JP2014153073A - 圧力検知ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】防水性を向上できる圧力検知ユニットを提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のエレメント本体１８の外側面に、複数のリードピン３４を囲うようにして封入樹脂部６８が接合されている。そして、圧力センサ１０は、このエレメント本体１８の上端面１８ａにおける封入樹脂部６８が接合された箇所に、レーザー照射によって形成され、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂを仕切るように配置された環状の粗面化部７が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、圧力センサや圧力スイッチなどを構成する圧力検知ユニットに関し、特に、防水性が要求される圧力検知ユニットに関する。

従来、圧力検知ユニットとして、例えば、特許文献１に開示されたものがある。特許文献１に記載された圧力検知ユニットとしての圧力センサ８００は、図２１に示すように、ベース８０１と流管接続部材としての受け部材８０２との間にダイヤフラム８０３を挟んで構成されたステンレス製の圧力検知エレメント８１０と、圧力検知エレメント８１０を収容するカバー８４０と、圧力検知エレメント８１０をカバー８４０内に固定する第１接着剤８５１及び第２接着剤８５２と、を備えている。

圧力検知エレメント８１０は、その内部に圧力検知素子８４１が設けられている。この圧力検知素子８４１が備える複数の端子は、圧力検知エレメント８１０のベース８０１を貫通して設けられた複数のリードピン８４３に電気的に接続されている。そのため、圧力検知素子８４１の出力は、リードピン８４３を通じて圧力検知エレメント８１０の外部に取り出され、さらに、リードピン８４３に接続された基板８４５、コネクタ８４６及びリード線８４７を通じて圧力センサ８００の外部に取り出される。

また、第１接着剤８５１及び第２接着剤８５２が、圧力検知エレメント８１０の外側の面に密に接して設けられており、圧力検知エレメント８１０と第１接着剤８５１及び第２接着剤８５２との界面に水分が浸入することを防いで防水性を確保していた。

特開２０１２−６８１０５号公報

しかしながら、このような圧力センサ８００は、圧力検知エレメント８１０がステンレス製であることから、接着剤との界面の耐水性（具体的には、当該界面への水分の浸入しにくさ）が低く、そのため、受け部材８０２における外側の面に在る第２接着剤８５２の周縁から上記界面に徐々に水分が浸入してしまうことがある。その結果、圧力センサ８００において、当該界面に浸入した水分が上記界面を伝って複数のリードピン８４３に到達し、リードピン８４３間での短絡やリードピン８４３の腐食などによる動作不良が生じる恐れがあり、防水性について改良の余地があった。

そこで、本発明は、上記課題を解決することを目的とする。即ち、本発明は、防水性を向上できる圧力検知ユニットを提供することを目的としている。

請求項１に記載された発明は、上記目的を達成するために、（ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）前記複数のリードピンの周囲を囲うようにして前記ケースの外側面に接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面に在る外周縁及び内周縁を仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニットである。

請求項２に記載された発明は、上記目的を達成するために、（ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）前記複数のリードピンを覆うようにして前記ケースの外側面に接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面に在る周縁と前記複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニットである。

請求項３に記載された発明は、上記目的を達成するために、（ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）筒形状に形成され、一端部を塞ぐように前記筒形状の内側に前記リードピンを向けた状態の前記圧力検知エレメントが収容される銅製、銅合金製又は合成樹脂製のカバーと、（ｃ）前記ケースと前記カバーの一端部との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するように前記ケースと前記カバーの一端部のそれぞれに接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面でかつ前記カバーの外側に在る周縁と前記複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニットである。

請求項４に記載された発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載された発明において、前記粗面化部が、前記レーザーを複数回走査して形成された複数の溝で構成されていることを特徴とするものである。

請求項５に記載された発明は、請求項４に記載された発明において、前記複数の溝が、互いに平行な直線状に形成されていることを特徴とするものである。

請求項６に記載された発明は、請求項４に記載された発明において、前記複数の溝が、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されていることを特徴とするものである。

請求項７に記載された発明は、請求項４に記載された発明において、前記複数の溝が、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部と、前記第１の複数の溝部と交差する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部と、を含んでいることを特徴とするものである。

請求項１に記載された発明によれば、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケースの外側面に、複数のリードピンを囲うようにして接着剤が接合されており、このケースの外側面における接着剤が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、接着剤におけるケースの外側面に在る外周縁及び内周縁を仕切るように配置された環状の粗面化部が設けられている。そのため、接着剤におけるケースの外側面に在る外周縁からケースと接着剤との界面に浸入した水分は、複数のリードピンに至るためには必ず粗面化部を通過しなければならない。そして、粗面化部では、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に接着剤が入り込み、ケースと接着剤との接着性が向上するので、ケースの粗面化部と接着剤との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部において、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピンに到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部が、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部を容易に設けることができる。

請求項２に記載された発明によれば、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケースの外側面に、複数のリードピンを覆う接着剤が接合されており、このケースの外側面における接着剤が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、接着剤におけるケースの外側面に在る周縁と複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部が設けられている。そのため、接着剤におけるケースの外側面に在る周縁からケースと接着剤との界面に浸入した水分は、複数のリードピンに至るためには必ず粗面化部を通過しなければならない。そして、粗面化部では、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に接着剤が入り込み、ケースと接着剤との接着性が向上するので、ケースの粗面化部と接着剤との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部において、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピンに到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部が、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部を容易に設けることができる。

請求項３に記載された発明によれば、圧力検知エレメントが、筒形状に形成された銅製、銅合金製又は合成樹脂製カバーに、その一端部を塞ぐように内側にリードピンを向けた状態で収容される。また、接着剤が、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケースとカバーの一端部との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するようにケースとカバーの一端部のそれぞれに接合される。そして、ケースの外側面における接着剤が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、接着剤におけるケースの外側面に在りかつカバーの外側に在る周縁と複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部が設けられている。そのため、接着剤におけるケースの外側面に在り且つカバーの外側に在る周縁からケースと接着剤との界面に浸入した水分は、複数のリードピンに至るためには必ず粗面化部を通過しなければならない。そして、粗面化部では、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に接着剤が入り込み、ケースと接着剤との接着性が向上するので、ケースの粗面化部と接着剤との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部において、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピンに到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部が、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部を容易に設けることができる。

請求項４に記載された発明によれば、粗面化部が、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝で構成されている。そのため、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御に比べて、簡易なレーザー制御によって粗面化部をさらに容易に形成することができる。

請求項５に記載された発明によれば、粗面化部の複数の溝が、互いに平行な直線状に形成されている。そのため、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御や曲線状にレーザーを照射するレーザー制御に比べて、非常に簡易なレーザー制御によって粗面化部をさらに容易に形成することができる。

請求項６に記載された発明によれば、粗面化部の複数の溝が、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されている。そのため、これら複数の溝が、ケースと接着剤との界面に浸入した水分に対して、掘（壕）のように幾重にも立ちふさがり、水分が複数のリードピンに到達することをさらに抑制して、防水性をより向上できる。

請求項７に記載された発明によれば、粗面化部の複数の溝が、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部と、第１の複数の溝部と交差する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部と、を含んでいる。そのため、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御に比べて、簡易なレーザー制御によって、防水性をより向上させた粗面化部を容易に形成することができる。

本発明の第１の実施形態の圧力センサの縦断面図である。 図１の圧力センサの平面図である。 図１の圧力センサが備える圧力検知エレメントの構成を示す図であって、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の上端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。 図１の圧力センサの製造工程（継手部材の溶接工程）の概略を説明する縦断面図である。 図１の圧力センサの製造工程（端子台の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。 図１の圧力センサの製造工程（蓋部材及び外部リード線の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。 図１の圧力センサの製造工程（カバー部材の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。 本発明の第２の実施形態の圧力センサの縦断面図である。 図８の圧力センサが備える圧力検知エレメントの構成を示す図であって、（ａ）は、側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の外周面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。 図１の圧力センサが備える圧力検知エレメントの第１の変形例の構成を示す図であって、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の上端面に形成された同心円状の複数の溝で構成されている）。 図１の圧力センサが備える圧力検知エレメントの第２の変形例の構成を示す図であって、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の上端面に形成された一方向に互いに平行な直線状の第１の複数の溝と、一方向と交差する他方向に互いに平行な直線状の第２の複数の溝と、で構成されている）。 本発明の第３の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。 （ａ）は、図１２の圧力検知ユニットが備える圧力検知エレメントの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース上端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。 本発明の第４の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。 （ａ）は、図１４の圧力検知ユニットが備える圧力検知エレメントの側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース外周面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。 本発明の第５の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。 （ａ）は、図１６の圧力検知ユニットが備える受け部材の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース下端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。 （ａ）は、図１３の圧力検知エレメントの第１の変形例の構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース上面に形成された同心円状の複数の溝で構成されている）。 （ａ）は、図１３の圧力検知エレメントの第２の変形例の構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース上面に形成された一方向に互いに平行な直線状の第１の複数の溝と、一方向と交差する他方向に互いに平行な直線状の第２の複数の溝と、で構成されている）。 図１３（ａ）の圧力検知エレメントにおいて、粗面化部を省略した構成の平面図である。 従来の圧力検知ユニットの縦断面図である。

以下に、本発明の圧力検知ユニットの各実施形態について、図１〜図１９を参照して説明する。なお、第１の実施形態及び第２の実施形態の説明で参照される図１〜図１１と、第３の実施形態及び第４の実施形態の説明で参照される図１２〜図１９との各図面群においては、それぞれ各構成要素について独立して符号を付している。つまり、図１〜図１１と図１２〜図１９とでは、同一の符号が付されていても異なる構成要素を示すことがある。

