JP2014042016A - レーザ増幅装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光増幅器100は波長1064nmのシードレーザ111を受ける。増幅は、励起源101によって励起された、セグメント化されたNd:YVO4利得媒質103で発生する。利得媒質の各セグメントは、特定の長さとドーパント濃度とを有し、それらのセグメントの組み合わせにより利得媒質でのパワー吸収を増大して、より高パワーの端面励起を使用することを可能にし、レーザのパルスエネルギーと平均パワーとを向上させる。利得媒質の第1端は、クワッドパス光増幅器を配置して高い抽出効率を実現する楔面を含む。
【選択図】図1
Description
主発振器電力増幅装置(MOPA)の構成には、シードレーザと、有益な作業を行わせるためにシードレーザのパワー出力を増大させる増幅器とが含まれる。
「マイクロマニシング、集積回路のビア穴あけ及び紫外線(UV)変換等の用途には、高パワーのダイオード励起固体(DPSS)パルスレーザが好ましい。
Nd:YVO4(バナデート)レーザは、広い帯域幅の励起波長に亘って高いエネルギ吸収係数を有するので、高パワー用途のための良い候補である。
しかしながら、バナデートは、硬く、熱応力が加わると破損しやすいという点で、熱力学的性質が劣っている。
レーザパラメータを最適化し、励起波長及び利得媒質のドーピング濃度を選択して、吸収係数を2cm−1未満、例えば、約910nmと約920nmとの間の励起波長に制御することによって、ドーピングされたバナデートレーザは、熱レンジングを40%低減しながら、結晶マテリアルを破砕することなく、最大100Wの出力パワーを生成するように改善できる」。
「少なくとも5mmの長さを有するNd:YVO4の利得素子を有するレーザ共振器を含むレーザであって、前記利得素子が端面励起され、励起光が、熱応力と前記利得素子の破損とを減らすために、前記利得素子の最大吸収波長と異なり且つ814〜825ナノメートルの間に収まるように選択された波長を有し、それによって励起光源が22ワットを超えるパワーを利得媒質に提供するように動作可能であるレーザ」。
この記事は、Ndドーピング濃度に関する情報を含み、さらに利得媒質の断面積のサイズと対処可能な励起パワーレベルに関する情報も含んでいる。
増幅は、外部源からエネルギーが提供される利得媒質で発生する。
利得媒質は、外部エネルギー源から「励起」または「活性化」される。
通常、外部エネルギー源は光である。
励起は、光励起またはその他の適切なエネルギー源でよい。
励起は、ダイオード励起光源でよい。
シードレーザは、1064nm(1064ナノメートル)の波長で動作するのが好ましいが、他の波長も具体的に意図される。
Qスイッチは、電気光学変調器または音響光学変調器でよい。
どちらのタイプのQスイッチも、電子ドライバによって制御および駆動される。
きわめて高いパルスエネルギーを提供する、繰り返し率が高いモード同期レーザの場合は、繰り返しを低減するパルスピッカが必要である。
電気光学パルスピッカを使用する場合、ポッケルスセルおよび偏光オプティクスを利用できる。
ポッケルスセルが偏光状態を操作し、その後偏光子がパルスの偏光に基づいてパルスを伝送またはブロックする。
音響光学変調器(AOM)は、レーザビームのパワー、周波数、または空間方向を電気的な駆動信号で制御するために使用できる。
AOMは、音波の振動機械圧力を適用することにより結晶の屈折率を変更する音響光学効果に基づいている。
屈折率を変更すると、所望のパルスの方向が変更され、偏向されたパルスが使用可能になる。
モード同期レーザなどのシードレーザは、パルス幅が約5〜30ピコ秒のパルスを有するパルス出力を、繰り返し率10kHz〜100MHzで生成する。
他のパルス幅を使用することも具体的に意図される。
詳細には、ここに開示する発明によってさまざまなパルス幅を生成できることが意図される。
すなわち、ここに開示する発明により、所望の特性を備えた15ミリ秒から15フェムト秒までの間のパルス幅を作成できる。
15ミリ秒などの長いパルス幅の場合、繰り返し率を適切に減少させることが必要であり、また実現可能である。
繰り返し率は、10Hz未満から100MHzまでにすることができる。
シードレーザは第1偏光を含む。
この第1偏光は、Nd:YVO4利得媒質の偏光に一致する偏光に変換される。
シードレーザのパルス出力のパルスは、光励起によって光学的に励起されるNd:YVO4利得媒質によって増幅される。
高反射鏡を使用して、シードレーザのパルス出力のパルスが、断面がほぼ長方形のNd:YVO4利得媒質を通過する回数(パス)を制御する。
Nd:YVO4利得媒質は、断面が正方形、円形、またはその他の形状でよい。
利得媒質の第1端は、楔角θ1で傾斜した平坦な楔面である。
利得媒質は、長さが5〜30mm、断面積が1mm2〜36mm2でよい。
5〜30mmの結晶は、Ndドーピング濃度を十分かつ許容可能な高さにした状態で、808nmで40Wの励起電力の99%を吸収するのに十分な長さである。
結晶が長いほど、熱除去の点で好ましい。
また、長方形以外の断面構成を有するNd:YVO4利得媒質を使用してもよい。
たとえば、断面が円形のNd:YVO4利得媒質を使用できる。
小径で長く、吸収係数が低い円形のNd:YVO4利得媒質は、熱をうまく放散し、結晶を破砕から保護する。
ロッド形状のNd:YVO4利得媒質を使用してもよい。
各セグメントの長さにより、利得のためのNd濃度を調整する吸収長が決まる。
たとえば、励起の中心波長は、808nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)でよい。
励起は、端面励起でも、1つ以上の側面励起でよい。
複数の側面励起を使用する場合、それらの励起はパワー出力レベルが異なっていてもよい。
必要に応じて、それぞれに所望のNdドーピングを施したセグメントからなるセグメント化された利得媒質の各セグメントに、異なるパワー出力レベルを適用してもよい。
励起は、ダイオード励起光源またはその他の適切な光源でよい。
光励起以外の励起の使用は、ここに開示する本発明によって意図される。
シードレーザの第1偏光を増幅器のNd:YVO4利得媒質の第2偏光と一致させる偏光変換手段が、シードレーザの出力レンズと、増幅器のNd:YVO4利得媒質の第1端の入力楔面との間に存在する。
より詳細には、40ワットのダイオード励起光源(端面励起)が808nmで動作し、Nd:YVO4利得媒質の第2端の近傍に存在する。
30〜60ワットのその他のダイオード励起も意図される。
シードレーザのパルス出力のパルスは、第1外部パスに沿って入射角θ2でNd:YVO4利得媒質の楔面の反射防止コーティングに進入する。
入射角θ2は、Nd:YVO4利得媒質の楔面に垂直な線に対して計測される。
この楔面が平坦な面であり、楔角θ1で形成されていることがわかるであろう。
楔角θ1は、楔面の1点を通過する垂直面に対して計測される。
さらに、入力シードレーザが、利得媒質の中心線に平行な線に対して角度θ6で楔面に進入することがわかるであろう。
θ6=θ2−θ1である。
楔角θ1は3〜10°に設計されており、5〜7°であることが好ましい。
シードレーザの入射角θ2は、15°以下である。
角度θ2は、後述するように、クワッドパスの例におけるパルスの第4パスの屈折角でもある。
5〜7°の楔角θ1は、約0.78°の好ましい反射角θ3を生む。
屈折角θ2’は、楔面に垂直な線に対して計測される。
内部反射角θ3は、Nd:YVO4利得媒質の中心線に対して定義される。
上述したように、好ましい反射角θ3は約0.78°である。
利得媒質内のシードレーザの反射角θ3を最小化して、シードレーザのパルスが利得媒質を通る軸の中心線に対して相対的に中央にとどまるようにし、それによってレーザが利得媒質を通過するときにできるだけ多くのエネルギーをレーザに効率的に伝達できるようにすることが望ましい。
シードレーザのパルスのエネルギーは、パルスが利得媒質を通過するときに増加する。
さらに、0.78°の好ましい反射角θ3は、利得媒質の楔面に入力されるシードレーザと、利得媒質から出力されるシードレーザとが、確実に分離されるだけの大きさでなければならない。
さらに、利得媒質が長さ約10mmの場合、0.78°の好ましい内部反射角θ3は、利得媒質の軸に対して約0.135mmのシフトを生む。
励起に近接するNd:YVO4利得媒質の第2端面は、波長1064nmのシードレーザに対して高反射性を有する第2コーティングを含む。
第2コーティングは、端面励起からの波長808nmの光に対しては高透過性を有する。
シードレーザのパスは、入射角θ4で楔面に近づく。
レーザパルスは、第2外部パスに沿って屈折角θ5でNd:YVO4利得媒質の楔面から退出する。
屈折角θ5と入射角θ4は、Nd:YVO4利得媒質の第1端に直交する(垂直な)線に対して計測される。
100kHzを超える100μJのパルスエネルギーは、平均パワー10J/sまたは10W超を生成する。
出力パワーは、入力シードレーザの平均パワーにも依存する。
入力シードレーザの平均パワーは、1mW未満(たとえば、1ワット未満)から数ワットまでの間であり得る。
本発明では、入力シードレーザの平均パワーが高いため、10Wを大幅に上回る平均出力パワーを生成できる。
この利得媒質のセグメントは、ドーピング濃度に応じて所望の配置にすることができる。
たとえば、Nd濃度が最も低いセグメントを励起光源に隣接させることができる。
次に、Nd濃度が2番目に低いセグメントを、Nd濃度が最も低いセグメントに隣接させることができる。
最後に、Nd濃度が最も高い3番目のセグメントを末尾に配置することができる。
これらのセグメントは、Nd濃度の任意の順序で配置できる。
1つ以上のセグメントのNd濃度がゼロであってもよい。
1つ以上の光励起による利得媒質の側面励起が開示され、特許請求の範囲に記載される。
利得媒質は、拡散接合された3つのセグメントを含む。
