続されている。さらに、第１配線パターン３０のＩＳＦＥＴチップ６０側には、ＩＳＦＥＴチップ用端子３３が形成されている。ＩＳＦＥＴチップ用端子３３は、スルーホール３４によって第２絶縁樹脂層２１の上面側に露出していると共に、第１配線パターン３０と導通している端子としたものである。

第２配線パターン３５は、第２絶縁樹脂層２１と第３絶縁樹脂層２２との間に形成されており、厚さ２５μｍ、幅０．５ｍｍの圧延銅箔からなる。第２配線パターン３５は、第１配線パターン３０の上方に、かつ、第１配線パターン３０と平行に配置されている。したがって、フレキシブルプリント配線板１０を平面的に見たときに、これらの配線パターンは、第２配線パターン３５の両端部及びその近傍を除いて重なり合った状態となる。また、第２配線パターン３５の回路基板に電気的に接続される側の先端部とその近傍は、第３絶縁樹脂層２２に覆われずに露出した状態に形成されている。さらに、第２配線パターン３５の回路基板に電気的に接続される側の先端部には回路基板用端子３６が形成されており、回路基板用端子３６は図示していない回路基板に接続されている。また、第１配線パターン３０のＩＳＦＥＴチップ６０側も先端部とその近傍が露出しており、ＩＳＦＥＴチップ６０側の先端部には、ＩＳＦＥＴチップ用端子３７が形成されている。くわえて、回路基板用端子３１、ＩＳＦＥＴチップ用端子３３、回路基板用端子３６及びＩＳＦＥＴチップ用端子３７は、第１配線パターン３０及び第２配線パターン３５の長手方向の中心線に沿って列をなすように、かつ、これらの中心がこの中心線上に位置するように配置されている。

図１に示すように、ＩＳＦＥＴチップ６０は、略長方形板状に形成されると共に図示していない２極の電極が形成されており、ＩＳＦＥＴチップ用端子３３及び３７に対してそれぞれフェイスダウンボンディングされている。さらに、ＩＳＦＥＴチップ６０は、ＩＳＦＥＴチップ用端子３３及び３７に接続されている図示していない電極の周辺部分が封止樹脂６１によって封止されている。封止樹脂６１によって封止されていない露出部６０ａがＰ値ｈを計測するサンプルに浸潤又は挿入される部分となる。

以上の構成によれば、フレキシブルプリント配線板１０の第１配線パターン３０と第２配線パターン３５とが上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成されているので、フレキシブルプリント配線板１０の長さが２００ｍｍと非常に長いのに対して、幅１．０ｍｍとあたかも線条体のように長細いものとなっている。また、さらに、ＩＳＦＥＴチップ６０の図示していない電極をＩＳＦＥＴチップ用端子３３及び３７にフェイスダウンボンディングすることによって、ＩＳＦＥＴチップ６０をフレキシブルプリント配線板１０に実装するので、技術的困難性が低く、実装工程が非常に簡便になる。また、フレキシブルプリント配線板の両端の接続端子を複数の配線パターンが延びる方向に沿って配置しているので、フレキシブルプリント配線板を全長に渡って配線パターン１本分の幅に切断白を加えた一定に形成することができる。さらに、スルーホール３２とスルーホール３４とを利用して回路基板用端子３１とＩＳＦＥＴチップ用端子３３とを設けているので、回路基板用端子３１、ＩＳＦＥＴチップ用端子３３、回路基板用端子３６及びＩＳＦＥＴチップ用端子３７の高さを揃えることができ、ＩＳＦＥＴチップ及び回路基板との電気的接続を容易にすることができる。

続けて、本発明の第２の実施の形態に係るｐＨ計について説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。図３において、１１はフレキシブルプリント配線板、２３は第４絶縁樹脂層、３８は第３配線パターン、３９は回路基板用端子、４０はスルーホール、４１はＩＳＦＥＴチップ用端子、４２はスルーホールであり、その他の符号は図２と同じものを示す。

図３に示すように、本発明の第２の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部は、３極のＩＳＦＥＴに対応するために、３つの配線パターンを形成したものである。まず、絶縁樹脂層については、第３絶縁樹脂層２２の上に第４絶縁樹脂層２３をさらに積層している。第１配線パターン３０及び第２配線パターン３５は、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０の第１配線パターン３０及び第２配線パターン３５とそれぞれ近似した形状及び構造を有するが、第２配線パターン３５は第３絶縁樹脂層２２と第４絶縁樹脂層２３との間に形成されている。第３配線パターン３８は、第２絶縁樹脂層２１と第３絶縁樹脂層２２との間に形成されており、厚さ２５μｍ、幅０．５ｍｍの圧延銅箔からなる。また、第３配線パターン３８は、第１配線パターン３０及び第２配線パターン３５と平行に配置されている。したがって、フレキシブルプリント配線板１０を平面的に見たときに、これら３つの配線パターンは、水平部分が重なり合った状態となる。また、第３配線パターン３８の回路基板に電気的に接続される側には、回路基板用端子３９が形成されている。回路基板用端子３９は、スルーホール４０によって第３絶縁樹脂層２２の上面側に露出していると共に、第３配線パターン３８と導通している端子としたもので、図示していない回路基板に接続されている。さらに、第３配線パターン３８のＩＳＦＥＴチップ６０側には、ＩＳＦＥＴチップ用端子４１が形成されている。ＩＳＦＥＴチップ用端子４１は、スルーホール４２によって第３絶縁樹脂層２２の上面側に露出していると共に、第３配線パターン３８と導通している端子としたものである。