（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態の圧力センサについて、図１〜図７を参照して説明する。

図１は、本発明の第１の実施形態の圧力センサの縦断面図である。図２は、図１の圧力センサの平面図である。図３は、図１の圧力センサが備える圧力検知エレメントの構成を示す図であって、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の上端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。図４は、図１の圧力センサの製造工程（継手部材の溶接工程）の概略を説明する縦断面図である。図５は、図１の圧力センサの製造工程（端子台の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。図６は、図１の圧力センサの製造工程（蓋部材及び外部リード線の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。図７は、図１の圧力センサの製造工程（カバー部材の取付工程）の概略を説明する縦断面図である。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図１における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

図１に示したように、第１の実施形態の圧力センサ１は、液封型の圧力センサである。圧力センサ１は、流路１２が形成された継手部材１４と、流路１２内の流体の圧力を検出する圧力検知エレメント１６とを備えている。

圧力センサ１は、継手部材１４の流路１２と対面するように、圧力検知エレメント１６が配置され、その周縁部で継手部材１４と溶接され固着されている。

圧力検知エレメント１６は、例えば、ステンレス、アルミニウム又はニッケルなどの金属製のエレメント本体１８を備えている。エレメント本体１８には、その中央部分を貫通する中央開口２０が形成されている。この中央開口２０内には、ハーメチックガラス２２が嵌め込まれて固着されており、中央開口２０はハーメチックガラス２２によって封止されている。エレメント本体１８は、ケースの一例に相当し、ハーメチックガラス２２は、絶縁部材の一例に相当し、中央開口２０は、貫通孔の一例に相当する。

また、図１に示したように、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８と、金属製のダイヤフラム２４と、連通孔２６が形成されたダイヤフラム保護カバー２８とが、それらの外周縁部において溶接によって一体的に固着されている。

そして、この構造によって、エレメント本体１８の中央開口２０の部分において、ハーメチックガラス２２とダイヤフラム２４との間に、オイルが封入される液封室３０が形成されている。

一方、図１に示したように、ハーメチックガラス２２の液封室３０の側面部には、ワンチップ構造のセンサチップ３２が接着剤によって固定されている。即ち、センサチップ３２は、エレメント本体１８内に設けられている。

このセンサチップ３２は、液封室３０内に配設されており、圧力を検出する圧力素子と、この圧力素子の出力信号を処理する集積化された電子回路とが一体に形成された圧力センサチップとして構成されている。センサチップ３２は、圧力検知素子の一例に相当する。

また、ハーメチックガラス２２には、センサチップ３２に対する信号の入出力を行うための複数個のリードピン３４が、それぞれ、貫通状態で、ハーメチック処理により固定されている。つまり、複数のリードピン３４は、中央開口２０内にハーメチックガラス２２を貫通して配設されている。この実施形態では、リードピン３４は全部で８本設けられている。すなわち、入出力用の端子として後述する、外部リード線６２ａ（Ｖｃｃ）、６２ｂ（Ｖｏｕｔ）、６２ｃ（ＧＮＤ）用の３本のリードピン３４と、センサチップ３２の調整用の端子として５本のリードピン３４とが設けられている。

リードピン３４は、例えば、金製またはアルミニウム製のワイヤー３６によって、センサチップ３２と導通接続（ワイヤーボンディング）され、センサチップ３２の外部出力端子や外部入力端子を構成している。

そして、継手部材１４の流路１２から圧力室４０内に伝達された流体圧は、ダイヤフラム保護カバー２８の連通孔２６を通ってダイヤフラム２４の表面を押圧し、この押圧力を液封室３０内のセンサチップ３２により検知するようにしている。

圧力検知エレメント１６には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、その上端面１８ａ（エレメント本体１８における図中上方を向く面）には、中央開口２０を囲むようにして、環状の粗面化部７が設けられている。この粗面化部７については後述する。

また、図１に示したように、圧力検知エレメント１６の上部には、空間形成部材の第１の空間形成部材を構成する端子台３８が、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の上方に隣接して配置され、例えば、接着剤によって、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の上端面１８ａに固定されている。

この端子台３８は、図１に示したように、略円筒形状であって、その略中央部に、リードピン３４を挿通するための挿通孔４２ａが形成された端子固定用壁４２が形成されている。そして、この端子固定用壁４２から下方に延設された下方側壁４４と、端子固定用壁４２から上方に延設された上方側壁４６が形成されている。

これにより、図１に示したように、圧力検知エレメント１６と端子台３８との間に、端子固定用壁４２と下方側壁４４に囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されている。

そして、圧力検知エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、挿通孔４２ａに挿通され、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８に、接続部５２において、例えば、溶接により電気的に接続されている。

なお、この実施形態では、図示しないが、後述する図２に示したように、外部リード線６２ａ（Ｖｃｃ）、６２ｂ（Ｖｏｕｔ）、６２ｃ（ＧＮＤ）用の３本の端子４８が設けられている。

さらに、図１、図２に示したように、端子台３８の上方側壁４６には、嵌合用段部５０が形成されており、この嵌合用段部５０に嵌合するように、空間形成部材の第２の空間形成部材を構成する蓋部材５４が端子台３８に隣接して配置されている。

すなわち、蓋部材５４は、上板部５６と側壁５８とを備えた略カップ形状であり、側壁５８が、端子台３８の上方側壁４６に形成された嵌合用段部５０に嵌合するように構成されている。

これにより、図１に示したように、蓋部材５４と端子台３８との間に、端子台３８の端子固定用壁４２と上方側壁４６と、蓋部材５４の上板部５６と側壁５８とに囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されている。

すなわち、このように構成することによって、図１に示したように、端子台３８と、端子台３８に隣接して配置された蓋部材５４によって、圧力検知エレメント１６を覆う、上記の空間Ｓ１と空間Ｓ２とから構成される大きな空間が形成されていることになる。すなわち、端子台３８の端子固定用壁４２において、上記の空間Ｓ１、Ｓ２との間は連通状態となっており、これにより、端子台３８と蓋部材５４によって、圧力検知エレメント１６を覆う大きな空間が形成されていることになる。

さらに、図１、図２に示したように、蓋部材５４の側壁５８には、外側に突設するリード線係止部６０が形成されている。このリード線係止部６０は、図２に示したように、略矩形形状であり、３本の外部リード線６２、すなわち、外部リード線６２ａ（Ｖｃｃ）、６２ｂ（Ｖｏｕｔ）、６２ｃ（ＧＮＤ）に対応して、それぞれ、リード線係止部６０の係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃが形成されている。

すなわち、外部リード線６２ａ（Ｖｃｃ）、６２ｂ（Ｖｏｕｔ）、６２ｃ（ＧＮＤ）は、図１、図２の矢印Ａで示したように、係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃに嵌め込まれ、固定されるようになっている。

一方、図１に示したように、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８の外端部４８ａに、外部リード線６２が、接続部６４において、例えば、半田付け、溶接などにより電気的に接続されている。

また、図１の矢印Ｂで示したように、継手部材１４側から、カバー部材６６の開口部６６ｂ側が挿入され、カバー部材６６の内側に突設するフランジ形状の基端部６６ａが、継手部材１４のフランジ部１４ａと当接した状態となっている。

これにより、図１に示したように、カバー部材６６の内部に間隙Ｓ３が形成されており、この間隙Ｓ３に、カバー部材６６の開口部６６ｂ側から、接着剤を構成する封入樹脂が充填され、封入樹脂部６８が形成されている。

封入樹脂部６８は、間隙Ｓ３に充填されることにより、該間隙Ｓ３における図中下部において圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の外側面の一部（本実施形態において、具体的には上端面１８ａ及び外周面１８ｂ）と接合される。このとき、封入樹脂部６８は、エレメント本体１８の中央開口２０（及び、中央開口２０内に配置された複数のリードピン３４）を囲むように配置される。また、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａは、エレメント本体１８の外周面１８ｂの図中下方に位置し、内周縁６８ｂは、エレメント本体１８の上端面１８ａの端子台３８との固定箇所付近に位置する。

なお、この場合、図１に示したように、封入樹脂部６８の上端６８ｊが、蓋部材５４のリード線係止部６０の上面６０ｄの高さと同一平面以下の高さ、好ましくは、リード線係止部６０の上面６０ｄと下面６０ｅとの間に位置するのが望ましい。

ここで、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の上端面１８ａに設けられた粗面化部７について説明する。

粗面化部７は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、平面視環状に形成されており、エレメント本体１８の上端面１８ａにおける封入樹脂部６８が接合された箇所に、中央開口２０を囲むように設けられている。換言すると、粗面化部７は、エレメント本体１８の外側面（エレメント本体１８の外側を向く表面部分であり、具体的には、上端面１８ａ、外周面１８ｂ及び下端面１８ｃ）における封入樹脂部６８が接合された箇所に、封入樹脂部６８における外側面に在る外周縁６８ａと内周縁６８ｂとの間を仕切るように環状に配置されている。これにより、エレメント本体１８の外側面と封入樹脂部６８との界面において、水分が、外周縁６８ａから内周縁６８ｂを横切って進み、エレメント本体１８の中央開口２０内にある複数のリードピン３４まで到達するためには、必ず粗面化部７を通過することになる。

