JP2015207647A

JP2015207647A - Ａｃｆ貼付装置

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Publication number: JP2015207647A
Application number: JP2014086986A
Authority: JP
Inventors: 雅也渡邉; Masaya Watanabe
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2014-04-21
Filing date: 2014-04-21
Publication date: 2015-11-19
Anticipated expiration: 2034-04-21
Also published as: JP6326626B2

Abstract

【課題】圧着ツールに対する保護部材のずれによる不具合が生じることを防止して良好なＡＣＦ貼付作業を実行できるようにしたＡＣＦ貼付装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板２の上方位置に水平姿勢のＡＣＦテープ３を供給するテープ供給部２２、ＡＣＦテープ３の上方位置から下降してＡＣＦテープ３を押し下げ、ＡＣＦテープ３を基板２に圧着する圧着ツール３３、圧着ツール３３の長手方向に沿って延びて、圧着ツール３３の下面に密着した保護部材３６を備えたＡＣＦ貼付装置１において、保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分を圧着ツール３３の下面から分離する分離手段として、保護部材３６を保持する保護部材保持ユニット３５を圧着ツール３３に対して昇降させるユニット昇降シリンダ３４を備える。
【選択図】図７

Description

本発明は、基板にＡＣＦテープを貼付するＡＣＦ貼付装置に関するものである。

液晶パネル基板等の基板の生産ラインでは、基板の端部に設けられた複数の電極部のそれぞれに電子部品を搭載する部品搭載工程の前工程として、ＡＣＦ（ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電膜のテープ（ＡＣＦテープ）を各電極部に貼付するＡＣＦ貼付工程を実行する。このようなＡＣＦ貼付工程を実行するＡＣＦ貼付装置は、基板の上方位置に水平姿勢のＡＣＦテープを供給するテープ供給部と、ＡＣＦテープの上方位置から下降してＡＣＦテープを押し下げ、ＡＣＦテープを基板に圧着する圧着ツールとを備えている。

上記ＡＣＦ貼付装置では、圧着ツールの下面とＡＣＦテープとの間に保護部材を介在させることによって、圧着ツールがＡＣＦテープを基板に押し付けた際、ＡＣＦテープが圧着ツールの下面に張り付いてしまうことを防止するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１６５２３号公報

保護部材を圧着ツールの下面とＡＣＦテープの間に介在させる方法は種々提案されているが、コストや構造の簡易化の観点から、圧着ツールの下面に保護部材を密着させた状態で固定的に保持させる構造が提案されている。しかしながら、そのような構造とした場合、圧着ツールがＡＣＦテープの押し付け動作を繰り返しているうちに保護部材が圧着ツールの下面に対して例えば幅方向にずれてしまい、圧着ツールの下面に保護部材によって保護されない領域ができたり、保護部材の圧着ツールからはみ出した部分が基板側に張り出したりして、ＡＣＦテープの貼付作業が良好に行えなくなる不具合が発生するおそれがあった。また、保護部材の圧着ツールの下面からはみ出した部分にはごみ等が付着し易く、電子部品や基板を汚損し易いという問題点もあった。これらの問題点は、近年のように電子部品が微小化してきている状況では顕著であり、早急な解決が望まれていた。

そこで本発明は、圧着ツールに対する保護部材のずれによる不具合が生じることを防止して良好なＡＣＦ貼付作業を実行できるようにしたＡＣＦ貼付装置を提供することを目的とする。

本発明のＡＣＦ貼付装置は、基板の上方位置に水平姿勢のＡＣＦテープを供給するテープ供給部と、前記ＡＣＦテープの上方位置から下降して前記ＡＣＦテープを押し下げ、前記ＡＣＦテープを前記基板に圧着する圧着ツールと、前記圧着ツールの長手方向に沿って延びて、前記圧着ツールの下面に密着した保護部材と、前記保護部材の前記圧着ツールの下面と密着した部分を前記圧着ツールの下面から分離する分離手段とを備えた。