以上のように、フレキシブルプリント配線板１１は、３極の電極を有するＩＳＦＥＴにおいても、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０と全く同様の作用効果が得られる。また、２層の配線パターンを形成したフレキシブルプリント配線板１０と全く同じ幅に形成することが可能であり、ニードル状のケースに収納することが容易である。

さらに、本発明の第３の実施の形態に係るｐＨ計について説明する。図４は、本発明の第３の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は断面図である。図４において、１２はフレキシブルプリント配線板、２４は第１絶縁樹脂層、２５は第２絶縁樹脂層、２６は第３絶縁樹脂層、４３は第１配線パターン、４４は回路基板用端子、４５はＩＳＦＥＴチップ用端子、４６はスルーホール、４７は第２配線パターン、４８は回路基板用端子、４９はスルーホール、５０はＩＳＦＥＴチップ用端子であり、その他の符号は図２と同じものを示す。

図４に示すように、本発明の第３の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部は、２極のＩＳＦＥＴに対応するもので、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０に近い構成を有するが、回路基板用端子４４及び４８が下面側に設けられている点が異なる。すなわち、下から第１絶縁樹脂層２４、第２絶縁樹脂層２５、第３絶縁樹脂層２６の順に積層し、第１絶縁樹脂層２４と第２絶縁樹脂層２５との間に第１配線パターン４３が形成され、第２絶縁樹脂層２５と第３絶縁樹脂層２６との間に第２配線パターン４７が形成されている。第１配線パターン４３のＩＳＦＥＴチップ用端子４５及びスルーホール４６は、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０と全く同様の構成である。回路基板側は、下面側に露出した回路基板用端子４４が設けられている。第２配線パターン４７のＩＳＦＥＴチップ用端子５０は、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０と全く同様の構成である。回路基板側は、下面側にスルーホール４９によって設けた回路基板用端子４８が露出している。なお、フレキシブルプリント配線板１２を上下反転させれば、ＩＳＦＥＴチップと回路基板との上下関係が逆の場合にも対応できる。

以上のように、フレキシブルプリント配線板１２は、ＩＳＦＥＴチップと回路基板とのいずれか一方がフレキシブルプリント配線板１２の裏面側に位置していても容易に電気的に接続することができる。

さらに、本発明の第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計について説明する。図５は、本発明の第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板を示し、（ａ）は第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板の断面、（ｂ）は第５の実施の形態に係るｐＨ計のフレキシブルプリント配線板の断面図である。図５において、１３及び１４は延長用フレキシブルプリント配線板、５１は第１配線パターン、５２は接続端子、５３はスルーホール、５４は接続端子、５５はスルーホール、５６は第２配線パターン、５７及び５８は接続端子、６２及び６３は封止樹脂であり、その他の符号は図２と同じものを示す。

本発明の第４の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部は、図５（ａ）に示すように、本発明の第１の実施の形態のフレキシブルプリント配線板１０に対して、延長用フレキシブルプリント配線板１３を接続している。すなわち、延長用フレキシブルプリント配線板１３は、３層の絶縁樹脂層を設けており、第１配線パターン５１の両端部に、接続端子５２及びスルーホール５３と、接続端子５４及びスルーホール５５とを設け、第２配線パターン５６の両端部に接続端子５７と接続端子５８とを設けている。接続端子５４と接続端子５８とは、回路基板用端子３１と回路基板用端子３６とにそれぞれ接続されている。また、接続端子５２と接続端子５７とは、図示していない回路基板に接続される。さらに、フレキシブルプリント配線板１０と延長用フレキシブルプリント配線板１３とは封止樹脂６２で接続部を保護している。

本発明の第５の実施の形態に係るｐＨ計のセンサ構成部は、図５（ｂ）に示すように、本発明の第４の実施の形態に係る構成に対して、延長用フレキシブルプリント配線板１４を追加した構成となっている。延長用フレキシブルプリント配線板１４は、延長用フレキシブルプリント配線板１３と同じ構成を有している。また、延長用フレキシブルプリント配線板１３と延長用フレキシブルプリント配線板１４とは封止樹脂６３で接続部を保護している。

