JP2016012977A - 移動体搬送装置および移動体駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波モータのメカニズムを用いて、移動体を良好に搬送したり駆動したりできる移動体搬送装置を提供する。
【解決手段】移動体搬送装置は、上面に載置された移動体を所定方向に搬送する移動体搬送装置であって、第１のガイド部材と、第１のガイド部材とともに移動体の搬送路を形成する第２のガイド部材と、を備え、第１のガイド部材及び第２のガイド部材は、移動体に対して、各々少なくとも一点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて移動体を搬送することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本技術は、超音波モータのメカニズムを用いて球体などの移動体を搬送する移動体搬送装置および移動体を駆動する移動体駆動装置に関する。

図１３に示すように、超音波モータは、導電性弾性体からなるステータ６１に貼り付けられた圧電セラミック６２の２組の電極領域６２Ａ、６２Ｂに所定の位相差をもった高周波電圧Ｖ、Ｖ'が印加されることによってステータ６１に２つの定在波を合成した進行波を発生させる。このステータ６１の上面にローター６３を加圧接触させることによって、ローター６３は進行波の方向と逆方向に搬送する。

すなわち、進行波は縦波と横波を伴っている。ステータ６１のローター６３と加圧接触する上面の点Ａに着目すると、点Ａは縦振幅ｕと横振幅ｗで反時計周り方向の楕円運動をする。ローター６３の加圧接触面は進行波の波頭でステータの複数の点Ａ，Ａ'・・・と接触することによって、進行波の進行方向とは逆の矢符Ｘ方向に移動される。

特開平７−１２３７５３号公報

上述したような超音波モータのメカニズムを、回転の動力を得る用途ではなく、球体などの曲面をもった移動体の搬送に用いたり、定点回転などの駆動の用途に利用したりするための研究開発が現在本発明者らによって進められている。超音波モータは、電磁モータのように磁力遮蔽処理を行う必要が無いため、特に、磁性体の搬送や駆動に適しており、例えば、遊技機における球体の搬送や、球体の動きを伴う演出などへの利用が期待されている。あるいは、電子部品をはじめとする様々な工業用部品の搬送などへの利用の期待も大きい。

しかしながら、一般的な超音波モータのローターを球体などの曲面を有する移動体に置き換えただけの構造では、曲面を有し、回転方向について拘束を受けていない移動体がステータの振動面から接線方向の駆動力を受けても、移動体の回転力に変換されてしまい、重心周りに回転（定点回転）するだけで移動しない。

さらに、遊技機における球体の搬送や、球体の動きを伴う演出などへの利用を想定した場合、移動体の曲面をステータの振動面に一点で加圧接触させただけの構成では、球体の搬送や定点回転など、異なる動きを自在に切り替えることができない。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、超音波モータのメカニズムを用いて、移動体を良好に搬送したり自在に駆動したりすることのできる移動体搬送装置および移動体駆動装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本技術に係る第１の形態の移動体搬送装置は、上面に載置された移動体を所定方向に搬送する移動体搬送装置であって、第１のガイド部材と、前記第１のガイド部材とともに前記移動体の搬送路を形成する第２のガイド部材と、を備え、前記第１のガイド部材及び第２のガイド部材は、前記移動体に対して、各々少なくとも一点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて前記移動体を搬送することを特徴とする。

この移動体搬送装置によれば、移動体が、搬送路を形成する第１のガイド部材と第２のガイド部材の計２点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて移動体を搬送するように構成したので、移動体を定点回転させることなく良好に搬送することができる。

本発明の移動体搬送装置において、前記移動体は、第１及び第２のガイド部材と点で当接される面が曲面であるものであってよい。

本発明の移動体搬送装置において、前記移動体は、球体であり、自重によって、前記第１及び第２のガイド部材との圧接力を得るものであってよい。これにより、移動体をガイド部材に押し付ける構成が不要であるので、移動体搬送装置を小型、軽量化することができる。