これらのセグメントは、長さとドーパント濃度とが異なり、結果として利得と分布とが異なる。
または、拡散接合の代わりに、セグメント間で反射防止コーティングを使用してセグメントを相互に固定してもよい。
ドーピングのパーセンテージを3倍に拡大すると、吸収係数α=0.15が得られる。
吸収効率は次のとおりである。
ただし、吸収係数αは、それだけでは、熱レンズ効果が存在すること、および係数αと適用されるパワーとに物理的な限度があることを示していない。
Nd:YVO4結晶に適用されるパワーが増加すると、Ndドーピングの濃度が減少し、結晶の断面(長方形、円形、またはその他の形状の断面)が減少する。
ドーピング濃度が低いほど、高い励起パワーを使用できる。
非特許文献1をここに引用によりその全体を援用する。
この記事は、Ndドーピング濃度に関する情報を含み、さらに利得媒質の断面積と対処可能なパワーレベルに関する情報も含んでいる。
Nd:YVO4結晶へのエネルギー伝達が高まると、シードレーザが利得媒質内を移動する際の利得が増える。
高パワーの光端面励起を使用することが望ましい場合は、セグメントの断面積を減らし、Nd濃度を下げる。
断面積を減らし、Ndドーパント濃度を下げることで、Nd:YVO4結晶に大きなエネルギー/パワーを伝達できる高パワーの励起を使用し、Nd:YVO4結晶からシードレーザのパルス出力のパルスにエネルギーを伝達することが可能となる。
各セグメントに適用されるパワーを計算し、そのセグメントの断面積およびドーパント濃度で許容される限度内に収めれば、結晶の破砕が防止される。
多段階の増幅によって多重の利得が与えられるため、各セグメントの利得を最適に設計することで、特定の励起パワーから最大の抽出効率を実現することが期待できる。
増幅器は、光端面励起101と、利得媒質103と、高反射性鏡114とを含む。
シードレーザ111のスポットサイズは、レンズ110の選択によって実質的に決まる。
利得媒質103内で必要なレーザのスポットサイズは、所望の利得に基づいて決定される。
Nd:YVO4利得媒質103内の利得量は、光端面励起101のスポットサイズと、Ndのドーピング濃度とに依存する。
シードレーザ111のスポットサイズを適切に設定し、光端面励起101のスポットサイズを適切に設定するのが望ましい。
利得媒質103は、反射防止コーティングが施された楔形の端面(103A)を備える。
楔型の端面(103A)は、利得媒質103の第1端520Fにある。
利得媒質103の第2端面101Cは、平坦であり、808nmの波長に対して高透過性を有するコーティングが施されている。
このコーティングは、1064nmの波長に対して高反射性を有する。
これらのパルスは、波長1064nmの光を含む。
利得媒質103に進入して通過したパルスは、第2端面101Cに当たり、その高反射コーティングによって反射する。
その他の励起波長も使用できる。
たとえば、励起の中心波長は、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)でよい。
励起は、端面励起でも、1つ以上の側面励起でもよい。
図1C、図1D、および図1Eを参照されたい。
励起は、ダイオード励起光源またはその他の適切な光源でよい。
矢印102は、利得媒質103へのパワーの流れを示す。
利得媒質103の結晶の楔面(103A)は、1064nmの波長に対するARコーティング(反射防止コーティング)が施されている。
利得媒質103の第2端面101Cは、1064nmの波長に対するHRコーティング(高反射コーティング)が施されており、励起面に808nmの波長に対するHTコーティング(高透過コーティング)が施されている。
820nm、880nm、888nm、915nmなどのその他の波長での励起に対しても高透過コーティングが使用される。
つまり、第2端面101Cは、旋光子105から送られる増幅されたシードレーザ(104)を反射する。
波長1064nmの偏光されたシードレーザ111は、偏光子107、半波長板106、および旋光子105を通過して利得媒質103に至る。
符号104/104Aは、パルス/レーザの異なるタイミングでの双方向の流れを示す。
増幅されたレーザ出力104Aは、シードレーザ(111A)の出力パルスの偏光に対して偏光を90°シフトする偏光子107によって分離される。
利得媒質103は任意の断面形状でよい。
断面形状が長方形の場合、長方形の辺は長さがほぼ等しく、断面が正方形になる。
長方形の各辺は1〜6mmであり、利得媒質103の長さは5〜30mmである。
通常は、長方形の利得媒質103が使用される。
断面が円筒形のロッドを使用してもよい。
直径が小さいロッドは熱伝達に優れている。
旋光子105において、偏光が利得媒質103の偏光に変換される。
図1Aは、鏡M1を削除することにより作成されたデュアルパス増幅器の例の概略図100Aである。
図1Bは、図1の概略図の斜視図100Bであって、シードレーザ111と、レンズ110と、偏光子107と、旋光子105と、冷却室に収容された利得媒質103と、光励起(101)とを示している。
側面励起199は、必要に応じて利得媒質103を部分的または完全に囲むものとして図示されている。
図1Dは、光側面励起されたNd:YVO4利得媒質103を含むレーザの別の例を示す概略図100Dである。
このレーザは、必要に応じて利得媒質103を部分的または完全に囲む第1光側面励起199Aと第2光側面励起199Bとを含む。
図1Eは、光側面励起されたNd:YVO4利得媒質103Rを含むレーザの別の例を示す概略図100Eである。
このレーザは、必要に応じて利得媒質103Rを部分的または完全に囲む3つの光側面励起199C、199D、199Eを含む。
第1増幅器は光端面励起101を含み、第2増幅器は光端面励起201を含む。
図2の例では、鏡M1(114)、M2(221)、M3(214)、M4(217)を利用している。
また図2に示す発明の例では、アイソレータ219を利用している。
偏光子107は、高い偏光消光比を備え、クワッドパス増幅器とシードレーザ111との間の自然な分離を実現する。
旋光子105は、デュアルパス増幅器からのフィードバックパワーをブロックする働きをする。
クワッドパス302は、図4に示すデュアルパス301よりも増幅利得に優れる。
1〜2mWのシード出力を、30Wの励起で約1.5Wに増幅できる。
励起パワーを35W、シードレーザ111の平均パワーを20mWに上げると、単段階のクワッドパス増幅器で5Wを超える出力パワーが得られる。
図5は、シードレーザ111の第1外部パス111Eと、1回目に増幅されたシードレーザ111の第1内部パス111Iと、2回目に増幅されたシードレーザ111の第2内部パス115Iと、2回目に増幅されたシードレーザ111の第2外部パス115Eとを示している。
入射パルスは、第1外部パス111Eに沿って入射角θ2で楔面(103A)に当たり、第1内部パス111Iに沿って屈折角θ2’で屈折して第2端面101Cに当たる。
ここでは、第1内部パス111Iに沿ったレーザを、1回目に増幅されたレーザとも呼ぶ。
その後、レーザは、2回目の通過で第2内部パス115Iに沿って屈折角θ3で屈折して楔面(103A)に向かう。
ここでは、第2内部パス115Iに沿ったレーザを、2回目に増幅されたレーザとも呼ぶ。
その後、レーザは入射角θ4で楔面(103A)に到達し、第2外部パス115Eに沿って屈折角θ5で屈折する。
図1Aに示すデュアルパスの例では、M1は示されていない。
図5を参照すると、図1および図2に示すクワッドパス増幅器の考え方では、高反射鏡114によってレーザを第2外部パス115Eに沿って楔面(103A)の位置502に対して入射角θ5で反射させる。
この位置で、レーザは3回目に増幅されたレーザとして第2内部パス115Iに沿って屈折角θ4で屈折する。
ここでは、この第2内部パス115Iに沿って屈折角θ4で屈折するレーザを、3回目に増幅されたレーザとも呼ぶ。
3回目に増幅されたレーザは、第2内部パス115Iに沿って進み、高反射性の面101Cに当たる。
そして4回目に増幅されたレーザとして第1内部パス111Iに沿って内部反射角θ3で楔面(103A)に向けて反射する。
ここでは、第1内部パス111Iに沿って入射角θ2’で移動するレーザを、4回目に増幅されたレーザとも呼ぶ。
第1内部パス111Iは、楔面(103A)に垂直な線に対して入射角θ2’で位置する。
4回目に増幅されたレーザが楔面(103A)に当たると、第1外部パス111Eに沿って屈折角θ2で屈折し、旋光子105、半波長板106、偏光子107、半波長板112を通って矢印113の方向で進む。
レーザは、利得媒質103を通過するたびに増幅され、さらなるエネルギーを得る。
図1Aは、2段階の増幅を含むデュアルパス増幅器を示している。
図2は、クワッドパス(クワッド増幅、図1)とデュアルパス(ダブル増幅、図1A)とを組み合わせた6段階の増幅を示している。
図5Aは、第1外部パス111Eに沿った入射パルスの楔面(103A)における進入位置501を示している。
また図5Aは、第2外部パス115Eに沿った出力パルスの楔面(103A)における退出位置502を示している。
利得媒質103をクワッドパス増幅器として使用した例では、位置502が第3パスの進入位置となり、位置501が第4パスの退出位置となる。
第2端面101Cは、波長808nmで高透過性を有し、波長1064nmで高反射性を有する。
その他の励起波長(820nm、880nm、888nm、915nm)を使用した場合、第2端面101Cはそれらの波長で高透過性を有する。
第2端面101Cはコーティングされており、そのコーティングがそれぞれの波長で上述した特性を有する。
符号103B、103C、103D、103Eは、Nd:YVO4利得媒質103の領域を示す。
領域103Bは、比較的高いエネルギー/パワーが伝達される第2端面101Cの近傍に位置する。
点(ドット)の密度/量は、利得媒質103に伝達されるエネルギー/パワーの相対的な量を表している。
