JP2015013345A - 研磨パッド - Google Patents

Abstract

【課題】研磨層を定盤から剥がして交換する際、粘着材料が残留し作業が煩雑になることを防止し、容易に交換することができる研磨パッドを提供する。【解決手段】定盤Ｐ１上に配置される貼付面２０及び被研磨物を研磨する研磨層２１を有する研磨シート２において、研磨シートの貼付面が防水性を有するようにし、液体Ｒの表面張力によって研磨シートを定盤上に貼り付けるようにする。取り外すには貼付面と液体との間に隙間を形成することで容易に取り外すことができる。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウエハ等の被研磨物を研磨するために使用される研磨パッドに関する。

従来から、半導体ウエハ等の表面に高い平滑性が求められるものに対して化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）を行うことがある。

化学機械研磨では、例えば、研磨パッドを取り付ける定盤と、被研磨物を該研磨パッドと対向するように保持する研磨ヘッドとを備えている研磨装置が用いられている。そして、研磨パッド上にスラリーを供給しつつ被研磨物と研磨パッドとを相対的に摺動させることによって被研磨物を研磨している。

このような研磨装置に用いられている研磨パッドは、被研磨物を研磨する研磨層と、粘着材料を含み、該研磨層に直接的または間接的に貼り付けられる粘着層（例えば、両面テープ等）とを備えている。そのため、研磨パッドは、粘着層によって研磨層が定盤に貼り付けられるようになっている。

ところで、被研磨物を研磨することで研磨層が磨耗した研磨パッドは、新たな研磨パッドに交換される。このとき、研磨層が磨耗した研磨パッドは、定盤から引き剥がされることになるが、粘着層によって貼り付けられている研磨層を定盤から引き剥がすことは煩雑であり、また、研磨層を定盤から引き剥がす際に粘着層の粘着材料が定盤に残留すると、該粘着材料を定盤から取り除く作業がさらに必要となる。

従って、上述のような研磨パッドでは、新たな研磨パッドに交換する作業が煩雑であった。

特開２０１２−３９０９４号公報

そこで、本発明は、かかる実情に鑑み、研磨パッドの交換作業を容易に行うことができる研磨パッドを提供することを課題とする。

本発明に係る研磨パッドは、定盤上に配置される貼付面及び被研磨物を研磨する研磨層を有する研磨シートを備え、研磨シートは、少なくとも貼付面が防水性を有する。

上記構成の研磨パッドによれば、定盤上に配置される貼付面が防水性を有するため、該液体の表面張力によって研磨シートを定盤上に貼り付けることができる。

そして、定盤上から研磨シートを取り外すには、研磨シートの貼付面と液体との間に隙間を形成する。このようにすると、該隙間に空気が入り込む。そして、研磨シートの貼付面と液体との間全体に空気が行き渡ると液体の表面張力が研磨シートに作用しなくなり、研磨シートが定盤上から取り外される。さらに、定盤上に液体を介して別の研磨シートを配置すれば、研磨シート（研磨層）を新たなものに交換することができる。このように、研磨シートの定盤への取り付け、及び研磨シートの定盤からの取り外しを容易に行うことができる。

ここで、本発明に係る研磨パッドの一態様として、定盤上に貼り付けられるとともに研磨シートが重ね合わされるベースシートを備え、研磨シート又はベースシートの何れか一方には、防水性を有する基層が設けられ、基層は、複数の独立気泡を有し、該複数の独立気泡のそれぞれは、研磨シート又はベースシートの何れか他方側の面上のみに開放するようにしてもよい。

このようにする場合、基層の独立気泡内には、液体が入り込むようになっているが、基層は、防水性を有するため、液体が研磨シート又はベースシートの何れか他方側の面及び独立気泡を画定する部分から内部に浸み込むことを防止することができる。

そして、基層の液体が研磨シート又はベースシートの何れか他方側の面に液体を介して研磨シートを押し付けるとことで、研磨シート又はベースシートの何れか他方を基層に吸着させることができる。

より具体的に説明すると、基層の研磨シート又はベースシートの何れか他方側の面に
液体を介して研磨シート又はベースシートの何れか他方を押し付けると、基層が変形する。これに伴い、独立気泡の形状が変形し、独立気泡内の液体が押し出される。そして、研磨シート又はベースシートの何れか他方の押し付けを解除すると、基層が元の形状に戻る。このとき、独立気泡の形状も元に戻るため、独立気泡内が負圧になり、基層に研磨シート又はベースシートの何れか他方を吸着させることができる。