本発明の移動体搬送装置において、前記搬送路は、円環状、直線状、またこれらの組み合わせであってよい。

本技術に係る第２の形態の移動体駆動装置は、上面に載置された移動体に駆動力を印加する移動体駆動装置であって、第１のガイド部材と、前記第１のガイド部材とともに前記移動体の搬送路を形成する第２のガイド部材と、を備え、前記第１のガイド部材及び第２のガイド部材は、前記移動体に対して、各々少なくとも一点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて前記移動体を駆動することを特徴とする。

以上のように、本技術によれば、超音波モータのメカニズムを用いて、移動体を良好に搬送したり自在に駆動したりすることができる。

本発明の第１の実施形態である移動体搬送装置の構成を示す斜視図である。 図１の移動体搬送装置の平面図である。 図１の移動体搬送装置の縦断面図である。 図１の移動体搬送装置の外径側ステータの第１の圧電セラミックおよび内径側ステータの第２の圧電セラミックの分極パターンを示す図である。 図１の移動体搬送装置の駆動制御系の構成を示すブロック図である。 本発明に係る変形例１の移動体搬送装置を示す斜視図である。 移動体の他の例を説明する図である。 移動体のさらに他の例を説明する図である。 移動体のさらに他の例を説明する図である。 本発明に係る変形例４の外径側ステータを説明する図である。 本発明に係る変形例５の外径側ステータおよび内径側ステータを説明する図である。 本発明に係る変形例６の外径側ステータおよび内径側ステータを説明する図である。 一般的な超音波モータの原理を説明する図である。

以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。

＜第１の実施形態＞
図１は、本技術の第１の実施形態である移動体搬送装置の構成を示す斜視図である。
図２は、図１の移動体搬送装置の平面図である。
図３は、図１の移動体搬送装置の縦断面図である。

これらの図に示すように、この移動体搬送装置１は、超音波モータのメカニズムを用いて、球体などの曲面を有する移動体Ｍを搬送したり駆動したりする装置である。移動体Ｍは、従来例として示した超音波モータのローターに相当するものとして、ステータに励振された進行波によって進行波の進行方向と逆方向に移動されて搬送される。また、この移動体搬送装置１は、移動体Ｍを、搬送路上の任意の位置に固定したまま回転（定点回転）させるなど、駆動させることもできる。

［移動体搬送装置の構成］
次に、この移動体搬送装置の構成を詳細に説明する。
符号１１は略円盤状のベース部材である。ベース部材１１には、外径側ステータ１２（第１のガイド部材に相当する。）および内径側ステータ１３（第２のガイド部材に相当する。）がそれぞれ固定されている。

ベース部材１１の上面側には円柱状の第１の突出部１１ａが形成され、さらに第１の突出部１１ａの上面側には、第１の突出部よりも径の小さい円柱状の第２の突出部１１ｂが第１の突出部１１ａに対して同心的に形成されている。なお、第１の突出部１１ａおよび第２の突出部１１ｂは円柱状でなくてもよい。例えば、角柱形状であってもよい。

外径側ステータ１２の中央部には第１の固定穴１２ａが形成されている。この第１の固定穴１２ａにベース部材１１の第１の突出部１１ａが挿入された状態で、外径側ステータ１２がベース部材１１に固定されている。

外径側ステータ１２は、上記の第１の固定穴１２ａとともにベース部材１１に固定される部位である第１のベース固定部１２ｂを備える。外径側ステータ１２の第１のベース固定部１２ｂより外周側には、第１の連結部１２ｃおよび第１の振動部１２ｄが順に形成されている。

第１の連結部１２ｃは、外径側ステータ１２において第１のベース固定部１２ｂと第１の振動部１２ｄとを連結する部位である。

第１の振動部１２ｄの下面には第１の圧電セラミック１４が貼り付けられている。第１の振動部１２ｄの上面にはくし歯状の多数の溝１２ｅが形成されている。すなわち、第１の振動部１２ｄは、第１の圧電セラミック１４の駆動によって進行波が励振され、移動体Ｍが一点で加圧接触する部位である。溝１２ｅは第１の振動部１２ｄの上面の楕円運動の振幅を拡げるためのものである。