また図5からわかるように、エネルギーは利得媒質103の円筒状コアに伝達され、エネルギー伝達は利得媒質103に進入する励起エネルギーのスポットサイズによって画定される。
領域103Cは、ドットの数/量が少ない。
これは、伝達されるエネルギー/パワーの相対的な量が領域103Bよりも少ないことを示している。
同様に、領域103Dと領域103Eとでは、ドットの数/量が徐々に少なくなる。
これは、808nmの励起からの距離に応じて、利得媒質103に伝達されるエネルギー/パワーの相対的な量が減ることを示している。
符号599は、ダイオード端面励起の波長808nmでの放射パワーの径方向範囲を概略的に表している。
その他の励起波長も使用可能である。
たとえば、励起の中心波長は、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)でよい。
励起は、端面励起または1つ以上の側面励起でよい。
励起は、ダイオード励起光源またはその他の適切な光源でよい。
その他の種類の励起も使用できる。
利得媒質103は、利得物質、ドーピング濃度、断面領域、長さ、構造、およびコーティングを有する。
利得媒質103の物質は、Nd:YVO4である。
Nd:YVO4は、高放射断面と、10ピコ秒のパルス幅を許容するだけの十分な帯域幅とを備える。
Nd:YVO4は、自然偏光された結晶(103)であり、a軸カットである。
生成されたレーザの偏光は、結晶のc軸に沿って行われる。
図5に示すNd:YVO4利得媒質103は、均一にドープされている。
均一なドーピングは、均等ドーピングとも呼ばれる。
自然偏光されたNd:YVO4結晶(103)で、0.05〜3.0%at.(原子重量パーセント)のドーピング濃度が使用されている。
Nd:YVO4利得媒質103の例は、0.05〜3.0%at.の濃度で均一にドープされている。
Nd:YVO4は、Neodymium−doped Yttrium Vanadate(ネオジウムをドープしたイットリウムバナデード)の略であり、これを意味する。
利得効果および熱レンズ効果のほかに重要な要因は、適用される最大励起パワー(通常は30〜60W)と、Nd:YVO4結晶(103)の断面の寸法である。
最適な励起スポットサイズは、通常は直径0.3〜2mmである。
励起パワーが増大すると、ドーパントの濃度は低くなると予想される。
ドーピング濃度が低いほど、高い励起パワーを使用できる。
端面励起によってNd:YVO4結晶(103)に適用されるパワーは、結晶自体の構造によって制限される。
特定のドーパント濃度の結晶に過剰なパワーを適用すると、熱的に誘発された引張応力に起因して結晶が破損する。
断面が1mm2等の小さいNd:YVO4結晶利得媒質103には、断面が36mm2等の大きい利得媒質に比べて、相対的に多くのパワーを適用できる。
さらに、Nd濃度が0.05%at.等の低いNd:YVO4結晶には、相対的に多くの励起パワーを適用できる。
さらに、励起スポットの半径を大きくすると、相対的に多くの励起パワーを適用できる。
したがって、均一ドープされた結晶のサイズは、上述したすべての事項を考慮して決定する必要がある。
図10〜図11は、セグメント分けされた利得媒質を図示および開示している。
励起スポットのサイズは、利得媒質を通過するシードレーザを完全に包含するだけの大きさを備えている必要がある。
したがって、セグメント分けしてドープされた結晶のサイズは、上述したすべての事項を考慮して決定する必要がある。
さらに、結晶が長くなるほど、熱除去のための表面積が大きくなる。
励起スポットサイズは、通常は直径0.3〜2mmである。
結晶の断面は、結晶内でのシードレーザのスポットサイズが直径0.4〜0.6mmなので、4mm2あればよい。
したがって、結晶の好ましいサイズは、レーザに十分な口径を提供する断面4mm2を有する。
0.05〜3.00%at.のドーピング濃度は、適用される最大励起パワー(通常30〜50W)と、励起ビームのスポットサイズとから決定できる。
利得媒質103の楔面(103A)の設計は、増幅器の重要な側面である。
この楔面(103A)により、2つの平行する面によって引き起こされるエタロン効果が除去される。
利得媒質103の2つの平行な面は、光キャビティを実質的に形成する。
エタロン効果は、パルス幅を広げ、励起された利得媒質103内に自己レーザ放射を形成する。
自己レーザ放射は、レーザの出力の制御を損なうため、望ましくない。
楔面(103A)は、利得媒質103の面103A、101Cの間の自己レーザ放射を除去する。
AR(反射防止)コーティングが結晶(103)の両側に施されていたとしても、利得媒質103の平行な第1面と第2面との間で潜在的なレーザ放射が起こる可能性がある。
楔面(103A)の使用は、利得媒質103の面と増幅器で使用されている他の光学面との間で自己レーザ放射を減少させるのにも役立つ。
楔面(103A)は、Nd:YVO4のa−c面に対して垂直である。
ここで、増幅されたレーザの偏光はa−c面に含まれる。
楔面(103A)は、波長1064nmでARコーティングされている。
第2面101Cは、波長808nmでHTコーティングされ、波長1064nmでHRコーティングされている。
動作波長に関連して適切なコーティングが使用される。
シードレーザ111は、Nd:YVO4利得媒質103の楔面(103A)の反射防止コーディングに入射角θ2で進入する。
入射角θ2は、Nd:YVO4利得媒質103の楔面(103A)に垂直な線505Pに対して計測される。
楔面(103A)が平坦な面であり、楔角θ1で形成されていることがわかる。
楔角θ1は、楔面(103A)の1点を通過する垂直面に対して計測される。
さらに、入力シードレーザ111が、利得媒質103の中心線に平行な線に対して角度θ6で線111Eに沿って楔面(103A)に進入することがわかる。
図5を参照すると、θ6=θ2−θ1であることがわかる。
楔角θ1は、5〜7°の範囲でよい。
これは、シードレーザ111の入射角θ2を15°以下に維持するのが望ましく、また好ましいからである。
5〜7°の楔角は、約0.78°の好ましい内部反射角θ3を生む。
図5から、利得媒質103の中心線505Cと一直線ではないパス(111E)上でレーザが到達することがわかる。
入射角θ2は、シードレーザ111が楔面(103A)に当たり、高利得媒質103内の第1内部パス111I上で角度θ2’をなして屈折し、利得媒質103内を移動する際に励起スポットサイズ内に存在することでレーザへのエネルギー伝達が最大化されるように選択される。
符号599は、励起スポットサイズの径方向の範囲を表している。
レーザを利得媒質103内で励起スポットサイズの内部に合わせることが望ましい。
励起のエネルギーのほとんどは、利得媒質103の中心線505Cに沿って集中する傾向がある。
シードレーザ111は、Nd:YVO4利得媒質103内の第2内部パス115Iに沿って、第2端面101Cから内部反射角θ3で反射する。
内部反射角θ3は、Nd:YVO4利得媒質103の中心線505Cに対して定義される。
さらに、好ましい内部反射角θ3は、約0.78°である。
利得媒質103内のシードレーザ111の反射角θ3を最小化して、シードレーザ111が利得媒質103を通る軸の中心線に対して相対的に中央にとどまるようにし、それによってシードレーザ111が利得媒質103内を通過するときに励起エネルギーを効果的に抽出できることが望ましい。
利得媒質103に励起されるエネルギーは、端面励起101のスポットサイズ内に集中する。
シードレーザ111の入射パルスがNd:YVO4利得媒質103内の励起スポットサイズの内部に合わせられている場合、励起スポットサイズは第1内部パス111Iおよび第2内部パス115I上でシードレーザ111と重複し、エネルギーがレーザに効率的に伝達される。
さらに、利得媒質103が長さ約10mmの場合、0.78°の好ましい反射角θ3は、利得媒質103の軸に対して約0.135mmのシフトを生む。
励起に近接するNd:YVO4利得媒質の第2端面101Cは、波長1064nmのシードレーザ111に対して高反射性を有する第2コーティングを含む。
第2コーティングは、端面励起101からの波長808nmの光に対しては高透過性を有する。
レーザパルスは、Nd:YVO4利得媒質103の楔面(103A)から屈折角θ5で退出する。
屈折角θ5は、Nd:YVO4利得媒質103の第1端に直交する(垂直な)線に対して計測される。
符号599は、利得媒質103内の励起スポットサイズの径方向範囲である。
符号501、502は、それぞれレーザの進入位置と退出位置とを示す。
図5Bは、断面円形のNd:YVO4利得媒質503の端面図500Bである。
したがって、垂直入射ARコーティングを基準とした場合、5〜7°の楔角は約15°の入射角に対応し、内部反射角は約0.78°である。
図8Aは、図8の構成の移動距離に応じたシードレーザのスポットサイズを示すグラフ800Aである。
このグラフは、第1パス801と、第2パス802と、第3パス803と、第4パス804と、平坦な鏡806および第2の湾曲した鏡807の位置とを示している。
第1パス801は長さ約64mm、第2パス802は長さ約161mm、第3パス803は長さ約161mm、第4パス804は長さ約64mmである。
図8Aの符号810は、利得媒質805における第1パス801の開始点を表す。
図8の符号811はシードビームウエストである。
シードビームウエストは、光励起のウエスト(図8では図示なし)と一致するように位置決めするのが望ましい。
シードビームウエスト811は、利得媒質805の内部に励起面(図8では図示なし)から約2mm離れて位置している。
通常、レーザと励起スポットとの間のモード整合率、すなわち(レーザのスポット直径)/(励起のスポット直径)は0.6〜1.2である。
図8Aは、クワッドパス増幅器のレーザビームの伝搬を示している。