粗面化部７は、レーザー照射によって、エレメント本体１８の上端面１８ａを荒らすことにより粗面化して形成されている。そのため、封入樹脂部６８は、粗面化部７の凹部に進入して上端面１８ａと封入樹脂部６８との接着性が向上し、これにより、封入樹脂部６８との界面の耐水性が向上する。

本実施形態において、粗面化部７は、図３（ｂ）に示すように、互いに平行な直線状に形成された複数の溝８で構成されている。これら複数の溝８は、レーザー照射位置を溝ピッチ分ずつずらしながら所定の一方向に複数回走査して形成されている。複数の溝８の深さは、１００ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３μｍであり、より好ましくは１．０μｍ±０．５μｍである。

次に、上述した圧力センサ１の作用について説明する。

圧力センサ１が、水などの液体に長期間曝されると、例えば継手部材１４とカバー部材６６との間から水分が入り込む。そして、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａの箇所から、エレメント本体１８の外側面と封入樹脂部６８との界面に水分が浸入する。しかし、この界面に浸入した水分は、粗面化部７によって進行を妨げられ、粗面化部７に囲まれた複数のリードピン３４まで水分が到達することを抑制できる。

このように構成される本実施形態の圧力センサ１は、図４〜図７に示した工程によって製造される。

すなわち、図４に示したように、一体的に予め組み立てられた圧力検知エレメント１６を用意する。このとき、圧力検知エレメント１６には、その上端面１８ａに粗面化部７が予め形成されている。そして、この圧力検知エレメント１６に継手部材１４を溶接する。

次に、図５に示したように、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の上部に、端子台３８の下方側壁４４を配置して、例えば、接着剤により固定する。この状態で、圧力検知エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、端子台３８の端子固定用壁４２の挿通孔４２ａに挿通された状態となっている。

この状態で、圧力検知エレメント１６のリードピン３４の先端３４ａは、挿通孔４２ａに挿通され、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８に、リードピン３４の先端３４ａを、接続部５２において、例えば、溶接により電気的に接続する。

なお、この状態で、図５に示したように、圧力検知エレメント１６と端子台３８との間に、端子固定用壁４２と下方側壁４４に囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されている。

そして、図５に示したように、端子台３８の上方側壁４６を貫通するように設けられた端子４８の外端部４８ａに、外部リード線６２を、接続部６４において、例えば、溶接、半田付けなどにより電気的に接続する。

また、端子台３８の上方側壁４６に形成された嵌合用段部５０に嵌合するように、蓋部材５４を端子台３８に隣接して配置する。

これにより、図６に示したように、蓋部材５４と端子台３８との間に、端子台３８の端子固定用壁４２と上方側壁４６と、蓋部材５４の上板部５６と側壁５８とに囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されている状態となる。

また、図２、図６の矢印Ａで示したように、外部リード線６２ａ（Ｖｃｃ）、６２ｂ（Ｖｏｕｔ）、６２ｃ（ＧＮＤ）を、リード線係止部６０の係止切欠孔６０ａ、６０ｂ、６０ｃにそれぞれ嵌め込み、固定する。

この状態で、図７に示したように、継手部材１４側から、カバー部材６６の開口部６６ｂ側を挿入して、カバー部材６６の内側に突設するフランジ形状の基端部６６ａが、継手部材１４のフランジ部１４ａと当接した状態とする。また、必要に応じて、継手部材１４のフランジ部１４ａとカバー部材６６の基端部６６ａとを、例えば、溶接などによって固定する。

最後に、図１に示したように、カバー部材６６の内部に形成された間隙Ｓ３に、カバー部材６６の開口部６６ｂ側から、接着剤を構成する封入樹脂を充填して、封入樹脂部６８を形成する。これら工程を経て、圧力センサ１が完成する。

以上説明したように、本実施形態の圧力センサ１は、（ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のエレメント本体１８、エレメント本体１８に設けられた中央開口２０に充填されたハーメチックガラス２２、エレメント本体１８内に設けられたセンサチップ３２、及び、センサチップ３２の端子に電気的に接続されかつ中央開口２０内にハーメチックガラス２２を貫通するように設けられた複数のリードピン３４を備えた圧力検知エレメント１６と、（ｂ）複数のリードピン３４の周囲を囲うようにしてエレメント本体１８の外側面に接合された封入樹脂部６８と、を有している。そして、圧力センサ１は、エレメント本体１８の上端面１８ａにおける封入樹脂部６８が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂを仕切るように配置された環状の粗面化部７が設けられている。

また、圧力センサ１は、粗面化部７が、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８で構成されている。

また、圧力センサ１は、複数の溝８が、互いに平行な直線状に形成されている。

以上より、本実施形態によれば、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のエレメント本体１８の外側面に、複数のリードピン３４を囲うようにして封入樹脂部６８が接合されており、このエレメント本体１８の外側面の一部である上端面１８ａにおける封入樹脂部６８が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂを仕切るように配置された環状の粗面化部７が設けられている。そのため、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａからエレメント本体１８と封入樹脂部６８との界面に浸入した水分は、複数のリードピン３４に至るためには必ず粗面化部７を通過しなければならない。そして、粗面化部７では、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に接着剤が入り込み、エレメント本体１８と封入樹脂部６８との接着性が向上するので、エレメント本体１８の粗面化部７と封入樹脂部６８との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部７において、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピン３４に到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部７が、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部を容易に設けることができる。

また、粗面化部７が、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８で構成されている。そのため、簡易なレーザー制御によって粗面化部７をさらに容易に形成することができる。

また、粗面化部７の複数の溝８が、互いに平行な直線状に形成されている。そのため、非常に簡易なレーザー制御によって粗面化部をさらに容易に形成することができる。

（第２の実施形態）
以下に、本発明の第２の実施形態の圧力センサを、図８、図９を参照して説明する。

図８は、本発明の第２の実施形態の圧力センサの縦断面図である。図９は、図８の圧力センサが備える圧力検知エレメントの構成を示す図であって、（ａ）は、側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、エレメント本体の外周面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図８における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

図８に示す圧力センサ（図中、符号１Ａで示す）は、上述した第１の実施形態の圧力センサ１において、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の上端面１８ａに設けられた粗面化部７に代えて、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の外周面１８ｂに設けられた粗面化部７Ａを有し、それ以外の構成については同一である。そのため、以下の説明において、第１の実施形態の圧力センサ１と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略する。

粗面化部７Ａは、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、圧力検知エレメント１６のエレメント本体１８の外周面１８ｂに、その周方向に沿う環状に形成されている。つまり、粗面化部７Ａは、エレメント本体１８の外側面（エレメント本体１８の外側を向く表面部分であり、具体的には、上端面１８ａ、外周面１８ｂ及び下端面１８ｃ）における封入樹脂部６８が接合された箇所に、封入樹脂部６８における外側面に在る外周縁６８ａと内周縁６８ｂとの間を仕切るように環状に配置されている。これにより、エレメント本体１８の外側面と封入樹脂部６８との界面において、水分が、外周縁６８ａから内周縁６８ｂを横切って進み、複数のリードピン３４まで到達するためには、必ず粗面化部７Ａを通過することになる。

粗面化部７Ａは、レーザー照射によって、エレメント本体１８の外周面１８ｂを荒らすことにより粗面化して形成されている。そのため、封入樹脂部６８は、粗面化部７Ａの凹部に進入して外周面１８ｂと封入樹脂部６８との接着性が向上し、これにより、封入樹脂部６８との界面の耐水性が向上する。

本実施形態において、粗面化部７Ａは、図９（ｂ）に示すように、エレメント本体１８の外周面１８ｂの周方向に互いに平行な直線状（環状）に形成された複数の溝８Ａで構成されている。これら複数の溝８Ａは、レーザー照射位置を周方向と直交する方向に溝ピッチ分ずつずらしながら周方向に複数回走査して形成されている。つまり、複数の溝８Ａは、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されている。複数の溝８Ａの深さは、１００ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３μｍであり、より好ましくは１．０μｍ±０．５μｍである。

このような圧力センサ１Ａの作用は、上述した第１の実施形態の圧力センサ１Ａの作用と同様であり、エレメント本体１８と封入樹脂部６８との界面に浸入した水分は、エレメント本体１８の外周面１８ｂまで到達すると、粗面化部７Ａによって進行を妨げられ、そのため、水分がそれ以上進行せず、複数のリードピン３４まで水分が到達することを抑制できる。

以上説明したように、本実施形態の圧力センサ１Ａは、（ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のエレメント本体１８、エレメント本体１８に設けられた中央開口２０に充填されたハーメチックガラス２２、エレメント本体１８内に設けられたセンサチップ３２、及び、センサチップ３２の端子に電気的に接続されかつ中央開口２０内にハーメチックガラス２２を貫通するように設けられた複数のリードピン３４を備えた圧力検知エレメント１６と、（ｂ）複数のリードピン３４の周囲を囲うようにしてエレメント本体１８の外側面に接合された封入樹脂部６８と、を有している。そして、圧力センサ１Ａは、エレメント本体１８の外周面１８ｂにおける封入樹脂部６８が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ａが設けられている。

また、圧力センサ１Ａは、粗面化部７Ａが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ａで構成されている。