また、内径側ステータ１３の中央部には第１の固定穴１２ａよりも小径の第２の固定穴１３ａが形成されており、この第２の固定穴１３ａにベース部材１１の第２の突出部１１ｂが挿入された状態で、内径側ステータ１３がベース部材１１に固定されている。

内径側ステータ１３は、上記の第２の固定穴１３ａとともにベース部材１１に固定される部位である第２のベース固定部１３ｂを備える。第２のベース固定部１３ｂより外周側には、第２の連結部１３ｃおよび第２の振動部１３ｄが順に形成されている。

第２の連結部１３ｃは、内径側ステータ１３において第２のベース固定部１３ｂと第２の振動部１３ｄとを連結する部位である。

第２の振動部１３ｄの下面には第２の圧電セラミック１５が貼り付けられている。第２の振動部１３ｄの上面にはくし歯状の多数の溝１３ｅが形成されている。すなわち、第２の振動部１３ｄは、第２の圧電セラミック１５の駆動によって進行波が励振され、移動体Ｍが一点で加圧接触する部位である。溝１３ｅは第２の振動部１３ｄの上面の楕円運動の振幅を拡げるためのものである。

外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄは、それぞれの厚み方向において上端が略同一の高さに揃えられている。また、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄは半径方向に所定の距離を隔てた位置関係となるように互いに同心円状に形成されている。すなわち、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄとによって、移動体Ｍを搬送する円環状の搬送路１００が形成されている。

なお、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄの各々の上端は、必ずしも同じ高さに揃えられている必要はなく、高さ方向においてずれていてもよい。

図４は、外径側ステータ１２の第１の圧電セラミック１４および内径側ステータ１３の第２の圧電セラミック１５の分極パターンを示す図である。

外径側ステータ１２の第１の圧電セラミック１４には、第１の電極領域１４Ａと第２の電極領域１４Ｂが設けられている。第１の圧電セラミック１４に印加される交流電圧の波長をλ１として、第１の電極領域１４Ａと第２の電極領域１４Ｂは円周方向においてλ１／４相当の距離隔てて配置されている。第１の電極領域１４Ａと第２の電極領域１４Ｂはさらに円周方向においてλ１／２相当の長さの例えば８個の小電極領域１４１に区分されている。各々の小電極領域１４１は厚み方向に逆極性に分極され、かつ隣り合う小電極領域１４１間で分極の向きは逆さまとされている。第１の圧電セラミック１４の各々の小電極領域１４１の表面には駆動電極（図示せず）が形成されている。

外径側ステータ１２をグランドとして、第１の圧電セラミック１４の第１の電極領域１４Ａには外径側ステータ１２（外径側ステータ１２と第１の圧電セラミック１４との組み合わせ）の固有振動数に等しいあるいは略等しい周波数の第１の駆動交流電圧が印加され、第２の電極領域には、第１の駆動交流電圧に対して位相がλ１／４だけずれた同じ周波数の第２の駆動交流電圧が印加される。

内径側ステータ１３の第２の圧電セラミック１５にも、同様の第１の電極領域１５Ａと第２の電極領域１５Ｂが設けられている。第２の圧電セラミック１５に印加される交流電圧の波長をλ２として、第１の電極領域１５Ａと第２の電極領域１５Ｂは円周方向においてλ２／４相当の距離隔てて配置されている。第１の電極領域１５Ａと第２の電極領域１５Ｂはさらに円周方向においてλ２／２相当の長さの例えば４個の小電極領域１５１に区分されている。各々の小電極領域１５１は厚み方向に逆極性に分極され、かつ隣り合う小電極領域間で分極の向きは逆さまとされている。第２の圧電セラミックの各々の小電極領域１５１の表面には駆動電極（図示せず）が形成されている。

内径側ステータ１３をグランドとして、第２の圧電セラミック１５の第１の電極領域１５Ａには内径側ステータ１３（内径側ステータ１３と第２の圧電セラミック１５との組み合わせ）の固有振動数に等しいあるいは略等しい周波数の第３の駆動交流電圧が印加され、第２の電極領域１５Ｂには、第３の駆動交流電圧に対して位相がλ２／４だけずれた同じ周波数の第４の駆動交流電圧が印加される。