高パワーの励起における利得媒質805の熱レンズ効果を考慮して、図8Aに示すM1およびM2の適切な設計では、第2のパス802、第3のパス803、および第4のパス804のレーザモードのスポットサイズを励起モードに整合するように制御する。
図9に示すパルスストリームについて、平均パワーは指定されていない。
図9Aは、Nd:YVO4利得媒質903の第2端904の近傍に存在する光励起902およびシードレーザ(901)の概略図900Aである。
この例で、シード入力901は励起902と一致しており、シード入力901は利得媒質903の第2端930Sの第2端面904に進入する。
第2端面904は、808nmのダイオード励起放射と、1064nmのシードレーザ(901)との伝達を許可する。
増幅されたレーザは、矢印930が示すように、利得媒質903の第2端920Fの第2端面905から退出する。
符号903B、903C、903D、903Eは、Nd:YVO4利得媒質903の領域を図示している。
領域903Bは、比較的高いエネルギー/パワーが吸収される端面904の近傍にある。
点(ドット)の密度/量は、利得媒質903で吸収されるエネルギー/パワーの相対的な量を示す。
また図9Aから、パワーが利得媒質903で吸収されることがわかる。
抽出効率は、シードレーザ(901)のパワーと、利得とに関連する。
領域903Bから903Eにかけて、各セグメントで吸収されるパワーは、励起軸に沿って急激に低下する。
シードレーザ(1001)は、利得媒質1003の第2端の近傍に存在している。
利得媒質1003は、3つの拡散接合セグメント1010、1011、1012を含んでいる。
これらのセグメント1010、1011、1012は、長さとドーパント濃度とが異なり、結果として各セグメントで利得分布が異なる。
より詳細には、図10Aは、端面励起型のセグメント化された媒質の概略図1000Aであり、3つのセグメント1010、1011、1012を含む拡散接合された利得媒質1003(Nd:YVO4)を示している。
セグメントごとに、原子重量パーセント(%at.)単位のNdのドーパント濃度、吸収されるパワー(Pabs)、伝達されるパワーPT、光学利得G、および吸収係数αが決まっている。
図10Bは、セグメントごとのドーパント濃度C%at.、mm単位のセグメント長、α(拡大されたドーパント濃度)、およびPabs(吸収されたパワー)を表す表100Bである。
セグメント1010、1011、1012は、拡散接続する代わりに、セグメント間で反射防止コーティングを使用して相互に固定してもよい。
ドーピングのパーセントを3倍に拡大すると、吸収係数α=0.15が求められる。
吸収効率は以下のとおりである。
ただし、吸収係数αは、それだけでは、係数αと適用されるパワーとに物理的な限度があることを示していない。
Nd:YVO4結晶(1003)に適用されるパワーが増加すると、Ndドーピングの濃度が減少し、結晶の断面が減少する。
ドーピング濃度が低いほど、高い励起パワーを使用できる。
この例では、励起パワーは40Wであり、励起スポットサイズは直径0.5mmである。
セグメントごとのPabsは、以下の方程式で求められる。
後続のセグメントが利用できる、または後続のセグメントに伝達されるパワーは、以下の方程式で求められる。
Ndドーピング濃度が0.05%と小さいため、破砕のリスクを冒さずに第1セグメント1010に40Wを安全に適用できることに注目されたい。
第2セグメント1011は、Nd濃度が0.13%at.、長さが1mmであり、Pabs=29.64(1−e(−(0.39)(1))W=9.57Wである。
第3セグメント1012に対して利用可能となる/転送されるパワーは以下のとおりである。
第3セグメント1012へのPinput=40W−(10.36+9.57)W=20.07W
第3セグメント1012はNdドーピングが0.25%、長さが12mmなので、以下のようになる。
Pabs=20.07(1−e(−(0.75)(12))W=20.07W
Nd:YVO4結晶(1003)へのエネルギー伝達が高まると、シードレーザ(1001)が利得媒質1003内を移動する際の利得が増える。
この概念を、例を用いて示す。
第1セグメント1010は10.9dBの利得を生成する。
したがって、たとえば約1mWが入力される小信号シードレーザで約10Wの励起パワーが吸収される場合、第1セグメント1010で増幅される平均パワーは12.5mWである。
利得は以下のように計算する。
したがってシード入力の平均パワーが12.5mW、吸収される励起パワーが10Wの場合、第2セグメント1011から退出する増幅された平均パワーは83mWである。
同様に、第3セグメント1012は10.8dBの利得を生成する。
したがってシードレーザ(1001)のパワーが83mW、吸収される励起パワーが約20Wの場合、第3セグメント1012から退出する増幅された平均パワーは1Wである。
3つのセグメント1010、1011、1012の総合利得(全体の利得)は30dBである。
出力パワーは743mWである。
1000mW/743mW=1.34なので、マルチセグメントの利得は34%以上向上している。
これは、各セグメントに入力されるパワーが、液晶が破砕せずに吸収できる許容レベルに抑えられるためである。
図11は、図10Aの例に似た例である。
ただし、図11はデュアルパス増幅器を示している。
シードレーザ(111)は、第1内部パス111Iと第2内部パス115Iの両方を移動する際に増幅される。
したがって利得はデュアルパス構成で向上し、クワッドパス構成ではさらに向上する。
当業者には、添付する特許請求の範囲の精神および範囲から逸脱することなく、これらの例に変更を加え得ることがわかるであろう。
100A ・・・ デュアルパス増幅器の概略図
100B ・・・ 図1の例の概略斜視図
100C ・・・ 光側面励起配置の概略図
100D ・・・ 光側面励起されたNd:YVO4利得媒質を含むレーザの他の例の概略図
100E ・・・ 光側面励起されたNd:YVO4利得媒質を含むレーザの他の例の概略図
101 ・・・808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)の端面励起
101C ・・・ 端面励起101からの808nmの励起に対して高透過性を有し、ピコ秒のパルスに埋め込まれた1064nmの入射シード信号に対して高反射性を有するコーティングが施された、結晶の端面
102 ・・・ 808nm端面励起の方向を示す矢印
103 ・・・ Nd:YVO4結晶、利得媒質
103A ・・・ 第1端面、反射防止コーティングが施された、結晶の平坦な楔面
103B、103C、103D、103E ・・・ 利得媒質内の励起の強度変化
103R ・・・ Nd:YVO4結晶、利得媒質
104 ・・・ シードレーザ入力の方向を示す矢印
104A ・・・ 結晶103から旋光子105への増幅された出力信号の方向を示す矢印
105 ・・・ 旋光子
106、112 ・・・ 半波長板
107 ・・・ 偏光子
108 ・・・ 半波長板112の方向の偏光子の出力
109 ・・・ シードレーザの方向を示す矢印
110 ・・・ レンズ
111 ・・・ シードレーザ
111A ・・・ レンズ出力
111E ・・・ レーザの第1外部パス
111I ・・・ 利得媒質103内のレーザの第1内部パス
113 ・・・ 増幅されたレーザ信号の出力を示す矢印
114 ・・・ 増幅された信号をさらに増幅するためにクワッドパス増幅器に反射する鏡
115E ・・・ レーザの第2外部パス
115I ・・・ 利得媒質103内のレーザの第2内部パス
199 ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
199A ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
199B ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
199C ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
199D ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
199E ・・・ 光側面励起、808nm、820nm、880nm、888nm、または915nm(+/−10nm)
200 ・・・ デュアルパスパワー増幅器とクワッドパス増幅器の組み合わせ
201 ・・・ 第2のNd:YVO4結晶(利得媒質)を励起する第2の808nm励起
203 ・・・ 第2のNd:YVO4結晶、利得媒質
214 ・・・ 鏡M3
215E ・・・ 利得媒質203から鏡M3(符号214)への信号
216 ・・・ 鏡214と鏡217との間の信号
217 ・・・ 鏡M4
218 ・・・ アイソレータ219に向かうレーザ信号のパス
219 ・・・ アイソレータ
221 ・・・ 光をデュアルパス増幅器に案内する第2鏡
222 ・・・ レンズ
223 ・・・ デュアルパス増幅器への増幅されたレーザ信号のパス
224 ・・・ デュアルパス増幅器への増幅されたレーザ信号の方向を示す矢印
300 ・・・ 低シードパワー(1〜25mW)と増幅されたパワー(ワット単位)のグラフ
301 ・・・ デュアルパスで増幅されたパワー
302 ・・・ クワッドパスで増幅されたパワー
400 ・・・ 図1Aのデュアルパス概略図のさまざまなmWの平均シードパワー入力信号のパワー増幅を示すグラフ
500 ・・・ 利得媒質103の概略図
500A ・・・ 利得媒質103の端面図
500B ・・・ 断面円形の利得媒質の端面図
501 ・・・ 利得媒質への入射パルスの進入位置
502 ・・・ 利得媒質からのパルスの退出位置
503 ・・・ 断面円形の利得媒質
505C ・・・ 利得媒質103の中心線
505P、505X ・・・ 楔面(103A)に対する垂直線
520F ・・・ 利得媒質103の第1端を示す矢印
530S ・・・ 利得媒質103の第2端を示す矢印