また、圧力センサ１Ａは、複数の溝８Ａが、互いに平行な直線状に形成されている。

また、圧力センサ１Ａは、複数の溝８Ａが、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されている。

以上より、本実施形態によれば、ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のエレメント本体１８の外側面に、複数のリードピン３４を囲うようにして封入樹脂部６８が接合されており、このエレメント本体１８の外側面の一部である外周面１８ｂにおける封入樹脂部６８が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ａが設けられている。そのため、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａからエレメント本体１８と封入樹脂部６８との界面に浸入した水分は、複数のリードピン３４に至るためには必ず粗面化部７Ａを通過しなければならない。そして、粗面化部７Ａでは、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に接着剤が入り込み、エレメント本体１８と封入樹脂部６８との接着性が向上するので、エレメント本体１８の粗面化部７Ａと封入樹脂部６８との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部７Ａにおいて、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピン３４に到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部７Ａが、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部を容易に設けることができる。

また、粗面化部７Ａが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ａで構成されている。そのため、簡易なレーザー制御によって粗面化部７Ａをさらに容易に形成することができる。

また、粗面化部７Ａの複数の溝８Ａが、互いに平行な直線状に形成されている。そのため、非常に簡易なレーザー制御によって粗面化部をさらに容易に形成することができる。

また、粗面化部７Ａの複数の溝８Ａが、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されているので、これら複数の溝８Ａが、エレメント本体１８と封入樹脂部６８との界面に浸入した水分に対して、掘（壕）のように幾重にも立ちふさがり、水分が複数のリードピン３４に到達することをさらに抑制して、防水性をより向上できる。

以上、本発明について、好ましい実施形態として第１の実施形態及び第２の実施形態を挙げて説明したが、本発明の圧力検知ユニットはこれらの実施形態の構成に限定されるものではない。

例えば、上述した第１の実施形態では、粗面化部７が、互いに平行な直線状に形成された複数の溝８で構成されているものであったが、これに限定されるものではない。このような粗面化部７に代えて、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、複数のリードピン３４が配置された中央開口２０を囲む環状でかつ互いに交差しない同心状に形成された複数の溝８Ｂで構成された環状の粗面化部７Ｂを有する構成としてもよい。このような構成とすることで、これら複数の溝８Ｂが、エレメント本体１８の上端面１８ａと封入樹脂部６８との界面に浸入した水分に対して、掘（壕）のように幾重にも立ちふさがり、水分が複数のリードピン３４に到達することをさらに抑制して、防水性をより向上できる。

または、このような粗面化部７に代えて、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部８１と、第１の複数の溝部８１と交差する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部８２と、を含む複数の溝８Ｃで構成された粗面化部７Ｃを有する構成としてもよい。このようにすることで、簡易なレーザー制御によって、防水性をより向上させた粗面化部７Ｃを容易に形成することができる。

または、このような粗面化部７に代えて、レーザー照射により、互いに間隔をあけて設けられた水玉模様状の複数の穴で構成された粗面化部としてもよい。

または、上述した第２の実施形態において、粗面化部７Ａの複数の溝８Ａに代えて、図３（ｂ）、図１１（ｂ）に示すような複数の溝８、８Ｃを設けてもよい。

また、上述した第１の実施形態では、粗面化部７が平面視で円形環状に形成されており、第２の実施形態では、粗面化部７Ａが、円筒環状に形成されているものであったが、これに限定されるものではない。例えば、円形環状の粗面化部７に代えて、エレメント本体１８の上端面１８ａに複数のリードピン３４が配置された中央開口２０を囲む矩形環状に形成された粗面化部が設けられていたりしてもよく、または、エレメント本体１８の上端面１８ａ及び外周面１８ｂ全体が単一の封入樹脂部６８で覆われた構成において、これら上端面１８ａ及び外周面１８ｂにまたがって中央開口２０を囲む環状に形成されていたりしてもよく、本発明の目的に反しない限り、粗面化部は、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面にある外周縁６８ａから内周縁６８ｂ（即ち、複数のリードピン３４）に向かう場合に必ず粗面化部７、７Ａを通るように、エレメント本体１８の外側面に、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８に在る外周縁６８ａと内周縁６８ｂとの間を仕切る環状に形成されていればよい。

また、上述した第１の実施形態では、粗面化部７が、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａ及び内周縁６８ｂの間に配置されたものであったが、これに限定されるものではない。例えば、粗面化部７の外縁が外周縁６８ａと内周縁６８ｂとの間の箇所にあり、粗面化部７の内縁が内周縁６８ｂよりも内側の複数のリードピン寄りの箇所にあってもよい。または、粗面化部７の外縁が外周縁６８ａの外側の箇所にあり、粗面化部７の内縁が内周縁６８ｂよりも内側の複数のリードピン寄りの箇所にあってもよい。このような構成においても、粗面化部７（具体的には、粗面化部７の一部）が、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａと内周縁６８ｂとを仕切るように配置された構成に含まれる。即ち、本発明の目的に反しない限り、粗面化部７（その一部又は全部）は、封入樹脂部６８におけるエレメント本体１８の外側面に在る外周縁６８ａと内周縁６８ｂとを仕切るように配置されていれば、その構成は任意である。

（第３の実施形態）
以下に、本発明の第３の実施形態の圧力検知ユニットを、図１２、図１３を参照して説明する。

図１２は、本発明の第３の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。図１３（ａ）は、図１２の圧力検知ユニットが備える圧力検知エレメントの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース上端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図１２における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

図１２に示す圧力検知ユニット（図中、符号２で示す）は、圧力検知エレメント５と、電気接続部２０と、継手部３０と、カバー４０と、第１接着剤５１と、第２接着剤５２と、を備えている。

圧力検知エレメント５は、ベース１１及び受け部材１２からなる略円柱形状のケース１０と、ダイヤフラム１３と、圧力検知素子１４と、複数のリードピン１９と、を備えている。

ベース１１は、円板状のベース本体１１ａと、ベース本体１１ａの周縁から図中下方に向けて直角に立設された鍔部１１ｂと、を備える蓋状に形成されている。

ベース本体１１ａには、後述する受圧空間１７へのオイル封入用のオイル充填孔１１ｃが、当該ベース本体１１ａを貫通して形成されている。このオイル充填孔１１ｃは、オイル充填後にボール１５によって封じられる。また、ベース本体１１ａには、複数のリードピン取出孔１１ｄが、当該ベース本体１１ａを貫通して形成されている。この複数のリードピン取出孔１１ｄには、例えば銅などの導電材料を用いて棒状に形成された複数のリードピン１９が挿通されるとともに、絶縁部材としてのハーメチックシール１６によってオイル漏れがないように封じられている。これにより、複数のリードピン１９は、ハーメチックシール１６によってベース１１に電気的に絶縁された状態で固定される。リードピン取出孔１１ｄは、貫通孔の一例に相当し、ハーメチックシール１６は、絶縁部材の一例に相当する。

受け部材１２は、円板状の受け部材本体１２ａと、受け部材本体１２ａの周縁にその中心から離れるように図中斜め上方向に向けて立設された鍔部１２ｂと、を備える皿状に形成されている。鍔部１２ｂの先端は、受け部材本体１２ａと略平行な平坦に形成されている。受け部材本体１２ａの中心部分には開口１２ｃが形成されている。ベース１１と受け部材１２とは、ベース１１の鍔部１１ｂの先端と受け部材１２の鍔部１２ｂとの先端が後述するダイヤフラム１３を挟んで重なるように配置されている。受け部材１２の図中下方を向く面は、ケース１０の下端面１０ｃである。この下端面１０ｃは、環状下面１２ｅ、外側テーパ周面１２ｆ及び環状下面１２ｇが互いに同心に連なって構成されている。

ダイヤフラム１３は、円形の膜状に形成されており、その外周縁部１３ａが、ベース１１の鍔部１１ｂの先端と受け部材１２の鍔部１２ｂとの先端に挟まれるように配置されている。

ベース１１の鍔部１１ｂの先端、受け部材１２の鍔部１２ｂの先端、及び、ダイヤフラム１３の外周縁部１３ａは、それら接合箇所Ｓがレーザー溶接等によって互いに溶接されて、この接合箇所Ｓにおいて互いに一体的かつ密封して連結・固定されている。ベース１１と受け部材１２とが互いに接合されることにより、これらは圧力検知エレメント５の外形となるケース１０を構成し、そして、ダイヤフラム１３は、ケース１０内の空間を仕切るように該ケース１０に取り付けられる。ベース１１とダイヤフラム１３との間には、オイルが封入される受圧空間１７が形成され、受け部材１２とダイヤフラム１３との間には加圧空間１８が形成されている。

ベース１１、受け部材１２及びダイヤフラム１３は、ステンレスを材料として構成されていることが好ましい。または、これらの一部又は全部が、例えば、アルミニウム（アルミニウム合金を含む）又はニッケル（ニッケル合金を含む）を材料として構成されていてもよい。

圧力検知素子１４は、（ａ）シリコン基板の裏面中央部をエッチングして形成されたダイヤフラム部（シリコンダイヤフラム）と、（ｂ）複数の検知素子部（ピエゾ抵抗素子）を含んでダイヤフラム部に形成されたブリッジ回路、並びに、該ブリッジ回路の出力信号を処理する増幅回路、直線補正回路、温度補正回路及び補正データ保持回路などを有する電子回路部と、が半導体回路集積化技術により集積化されている。圧力検知素子１４は、ダイヤフラム部からなる受圧部１４ａに加えられた圧力に応じた圧力信号を出力する。

