JP2014199461A5 - - Google Patents

Description

ここで説明された各投影対物系は、投影放射線が射出面ＥＳにおいて投影対物系から射出する高ＮＡ像側端部を有し、射出面ＥＳは、像面ＩＳに配置された平面状の基板面と射出面の間で均一な距離を可能にするために、好ましくは平面である。像面に最も近くて射出面ＥＳを形成するレンズは、ここでは「最終レンズ」ＬＬと呼ばれる。好ましくは、最終レンズは、ほとんどの実施例で球面状に湾曲した、湾曲した入射面ＥＮＳと平面状の射出面を有する平凸正レンズである。高ＮＡを得る目的で、湾曲した入射面ＥＮＳにより与えられる大きな屈折力が可能な限り像面に近くに配置されるように、最終レンズを構成するのが有利であることが分かった。更に、最終レンズＬＬの入射面ＥＮＳの大きな曲率、すなわち小さい曲率半径が望ましいのが明らかである。Ｔ_LLが光軸上の最終レンズの厚さ（すなわち光軸に沿って測定された入射面ＥＮＳと射出面ＥＳの間の軸方向距離）であり、Ｒ_LLが最終レンズの物体側頂点半径（すなわち入射面ＥＮＳの半径）であり、ＤＩＡ_LLが最終レンズの入射面の光学的自由直径である場合、パラメータＬＬ１＝Ｔ_LL／Ｒ_LLとＬＬ２＝ＤＩＡ_LL／Ｒ_LLは好ましくは一定の範囲内に入るべきである。とくに、もし条件０．４６≦ＬＬ１≦０．６９がＬＬ１に当てはまるなら、それが有利であることが分かった。パラメータＬＬ１は、入射面の曲率の中心が射出面と一致する半球レンズで１になるため、ＬＬ１に関する条件は、湾曲した入射面の曲率の中心が最終レンズの外側にとくに像面を越えて存在する、非半球の最終レンズが好ましいことを示している。

交替的に、又は追加的に、条件１．１５≦ＬＬ２≦１．６７は、好ましくはＬＬ２に当てはまるべきである。ＬＬ１及びＬＬ２のためのそれぞれの値が表１８に示されている。
もし上記条件の少なくとも１つが当てはまるなら、最終レンズの湾曲した入射面により与えられる大きな正の屈折力が像面の近くに与えられ、これにより大きな像側開口数ＮＡが、とくにＮＡ＞１．１又はＮＡ＞１．２で、ＮＡ＝１．３又はＮＡ＝１．３５のように、得られることが可能となる。

〔表１８〕

Claims (1)

1. 投影対物系の物体面に設けられたパターンを投影対物系の像面上に結像するためのカタディオプトリック投影対物系であって、
   前記物体面に設けられたパターンを第１中間像に結像するための第１屈折対物系部分と、
   前記第１中間像を第２中間像に結像するための第２対物系部分と、
   前記第２中間像を前記像面上に結像するための第３屈折対物系部分を有し、
   前記第２対物系部分が、第１連続鏡面を有する第１凹面鏡と第２連続鏡面を有する第２凹面鏡を有しており、
   瞳面が、前記物体平面と前記第１中間像の間と、前記第１及び第２中間像の間と、前記第２中間像と前記像平面の間に形成されていて、
   全ての凹面鏡が前記瞳面から光学的に離れて配置されていて、
   前記第１対物系部分が第１の数であるＮ１_AS個の非球面レンズを有し、
   前記第３対物系部分が第２の数であるＮ３_AS個の非球面レンズを有し、
   非球面レンズ比ＡＳＲ＝Ｎ１_AS／Ｎ３_ASが１よりも小さく、
   像側開口数ＮＡが１．２よりも大きい、カタディオプトリック投影対物系。