図５は、本実施形態の移動体搬送装置１の駆動制御系の構成を示すブロック図である。

本実施形態の移動体搬送装置１は、外径側ステータ１２の駆動回路２０と内径側ステータ１３の駆動回路３０と、コントローラ４０を備える。

外径側ステータ１２の駆動回路２０は、駆動周波数（波長λ１）を発振する発振回路２１と、発振回路２１より発振された周波数信号の位相をシフトさせる移相回路２２と、発振回路２１より発振された周波数信号を増幅して第１の圧電セラミック１４の第１の電極領域１４Ａに第１の駆動交流電圧として印加する第１の増幅回路２３と、移相回路２２より出力された周波数信号を増幅して第１の圧電セラミック１４の第２の電極領域１４Ｂに第２の駆動交流電圧として印加する第２の増幅回路２４とを備える。

内径側ステータ１３の駆動回路３０も同様であり、駆動周波数（波長λ２）を発振する発振回路３１と、発振回路３１より発振された周波数信号の位相をシフトさせる移相回路３２と、発振回路３１より発振された周波数信号を増幅して第２の圧電セラミック１５の第１の電極領域１５Ａに第３の駆動交流電圧として印加する第３の増幅回路３３と、移相回路３２より出力された周波数信号を増幅して第２の圧電セラミック１５の第２の電極領域１５Ｂに第４の駆動交流電圧として印加する第４の増幅回路３４とを備える。

コントローラ４０は、各駆動回路２０、３０の発振回路２１、３１の発振周波数の制御、移相回路２２，３２の位相シフト量の制御、第１から第４の各増幅回路の増幅率の制御などを行う。

［移動体搬送装置の動作］
次に、本実施形態の移動体搬送装置１の動作を説明する。
ここで、移動体Ｍとして、外部より拘束を受けていない球体を想定する。

この移動体搬送装置１では、図１に示すように、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄとの距離は移動体Ｍの直径よりも小さいものとされている。よって移動体Ｍは、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄの内周側上端の角と、内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄの外周側上端の角の２点Ｐ１、Ｐ２に自重で加圧接触する。

外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄには、駆動回路２０より第１の圧電セラミック１４の２組の電極領域１４Ａ、１４Ｂに、互いに所定の位相差をもつ第１の駆動交流電圧と第２の駆動交流電圧が同時に印加される。これにより各々の駆動交流電圧に対応する２つの定在波を合成した第１の進行波が外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄにおいて発生する。内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄにも同様に、駆動回路３０より、第２の圧電セラミック１５の２組の電極領域１５Ａ、１５Ｂに、互いに所定の位相差をもつ第３の駆動交流電圧と第４の駆動交流電圧が同時に印加される。これにより各々の駆動交流電圧に対応する２つの定在波を合成した第２の進行波が発生する。

移動体Ｍは、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄおよび内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄの各々との加圧接触点Ｐ１、Ｐ２での摩擦による駆動力を受ける。ここで、移動体Ｍと外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄおよび内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄの各々との加圧接触点Ｐ１、Ｐ２は、移動体Ｍの重心ＣＰの位置から搬送路１００の幅方向に十分ずれているので、各々の加圧接触点Ｐ１、Ｐ２から移動体Ｍに同じ速度（角速度）の駆動力が加わらない限り、移動体Ｍに搬送路１００を移動させるための力が加わり、移動体Ｍの搬送が実現される。

また、このように外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄおよび内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄの各々との加圧接触点Ｐ１、Ｐ２での摩擦による２つの駆動力で移動体Ｍを駆動させる場合、第１の振動部１２ｄおよび第２の振動部１３ｄに発生させる各々の進行波の振幅および、各々のステータ固有振動数の近傍での周波数（波長）の調整により、移動体Ｍが重心ＣＰの直下の一点で振動体に加圧接触している状態と同様に、移動体Ｍを搬送路上の任意の位置で回転させる状況（定点回転）を積極的につくりだすことができる。