以上説明した本発明の第４及び第５の実施の形態に係るｐＨ計では、例えば延長用フレキシブルプリント配線板１３及び１４を長さ５０ｍｍとし、フレキシブルプリント配線板１０と組み合わせることによって、センサ構成部を長さ２００ｍｍ、２５０ｍｍ、３００ｍｍの３種類とすることができる。なお、延長用フレキシブルプリント配線板を３枚以上使用することも勿論可能である。また、これらのフレキシブルプリント配線板をすべて１００ｍｍの長さに統一することなども可能である。したがって、１種類又は２種類の長さのフレキシブルプリント配線板を製造するだけで、様々な長さのセンサ構成部を提供することが可能となる。

なお、本発明は以上に説明した内容に限定されるものではなく、例えば絶縁樹脂層の厚さ又は長さや配線パターンの厚さ又は長さは適宜変更可能である。また、各フレキシブルプリント配線板の長さや幅も適宜変更可能である。さらに、以上の各実施の形態に係るｐＨ計の構成を適宜組み合わせるなど各請求項に記載した範囲を逸脱しない限りにおいて種々の変形を加えることが可能である。

１０ フレキシブルプリント配線板
１１ フレキシブルプリント配線板
１２ フレキシブルプリント配線板
１３ 延長用フレキシブルプリント配線板
１４ 延長用フレキシブルプリント配線板
２０ 第１絶縁樹脂層
２１ 第２絶縁樹脂層
２２ 第３絶縁樹脂層
２３ 第４絶縁樹脂層
２４ 第１絶縁樹脂層
２５ 第２絶縁樹脂層
２６ 第３絶縁樹脂層
３０ 第１配線パターン
３１ 回路基板用端子
３２ スルーホール
３３ ＩＳＦＥＴチップ用端子
３４ スルーホール
３５ 第２配線パターン
３６ 回路基板用端子
３７ ＩＳＦＥＴチップ用端子
３８ 第３配線パターン
３９ 回路基板用端子
４０ スルーホール
４１ ＩＳＦＥＴチップ用端子
４２ スルーホール
４３ 第１配線パターン
４４ 回路基板用端子
４５ ＩＳＦＥＴチップ用端子
４６ スルーホール
４７ 第２配線パターン
４８ 回路基板用端子
４９ スルーホール
５０ ＩＳＦＥＴチップ用端子
５１ 第１配線パターン
５２ 接続端子
５３ スルーホール
５４ 接続端子
５５ スルーホール
５６ 第２配線パターン
５７ 接続端子
５８ 接続端子
６０ ＩＳＦＥＴチップ
６０ａ 露出部
６１ 封止樹脂
６２ 封止樹脂
６３ 封止樹脂
６４ 比較電極
６５ ドレイン電極
６６ ソース電極
６７ Ｐ型基板
６８ ゲート絶縁膜
６９ 溶液
７０ 基板
７１ リード部
７２ 絶縁被膜
７３ 対極部
７４ 参照電極部
７５ 作用電極部
７６ リード線
７７ コネクタ
７８ カバー
７９ フィルタ

Claims (5)

1. ＩＳＦＥＴチップ及び回路基板を有するｐＨ計において、
   上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成された複数の配線パターンと、
   前記複数の配線パターンの一方の端部に、前記ＩＳＦＥＴチップに対してそれぞれ電気的に接続された接続端子と、
   前記複数の配線パターンの他方の端部に、前記回路基板に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子とを備えたフレキシブルプリント配線板を有することを特徴とするｐＨ計。
2. 前記フレキシブルプリント配線板は、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子及び前記回路基板に対する前記接続端子は、前記複数の配線パターンが延びる方向に沿ってそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載のｐＨ計。
3. 前記フレキシブルプリント配線板は、前記複数の配線パターンと、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子及び前記回路基板に対する前記接続端子の一部とがスルーホールを介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のｐＨ計。
4. 前記フレキシブルプリント配線板は、前記ＩＳＦＥＴチップに対する前記接続端子と前記回路基板に対する前記接続端子とが上面と下面とに択一的に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のｐＨ計。
5. さらに、前記フレキシブルプリント配線板と前記回路基板との間に介在する延長用フレキシブルプリント配線板を有し、
   前記延長用フレキシブルプリント配線板は、上下方向において重なり合うように、かつ、平行に形成された複数の延長用配線パターンと、
   前記複数の延長用配線パターンの一方の端部に、前記フレキシブルプリント配線板の前記他方の端部の前記接続端子に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子と、
   前記複数の延長用配線パターンの他方の端部に、前記回路基板に対してそれぞれ電気的に接続された接続端子とを備えていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のｐＨ計。

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