また、本発明に係る研磨パッドの別の態様として、研磨シート又はベースシートの何れか他方には、平滑面が設けられるようにしてもよい。

このようにすれば、研磨シート又はベースシートの何れか他方における液体と接触する面を平滑にすることができるため、液体の表面張力を高めることができる。従って、研磨シート又はベースシートの何れか他方をより確実に基層に吸着させることができるようになる。

以上のように、本発明の研磨パッドによれば、研磨パッドの交換作業を容易に行うことができるという優れた効果を奏し得る。

図１は、本発明の第一実施形態に係る研磨パッドを取り付けている研磨装置の概要図である。 図２は、同実施形態に係る研磨パッドの分解図である。 図３は、同実施形態に係る研磨パッドの縦断面図である。 図４は、同実施形態に係る研磨パッドの拡大図であって、図３における領域Ｘ１の拡大図である。 図５は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、ベースシートを定盤に貼り付けた状態の説明図である。 図６は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、ベースシート上に液体を散布した状態の説明図である。 図７は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、液体を介してベースシート上に研磨シートを貼り付けた状態の説明図である。 図８は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、研磨シートとベースシートとの間に隙間を形成した状態の説明図である。 図９は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、研磨シートをベースシート上から引き剥がしている最中の説明図である。 図１０は、同実施形態に係る研磨パッドの説明図であって、研磨シートをベースシート上から取り外した状態の説明図である。 図１１は、本発明の第二実施形態に係る研磨パッドの分解図である。 図１２は、同実施形態に係る研磨パッドの縦断面図ある。 図１３は、同実施形態に係る研磨パッドの拡大図であって、図１２における領域Ｘ２の拡大図である。 図１４は、本発明の実施例１に係る研磨パッドの説明図であって、垂直方向における、研磨シートのベースシートに対する吸着力を測定方法の説明図である。 図１５は、水平方向における、本発明の実施例１に係る研磨パッドの説明図であって、水平方向における、研磨シートのベースシートに対する吸着力を測定方法の説明図である。

以下、本発明の第一実施形態に係る研磨パッドについて、添付図面を参照しつつ説明を行う。

本実施形態に係る研磨パッドは、化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）に用いられるものであり、図１に示すように、研磨パッド１を取り付ける定盤Ｐ１と、被研磨物Ｔを該研磨パッド１と対向するように保持する研磨ヘッドＰ２と、研磨パッド１上にスラリーＳを供給する研磨液供給機構Ｐ３とを備えている研磨装置Ｐに取り付けられるものである。なお、以下の説明において、面を指す引出線は単に線とし、層を指す引出線には矢印を付けている。

研磨パッド１は、図２及び図３に示すように、定盤（定盤Ｐ１）上に配置される貼付面２０及び被研磨物Ｔを研磨する研磨層２１を有する研磨シート２を備えている。また、研磨パッド１は、定盤Ｐ１上に貼り付けられるとともに研磨シート２が重ね合わされるベースシート３を備えている。

研磨シート２は、貼付面２０とは反対側の面（以下、研磨面２００とする）に被研磨物Ｔを摺接させるようになっている。また、研磨シート２の貼付面２０は、防水性を有する。そのため、研磨シート２は、液体Ｒが貼付面２０から研磨面２００に透過することを防止できるようになっている。

ベースシート３は、防水性を有する基層３０が設けられている。基層３０は、研磨シート２側の面である載置面３００を有する。また、図４に示すように、基層３０は、複数の独立気泡３０１，３０１…を有する。

独立気泡３０１は、涙滴状に形成されている。より具体的に説明すると、独立気泡３０１は、載置面３００のみに開放するようになっている。また、独立気泡３０１は、載置面３００側になるにつれて内径が小さくなっている。

そのため、基層３０では、載置面３００上に散布された液体Ｒが独立気泡３０１内に入り込むようになっているが、液体Ｒが載置面３００及び独立気泡３０１を画定する部分から内部に浸み込むことを防止することができる。従って、基層３０では、液体Ｒが載置面３００の反対側まで透過することを防止することができる。

これにより、研磨パッド１では、基層３０の載置面３００上に液体Ｒを介して研磨シート２を押し付けることで、研磨シート２を基層３０に吸着させることができる。

より具体的に説明すると、基層３０の載置面３００上に液体Ｒを介して研磨シート２を押し付けると、基層３０が変形する。これに伴い、独立気泡３０１の形状が変形し、独立気泡３０１内の液体Ｒが押し出される。そして、研磨シート２への押し付けを解除すると、基層３０が元の形状に戻る。このとき、独立気泡３０１の形状も元に戻るため、独立気泡３０１内が負圧になり、研磨シート２が基層３０の載置面３００上に吸着される。