また、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄおよび内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄに発生させる各々の進行波の進行方向を制御することによって、移動体Ｍの搬送方向を正逆切り替えることは勿論、各々の進行波の進行方向を互いに逆向きとすることによって、移動体Ｍをステータ厚み方向に沿った軸（垂直軸）の周り方向に定点回転させたりすることも可能である。この場合には、各々の加圧接触点Ｐ１、Ｐ２から互いに逆向きで角速度が等しい駆動力が移動体Ｍに加えられる必要がある。すなわち、第１の振動部１２ｄおよび第２の振動部１３ｄに発生させる各々の進行波の振幅および、各々のステータ固有振動数の近傍での周波数（波長）の調整が必要である。

コントローラ４０は、このように移動体Ｍの様々な動きを実現するために、各駆動回路２０、３０の発振回路２１、３１の発振周波数の制御、移相回路２２、３２の位相シフト量の制御、第１から第４の増幅回路２３、２４、３３、３４の増幅率の制御などを行うことが可能なように構成されている。

なお、コントローラ４０による各駆動回路２０、３０の制御は、外径側ステータ１２および内径側ステータ１３のいずれか一方のステータの圧電セラミックへの駆動交流電圧の印加を停止することや、いずれか一方のステータの圧電セラミックに印加する２つの駆動交流電圧の位相差を０にすることも含んでいる。

このように、一方のステータの圧電セラミックに印加する駆動交流電圧を停止したり、圧電セラミックの２組の電極領域にそれぞれ印加する２つの駆動交流電圧の位相差を０にして一方のステータには定在波のみを発生させることによって、移動体Ｍの駆動力を生む進行波は１つとなるが、少なくとも、移動体Ｍをその重心ＣＰの回りを自転させるようにだけ駆動力が加わることがないので、例えば、進行波のエネルギーの調整次第で移動体Ｍの搬送を実現できる。

次に、上記の本発明に係る実施形態の変形例を説明する。

＜変形例１＞
図６は、変形例１の移動体搬送装置１Ａを示す斜視図である。
この変形例１の移動体搬送装置１Ａは、上記の第１の実施形態の外径側ステータ１２を、進行波が励振されることのない、単に移動体Ｍの搬送路の形成にのみ寄与するガイド部材１６に置き換えたものである。すなわち、このガイド部材１６はステータに必要な圧電セラミックは貼り付けられておらず、上面部のくし歯状の溝も不要である。

すなわち、この構成は、上記の第１の実施形態の移動体搬送装置１において一方のステータの圧電セラミックに印加する駆動交流電圧を停止することによって実現される１進行波による駆動状態と等価なものである。

なお、この変形例１では、上記の第１の実施形態の外径側ステータ１２を、単に移動体Ｍの搬送路の形成にのみ寄与するガイド部材１６に置き換えた場合を示したが、逆に上記の第１の実施形態の内径側ステータ１３を、進行波が励振されることのない、単に移動体Ｍの搬送路の形成にのみ寄与するガイド部材に置き換えてもよい。

＜変形例２＞
本発明は、移動体Ｍを環状の搬送路を移動させる移動体搬送装置に限定されない。
本発明は、移動体Ｍを直線方向に移動させるリニア型移動体搬送装置として構成することも可能である。
なお、環状の搬送路は、円形に限らず、楕円でもよいし、さらに複雑に曲がった環状あるいは線状の搬送路にも本発明は適用できる。

＜変形例３＞
移動体Ｍとしては、球体であることに本発明は限定されない。
例えば、本発明は、図７に示すように楕円断面を有する移動体Ｍ１の搬送および自転にも利用できる。
また、図８に示すように、外径側ステータ１２の第１の振動部１２ｄと内径側ステータ１３の第２の振動部１３ｄに加圧接触する部分だけが曲面となった移動体Ｍ２の搬送にも本発明は適用可能である。
さらに、本発明は、円柱体、円筒体の搬送や、図９に示すように、直方体の移動体Ｍ３の搬送にも適用可能である。

