JP2014209532A - ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置 - Google Patents

ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2014209532A
JP2014209532A JP2013187464A JP2013187464A JP2014209532A JP 2014209532 A JP2014209532 A JP 2014209532A JP 2013187464 A JP2013187464 A JP 2013187464A JP 2013187464 A JP2013187464 A JP 2013187464A JP 2014209532 A JP2014209532 A JP 2014209532A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
laser oscillator
gas laser
electrode
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013187464A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6069141B2 (ja
Inventor
宣嘉 大谷
Nobuyoshi Otani
宣嘉 大谷
山村　英穂
Hideo Yamamura
英穂 山村
渡辺　英之
Hideyuki Watanabe
英之 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Via Mechanics Ltd filed Critical Via Mechanics Ltd
Priority to JP2013187464A priority Critical patent/JP6069141B2/ja
Publication of JP2014209532A publication Critical patent/JP2014209532A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6069141B2 publication Critical patent/JP6069141B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract


【課題】
本発明は、ガスレーザ発振器において、一組の電極の熱膨張による長手方向の伸びの差による導波路の曲がり変形を抑制することにより、レーザビームの出力及びビーム位置の安定性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】
ガスが封入された容器１０６内で一組の電極１０２、１０３が複数の電極間隔支持部材１０９で連結され、前記一組の電極により導波路１１０が形成されるガスレーザ発振器１００において、前記電極間隔支持部材１０９に前記電極の長手方向に可撓性を持たせ、当該電極間隔支持部材１０９が前記一組の電極１０２、１０３の熱膨張による長手方向の伸びの差を吸収できるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、プリント基板のような被加工物に穴明け等を行うためのレーザビームを発生するためのガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置に関する。
ガスレーザ発振器においては、高周波で励起したプラズマ放電を伴い、その際、発生した熱は熱伝導により電極に伝わる。電極の温度が上昇すると、電極は熱膨張する。
従来、例えば特許文献１に開示されたガスレーザ発振器においては、一組の電極が複数の絶縁部材で連結されている。一組の電極のそれぞれには冷却パイプが埋め込まれ、その中に冷媒を流すことにより、一組の電極の温度上昇が抑えられるようになっているが、電極の熱膨張による長手方向の伸びの差については何も考慮されていない。
ガスレーザ発振器においては、電極に熱膨張による長手方向の伸びの差が発生すると、電極間に形成される導波路の形状が変化し、レーザビームの出力及びビーム位置の安定性が損なわれる結果となる。
これを防ぐために、電極の熱膨張によるビーム位置変動を予め見込んでおき、熱膨張でビームが正規位置に来るようにする方法がある。しかしながら、この方法では、ビーム出力の開始時、熱膨張のための時間をいつも確保する必要がある。
すなわち、加工の終了したプリント基板を移動させ、次のプリント基板が加工位置に来るまで、ビーム出力を停止させなければならない。この期間においても電極の冷却は起こり、このままだとビームが正規位置とずれているので、次のプリント基板の加工を開始するためには、ビームが正規位置に来るまで熱膨張のための時間を確保する必要がある。従って、上記の方法では、装置の稼働効率が悪くなる。
さらに、上記の方法では、冷媒の温度管理のための複雑な制御が必要であるとともに、電極１０２と１０３を冷却するための冷媒の温度との関係で、電極の熱膨張によるビーム位置変動がいつも見込み通りになるとは限らず、ビーム位置の安定性を確保できない。
特開２００２−９４１４７号公報
そこで、本発明は、ガスレーザ発振器において、一組の電極の熱膨張による長手方向の伸びの差による導波路の曲がり変形を抑制することにより、レーザビームの出力及びビーム位置の安定性を向上させることを目的とするものである。
上記課題を解決するため、請求項１に記載のガスレーザ発振器においては、ガスが封入された容器内で一組の電極が複数の電極間隔支持部材で連結され、前記一組の電極により導波路が形成されるガスレーザ発振器において、前記電極間隔支持部材に前記電極の長手方向に可撓性を持たせ、当該電極間隔支持部材が前記一組の電極の熱膨張による長手方向の伸びの差を吸収できるようにしたことを特徴とする。
また請求項２に記載のガスレーザ発振器においては、請求項１に記載のレーザ発振器において、前記電極間隔支持部材が、前記一組の電極のうちの少なくとも一方に固定される絶縁性部材と、前記一組の電極間の間隔を維持するために一端が前記絶縁性部材に固定されるとともに前記電極の長手方向に可撓性を有する金属製連結部材とを含むことを特徴とする。