圧力検知素子１４は、受圧空間１７内に配置された状態でベース１１に取り付けられている。つまり、圧力検知素子１４は、ケース１０内に設けられている。圧力検知素子１４の金属端子部（ボンディングパッド）は、複数のリードピン１９の一端と受圧空間１７内にてボンディングワイヤ６１により接続されている。これにより、圧力検知素子１４は、ベース１１のベース本体１１ａを貫通して形成されている複数のリードピン取出孔１１ｄを通して延びる複数のリードピン１９を通じて、後述する電気接続部２０の基板２１に電気的に接続されている。

図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の上端面１０ａ（ベース１１のベース本体１１ａの図中上方を向く面）には、複数のリードピン取出孔１１ｄを囲むようにして、環状の粗面化部７が設けられている。この粗面化部７については後述する。

電気接続部２０は、後述するカバー４０内に配置されており、基板２１と、基板２１に接続されたコネクタ２３と、コネクタ２３に接続されたリード線２４とを有している。基板２１には複数のリードピン１９の他端が接続されており、つまり、複数のリードピン１９を通じて、基板２１と圧力検知素子１４とが電気的に接続されている。これにより、圧力検知素子１４から出力された圧力信号が、リードピン１９、基板２１及びコネクタ２３を通じて、リード線２４から外部へと取り出される。

継手部３０は、銅を材料として構成されている。または、継手部３０は、真鍮などの銅合金や後述するカバー４０と同一の合成樹脂等を材料として構成されていてもよい。継手部３０は、略筒状でその図中上方の一端部が段階的に縮径する階段状に形成されている。継手部３０は、その一端部の先端３０ａが受け部材１２の開口１２ｃに挿入されることにより、継手部３０の内側の流体導入通路３２と加圧空間１８とが連通される。また、継手部３０は、その一端部の先端３０ａと受け部材１２の開口１２ｃの周縁とがそれら間を密封するようにロウ付けされることにより、受け部材１２に固定して取り付けられている。

継手部３０の他端部内側には、雌ねじが切られた結合用ねじ部３１が設けられており、図示しない流体導入管を螺合して接続可能とされている。つまり、継手部３０は流管部材を構成し、受け部材１２は、流管部材である継手部３０が接続される流管接続部材を構成する。

継手部３０の結合用ねじ部３１に流体導入管が接続されると、継手部３０の流体導入通路３２を通じて、流体の圧力が加圧空間１８に導入されてダイヤフラム１３に伝達される。ダイヤフラム１３は極めて薄いため圧力損失が生ずることなく圧力伝達が行われる。この圧力を圧力検知素子１４の受圧部１４ａで受けて、受圧部１４ａで受けた圧力に応じてピエゾ抵抗素子から発せられた電気信号が電子回路部で処理されて、圧力信号としてリードピン１９に出力される。

カバー４０は、例えば、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）等の合成樹脂を材料として筒形状（略筒形状を含む）に構成されている。または、カバー４０は、銅又は銅合金（真鍮など）を材料として構成されていてもよい。カバー４０は、電気接続部２０のコネクタ２３及びリード線２４を収容する図中上方の部分が、小径端部４１として形成されており、圧力検知エレメント５を収容する図中下方の部分が、小径端部４１より内径を大きくして且つ筒状スカート状に延びる大径端部４２（カバー４０の一端部）として形成されている。

小径端部４１の内周面には、その全周にわたり突出した突出部４１ａが形成されている。この突出部４１ａは、カバー４０内の後述する第１空間４７に充填された第１接着剤５１の抜け止めとして機能する。

大径端部４２の内周側には、ベース１１の外径とほぼ同径の環状段部４２ａが形成されている。この環状段部４２ａには、ベース１１がその外径角部である環状角部１１ｅにおいて嵌合し且つ座着するように載置される。これにより、ベース１１が、環状段部４２ａに載置されることにより、圧力検知エレメント５（具体的には、ベース１１及び受け部材１２からなるケース１０）が大径端部４２の図中下方の開口を塞ぐように配置される。このとき、ケース１０から突き出た複数のリードピン１９がカバー４０の内側（小径端部４１側）を向くように配置されている。

大径端部４２の内周側における環状段部４２ａよりも図中下方の開口寄りの箇所には、ケース１０（具体的にはベース１１）の外径よりも大径の筒状内周面４２ｂが設けられている。この筒状内周面４２ｂと、ケース１０の外周面１０ｂ（具体的には、ベース１１の外周面１１ｆ及び受け部材１２の周面１２ｄ）との間に、後述する第２接着剤５２が充填される環状隙間４５が全周に渡って形成されている。環状隙間４５は、大径端部４２の図中下方の開口付近において、後述する開き空間４６と連なって、第２空間４８を構成する。

カバー４０の内側は、カバー４０に収容されたケース１０で区切られており、ベース１１のベース本体１１ａから小径端部４１側には、第１空間４７が形成されている。この第１空間４７には、電気接続部２０（具体的には、基板２１、コネクタ２３及びリード線２４）が収容されている。

第１空間４７には、第１接着剤５１が充填、硬化されている。第１接着剤５１は、カバー４０やリード線２４との接着性が高く、且つ弾性が高い、例えば、エポキシ系接着剤などが用いられる。勿論、第１接着剤５１として他の種類の接着剤（ウレタン系接着剤やシリコーン系接着剤など）を用いてもよい。

第１接着剤５１は、第１空間４７に充填後硬化されることにより、リードピン１９、基板２１、コネクタ２３及びリード線２４が埋設状態になり、これらのパーツをカバー４０内に封止する。つまり、第１接着剤５１は、複数のリードピン１９を覆うようにしてケース１０の上端面１０ａに接合されている。

カバー４０の大径端部４２の図中下方の開口付近には、第２空間４８が形成されている。この第２空間４８は、環状隙間４５及び開き空間４６を含んで構成されている。

環状隙間４５は、上述したように、ケース１０の外周面１０ｂとこの外周面１０ｂに対向する大径端部４２の筒状内周面４２ｂとの間に形成されている比較的幅の狭い環状空間である。

開き空間４６は、環状隙間４５に連なる空間であって、受け部材１２の鍔部１２ｂの周面１２ｄに連なる環状下面１２ｅ、及び、この環状下面１２ｅに連なる外側テーパ周面１２ｆと、大径端部４２の筒状内周面４２ｂの開口端側部分及びそれに連なる傾斜端面４２ｃと、によって囲まれる空間である。

第２空間４８には、第２接着剤５２が充填される。即ち、図１２において第２接着剤５２が充填されている空間が第２空間４８である。この第２接着剤５２は、ステンレス製のベース１１や受け部材１２、銅製の継手部３０及び合成樹脂製のカバー４０との接着性が高く且つ弾性の高い、エポキシ系接着剤が用いられている。または、第２接着剤５２は、ウレタン系接着剤又はシリコーン系接着剤でもよい。

第２接着剤５２は、第２空間４８に充填されることにより、圧力検知エレメント５のケース１０とカバー４０の大径端部４２との間の全周にわたって設けられる。そのため、第２接着剤５２が、第２空間４８に充填後硬化されると、ケース１０とカバー４０との間を全周にわたって封止するように接着する。これにより、ケース１０とカバー４０との固定強度やそれら間の密封性が更に高められる。

第２接着剤５２は、ケース１０の外周面１０ｂの一部（ベース１１の外周面１１ｆの一部及び受け部材１２の周面１２ｄ）とケース１０の下端面１０ｃの一部（受け部材１２の環状下面１２ｅ及び外側テーパ周面１２ｆ）とに接合されている。また、第２接着剤５２は、カバー４０の大径端部４２の筒状内周面４２ｂの一部と傾斜端面４２ｃとに接合されている。

カバー４０は、合成樹脂（又は銅、銅合金）を材料として構成されているので、カバー４０と第１接着剤５１及び第２接着剤５２との界面の耐水性（具体的には、当該界面への水分の浸入しにくさ）は比較的高い。また、圧力検知エレメント５のケース１０はステンレス（又はアルミニウム、ニッケル）を材料として構成されているので、ケース１０と第１接着剤５１及び第２接着剤５２との界面の耐水性は、カバー４０と第１接着剤５１及び第２接着剤５２との界面の耐水性に比べて低い。つまり、カバー４０と第１接着剤５１及び第２接着剤５２との界面よりも、ケース１０と第１接着剤５１及び第２接着剤５２との界面の方が、水分が浸入しやすいので、防水性を向上させるためには、ケース１０と第１接着剤５１又は第２接着剤５２との界面の耐水性を向上させる必要がある。

ここで、圧力検知エレメント５のケース１０の上端面１０ａに設けられた粗面化部７について説明する。

粗面化部７は、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、平面視環状に形成されており、ケース１０の上端面１０ａにおける第１接着剤５１が接合された箇所に、複数のリードピン１９を囲むように設けられている。換言すると、ケース１０の外側面（ケース１０の外側を向く表面部分であり、具体的には、上端面１０ａ、外周面１０ｂ及び下端面１０ｃ）における第１接着剤５１及び複数のリードピン１９との位置関係で見た場合に、粗面化部７は、ケース１０の外側面における第１接着剤５１が接合された箇所に、第１接着剤５１における上端面１０ａに在る周縁５１ａと複数のリードピン１９との間を仕切るように環状に配置されている。これにより、ケース１０の上端面１０ａと第１接着剤５１の界面において、水分が、周縁５１ａから複数のリードピン１９に到達するためには、必ず粗面化部７を通過することになる。