599 ・・・ 利得媒質における励起スポットサイズの径方向範囲
600 ・・・ 楔角θ1と入射角θ2との関係、および楔角θ1と反射角θ3との関係とを示すグラフ
601 ・・・ 楔角θ1と入射角θ2との関係を示すプロット
602 ・・・ 楔角θ1と反射角θ3との関係を示すプロット
700 ・・・ 楔角θ1に応じた鏡M1から中心線までの間の距離702と、楔角θ1に応じた入力ビームの出力ビームからの分離距離701とを示すグラフ
701 ・・・ 楔角θ1に応じた第1端面103Aにおける入力ビームの出力ビームからの分離距離のプロット
702 ・・・ 楔角θ1に応じた鏡M1から入射シードレーザ111Eまでの間の距離のプロット
800 ・・・ M1(鏡806)と、M2(鏡807)と、利得媒質805とを使用したクワッドパス増幅器の設計
801 ・・・ 第1パス、長さ約64mm
802 ・・・ 第2パス、長さ約161mm
803 ・・・ 第3パス、長さ約161mm
804 ・・・ 第4パス、長さ約64mm
805 ・・・ 利得媒質、Nd:YVO4
806 ・・・ 鏡、M1
807 ・・・ 鏡、M2
810 ・・・ 利得媒質内での第1パスの開始
900 ・・・ 波長1064nm、パルス幅10ps、繰り返し率100kHz、平均パワー約1mWのシード入力のパルス列/信号
900A ・・・ 端面励起利得媒質903の概略図
901 ・・・ シード入力
902 ・・・ 808nmの励起
903 ・・・ 利得媒質、Nd:YVO4
903B、903C、903D、903E ・・・ 利得媒質内での励起の強度変化
904 ・・・ 808nmと1064nmの両方で高透過性を有するコーティングが施された第2端面
920F ・・・ 利得媒質の第1端
930 ・・・ レーザ出力を示す矢印
930S ・・・ 利得媒質の第2端
1000 ・・・ 波長1064nm、パルス幅10ps、繰り返し率100kHz、平均パワー約1mWのシード入力の概略図
1000A ・・・ それぞれにNdのドーパント濃度(原子重量パーセント単位)と、吸収されるパワーPabsと、伝達されるパワーPTと、セグメント利得Gと、吸収係数αとを有する3つのセグメントからなる拡散結合された利得媒質Nd:YVO4を示す、端面励起型のセグメント化された媒質の概略図
1000B ・・・ 3つのセグメントからなる利得媒質Nd:YVO4についての、ドーパント濃度と、長さと、吸収係数αと、吸収されるパワーPabsとを、吸収されるパワーの方程式と共に示す表
1001 ・・・ 波長1064nm、パルス幅10ps、繰り返し率100kHz、平均パワー約1mWのシード入力
1002 ・・・ 808nmの励起
1003 ・・・ 利得媒質、Nd:YVO4
1004 ・・・ 利得媒質1003からのレーザ出力を示す矢印
1005 ・・・ 808nmおよび1064nmの波長に対して高透過性を有するコーティングが施された、利得媒質1003の第2端の第2端面
1006 ・・・ 808nmおよび1064nmの波長に対して高透過性を有する反射防止コーティングが施された、利得媒質1003の第1端面
1010 ・・・ 長さ2mm、Nd濃度0.05%at.、Pabs=10.4W、Gain=10.9dB、Pt=29.6W、α=0.15の第1セグメント
1011 ・・・ 長さ1mm、Nd濃度0.13%at.、Pabs=9.6W、Gain=8.2dB、Pt=20.1W、α=0.30の第2セグメント
1012 ・・・ 長さ12mm、Nd濃度0.25%at.、Pabs=20.1W、Gain=10.8dB、Pt=0.1W、α=0.75の第3セグメント
1020F ・・・ 利得媒質1003の第1端を示す矢印
1030S ・・・ 利得媒質1003の第2端を示す矢印
1100 ・・・ シード入力信号と組み合わせて使用するセグメント化された利得媒質の概略図
1110 ・・・ 長さ2mm、Nd濃度0.05%at.、Pabs=10.4W、Gain=10.9dB、Pt=29.6W、α=0.15の第1セグメント
1111 ・・・ 長さ1mm、Nd濃度0.13%at.、Pabs=9.6W、Gain=8.2dB、Pt=20.1W、α=0.30の第2セグメント
1112 ・・・ 長さ12mm、Nd濃度0.25%at.、Pabs=20.1W、Gain=10.8dB、Pt=0W、α=0.75の第3セグメント
θ1 ・・・ 楔角
θ2 ・・・ パス111Eに沿ったシードレーザの第1パスの入射角(最大15°)、パス111Eに沿ったシードレーザの第4パスの屈折角
θ2’ ・・・ パス111Iに沿ったシードレーザの第1パスの屈折角、クワッドパスの例のパス111Iに沿ったシードレーザの第4パスの入射角
θ3 ・・・ 1064nmで高反射性を有する面101Cに当たる内部反射角(0.78°)
θ4 ・・・ パス115Iに沿ったシードレーザの第2パスの入射角、クワッドパスの例のパス115Iに沿った第3パスの屈折角
θ5 ・・・ パス115Eに沿ったシードレーザの第2パスの屈折角、クワッドパスのパス115Eに沿った第3パスの入射角
Claims (76)
- シードレーザと、増幅器と、偏光変換手段とを含み、
前記シードレーザが、波長1064nmで動作し、
前記シードレーザが、パルス出力を含み、
前記パルス出力が、前記シードレーザから繰り返し率とパルス幅と平均パワーと第1偏光とを伴って放射されるパルスを含み、
前記増幅器が、Nd:YVO4利得媒質と励起光源とを含み、
前記Nd:YVO4利得媒質が、Ndドープされ、
前記励起光源が、光子を提供して前記Nd:YVO4利得媒質を刺激し、前記Nd:YVO4利得媒質が、前記シードレーザの光子をより高いエネルギーレベルへと刺激し、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質が、第2偏光を含み、
前記偏光変換手段が、前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスの偏光を、前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2偏光と揃えて整合し、
前記Nd:YVO4利得媒質が、第1端と第2端とを備え、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端が、前記励起光源に近接する第2端面を含み、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端が、楔角θ1の楔面を含み、
前記シードレーザが、第1外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面に入射角θ2で進入し、前記入射角θ2が、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に垂直な線に対して計測され、
前記シードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第1内部パスに沿って屈折角θ2’で屈折および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面に向かって移動し、前記屈折角θ2’が、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に垂直な線に対して計測され、
前記励起光源に近接する前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面が、高反射性コーティングを含み、前記高反射性コーティングが、波長1064nmの前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスに対して高反射性を有するとともに前記励起光源からの光に対して高透過性を有し、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性コーティングが、前記励起光源からの光が前記Nd:YVO4利得媒質を活性化するのを許容し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性コーティングによって、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第2内部パスに沿って内部反射角θ3で反射および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面に向かって移動し、前記内部反射角θ3が、前記Nd:YVO4利得媒質の中心線に対して計測され、
前記シードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面から第2外部パスに沿って屈折角θ5で退出し、
前記屈折角θ5が、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に垂直な線に対して計測されていることを特徴とするレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザが、15ミリ秒から15フェムト秒までの範囲のパルス幅を有し、
前記Ndのドーパントが、0.05%at.から3.00%at.までの範囲であり、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10〜30,000kHzの範囲であって前記パルス幅に依存し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記平均パワーが、1mW未満から5Wまでの範囲であり、
前記Nd:YVO4利得媒質が、1mm2から36mm2までの断面を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。 - 第1高反射鏡をさらに含み、
前記第1高反射鏡が、前記Nd:YVO4利得媒質から前記第2外部パスに沿って退出する前記増幅されたシードレーザの前記第2外部パスに対して垂直に配置され、