本発明のＡＣＦ貼付装置を用いれば、圧着ツールに対する保護部材のずれによる不具合が生じることを防止して良好なＡＣＦ貼付作業を実行できる。

本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置の斜視図本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が備える圧着部の斜視図本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が備える圧着部の（ａ）正面図（ｂ）側面図本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置の制御系統を示すブロック図（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置の動作説明図（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置における保護テープのずれ状態を示す図（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が行う保護テープのずれの解消動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が行う保護テープのずれの解消動作の説明図本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が備える圧着部の斜視図本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が備える圧着部の（ａ）正面図（ｂ）側面図本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が備える圧着部の部分斜視図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置が行う保護テープのずれの解消動作の説明図

（第１実施形態）
先ず、本発明の第１実施形態について説明する。図１に示すＡＣＦ貼付装置１は、上流工程側に配置された電極洗浄装置や下流工程側に配置された仮圧着装置・本圧着装置等とともに液晶パネル製造ラインを構成する。ＡＣＦ貼付装置１は上記液晶パネル製造ラインの中で、電極洗浄装置等の上流工程側の装置から液晶パネル基板としての基板２を受け取り、その基板２の上面の縁部に設けられた複数の電極部２ａのそれぞれに異方性導電膜から成る所定長さのＡＣＦテープ３を貼付したうえで、その基板２を仮圧着装置等の下流工程側の装置に受け渡す。

図１において、ＡＣＦ貼付装置１は、基台１１上に基板２を保持する基板保持移動部１２、基板保持移動部１２に保持された基板２にＡＣＦテープ３を圧着する圧着ユニット１３及び圧着ユニット１３による基板２へのＡＣＦテープ３の圧着時に基板２の下面を下受けするバックアップステージ１４を有する。以下、説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向と定義する。

基板保持移動部１２は基板２を下方から支持する基板保持テーブル１２ａとこの基板保持テーブル１２ａを移動させる直交座標ロボット型のテーブル移動機構１２ｂを有する。基台１１の後部にはＸ軸方向に延びた横ビーム１５ａとその両端を支持する左右の支柱１５ｂから構成される門型のフレーム１５が設けられている。圧着ユニット１３はフレーム１５の横ビーム１５ａに取り付けられている。バックアップステージ１４は圧着ユニット１３の下方にＸ軸方向に延びた状態で設けられている。

図１において、圧着ユニット１３は、フレーム１５の横ビーム１５ａに固定されたベースプレート２１と、ベースプレート２１の前面（作業者ＯＰと正対する側の面）に設けられてＡＣＦテープ３の供給を行うテープ供給部２２と、テープ供給部２２が供給したＡＣＦテープ３を基板２の電極部２ａに圧着する圧着部２３を備えている。テープ供給部２２は繰り出し部２２ａ、回収部２２ｂ、複数のガイドローラ２２ｃ及び切断部２２ｄを有する。

図１中の拡大図に示すように、ＡＣＦテープ３は、テープ供給部２２が搬送するテープ部材Ｔｐから切断部２２ｄによって切り出される。テープ部材Ｔｐは、ベース部ＢＴとこれに張り合わされたＡＣＦ部３Ｂとを有し、テープ供給部２２の繰り出し部２２ａから繰り出されて回収部２２ｂに回収される。テープ部材Ｔｐはガイドローラ２２ｃによってガイドされ、ベースプレート２１の下端付近（後述する圧着ツールの下方位置）で水平姿勢にされる。切断部２２ｄは、テープ部材Ｔｐが水平姿勢にされる前の段階でテープ部材Ｔｐの延びる方向と直交する方向に作動してベース部ＢＴ上でＡＣＦ部３Ｂを切断し（矢印Ａ）、ベース部ＢＴ上に一定長さＬのＡＣＦテープ３を形成する。したがってＡＣＦテープ３は、ベースプレート２１の下端付近に水平姿勢で供給される。

