JP2016017768A5

JP2016017768A5 -

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Publication number: JP2016017768A5
Application number: JP2014138838A
Authority: JP
Filing date: 2014-07-04
Publication date: 2017-07-27

Description

［適用例１］
本発明のセンサー素子は、互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向とするとき、
基部と、
前記基部から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
前記基部から前記第２方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１連結腕および第２連結腕と、
前記第１連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
前記第２連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第３駆動用振動腕および第４駆動用振動腕と、
前記第２方向において、前記第１検出用振動腕を挟んで位置する一対の第１固定部と、
前記第２方向において、前記第２検出用振動腕を挟んで位置する一対の第２固定部と、
前記一対の第１固定部と前記基部とを連結する一対の第１梁と、
前記一対の第２固定部と前記基部とを連結する一対の第２梁と、
を有し、
前記第１方向において、前記一対の第１固定部の一方と前記一対の第２固定部の一方とが前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕を挟んで並び、
前記第１方向において、前記一対の第１固定部の他方と前記一対の第２固定部の他方とが前記第３駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕を挟んで並んでいることを特徴とする。

これにより、第１検出用振動腕の一部が第１欠損部に入り込んでいる分だけ、第１検出用振動腕の長さを長くすることができるので、小型化しても感度の高いセンサー素子が得られる。
また、これにより、第２検出用振動腕の一部が第２欠損部に入り込んでいる分だけ、第２検出用振動腕の長さを長くすることができるので、小型化しても感度のより高いセンサー素子が得られる。
また、これにより、センサー素子では、２本の第１梁が比較的高い自由度で変形することが可能になる。このため、センサー素子に衝撃が加わったとき、第１梁がその衝撃を受け流し易くなり、センサー素子の破損や特性劣化の発生をより抑え易くなる。その結果、耐衝撃性に優れたセンサー素子が得られる。

［適用例２］
本発明のセンサー素子では、前記第２方向に沿って延出しており、前記一対の第１固定部を連結する第１連結部と、
前記第２方向に沿って延出しており、前記一対の第２固定部を連結する第２連結部と、
を有することが好ましい。

これにより、一対の第１固定部が応力の影響によって変形するとき、一対の第１固定部全体が変形するため、一対の第１固定部が他の部材と接続されるときの接続状態のバラツキが生じ難くなり、センシング特性の意図しない変化が抑えられる。その結果、目的のセンシング特性を有するセンサー素子が得られる。

［適用例３］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕は、前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕および前記第３駆動用振動腕のいずれよりも長く、
前記第２検出用振動腕は、前記第１方向において、前記第２駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕のいずれよりも長いことが好ましい。

これにより、検出用振動腕に設けられる検出部の長さを十分に確保するとともに、第１固定部および第２固定部を配置するためのスペースを確保することができる。その結果、センサー素子の高感度化と小型化とを高度に両立させることができる。

［適用例４］
本発明のセンサー素子では、前記一対の第１固定部の前記第２方向におけるそれぞれの外縁は、前記第１駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第３駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置しており、
前記一対の第２固定部の前記第２方向におけるそれぞれの外縁は、前記第２駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第４駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置していることが好ましい。

これにより、検出信号を取り出す検出部の長さを十分に確保するとともに、第１固定部を配置するためのスペースを確保することができる。その結果、センサー素子の高感度化と小型化とを高度に両立させることができる。

［適用例５］
本発明のセンサーデバイスは、本発明のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高いセンサーデバイスが得られる。