なお、基層３０を得るには、まず、基材に樹脂溶液（樹脂と有機溶剤とからなる溶液）を塗布し、基材に対して樹脂溶液からなる層（以下、塗工層とする）を形成する。

基材には、例えば、ＰＥＴフィルムを採用いることができる。樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネイト系等のウレタン樹脂を採用することができ、異なる種類のウレタン樹脂を混ぜ合わせたものを用いることもできる。有機溶剤には、水溶性有機溶媒（例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフラン、ジメチルアセトアミド等）を採用することができる。

そして、基材に対して湿式凝固法を行うことによって、基材に多数の涙滴状の気泡を形成する。より具体的に説明すると、樹脂溶液が塗布された基材を水に浸す。このようにすると、基材に塗工した樹脂溶液（有機溶剤）と水とが交換反応を起こすことで基材に多数の気泡が形成される。そして、交換反応が生じた後の塗工層内に残存する有機溶剤を温水によって洗い出し、さらに、基材を熱風で乾燥させる。

本実施形態に係る研磨パッド１は、以上の通りである。続いて、研磨パッド１を研磨装置Ｐに取り付ける方法、及び研磨パッド１の研磨シート２を交換する方法について、添付図面を参照しつつ説明を行う。

研磨パッド１を研磨装置Ｐに取り付けるには、まず、図５に示すように、ベースシート３を定盤Ｐ１に貼り付ける。そして、図６に示すように、ベースシート３の載置面３００上に液体Ｒを散布する。さらに、図７に示すように、液体Ｒを介して研磨シート２（貼付面２０）をベースシート３（基層３０の載置面３００）上に重ね合わせる。

さらに、研磨シート２をベースシート３に押し付けることによって、研磨シート２の貼付面２０をベースシート３の基層３０に吸着させることができる。これにより、液体Ｒの表面張力と基層３０の吸着力とによって、研磨シート２がベースシート３上に貼り付けられる。

そして、ベースシート３上に貼り付けられている研磨シート２を新たな研磨シート２に交換するには、まず、研磨シート２をベースシート３から取り外す。

より具体的に説明すると、図８に示すように、研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間に隙間Ｄを形成する。このようにすると、隙間Ｄから研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間に空気が入り込む。そして、研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間全体に空気が行き渡ると、液体Ｒの表面張力が研磨シート２に作用しなくなり、図９及び図１０に示すように、研磨シート２をベースシート３上から引き剥がすことができる。

また、図６及び図７で示したように、基層３０の載置面３００上に再度液体Ｒを散布した後に、新たな研磨シート２を重ね合わせれば、研磨シート２の交換を行うことができる。

以上のように、本実施形態に係る研磨パッド１によれば、研磨シート２の貼付面２０及び基層３０が防水性を有するため、定盤Ｐ１上の基層３０に液体Ｒを介して研磨シート２を配置すれば、液体Ｒの表面張力によって研磨シート２を定盤Ｐ１上に（本実施形態では、基層３０上に）貼り付けることができる。

また、研磨シート２の貼付面２０と基層３０の載置面３００との間に隙間Ｄを形成することで、研磨シート２を基層３０から取り外すことができる。さらに、液体Ｒを介して別の研磨シート２をベースシート３上に配置すれば、研磨シート２を新たなものに交換することができる。

このように、本実施形態に係る研磨パッド１は、液体Ｒの表面張力で研磨シート２をベースシート３に貼り付けるようになっているため、研磨シート２をベースシート３から引き剥がす作業や、研磨シート２をベースシート３に取り付ける作業を容易に行うことができる。従って、本実施形態に係る研磨パッド１は、研磨層２１を容易に交換することができるという優れた効果を奏し得る。

また、液体Ｒによって研磨シート２がベースシート３に貼り付けられているため、研磨シート２は、被研磨物Ｔを研磨しているときに、ベースシート３に対して微小に移動することができるようになっている。従って、研磨パッド１では、被研磨物Ｔを研磨しているときに（被研磨物Ｔを研磨シート２に押し付けつつ、被研磨物Ｔと研磨パッド１とを相対的に摺動させているときに）研磨シート２がベースシート３に対して微小に移動するため、研磨シート２に皺が生じることを防止できる。