＜変形例４＞
上記第１の実施形態では、外径側ステータ１２の上面と外周面との角を９０度としたが、例えば、図１０に示すように、外径側ステータ１２の外周側の上部をテーパー状に形成してもよい。これにより、外周部の剛性が低くできるため、進行波をより励振させやすくすることができる。

＜変形例５＞
図１１に示すように、外径側ステータ１２の内周側の上部と内径側ステータ１３の外周側の上部をテーパー状に切り欠いて、移動体Ｍが載る部分を全体としてすり鉢状に形成してもよい。これにより、移動体Ｍの保持安定性が向上するとともに、移動体Ｍの曲面を溝１２ｅ、１３ｅが形成された第１、第２の振動部１２ｄ、１３ｄの上面、すなわち線で摩擦接触できるため、確実に駆動力を与えることができる。

＜変形例６＞
図１２に示すように、外径側ステータ１２および内径側ステータ１３の上部の溝１３ｅを、移動体Ｍが加圧接触する側をより深く形成するようにしてもよい。

以上、移動体Ｍを搬送する移動体搬送装置１について説明したが、本発明は、移動体Ｍを定点回転させる移動体駆動装置として提供することも可能である。すなわち、駆動方法を切り替えることで、移動体Ｍを搬送、定点回転などを自由自在に行うことができる。

また、上記の実施形態では、外部より拘束をうけていない球体を移動体Ｍとして説明したが、意図する回転を遮らないように、部分的に拘束した構成を採用してもよい。例えば、移動体Ｍに接触し、移動体Ｍの回転に応じて回転（移動）するものであればよく、これにより、保持力や、加圧力を印加することもできる。

また、上記の実施形態では、各ガイド部材と移動体との当接をそれぞれ各ガイド部材毎に各１点として説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、各ガイド部材に２点の当接点を設けてもよいことはもちろんである。

以上説明した移動体搬送装置１および移動体駆動装置は磁気回路を用いない構成であるため、例えば、遊技機など、磁気による影響が懸念される機器において特に有用な装置といえるものである。

Ｍ…移動体
１…移動体搬送装置
１１…ベース部材
１２…外径側ステータ
１２ｄ…第１の振動部
１３…内径側ステータ
１３ｄ…第２の振動部
１４…第１の圧電セラミック
１５…第２の圧電セラミック
２０、３０…駆動回路
２１、３１…発振回路
２２、３２…移相回路
２３…第１の増幅回路
２４…第２の増幅回路
３３…第３の増幅回路
３４…第４の増幅回路
４０…コントローラ
１００…搬送路

Claims (6)

1. 上面に載置された移動体を所定方向に搬送する移動体搬送装置であって、
   第１のガイド部材と、
   前記第１のガイド部材とともに前記移動体の搬送路を形成する第２のガイド部材と、
   を備え、
   前記第１のガイド部材及び前記第２のガイド部材は、前記移動体に対して、各々少なくとも一点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて前記移動体を搬送すること
   を特徴とする移動体搬送装置。
2. 前記移動体は、前記第１のガイド部材及び前記第２のガイド部材と当接される面が曲面である
   ことを特徴とする請求項１記載の移動体搬送装置。
3. 前記移動体は、球体であり、自重によって、前記第１のガイド部材及び前記第２のガイド部材との圧接力を得ていることを特徴とする請求項１又は２記載の移動体搬送装置。
4. 前記搬送路は、円環状である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の移動体搬送装置。
5. 前記搬送路は、直線状である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の移動体搬送装置。
6. 上面に載置された移動体に駆動力を印加する移動体駆動装置であって、
   第１のガイド部材と、
   前記第１のガイド部材とともに前記移動体の搬送路を形成する第２のガイド部材と、
   を備え、
   前記第１のガイド部材及び第２のガイド部材は、前記移動体に対して、各々少なくとも一点で当接し、少なくとも一方のガイド部材に当該ガイド部材に沿った進行波を励起させて前記移動体を駆動すること
   を特徴とする移動体駆動装置。

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