粗面化部７は、レーザー照射によって、ケース１０の上端面１０ａを荒らすことにより粗面化して形成されている。そのため、第１接着剤５１は、粗面化部７の凹部に進入して上端面１０ａと第１接着剤５１との接着性が向上し、これにより、第１接着剤５１との界面の耐水性が向上する。

本実施形態において、粗面化部７は、図１３（ｂ）に示すように、互いに平行な直線状に形成された複数の溝８で構成されている。これら複数の溝８は、レーザー照射位置を溝ピッチ分ずつずらしながら所定の一方向に複数回走査して形成されている。複数の溝８の深さは、１００ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３μｍであり、より好ましくは１．０μｍ±０．５μｍである。

次に、上述した圧力検知ユニット２の本発明に係る作用について説明する。

圧力検知ユニット２が、水などの液体に長期間曝されると、第２接着剤５２におけるケース１０の下端面１０ｃに在り且つカバー４０の外側に在る周縁５２ａの箇所から、ケース１０の下端面１０ｃと第２接着剤５２との界面に水分が浸入する。この界面に浸入した水分は、徐々にケース１０の下端面１０ｃから外周面１０ｂ、上端面１０ａへと伝わる。

そして、第１接着剤５１のケース１０の上端面１０ａに在る周縁５１ａの箇所から、ケース１０の上端面１０ａと第１接着剤５１との界面に水分が浸入する。しかし、この界面に浸入した水分は、粗面化部７によって進行を妨げられ、粗面化部７に囲まれた複数のリードピン１９まで水分が到達することを抑制できる。

以上説明したように、本実施形態の圧力検知ユニット２は、（ａ）ステンレス製のケース１０、ケース１０に設けられた当該ケース１０の内外を貫通する複数のリードピン取出孔１１ｄを封止するハーメチックシール１６、ケース１０内に設けられた圧力検知素子１４、及び、圧力検知素子１４の端子に電気的に接続されかつ複数のリードピン取出孔１１ｄ内にハーメチックシール１６を貫通するように設けられた複数のリードピン１９を備えた圧力検知エレメント５と、（ｂ）複数のリードピン１９を覆うようにしてケース１０の上端面１０ａに接合された第１接着剤５１と、を有している。そして、ケース１０の上端面１０ａにおける第１接着剤５１が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、第１接着剤５１におけるケース１０の上端面１０ａに在る周縁５１ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７が設けられている。

また、圧力検知ユニット２は、粗面化部７が、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８で構成されている。

また、圧力検知ユニット２は、複数の溝８が、互いに平行な直線状に形成されている。

以上より、本実施形態によれば、ステンレス製のケース１０の上端面１０ａに、複数のリードピン１９を覆う第１接着剤５１が接合されており、このケース１０の上端面１０ａにおける第１接着剤５１が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、第１接着剤５１におけるケース１０の上端面１０ａに在る周縁５１ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７が設けられている。そのため、第１接着剤５１におけるケース１０の上端面１０ａに在る周縁５１ａからケース１０の上端面１０ａと第１接着剤５１との界面に浸入した水分は、複数のリードピン１９に至るためには必ず粗面化部７を通過しなければならない。そして、粗面化部７では、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に第１接着剤５１が入り込み、ケース１０の上端面１０ａと第１接着剤５１との接着性が向上するので、ケース１０の粗面化部７と第１接着剤５１との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部７において、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピン１９に到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部７が、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部７を容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部７を容易に設けることができる。

また、粗面化部７が、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８で構成されているので、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御に比べて、簡易なレーザー制御によって粗面化部７をさらに容易に形成することができる。

また、粗面化部７の複数の溝８が、互いに平行な直線状に形成されているので、非常に簡易なレーザー制御によって粗面化部７をさらに容易に形成することができる。

（第４の実施形態）
以下に、本発明の第４の実施形態の圧力検知ユニットを、図１４、図１５を参照して説明する。

図１４は、本発明の第４の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。図１５（ａ）は、図１４の圧力検知ユニットが備える圧力検知エレメントの側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース外周面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図１４における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

図１４に示す圧力検知ユニット（図中、符号２Ａで示す）は、上述した第３の実施形態の圧力検知ユニット２において、圧力検知エレメント５のケース１０の上端面１０ａに設けられた粗面化部７に代えて、圧力検知エレメント５のケース１０の外周面１０ｂに設けられた粗面化部７Ａを有し、それ以外の構成については同一である。そのため、以下の説明において、第３の実施形態の圧力検知ユニット２と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略する。

粗面化部７Ａは、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、圧力検知エレメント５のケース１０の外周面１０ｂに、その周方向に沿う環状に形成されている。つまり、ケース１０の外側面（ケース１０の外側を向く表面部分であり、具体的には、上端面１０ａ、外周面１０ｂ及び下端面１０ｃ）において第２接着剤５２及び複数のリードピン１９との位置関係で見た場合に、粗面化部７Ａは、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所に、第２接着剤５２における外側面（下端面１０ｃ）に在りかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９との間を仕切るように環状に配置されている。これにより、ケース１０の外周面１０ｂ及び下端面１０ｃと第２接着剤５２の界面において、水分が、周縁５２ａから複数のリードピン１９に到達するためには、必ず粗面化部７Ａを通過することになる。

粗面化部７Ａは、レーザー照射によって、ケース１０の外周面１０ｂを荒らすことにより粗面化して形成されている。そのため、第２接着剤５２は、粗面化部７Ａの凹部に進入して外周面１０ｂと第２接着剤５２との接着性が向上し、これにより、第２接着剤５２との界面の耐水性が向上する。

本実施形態において、粗面化部７Ａは、図１５（ｂ）に示すように、ケース１０の外周面１０ｂの周方向に互いに平行な直線状（環状）に形成された複数の溝８Ａで構成されている。これら複数の溝８Ａは、レーザー照射位置を周方向と直交する方向に溝ピッチ分ずつずらしながら周方向に複数回走査して形成されている。つまり、複数の溝８Ａは、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されている。複数の溝８Ａの深さは、１００ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３μｍであり、より好ましくは１．０μｍ±０．５μｍである。

次に、上述した圧力検知ユニット２Ａの本発明に係る作用について説明する。

圧力検知ユニット２Ａが、水などの液体に長期間曝されると、第２接着剤５２におけるケース１０の下端面１０ｃに在り且つカバー４０の外側に在る周縁５２ａの箇所から、ケース１０の下端面１０ｃと第２接着剤５２との界面に水分が浸入する。しかし、この界面に浸入した水分は、ケース１０の外周面１０ｂまで到達すると、粗面化部７Ａによって進行を妨げられる。そのため、水分がそれ以上進行せず、複数のリードピン１９まで水分が到達することを抑制できる。

本実施形態の圧力検知ユニット２Ａは、（ａ）ステンレス製のケース１０、ケース１０に設けられた当該ケース１０の内外を貫通する複数のリードピン取出孔１１ｄを封止するハーメチックシール１６、ケース１０内に設けられた圧力検知素子１４、及び、圧力検知素子１４の端子に電気的に接続されかつ複数のリードピン取出孔１１ｄ内にハーメチックシール１６を貫通するように設けられた複数のリードピン１９を備えた圧力検知エレメント５と、（ｂ）筒形状に形成され、一端部である大径端部４２を塞ぐように前記筒形状の内側にリードピン１９を向けた状態の圧力検知エレメント５が収容される合成樹脂製のカバー４０と、（ｃ）ケース１０とカバー４０の大径端部４２との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するようにケース１０とカバー４０の大径端部４２それぞれに接合された第２接着剤５２と、を有している。そして、圧力検知ユニット２Ａは、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所に、レーザー照射によって形成され、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面でかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ａが設けられている。

また、圧力検知ユニット２Ａは、粗面化部７Ａが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ａで構成されている。

また、圧力検知ユニット２Ａは、複数の溝８Ａが、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されている。

以上より本実施形態によれば、圧力検知エレメント５が、筒形状に形成された合成樹脂製のカバー４０に、その一端部である大径端部４２を塞ぐように内側にリードピン１９を向けた状態で収容される。また、第２接着剤５２が、ステンレス製のケース１０とカバー４０の大径端部４２との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するようにケース１０とカバー４０の大径端部４２のそれぞれに接合される。そして、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面に在りかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ａが設けられている。そのため、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面に在り且つカバー４０の外側に在る周縁５２ａからケース１０と第２接着剤５２との界面に浸入した水分は、複数のリードピン１９に至るためには必ず粗面化部７Ａを通過しなければならない。そして、粗面化部７Ａでは、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に第２接着剤５２が入り込み、ケース１０と第２接着剤５２との接着性が向上するので、ケース１０の粗面化部７Ａと第２接着剤５２との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部７Ａにおいて、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピン１９に到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部７Ａが、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部７Ａを容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部７Ａを容易に設けることができる。

また、粗面化部７Ａが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ａで構成されているので、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御に比べて、簡易なレーザー制御によって粗面化部７Ａをさらに容易に形成することができる。

また、粗面化部７Ａの複数の溝８Ａが、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されているので、これら複数の溝８Ａが、ケース１０と第２接着剤５２との界面に浸入した水分に対して、掘（壕）のように幾重にも立ちふさがり、水分が複数のリードピン１９に到達することをさらに抑制して、防水性をより向上できる。

（第５の実施形態）
以下に、本発明の第５の実施形態の圧力検知ユニットを、図１６、図１７を参照して説明する。

図１６は、本発明の第５の実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。図１７（ａ）は、図１６の圧力検知ユニットが備える受け部材の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の粗面化部の一部を拡大した図である（粗面化部が、ケース下端面に形成された互いに平行な直線状の複数の溝で構成されている）。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図１６における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