そして、本実施形態に係る研磨パッド１では、研磨シート２を基層３０に吸着させることができるため、液体Ｒの表面張力と基層３０の吸着力とによって研磨シート２をベースシート３に貼り付けることができる。従って、研磨シート２をベースシート３により強固に貼り付けることができる。

さらに、基層３０は、複数の独立気泡３０１，…が形成されているため、弾性変形するようになっている。そのため、研磨パッド１では、被研磨物Ｔが研磨シート２に押し付けられたときに、研磨シート２が変形するようになっている。これにより、研磨シート２と被研磨物Ｔとの接触状態を良好にすることができる。

本実施形態に係る研磨パッド１の説明は、以上の通りである。続いて、本発明の第二実施形態に係る研磨パッド１について、添付図面を参照しつつ説明を行う。なお、第一実施形態に係る研磨パッド１と同一の構成又は相当する構成については、同一の符号を付して説明を行うこととする。また、同一の構成又は相当する構成については、第一実施形態における説明を援用することがある。

本実施形態に係る研磨パッド１は、上記第一実施形態に係る研磨パッド１と同様に、化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）に用いられるものであり、研磨パッド１を取り付ける定盤Ｐ１と、被研磨物Ｔを該研磨パッド１と対向するように保持する研磨ヘッドＰ２と、研磨パッド１上にスラリーＳを供給する研磨液供給機構Ｐ３とを備えている研磨装置Ｐに取り付けられるものである。

研磨パッド１は、図１１及び図１２に示すように、被研磨物Ｔを研磨する研磨層２１及び定盤Ｐ１上に配置される貼付面２０を有する研磨シート２を備えている。また、研磨パッド１は、定盤Ｐ１上に貼り付けられるとともに、液体Ｒを介して研磨シート２が貼り付けられるベースシート３を備えている。

研磨シート２は、上記第一実施形態と同様の研磨層２１を有する。また、研磨シート２には、平滑面２２０が設けられている。より具体的に説明すると、研磨シート２は、平滑面２２０を含む平滑層２２を有する。そのため、本実施形態に係る研磨シート２は、平滑層２２の平滑面２２０が貼付面２０を構成している。

研磨シート２の平滑面２２０は、ＰＥＴフィルム等で構成することができる。

ベースシート３は、上記第一実施形態に係るベースシート３と同様の構成である。なお、ベースシート３の基層３０は、上記第一実施形態の基層３０と同様の方法で得ることができる。

本実施形態に係る研磨パッド１は、以上の通りである。続いて、研磨パッド１を研磨装置Ｐに取り付ける方法、及び研磨パッド１の研磨シート２を交換する方法について、説明を行う。

研磨パッド１を研磨装置Ｐに取り付けるには、上記第一実施形態と同様に、定盤Ｐ１にベースシート３を貼り付ける。そして、ベースシート３の載置面３００上に液体Ｒを散布する。さらに、液体Ｒを介して研磨シート２（平滑層２２の平滑面２２０）をベースシート３（基層３０の載置面３００）上に重ね合わせる。

さらに、研磨シート２をベースシート３に押し付けることによって、研磨シート２の平滑面２２０（貼付面２０）を基層３０の載置面３００に吸着させることができる。これにより、液体Ｒの表面張力と基層３０の吸着力とによって、研磨シート２がベースシート３上に貼り付けられる。

そして、ベースシート３上に貼り付けられている研磨シート２を新たな研磨シート２に交換するには、まず、研磨シート２をベースシート３から取り外す。

より具体的に説明すると、研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間に隙間Ｄを形成する。このようにすると、隙間Ｄから研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間に空気が入り込む。そして、研磨シート２の貼付面２０と、基層３０の載置面３００との間全体に空気が行き渡ると、液体Ｒの表面張力が研磨シート２に作用しなくなり、研磨シート２をベースシート３上から引き剥がすことができる。

また、基層３０の載置面３００上に再度液体Ｒを散布した後に、新たな研磨シート２を重ね合わせれば、研磨シート２の交換を行うことができる。

以上のように、本実施形態に係る研磨パッド１によれば、研磨シート２の貼付面２０及び基層３０が防水性を有するため、定盤Ｐ１上の基層３０に液体Ｒを介して研磨シート２を配置すれば、液体Ｒの表面張力によって研磨シート２を基層３０に貼り付けることができる。

また、研磨シート２の貼付面２０と基層３０の載置面３００との間に隙間Ｄを形成することで、研磨シート２を基層３０から取り外すことができる。さらに、液体Ｒを介して別の研磨シート２をベースシート３上に配置すれば、研磨シート２を新たなものに交換することができる。