また請求項３に記載のガスレーザ発振器においては、請求項２に記載のレーザ発振
器において、前記金属製連結部材は、金属板から成り、その厚み方向が前記電極の長
手方向となるように配置されていることを特徴とする。
また請求項４に記載のレーザ加工装置においては、請求項３に記載のガスレーザ発
振器において、前記金属板はその厚み方向に複数枚重ねられていることを特徴とする。
また請求項５に記載のレーザ加工装置においては、請求項３又は４に記載のガスレ
ーザ発振器において、前記絶縁性部材はセラミックから成り、前記金属板はステンレ
スから成ることを特徴とする。
また請求項６に記載のレーザ加工装置においては、請求項１、２、３、４又は５の
いずれかに記載のガスレーザ発振器により発生させたレーザビームで加工を行うこ
とを特徴とする。
本発明によれば、ガスレーザ発振器において、一組の電極の熱膨張の伸びの差による導波路の曲がり変形を抑制することにより、レーザビームの出力及びビーム位置の安定性を向上させ、そのガスレーザ発振器を用いたレーザ加工装置の加工品質を安定させることが可能となる。
本発明の一実施例となるガスレーザ発振器の部分的斜視図である。 本発明の一実施例となるガスレーザ発振器の簡略な断面図である。 図１と２における電極間隔支持部材付近の断面図である。 電極間隔支持部材の動作を説明するための図である。 本発明による効果を説明するための図である。 従来技術での現象を説明するための図である。
本発明の一実施例について説明する。図１は本発明の一実施例となるガスレーザ発振器の部分的斜視図、図２は本発明の一実施例となるガスレーザ発振器の簡略な断面図、図３は図１と２における電極間隔支持部材付近の断面図である。
図１と２において、ガスレーザ発振器１０１は、対向して配置された一組の電極１０２と１０３、これら電極１０２と１０３の両端に配置された一組の反射鏡１０４と１０５、及び媒質ガスが封入され前記部品を収容する気密容器１０６とを含む。
図示を省略するが、電極１０２と１０３のそれぞれには冷却パイプが埋め込まれ、その中に冷媒を流すことにより、プラズマ放電で発熱した電極１０２と１０３が冷却されるようになっている。
電極１０２と１０３の短手方向の両端側面には、電極１０２と１０３の間隔を一定に保つための電極間隔支持部材１０９が、長手方向に複数取付けられている。電極１０２はその長手方向の両端部に位置する電極支持部１０７と１０８によって気密容器１０６に支持されており、電極１０２と１０３で形成される導波路１１０が気密容器１０６内に構成されている。
電極間隔支持部材１０９は、図１と３に示すように、それぞれ電極１０２、１０３にネジ２０５で固定されるブロック２０１、２０２と、これらブロック２０１、２０２の側面同士を連結する連結板２０３、２０４とから構成される。
ブロック２０１と２０２は例えばセラミックの如き絶縁材から成り、それぞれ電極１０２、１０３にねじ２０５で固定されている。また連結板２０３と２０４は例えばステンレスの如き金属板で、それぞれブロック２０１と２０２にねじ２０６で固定されている。
連結板２０３、２０４は、その厚み方向が電極１０２、１０３の長手方向となるように配置され、電極１０２と１０３の間隔を維持するための剛性を持つと同時に、電極１０２、１０３の長手方向には可撓性を有する。
ガスレーザ発振器１０１を作動させると、電極１０２と１０３の間にプラズマ放電が励起され、この際に発生する熱は電極１０２と１０３に伝わり、電極１０２と１０３は熱膨張による伸びを起こす。
従来技術においては、電極１０２と１０３の熱膨張による伸びの差があっても、何も考慮されていないために、図６に示すように、電極１０２と１０３が曲がって、これらによって形成される導波路１１０も曲がる。曲がり変形を起こした導波路１１０はレーザビームに対する損失を増し、レーザ出力が低下してしまう。
なお、図６は曲がり変形を誇張して描いてあるが、実際は、このような大きな変形がある訳ではない。
また曲がり変形後の導波路端の向きは、曲がり変形前の導波路端の向きと異なる向きとなり、反射鏡１０４と１０５にて反射されたレーザビームが導波路１１０へと再度導入される際の損失を増し、結果としてレーザ出力及びレーザビームの位置安定性を損なわれる。
これに対し、本発明の上記実施例によれば、電極１０２と１０３が熱膨張の伸びの差を起こしても、図４に示すように、電極間隔支持部材１０９の連結板２０３、２０４がその板厚方向、すなわち電極１０２、１０３の長手方向に撓むことで、電極１０２と１０３の熱膨張の伸びの差を吸収する。
これにより、電極１０２と１０３の熱膨張による長手方向の伸びの差があっても、図５に示すように、電極１０２と１０３で形成される導波路の曲がり変形は抑制されるので、導波路端の向きは変化しにくくなり、レーザ出力及びレーザビームの位置安定性を損なうことを防ぐことができる。
なお、連結板２０３、２０４が撓むことで、理論上、電極１０２と１０３の間隔が狭められることになるが、その値は、電極１０２と１０３の長手方向の熱膨張に対して著しく小さく、導波路１１０への影響は無視できる。
この実施例によれば、電極１０２と１０３の熱膨張の大小にかかわらず、あるいは電極１０２と１０３を冷却するための冷媒の温度と関係なく、電極１０２と１０３で形成される導波路の曲がり変形は抑制される。
従って、ビーム出力の開始時、熱膨張のための時間を確保する必要はなく、装置の稼働効率が良くなるとともに、冷媒の温度管理のための複雑な制御が不要になる。
なお、以上の本発明の一実施例において、例えば、ブロック２０１と２０２は、いずれも絶縁材から成っているが、一方だけ絶縁体でない金属であっても良く、この場合でも電極１０２と１０３間の絶縁は保たれる。一方が金属となれば、両方にセラミックの如き絶縁材を使う場合より、コストが低くなる。
また、連結板２０３と２０４は、それぞれ一枚の金属板としたが、電極の長手方向に可撓性を持たせられるのであれば、複数枚の金属板をその厚み方向に重ねたものとしても良い。この方が、電極１０２と１０３の間隔を維持するための剛性が高くなる利点がある。
１０１：ガスレーザ発振器
１０２、１０３：電極
１０４、１０５：反射鏡
１０６：気密容器
１０９：電極間隔支持部材
１１０：導波路
２０１、２０２：ブロック
２０３、２０４：連結板