図２及び図３（ａ），（ｂ）に示すように、圧着部２３は、上下一対のシリンダ固定部材３１と、圧着ツール駆動シリンダ３２と、圧着ツール３３と、ユニット昇降シリンダ３４と、保護部材保持ユニット３５と、保護部材３６とを有する。シリンダ固定部材３１は、ベースプレート２１の前面に設けられている。圧着ツール駆動シリンダ３２は、シリンダ固定部材３１によって固定されており、ピストンロッド３２ａを上下方向に沿って突没させる。圧着ツール３３はブロック状であり、ピストンロッド３２ａの下端に連結されてＸ軸方向に延びている。ユニット昇降シリンダ３４は、圧着ツール３３の背面側（作業者ＯＰと正対する側とは反対の側の面）に設けられており、ピストンロッド３４ａを上下方向に沿って突没させる。保護部材保持ユニット３５（保護部材保持）は、ユニット昇降シリンダ３４によって圧着ツール３３に対して昇降される。保護部材３６はテープ状であり、保護部材保持ユニット３５によって保持される。圧着ツール３３には、ユニット昇降シリンダ３４の背面側を上下方向に延びる垂直部３７ａを有したスライダ保持部材３７が取り付けられている。スライダ保持部材３７の垂直部３７ａの背面側には、ベースプレート２１の前面に上下に延びて設けられたガイドレール２１ａ上をスライド自在なスライダ３８が設けられている。

圧着ツール駆動シリンダ３２がピストンロッド３２ａを上下方向に沿って突没させると、ピストンロッド３２ａに連結された圧着ツール３３が、スライダ保持部材３７を介して圧着ツール３３に連結されたスライダ３８とともに、ベースプレート２１に対して昇降する。ここで、スライダ３８はベースプレート２１に取り付けられたガイドレール２１ａによってガイドされるので、圧着ツール３３は安定した軌道で昇降する。また、ユニット昇降シリンダ３４がピストンロッド３４ａを上下方向に沿って突没させると、ピストンロッド３４ａに連結された保護部材保持ユニット３５が圧着ツール３３に対して昇降する。

図２及び図３（ａ），（ｂ）において、保護部材保持ユニット３５は、昇降プレート４１と、係止具４２と、案内ローラ４３と、スプリング４４と、ストッパ４５とを有する。昇降プレート４１は、ユニット昇降シリンダ３４に接続されており、ユニット昇降シリンダ３４によって圧着ツール３３の背面側を昇降する。係止具４２は、圧着ツール３３の左右の側方それぞれに位置するように昇降プレート４１上に設けられている。係止具４２は、圧着ツール３３に対して上下方向への移動が許容されている。案内ローラ４３は、圧着ツール３３の左右の側方であって、係止具４２の下方に位置するように昇降プレート４１の前面の下部に設けられている。スプリング４４は、昇降プレート４１と左右の係止具４２それぞれの間に設けられている。ストッパ４５は、昇降プレート４１の左右前面に設けられている。

図２において、左右の係止具４２それぞれの下端には係止溝４２ａが設けられている。保護部材３６はこれら左右の係止溝４２ａに両端が係止されたうえで左右の案内ローラ４３に掛け渡され、圧着ツール３３の下面に接触している。左右の係止具４２はそれぞれスプリング４４によって圧着ツール３３に対して引き上げられており、保護部材３６は圧着ツール３３の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って延びて圧着ツール３３の下面に密着し、テンションがかけられた状態となっている。左右の係止具４２は、係止溝４２ａに保護部材３６が保持されていない場合や保護部材３６のテンションが小さい場合には、スプリング４４によって引き上げられた状態でストッパ４５に下方から当接し、圧着ツール３３に対する上動が規制される。

図４において、基板保持テーブル１２ａの移動動作は、ＡＣＦ貼付装置１が備える制御装置５０がテーブル移動機構１２ｂの作動制御を行うことによってなされる。テープ部材Ｔｐの搬送動作及びテープ部材ＴｐからのＡＣＦテープ３の切り出し動作は制御装置５０がテープ供給部２２の作動制御を行うことによってなされる。ベースプレート２１に対する圧着ツール３３の昇降動作は、制御装置５０が圧着ツール駆動シリンダ３２の作動制御を行うことによってなされ、圧着ツール３３に対する保護部材保持ユニット３５の昇降動作は、制御装置５０がユニット昇降シリンダ３４の作動制御を行うことによってなされる。制御装置５０は、予め定められた実行プログラムに基づいて上記各部（テーブル移動機構１２ｂ、テープ供給部２２、圧着ツール駆動シリンダ３２及びユニット昇降シリンダ３４）等を作動させる。