図１６に示す圧力検知ユニット（図中、符号２Ｂで示す）は、上述した第３の実施形態の圧力検知ユニット２において、圧力検知エレメント５のケース１０の上端面１０ａに設けられた粗面化部７に代えて、圧力検知エレメント５のケース１０の下端面１０ｃ（具体的には、受け部材１２の外側テーパ周面１２ｆ）に設けられた粗面化部７Ｂを有し、それ以外の構成については同一である。そのため、以下の説明において、第３の実施形態の圧力検知ユニット２と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略する。

粗面化部７Ｂは、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、圧力検知エレメント５のケース１０の下端面１０ｃ（具体的には、受け部材１２における外側テーパ周面１２ｆ）に、その周方向に沿う環状に形成されている。つまり、ケース１０の外側面（ケース１０の外側を向く表面部分であり、具体的には、上端面１０ａ、外周面１０ｂ及び下端面１０ｃ）において第２接着剤５２及び複数のリードピン１９との位置関係で見た場合に、粗面化部７Ｂは、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所に、第２接着剤５２における外側面（下端面１０ｃ）に在りかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９との間を仕切るように環状に配置されている。これにより、ケース１０の外周面１０ｂ及び下端面１０ｃと第２接着剤５２の界面において、水分が、周縁５２ａから複数のリードピン１９に到達するためには、必ず粗面化部７Ｂを通過することになる。

粗面化部７Ｂは、レーザー照射によって、ケース１０の下端面１０ｃ（具体的には受け部材１２の外側テーパ周面１２ｆ）を荒らすことにより粗面化して形成されている。そのため、第２接着剤５２は、粗面化部７Ｂの凹部に進入して下端面１０ｃと第２接着剤５２との接着性が向上し、これにより、第２接着剤５２との界面の耐水性が向上する。

本実施形態において、粗面化部７Ｂは、図１７（ｂ）に示すように、互いに平行な直線状に形成された複数の溝８Ｂで構成されている。これら複数の溝８Ｂは、レーザー照射位置を溝ピッチ分ずつずらしながら所定の一方向に複数回走査して形成されている。複数の溝８Ｂの深さは、１００ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３μｍであり、より好ましくは１．０μｍ±０．５μｍである。

次に、上述した圧力検知ユニット２Ｂの本発明に係る作用について説明する。

圧力検知ユニット２Ｂが、水などの液体に長期間曝されると、第２接着剤５２におけるケース１０の下端面１０ｃに在り且つカバー４０の外側に在る周縁５２ａの箇所から、ケース１０の下端面１０ｃと第２接着剤５２との界面に水分が浸入する。しかし、この界面に浸入した水分は、ケース１０の粗面化部７Ｂによって進行を妨げられる。そのため、水分がそれ以上進行せず、複数のリードピン１９まで水分が到達することを抑制できる。

本実施形態の圧力検知ユニット２Ｂは、（ａ）ステンレス製のケース１０、ケース１０に設けられた当該ケース１０の内外を貫通する複数のリードピン取出孔１１ｄを封止するハーメチックシール１６、ケース１０内に設けられた圧力検知素子１４、及び、圧力検知素子１４の端子に電気的に接続されかつ複数のリードピン取出孔１１ｄ内にハーメチックシール１６を貫通するように設けられた複数のリードピン１９を備えた圧力検知エレメント５と、（ｂ）筒形状に形成され、一端部である大径端部４２を塞ぐように前記筒形状の内側にリードピン１９を向けた状態の圧力検知エレメント５が収容される合成樹脂製のカバー４０と、（ｃ）ケース１０とカバー４０の大径端部４２との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するようにケース１０とカバー４０の大径端部４２それぞれに接合された第２接着剤５２と、を有している。そして、圧力検知ユニット２Ｂは、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所に、レーザー照射によって形成され、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面でかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ｂが設けられている。

また、圧力検知ユニット２Ｂは、粗面化部７Ｂが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ｂで構成されている。

以上より本実施形態によれば、圧力検知エレメント５が、筒形状に形成された合成樹脂製のカバー４０に、その一端部である大径端部４２を塞ぐように内側にリードピン１９を向けた状態で収容される。また、第２接着剤５２が、ステンレス製のケース１０とカバー４０の大径端部４２との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するようにケース１０とカバー４０の大径端部４２のそれぞれに接合される。そして、ケース１０の外側面における第２接着剤５２が接合された箇所には、レーザー照射によって形成され、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面に在りかつカバー４０の外側に在る周縁５２ａと複数のリードピン１９とを仕切るように配置された環状の粗面化部７Ｂが設けられている。そのため、第２接着剤５２におけるケース１０の外側面に在り且つカバー４０の外側に在る周縁５２ａからケース１０と第２接着剤５２との界面に浸入した水分は、複数のリードピン１９に至るためには必ず粗面化部７Ｂを通過しなければならない。そして、粗面化部７Ｂでは、レーザー照射による粗面化により生じた凹部に第２接着剤５２が入り込み、ケース１０と第２接着剤５２との接着性が向上するので、ケース１０の粗面化部７Ｂと第２接着剤５２との界面の耐水性が高まる。これにより、粗面化部７Ｂにおいて、水分の通過を妨げ、水分が複数のリードピン１９に到達することを抑制して、防水性を向上できる。また、粗面化部７Ｂが、レーザー照射により形成されているので、例えば、プラズマ洗浄や紫外線照射などにより粗面化部を形成した場合に比べて、粗面化部７Ｂを容易に所望の形状とすることができる。そのため、環状の粗面化部７Ｂを容易に設けることができる。

また、粗面化部７Ｂが、レーザーを複数回走査して形成された複数の溝８Ｂで構成されているので、例えば、断続的にレーザーを照射するようなレーザー制御に比べて、簡易なレーザー制御によって粗面化部７Ｂをさらに容易に形成することができる。

以上、本発明について、好ましい実施形態として第３の実施形態、第４の実施形態及び第５の実施形態を挙げて説明したが、本発明の圧力検知ユニットはこれらの実施形態の構成に限定されるものではない。

例えば、上述した第３の実施形態では、粗面化部７が、互いに平行な直線状に形成された複数の溝８で構成されているものであったが、これに限定されるものではない。このような粗面化部７に代えて、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、複数のリードピン１９を囲む環状でかつ互いに交差しない同心状に形成された複数の溝８Ｃで構成された環状の粗面化部７Ｃを有する構成としてもよい。このような構成とすることで、これら複数の溝８Ｃが、ケース１０の上端面１０ａと第１接着剤５１との界面に浸入した水分に対して、掘（壕）のように幾重にも立ちふさがり、水分が複数のリードピン１９に到達することをさらに抑制して、防水性をより向上できる。

または、このような粗面化部７に代えて、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部８１と、第１の複数の溝部８１と交差する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部８２と、を含む複数の溝８Ｄで構成された粗面化部７Ｄを有する構成としてもよい。このようにすることで、簡易なレーザー制御によって、防水性をより向上させた粗面化部７Ｄを容易に形成することができる。

または、このような粗面化部７に代えて、レーザー照射により、互いに間隔をあけて設けられた水玉模様状の複数の穴で構成された粗面化部としてもよい。上述した第５の実施形態においても、これら第３の実施形態の変形例として示した構成を適用してもよい。

または、上述した第４の実施形態において、粗面化部７Ａにおいて、複数の溝８Ａに代えて、図１３（ｂ）、図１９（ｂ）に示すような複数の溝８、８Ｄを設けてもよい。

また、上述した第３の実施形態及び第５の実施形態では、粗面化部７が平面視で円形環状に形成されており、第４の実施形態では、粗面化部７Ａが、円筒環状に形成されているものであったが、これに限定されるものではない。例えば、円形環状の粗面化部７に代えて、ケース１０の上端面１０ａに複数のリードピン１９を囲む矩形環状に形成された粗面化部が設けられていたりしてもよく、または、ケース１０の上端面１０ａ及び外周面１０ｂ全体が単一の接着剤で覆われた構成において、これら上端面１０ａ及び外周面１０ｂにまたがって複数のリードピン１９を囲む環状に形成されていたりしてもよく、本発明の目的に反しない限り、粗面化部は、接着剤におけるケース外周面にある周縁から複数のリードピンに向かう場合に必ず粗面化部を通るように、ケースの外側面に接着剤におけるケース外側面にある周縁と複数のリードピンとを仕切る環状に形成されていればよい。

また、上述した第３の実施形態、第４の実施形態及び第５の実施形態では、圧力検知エレメント５及び電気接続部２０がカバー４０に収容された構成であったが、これに限定されるものではない。例えば、カバー４０を備えずに、単一の接着剤で、上記圧力検知エレメント５及び電気接続部２０を覆う構成としてもよい。この場合、上記接着剤は、少なくとも圧力検知エレメント５の複数のリードピン１９を覆うようにしてケース１０の外側面に接合して設けられていればよく、また、粗面化部が、ケース１０の外側面における上記接着剤が接合された箇所に、レーザー照射によって環状に形成され、上記接着剤におけるケース１０の外側面に在る周縁と複数のリードピン１９とを仕切るように配置されていればよい。

なお、前述した第１〜第５の実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。かかる変形によってもなお本発明の圧力検知ユニットの構成を具備する限り、勿論、本発明の範疇に含まれるものである。