Claims (6)

  1. ガスが封入された容器内で一組の電極が複数の電極間隔支持部材で連結され、前記一組の電極により導波路が形成されるガスレーザ発振器において、前記電極間隔支持部材に前記電極の長手方向に可撓性を持たせ、当該電極間隔支持部材が前記一組の電極の熱膨張による長手方向の伸びの差を吸収できるようにしたことを特徴とするガスレーザ発振器。
  2. 請求項１に記載のガスレーザ発振器において、前記電極間隔支持部材が、前記一組の電極のうちの少なくとも一方に固定される絶縁性部材と、前記一組の電極間の間隔を維持するために一端が前記絶縁性部材に固定されるとともに前記電極の長手方向に可撓性を有する金属製連結部材とを含むことを特徴とするガスレーザ発振器。
  3. 請求項２に記載のガスレーザ発振器において、前記金属製連結部材は、金属板から
    成り、その厚み方向が前記電極の長手方向となるように配置されていることを特徴と
    するガスレーザ発振器。
  4. 請求項３に記載のガスレーザ発振器において、前記金属板はその厚み方向に複数枚
    重ねられていることを特徴とするガスレーザ発振器。
  5. 請求項３又は４に記載のガスレーザ発振器において、前記絶縁性部材はセラミック
    から成り、前記金属板はステンレスから成ることを特徴とするガスレーザ発振器。
  6. 請求項１、２、３、４又は５のいずれかに記載のガスレーザ発振器により発生させ
    たレーザビームで加工を行うことを特徴とするレーザ加工装置。










JP2013187464A 2013-03-25 2013-09-10 ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置 Active JP6069141B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013187464A JP6069141B2 (ja) 2013-03-25 2013-09-10 ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013061224 2013-03-25
JP2013061224 2013-03-25
JP2013187464A JP6069141B2 (ja) 2013-03-25 2013-09-10 ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014209532A true JP2014209532A (ja) 2014-11-06
JP6069141B2 JP6069141B2 (ja) 2017-02-01

Family

ID=51903596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013187464A Active JP6069141B2 (ja) 2013-03-25 2013-09-10 ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6069141B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017075735A1 (zh) * 2015-11-03 2017-05-11 徐海军 负极板两端支撑在平行支架上的射频激光器
US20220239050A1 (en) * 2019-07-03 2022-07-28 SEC Technologies, s.r.o. Method for limiting the deflection of a laser head during temperature changes and a laser head