このような構成のＡＣＦ貼付装置１において、ＡＣＦテープ３を基板２上の複数の電極部２ａのそれぞれに貼付する場合には、先ず、テーブル移動機構１２ｂが基板２を保持した基板保持テーブル１２ａを水平方向に移動させ、基板２の位置決めを行う（基板位置決め工程）。具体的には、基板２の上の複数の電極部２ａのうち、これからＡＣＦテープ３を貼付しようとする電極部２ａを圧着ツール３３の下方に位置させ、その電極部２ａの直下の基板２の下面がバックアップステージ１４によって支持されるようにする。

上記基板２の位置決めと並行して、テープ供給部２２は、テープ部材Ｔｐの搬送を行い、基板２の上方位置に水平姿勢のＡＣＦテープを供給する（テープ供給工程）。具体的には、テープ供給部２２は、繰り出し部２２ａと回収部２２ｂによってテープ部材Ｔｐを搬送しつつ、切断部２２ｄによってテープ部材ＴｐからＡＣＦテープ３を切り出し、これによりベース部ＢＴ上に並んだ複数のＡＣＦテープ３のうちベース部ＢＴの進行方向の先頭部に位置するＡＣＦテープ３を、圧着ツール３３の下方位置（基板２上のこれからＡＣＦテープ３を貼付しようとする電極部２ａの上方位置）に位置させる。

ＡＣＦテープ３が基板２の上方位置に位置したら、圧着ツール駆動シリンダ３２が圧着ツール３３を初期位置（図５（ａ））から圧着位置（図５（ｂ））まで下降させる（図５（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）。これにより圧着ツール３３は、ＡＣＦテープ３の上方位置から下降してＡＣＦテープ３をベース部ＢＴごと押し下げ、これを基板２に押し付けて、ＡＣＦテープ３を基板２上の電極部２ａに圧着する（図５（ｂ））。圧着工程）。圧着ツール駆動シリンダ３２は、圧着ツール３３によってＡＣＦテープ３を基板２上の電極部２ａに圧着したら、圧着ツール３３を上昇させる（図５（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）。これにより、ひとつの電極部２ａについてのＡＣＦテープ３の貼付動作が終了する。

ひとつの電極部２ａについてのＡＣＦテープ３の貼付動作が終了したら、テーブル移動機構１２ｂは、基板２がＸ軸方向にスライドするように基板保持テーブル１２ａを移動させて、次にＡＣＦテープ３を貼付しようとする電極部２ａが圧着ツール３３の下方に位置するように基板位置決め工程を行う。そして、同様にしてテープ供給工程及び圧着工程を実行する。このような一例の動作を繰り返することによって、基板２上のＡＣＦテープ３を貼付しようとしている全ての電極部２ａについてＡＣＦテープ３を貼付したら、テーブル移動機構１２ｂは基板保持テーブル１２ａを移動させて、基板２を下流工程側（例えば基板２に貼付したＡＣＦテープ３に電子部品を仮圧着する仮圧着装置）に搬出する。

このようにしてＡＣＦ貼付装置１は基板２の電極部２ａに対するＡＣＦテープ３の圧着を行うが、上記ＡＣＦテープ３の圧着動作を繰り返し行っているうちに、保護部材３６は圧着ツール３３の下面に対して（幅方向、すなわちＹ軸方向に）ずれてしまい、圧着ツール３３の下面に保護部材３６によって保護されない領域３３ｍができたり（図６（ａ））、保護部材３６の圧着ツール３３からはみ出した部分３６ｍが基板２側に張り出したりして（図６（ｂ））、ＡＣＦテープの貼付作業が良好に行えなくなるおそれがでてくる。このため、圧着ツール駆動シリンダ３２がＡＣＦテープ３の圧着動作を所定回数或いは一定期間行うごとに、保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分を圧着ツール３３の下面から（一時的に）分離する分離動作を行って、圧着ツール３３の下面に対する保護部材３６のずれを解消するずれ解消工程を実行する。