（評価）
本発明者らは、本発明の効果を確認するために、以下の実施例１〜５及び比較例１に示す圧力検知ユニットを作製して、これら圧力検知ユニットを用いて以下の評価試験を実施した。

（実施例１）
上述した第３の実施形態の圧力検知ユニット２において、レーザーパワーを８０％（レーザー平均出力１３Ｗ）、走査速度（スキャンスピード）を５００ｍｍ／秒、照射周波数を２０ｋＨｚ、走査間隔（ピッチ）を１００μｍ、レーザースポット径を４０μｍ、レーザー焦点（フォーカス）を±０μｍ、として、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の上端面１０ａに、互いに平行な直線状の複数の溝８で構成された、複数のリードピン１９を囲む環状の粗面化部７を形成したものを、実施例１として作製した。実施例１において、複数の溝は、その幅の平均値が６７．１μｍとされている。

（実施例２）
上記実施例１において、粗面化部７に代えて、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の上端面１０ａに、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成された複数の溝８Ｃで構成された、複数のリードピン１９を囲む環状の粗面化部７Ｃを形成し、それ以外は実施例１と同一構成としたものを、実施例２として作製した。実施例２において、複数の溝は、その幅の平均値が６７．１μｍとされている。

（実施例３）
上記実施例１において、粗面化部７に代えて、レーザーパワーを１００％、走査間隔（ピッチ）を３００μｍ、として、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の上端面１０ａに、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部８１と、第１の複数の溝部８１と直交する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部８２と、を含む複数の溝８Ｄで構成された、複数のリードピン１９を囲む環状の粗面化部７Ｄを形成し、それ以外は実施例１と同一構成としたものを、実施例３として作製した。実施例３において、複数の溝は、その幅の平均値が７７．６μｍとされている。

（実施例４）
上記実施例１において、粗面化部７に代えて、レーザーパワーを５０％、照射周波数を１０ｋＨｚ、走査間隔（ピッチ）を２０μｍ、レーザー焦点（フォーカス）を＋２０μｍ、として、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の上端面１０ａに、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部８１と、第１の複数の溝部８１と直交する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部８２と、を含む複数の溝８Ｃで構成された、複数のリードピン１９を囲む環状の粗面化部７Ｃを形成し、それ以外は実施例１と同一構成としたものを、実施例４として作製した。実施例４において、複数の溝は、その幅の平均値が５０．３μｍとされている。

（実施例５）
上述した第２の実施形態の圧力検知ユニット２Ａにおいて、レーザーパワーを８０％（レーザー平均出力１３Ｗ）、走査速度（スキャンスピード）を５００ｍｍ／秒、照射周波数を２０ｋＨｚ、走査間隔（ピッチ）を１００μｍ、レーザースポット径を４０μｍ、レーザー焦点（フォーカス）を±０μｍ、として、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース１０の外周面１０ｂに、周方向に互いに平行な直線状（環状）に形成された複数の溝８Ａで構成された粗面化部７Ａを形成したものを、実施例５として作製した。実施例５において、複数の溝は、その幅の平均値が６７．１μｍとされている。

（比較例１）
上記実施例１において、図２０に示すように、粗面化部７を省略し、それ以外は実施例１と同一構成としたものを、比較例１として作製した。

（試験１：水中放置試験）
上記実施例１〜５及び比較例１を水槽内に設置して、８０度の水に１２０時間浸した後、それらを分解して内部の浸水状態を確認し、以下の評価基準に基づいて評価を行った。
○・・・複数のリードピン１９まで水分が到達していない。
×・・・複数のリードピン１９まで水分が到達している。

（試験２：水中ヒートショック試験）
上記実施例１〜５及び比較例１を水槽内に設置して、水に浸した状態で水温を０度〜８０度の範囲で周期的に複数回（３０回）変化させたのち、それらを分解して内部の浸水状態を確認し、以下の評価基準に基づいて評価を行った。
○・・・複数のリードピン１９まで水分が到達していない。
×・・・複数のリードピン１９まで水分が到達している。

（試験３：気中ヒートショック試験）
上記実施例１〜５及び比較例１を恒温槽内に設置して、気温を−４０度〜１３５度の範囲で周期的に複数回（１００回）変化させたのち、２４時間水没させ、その後それらを分解して内部の浸水状態を確認し、以下の評価基準に基づいて評価を行った。
○・・・複数のリードピン１９まで水分が到達していない。
×・・・複数のリードピン１９まで水分が到達している。

（総合評価）
試験１〜３の結果に基づき、以下の評価基準に基づいて、防水性を総合的に評価した。
○・・・全ての試験において複数のリードピン１９まで水分が到達していない。
×・・・少なくとも１つの試験置いて複数のリードピン１９まで水分が到達している。

表１に、実施例１〜５及び比較例１の構成、並びに、評価結果を示す。

（考察）
表１に示すように、粗面化部が設けられていない比較例１では、全ての試験において、複数のリードピン１９まで水分が浸入してしまっていた。一方、粗面化部が設けられた実施例１〜５では、全ての試験において、複数のリードピンまで水分が浸入することがなかった。この結果から、粗面化部を設けることにより防水性を向上できることが確認でき、実際に圧力検知ユニットを用いて行った評価試験においても、本発明の効果を確認することができた。なお、この評価結果から、第１の実施形態の圧力センサ１及び第２の実施形態の圧力センサ１Ａにおいても、同様の効果が得られると考えられる。

（図１〜図１１）
１、１Ａ 圧力センサ（圧力検知ユニット）
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ 粗面化部
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８１、８２ 複数の溝
１４ 継手部材
１６ 圧力検知エレメント
１８ エレメント本体（ケース）
１８ａ ケースの上端面（外側面）
１８ｂ ケースの外周面（外側面）
１８ｃ ケースの下端面（外側面）
２０ 中央開口（貫通孔）
２２ ハーメチックガラス（絶縁部材）
２４ ダイヤフラム
３０ 液封室
３２ センサチップ（圧力検知素子）
３４ リードピン
３６ ワイヤー
３８ 端子台
５４ 蓋部材
６２ 外部リード線
６６ カバー部材
６８ 封入樹脂部（接着剤）
６８ａ 外周縁（接着剤におけるケースの外側面に在る外周縁）
６８ｂ 内周縁（接着剤におけるケースの外側面に在る内周縁）
（図１２〜図１９）
２、２Ａ、２Ｂ 圧力検知ユニット
５ 圧力検知エレメント
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ 粗面化部
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ、８１、８２ 複数の溝
１０ ケース
１０ａ ケースの上端面（外側面）
１０ｂ ケースの外周面（外側面）
１０ｃ ケースの下端面（外側面）
１１ ベース
１１ｄ リードピン取出孔（貫通孔）
１２ 受け部材
１３ ダイヤフラム
１４ 圧力検知素子
１６ ハーメチックシール（絶縁部材）
１７ 受圧空間
１８ 加圧空間
１９ リードピン
２０ 電気接続部
４０ カバー
４１ 小径端部
４２ 大径端部（カバーの一端部）
４５ 環状隙間
４６ 開き空間
４７ 第１空間
４８ 第２空間
５１ 第１接着剤（接着剤）
５１ａ 第１接着剤の周縁（接着剤におけるケースの外側面に在る周縁）
５２ 第２接着剤（接着剤）
５２ａ 第２接着剤の周縁（接着剤におけるケースの外側面で且つカバー外側に在る周縁）

Claims (7)

1. （ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）前記複数のリードピンの周囲を囲うようにして前記ケースの外側面に接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、
   前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面に在る外周縁及び内周縁を仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニット。
2. （ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）前記複数のリードピンを覆うようにして前記ケースの外側面に接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、
   前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面に在る周縁と前記複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニット。
3. （ａ）ステンレス製、アルミニウム製又はニッケル製のケース、前記ケースに設けられた当該ケースの内外を貫通する１又は複数の貫通孔を封止する絶縁部材、前記ケース内に設けられた圧力検知素子、及び、前記圧力検知素子の端子に電気的に接続されかつ前記貫通孔内に前記絶縁部材を貫通するように設けられた複数のリードピンを備えた圧力検知エレメントと、（ｂ）筒形状に形成され、一端部を塞ぐように前記筒形状の内側に前記リードピンを向けた状態の前記圧力検知エレメントが収容される銅製、銅合金製又は合成樹脂製のカバーと、（ｃ）前記ケースと前記カバーの一端部との間の全周にわたって設けられ、それらの間を封止するように前記ケースと前記カバーの一端部のそれぞれに接合された接着剤と、を有する圧力検知ユニットにおいて、
   前記ケースの外側面における前記接着剤が接合された箇所には、前記接着剤における前記ケースの外側面でかつ前記カバーの外側に在る周縁と前記複数のリードピンとを仕切るように配置された環状の粗面化部がレーザー照射によって形成されていることを特徴とする圧力検知ユニット。
4. 前記粗面化部が、前記レーザーを複数回走査して形成された複数の溝で構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧力検知ユニット。
5. 前記複数の溝が、互いに平行な直線状に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の圧力検知ユニット。
6. 前記複数の溝が、それぞれ環状でかつ互いに交差しない同心状に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の圧力検知ユニット。
7. 前記複数の溝が、互いに平行な直線状に形成された第１の複数の溝部と、前記第１の複数の溝部と交差する方向に互いに平行な直線状に形成された第２の複数の溝部と、を含んでいることを特徴とする請求項４に記載の圧力検知ユニット。

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