前記シードレーザが、前記第1高反射鏡によって前記第2外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって反射し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第2内部パスに沿って屈折および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性コーティングに向かって移動し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端の前記第2端面の前記高反射性コーティングに当たり、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第1内部パスに沿って増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって移動し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面から前記第1外部パスに沿って屈折して退出することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。 - 前記偏光変換手段が、前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質から退出する前記シードレーザの偏光を、さらなる使用および/または増幅のために、前記第2偏光から第3偏光に変更することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、長さ5〜30mmであり、長方形の断面を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 長さ5〜30mmの前記Nd:YVO4利得媒質が、中心波長が808nm+/−3nmで帯域幅が5nm未満の励起パワーの99%を吸収することを特徴とする請求項4に記載のレーザ増幅装置。
- 前記偏光変換手段が、旋光子と、半波長板と、偏光子とを含むことを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Ndのドーパントが、0.05%at.から3.00%at.までの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質のNdのドーパントが、0.05%at.から3.00%at.までの範囲であることを特徴とする請求項3に記載のレーザ増幅装置。
- シードレーザと、増幅器とを含み、
前記シードレーザが、第1波長で動作し、
前記シードレーザが、パルス出力を含み、
前記パルス出力が、前記シードレーザから繰り返し率とパルス幅と平均パワーと偏光とを伴って放射されるパルスを含み、
前記増幅器が、Nd:YVO4利得媒質と、ダイオード励起光源とを含み、
前記ダイオード励起光源が、第2波長で動作し、
前記シードレーザの前記第1波長が、前記第2波長と異なり、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質が、偏光され、
前記Nd:YVO4利得媒質が、第1端と、第2端とを備え、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端が、前記シードレーザの入力に近接するとともに前記第2波長で動作する前記ダイオード励起光源に近接する第2端面を含むレーザ増幅装置。 - 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に拡散接合された複数のセグメントを含み、
前記ダイオード励起光源に最も近い第1セグメントのNd濃度が、前記ダイオード励起光源から遠ざかる次の隣接セグメントのNd濃度よりも低いことを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された複数のセグメントを含み、
前記複数のセグメントのそれぞれが、Nd濃度を有し、各セグメントのNd濃度が、0.00%at.以上であり、
前記Nd濃度の最も低いセグメントが、前記ダイオード励起光源に最も近くなるように、前記複数のセグメントが、前記Nd濃度の低い順に並べられていることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された第1セグメントと第2セグメントと第3セグメントとを含み、
前記第1セグメントが、第1Nd濃度を有し、
前記第2セグメントが、前記第1Nd濃度よりも高い第2Nd濃度を有し、
前記第3セグメントが、前記第2Nd濃度よりも高い第3Nd濃度を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記第1Nd濃度と前記第2Nd濃度と前記第3Nd濃度とが、2%at.未満であることを特徴とする請求項13に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、2mm×2mmの断面を有することを特徴とする請求項14に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された複数のセグメントを含み、
前記複数のセグメントのそれぞれが、Nd濃度を有し、
前記Nd濃度の最も低いセグメントが、前記励起光源に最も近くなるように、前記複数のセグメントが、前記Nd濃度の低い順に並べられていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。 - 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された複数のセグメントを含み、
前記複数のセグメントのそれぞれが、Nd濃度を有し、
前記Nd濃度の最も低いセグメントが、前記励起光源に最も近くなるように、前記複数のセグメントが、前記Nd濃度の低い順に並べられていることを特徴とする請求項3に記載のレーザ増幅装置。 - シードレーザと、増幅器と、第1高反射鏡とを含み、
前記シードレーザが、第1波長1064nmで動作し、
前記シードレーザが、パルス出力を含み、前記パルス出力が、前記シードレーザから繰り返し率とパルス幅と平均パワーと偏光とを伴って放射されるパルスを含み、
前記増幅器が、Nd:YVO4利得媒質と光励起とを含み、
前記Nd:YVO4利得媒質が、Ndドープされ、
前記光励起が、第2波長で動作するダイオード励起光源であり、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質が、偏光を含み、
前記入射シードレーザの前記偏光が、前記Nd:YVO4利得媒質の前記偏光と整合し、
前記Nd:YVO4利得媒質が、第1端と第2端とを備え、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端が、前記ダイオード励起光源に近接する第2端面を含み、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端が、楔面を含み、前記楔面が、前記Nd:YVO4利得媒質の垂直面に対して楔角θ1で傾斜した平坦面であり、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面が、反射防止第1コーティングを含み、
前記シードレーザが、第1外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面の前記反射防止第1コーティングに進入し、
前記シードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第1内部パスに沿って屈折および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面に向かって移動し、
前記ダイオード励起光源に近接する前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面が、高反射性第2コーティングを含み、前記高反射性第2コーティングが、波長1064nmの前記シードレーザに対して高反射性を有するとともに前記ダイオード励起光源からの光に対して高透過性を有し、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングが、前記ダイオード励起光源からの光が前記Nd:YVO4利得媒質を活性化するのを許容し、
前記シードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングによって反射し、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第2内部パスに沿って増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面に向かって移動し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面から第2外部パスに沿って退出し、
前記第1高反射鏡が、前記Nd:YVO4利得媒質から前記第2外部パスに沿って退出する前記シードレーザの前記第2外部パスに対して垂直に配置され、
前記シードレーザが、前記第1高反射鏡によって前記第2外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって反射し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第2内部パスに沿って屈折および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングに向かって移動し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングに当たり、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第1内部パスに沿って反射および増幅されて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって移動し、