このように、本実施形態に係る研磨パッド１は、液体Ｒの表面張力で研磨シート２をベースシート３に貼り付けるようになっているため、研磨シート２をベースシート３から引き剥がす作業や、研磨シート２をベースシート３に取り付ける作業を容易に行うことができる。従って、本実施形態に係る研磨パッド１は、研磨層２１を容易に交換することができるという優れた効果を奏し得る。

また、液体Ｒによって研磨シート２がベースシート３に貼り付けられているため、研磨シート２は、被研磨物Ｔを研磨しているときに、ベースシート３に対して微小に移動することができるようになっている。従って、研磨パッド１では、被研磨物Ｔを研磨しているときに（被研磨物Ｔを研磨シート２に押し付けつつ、被研磨物Ｔと研磨パッド１とを相対的に摺動させているときに）研磨シート２がベースシート３に対して微小に移動するため、研磨シート２に皺が生じることを防止できる。

そして、研磨シート２には、平滑面２２０を含む平滑層２２が設けられているため、研磨シートの液体Ｒと接触する面を平滑にすることができ、液体Ｒの表面張力をより高めることができる。

さらに、本実施形態に係る研磨パッド１では、研磨シート２を基層３０に吸着させることができるため、液体Ｒの表面張力と基層３０の吸着力とによって研磨シート２をベースシート３に貼り付けることができる。従って、研磨シート２をベースシート３により強固に貼り付けることができる。

また、基層３０は、複数の独立気泡３０１，…が形成されているため、弾性変形するようになっている。そのため、研磨パッド１では、被研磨物Ｔが研磨シート２に押し付けられたときに、研磨シート２が変形するようになっている。これにより、研磨シート２と被研磨物Ｔとの接触状態を良好にすることができる。

尚、本発明に係る研摩パッドは、上記第一実施形態及び第二実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を行うことは勿論である。

上記第一実施形態及び第二実施形態において、研磨パッド１は、研磨シート２と、ベースシート３とを備えていたが、これに限定されるものではなく、例えば、研磨パッド１は、研磨シート２のみを備えるようにしてもよい。すなわち、研磨パッド１は、研磨シート２を液体Ｒを介して定盤Ｐ１上に配置するように構成してもよい。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態において、研磨シート２は、貼付面２０が防水性を有するようになっていたが、これに限定されるものではなく、例えば、研磨シート２全体が防水性を有するようにしてもよい。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態において、特に言及しなかったが、ベースシート３は、粘着材料を含む粘着層によって定盤Ｐ１上に貼り付けるようにすることができる。また、粘着層は、例えば、両面テープ等の粘着材料のみで構成したり、ＰＥＴフィルム等の芯材の両側に両面テープを貼り付けたもの等で構成したりすることができる。さらに、上記第二実施形態における平滑層２２についても、このようにして研磨層２１に貼り付けることができる。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態において、基層３０は、ベースシート３に設けられていたがこれに限定されるものではなく、例えば、基層３０は、研磨シート２に設けられるようにしてもよい。

このようにする場合においても、研磨シート２を定盤Ｐ１上に直接的又は間接的に貼り付けることができる。すなわち、液体Ｒを介して研磨シート２（研磨シート２に設けられている基層３０）を定盤Ｐ１上に配置するようにしたり、 ベースシート３が液体Ｒで研磨シート２（研磨シート２に設けられている基層３０）を貼り付けるための層や面を有するようにしたりすることができる。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態では、基層３０をベースシート３に設けていたため、基層３０の研磨シート２側に載置面３００が設けられていたが、基層３０を研磨シート２に設ける場合は、基層３０のベースシート３側に載置面３００が設けられるようにすればよい。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態では、各独立気泡３０１が載置面３００上で開放しているとして説明を行ったが、載置面３００の反対側の面に開放していなければ、複数の独立気泡３０１，…には、載置面３００上で開放していないものが含まれていてもよい。載置面３００上で開放していない独立気泡３０１は、主として、基層３０にクッション性を付与する機能のみを担うことになる。

また、上記第一実施形態及び第二実施形態において、基層３０では、各独立気泡３０１が載置面３００側になるにつれて小さくなっていたが、これに限定されるものではなく、例えば、基層３０は、各独立気泡３０１が載置面３００側とは反対側になるにつれて小さくなるようにしてもよい。但し、このようにする場合は、液体Ｒの表面張力のみで研磨シート２にベースシート３を貼り付けることになる。