分離動作は、ユニット昇降シリンダ３４が、保護部材３６を保持する保護部材保持ユニット３５を圧着ツール３３に対して昇降させることによって行う。このときユニット昇降シリンダ３４は、保護部材保持ユニット３５が備える左右の案内ローラ４３の下縁が圧着ツール３３の下面よりも下方に位置するようになるまで保護部材保持ユニット３５を下降させる（図７（ａ）→図７（ｂ）。図７（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）。これにより保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分は圧着ツール３３の下面から引き離され分離される（図７（ｂ）及び図８（ａ））。そして、その後、ユニット昇降シリンダ３４により保護部材保持ユニット３５を元の位置まで上昇させれば（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、保護部材３６は圧着ツール３３の下面に対するずれが解消された正常な状態に復帰する（図８（ａ）→図８（ｂ））。

このように、本第１実施形態において、保護部材３６を保持する保護部材保持ユニット３５を圧着ツール３３に対して昇降させる保護部材保持部昇降機構としてのユニット昇降シリンダ３４は、保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分を圧着ツール３３の下面から分離する分離手段となっている。

（第２実施形態）
第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置は、前述の第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置１に対し、圧着部２３の構成が異なるのみである。図９及び図１０（ａ），（ｂ）は第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置の圧着部１２３を示しており、第１実施形態におけるＡＣＦ貼付装置１の圧着部２３と同じ構成要素については第１実施形態の場合と同じ符号を付している。第２実施形態の圧着部１２３は、連結部材１３４によって保護部材保持ユニット３５が圧着ツール３３に連結されている。また、圧着部１２３は、Ｙ軸方向に向いた回転軸を有するローラ部材１４７と、圧着ツール３３と保護部材３６との間でローラ部材１４７をＸ軸方向に移動させるローラ部材移動機構１４８とを含むローラ機構１４９を有する。本実施の形態においてはローラ機構１４９が分離手段となる。

図１１において、ローラ部材移動機構１４８は、圧着ツール３３の背面側をＸ軸方向に延びて設けられた固定子１５１ａ及びこの固定子１５１ａに沿ってＸ軸方向に移動自在な可動子１５１ｂから成るリニアモータ１５１と、リニアモータ１５１の可動子１５１ｂに取り付けられたローラ部材昇降シリンダ１５２とを有する。ローラ部材昇降シリンダ１５２はピストンロッド１５２ａを上下方向に沿って突没させる。ピストンロッド１５２ａの下端にはＹ軸方向に延びた枢支軸１５２ｂを介してローラ部材１４７が回転自在に設けられている。

ローラ部材移動機構１４８は、ローラ部材昇降シリンダ１５２による昇降移動（Ｚ方向への移動）と、リニアモータ１５１によるローラ部材昇降シリンダ１５２の水平方向移動（Ｘ方向への移動）とを組み合わせることによって、ローラ部材１４７をＸＺ平面面内で移動させる。ローラ部材１４７は、左右の各案内ローラ４３の圧着ツール３３の側の側方位置を待機位置としている。ローラ部材１４７は、ローラ部材移動機構１４８によって、保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分を圧着ツール３３の下面から分離するように、一方の待機位置から他方の待機位置まで移動される。

具体的には、ローラ部材１４７が一方の待機位置にある状態において、ローラ部材移動機構１４８が先ず、ローラ部材昇降シリンダ１５２のピストンロッド１５２ａを下方に突出させつつ、リニアモータ１５１によりローラ部材昇降シリンダ１５２を他方の案内ローラ４３の側に移動させる。これによりローラ部材１４７は初期位置から圧着ツール３３のＸ軸方向の中央側に向いた斜め下方に下降し（図１２（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、圧着ツール３３の下面と保護部材３６との間に割り込む（図１２（ａ））。そして、ローラ部材１４７が圧着ツール３３の下面の一方側の端部の下方に達したら、ローラ部材移動機構１４８は、リニアモータ１５１によってローラ部材昇降シリンダ１５２をＸ軸方向に移動させる（図１２（ｂ）及び図１１中に示す矢印Ｄ２）。これにより保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分は圧着ツール３３の下面から分離される。