前記増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面から前記第1外部パスに沿って屈折するレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、約10ピコ秒プラスまたはマイナス5ピコ秒の幅を有し、
前記Ndのドーパントが、0.05%at.から3.00%at.までの範囲であり、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10kHz〜30,000kHzの範囲であり、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記平均パワーが、1mW未満から5Wまでの範囲であり、
前記Nd:YVO4利得媒質が、1mm2から36mm2までの断面サイズを有することを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザが、15ミリ秒から15フェムト秒までの範囲のパルス幅を有し、
前記Ndのドーパントが、0.05%at.から3.00%at.までの範囲であり、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜30,000kHzの範囲であって前記パルス幅に依存し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記平均パワーが、1mW未満から5Wまでの範囲であり、
前記Nd:YVO4利得媒質が、1mm2から36mm2までの断面積を有し、
前記シードレーザの平均出力パワーが、1W以上であることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。 - 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された複数のセグメントを含み、
前記複数のセグメントのそれぞれが、Nd濃度を有し、前記Nd濃度が、0.00%at.以上であり、
前記Nd濃度の最も低いセグメントが、前記ダイオード励起光源に最も近くなるように、前記複数のセグメントが、前記Nd濃度の低い順に並べられていることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。 - シードレーザと、増幅器と、第1高反射鏡とを含み、
前記シードレーザが、第1波長1064nmで動作し、
前記シードレーザが、パルス出力を含み、前記パルス出力が、前記シードレーザから繰り返し率とパルス幅と平均パワーと偏光とを伴って放射されるパルスを含み、
前記増幅器が、Nd:YVO4利得媒質と光励起とを含み、
前記Nd:YVO4利得媒質が、Ndドープされ、
前記光励起が、第2波長で動作するダイオード励起光源であり、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質が、偏光を含み、
前記入射シードレーザの前記偏光が、前記Nd:YVO4利得媒質の前記偏光と整合し、
前記Nd:YVO4利得媒質が、第1端と第2端とを備え、
前記増幅器の前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端が、前記ダイオード励起光源に近接する第2端面を含み、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端が、楔面を含み、前記楔面が、前記Nd:YVO4利得媒質の垂直面に対して楔角θ1で傾斜した平坦面であり、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面が、反射防止第1コーティングを含み、
前記シードレーザが、第1外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面の前記反射防止第1コーティングに進入し、
前記シードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第1内部パスに沿って屈折して前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面に向かって移動し、1回目に増幅され、
前記ダイオード励起光源に近接する前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面が、高反射性第2コーティングを含み、前記高反射性第2コーティングが、波長1064nmの前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスに対して高反射性を有するとともに前記ダイオード励起光源からの光に対して高透過性を有し、
前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングが、前記ダイオード励起光源からの光が前記Nd:YVO4利得媒質を活性化するのを許容し、
前記1回目に増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングによって前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第2内部パスに沿って反射して前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面に向かって移動し、反射後に2回目に増幅され、
前記2回目に増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面から第2外部パスに沿って退出し、
前記第1高反射鏡が、前記Nd:YVO4利得媒質から前記第2外部パスに沿って退出する前記シードレーザの前記第2外部パスに対して垂直に配置され、
前記2回目に増幅されたシードレーザが、前記第1高反射鏡によって前記第2外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって反射し、
前記2回目に増幅されたシードレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第2内部パスに沿って屈折して前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングに向かって移動し、屈折後に前記第2内部パス上で3回目に増幅され、
前記3回目に増幅されたレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングに当たり、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第1内部パスに沿って反射して前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向かって移動し、反射後に4回に増幅され、
前記4回目に増幅されたレーザが、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面から前記第1外部パスに沿って伝送されるレーザ増幅装置。 - 前記励起光源が、808nm+/−10nmの波長で動作することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、820nm+/−10nmの波長で動作することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、880nm+/−10nmの波長で動作することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、888nm+/−10nmの波長で動作することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、915nm+/−10nmの波長で動作することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、808nm+/−10nmであることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、820nm+/−10nmであることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、880nm+/−10nmであることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、888nm+/−10nmであることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、915nm+/−10nmであることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、808nm+/−10nmであることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、820nm+/−10nmであることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、880nm+/−10nmであることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、888nm+/−10nmであることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、915nm+/−10nmであることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、808nm+/−10nmであることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