［適用例６］
本発明の電子機器は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。

［適用例７］
本発明の移動体は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。

本実施形態に係る第１支持部２２１は、ｘ軸方向において、第１検出用振動腕２３が第１支持部２２１に挟まれている特徴は共通であるが、欠損部２２１ｃを備えているものの、この欠損部２２１ｃは、第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとを完全に分離するのではなく、一部が残るように、基部２１側（＋ｙ側）の外縁を基部２１とは反対側（−ｙ側）に後退させてなるものである。なお、このようにして第１固定部２２１ａと第１固定部２２１ｂとを連結する部分は、欠損部２２１ｃの分だけ、第１固定部２２１ａ、２２１ｂよりもｙ軸方向の長さが短い部分であり、これを連結部２２１ｄ（第１連結部）とする。換言すれば、第１固定部２２１ａおよび第１固定部２２１ｂは、それぞれｙ軸方向の長さが長い部分であり、連結部２２１ｄは、ｙ軸方向の長さが第１固定部２２１ａ、２２１ｂよりも相対的に短い部分である。すなわち、第１支持部２２１は、基部２１側に欠損部２２１ｃである凹部を有し、第１の検出用振動腕２３は前述の凹部内にまで延在しており、第１方向であるｙ軸方向に沿った凹部から第１支持部２２１の外縁までの長さ（連結部２２１ｄのｙ軸方向に沿った長さ）は、凹部のｙ方向に沿った長さよりも短くなっている。

一方、本実施形態に係る第２支持部２２２は、ｘ軸方向において、第２検出用振動腕２４が第２支持部２２２に挟まれている特徴は共通であるが、欠損部２２２ｃを備えているものの、この欠損部２２２ｃは、第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとを完全に分離するのではなく、一部が残るように、基部２１側（−ｙ側）の外縁を基部２１とは反対側（＋ｙ側）に後退させてなるものである。なお、このようにして第２固定部２２２ａと第２固定部２２２ｂとを連結する部位は、欠損部２２２ｃの分だけ、第２固定部２２２ａ、２２２ｂよりもｙ軸方向の長さが短い部位であり、これを連結部２２２ｄ（第２連結部）とする。換言すれば、第２固定部２２２ａおよび第２固定部２２２ｂは、それぞれｙ軸方向の長さが長い部分であり、連結部２２２ｄは、ｙ軸方向の長さが第２固定部２２２ａ、２２２ｂよりも相対的に短い部分である。すなわち、第２支持部２２２は、基部２１側に欠損部２２２ｃである凹部を有し、第２の検出用振動腕２４は前述の凹部内にまで延在しており、第１方向であるｙ軸方向に沿った凹部から第２支持部２２２の外縁までの長さ（連結部２２２ｄのｙ軸方向に沿った長さ）は、凹部のｙ軸方向に沿った長さよりも短くなっている。

Claims

互いに直交する２つの方向を第１方向および第２方向とするとき、
基部と、
前記基部から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
前記基部から前記第２方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１連結腕および第２連結腕と、
前記第１連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
前記第２連結腕から前記第１方向に沿っており、かつ互いに逆方向に向かって延出する第３駆動用振動腕および第４駆動用振動腕と、
前記第２方向において、前記第１検出用振動腕を挟んで位置する一対の第１固定部と、
前記第２方向において、前記第２検出用振動腕を挟んで位置する一対の第２固定部と、
前記一対の第１固定部と前記基部とを連結する一対の第１梁と、
前記一対の第２固定部と前記基部とを連結する一対の第２梁と、
を有し、
前記第１方向において、前記一対の第１固定部の一方と前記一対の第２固定部の一方とが前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕を挟んで並び、
前記第１方向において、前記一対の第１固定部の他方と前記一対の第２固定部の他方とが前記第３駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕を挟んで並んでいることを特徴とするセンサー素子。
前記第２方向に沿って延出しており、前記一対の第１固定部を連結する第１連結部と、
前記第２方向に沿って延出しており、前記一対の第２固定部を連結する第２連結部と、
を有する請求項１に記載のセンサー素子。
前記第１検出用振動腕は、前記第１方向において、前記第１駆動用振動腕および前記第３駆動用振動腕のいずれよりも長く、
前記第２検出用振動腕は、前記第１方向において、前記第２駆動用振動腕および前記第４駆動用振動腕のいずれよりも長い請求項１または２に記載のセンサー素子。
前記一対の第１固定部の前記第２方向におけるそれぞれの外縁は、前記第１駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第３駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置しており、
前記一対の第２固定部の前記第２方向におけるそれぞれの外縁は、前記第２駆動用振動腕の前記第２方向における外縁および前記第４駆動用振動腕の前記第２方向における外縁よりも前記基部側にそれぞれ位置している請求項１ないし３のいずれか１項に記載のセンサー素子。
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とするセンサーデバイス。
請求項５に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
請求項５に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする移動体。