ローラ部材１４７が圧着ツール３３の下面の反対側の端部の下方に達したら（図１２（ｃ））、ローラ部材移動機構１４８は、ローラ部材昇降シリンダ１５２のピストンロッド１５２ａを上方に没入させつつ、リニアモータ１５１によりローラ部材昇降シリンダ１５２を他方の案内ローラ４３の側に移動させる。これによりローラ部材１４７は初期位置から圧着ツール３３のＸ軸方向の中央側から張られる方向に向いた斜め上方に移動し（図１２（ｄ）中に示す矢印Ｄ３）、他方の待機位置に達する（図１２（ｄ））。このようにして保護部材３６の圧着ツール３３の下面と密着した部分を圧着ツール３３の下面から一時的に分離されることとなり、図６（ａ），（ｂ）に示したように、保護部材３６が圧着ツール３３の下面からずれていた（ずれが生じていた）場合であっても、これが解消されて、保護部材３６は元の位置（ずれが生じていない位置）に戻る。なお、ローラ部材移動機構１４８は、次にずれ解消工程を実行するときは、ローラ部材１４７を上記の場合とは反対方向に移動させるようにする。

なお、本第２実施形態では、図１１に示すように、ローラ部材１４７の外周面にはガイド溝１４７ｇが形成されている。これにより、圧着ツール３３の下面から分離された保護部材３６は圧着ツール３３の下面の下方を移動するローラ部材１４７のガイド溝１４７ｇによって案内され、保護部材３６が圧着ツール３３の下面の下方の正規の位置に強制的に位置されるので、保護部材３６のずれを確実に解消することができる。なお、分離手段であるローラ機構１４９のローラ部材移動機構１４８は、本実施の形態に記載した機構に限られず、本発明の効果が得られるようにローラ部材１４７を移動させることができるものであればよい。

以上説明したように、第１実施形態及び第２実施形態におけるＡＣＦ貼付装置１は、保護部材３６を圧着ツール３３の下面から分離する分離手段を備えており、圧着ツール３３に対してずれが生じた保護部材３６を元の位置に戻すことができる。このため、本実施の形態におけるＡＣＦ貼付装置１を用いれば、圧着ツール３３に対する保護部材３６のずれによる不具合が生じることを防止して良好なＡＣＦ貼付作業を実行できる。また、このような保護部材３６の分離作業はＡＣＦ貼付装置１の動作を停止させることなく、また作業者ＯＰの手作業によることなく行うことができるので、ＡＣＦ貼付装置１の作業性を低下させることもない。

圧着ツールに対する保護部材のずれによる不具合が生じることを防止して良好なＡＣＦ貼付作業を実行できるようにしたＡＣＦ貼付装置を提供する。

１ＡＣＦ貼付装置
２基板
３ＡＣＦテープ
２２テープ供給部
３３圧着ツール
３４ユニット昇降シリンダ（保護部材保持部昇降機構）
３５保護部材保持ユニット（保護部材保持部）
３６保護部材
１４７ローラ部材
１４７ｇガイド溝
１４９ローラ機構

Claims

基板の上方位置に水平姿勢のＡＣＦテープを供給するテープ供給部と、
前記ＡＣＦテープの上方位置から下降して前記ＡＣＦテープを押し下げ、前記ＡＣＦテープを前記基板に圧着する圧着ツールと、
前記圧着ツールの長手方向に沿って延びて、前記圧着ツールの下面に密着した保護部材と、
前記保護部材の前記圧着ツールの下面と密着した部分を前記圧着ツールの下面から分離する分離手段とを備えたことを特徴とするＡＣＦ貼付装置。
前記分離手段は、前記保護部材を保持する保護部材保持部を前記圧着ツールに対して昇降させる保護部材保持部昇降機構を有することを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
前記分離手段は、前記圧着ツールの下面と前記保護部材との間にローラ部材を割り込ませて前記圧着ツールの長手方向に移動させるローラ機構を有することを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼付装置。
前記ローラ部材はその外周面に、前記圧着ツールの下面から分離された前記保護部材を案内するガイド溝を有することを特徴とする請求項３に記載のＡＣＦ貼付装置。