、820nm+/−10nmであることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、880nm+/−10nmであることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、888nm+/−10nmであることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源の前記第2波長が、915nm+/−10nmであることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、長さ5〜30mmであり、正方形の断面を有することを特徴とする請求項5に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、1〜36mm2の断面積を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、1〜36mm2の断面積を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、1〜36mm2の断面積を有することを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、1〜36mm2の断面積を有することを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、相互に固定された複数のセグメントを含み、
前記複数のセグメントのそれぞれが、Nd濃度を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記励起光源が、端面励起であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、側面励起であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記励起光源が、複数の側面励起であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、端面励起であることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、側面励起であることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、複数の側面励起であることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、端面励起であることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、側面励起であることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、複数の側面励起であることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、端面励起であることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、側面励起であることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記ダイオード励起光源が、複数の側面励起であることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面正方形を含む断面長方形に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面正方形を含む断面長方形に形成されていることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面正方形を含む断面長方形に形成されていることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面正方形を含む断面長方形に形成されていることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面円形に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面円形に形成されていることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面円形に形成されていることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。
- 前記Nd:YVO4利得媒質が、断面円形に形成されていることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。
- 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、15ミリ秒から15フェムト秒までの範囲の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であって前記パルス幅に依存することを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、15ミリ秒から15フェムト秒までの範囲の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であって前記パルス幅に依存することを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、15ミリ秒から15フェムト秒までの範囲の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であって前記パルス幅に依存することを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、約10ピコ秒の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であることを特徴とする請求項10に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、約10ピコ秒の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であることを特徴とする請求項18に記載のレーザ増幅装置。 - 前記シードレーザの前記パルス出力の前記パルスが、約10ピコ秒の幅を有し、
前記シードレーザの前記パルス出力の前記繰り返し率が、10Hz〜100MHzの範囲であることを特徴とする請求項22に記載のレーザ増幅装置。 - シードレーザから繰り返し率とパルス幅と平均パワーと偏光とを伴って放射されるパルスを有するパルス出力を含むシードレーザを第1波長で動作させるステップと、
前記シードレーザの前記偏光を、Nd:YVO4利得媒質の偏光と整合するステップと、
光励起を使用して前記Nd:YVO4利得媒質を第2波長で光学的に励起するステップと、
前記シードレーザを、第1外部パスに沿って前記Nd:YVO4利得媒質の楔面に施された反射防止第1コーティングに案内するステップと、
前記第1波で動作する前記シードレーザに対して高反射性を有するとともに前記光励起からの光に対して高透過性を有する高反射性第2コーティングを含む前記Nd:YVO4利得媒質の第2端面に向けて、前記シードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第1内部パスに沿って屈折させ、1回目に増幅するステップと、
前記1回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングによって、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する第2内部パスに沿って反射して前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面に向けて移動し、反射後に前記レーザを2回目に増幅するステップと、
前記2回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の前記楔面から第2外部パスに沿って屈折させるステップと、
前記2回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質から退出する前記シードレーザの前記第2外部パスに対して垂直に配置された高反射鏡によって、前記第2外部パスに沿って前記楔面に向けて反射するステップと、
前記2回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第2内部パスに沿って屈折させて前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングに向けて移動し、前記シードレーザを前記第2内部パス上で3回目に増幅するステップと、
前記3回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングによって、前記Nd:YVO4利得媒質の内部を通過する前記第1内部パスに沿って反射して前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面に向けて移動し、反射後に前記シードレーザを4回目に増幅するステップと、
前記4回目に増幅したシードレーザを、前記Nd:YVO4利得媒質の前記第1端の前記楔面から前記第1外部パスに沿って屈折させるステップとを含むレーザ増幅方法。 - 前記Nd:YVO4利得媒質の前記第2端面の前記高反射性第2コーティングが、前記ダイオード励起光源からの光が前記Nd:YVO4利得媒質を活性化するのを許容することを特徴とする請求項75に記載のレーザ増幅方法。
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