続いて、本発明の実施例を示すが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。

≪実施例１≫
上記第一実施形態に係る研磨パッド１を実施例１として製造した。実施例１に係る研磨パッド１は、平面視形状が円形をなし、厚みが（１．２７ｍｍ）、直径が（５０８ｍｍ）である研磨シート２と、平面視形状が円形をなし、厚みが（１．１２ｍｍ）、直径が（２０ｍｍ）のベースシート３（商品名ＢＬ−ＳＩ−Ｒ５）とで構成した。

≪実施例２≫
上記第二実施形態に係る研磨パッド１を実施例２として製造した。実施例２に係る研磨パッド１は、平面視形状が円形をなし、厚みが（１．２７ｍｍ）、直径が（５０８ｍｍ）である研磨シート２と、平面視形状が円形をなし、厚みが（０．４０ｍｍ）、直径が（２０ｍｍ）のベースシート３（商品名ＢＬ−ＳＩ−Ｒ５）とで構成した。さらに、実施例２にかかる研磨パッド１では、厚みが（０．３０ｍｍ）、直径が（５０８ｍｍ）のペットフィルムで平滑層２２を構成した。

≪実施例３≫
上記第二実施形態に係る研磨パッド１を実施例３として製造した。実施例３に係る研磨パッド１のベースシート３は、実施例２に係る研磨パッド１のベースシート３と同様の構成である。また、実施例３に係る研磨パッド１の研磨シート２には、実施例２に係る研磨パッド１の研磨シート２の表面に対してバフ加工（＃２４０番手）を施したものを採用した。

（垂直方向における吸着力の測定）
上記実施例１乃至３に係る研磨パッド１を用いて、研磨シート２の垂直方向におけるベースシート３に対する吸着力（すなわち、研磨シート２のベースシート３からの剥がれ難さ）を測定した。

測定方法は、図１４に示すように、ガラス板Ｇに研磨シート２を貼り付け、固定台Ｂ上にベースシート３を貼り付ける（なお、図１４には、例として実施例１に係る研磨パッド１を図示している）。そして、液体Ｒを介して研磨シート２とベースシート３とを貼り付ける。そして、ガラス板Ｇに連結されている負荷Ｗの重量を増加させ、研磨シート２がベースシート３から剥がれたときの負荷Ｗの重量を測定する。
尚、測定結果は、表１に示す通りである。

（水平方向における吸着力の測定）
上記実施例１乃至３に係る研磨パッド１を用いて、研磨シート２の水平方向におけるベースシート３に対する吸着力（すなわち、研磨シート２のベースシート３に対する位置ずれの生じ難さ）を測定した。

測定方法は、図１５に示すように、ガラス板Ｇに研磨シート２を貼り付け、固定台Ｂ上にベースシート３を貼り付ける（なお、図１５には、例として実施例１に係る研磨パッド１を図示している）。そして、液体Ｒを介して研磨シート２とベースシート３とを貼り付ける。そして、ガラス板Ｇに連結されている負荷Ｗの重量を増加させ、研磨シート２がベースシート３上で動き出したときの負荷Ｗの重量を測定する。
尚、測定結果は、表１に示す通りである。

表１から明らかなように、研磨シート２の上側平滑面３１０の平滑度と、ベースシート３の下側平滑面２００の平滑度が高いほど、研磨シート２のベースシート３に対する吸着力が高くなる。

１…研磨パッド、２…研磨シート、３…ベースシート、２０…貼付面、２１…研磨層、２２…平滑層、３０…基層、２００…研磨面、２２０…平滑面、３００…載置面、３０１…独立気泡、Ｄ…隙間、Ｐ…研磨装置、Ｐ１…定盤、Ｐ２…研磨ヘッド、Ｐ３…研磨液供給機構、Ｒ…液体、Ｓ…スラリー、Ｔ…被研磨物

Claims (3)

1. 定盤上に配置される貼付面及び被研磨物を研磨する研磨層を有する研磨シートを備え、研磨シートは、少なくとも貼付面が防水性を有する研磨パッド。
2. 定盤上に貼り付けられるとともに研磨シートが重ね合わされるベースシートを備え、研磨シート又はベースシートの何れか一方には、防水性を有する基層が設けられ、基層は、複数の独立気泡を有し、該複数の独立気泡のそれぞれは、研磨シート又はベースシートの何れか他方側の面上のみに開放する請求項１に記載の研磨パッド。
3. 研磨シート又はベースシートの何れか他方には、平滑面が設けられる請求項１又は２に記載の研磨パッド。

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