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5588342A (en) * 1978-12-22 1980-07-04 Bbc Brown Boveri & Cie Power semiconductor element
JPS58193503A (ja) * 1982-04-07 1983-11-11 Mitsubishi Electric Corp 光フアイバ−ケ−ブル貫通部
JPS58215609A (ja) * 1982-06-08 1983-12-15 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバケーブルの支持装置
JPH08505007A (ja) * 1992-12-23 1996-05-28 ロフイン ジナール レーザー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング スラブまたはバンド導波路レーザー
JPH08139390A (ja) * 1994-11-09 1996-05-31 Toshiba Corp ガスレーザ装置
JPH08148742A (ja) * 1994-11-18 1996-06-07 Toshiba Corp ガスレーザ装置
JPH08293637A (ja) * 1995-04-25 1996-11-05 Toshiba Corp レーザ装置
JP2002094147A (ja) * 1990-10-12 2002-03-29 Coherent Inc パルス波ｃｏ２レーザー
JP2008219031A (ja) * 2008-04-07 2008-09-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5588342A (en) * 1978-12-22 1980-07-04 Bbc Brown Boveri & Cie Power semiconductor element
JPS58193503A (ja) * 1982-04-07 1983-11-11 Mitsubishi Electric Corp 光フアイバ−ケ−ブル貫通部
JPS58215609A (ja) * 1982-06-08 1983-12-15 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバケーブルの支持装置
JP2002094147A (ja) * 1990-10-12 2002-03-29 Coherent Inc パルス波ｃｏ２レーザー
JPH08505007A (ja) * 1992-12-23 1996-05-28 ロフイン ジナール レーザー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング スラブまたはバンド導波路レーザー
JPH08139390A (ja) * 1994-11-09 1996-05-31 Toshiba Corp ガスレーザ装置
JPH08148742A (ja) * 1994-11-18 1996-06-07 Toshiba Corp ガスレーザ装置
JPH08293637A (ja) * 1995-04-25 1996-11-05 Toshiba Corp レーザ装置
JP2008219031A (ja) * 2008-04-07 2008-09-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017075735A1 (zh) * 2015-11-03 2017-05-11 徐海军 负极板两端支撑在平行支架上的射频激光器
US20220239050A1 (en) * 2019-07-03 2022-07-28 SEC Technologies, s.r.o. Method for limiting the deflection of a laser head during temperature changes and a laser head
US12542411B2 (en) * 2019-07-03 2026-02-03 SEC Technologies, s.r.o. Method for limiting the deflection of a laser head during temperature changes and a laser head

Also Published As

Publication number Publication date
JP6069141B2 (ja) 2017-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8593812B2 (en) Heat exchanger, semiconductor device, method for manufacturing the heat exchanger, and method for manufacturing the semiconductor device
JP6069141B2 (ja) ガスレーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置
JP2018531353A (ja) 電子回路カードモジュールにおけるマルチレベル自励振動式ヒートパイプ実装
JP6438502B2 (ja) レーザ装置
KR101822415B1 (ko) 열전 변환 모듈
Saravani et al. Effect of heat spreader thickness and material on temperature distribution and stresses in thin disk laser crystals
US9263845B2 (en) Air-cooled gas lasers with heat transfer resonator optics and associated systems and methods
JP2009507383A (ja) レーザロッド用光学マウント
JP6622785B2 (ja) 電子部品ユニット
JP2016058595A (ja) 半導体装置
CN102570252B (zh) 非线性晶体温度控制装置
JPWO2020158324A1 (ja) 自励振動ヒートパイプ冷却器
CN102544994A (zh) 热沉装置
JP2014202902A (ja) ホルダ、レーザ発振装置及びレーザ加工機
JP2014229720A (ja) ガスレーザ発振器及びレーザ加工装置
JPWO2019151375A1 (ja) 電力変換装置および自励振動ヒートパイプの製造方法
JP5349757B2 (ja) 固体レーザー発振装置
JP2012137280A (ja) 蓄熱器
KR20220004552A (ko) 레이저발진기
US7885310B2 (en) Gas slab laser
CN205752977U (zh) 一种二维声光q开关调节装置
JP6088903B2 (ja) 電力変換装置
Miyato et al. High power single-mode fiber laser and its application to metal and non-metal materials
EP4528182A1 (en) Tempering module having peltier elements
JP2013247261A (ja) ガスレーザ発振装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160322

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161011

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161101

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161220

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6069141

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350